WO2006034957A1 - Halterung für eine linse mit einem elastischen mittel zwischen linse un halterung - Google Patents

Halterung für eine linse mit einem elastischen mittel zwischen linse un halterung Download PDF

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WO2006034957A1
WO2006034957A1 PCT/EP2005/054531 EP2005054531W WO2006034957A1 WO 2006034957 A1 WO2006034957 A1 WO 2006034957A1 EP 2005054531 W EP2005054531 W EP 2005054531W WO 2006034957 A1 WO2006034957 A1 WO 2006034957A1
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Leica Microsystems CMS GmbH
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/026—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using retaining rings or springs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/028—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation

Definitions

  • the present invention relates to a holder for a lens with a mounting ring, wherein at least a part of the outer edge of the lens rests against a part of the inner wall of the mounting ring in the axial and / or radial direction. Furthermore, the present invention relates to a method for grasping a lens in a holder.
  • Such holders for lenses also referred to as sockets, are known from the prior art.
  • a lens is to be changed in its relative position to the other lenses, this can be realized by a corresponding change in the spatial position of the holder of the lens relative to the holders of the other lenses.
  • a microscope objective has a centering element, with which the
  • lens mounts are required particularly for the production of multiple lenses into a total optical component.
  • the so-called ridge mount in which the lens rests for example on a projection in the mounting ring in the axial direction from one side. From the other side, a ridge provided on the inside of the mounting ring is crimped or bent in the direction of the lens with a corresponding tool, so that in this way the lens is fixed in the mounting ring. Due to production reasons, the burr may in places exert increased pressure on the lens, so that the lens is not tension-free due to the uneven pressure conditions or has a relatively high degree of stress. As a result, the optimum optical imaging properties of the overall optical component can not be achieved and the rejection of optical components in production increases.
  • a lens holder for a very special lens is known per se, in particular in the FIGS. 7 and 8 shown there, namely for a plastic lens, which is subject to a radial length extension with temperature fluctuations to a particular extent.
  • plastic lenses are used, for example, in photo-optical products which are exposed to highly fluctuating temperatures in use are.
  • the mounting ring on a space or a lower and outer recess in which the lens can expand in temperature variations.
  • the plastic lens is positioned in the axial direction by means of an inner annular wall projection (designated by the reference numeral 30 therein), which engages in an inner step on the outside of the lens radially from the inside.
  • an elastic means which serves to reduce the friction between the lens and the retaining ring and which compensates for a volume expansion of the lens due to temperature variations.
  • DE 35 25 813 C3 is not an indication of a suitable lens mount for lenses of a microscope objective, such as a quartz glass lens, removable, which usually have a much lower thermal expansion compared to plastic lenses and are also used in the laboratory only in a narrow temperature range.
  • the present invention is therefore an object of the invention to provide a holder for a lens and a method for grasping a lens in a holder of the type mentioned and further, with which the grasping a lens as simple as possible production and fixation of the lens with an improved or lower degree of tension allows.
  • a retaining ring can be screwed to the mounting ring, that the lens used in the mounting ring of the mounting ring and the retaining ring is fixable ,
  • An elastic means is arranged between the lens and the retaining ring such that it distributes a pressure optionally exerted by the retaining ring on the lens substantially uniformly on the edge of the lens.
  • a holder for a lens can be realized, which in the Essentially has the properties of a Kitt normal, but the strain of the lens in the holder is considerably reduced. This could be verified by interferometric measurements.
  • a value characterizing the tension of a captured lens has been compared with a lens holder according to the invention compared to a cemented one
  • Lens mount improved by a factor of up to four.
  • the imaging properties of a captured in accordance with the invention lens or an optical component based thereon are improved in a particularly advantageous manner.
  • this type of lens mount is particularly interesting for microscope objectives for use in wafer inspection for the semiconductor industry, in which the highest demands are placed on the imaging properties and on the optical resolution.
  • the lens can be removed from the mounting ring very easy, so that a correction or revision of already assembled optical components is easy and fast.
  • it is now particularly not necessary to heat the lens holder with lens and adhesive in order to disassemble the lens from the holder can.
  • the rejection of optical components is particularly high, since, for example, a coating of the lens can be damaged as a result. Due to the simple and quick handling in the version of the lens can be significantly reduced with improved quality of the optical component or the microscope objective in a particularly advantageous manner, the production time.
  • the elastic means may comprise Teflon, tetrafluoroethylene, polyethylene, natural or synthetic rubber, silicone rubber, plastic elastomer or plastic foam.
  • Teflon® is most preferred Applications in microscope lens construction used for semiconductor inspection, where the imaging properties highest demands are made and where UV light is used for lighting or detection.
  • specifications relating to the elasticity properties of the agent can be extracted, on the basis of which a corresponding material is selected.
  • the elastic material must be resistant to UV light.
  • the elastic means is formed by a material coating at least part of the lens facing surface of the retaining ring.
  • the entire surface of the retaining ring, which faces the lens in the mounted state could be coated with the elastic material.
  • Such a coating could for example be done by immersing the retaining ring in a liquid bath having the elastic material in liquid form, wherein the immersion depth of the retaining ring is selected in the liquid bath such that substantially only the lens facing surface of the retaining ring with the elastic Material is coated.
  • the means is arranged between at least part of the lens-facing surface of the retaining ring and the lens.
  • the means is in the elastic means to a separate component, so that the mounting ring and / or retaining ring in itself require no special processing.
  • the elastic means could be formed by a material coating at least a part of the lens facing surface of the mounting ring. This could be done alternatively or additionally to the at least partial coating of the retaining ring, so that - optionally in addition - a substantially uniform pressure distribution on the lens of the retaining ring modified side of the lens forth. Similarly, between at least one Part of the lens facing surface of the mounting ring and the lens may be arranged the means.
  • the elastic means rests flat against the lens.
  • the retaining ring is preferably designed such that it would be without an elastic means on the common overlap region with the lens in surface contact.
