明 細 書 Specification
チューブ接合方法およびチューブ接合装置 Tube joining method and tube joining device
技術分野 Technical field
[0001] 本発明は、チューブを無菌的に接合するチューブ接合装置およびチューブ接合方 法に関する。さらに詳細には、チューブの接合安定性を向上させることができるチュ ーブ接合装置およびチューブ接合方法に関するものである。 The present invention relates to a tube joining apparatus and a tube joining method for joining tubes aseptically. More specifically, the present invention relates to a tube joining apparatus and a tube joining method capable of improving the joining stability of a tube.
背景技術 Background art
[0002] 従来から、チューブ接合装置は、例えば、持続的腹膜透析(CAPD)における透析 液バッグと廃液バッグの交換時などのようにチューブの接合を無菌的に行うために使 用されている。このようなチューブの無菌的接合を行うチューブ接合技術の 1つとして 、例えば、特開平 4-308731号公報に開示されたものがある。この特開平 4-30873 1号公報に開示されたものは、チューブをウェハーにより切断した後に、切断された チューブの一方側を固定しておき、他方側を 180度回転させて切断面同士をつき合 わせ、その状態でウェハーをチューブから抜き取ってチューブ接合を行うようになつ ている。 Conventionally, a tube joining apparatus has been used for aseptically joining tubes, for example, when exchanging a dialysate bag and a waste solution bag in continuous peritoneal dialysis (CAPD). One of the tube joining techniques for aseptically joining such tubes is disclosed, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 4-308731. In the device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 4-308731, after cutting a tube with a wafer, one side of the cut tube is fixed, and the other side is rotated 180 degrees to attach the cut surfaces to each other. At the same time, the wafer is pulled out of the tube in this state and tube joining is performed.
[0003] また、特公平 2—27936号公報に開示されているように、上記したようにチューブ切 断後にチューブを回転させる代わりに、チューブをスライドさせてチューブ接合を行う 方式のものもある。 [0003] Further, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 2-27936, instead of rotating the tube after cutting the tube as described above, there is a method in which the tube is slid and the tube is joined.
[0004] 特許文献 1 :特開平 4一 308731号公報 (第 2 4頁、第 1図) [0004] Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. H4-1308731 (Page 24, Figure 1)
特許文献 2:特公平 2_27936号公報 (第 6 7頁、第 3図) Patent Document 2: Japanese Patent Publication No. 2_27936 (Page 67, Fig. 3)
発明の開示 Disclosure of the invention
発明が解決しょうとする課題 Problems to be solved by the invention
[0005] し力 ながら、上記した特開平 4-308731号公報に開示された装置など従来のチ ユーブ接合装置では、チューブの接合部分にテープあるいはテープ糊などの粘着物 (異物)が付着していると接合強度の低下が発生するという問題があった。チューブ 外面に付着した粘着物が接合面に展開してしまうためである。これは、図 17 (a)に示 すように、まずウェハー 506を上昇させてチューブを切断すると、チューブの接合部
分に付着している異物 509がウェハー 506の両面に付着する。そして、この状態で チューブを回転させると、図 17 (b)に示すように、異物 509が接合面に展開して(広 がって)しまう。さらに、ウェハー 506を下降させる際には、異物 509を接合面に引き 込んでしまう。その結果、図 17 (c)に示すように、接合面に異物 509が引き込まれる ため、接合強度が低下するのである。 [0005] However, in a conventional tube bonding apparatus such as the apparatus disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-308731, the adhesive (foreign matter) such as tape or tape glue adheres to the tube joint. There is a problem that the bonding strength is reduced. This is because the adhesive substance attached to the outer surface of the tube spreads to the joint surface. First, as shown in Fig. 17 (a), when the wafer 506 is first lifted and the tube is cut, The foreign matter 509 adhered to the minute adheres to both sides of the wafer 506. Then, when the tube is rotated in this state, as shown in FIG. 17B, the foreign matter 509 expands (spreads) on the joint surface. Further, when the wafer 506 is lowered, the foreign matter 509 is drawn into the bonding surface. As a result, as shown in FIG. 17C, the foreign matter 509 is drawn into the bonding surface, and the bonding strength is reduced.
[0006] なお、図 17 (a)—(c)ではチューブを切断した後に回転させる場合を示しているが 、特公平 2—27936号公報に開示されているように、チューブを切断した後にチュー ブをスライドさせる場合であっても、チューブをスライドさせるときやウェハーを下降さ せるときに、異物が接合面に展開して同様の問題が発生する。 [0006] FIGS. 17 (a)-(c) show a case where the tube is rotated after being cut. However, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 2-27936, the tube is cut and then turned. Even when the tube is slid, the same problem occurs when the tube is slid or when the wafer is lowered, the foreign matter is spread on the joint surface.
