WO2006053877A1 - Verfahren zum überwachen eines elektrochemischen behandlungsprozesses und für dieses verfahren geeignete elektrodenanordnung - Google Patents

Verfahren zum überwachen eines elektrochemischen behandlungsprozesses und für dieses verfahren geeignete elektrodenanordnung Download PDF

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WO2006053877A1
WO2006053877A1 PCT/EP2005/056005 EP2005056005W WO2006053877A1 WO 2006053877 A1 WO2006053877 A1 WO 2006053877A1 EP 2005056005 W EP2005056005 W EP 2005056005W WO 2006053877 A1 WO2006053877 A1 WO 2006053877A1
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electrode arrangement
workpiece
counter
arrangement
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Axel Arndt
Uwe Pyritz
Gabriele Winkler
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Siemens Aktiengesellschaft
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Definitions

  • the invention relates to a method of monitoring an electrochemical treatment process for the Ar ⁇ beitselektrode forming workpiece, in which a predetermined potential between the working electrode and a Jacobelek ⁇ trodenan expect voltage is maintained using a Referenzelektrodenanord ⁇ .
  • EP 639 769 A2 discloses a method in which a defined potential between a working electrode and a counter electrode can be applied, said Po ⁇ potential is maintained during the electrochemical treatment process by means of a reference electrode.
  • the working electrode, the counter electrode and the reference electrode are connected to a potentiostat.
  • the object of the invention is to specify a method for monitoring an electrochemical treatment process check, by means of this treatment process ⁇ be subjected can be controlled comparatively accurately on the desired treatment result.
  • the reference electrode arrangement has a plurality of individual electrodes which are brought into contact with the surface of the workpiece to be treated in a plurality of locations without contact.
  • the measured values determined by means of the grub Referenzelekt ⁇ arrangement can still be used to optimize the electrochemical interaction of the ⁇ piece unit with the counter electrode assembly.
  • Hier ⁇ can be modified, for example, distances or the shape of the counter electrode assembly to spielmud not planar workpiece geometries in terms of a uniform electrochemical treatment result justice.
  • DA electrochemical treatment processes in the sense of inven ⁇ tion are all electrochemical processes to understand.
  • DA in it may, for example, the electrochemical From ⁇ decision of layers to the electrochemical dissolution of layers (stripping, or stripping), (z. B. drilling) to the elektro ⁇ chemical polishing (surface treatment) or an electrochemical shaping act.
  • a voltage is applied, which generates a small compared to the treatment process flow Meßström, and at the individual or in several groups combined individual electrodes of Referenzelektrodenan ⁇ order each comparison potentials are determined.
  • the measurement result generated can thus be in the above-admit ⁇ nen manner as to the location on the surface of the loading dissolve the acting component. Since only a small measuring current is used, the measurement result is only slightly influenced by the processes normally taking place during the electrochemical treatment. Therefore, the generated measurement result can be used, for example, for an exact positioning of the counterelectrode with complex workpiece geometries.
  • regions of the workpiece can be detected, which may be problematic for carrying out the electrochemical treatment process. This can be taken into takes into (z. B. In order to change the local process-related current density process stream in these Stel ⁇ len), for example by adapting the geometry of the counter electrode assembly. In unproblematic areas of the workpiece, the individual electrodes of the reference electrode arrangement can also be electrically combined into a group so that they produce a common measured value.
  • the inventive method can be used to continue that of the workpiece and to the Jacobelektrodenan ⁇ the predetermined order for the treatment process potential is applied, wherein for monitoring the potential of the Refe rence ⁇ electrodes are electrically connected in parallel.
  • the reference electrode arrangement serves in a known manner to maintain the potential demanded for the treatment process and can be used for this purpose, for example.
  • B connected to a potentiostat.
  • the parallel-connected individual electrodes of the reference electrode arrangement behave like resistors connected in parallel, so that in each case the same potential is applied to them.
  • the invention relates to a Jacobelektrodenanord- tion for the electrochemical treatment of workpieces, in which the workpieces form the working electrode.
  • Such a counter electrode arrangement is known, for example, from EP 1 094 134 A1.
  • This counter-electrode arrangement consists of two electrode plates, which can be brought from both sides to a turbine blade to be decoated.
  • the electrode plates can have surfaces designed in accordance with the profile of the turbine blade. This makes it possible to maintain a constant distance of the electrode plates from the surface of the turbine blade to be decoated.