  • the elastic means could be substantially disc-shaped with a substantially circular passageway.
  • the elastic means could be made by punching out a circular ring shape from a - e.g. 0.2 mm thick - foil are produced.
  • the elastic means could be annular and have a substantially circular, rectangular or square cross-section.
  • the material of the lens is chosen such that the lens has a low thermal expansion.
  • the material of the lens is chosen such that the lens has a low thermal expansion.
  • the lens is made of glass, preferably of quartz glass or calcium fluoride or lithium fluoride.
  • the latter types of glass allow object illumination or object detection with UV light, so that a high resolution of a one or more lenses with inventive lens holder having optical component is possible.
  • the retaining ring an external thread and the mounting ring have an internal thread (in this case, the retaining ring is also referred to as Vorschraubring). Then namely the retaining ring can be screwed into the mounting ring, whereby the lens inserted therebetween is fixable.
  • This type of lense of the lens is reversible and therefore allows in a particularly advantageous manner, a release of the lens frame and a recapture of the lens, which may be required in particular when setting a total of several individual lenses total objective with imaging properties highest optical requirements.
  • a material could be selected which has a low coefficient of friction.
  • Teflon is also a suitable material in this context.
  • the holder according to the invention in an objective or a microscope objective.
  • the holder comprises a socket ring and a retaining ring.
  • the mounting ring has an inner wall facing the lens, wherein at least a part of the inner wall comes into abutment with at least part of an outer side of the lens in the axial direction from one side.
  • Through the inner wall of the mounting ring is in formed radially and / or in the axial direction a lens seat for the lens.
  • a lens seat in the sense of the present invention, in particular, an inner circumferential - and preferably oriented in the axial direction - wall of the mounting ring to understand where the lens comes in radial direction with at least part of its outer side or outer wall to the plant.
  • the lens is directly positioned in the socket ring in the axial and / or radial direction.
  • the lens inserted into the mounting ring can be fixed from the other side.
  • An elastic means is provided between the lens and the retaining ring for substantially evenly distributing a pressure which may be unevenly applied by the retaining ring to the lens substantially uniformly on the lens.
  • a lens is inserted into the mounting ring
  • an elastic means is introduced or provided in such a way (for example by a coating of the retaining ring or the mounting ring) that it is arranged in the fabricated state between the lens and the retaining ring, and
  • the lens used in the mounting ring is fixed with the retaining ring.
  • a lens mount according to the invention by the above-mentioned method steps can be done easily and with little time, with an already taken lens can be removed in a particularly advantageous manner again from the holder.
  • an already taken lens can be removed in a particularly advantageous manner again from the holder.
  • FIG. 1 in a sectional view a schematic representation of a
  • Fig. 2 is a sectional view of a schematic representation of a
  • FIG. 3 in a sectional view a schematic representation of the
  • Fig. 4 is a schematic representation of a microscope objective, in which the right side in a sectional view and the left side is shown in an outer view and in which the embodiment of Figs. 2 and 3 is installed.
  • FIG. 1 and 2 show the right-hand part of a holder 1 and a lens 2, as could be used, for example, in a lens of a microscope objective Leica 200x / 1.20 AT W from Leica Microsystems Wetzlar Semiconductor GmbH available on the market.
  • FIG. 1 does not have any elastic means in order to be able to show the details more clearly at the edge of the lens.
  • Fig. 2 shows an inventive embodiment with elastic means, as nach ⁇ described below.
  • the holder 1 comprises a mounting ring 3, which has a substantially rectangular cross-section and protrudes from the inner wall in the radial direction inwardly a projection 4.
  • the projection 4 itself has a substantially rectangular cross-section, it has on its lower inner side a radially inwardly directed lens support 5.
  • the lens 2 is at least partially complementary formed on its outer side to the projection 4 and the lens support 5 and comes in the assembled state , which is shown in FIGS. 1 to 3, in the axial direction from above to the plant.
  • the inner wall of the projection 4 thus forms in the region in which it comes into contact with the outer wall of the lens 2, a lens seat 11.
  • the lens 2 comes to the lens seat 11 and the lens support 5 of the mounting ring 3 to the system, so both a wall region of the mounting ring 3 extending in the axial or vertical direction, the lens seat 11, and with a radially and obliquely upwardly extending wall region of the mounting ring 3, the lens support 5.
  • a retaining ring 6 can be screwed, wherein the retaining ring 6 has a thread 12 on its outer side. Accordingly, the mounting ring 3 on its inside also has a thread 13 (see Fig. 3).
  • the bore 10 which extends in the radial direction from the outer wall of the mounting ring 3 to the inner wall of the mounting ring 3 serves to receive a locking varnish, which after hardening secures the mounted retaining ring 6 against rotation relative to the mounting ring 3. 1, the retaining ring 6 comes at its inner lower edge 14 with the outer upper edge 15 of the lens 2 flat to the plant.
  • an elastic means 7 is provided between the lens 2 and the retaining ring 6, with which a possibly uneven pressure distribution of the retaining ring 6 on the lens 2 due to the elastic properties of the means 7 at least largely balanced and thus evenly distributed to the lens 2 ,
  • the elastic means 7 consists of Teflon and is at least in the common overlap region of the facing surfaces of the lens 2 and retaining ring 6 on the lens 2 and on the retaining ring 6 in a flat manner. 2 and 3 it can be seen that at least between the inner lower edge 14 of the retaining ring 6 and the outer upper edge 15 of the lens 2, the elastic means 7 is arranged. Specifically, the elastic means 7 is formed circular disk-shaped, and is therefore basically comparable in terms of its spatial shape with a washer.
  • the mounting ring 3 has an air hole 8, which is used during assembly of the holder 1 in a microscope objective to allow the air between the tightly fitting remaining components and the holder 1 to escape.
  • Fig. 3 shows an entire cross-sectional view of the holder 1 together with lens 2, in which the optical axis 9 of the lens 2 is shown in phantom.
