WO2005085929A1

WO2005085929A1 - ミラーデバイス，光制御装置，ミラーの制御方法およびミラー素子

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Publication number: WO2005085929A1
Application number: PCT/JP2004/003020
Authority: WO
Inventors: Kazuaki Akimoto
Original assignee: Fujitsu Limited
Priority date: 2004-03-09
Filing date: 2004-03-09
Publication date: 2005-09-15
Also published as: EP1724624A4; JPWO2005085929A1; EP1724624A1; US20060279825A1

Abstract

簡素な構成、安価で且つ高信頼度で、光入力が過大となることを予防できるようにした、ミラーデバイスである。　反射面が回転可能に構成されるとともに、入力される入力光の輻射圧により反射面が回転するミラー（１３）と、該入力光の輻射圧で回転したミラー（１３）を元の位置に復元させようとする復元力を生成しうる復元力生成機構（３ａ，３ｂ）とをそなえるように構成する。

Description

ミラーデバイス，光制御装置，ミラーの制御方法およびミラー素子技術分野

本発明は、光通信分野における光伝送装置や、光強度の測定等を行なう際に用いて好適の、ミラーデバイス，光制御装置，ミラーの制御方法およびミラー素子に関するものである。背景技術明

近年の技術進歩により、レーザ光など田の光源の出力増加や光増幅器による増幅により光装置の光出力は増大している。たとえば、光通信装置においては波長多重伝送による波長数の増加や、ラマン増幅器に用いられる励起光などによりヮット級の光が出力される光通信装置が少なくない。

さて、このような大きな光出力を光測定器を用いて測定する場合は注意が必要である。光測定器の中には、過大な光入力があると機能を損なう可能性があるためである。このような場合は、過大な光入力が起きないような予防処置をとる必要があり、通常は光測定器の光入力の前に光減衰器を挿入して光測定器への光入力強度を低下させている。

また、光伝送装置においても過大な光入力があると機能を損なう光部品や機能がある。このような場合も過大な光入力が起きないような予防処置をとる必要がある。幹線系に用いられる光通信装置の場合においては、信頼性を確保させるため、通常は光通信装置において、自身の装置における光入出力を監視して、過大な光入力、または光出力を抑制するような制御装置をそなえている。以上のように、従来においては、光装置への光入力が過大とならないようにする予防処置としては、測定系あるいは光装置の構築の際に、作業者が過大な光入出力が生じうる箇所について注意を払い、これら光入出力を監視して減衰させる制御装置が必要であつた。

しかしながら、このような従来の技術においては、作業者が予期せぬ光入出力がある場合や、注意不足があった場合等においては、光装置に対して過大な光入力が発生することを回避できないという課題がある。

さらに、制御装置で過大な光入力、あるいは光出力を抑制させる場合は、制御装置の構成が複雑になる。このため、幹線系に用いられる光通信機器などとは異なり、小規模、あるいは一般家庭に用いられる光通信機器では高価となり現実的ではない。また、制御装置は能動的に働くため、受動的なデバイスと比ベると、制御装置の故障などに対するバックアツプ装置の構成も複雑にならざるを得ない。

したがって、過大な光入力、あるいは光出力を抑制するためには複雑、かつ高価な制御装置を設ける必要があり、小規模、あるいは一般家庭に用いられる光装置への適用は困難である。

他の従来技術として、熱レンズというものがある。入力光を吸収して屈折率が変化する色素溶液を用いてレンズとして振舞うものである。この熱レンズを用いることで、光強度を抑制することは可能であるが、入力光を常に吸収してしまうため、常に光強度が低下すなわち損失が発生してしまう。また、色素の吸収特性の波長依存性により使用できない波長も存在するため、汎用的な利用に支障をきたす。

なお、本願発明に関連する公知技術として、特許文献 1に記載された技術があるが、この特許文献 1に記載された技術は、比較的簡単な構成で光信号を同時に多重化および逆多重化することが可能な装置を提供しょうとするものであり、光入力が過大とならないようにするためのデバイスを、簡素な構成で実現しょうとするものではない。

なお、本願発明に関連する公知技術として、以下に示す特許文献 2および特許文献 3に記載された技術もあるが、これらの技術のいずれについても、光入力が過大とならないようにするためのデバイスを、簡素な構成で実現しようとするものではない。

さらに、詳細な構成についての開示はないが、本願発明に関連する技術として、以下に示す非特許文献 1に記載されたものもある。

本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、簡素な構成、安価で且つ高信頼度で、光入力が過大となることを予防できるようにした、ミラーデバイス，光制御装置，ミラーの制御方法およびミラー素子を提供することを目的とする。

また、簡素な構成、安価で且つ高信頼度で、光スィッチ機能ゃ光フリップフロップ機能を実現できるようにした、を提供することを目的とする。

特許文献 1

特開平 7—202848号公報

特許文献 2

特開 2000— 146654号公報

特許文献 3

特開 2002— 87 574号公報

非特許文献 1

トム ·マラボ一ド（Tom Marrapode) 他 1名、「光伝送システムにもヒユーズ過剰なパワーを抑制」、日経エレクトロ二クス、日経 BP社、 2003 年 1 1月 24日発行、 145〜 148ページ発明の開示

上記の目的を達成するために、本発明のミラーデバイスは、反射面が回転可能に構成されるとともに、入力される入力光の輻射圧により反射面が回転するミラーと、該入力光の輻射圧で回転したミラ一を元の位置に復元させようとする復元力を生成しうる復元力生成機構とをそなえて構成されたことを特徴としている。

このとき、該輻射圧を該ミラーに与える入力光を、信号光とすべく構成することができる。

また、該輻射圧を該ミラーに与える入力光を制御光とするとともに、信号光を該ミラーの反射面上における回転軸位置で反射させるように構成することができる。この場合においては、該制御光を、該ミラ一の反射面上において該回転軸を挟んだ 2箇所の位置にそれぞれ入射される第 1および第 2の制御光とするとともに、前記第 1および第 2の制御光の入力が無くなった場合においても、ミラー位置を保持するためのミラー位置保持機構をそなえて構成してもよい。上述の本発明のミラーデバイスにおいては、該復元力生成機構を、該ミラーの回転軸を支持する 1 ^一ションバーをそなえるとともに、該トーションバ一のねじれ応力を前記復元力とすべく構成してもよい。

