WO2005088241A8 - Niederkohärenz-interferometrisches verfahren und gerät zur lichtoptischen abtastung von oberflächen - Google Patents

Niederkohärenz-interferometrisches verfahren und gerät zur lichtoptischen abtastung von oberflächen

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Abstract

Beschrieben wird ein Niederkohärenz-interferometrisches Gerät zur lichtoptischen Abtastung einer Oberfläche (19) eines Objektes, insbesondere einer konkaven Oberfläche (19), beispielsweise eines Bohrlochs, mit einem Kurzkohärenz-Interferometer, das eine kurzkohärente Meßlichtquelle (30), einen das von ihr ausgehende Licht auf einen Meßlichtstrahl (23) und einen Referenzlichtstrahl (22) aufteilenden Strahlteiler (13), einen Referenzreflektor (16), eine Meßoptik (17) und einen Detektor (35) umfaßt, dem der reflektierte Meßlichtstrahl (23) und der Referenzlichtstrahl (22) zum Erfassen eines Niederkohärenz-Interferenzsignals zugeführt werden. Der Meßlichtstrahl (23) wird von der Meßoptik (17), die eine numerische Apertur von nicht mehr als 0,3 hat, in einen sich in eine Abtastrichtung erstreckenden Fokusbereich (27) fokussiert, innerhalb welchem eine Steuer- und Auswerteeinheit (6) eine Abtastposition um einen Referenzpunkt variiert und eine dabei auftretende Übereinstimmung der Abtastposition mit der Oberfläche (19) registriert, um eine Abstandsinformation über einen Abstand des Referenzpunktes von der Oberfläche (19) des Objektes zu gewinnen. Aus der Abstandsinformation und der Position des Referenzpunktes wird eine Ortsinformation über eine lichtreflektierende Stelle der Oberfläche (19) ermittelt.
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