  • the air holes 8 and the radial bores 10 may, unlike in FIG. 3, be arranged in the circumferential direction at any other positions, for example at an angular distance of 120 degrees.
  • Fig. 4 shows a microscope objective 16, in which the right side is shown in a sectional view and the left side in an outer view.
  • the elastic means is not shown in Fig. 4, as this is not meaningfully represented in the drawing scale.
  • the mounting ring 17 forms for the lens 18 in this case the lens seat, the retaining ring 19 an axial fixation upwards.
  • the lens 18 is formed to have a smaller diameter in its upper outer portion than in its lower portion.
  • the mounting ring 17 can be formed such that the retaining ring 19 does not have to be arranged at the upper end of the lens 18, but can be arranged further down.
  • the retaining ring 19 is specifically arranged in the region of the transition from the smaller to the larger outer diameter of the lens 18. Therefore, advantageously, the entire
  • Mounting ring 17 are smaller in the axial direction and thus takes up less space in the microscope objective 16. This is particularly advantageous if - as shown in Fig. 4 - above the lens 18, a (bi) convex lens 20 is provided, the retaining ring 21 itself extends in the axial direction to below the outer upper edge region of the biconcave lens 18 and in the mounting ring 17. It would also be conceivable that such a mounting ring could be made even more compact in the axial direction, namely, when a biconcave lens has only an annular projecting radially outward projection in its central region. A mounting ring could form for this projection from one side only in the axial direction of a lens support. A retaining ring could form a lens seat and / or an axial fixation for this projection from the other side.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halterung für eine Linse mit einem Fassungsring (3), wobei zumindest ein Teil des Aussenrands der Linse (2) an einem Teil der Innenwand des Fassungsrings (3) in axialer Richtung und/oder radialer anliegt. Zum Ermöglichen einer Fixierung der Linse (2) mit einem verbesserten bzw. geringeren Verspannungsgrad beim Fassen der Linse (2) ist erfindungsgemäss ein Haltering (6) derart an den Fassungsring (3) schraubbar, dass die in den Fassungsring (3) eingesetzte Linse (2) von dem Fassungsring (3) und dem Haltering (6) fixierbar ist. Ein elastisches Mittel (7) ist derart zwischen der Linse (2) und dem Haltering (6) angeordnet, dass es einen vom Haltering (6) auf die Linse (2) ausgeübten Druck im Wesentlichen gleichmäßig auf den Rand der Linse (2) verteilt.

Description

HALTERXJNG FÜR EINE LINSE MIT EINEM ELASTISCHEN MITTEL ZWISCHEN LINSE UND HALTERUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halterung für eine Linse mit einem Fassungsring, wobei zumindest ein Teil des Außenrands der Linse an einem 5 Teil der Innenwand des Fassungsrings in axialer und/oder radialer Richtung anliegt. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Fassen einer Linse in einer Halterung.
Solche Halterungen für Linsen, auch als Fassungen bezeichnet, sind aus dem Stand der Technik bekannt. Ganz allgemein dient eine Halterung bzw.
10 Fassung einer Linse zu deren fixen Positionierung relativ zur Halterung und somit zur Handhabung der Linse. Es können somit mehrere Linsen, welche jeweils in einer Halterung fixiert sind, zu einem optischen Gesamtbauteil, beispielsweise zu einem Objektiv bzw. Mikroskopobjektiv, zusammengesetzt werden, indem zum Beispiel die einzelnen Halterungen in eine Objektivhülse
15 eingebracht und dort fixiert werden. Falls eine Linse in ihrer Relativposition zu den anderen Linsen verändert werden soll, kann dies durch eine entsprechende Veränderung der räumlichen Position der Halterung der Linse gegenüber den Halterungen der anderen Linsen realisiert werden. So weist beispielsweise ein Mikroskopobjektiv ein Zentrierglied auf, mit welchem die
20 laterale Position einer Linse oder mehrerer Linsen, jeweils mit Halterung, verändert werden kann. Daher sind Halterungen für Linsen insbesondere für die Produktion mehrerer Linsen zu einem optischen Gesamtbauteil erforderlich.
Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Arten der Fassung einer Linse 25 in einer Halterung bekannt. So wird in einem Fall die Linse in ihrem
Randbereich mit einem Klebemittel in die Halterung eingeklebt, was auch als Kittfassung bezeichnet wird. Lediglich beispielhaft wird auf die DE 35 25 813 C3 verwiesen, wo in der dort gezeigten Fig. 11 nebst dazugehöriger Figurenbeschreibung eine solche Linsenfassung beschrieben ist. Beim Aushärten des Klebemittels oder bei späteren Temperaturschwankungen zieht sich das Klebemittel zusammen oder dehnt sich aus, wodurch Spannungen auf die Linse übertragen werden. Eine unter Spannung stehende Linse kann jedoch eine verschlechterte Abbildungseigenschaft des optischen Gesamtbauteils verursachen, insbesondere bei Mikroskopobjektiven höchster Qualität. Gerade bei optischen Anwendungen, bei welchen Licht höherer Energie verwendet wird, also z.B. aus dem UV-Wellenlängenbereich, erweist sich eine solche Linsenfassung als nicht günstig, da das Klebemittel am Fassungsring bei dieser Strahlung bzw. bei diesem Licht langfristig nicht beständig ist.
Des Weiteren ist die sogenannte Gratfassung bekannt, bei welcher die Linse beispielsweise an einem Vorsprung im Fassungsring in axialer Richtung von einer Seite her anliegt. Von der anderen Seite wird ein an der Innenseite des Fassungsrings vorgesehener Grat mit einem entsprechenden Werkzeug in Richtung der Linse gebördelt bzw. umgebogen, so dass hierdurch die Linse in dem Fassungsring fixiert wird. Produktionsbedingt kann der Grat stellenweise einen erhöhten Druck auf die Linse ausüben, so dass die Linse aufgrund der ungleichmäßigen Druckverhältnisse nicht spannungsfrei gefasst ist bzw. einen relativ hohen Verspannungsgrad aufweist. Hierdurch können die optimalen optischen Abbildungseigenschaften des optischen Gesamtbauteils nicht erreicht werden und der Ausschuss optischer Komponenten bei der Produktion erhöht sich.