また、該復元力生成機構を、該ミラーに前記復元力となる静電気力を与える静電気力付与機構により構成してもよい。この場合においては、該静電気力付与機構を、該ミラーの反射面裏側に隔離して設けられた電極をそなえるとともに、該電極に印加される電圧を通じ該ミラ一に与えられる静電気力により、前記復元力を生成すべく構成することができる。

また、上述の本発明のミラ一デバイスにおいては、該復元力生成機構を、該ミラーに前記復元力となる磁力を与える磁力付与機構により構成することとしてもよく、この場合においては、該磁力付与機構を、該ミラーの反射面裏側に隔離して設けられた磁石をそなえるとともに、該磁石を通じて得られる磁力により、前記復元力を生成すべく構成することができる。

さらに、上述の本発明のミラ一デバイスにおいては、該復元力生成機構を、該ミラーに前記復元力となる表面張力を与える表面張力付与機構により構成することとしてもよい。

また、本発明の光制御装置は、所定角度で入力光を出射する入力光光学系と、該入力光学系からの前記入力光について反射させるミラーデバィスと、該ミラ一デバイスで反射された前記入力光を出力光として入射される出力光光学系とをそなえ、該ミラーデバイスが、反射面上に入力される入力光を反射させる、前記反射面が回転可能に構成されたミラーと、該ミラーを回転させようとする力に対し該ミラーの位置を元の位置に復元させようとする復元力を生成する復元力生成機構とをそなえ、該復元力生成機構で生成される復元力によって、前記反射面が所定の角度になるように構成され、かつ、該ミラ一を反射した出力光の該出力光学系への結合効率が、定められた前記反射面の角度となるように、制御することを特徴としている。

また、本発明の光制御装置は、所定角度で入力光を出射する入力光光学系と、該入力光学系からの前記入力光について反射させるミラーデバィスと、該ミラーデパイスで反射された前記入力光を出力光として入射される出力光光学系と、該ミラーデバイスに向けて制御光を発光する制御光光源とをなえ、該ミラ一デバイスが、反射面上に入力される入力光を反射し、前記反射面が回転可能に構成されたミラーと、該ミラ一を回転させようとする力に対し該ミラーの位置を元の位置に復元させようとする復元力を生成する復元力生成機構とをそなえ、前記入力光が該ミラーデバイスにおける前記回転のための回転軸上で反射させるように、該入力光学系が配置され、該復元力生成機構で生成される復元力によって、前記反射面の角度が定めた角度となるように構成され、該ミラーを反射した出力光の該出力光学系への結合効率となるよう前記反射面の角度を制御することを特徴としている。

上述の光制御装置においては、好ましくは、前記制御光の強度を調整することにより、当該制御光の輻射圧を調整する輻射圧調整部をそなえて構成する。この場合においては、該輻射圧調整部を、前記制御光強度を互いに異なる第 1の強度又は第 2の強度で調整し、該第 1の強度で調整された制御光による第 1の輻射圧により、該ミラーの反射面の角度が第 1の角度に定められて、該ミラーを反射した出力光の該出力光学系への結合効率をオン状態とし、該第 2の強度で調整された制御光による第 2の輻射圧により、該ミラーの反射面の角度が第 2の角度に定められて、該ミラ一を反射した出力光の該出力光学系への結合効率をオフ状態とすべく構成することができる。

さらに、該輻射圧を該ミラ一に与える制御光を、該ミラーの反射面上において該回転軸を挟んだ 2箇所の位置にそれぞれ入射される第 1および第 2の制御光とするとともに、前記第 1および第 2の制御光の入力が無くなった場合においても、ミラー位置を保持するためのミラー保持機構をそなえ、かつ、該輻射圧制御部を、前記第 1および第 2の制御光による輻射圧を制御することにより、上記の第 1および第 2の制御光のうちいずれか一方における輻射圧をトリガとして該ミラーの面を第 1状態に保持する一方、上記の第 1および第 2の制御光のうちいずれか他方における輻射圧をトリガとして該ミラーの面を第 2状態に保持すべく構成することとしてもよい。

また、本発明のミラーデバイスは、反射面が回転可能に構成されるとともに入力される入力光の輻射圧により反射面が回転するミラーと、該入力光によるミラ一の回転とは別に、ミラ一を回転させる力を発生する手段とを設けた事を特徴としている。

さらに、本発明のミラ一の制御方法は、反射面が回転可能に構成されたミラ一に対して入射される光の輻射圧により該ミラーを回転させ、該入力光により回転したミラーを所定の位置に回転させることを特徴としている。

また、本発明のミラー素子は、反射面と、該反射面を回転させるための回転軸と、該回転軸を支持する支持部とからなり、該回転軸と該支持部との関係は該反射面に照射される光の輻射圧により回転可能に構成されていることを特徴としている。

このように、本発明のミラーデバイス，光制御装置，ミラーの制御方法およびミラー素子によれば、以下の効果ないし利点がある。

( 1 ) ミラ一デバイスとして、ミラーと復元力生成機構とをそなえているので、入力光が自分自身の強度に応じた輻射圧で光路中に設けられたミラーを回転させて自分自身の結合効率を変化させることができ、簡易、かつ受動的に動作しながら、安価で信頼度の高い光強度抑制制御を行なうことができる利点があり、延いては、比較的小規模の光装置や、一般家庭などに用いられる光装置への適用が可能となる。

( 2 ) 制御光の第 1又は第 2の輻射圧によって、入力光としての入力信号光に対する反射信号光について、出力光学系である光ファイバへの結合効率をォンオフ状態とすることができるので、簡素な構成、安価で且つ高信頼度で、光スィッチ機能を実現することができる利点がある。

( 3 ) ミラー位置保持機構と、第 1および第 2の制御光の輻射圧におけるいずれかのトリガとによつて、ミラーの面を第 1状態又は第 2状態にすることができるので、入力光としての 2つの信号光に対する反射信号光の出力を 2つの状態に切り替えることができるので、簡素な構成、安価で且つ高信頼度で、光フリップフ口ップ機能を実現することができる利点がある。図面の簡単な説明

図 1は本発明の第 1実施形態にかかる光制御装置を示す図である。図 2は本発明の第 1実施形態における M E M Sミラ一の構成を示す図である。図 3は、図 1および図 2に示す光学系における寸法および物性値の設定例を示す図である。

