WO2005008107A3 - Systeme modulaire de distribution de fluides - Google Patents

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WO2005008107A3
WO2005008107A3 PCT/US2004/022252 US2004022252W WO2005008107A3 WO 2005008107 A3 WO2005008107 A3 WO 2005008107A3 US 2004022252 W US2004022252 W US 2004022252W WO 2005008107 A3 WO2005008107 A3 WO 2005008107A3
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements

Abstract

L'invention se rapporte à un système modulaire permettant la distribution de fluides, comprenant une pluralité de blocs de trajets de fluides individuels qui peuvent être joints à des plaques de substrats et à des blocs d'interface de composants afin de former des lances à gaz et des écrans à plasma. Chaque bloc de trajet de gaz possède un passage de fluides pourvu d'un port d'entrée et d'un port de sortie qui accèdent à une surface commune. Des composés actifs sont montés sur les blocs d'interface, chaque bloc de trajet de gaz s'étendant à travers des composés immédiatement adjacents et interconnectant ces derniers dans une lance ou des lances immédiatement adjacentes. Des caractéristiques d'alignement permettent de s'assurer que les ports d'entrée et de sortie soient correctement positionnés afin de faciliter l'étanchéité.
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