Aus der DE 35 25 813 C3 ist - für sich gesehen - insbesondere in den dort gezeigten Fig. 7 und 8 eine Linsenhalterung für eine ganz spezielle Linse bekannt, nämlich für eine Kunststofflinse, welche in besonderem Maße einer radialen Längenausdehnung bei Temperaturschwankungen unterliegt. Solche Kunststofflinsen werden beispielsweise in photo-optischen Produkten verwendet, die bei Gebrauch stark schwankenden Temperaturen ausgesetzt sind. Sowohl in axialer als auch in radialer Richtung weist der Fassungsring einen Zwischenraum bzw. eine untere und äußere Ausnehmung auf (mit dem Bezugszeichen 6 gekennzeichnet), in welchen sich die Linse bei Temperaturschwankungen ausdehnen kann. Die Kunststofflinse ist in axialer Richtung mit Hilfe eines inneren ringförmigen Wandvorsprungs positioniert (dort mit dem Bezugszeichen 30 gekennzeichnet), welcher in eine innere Abstufung an der Außenseite der Linse radial von innen eingreift. Zwischen dem Haltering und dem Fassungsring ist ein elastisches Mittel vorgesehen, welches der Verringerung der Reibung zwischen der Linse und dem Haltering dient und welches eine Volumen- bzw. Längenausdehnung der Linse aufgrund von Temperaturschwankungen ausgleicht. Der DE 35 25 813 C3 ist kein Hinweis auf eine geeignete Linsenfassung für Linsen eines Mikroskopobjektivs, beispielsweise eine Quarzglaslinse, entnehmbar, welche üblicherweise eine viel geringere thermische Längenausdehnung im Vergleich zu Kunststofflinsen aufweisen und außerdem im Labor nur in einem eng begrenzten Temperaturbereich verwendet werden.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Halterung für eine Linse und ein Verfahren zum Fassen einer Linse in einer Halterung der eingangs genannten Art anzugeben und weiterzubilden, mit welcher das Fassen einer Linse eine möglichst einfache Produktion und eine Fixierung der Linse mit einem verbesserten bzw. geringeren Verspannungsgrad ermöglicht.
Die erfindungsgemäße Halterung der gattungsbildenden Art löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 1. Danach ist eine solche Halterung dadurch gekennzeichnet, dass ein Haltering derart an den Fassungsring schraubbar ist, dass die in den Fassungsring eingesetzte Linse von dem Fassungsring und dem Haltering fixierbar ist. Ein elastisches Mittel ist derart zwischen der Linse und dem Haltering angeordnet, dass es einen gegebenenfalls vom Haltering auf die Linse ausgeübten Druck im Wesentlichen gleichmäßig auf den Rand der Linse verteilt.
Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, dass mit Hilfe des elastischen Mittels eine Halterung für eine Linse realisiert werden kann, die im Wesentlichen die Eigenschaften einer Kittfassung aufweist, wobei allerdings die Verspannung der Linse in der Halterung ganz erheblich verringert ist. Dies konnte mit Hilfe interferometrischer Messungen verifiziert werden. So wurde ein die Verspannung einer gefassten Linse charakterisierender Wert mit einer erfindungsgemäßen Linsenhalterung verglichen zu einer gekitteten
Linsenfassung um einen Faktor von bis zu vier verbessert. Insoweit sind die Abbildungseigenschaften einer in erfindungsgemäßer Weise gefasste Linse bzw. eines darauf aufbauenden optischen Gesamtbauteils in ganz besonders vorteilhafter Weise verbessert. Somit ist diese Art der Linsenfassung insbesondere für Mikroskopobjektive zum Einsatz bei der Waferinspektion für die Halbleiterindustrie ganz besonders interessant, bei welchen die höchsten Anforderungen an die Abbildungseigenschaften und an das optische Auflösungsvermögen gestellt werden.
Ganz besonders vorteilhaft ist auch die Tatsache, dass mit dieser Art der Linsenhalterung die Linse aus dem Fassungsring sehr einfach demontiert werden kann, so dass eine Korrektur bzw. Überarbeitung bereits zusammengesetzter optischer Bauteile einfach und schnell möglich ist. Verglichen zu einer auf Klebemittel basierenden Linsenfassung ist es insbesondere nunmehr nicht erforderlich, die Linsenhalterung mit Linse samt Klebemittel zu erhitzen, um die Linse aus der Halterung demontieren zu können. Hierbei ist nämlich der Ausschuss an optischen Komponenten ganz besonders hoch, da beispielsweise eine Beschichtung der Linse hierdurch beschädigt werden kann. Aufgrund der einfachen und schnellen Handhabung bei der Fassung der Linse kann bei verbesserter Qualität des optischen Bauteils bzw. des Mikroskopobjektivs in ganz besonders vorteilhafter Weise die Produktionszeit ganz wesentlich verringert werden.