図 4は、第 1実施形態における光制御装置において、レンズからの光入力強度に対してのミラ一回転角の関係を示す図である。

図 5は、第 1実施形態における光制御装置において、光ファイバからミラー本体への光入力強度と、ミラー本体から光ファイバへの光出力強度との関係について示す図である。

図 6は、梁で生成される復元力により、ミラー本体における反射面の角度を一意に定めることができることを説明するためのモデルとなる光学系を示す図である。 ·

図 7 , 図 8はともに、梁で生成される復元力により、ミラー本体における反射面の角度を一意に定めることができることを説明するための図である。

図 9 ( a ) , 図 9 ( b ) および図 1 0 ( a ) 〜図 1 0 ( c ) は、本発明の第 1 実施形態の変形例を示す図である。

図 1 1は本発明の第 2実施形態にかかる光制御装置を示すプロック図である。図 1 2は本発明の第 3実施形態にかかる光制御装置を示すプロック図である。図 1 3は本発明の第 3実施形態の動作を説明するための図である。発明を実施するための最良の形態

以下、図面を参照することにより、本発明の実施の形態について説明する。

〔A〕第 1実施形態の説明

図 1は本発明の第 1実施形態にかかる光制御装置を示す図であり、この図 1 に示すように、第 1実施形態にかかる光制御装置 1 0は、光伝送装置を構成する光デバイス等の前段に設けられ、この光デバイスに対して過大な光入力を予防するためのものであって、入出力共用の光ファイバ 1 1と、レンズ 1 2と、ミラーデバイスとしての M E M S (Micro Electro Mechanical System)ミラー 1 3をそなえて構成されている。

すなわち、この図 1に示す光制御装置 1 0の光学系としては、光ファイバ 1 1からの光はレンズ 12を通じてコリメート光となって、ミラー 13に出射するようになっており、このときの光ファイバ 1 1およびレンズ 12は、所定角度で入力光を出射する入力光学系を構成する。

また、ミラー 13で反射された光は再びレンズ 12を通じて光ファイバ 1 1 に入射されるようになっており、このときのレンズ 12および光ファイバ 1 1 は、ミラーデバイスとしての MEMSミラー 13で反射された入力光を出力光として入射される出力光学系を構成する。

MEMSミラ一 13は、回転軸を中心としてミラー面を回動させて、レンズ 12から入射されるコリメ一ト光の反射角度を可変させることができるようになっている。即ち、 MEMSミラ一 13は、反射面が回転可能に構成されるとともに、入力される入力光としてのレンズ 12からのコリメート光を反射面上の一定位置で反射させることができるようになつている。

この MEMSミラー 13は、一般的な MEMS技術による作成方法および半導体プロセスを用いることで作製可能なものである。具体的には、 MEMSミラー 13は、例えば図 2に示すように、基板フレーム 1と、例えば反射面が長方形形状を持つミラー本体 2とをそなえるとともに、ミラー本体 2を基板フレーム 1で支持するための梁 3 a, 3 bをそなえて構成されている。

梁 3 a， 3 bは、例えばミラ一本体 2の長方形長辺を 2分する両端位置と基板フレーム 1とをそれぞれ接続し固定するもので、例えばシリコン等の弾性材質により構成される。そして、この梁 3 a, 3 bがねじれることによって、ミラー本体 2の反射面 2 aを図中 Cの方向で回動させることができるようになつている。従って、梁 3 a, 3 bは、ミラー本体 2の回転軸を支持するトーションパーとしての機能を有している。

なお、ミラー本体 2は基板底面 1 aに対して空間を空けて支持されるようになっており、これにより、梁 3 a, 3 bがねじれて、ミラ一本体 2が所定角度範囲の自由度をもって回転させることができるようになつている。

また、上述の梁 3 a, 3 bのねじれに対するねじれ応力として、梁 3 a， 3 bのねじれを復元するような力が発生するようになっている。換言すれば、この梁 3 a, 3 bにより、ミラー本体 2を回転させようとする力に対しミラー本体 2の位置をもとの位置に復元させようとする復元力としてのねじれ応力を生成しうる復元力生成機構を構成する。

ここで、本実施形態においては、後述するように、上述のレンズ 1 2からの光自身の輻射圧 Fによって、ミラー本体 2を回動させることができるようになつている。そして、この輻射圧 Fの大きさに応じて、復元力生成機構としての梁 3 a , 3 bで生成される復元力により、ミラー本体 2における反射面の角度を一意に定めることができるようになつている。

上述の図 1および図 2に示す光学系においては、例えば図 3に示すように寸法および物性値を決めることができる。尚、これらの寸法および物性値の具体例は、本発明の理解を容易にするために示したものであって、本発明は、これらの寸法および物性値の具体例に限定されるものではない。

ここで、これらの図 1〜図 3において、光入射位置 Lは、ミラ一本体 2の反射面 2 aにおいてレンズ 1 2からの光が反射する位置であって、梁 3 a , 3 b による回転軸 A Xからの距離「L」によって表されるものである。又、ミラー幅「H」は、ミラ一本体 2の図中長方形短辺の長さ、「a」は梁 3 aおよび梁 3 bについての断面の長辺、「b」はその短辺、「u」は梁 3 a， 3 bの長さ、「f 」はレンズの焦点距離である。図 3中の他の値については後述する。

ところで、上述の図 3に示す寸法設定を有する光制御装置 1 0において、レンズ 1 2からの光入力強度に対してのミラ一回転角 0は、図 4に示すように比例関係にある。この図 4から、光ファイバ 1 1からミラー本体 2への光入力強度が 1ワット（W) の場合には、ミラー本体 2は 0 . 0 0 9 3度回転することが分かる。

そして、ミラ一本体 2の回転とともに、ミラ一本体 2で反射された光がレンズ 1 2を通じて光ファイバ 1 1へ戻る割合も変化するので、光ファイバ 1 1からミラー本体 2への光入力強度と、ミラー本体 2から光ファイバ 1 1への光出力強度との関係は、図 5に示すように変化することとなる。即ち、この図 5に示すように、光入力強度 1ワット付近で光出力強度は最大値約 0 . 7ワットになることがわかる。

これにより、光入力強度にかかわらず、光出力強度を約 0 . 7ワット以下に抑制することができる。また、光入力強度が約 0 . 4ワット以下では、光入力強度と光出力強度はほぼ等しく、この光入力強度範囲で用いる場合は過剰な損失は発生しない。

