WO2005098358A3 - Rotations-drehratensensor mit mechanisch entkoppelten schwingungsmoden - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Drehratensensor zur Detektion einer Drehung. Der Sensor weist die folgenden Bestandteile auf: ein Substrat, mindestens ein Schwingungselement, das durch Anregung in eine Rotations- oder Radialschwingung versetzt werden kann, eine Ankerstruktur ein oder mehrere Detektionselement(e), ein oder mehrere Verbindungselement(e), das/die das oder die Detektionselement(e) mit dem Schwingungselement verbindet/verbinden, eine Anregungseinrichtung zur Anregung des Schwingungselements und eine Erfassungseinrichtung zur Erfassung einer radialen oder rotatorischen Schwingung des oder der Detektionselemente(s). Jedes der Detektionselemente kann in derselben Ebene, in der die Rotationsschwingung des Schwingungselements erfolgt, eine Radialschwingung ausführen oder umgekehrt, wobei aber die durch die Rotationsschwingung Zentrifugalkraft Fz im wesentlichen keine Radialbewegung des oder der Detektionselemente(s) bzw. das oder der Schwingungselemente(s) auslösen kann. Außerdem werden verschiedene Verfahren zum Betreiben des Sensors bereitgestellt.
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