Grundsätzlich kann das elastische Mittel Teflon, Tetrafluorethylen, Polyäthylen, natürliches oder synthetisches Gummi, Silikonkautschuk, Kunststoffelastomer oder Kunststoffschaum aufweisen. Die Entscheidung, welches dieser Materialien im Einzelfall konkret zu verwenden ist, hängt von dem jeweiligen Einsatzgebiet ab. So wird ganz besonders bevorzugt Teflon für Anwendungen beim Mikroskopobjektivbau für die Halbleiterinspektion eingesetzt, wo an die Abbildungseigenschaften höchste Anforderungen gestellt werden und wo UV-Licht zur Beleuchtung bzw. Detektion eingesetzt wird. So können anhand der Randbedingungen aus der Optikrechnung Vorgaben bezüglich der Elastizitätseigenschaften des Mittels extrahiert werden, aufgrund derer ein entsprechendes Material ausgewählt wird. Jedenfalls muss beim Beispiel der Halbleiterinspektion das elastische Material beständig gegen UV-Licht sein.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist das elastische Mittel durch eine Material beschichtung zumindest eines Teils der der Linse zugewandten Oberfläche des Halterings gebildet. So könnte beispielsweise die gesamte Oberfläche des Halterings, welcher der Linse im montierten Zustand zugewandt ist, mit dem elastischen Material beschichtet sein. Eine solche Beschichtung könnte beispielsweise durch das Eintauchen des Halterings in ein Flüssigkeitsbad erfolgen, welches das elastische Material in flüssiger Form aufweist, wobei die Eintauchtiefe des Halterings in das Flüssigkeitsbad derart gewählt wird, dass im Wesentlichen lediglich die der Linse zugewandte Oberfläche des Halterings mit dem elastischen Material beschichtet wird.
Ganz besonders bevorzugt ist zwischen zumindest einem Teil der der Linse zugewandten Oberfläche des Halterings und der Linse das Mittel angeordnet. Somit handelt es sich bei dem elastischen Mittel um ein separates Bauteil, so dass Fassungsring und/oder Haltering für sich gesehen keiner besonderen Bearbeitung bedürfen.
Grundsätzlich, aber weniger bevorzugt, könnte das elastische Mittel durch eine Material beschichtung zumindest eines Teils der der Linse zugewandten Oberfläche des Fassungsrings gebildet sein. Dies könnte alternativ oder zusätzlich zur zumindest teilweisen Beschichtung des Halterings erfolgen, so dass - gegebenenfalls zusätzlich - eine im Wesentlichen gleichmäßige Druckverteilung auf die Linse von der dem Haltering abgewandelten Seite der Linse her erfolgt. In vergleichbarer Weise könnte zwischen zumindest einem Teil der der Linse zugewandten Oberfläche des Fassungsrings und der Linse das Mittel angeordnet sein.
Zur Optimierung einer gleichmäßigen Druckverteilung auf die Linse ist ganz besonders bevorzugt vorgesehen, dass im montierten Zustand der Linse das elastische Mittel flächig an der Linse anliegt. Dies könnte beispielsweise mit Hilfe einer folienförmigen Ausgestaltung des elastischen Mittels erfolgen, wobei der Folienabschnitt zumindest in einem Flächenbereich angeordnet sein könnte, welcher durch den gemeinsamen Überlappungsbereich der einander zugewandten Oberflächen von Linse und Haltering gebildet wird. Insoweit ist der Haltering bevorzugt derart ausgebildet, dass er ohne ein elastisches Mittel über den gemeinsamen Überlappungsbereich mit der Linse in flächigem Kontakt stehen würde.
Im Konkreten könnte das elastische Mittel im Wesentlichen scheibenförmig mit einem im Wesentlichen kreisförmigen Durchgang ausgebildet sein. Das elastische Mittel könnte beispielsweise durch Ausstanzen einer Kreisringform aus einer - z.B. 0,2 mm dicken - Folie hergestellt werden. Das elastische Mittel könnte ringförmig ausgebildet sein und im Wesentlichen einen kreis-, rechteckförmigen oder quadratischen Querschnitt aufweisen.
Vorzugsweise wird das Material der Linse derart gewählt, dass die Linse eine geringe thermische Längenausdehnung aufweist. Somit wird aufgrund der zumindest teilweisen Anlage der Linse in radialer Richtung an der Innenwand des Fassungsrings eine Verspannung der Linse aufgrund von Temperatur¬ schwankungen der Umgebung weitgehend vermieden und daher einer temporären Verschlechterung der optischen Abbildungseigenschaften der Linse bzw. eines gesamten optischen Bauteils entgegengewirkt.
Ganz besonders bevorzugt besteht die Linse aus Glas, vorzugsweise aus Quarzglas oder Calziumfluorid oder Lithiumfluorid. Insbesondere die letztgenannten Glassorten ermöglichen eine Objektbeleuchtung bzw. Objektdetektion mit UV-Licht, so dass ein hohes Auflösungsvermögen eines eine oder mehrere Linsen mit erfindungsgemäßer Linsenhalterung aufweisenden optischen Bauteils möglich ist.
Eine ganz besonders einfache Handhabung ist möglich, wenn der Haltering ein Außengewinde und der Fassungsring ein Innengewinde aufweisen (in diesem Fall wird der Haltering auch als Vorschraubring bezeichnet). Dann kann nämlich der Haltering in den Fassungsring eingeschraubt werden, wodurch die dazwischen eingesetzte Linse fixierbar ist. Diese Art der Fassung der Linse ist reversibel und ermöglicht daher in ganz besonders vorteilhafter Weise ein Lösen der Linsenfassung und ein erneutes Fassen der Linse, was insbesondere beim Setzen eines aus mehreren Einzellinsen bestehenden Gesamtobjektivs mit Abbildungseigenschaften höchster optischer Anforderungen erforderlich sein kann.
Als elastisches Mittel könnte ein Material ausgewählt werden, welches einen geringen Reibungskoeffizienten aufweist. Insbesondere wenn der Haltering in den Fassungsring über ein Gewinde einschraubbar ist und der Haltering samt dem elastischen Mittel hierbei - ggf. flächig - an der Linse zur Anlage kommt, kann durch eine geringe Reibung des elastischen Mittels eine Verspannung der Linse insbesondere in Drehrichtung des Halterings verringert bzw. vermieden werden. Daher ist Teflon auch in diesem Zusammenhang ein geeignetes Material.