上述の構成により、本発明の第 1実施形態においては、光ファイバ 1 1から入力される光（入力光）は、レンズ 1 2を通じてコリメ一ト光としてミラー本体 2で反射するが、この入力光としてのコリメート光自身の輻射圧に応じて、ミラー本体 2が所定角度回転する。即ち、入力光の輻射圧に応じてミラ一本体 2での反射角が変化するので、もとの光ファイバ 1 1に入射される出力光としての割合も、この輻射圧に応じて変化することになる。

たとえば、この入力光を、データが変調されている信号光とした場合においては、本実施形態にかかる光制御装置 1 0としては、光ファイバ 1 1からの光信号の強度を一定レベル以下に抑制する光強度を抑制する光制御装置を構成することができる。

ついで、輻射圧 Fの大きさに応じて、復元力生成機構としての梁 3 a， 3 b で生成される復元力により、ミラー本体 2における反射面の角度を一意に定めることができることについて、以下に詳述する。

説明の便宜のため、たとえば、図 6に示すように、入力光が、光ファイバ 1 1 aから出射されてレンズ 1 2 aによりコリメート光にされて、 M E M Sミラ一をなすミラ一本体 2で反射されて、レンズ 1 2 aとは別なレンズ 1 2 bで集光されて、光ファイバ 1 1 aとは別な出力ファイバ 1 1 bに入射している光学系を想定する。

この場合において、図 7に示すように、光がミラー本体の反射面 2 aで反射する時には、ミラー本体 2を押す力、即ち輻射圧が発生する。図 7に示す光子の蓮動量 Pは、プランク定数を h、波長を λとして、式（1 ) のように表すことができる。

ρ = h/λ … ( 1 ) そして、ミラー本体 2に作用する力 Fは、単位時間あたりにミラー本体 2に衝突する光子の数を ηとして、式（2 ) のように表すことができる。

F = 2 X ρ X η ··· ( 2 ) 光子の数 nは、光の強度（単位時間あたりのエネルギ一）を I、光の速度を cとすると、式（3) のように表すことができる。

n = 1/ (hX c/λ) … (3) したがって、ミラ一本体に作用する力 Fは、式（4) のように表すことができるので、光の強度 Iに比例してミラ一を押す力 F、すなわち輻射圧は大きくなる。

F = 2 X (h/λ) X (1/ (hX c/λ)) = 2 XI/ c … (4) また、前述の図 2に示すように、ミラ一本体 2は固定された細い直方体の梁

3 a， 3 bにつながっているので、この梁 3 a， 3 bを中心軸として回転することができる。そして、ミラー本体 2が回転すると梁 3 a, 3 bがねじれて応力が発生し、ミラー本体 2を元の位置に戻す復元力が発生する。ミラー本体 2 の回転角 0は、ミラー本体 2を回転させるモーメントを T、横弾性係数を G、梁の長さを u、梁の断面の長辺を a、短辺を b、幾何学的形状を表す係数を f

1とすると、式（5) のように表すことができる。

Θ = (T/2) / ( f 1 XGX a X b³) Xu … (5) なお、 f lの値は、梁 3 a, 3 bの断面を長方形とした場合には、この長方形の 2辺 a, bの比 aZbの増加とともに増加するもので、図 8に示すような値をとるようになっている。

また、光がミラ一本体 2の回転軸、すなわち梁 3 a， 3 bから距離 Lの位置に入射しているとすると、ミラー本体 2を回転させるモーメント Tは、式（6

) のように表すことができる。

T = FXL … (6) したがって、ミラー本体 2の回転角 0は、式（7) に示すように表すことができる。即ち、ミラー本体 2は、光の強度 Iに比例して回転するといえる。

Θ 二 (FXL/2) / ( f 1 XGX aXb³) Xu

= (I/c) XL/ ( f XGX a X b ³) Xu … (7) なお、梁 3 a, 3 bの断面形状としては、本実施形態においては長方形であるが、本発明によればこれ以外の形状とすることを妨げるものではない。即ち、式（7) から、梁 3 a, 3 bの断面形状にかかわらず、光の強度 Iに比例してミラ一本体 2が回転するといえる。

図 1に示すように、レンズの焦点距離を f とすると、ミラー本体 2が 0回転した場合、ファイバへ再入射する光線ビームは φ = 20回転し、 _x=f Xtan20 だけ光軸に垂直にずれる。光ファイバ 1 1から出射される光と光ファイバ 1 1 へ入射される光の結合がガウシアンビーム同士の結合と考えると、反射光の光ファイバ 1 1への結合効率 7?は、ファイバのモードフィールド直径を 2 wとして、式（8) のように表すことができる。

以上の関係から、入力光が自分自身の強度に応じた輻射圧で光路中に設けられたミラ一本体 2を回転させて自分自身の結合効率を変化させることができ、簡易、かつ受動的に動作しながら、安価で信頼度の高い光強度抑制制御を行なう光制御装置を実現することができる。

このように、本発明の第 1実施形態によれば、ミラ一デバイス 13として、ミラ一本体 2と復元力生成機構としての梁 3 a， 3 bをそなえているので、入力光が自分自身の強度に応じた輻射圧で光路中に設けられたミラ一本体 2を回転させて自分自身の結合効率を変化させることができ、簡易、かつ受動的に動作しながら、安価で信頼度の高い光強度抑制制御を行なうことができる利点があり、延いては、比較的小規模の光装置や、一般家庭などに用いられる光装置への適用が可能となる。

〔A 1〕第 1実施形態の変形例の説明

図 9 (a), 図 9 (b) および図 10 (a) 〜図 10 (c) は、本発明の第 1 実施形態の変形例を示す図である。上述の第 1実施形態においては、ミラー本体 2の復元力を梁 3 a, 3 bのれじれ応力から得たが、必ずしも梁 3 a, 3 b のねじれ応力である必要はなく、静電気力、磁力、表面張力などでも能動的な動作が可能である。

このため、ミラ一本体 2としては、前述の図 2に示すように必ずしも梁 3 a, 3 bで基板フレーム 1に固定支持される構成を有する必要はなく、例えば図 9 (a), 図 9 (b) に示すように自在に回転できるように構成することができる。図 9 (a) は第 1実施形態の変形例におけるミラーデバイス 13 Aを示す斜視図で、図 9 (b) は図 9 (a) に示すミラ一デバイス 13 Aの A方向矢視図である。