  • the object of the invention is to provide a counter electrode arrangement for electrochemical treatment processes, with which a positioning of the counter electrode arrangement relative to a workpiece to be treated can be carried out in a simple manner.
  • a reference electrode arrangement is mechanically connected to the counterelectrode arrangement, wherein the connection is designed as electrical insulation between the counter electrode arrangement and the reference electrode arrangement and the reference electrode Order is formed of a plurality of individual electrodes, with electrode tips that are movable within a provided for the workpieces treatment area.
  • Comparison potential can be determined by means of the reference electrode arrangement with a spatial resolution over the surface of the workpiece. The necessary procedure has already been explained. By the mechanical coupling be- see counter electrode assembly and reference electrode driving voltage North ⁇ are vorteil ⁇ way of precise geometric relationships defined between the two electrode assemblies, so that an alignment of the reference electrode assembly automatically performs an alignment of the counter electrode assembly.
  • This electrically insulating connection can preferably consist of electrically insulating connecting pieces. This may for example be attached electrode assembly in the Gegen ⁇ while a Füh ⁇ tion for realizing the individual electrodes of the reference electrode assembly.
  • the counter electrode of the Gegenelekt ⁇ rodenanssen is flat and is malleable within the Be ⁇ treatment area.
  • the counterelectrode can For example, be designed as a flexible grid.
  • the deformable counter electrode arrangement can be optimally adapted to the geometry of the workpiece to be treated. The deformability allows for adjustment within a range defined by the limits of deformability treatment preparation ⁇ ches. Thus workpieces to be treated equally, provided the development area to be treated surface within the treatmen ⁇ lies.
  • the individual electrodes of the counter electrode assembly may be formed in part by way of vor ⁇ rod-shaped and in the Gegenelekt ⁇ rode be fixed axially.
  • the fixation can preferably take place with the connection pieces already described.
  • FIG. 1 shows an exemplary embodiment of the invention
  • Figure 2 shows the structure of an embodiment of the counter electrode arrangement according to the invention as Aus ⁇ cut.
  • an electrochemical treatment bath 12 is filled. Further, a work ⁇ are in the treatment piece 13 (for example the blade of a gas turbine, not shown) and fixed a counter electrode assembly fourteenth
  • the counter-electrode arrangement consists of a flexible, grid-shaped counter electrode 15 and a contact 16. Furthermore, connecting pieces 17 are fixed in the grid, in which rod-shaped individual electrodes 18 are kept electrically insulating.
  • the individual electrodes 18 are further aligned in their axial extent perpendicular to the surface 21 and also pierce the counter electrode 15 at right angles to their local orientation, so that the
  • Counter electrode 15 extends substantially parallel to the surface 21.
  • the workpiece 13, the counter electrode arrangement 14 and the reference electrode arrangement 19 can be connected to a potentiostat 24 via electrical lines 23.
  • the individual electrodes 18 are connected through individual lines 25 to a switching unit 26, via which an electrical Verbin ⁇ dung to the potentiostat 24 is prepared.
  • the switching unit furthermore has a control and evaluation unit 27. With this, the individual electrodes 18 by means of the switching unit 26 individually switched in respective groups connected in parallel or maral ⁇ switched in their entirety in parallel.
  • the arrangement of the workpiece 13 as described (Arbeitselekt ⁇ rode), counter electrode assembly 14 and Referenzelektrodenan- order 19 Poteniostaten 24, switching unit 26 and the control and evaluation unit 27 allows for multiple operating states.
  • a measuring current between the workpiece 13 and the Gegen ⁇ can by means of the Potentiosta ⁇ th 24 electrode arrangement 14 are generated, which is so low that it voltage measurement, using the reference electrode drive North ⁇ 19 does not interfere.
  • a local measurement potential can then be measured, which Zvi ⁇ rule is present the respective electrode tips and the local, an ⁇ adjacent surface regions of the workpiece. 13
  • the geometry of the counter electrode 15 is varied until the comparison potential at the individual electrodes 18 to ⁇ least largely compensated.
  • the data is processed by the control and evaluation unit 27.
  • the desired electrochemical ⁇ mix treatment process takes place.
  • this can consist of removing the coating and subsequently of re-coating, so that the turbine blades are reused can be.
  • the individual electrodes are electrically connected in parallel in the control unit and to Einhal ⁇ tung constant treatment parameters to the potentiostat 24 is connected.
  • the individual electrodes 20 are guided axially in an electrode carrier 28.
  • electrically insulating guide bushes 29 are inserted into the electrode carrier 28 for this purpose.