Ganz besonders bevorzugt ist vorgesehen, die erfindungsgemäße Halterung in einem Objektiv oder einem Mikroskopobjektiv zu verwenden. So kann beispielsweise eine in einer erfindungsgemäßen Halterung fixierte Linse - in einer aus dem Stand der Technik bekannten Art und Weise - in eine Objektivhülse eines Mikroskopobjektivs eingesetzt werden.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel umfasst die Halterung einen Fassungsring und einen Haltering. Der Fassungsring weist eine der Linse zugewandte Innenwand auf, wobei zumindest ein Teil der Innenwand mit zumindest einem Teil einer Außenseite der Linse in axialer Richtung von einer Seite her zur Anlage kommt. Durch die Innenwand des Fassungsrings wird in radialer und/oder in axialer Richtung ein Linsensitz für die Linse gebildet. Unter einen Linsensitz im Sinn der vorliegenden Erfindung ist insbesondere eine innen umlaufende - und vorzugsweise in axialer Richtung orientierte - Wandung des Fassungsrings zu verstehen, an welcher die Linse in radialer Richtung mit mindestens einem Teil ihrer Außenseite oder ihrer Außenwand zur Anlage kommt. Somit ist die Linse in dem Fassungsring in axialer und/oder radialer Richtung unmittelbar positioniert. Mit dem Haltering ist die in den Fassungsring eingesetzte Linse von der anderen Seite her fixierbar. Zwischen der Linse und dem Haltering ist ein elastisches Mittel vorgesehen, um einen gegebenenfalls vom Haltering auf die Linse ungleichmäßig ausgeübten Druck im Wesentlichen gleichmäßig auf die Linse zu verteilen.
In verfahrensmäßiger Hinsicht wird die eingangs genannte Aufgabe durch den Patentanspruch 15 gelöst. Hiernach weist ein Verfahren zum Fassen einer Linse in einer Halterung nach einem der Patentansprüche 1 bis 14 die folgenden Verfahrensschritte auf:
- eine Linse wird in den Fassungsring eingebracht,
- ein elastisches Mittel wird derart eingebracht oder ist derart (z.B. durch eine Beschichtung des Halterings oder des Fassungsrings) vorgesehen, dass es im gefertigten Zustand zwischen der Linse und dem Haltering angeordnet ist, und
- die in den Fassungsring eingesetzte Linse wird mit dem Haltering fixiert.
Somit kann eine erfindungsgemäße Linsenfassung durch die oben genannten Verfahrensschritte einfach und mit wenig Zeitaufwand erfolgen, wobei eine bereits gefasste Linse in ganz besonders vorteilhafter Weise wieder aus der Halterung entfernt werden kann. Zur Vermeidung von Wiederholungen hinsichtlich der Ausbildung der Halterung bzw. des elastischen Mittels wird auf den vorangegangenen Teil der Beschreibung verwiesen.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen
Fig. 1 in einer Schnittansicht eine schematische Darstellung eines
Teils eines ersten Ausführungsbeispiels, bei welchem eine Linse in einem Fassungsring mit einem Haltering ohne elastisches Mittel gefasst ist,
Fig. 2 in einer Schnittansicht eine schematische Darstellung eines
Teils eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels, jedoch mit elastischem Mittel,
Fig. 3 in einer Schnittansicht eine schematische Darstellung des
Ausführungsbeispiels aus Fig. 2, wobei der gesamte Schnitt sowohl der Halterung als auch der Linse gezeigt ist und
Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Mikroskopobjektivs, bei welchem die rechte Seite in einer Schnittansicht und die linke Seite in einer äußeren Ansicht gezeigt ist und in welches das Ausführungsbeispiel aus den Fig. 2 und 3 eingebaut ist.
Gleiche oder ähnliche Baugruppen sind in den Figuren mit den selben Bezugszeichen gekennzeichnet. Die Fig. 1 und 2 zeigen den rechten Teil einer Halterung 1 und einer Linse 2, wie sie beispielsweise bei einer Linse eines auf dem Markt verfügbaren Mikroskopobjektivs Leica 200x/1,20 AT W der Leica Microsystems Wetzlar Semiconductor GmbH verwendet werden könnte. Dabei weist zur vereinfachten Darstellung Fig. 1 kein elastisches Mittel, um die Details am Linsenrand deutlicher zeigen zu können. Fig. 2 zeigt ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel mit elastischem Mittel, wie nach¬ folgend beschrieben.
Die Halterung 1 umfasst einen Fassungsring 3, welcher im Wesentlichen einen rechteckigen Querschnitt aufweist und von dessen Innenwand in radialer Richtung nach innen einen Vorsprung 4 abragt. Der Vorsprung 4 weist selbst im Wesentlichen einen rechteckigen Querschnitt auf, er hat an seiner unteren inneren Seite eine radial nach innen gerichtete Linsenauflage 5. Die Linse 2 ist an ihrer Außenseite zumindest bereichsweise komplementär zum Vorsprung 4 und zur Linsenauflage 5 ausgebildet und kommt im montierten Zustand, welcher in den Fig. 1 bis 3 gezeigt ist, in axialer Richtung von oben her zur Anlage. Die Innenwand des Vorsprungs 4 bildet somit in dem Bereich, in welchem sie mit der Außenwand der Linse 2 zur Anlage kommt, einen Linsensitz 11. Somit kommt die Linse 2 an dem Linsensitz 11 und der Linsenauflage 5 des Fassungsrings 3 zur Anlage, also sowohl mit einem in axialer bzw. vertikaler Richtung verlaufenden Wandbereich des Fassungsrings 3, dem Linsensitz 11, als auch mit einem radial und schräg nach oben verlaufenden Wandbereich des Fassungsrings 3, der Linsenauflage 5.
In den Fassungsring 3 ist ein Haltering 6 einschraubbar, wobei der Haltering 6 an seiner Außenseite ein Gewinde 12 aufweist. Dementsprechend weist der Fassungsring 3 an seiner Innenseite ebenfalls ein Gewinde 13 auf (siehe Fig. 3). Die in radialer Richtung von der Außenwand des Fassungsrings 3 zur Innenwand des Fassungsrings 3 verlaufende Bohrung 10 dient zur Aufnahme eines Sicherungslacks, welcher nach dessen Aushärten den montierten Haltering 6 vor einem Verdrehen gegenüber dem Fassungsring 3 sichert. Gemäß Fig. 1 kommt der Haltering 6 an seinem inneren unteren Rand 14 mit dem äußeren oberen Rand 15 der Linse 2 flächig zur Anlage.