ここで、この図 9 (a), 図 9 (b) に示すミラーデバイス 13 Aにおいては、反射面および反射裏面（上下面）に回転軸 AXに沿った溝 2 A— 1が設けられたミラー本体 2 Aと、ミラー本体 2 Aを上下面の溝 2 A— 1に沿って突起部 1 A— 1， 1 A— 2で挟んで支持する基板フレーム 1 Aをそなえて構成されている。これにより、ミラ一本体 2 Aは、回転軸 AXを中心に基板フレーム 1 A 内において自在に回転させることができるようになつている。

なお、基板フレーム 1 Aには、レンズ 12からの入力光についてミラー本体 2 Aの反射面 2 aに反射させ、その反射戻り光をレンズ 12に導くための開口部 1 A— 2をそなえている。この開口部 1 A— 2は、ミラー本体 2 Aが入力光の輻射圧で回転することによつて光路がずれた反射戻り光についてもレンズ 1 2に導くことができるような大きさを有している。

そして、例えば図 10 (a) 〜図 10 (c) に示すように、磁力，液体の表面張力あるいは静電気力を、上述の第 1実施形態における梁 3 a, 3 bのねじれ応力と同様に復元力として用いるようにすることで、第 1実施形態におけるミラ一デバイス 13と同様の作用効果を得ることができる。尚、図 10 (a) 〜図 10 (c) は、復元力生成機構の構成に着目して、ミラー本体 2Aおよび基板フレーム 1 Aの全体について図示は省略している。

ここで、図 10 (a) に示すものにおいては、ミラ一本体 2 Aの反射裏面上における回転軸 AXについての対称位置に磁性体 41 A, 41 Bをそなえるとともに、基板フレーム底面裏側において上述の 2つの磁性体 41A， 4 I Bに対向する箇所に、 S極磁石 41 Sと N極磁石 41 Nとをそなえて構成されている。換言すれば、 S極磁石 41 Sおよび N極磁石 41 Nは、ミラー本体 2Aの反射面裏側に隔離して設けられ、これらの磁石 41 S, 41Nを通じて得られるミラー本体 2 Aに対する磁力により、復元力を生成することができるようになっている。

すなわち、ミラー本体 2 Aに対して入力光が入射された場合に、この入力光の輻射圧によってミラ一本体 2 Aを回転させようとする力が生じるが、このとき、磁石 4 1 Sおよび磁性体 4 1 Aとの間で生成される磁力、磁石 4 1 Nおよび磁性体 4 1 Bとの間で生成される磁力、および入力光による輻射圧によって、ミラ一本体 2 Aの角度が所定角度で平衡状態とすることができるのである。換言すれば、磁石 4 1 S， 4 I Nによる磁力が作用することにより、この輻射圧の大きさに応じてミラー本体 2 Aの角度位置（ミラ一面の位置）を一意に定めることができる。

したがって、上述の磁石 4 1 S , 4 1 Nおよび磁性体 4 1 A, 4 1 Bにより、ミラー本体 2 Aに復元力となる磁力を与える（復元力生成機構としての）磁力付与機構を構成する。

また、図 1 0 ( b ) に示すものにおいては、ミラー本体 2 Aの反射裏面と基板フレーム 1 Aとの間の空間に液体 4 2 A, 4 2 Bが充填されて構成されたものであって、これらの液体 4 2 A， 4 2 Bを通じて得られるミラー本体 2 Aに対する表面張力により、復元力を生成することができるようになつている。すなわち、ミラー本体 2 Aに対して入力光が入射された場合に、この入力光の輻射圧によってミラ一本体 2 Aを回転させようとする力が生じるが、このとき、液体 4 2 Aによって生成される表面張力、液体 4 2 Bによって生成される表面張力、および入力光による輻射圧によって、ミラー本体 2 Aの角度が所定角度で平衡状態とすることができるのである。

換言すれば、液体 4 2 A， 4 2 Bによる表面張力が作用することにより、この輻射圧の大きさに応じてミラー本体 2 Aの角度位置（ミラー位置）を一意に定めることができる。

したがって、上述の液体 4 2 A， 4 2 Bにより、ミラー本体 2 Aに復元力となる表面張力を与える（復元力生成機構としての）表面張力付与機構を構成する。

さらに、図 1 0 ( c ) に示すものにおいては、ミラ一本体 2 Aの反射裏面上における回転軸 A Xについての対称位置に電極 4 3 A, 4 3 Bをそなえるとともに、基板面裏側において上述の 2つの電極 4 3 A, 4 3 Bに対向する箇所に、電圧印加用の電極 4 3 C , 4 3 Dをそなえて構成されている。換言すれば、電極 4 3 Cおよび 4 3 Dは、ミラー本体 2 Aの反射面裏側に隔離して設けられ、これらの電極 43 C, 43Dにプラス電位を付与することを通じて得られるミラ一本体 2 Aに対する静電気力により、復元力を生成することができるようになっている。

すなわち、ミラ一本体 2 Aに対して入力光が入射された場合に、この入力光の輻射圧によってミラ一本体 2 Aを回転させようとする力が生じるが、このとき、電極 43 C, 43 Aによって生成される静電気力、電極 43D， 43Bによって生成される静電気力、および入力光による輻射圧によって、ミラー本体 2 Aの角度が所定角度で平衡状態とすることができるのである。

換言すれば、電極 43 C， 43Dにプラス電位を付与することによる静電気力が作用することにより、この輻射圧の大きさに応じてミラ一本体 2 Aの角度位置（ミラー位置）を一意に定めることができる。

したがって、上述の電極 43 A〜43Dにより、ミラ一本体 2 Aに復元力となる静電気力を与える（復元力生成機構としての）静電気力付与機構を構成する。

なお、復元力として、磁力，表面張力あるいは静電気力を生成するための構成としては、上述の図 1 0 (a) 〜図 10 (c) に示す態様に限定されるものではない。

〔B〕第 2実施形態の説明

図 1 1は本発明の第 2実施形態にかかる光制御装置 20を示すブロック図であり、この図 1 1に示す光制御装置 20は、前述の第 1実施形態におけるもの (符号 10参照）に比して、ミラ一本体 2に入射する光を信号光および制御光とし、制御光の輻射圧の制御によって、信号光の出力をオンオフ制御する光スイッチを構成するようになっている点が異なっている。