  • Ver ⁇ are connection pieces 17 can be seen which are fixed firmly on the grub Einzelelekt ⁇ and 15 are connected (for example by casting) the other to the grid of the Ge ⁇ counterelectrode. If the individual electrodes are displaced axially into the electrode carrier 28, therefore, the counterelectrode 15 adapts in accordance with the axial displacement.
  • the contacts 22 are designed as sockets for the unillustrated Einzellei ⁇ lines 25.
  • the electrode carrier 28 furthermore effects a parallel alignment of the individual electrodes 18 with one another.
  • a constant distance of the electrode tips 20 to a surface of the workpiece to be treated, not shown a constant distance of the counter electrode is achieved at the same time to this surface.

Abstract

Gegenelektrodenanordnung (14), die z. B. beim Beschichten und Entschichten von Turbinenschaufeln verwendet werden kann und Verfahren zu deren Betrieb . Die Gegenelektrodenanordnung weist eine Referenzelektrodenanordnung auf, die elektrisch isolierend über Kontaktstücke (17) mit der Gegenelektrode (15) verbunden ist. Durch Anpassung der Referenzelektrodenanordnung, die Einzelelektroden (18) aufweist, an eine zu behandelnde Oberfläche wird damit bei dem Behandlungsprozess ein ausgeglichenes Potential über der zu behandelnden Oberfläche erzeugt. In einem Verfahren zum Betrieb der Gegenelektrodenanordnung kann diese in einem ersten Schritt zur Erzeugung eines ausgeglichenen Potentials mit einem Messstrom beaufschlagt werden, wobei die Einzelelektroden (18) der Referenzelektrodenanordnung einzeln kontaktiert werden, um das jeweilige lokale Potential an der Oberfläche des zu behandelnden Bauteils zu bestimmen. Dabei kann die Gegenelektrode so eingestellt werden, dass an den Einzelelektroden ein ausgeglichenes Potential herrscht. In der folgenden Behandlung des Werkstückes werden die Einzelelektroden parallel zusammengeschaltet und als Referenzelektrode zur Einhaltung eines geforderten Behandlungspotentials verwendet.

Description

Beschreibung
Verfahren zum Überwachen eines elektrochemischen Behandlungs¬ prozesses und für dieses Verfahren geeignete Elektrodenanord- nung
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Überwachen eines elektrochemischen Behandlungsprozesses für ein die Ar¬ beitselektrode bildendes Werkstück, bei dem ein vorgegebenes Potential zwischen der Arbeitselektrode und einer Gegenelek¬ trodenanordnung unter Einsatz einer Referenzelektrodenanord¬ nung eingehalten wird.
Derartige Verfahren sind allgemein bekannt. Beispielsweise ist gemäß der EP 639 769 A2 ein Verfahren offenbart, bei dem ein definiertes Potential zwischen einer Arbeitselektrode und einer Gegenelektrode angelegt werden kann, wobei dieses Po¬ tential während des elektrochemischen Behandlungsprozesses mittels einer Referenzelektrode eingehalten wird. Zu diesem Zweck sind die Arbeitselektrode, die Gegenelektrode und die Referenzelektrode an einen Potentiostaten angeschlossen.
Die Aufgabe der Erfindung liegt darin, ein Verfahren zum Überwachen eines elektrochemischen Behandlungsprozesses an- zugeben, mit dessen Hilfe sich dieser Behandlungsprozess be¬ zogen auf das angestrebte Behandlungsergebnis vergleichsweise genau steuern lässt.
Diese Aufgabe wird mit dem eingangs genannten Verfahren er- findungsgemäß dadurch gelöst, dass die Referenzelektrodenan¬ ordnung mehrere Einzelelektroden aufweist, die an mehreren Stellen berührungsfrei an die zu behandelnde Oberfläche des Werkstücks herangeführt werden. Durch den Einsatz einer Refe¬ renzelektrodenanordnung mit mehreren Einzelelektroden wird vorteilhaft sichergestellt, dass bezüglich der Einstellung des vorgegebenen Potentials eine bezüglich der Werkstückober¬ fläche ortsaufgelöste Messung erfolgen kann. Die durch die Einzelelektroden erzeugten Messwerte können dann bei der Ein- Stellung des vorgegebenen Potentials berücksichtigt werden. Dabei können die Messergebnisse der Einzelelektroden getrennt voneinander berücksichtigt werden, oder es ist eine gemein¬ same Berücksichtigung möglich. Die mittels der Referenzelekt¬ rodenanordnung ermittelten Messwerte können weiterhin dazu benutzt werden, das elektrochemische Zusammenwirken des Werk¬ stückes mit der Gegenelektrodenanordnung zu optimieren. Hier¬ bei können beispielsweise Abstände oder auch die Formgebung der Gegenelektrodenanordnung modifiziert werden, um bei¬ spielsweise nicht planaren Werkstückgeometrien hinsichtlich eines einheitlichen elektrochemischen Behandlungsergebnisses gerecht zu werden.