In erfindungsgemäßer Weise ist zwischen der Linse 2 und dem Haltering 6 ein elastisches Mittel 7 vorgesehen, mit welchem eine eventuell ungleichmäßige Druckverteilung des Halterings 6 auf die Linse 2 aufgrund der elastischen Eigenschaften des Mittels 7 zumindest weitgehend ausgeglichen und somit gleichmäßig auf die Linse 2 verteilt wird. Dies führt in ganz besonders vorteilhafter Weise zu einer nahezu ideal spannungsfreien Fassung der Linse 2.
Das elastische Mittel 7 besteht aus Teflon und liegt zumindest in dem gemeinsamen Überlappungsbereich der einander zugewandten Oberflächen von Linse 2 und Haltering 6 an der Linse 2 und an dem Haltering 6 flächig an. Den Fig. 2 und 3 ist entnehmbar, dass zumindest zwischen dem inneren unteren Rand 14 des Halterings 6 und dem äußeren oberen Rand 15 der Linse 2 das elastische Mittel 7 angeordnet ist. Im Konkreten ist das elastische Mittel 7 kreisscheibenförmig ausgebildet, und ist somit von seiner räumlichen Form grundsätzlich mit der einer Unterlegscheibe vergleichbar.
Die Linse 2 besteht in diesem Ausführungsbeispiel aus Quarzglas welches für Licht der Wellenlänge 248 nm (DUV = Deep-Ultra-Violett) einen besonders hohen Transmissionskoeffizienten aufweist. Der Fassungsring 3 weist ein Luftloch 8 auf, welches bei der Montage der Halterung 1 in einem Mikroskopobjektiv dazu dient, die Luft zwischen den dicht sitzenden übrigen Bauteilen und der Halterung 1 entweichen zu lassen.
Fig. 3 zeigt eine gesamte Querschnittansicht der Halterung 1 nebst Linse 2, in welcher die optische Achse 9 der Linse 2 strichpunktiert eingezeichnet ist. Bezüglich der optischen Achse 9 ist auch der Fassungsring 3 bzw. der Haltering 6 rotationssymmetrisch ausgebildet. Die Luftlöcher 8 und die radialen Bohrungen 10 können - anders als in Fig. 3 gezeigt - in umfangsmäßiger Richtung an beliebigen anderen Positionen angeordnet sein, zum Beispiel in einem Winkelabstand von 120 Grad.
Fig. 4 zeigt ein Mikroskopobjektiv 16, bei welchem die rechte Seite in einer Schnittansicht und die linke Seite in einer äußeren Ansicht gezeigt ist.
Mehrere der Halterung 1 aus den Fig. 2 und 3 vergleichbare Halterungen 1 sind in dem Mikroskopobjektiv 16 eingebaut. Das elastische Mittel ist jedoch in Fig. 4 nicht gezeigt, da dies in dem Zeichnungsmaßstab nicht sinnvoll darstellbar ist. Mit dem Fassungsring 17 ist eine bikonkave Linse 18 gefasst. Der Fassungsring 17 bildet für die Linse 18 hierbei den Linsensitz, der Haltering 19 eine axiale Fixierung nach oben. Die Linse 18 ist allerdings derart ausgebildet, dass sie in ihrem oberen äußeren Bereich einen kleineren Durchmesser als in ihrem unteren Bereich aufweist. Hierdurch kann der Fassungsring 17 derart ausgebildet werden, dass der Haltering 19 nicht an dem oberen Ende der Linse 18 angeordnet sein muss, sondern weiter unten angeordnet sein kann. Im Konkreten ist der Haltering 19 nämlich in dem Bereich des Übergangs vom kleineren zum größeren Außendurchmesser der Linse 18 angeordnet. Daher kann in vorteilhafter Weise der gesamte
Fassungsring 17 in axialer Richtung kleiner gebaut werden und beansprucht somit weniger Bauraum im Mikroskopobjektiv 16. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn - wie in Fig. 4 gezeigt - oberhalb der Linse 18 eine (bi)konvexe Linse 20 vorgesehen ist, deren Haltering 21 sich in axialer Richtung bis unter den äußeren oberen Randbereich der bikonkaven Linse 18 und in den Fassungsring 17 erstreckt. Es wäre auch denkbar, dass ein solcher Fassungsring in axialer Richtung noch kompakter gebaut werde könnte, wenn nämlich eine bikonkave Linse in ihrem mittleren Bereich lediglich einen ringförmigen, in radialer Richtung nach außen abragenden Vorsprung aufweist. Ein Fassungsring könnte für diesen Vorsprung von der einen Seite her lediglich in axialer Richtung eine Linsenauflage bilden. Ein Haltering könnte für diesen Vorsprung von der anderen Seite her einen Linsensitz und/oder eine axiale Fixierung bilden.
Abschließend sei ganz besonders darauf hingewiesen, dass die voranstehend erörterten Ausführungsbeispiele lediglich zur Beschreibung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken. Bezugszeichen I iste
1 Halterung
2 Linse
3 Fassungsring
4 Vorsprung
5 Linsenauflage
6 Haltering
7 elastisches Mittel
8 Luftloch
9 optische Achse
10 radiale Bohrung im Fassungsring
11 Linsensitz
12 Außengewinde von (6)
13 Innengewinde von (3)
14 Innerer unterer Rand von (6)
15 Äußerer oberer Rand von (2)
16 Mikroskopobjektiv
17 Fassungsring
18 bikonkave Linse
19 Haltering
20 bikonvexe Linse
21 Haltering

Claims

Patentansprüche
1. Halterung für eine Linse mit einem Fassungsring (3), wobei zumindest ein Teil des Außenrands der Linse (2) an einem Teil der Innenwand des Fassungsrings (3) in axialer und/oder radialer Richtung anliegt, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass ein Haltering (6) derart an den Fassungsring (3) schraubbar ist, dass die in den Fassungsring (3) eingesetzte Linse (2) von dem Fassungsring (3) und dem Haltering (6) fixierbar ist, und dass ein elastisches Mittel (7) derart zwischen der Linse (2) und dem Haltering (6) angeordnet ist, dass es einen vom Haltering (6) auf die Linse (2) ausgeübten Druck im
Wesentlichen gleichmäßig auf den Rand der Linse (2) verteilt.