この図 1 1に示す光制御装置 20は、信号光を出射する入力側光ファイバ 1 1 a, 光ファイバ 1 1 aから出射された信号光をコリメート光にするレンズ 1 2 a, 前述の第 1実施形態の場合と同様の MEMSミラー 13， MEMSミラ一 13をなすミラ一本体 2で反射された反射信号光を光ファイバ 1 1 bに導くためのレンズ 12 bおよびレンズ 12 bからの反射信号光が入射される出力側光ファイバ 1 l bをそなえるとともに、本実施形態の特徴的な構成である制御光光源 2 1および輻射圧調整部 2 2をそなえて構成されている。

すなわち、第 2実施形態においても、 M E M Sミラー 1 3に、前述の第 1実施形態の場合と同様の復元力生成機構をそなえ、制御光の輻射圧に応じて角度を一意に設定できるようになつている。この復元力生成機構としては前述の第 1実施形態の場合と同様のねじれ応力のほかに、第 1実施形態の変形例の場合と同様、磁力，表面張力又は静電気力を用いることができる。

なお、光ファイバ 1 1 aおよびレンズ 1 2 aによって、所定角度で入力光を出射する入力光学系を構成し、レンズ 1 2 bおよび光ファイバ 1 1 bによって、ミラー本体 2で反射された入力光を出力光として入射させる出力光学系を構成する。

また、制御光光源 2 1は、ミラー本体 2に向けて制御光を出力するものである。即ち、ミラー本体 2を、その輻射圧によってミラ一位置を設定するための制御光を出力するもので、輻射圧調整部 2 2によってオンオフ制御されるようになっている。

すなわち、輻射圧調整部 2 2は、制御光光源 2 1から出力すべき制御光の強度を調整することにより、当該制御光の輻射圧を調整するものである。具体的には、制御光強度を互いに異なる第 1の強度又は第 2の強度で調整し、第 1の強度で調整された制御光による第 1の輻射圧により、ミラー本体 2の反射面の角度が第 1の角度に定められて、ミラ一本体 2を反射した出力光の出力光学系である光ファイバ 1 1 bへの結合効率をオン状態とし、第 2の強度で調整された制御光による第 2の輻射圧により、ミラー本体 2の反射面の角度が第 2の角度に定められて、ミラー本体 2を反射した出力光の光ファイバ 1 l bへの結合効率をオフ状態としている。

たとえば、輻射圧調整部 2 2が制御光光源 2 1をオン制御することで、第 1 の強度として制御光が出力され、輻射圧調整部 2 2が制御光光源 2 1をオフ制御することで、第 2の強度として制御光が出力されなくなるようになっている。なお、第 2実施形態においては、レンズ 1 2 aからの信号光については、反射面 2 aにおける回転軸 A X上に入射するようになっているので、当該信号光の輻射圧によっては、ミラ一位置は変化することはない。上述の構成により、本発明の第 2実施形態においては、制御光光源 2 1から制御光が出力されている（オン制御されている）状態においては、ミラ一本体 2の角度が図 1 1中の M lと角度（第 1の角度）となるので、レンズ 1 2 aからの信号光のミラー本体 2に対する反射光は、反射信号光 R 1として、レンズ 1 2 bを通じて光ファイバ 1 1 bに導かれるようになつている（出力信号光のオン状態)。

一方、制御光光源 2 1から制御光が出力されていない（オフ制御されている ) 状態においては、ミラー本体 2の角度が図 1 1中の M 2と角度（第 2の角度 ) となるので、レンズ 1 2 aからの信号光のミラ一本体 2に対する反射光は、反射信号光 R 2として、レンズ 1 2 bを通じて光ファイバ 1 1 bには導かれない（出力信号光のオフ状態）。

このように、本発明の第 2実施形態によれば、制御光の輻射圧によって、入力光としての入力信号光に対する反射信号光について、出力光学系である光フアイバ 1 1 bへの結合効率をオンオフ状態とすることができるので、簡素な構成、安価で且つ高信頼度で、光スィッチ機能を実現することができる利点がある。

なお、上述の第 2実施形態においては、単一の制御光光源からの制御光の輻射圧によって、ミラー本体 2の反射面角度を設定して、入力信号光に対する反射信号光の出力ファイバ 1 1 bへの結合効率をオンオフ制御しているが、本発明によれば、制御光光源を 2つそなえ、一方が ONの時、他方が OFFになるように構成することは、光ファイバ、およびレンズの配置を適宜換えることで容易に構成することができる。 '

また、輻射圧調整部 2 2においては、制御光光源 2 1のをオン制御またはォフ制御することにより、制御光の輻射圧を調整しているが、本発明によればこれに限定されず、少なくとも信号光のオンオフ制御を行なうことができるものであれば、必ずしも制御光光源 2 1の制御光についてはオンオフ制御に限定されるものではない。

〔C〕第 3実施形態の説明

図 1 2は本発明の第 3実施形態にかかる光制御装置 3 0を示す図であり、この図 12に示す光制御装置 30は、前述の第 2実施形態におけるもの（符号 2 0参照）に比して、ミラー本体 2に入射する光を 2つの信号光（第 1の信号光および第 2の信号光）および 2つの制御光（第 1の制御光および第 2の制御光 ) とし、これら 2つの制御光の輻射圧制御と、後述するミラー保持作用によつて、 2つの信号光の出力状態を切り替える光フリップフロップ回路を構成するようになつている点が異なつている。

また、この図 12に示す光制御装置 30は、入力光学系として、 2つの信号光を出射する入力側光ファイバ 11 a, 光ファイバ 1 1 aから出射された信号光をコリメート光にするレンズ 12 aをそなえるとともに、前述の第 1，第 2 実施形態の場合と同様の MEMSミラー 13をそなえ、かつ、出力光学系として、レンズ 12 bおよび光ファイバ 1 1 bからなる第 1出力光学系と、レンズ 12 cおよび光ファイバ 1 1 cからなる第 2出力光学系とをそなえている。さらには、光制御装置 30は、前述の第 2実施形態におけるもの（符号 21， 22参照）と同様の機能を有する 2つの制御光光源 31— 1， 31—2および輻射圧調整部 32をそなえるとともに、第 3実施形態において特徴的な構成であるミラ一保持機構としての磁性体 41A， 41 Bおよび磁石 41 S, 41 N をそなえている。