[0007] このため、透析患者は、 日常生活や入浴時のチューブ束ねやチューブ固定には、 プラスチック製コイルを利用したり、下着のゴムなどで緩めに輪を作り、腰に装着する などしてテープを使用しないようにしているのが実情である。このため、チューブの接 合部分に粘着物などの異物が付着している場合でも、接合強度の低下を起こすこと なくチューブの接合を行うことができるチューブ接合装置の開発が望まれている。 [0007] For this reason, dialysis patients use plastic coils for bundling and fixing tubes in daily life and bathing, or make loose loops with rubber underwear and wear them around the waist. The fact is that no tape is used. For this reason, there is a demand for a tube joining apparatus capable of joining tubes without causing a decrease in joining strength even when a foreign substance such as an adhesive adheres to the joining portion of the tubes.
[0008] そこで、本発明は上記した課題を解決するためになされたものであり、チューブの 接合部分に粘着物などの異物が付着していても、接合強度の低下を起こさず安定し てチューブを接合することができるチューブ接合方法およびチューブ接合装置を提 供することを課題とする。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, the joint strength of the tube can be stably reduced without lowering the joint strength. An object of the present invention is to provide a tube joining method and a tube joining apparatus capable of joining tubes.
課題を解決するための手段 Means for solving the problem
[0009] 上記課題を解決するためになされた本発明に係るチューブ接合方法は、複数の可 橈性チューブを無菌的に接合するチューブ接合方法において、前記チューブを扁 平状態に変形させるチューブ保持工程と、切断板により前記チューブを切断するチ ユーブ切断工程と、前記切断板を前記チューブの切断面外に抜き去る切断板抜去 工程と、異なるチューブの切断面同士を溶着して接合するチューブ接合工程とを有 し、前記チューブ切断工程の後に、前記チューブの切断面を前記切断板に押し付け るチューブ押し付け工程を備えることを特徴とする。 [0009] A tube joining method according to the present invention, which has been made to solve the above problem, is a tube joining method for aseptically joining a plurality of flexible tubes, wherein the tube holding step of deforming the tubes into a flat state. A tube cutting step of cutting the tube with a cutting plate, a cutting plate removing step of removing the cutting plate outside the cutting surface of the tube, and a tube joining step of welding and joining the cut surfaces of different tubes. And a tube pressing step of pressing the cut surface of the tube against the cutting plate after the tube cutting step.
[0010] このチューブ接合方法では、チューブ保持工程でチューブを扁平状態に保持し、 チューブ切断工程でチューブを切断板によって切断する。そして、このチューブ切断
工程の後に、チューブの切断面を前記切断板に押し付けるチューブ押し付け工程を 実施する。このため、チューブの切断面が切断板の両面に押し当てられるので、チュ ーブの接合部分に粘着物などの異物が付着していたとしても、その異物はチューブ の接合面外に押し出されるので切断板から離れる。その状態で、切断板抜去工程に て、切断板がチューブの切断面外へ抜き取られ、チューブ接合工程にて、異なるチ ユーブの切断面同士が接合される。したがって、切断板をチューブの切断面外へ抜 き取る際に、異物は切断板に接触していないので、異物をチューブの接合面に引き 込むことがなレ、。このため、チューブの接合部分に粘着物などの異物が付着していて も、安定して良好な接合状態を常に確保することができる。 [0010] In this tube joining method, the tube is held in a flat state in the tube holding step, and the tube is cut by the cutting plate in the tube cutting step. And this tube cutting After the step, a tube pressing step of pressing the cut surface of the tube against the cutting plate is performed. For this reason, the cut surface of the tube is pressed against both surfaces of the cutting plate, so even if foreign matter such as adhesive is attached to the joint of the tube, the foreign matter is pushed out of the joint surface of the tube. Move away from the cutting board. In this state, the cutting plate is pulled out of the cut surface of the tube in the cutting plate extracting step, and the cut surfaces of different tubes are joined in the tube joining step. Therefore, when the cutting plate is pulled out of the cutting surface of the tube, the foreign material does not come into contact with the cutting plate because the foreign material does not contact the cutting plate. Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and good joint state can always be ensured.