Als elektrochemische Behandlungsprozesse im Sinne der Erfin¬ dung sind alle elektrochemischen Verfahren zu verstehen. Da- bei kann es sich beispielsweise um die elektrochemische Ab¬ scheidung von Schichten, um die elektrochemische Auflösung von Schichten (Entschichten oder Strippen) , um das elektro¬ chemische Polieren (Oberflächenbearbeitung) oder auch um eine elektrochemische Formgebung (z. B. Bohren) handeln.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass vor der elektrochemischen Behandlung an das Werkstück und an die Gegenelektrodenanordnung eine Spannung angelegt wird, die einen im Vergleich zum Behandlungsprozessstrom geringen Mess- ström erzeugt, und an den einzelnen oder in mehreren Gruppen zusammengefassten Einzelelektroden der Referenzelektrodenan¬ ordnung jeweils Vergleichspotentiale ermittelt werden. Das erzeugte Messergebnis lässt sich damit in der oben angegebe¬ nen Weise hinsichtlich des Ortes an der Oberfläche des zu be- handelnden Bauteils auflösen. Da nur ein geringer Messstrom verwendet wird, wird das Messergebnis durch die normalerweise bei der elektrochemischen Behandlung ablaufenden Prozesse nur wenig beeinflusst. Daher kann das erzeugte Messergebnis bei- spielsweise für eine exakte Positionierung der Gegenelektrode bei komplexen Werkstückgeometrien genutzt werden. Weiterhin können Regionen des Werkstückes erkannt werden, die für die Durchführung des elektrochemischen Behandlungsprozesses evtl. problematisch sind. Diese können beispielsweise durch eine Anpassung der Geometrie der Gegenelektrodenanordnung berück¬ sichtigt werden (z. B. Maßnahmen zur Veränderung des lokalen prozessbedingten Stromdichte Prozessstromes an diesen Stel¬ len) . In unproblematischen Bereichen des Werkstückes können die Einzelelektroden der Referenzelektrodenanordnung auch zu einer Gruppe elektrisch zusammengefasst werden, so dass diese einen gemeinsamen Messwert erzeugen.
Um insbesondere eine gleichmäßige elektrochemische Behandlung der Werkstückoberfläche zu erzielen, kann die Referenzelekt- rodenanordnung dazu genutzt werden, dass die Gegenelektroden¬ anordnung derart zum Werkstück angeordnet wird, dass die Ver¬ gleichpotentiale der jeweiligen Einzelelektroden möglichst ausgeglichen sind. Wird anschließend der elektrochemische Be- handlungsprozess gestartet, so wird bei einer derart ausge- richteten Gegenelektrodenanordnung über der Oberfläche des Werkstückes eine vergleichsweise ausgeglichene Stromdichte erreicht, wodurch vorteilhaft ein gleichmäßiges Behandlungs¬ ergebnis erzielt werden kann.
Weiterhin kann das erfindungsgemäße Verfahren dazu genutzt werden, dass an das Werkstück und an die Gegenelektrodenan¬ ordnung das für den Behandlungsprozess vorgegebene Potential angelegt wird, wobei zur Überwachung des Potentials die Refe¬ renzelektroden elektrisch parallel geschaltet werden. Die Re- ferenzelektrodenanordnung dient dabei in bekannter Weise zur Einhaltung der für den Behandlungsprozess geforderten Poten¬ tialverhältnisse und kann zu diesem Zwecke z. B. an einen Po- tentiostaten angeschlossen werden. Die parallel geschalteten Einzelelektroden der Referenzelektrodenanordnung verhalten sich wie parallel geschaltete Widerstände, so dass an ihnen jeweils das gleiche Potential anliegt.
Weiterhin betrifft die Erfindung eine Gegenelektrodenanord- nung für die elektrochemische Behandlung von Werkstücken, bei denen die Werkstücke die Arbeitselektrode bilden.