すなわち、第 3実施形態においても、 MEMSミラー 13に、前述の第 1実施形態の場合と同様の復元力生成機構をそなえているが、後述するミラー保持機構により、制御光光源 31— 1, 31— 2からの 2つの制御光の輻射圧に応じて角度が切り替わるとともに、これらの制御光の反射面 2 aへの入射がなくなっても、ミラー位置をそのまま保持させることができるようになつているまた、制御光光源 31 - 1, 31—2は、輻射圧を、 MEMSミラー 13をなすミラ一本体 2に与える制御光を出力するものであって、制御光光源 3 1— 1からの第 1の制御光および制御光光源 31— 2からの第 2の制御光を、ミラ一本体 2の反射面 2 a上において回転軸 AXを挟んだ（例えば回転軸について対称な） 2箇所の位置にそれぞれ入射させるように配置されている。

さらに、前述の図 10 (a) の場合と同様、磁性体 41 A, 41 Bは、ミラ一本体 2の端の反射裏面に塗布されたものであって、 S極磁石 41 Sは、基板フレーム底面裏側において上述の 2つの磁性体 41A, 41 Bに対向する箇所に、 S極磁石 41 Sと N極磁石 41 Nとをそなえて構成されて、磁性体 41 A, 41 Bがそれぞれ磁石 41 S, 41Nと引き合うようになっている。

そして、これらの磁石 41 S， 4 INが磁性体 41 A， 4 I Bと引き合う磁力は、前述の復元力生成機構としての梁 3 a， 3 bのねじれ応力よりも大きい力で引き合うようにして、ミラー本体 2をその回転角が最大となる 2つの状態 (図 12中の状態 M3又は状態 M4) のどちらかに保持させることができるようになつている。

換言すれば、上述の磁性体 41 A, 41 B, 磁石 41 S, 41Nにより、制御光光源 31— 1， 31— 2からの第 1および第 2の制御光の入力が無くなつた場合においても、ミラ一位置を保持するためのミラ一位置保持機構としての機能を有している。

そして、輻射圧調整部 32は、制御光光源 3 1— 1, 31— 2から出力すベき第 1および第 2の制御光の強度を調整することにより、第 1および第 2制御光の輻射圧を調整するものである。

具体的には、制御光光源 31— 1からの第 1の制御光をオン制御するとともに制御光光源 31— 2からの第 2の制御光をオフ制御することにより、第 1の制御光における輻射圧をトリガとしてミラー本体 2の面を第 1状態（例えば図 12中の面状態 M3) に保持することができる。又、制御光光源 31— 2からの第 2の制御光をオン制御するとともに制御光光源 31— 1からの第 1の制御光をオフ制御することにより、第 2の制御光における輻射圧をトリガとしてミラー本体 2の面を第 2状態（例えば図 12中の面状態 M4) に保持することができる。

上述の構成により、本発明の第 3実施形態においては、輻射圧調整部 32によって第 1および第 2の制御光による輻射圧を制御するとともに、例えば第 1 の制御光による輻射圧をトリガとしてミラー本体 2の面を M 3の状態に保持する一方、第 2の制御光における輻射圧をトリガとしてミラー本体 2の面を M 4 の状態に保持することができる。

このとき、第 1の制御光または第 2の制御光がオフとなった場合においても、ミラー位置保持機構としての磁性体 4 1 A， 4 I Bおよび磁石 4 1 S， 4 I N からの磁力による作用によって、継続してミラー面の状態が M 3または M 4の状態で保持されている。

このようなミラー面の切り替わり動作を利用することにより、例えば図 1 3 に示すように、第 1の制御光をオンとし第 2の制御光をオフとしてミラー面を M 3の状態とした場合には、 2つの信号光が第 1出力光学系の光ファイバ 1 1 bに導かれる。このとき、第 1の信号光はオンとなり第 2の信号光はオフとなるように光フリップフロップとしての設定を行なうことができる。

同様に、第 1の制御光をオフとし第 2の制御光をオンとしてミラ一面を M 4 の状態とした場合には、 2つの信号光が第 2出力光学系の光ファイバ 1 1 cに導かれる。このとき、第 1の信号光はオフとなり第 2の信号光はオンとなるように光フリップフロップとしての設定を行なうことができる。

なお、上述のごとく、第 1の制御光又は第 2の制御光についてオン制御がなされると、その後、双方の制御光がオフとなっても、ミラー本体 2の面は直前の状態を保持することができるので、 2つの信号光のオンオフ設定についても、直前の状態を保持させることができる。

このように、本発明の第 3実施形態によれば、ミラ一位置保持機構としての磁性体 4 1 A, 4 1 B , 磁石 4 1 S , 4 1 Nと、 2つの制御光の輻射圧におけるいずれかのトリガとによって、入力光としての 2つの信号光に対する反射信号光の出力を 2つの状態に切り替えることができるので、簡素な構成、安価で且つ高信頼度で、光フリップフ口ップ機能を実現することができる利点がある。なお、上述の本実施形態においては、復元力生成機構を梁 3 a , 3 bのねじれ応力とし、ミラ一位置保持機構を磁性体 4 1 A， 4 I Bおよび磁石 4 I S , 4 I Nによる磁力を用いているが、本発明によれば、これに限定されず、ねじれ応力、静電気力、磁力あるいは表面張力のいずれか 2つを適宜組み合わせることで、上述の第 3実施形態の場合と同様の光フリップフ口ップを構成することも可能である。

また、輻射圧調整部 3 2においては、制御光光源 3 1— 1， 3 1— 2のいずれか一方をオン制御とした場合に、他方をオフ制御するようにしているが、本発明によればこれに限定されず、少なくともミラー本体 2の面が M 3， M 4のいずれか一方に保持させるためのトリガとなれば、制御光光源 3 1— 1， 3 1 一 2に対して他の態様で制御を行なうようにしてもよい。

〔D〕その他

なお、上述した実施形態に関わらず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

また、本発明の各実施形態が開示されていれば、当業者によって製造することが可能である。産業上の利用可能性

以上のように、本発明のミラーデバイスおよび光制御装置は、光通信システムに有用であり、特に過大な光が入力されることを防止するほか、光スィッチングゃ光フリップフロップ機能を行なうのに適している。