2. Halterung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das elastische Mittel (7) Teflon, Tetrafluorethylen, Polyäthylen, natürliches oder synthetisches Gummi, Silikonkautschuk, Kunststoffelastomer oder Kunststoffschaum aufweist.
3. Halterung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das elastische Mittel (7) durch eine Materialbeschichtung zumindest eines Teils der der Linse (2) zugewandten Oberfläche des Halterings (6) gebildet ist.
4. Halterung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen zumindest einem Teil der der Linse (2) zugewandten Oberfläche des Halterings (6) und der Linse (2) das Mittel (7) angeordnet ist.
5. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das elastische Mittel (7) durch eine Materialbeschichtung zumindest eines Teils der der Linse (2) zugewandten Oberfläche des Fassungsrings (3) gebildet ist.
6. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen zumindest einem Teil der der Linse (2) zugewandten Oberfläche des Fassungsrings (3) und der Linse (2) das Mittel (7) angeordnet ist.
7. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im montierten Zustand das Mittel (7) flächig an der Linse (2) anliegt.
8. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel (7) im Wesentlichen scheibenförmig mit einem im Wesentlichen kreisförmigen Durchgang ausgebildet ist.
9. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel (7) ringförmig ausgebildet ist und im Wesentlichen einen rechteck-, kreisförmigen oder quadratischen Querschnitt aufweist.
10. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Linse (2) eine geringe thermische Längenausdehnung aufweist.
11. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Linse (2) aus Glas besteht, vorzugsweise aus Quarzglas oder
Calziumfluorid oder Lithiumfluorid.
12. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Haltering (6) ein Außengewinde und der Fassungsring (3) ein Innengewinde aufweisen und dass der Haltering (6) in den Fassungsring (3) einschraubbar ist, wodurch die Linse (2) fixierbar ist.
13. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel (7) einen geringen Reibungskoeffizienten aufweist.
14. Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, gekennzeichnet durch die Verwendung in einem Objektiv oder einem Mikroskopobjektiv.
15. Verfahren zum Fassen einer Linse in einer Halterung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei eine Linse (2) in den Fassungsring (3) eingebracht wird, wobei ein elastisches Mittel (7) derart eingebracht wird, dass es im gefertigten Zustand zwischen der Linse (2) und dem Haltering (6) angeordnet ist, und wobei die in den Fassungsring (3) eingesetzte Linse (2) mit dem Haltering (6) fixiert wird.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103257428A (zh) * 2012-02-15 2013-08-21 捷西迪（广州）光学科技有限公司 透镜镜筒
US9778435B2 (en) 2013-05-14 2017-10-03 JCD (Guang Zhou) Optical Corporation Limited Lens barrel

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202017103343U1 (de) 2017-06-02 2018-09-04 Bruker Optik Gmbh Selbstzentrierende Linsenanordnung für eine transmittive, refraktive Optik
US10379312B2 (en) 2017-06-02 2019-08-13 Bruker Optik Gmbh Self-centering lens arrangement for a transmitting, refractive optical unit
DE102017209391B4 (de) 2017-06-02 2021-07-15 Bruker Optik Gmbh Selbstzentrierende Linsenanordnung für eine transmittive, refraktive Optik

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4302076A (en) * 1978-04-12 1981-11-24 Canon Kabushiki Kaisha Optical element mounting device
JPS6289920A (ja) * 1986-07-16 1987-04-24 Olympus Optical Co Ltd レンズ保持機構
JPH05127058A (ja) * 1991-10-30 1993-05-25 Nikon Corp 非歪レンズ鏡筒
JPH06258562A (ja) * 1993-03-05 1994-09-16 Nikon Corp レンズ保持装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2600553C3 (de) * 1976-01-09 1978-07-13 Charles Edwin Charleston W.Va. Meginnis (V.St.A.) Schauglas für Druckgefäße
DE3525813A1 (de) * 1984-07-23 1986-02-27 Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Vorrichtung zur halterung von linsen
DE3437228C2 (de) * 1984-10-10 1986-10-02 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München Thermisch und dynamisch hoch beanspruchbare Fassung für optische Linsen
JP4809987B2 (ja) * 2000-03-30 2011-11-09 キヤノン株式会社 光学要素の支持構造、それを用いた露光装置及び半導体デバイスの製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4302076A (en) * 1978-04-12 1981-11-24 Canon Kabushiki Kaisha Optical element mounting device
JPS6289920A (ja) * 1986-07-16 1987-04-24 Olympus Optical Co Ltd レンズ保持機構
JPH05127058A (ja) * 1991-10-30 1993-05-25 Nikon Corp 非歪レンズ鏡筒
JPH06258562A (ja) * 1993-03-05 1994-09-16 Nikon Corp レンズ保持装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 011, no. 298 (P - 620) 26 September 1987 (1987-09-26) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 017, no. 495 (P - 1608) 7 September 1993 (1993-09-07) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 018, no. 657 (P - 1842) 13 December 1994 (1994-12-13) *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103257428A (zh) * 2012-02-15 2013-08-21 捷西迪（广州）光学科技有限公司 透镜镜筒
US9778435B2 (en) 2013-05-14 2017-10-03 JCD (Guang Zhou) Optical Corporation Limited Lens barrel

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