Eine derartige Gegenelektrodenanordnung ist beispielsweise aus der EP 1 094 134 Al bekannt. Diese Gegenelektrodenanord- nung besteht aus zwei Elektrodenplatten, die von beiden Sei¬ ten an eine zu entschichtende Turbinenschaufel herangeführt werden können. Die Elektrodenplatten können dabei entspre¬ chend des Profils der Turbinenschaufel gestaltete Oberflächen aufweisen. Dadurch lässt sich ein konstanter Abstand der Elektrodenplatten von der zu entschichtenden Oberfläche der Turbinenschaufel einhalten.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Gegenelektrodenanordnung für elektrochemische Behandlungsprozesse anzugeben, mit der eine Positionierung der Gegenelektrodenanordnung gegenüber einem zu behandelnden Werkstück auf einfache Weise erfolgen kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit der erwähnten Gegen- elektrodenanordnung dadurch gelöst, dass mit der Gegenelekt¬ rodenanordnung eine Referenzelektrodenanordnung mechanisch verbunden ist, wobei die Verbindung als elektrische Isolation zwischen der Gegenelektrodenanordnung und der Referenzelekt¬ rodenanordnung ausgeführt ist und die Referenzelektrodenan- Ordnung aus mehreren Einzelelektroden ausgebildet ist, mit Elektrodenspitzen, die innerhalb eines für die Werkstücke vorgesehenen Behandlungsbereiches bewegbar sind. Durch die Ausbildung der Referenzelektrodenanordnungen mit mehreren Einzelelektroden, die Elektrodenspitzen aufweisen, kann bei der Ausrichtung der Gegenelektrodenanordnung gegenüber dem zu behandelnden Werkstück vorteilhaft eine einfache Ausrichtung der Gegenelektrodenanordnung erfolgen, da zum Erreichen eines für eine gleichmäßige Behandlung erforderlichen Arbeitspoten- tials zwischen Gegenelektrodenanordnung und Werkstück ein
Vergleichspotential mittels der Referenzelektrodenanordnung mit einer Ortsauflösung über die Oberfläche des Werkstückes ermittelt werden kann. Das hierzu notwendige Verfahren ist bereits erläutert worden. Durch die mechanische Kopplung zwi- sehen Gegenelektrodenanordnung und Referenzelektrodenanord¬ nung sind zwischen den beiden Elektrodenanordnungen vorteil¬ haft genaue geometrische Verhältnisse definiert, so dass eine Ausrichtung der Referenzelektrodenanordnung automatisch zu einer Ausrichtung der Gegenelektrodenanordnung führt.
Die Verbindungsstellen zwischen Gegenelektrodenanordnung und Referenzelektrodenanordnung müssen elektrisch isoliert sein, damit die beiden Elektrodensysteme unabhängig voneinander be¬ trieben werden können. Diese elektrisch isolierende Verbin- düng kann bevorzugt aus elektrisch isolierenden Verbindungs¬ stücken bestehen. Diese können beispielsweise in der Gegen¬ elektrodenanordnung befestigt sein und gleichzeitig eine Füh¬ rung für die Einzelelektroden der Referenzelektrodenanordnung verwirklichen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Gegenelektrodenanord¬ nung ist vorgesehen, dass die Gegenelektrode der Gegenelekt¬ rodenanordnung flächig ausgebildet ist und innerhalb des Be¬ handlungsbereiches formbar ist. Die Gegenelektrode kann bei- spielsweise als flexibles Gitter ausgeführt sein. Damit lässt sich die verformbare Gegenelektrodenanordnung optimal an die Geometrie des zu behandelnden Werkstückes anpassen. Dabei lässt die Verformbarkeit eine Anpassung innerhalb eines durch die Grenzen der Verformbarkeit definierten Behandlungsberei¬ ches zu. Damit lassen sich Werkstücke gleichmäßig behandeln, sofern deren zu behandelnde Oberfläche innerhalb des Behand¬ lungsbereiches liegt.
Die Einzelelektroden der Gegenelektrodenanordnung können vor¬ teilhaft stabförmig ausgebildet sein und in der Gegenelekt¬ rode axial fixiert sein. Die Fixierung kann bevorzugt mit den bereits beschriebenen Verbindungsstücken erfolgen. Durch eine axiale Verschiebbarkeit der Einzelelektroden ist es möglich, die Elektrodenspitzen mit einem geringeren Abstand als dem Abstand zwischen der Gegenelektrodenanordnung und der Werk¬ stückoberfläche zur Oberfläche des Werkstückes zu positionie¬ ren. Dies ist insbesondere für die Messwertgenerierung bei der Durchführung des elektrochemischen Behandlungsverfahrens von Vorteil.
Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Einzelelektroden in einem Elektrodenträger axial verschiebbar gehalten sind. Hierdurch lassen sich die Elektrodenspitzen an die Kontur des zu behandelnden Werkstückes anpassen, so dass ein gleichmäßi¬ ger Abstand zwischen den Elektrodenspitzen und der Werkstück¬ oberfläche entsteht. Wenn die verformbare, flächige Gegen¬ elektrode fest an den stabförmigen Einzelelektroden befestigt ist, lässt sich durch Verschieben der Einzelelektroden gleichzeitig die Anpassung der Gegenelektrode an die Kontur des zu behandelnden Werkstückes vornehmen. Dabei kommt den Einzelelektroden vorteilhaft zusätzlich eine Stützfunktion der Gegenelektrodenanordnung zu. Weitere Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der Zeichnung beschrieben. Dabei sind in den Figuren gleiche oder sich entsprechende Elemente mit jeweils den gleichen Be¬ zugszeichen versehen, wobei diese nur insoweit mehrfach er- läutert werden, wie sich Unterschiede zwischen den einzelnen Figuren ergeben. Es zeigen Figur 1 ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Gegenelektrodenanordnung in einem elektrochemischen Behandlungsbad zur Durchführung von Ausführungsbei- spielen des erfindungsgemäßen Verfahrens und
Figur 2 den Aufbau eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Gegenelektrodenanordnung als Aus¬ schnitt.
In einem Behälter 11 ist ein elektrochemisches Behandlungsbad 12 eingefüllt. Weiterhin sind in dem Behandlungsbad ein Werk¬ stück 13 (beispielsweise die Schaufel einer Gasturbine, nicht dargestellt) und eine Gegenelektrodenanordnung 14 fixiert. Die Gegenelektrodenanordnung besteht aus einer flexiblen, gitterförmigen Gegenelektrode 15 und einer Kontaktierung 16. Weiterhin sind Verbindungsstücke 17 in dem Gitter fixiert, in denen stabförmige Einzelelektroden 18 elektrisch isolierend gehalten sind. Diese bilden eine Referenzelektrodenanordnung 19, wobei die Elektrodenspitzen 20 berührungsfrei zu einer zu behandelnden Oberfläche 21 des Werkstücks 13 weisen, während an den gegenüber liegenden Enden der Einzelelektroden 20 Kon¬ taktierungen 22 vorgesehen sind. Die Einzelelektroden 18 sind weiterhin in ihrer Axialausdehnung senkrecht zur Oberfläche 21 ausgerichtet und durchstoßen auch die Gegenelektrode 15 im rechten Winkel zu ihrer örtlichen Ausrichtung, so dass die
Gegenelektrode 15 im Wesentlichen parallel zur Oberfläche 21 verläuft. Das Werkstück 13, die Gegenelektrodenanordnung 14 und die Re¬ ferenzelektrodenanordnung 19 können über elektrische Leitun¬ gen 23 an einen Potentiostaten 24 angeschlossen werden. Die Einzelelektroden 18 sind über Einzelleitungen 25 mit einer Schalteinheit 26 verbunden, über die eine elektrische Verbin¬ dung zum Potentiostaten 24 hergestellt wird. Die Schaltein¬ heit weist weiterhin eine Steuer- und Auswertungseinheit 27 auf. Mit dieser können die Einzelelektroden 18 mit Hilfe der Schalteinheit 26 einzeln geschaltet in jeweiligen Gruppen pa- rallel geschaltet oder in ihrer Gesamtheit parallel geschal¬ tet werden.
Die beschriebene Anordnung von Werkstück 13 (Arbeitselekt¬ rode) , Gegenelektrodenanordnung 14 und Referenzelektrodenan- Ordnung 19 mit Poteniostaten 24, Schalteinheit 26 und Steuer- und Auswertungseinheit 27 lässt mehrere Betriebszustände zu. In einem ersten Betriebszustand kann mittels des Potentiosta¬ ten 24 ein Messstrom zwischen dem Werkstück 13 und der Gegen¬ elektrodenanordnung 14 erzeugt werden, der so gering ist, dass er eine Messung mit Hilfe der Referenzelektrodenanord¬ nung 19 nicht stört. Mittels der Einzelelektroden 25 kann dann ein lokales Messpotential gemessen werden, welches zwi¬ schen den jeweiligen Elektrodenspitzen und den lokalen, an¬ grenzenden Oberflächenbereichen des Werkstückes 13 vorliegt. Die Geometrie der Gegenelektrode 15 wird solange verändert, bis das Vergleichespotential an den Einzelelektroden 18 zu¬ mindest weitgehend ausgeglichen ist. Die Daten werden dabei von der Steuer- und Auswertungseinheit 27 verarbeitet.