Claims

請求の範囲

1 . 反射面が回転可能に構成されるとともに、入力される入力光の輻射圧により反射面が回転するミラーと、

該入力光の輻射圧で回転したミラーを元の位置に復元させようとする復元力を生成しうる復元力生成機構とをそなえて構成されたことを特徴とする、ミラ一デバイス。

2 . 該輻射圧を該ミラーに与える入力光を、信号光とすべく構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1項記載のミラーデバイス。

3 . 該輻射圧を該ミラ一に与える入力光を制御光とするとともに、信号光を該ミラーの反射面上における回転軸位置で反射させるように構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1項記載のミラーデバイス。

4 . 該制御光を、該ミラーの反射面上において該回転軸を挟んだ 2箇所の位置にそれぞれ入射される第 1および第 2の制御光とするとともに、

前記第 1および第 2の制御光の入力が無くなった場合においても、ミラー位置を保持するためのミラー位置保持機構をそなえて構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 3項記載のミラーデバイス。

5 . 該復元力生成機構が、該ミラーの回転軸を支持するトーシヨンバーをそなえるとともに、該ト一ションバーのねじれ応力を前記復元力とすべく構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1項〜第 4項のいずれか 1項記載のミラ一デバイス。

6 . 該復元力生成機構が、該ミラーに前記復元力となる静電気力を与える静電気力付与機構により構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1項〜第 4 項のいずれか 1項記載のミラ一デバイス。

7 . 該静電気力付与機構が、該ミラーの反射面裏側に隔離して設けられた電極をそなえるとともに、該電極に印加される電圧を通じ該ミラーに与えられる静電気力により、前記復元力を生成すべく構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 6項記載のミラーデバイス。

8 . 該復元力生成機構が、該ミラーに前記復元力となる磁力を与える磁力付与機構により構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1項〜第 4項のいずれか 1項記載のミラーデバイス。

9 . 該磁力付与機構が、該ミラーの反射面裏側に隔離して設けられた磁石をそなえるとともに、該磁石を通じて得られる磁力により、前記復元力を生成すベく構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 8項記載のミラ一デバイス。

1 0 . 該復元力生成機構が、該ミラーに前記復元力となる表面張力を与える表面張力付与機構により構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1項〜第

4項のいずれか 1項記載のミラーデバイス。

1 1 . 所定角度で入力光を出射する入力光光学系と、

該入力光学系からの前記入力光について反射させるミラーデバイスと、該ミラーデバイスで反射された前記入力光を出力光として入射される出力光光学系とをそなえ、

該ミラ一デバイスが、

反射面上に入力される入力光を反射させる、前記反射面が回転可能に構成されたミラーと、

該ミラ一を回転させようとする力に対し該ミラーの位置を元の位置に復元させようとする復元力を生成する復元力生成機構とをそなえ、

該復元力生成機構で生成される復元力によって、前記反射面が所定の角度になるように構成され、

かつ、該ミラーを反射した出力光の該出力光学系への結合効率が、定められた前記反射面の角度となるように、制御することを特徴とする、光制御装置。

1 2 . 所定角度で入力光を出射する入力光光学系と、

該入力光学系からの前記入力光について反射させるミラーデバィスと、該ミラーデバイスで反射された前記入力光を出力光として入射される出力光光学系と、

該ミラ一デバイスに向けて制御光を発光する制御光光源とをなえ、該ミラ一デバイスが、

反射面上に入力される入力光を反射し、前記反射面が回転可能に構成されたミラーと、

該ミラーを回転させようとする力に対し該ミラーの位置を元の位置に復元させようとする復元力を生成する復元力生成機構とをそなえ、

前記入力光が該ミラ一デバイスにおける前記回転のための回転軸上で反射させるように、該入力光学系が配置され、

該復元力生成機構で生成される復元力によって、前記反射面の角度が定めた角度となるように構成され、該ミラーを反射した出力光の該出力光学系への結合効率となるよう前記反射面の角度を制御することを特徴とする、光制御装置。

1 3 . 前記制御光の強度を調整することにより、当該制御光の輻射圧を調整する輻射圧調整部をそなえて構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1 2 項記載の光制御装置。

1 4 . 該輻射圧調整部が、前記制御光強度を互いに異なる第 1の強度又は第 2の強度で調整し、

該第 1の強度で調整された制御光による第 1の輻射圧により、該ミラ一の反射面の角度が第 1の角度に定められて、該ミラーを反射した出力光の該出力光学系への結合効率をオン状態とし、

該第 2の強度で調整された制御光による第 2の輻射圧により、該ミラーの反射面の角度が第 2の角度に定められて、該ミラーを反射した出力光の該出力光学系への結合効率をオフ状態とすべく構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1 3項記載の光制御装置。

1 5 . 該輻射圧を該ミラーに与える制御光を、該ミラーの反射面上において該回転軸を挟んだ 2箇所の位置にそれぞれ入射される第 1および第 2の制御光とするとともに、

前記第 1および第 2の制御光の入力が無くなった場合においても、ミラー位置を保持するためのミラ一保持機構をそなえ、

かつ、該輻射圧制御部が、前記第 1および第 2の制御光による輻射圧を制御することにより、上記の第 1および第 2の制御光のうちいずれか一方における輻射圧をトリガとして該ミラーの面を第 1状態に保持する一方、上記の第 1および第 2の制御光のうちいずれか他方における輻射圧をトリガとして該ミラーの面を第 2状態に保持すべく構成されたことを特徴とする、請求の範囲第 1 3 項記載の光制御装置。

1 6 . 反射面が回転可能に構成されるとともに、入力される入力光の輻射圧により反射面が回転するミラーと、

該入力光によるミラーの回転とは別に、該ミラーを回転させる力を発生する手段とを設けた事を特徴とするミラーデバイス。

1 7 . 反射面が回転可能に構成されたミラーに対して入射される光の輻射圧により該ミラーを回転させ、

該入力光により回転したミラーを所定の位置に回転させることを特徴とするミラーの制御方法。

1 8 . 反射面と、

該反射面を回転させるための回転軸と、

該回転軸を支持する支持部とからなり、

該回転軸と該支持部との関係は該反射面に照射される光の輻射圧により回転可能に構成されていることを特徴とする、ミラ一素子。