In einem nächsten Schritt erfolgt der gewünschte elektroche¬ mische Behandlungsprozess . Dieser kann beispielsweise bei verbrauchten Turbinenschaufeln aus einem Abtragen der Be- schichtung bestehen und anschließend aus einem erneuten Be¬ schichten, so dass die Turbinenschaufeln wieder verwendet werden können. Hierbei werden die Einzelelektroden in der Steuereinheit elektrisch parallel geschaltet und zur Einhal¬ tung konstanter Behandlungsparameter mit dem Potentiostaten 24 verbunden.
Bei der Gegenelektrodenanordnung 14 gemäß Figur 2 sind die Einzelelektroden 20 in einem Elektrodenträger 28 axial ge¬ führt. Um eine Isolation untereinander zu gewährleisten, sind zu diesem Zweck elektrisch isolierende Führungsbuchsen 29 in den Elektrodenträger 28 eingelassen. Weiterhin sind die Ver¬ bindungsstücke 17 zu erkennen, die fest auf den Einzelelekt¬ roden befestigt sind und andererseits mit dem Gitter der Ge¬ genelektrode 15 (beispielsweise durch Eingießen) verbunden sind. Werden die Einzelelektroden in den Elektrodenträger 28 axial verschoben, so passt sich daher die Gegenelektrode 15 entsprechend der Axialverschiebung an. Die Kontaktierungen 22 sind als Steckbuchsen für die nicht dargestellten Einzellei¬ tungen 25 ausgeführt.
Der Elektrodenträger 28 bewirkt weiterhin eine parallele Aus¬ richtung der Einzelelektroden 18 untereinander. Durch einen konstanten Abstand der Elektrodenspitzen 20 zu einer nicht dargestellten Oberfläche des zu behandelnden Werkstückes wird damit gleichzeitig ein konstanter Abstand der Gegenelektrode zu dieser Oberfläche erzielt.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Überwachen eines elektrochemischen Prozesses zur Behandlung eines als Arbeitelektrode dienenden Werk- Stückes (13), bei dem ein vorgegebenes Potential zwischen der Arbeitselektrode und einer Gegenelektrodenanordnung (14) un¬ ter Einsatz einer Referenzelektrodenanordnung (19) eingehal¬ ten wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzelektrodenanordnung (19) mehrere Einzel¬ elektroden (18) aufweist, die an mehreren Stellen berührungs¬ frei an die zu behandelnde Oberfläche des Werkstückes (13) herangeführt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass vor der elektrochemischen Behandlung an das Werkstück (13) und an die Gegenelektrodenanordnung (14) eine Spannung angelegt wird, die einen im Vergleich zum Behandlungsprozess- ström geringen Messstrom erzeugt, und an den einzelnen oder in mehreren Gruppen zusammengefassten Einzelelektroden (18) der Referenzelektrodenanordnung (19) jeweils Vergleichspoten¬ tiale ermittelt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrodenanordnung (14) derart zum Werkstück angeordnet wird, dass die Vergleichspotentiale möglichst aus¬ geglichen sind.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass an das Werkstück (13) und an die Gegenelektrodenanord¬ nung (14) das für den Behandlungsprozess vorgegebene Poten- tial angelegt wird, wobei zur Überwachung des Potentials die Referenzelektroden elektrisch parallel geschaltet werden.
5. Gegenelektrodenanordnung für die elektrochemische Behand- lung von Werkstücken (13), die als Arbeitselektrode dienen, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Gegenelektrodenanordnung eine Referenzelektro¬ denanordnung (19) in mechanischer Verbindung steht, wobei
- die Verbindung (17) als elektrische Isolation zwischen der Gegenelektrodenanordnung und der Referenzelektrodenanord¬ nung (19) ausgeführt ist und
- die Referenzelektrodenanordnung (19) aus mehreren Einzel¬ elektroden (18) ausgebildet ist, mit Elektrodenspitzen, die innerhalb eines für die Werkstücke (13) vorgesehenen Behandlungsbereiches bewegbar sind.
6. Gegenelektrodenanordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenelektrode (15) der Gegenelektrodenanordnung flächig ausgebildet ist und innerhalb des Behandlungsberei¬ ches verformbar ist.
7. Gegenelektrodenanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Einzelelektroden stabförmig ausgebildet sind und in der Gegenelektrode (15) axial fixiert sind.
8. Gegenelektrodenanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Einzelelektroden in einem Elektrodenträger (28) axial verschiebbar gehalten sind.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011121240A1 (fr) * 2010-03-31 2011-10-06 Snecma Dispositif et procede pour controler l'efficacite d'un bain d'electrodeposition metallique
DE102018004841B3 (de) * 2018-06-13 2019-08-01 Hooshiar Mahdjour Verfahren und Vorrichtung zur automatisierten Regelung der Ströme in einem Galvanikbad

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2166125A1 (de) * 2008-09-19 2010-03-24 ALSTOM Technology Ltd Verfahren zur Wiederherstellung eines metallischen Überzuges
KR20150078139A (ko) * 2013-12-30 2015-07-08 현대자동차주식회사 연료전지 시스템용 배관 표면처리방법
DE102014218169B4 (de) 2014-09-11 2022-01-20 MTU Aero Engines AG Elektrochemische Bearbeitung eines Werkstücks
DE102015219233A1 (de) * 2015-10-06 2017-04-06 Continental Automotive Gmbh Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks für einen Fluidinjektor und Verfahren zum Herstellen eines Düsenkörpers für einen Fluidinjektor
CN112575365A (zh) * 2019-09-29 2021-03-30 张宇明 一种电镀阳极及使用该电镀阳极的电镀方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE806508C (de) * 1949-09-10 1951-06-14 Siemens & Halske A G Formanode fuer das galvanische Aufbringen von metallischen Schichten auf ebene oder leicht gekruemmte Flaechen
EP0639769A2 (de) 1993-08-20 1995-02-22 Conrex Automation Oy Verwendung eines Elektrodensystems mit Messelektrode, Referenzelektrode und Gegenelektrode zur Messung des Wasserstoffperoxidgehaltes
EP1094134A1 (de) * 1999-10-18 2001-04-25 General Electric Company Elektrochemische Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen von metallischen Überzügen
DE10100297A1 (de) * 2001-01-04 2002-07-18 Gesimat Gmbh Vorrichtung und Verahren zur elektrochemischen Beschichtung
DE10132408A1 (de) 2001-07-04 2003-02-06 Fraunhofer Ges Forschung Elektrode mit veränderbarer Form

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7842169B2 (en) * 2003-03-04 2010-11-30 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for local polishing control

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE806508C (de) * 1949-09-10 1951-06-14 Siemens & Halske A G Formanode fuer das galvanische Aufbringen von metallischen Schichten auf ebene oder leicht gekruemmte Flaechen
EP0639769A2 (de) 1993-08-20 1995-02-22 Conrex Automation Oy Verwendung eines Elektrodensystems mit Messelektrode, Referenzelektrode und Gegenelektrode zur Messung des Wasserstoffperoxidgehaltes
EP1094134A1 (de) * 1999-10-18 2001-04-25 General Electric Company Elektrochemische Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen von metallischen Überzügen
DE10100297A1 (de) * 2001-01-04 2002-07-18 Gesimat Gmbh Vorrichtung und Verahren zur elektrochemischen Beschichtung
DE10132408A1 (de) 2001-07-04 2003-02-06 Fraunhofer Ges Forschung Elektrode mit veränderbarer Form

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011121240A1 (fr) * 2010-03-31 2011-10-06 Snecma Dispositif et procede pour controler l'efficacite d'un bain d'electrodeposition metallique
FR2958300A1 (fr) * 2010-03-31 2011-10-07 Snecma Dispositif pour controler des caracteristiques physiques d'un bain d'electrodeposition metallique.
CN102822393A (zh) * 2010-03-31 2012-12-12 斯奈克玛 用于控制金属电镀镀液效率的装置和方法
CN102822393B (zh) * 2010-03-31 2015-06-10 斯奈克玛 用于控制金属电镀镀液效率的装置和方法
DE102018004841B3 (de) * 2018-06-13 2019-08-01 Hooshiar Mahdjour Verfahren und Vorrichtung zur automatisierten Regelung der Ströme in einem Galvanikbad
DE102018004841B9 (de) * 2018-06-13 2020-12-03 Hooshiar Mahdjour Verfahren und Vorrichtung zur automatisierten Regelung der Ströme in einem Galvanikbad

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