[0011] 本発明に係るチューブ接合方法においては、前記チューブ切断工程の後に、前記 チューブの切断面を前記切断板に押し付ける第 1のチューブ押し付け工程と、接合 するチューブの切断面同士が対向するように前記チューブを移動させるチューブ移 動工程と、前記チューブの切断面を前記切断板に押し付ける第 2のチューブ押し付 け工程とを備えることが望ましレ、。 [0011] In the tube joining method according to the present invention, after the tube cutting step, a first tube pressing step of pressing the cut surface of the tube against the cutting plate, and the cut surfaces of the tubes to be joined are opposed to each other. Preferably, the method further includes a tube moving step of moving the tube, and a second tube pressing step of pressing a cut surface of the tube against the cutting plate.
[0012] このように、チューブ移動工程の後に、第 2のチューブ押し付け工程にてチューブ の切断面を前記切断板押し付けることにより、チューブ移動工程を実施した際に異 物が切断板に接触してしまったとしても、その異物をチューブの接合面外に押し出し て切断板から離すことができる。その結果として、次に実施される切断板抜取工程を 実施した際に、異物をチューブの接合面に確実に引き込み展開させなレ、(広がらな レ、)ようにすることができる。したがって、チューブの接合部分に粘着物などの異物が 付着していても、安定して良好な接合状態を常に確保することができる。 As described above, after the tube moving step, the cut surface of the tube is pressed against the cutting plate in the second tube pressing step, so that when the tube moving step is performed, foreign matter comes into contact with the cutting plate. Even if it does, the foreign matter can be pushed out of the joint surface of the tube and separated from the cutting plate. As a result, it is possible to ensure that foreign matter is not reliably drawn into the joint surface of the tube and spread out when the cutting plate extracting step to be performed next is performed. Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and good joint state can always be ensured.
[0013] また、本発明に係るチューブ接合方法においては、前記切断板抜去工程の後に、 前記チューブの切断面同士を押し付ける第 3のチューブ押し付け工程を備えることが 望ましい。 [0013] In addition, the tube joining method according to the present invention preferably includes a third tube pressing step of pressing the cut surfaces of the tubes after the cutting plate removing step.
こうすることにより、切断板抜去工程を実施した際に異物がチューブの接合面に引 き込まれたとしても、異物がチューブの接合面外に押し出されるからである。したがつ て、チューブの接合部分に粘着物などの異物が付着していても、安定して良好な接 合状態を常に確保することができる。
[0014] 上記課題を解決するためになされた本発明に係るチューブ接合装置は、複数の可 橈性チューブを無菌的に接合するチューブ接合装置において、前記チューブを保 持する一対のチューブ保持手段と、前記一対のチューブ保持手段の間で前記チュ ーブを切断する切断板と、前記一対のチューブ保持手段を近接および離間する方 向に移動させる第 1の移動手段とを有し、前記第 1の移動手段は、前記切断板により 前記チューブを切断した後に、前記チューブの切断面を前記切断板に押しつけるた めに前記チューブ保持手段の少なくとも一方を移動させることを特徴とするものであ る。 By doing so, even if foreign matter is drawn into the joint surface of the tube during the cutting plate removal step, the foreign matter is pushed out of the joint surface of the tube. Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and good joint state can always be ensured. [0014] In order to solve the above-mentioned problems, a tube joining apparatus according to the present invention is a tube joining apparatus that aseptically joins a plurality of flexible tubes, and includes a pair of tube holding means for holding the tubes. A cutting plate for cutting the tube between the pair of tube holding units, and a first moving unit for moving the pair of tube holding units toward and away from each other; The moving means moves at least one of the tube holding means in order to press the cut surface of the tube against the cutting plate after cutting the tube by the cutting plate.
[0015] このチューブ接合装置では、一対のチューブ保持手段に保持されたチューブを切 断板によって切断する。そして、チューブ切断後に、第 1の移動手段により、チューブ の切断面を切断板に押し付けるために一対のチューブ保持手段に少なくとも一方が が移動させられる。これにより、チューブの切断面が切断板の両面に押し付けられる 。このため、チューブの接合部分に粘着物などの異物が付着していたとしても、その 異物はチューブの接合面外に押し出されるので切断板から離れる。したがって、その 後の切断板とチューブの接合面との相対的な移動によって、チューブの接合面に異 物を引き込んだり、展開させる(広げる)ことがない。したがって、チューブの接合部分 に粘着物などの異物が付着していても、安定して良好な接合状態を常に確保するこ とができる。 [0015] In this tube joining apparatus, the tube held by the pair of tube holding means is cut by a cutting plate. Then, after cutting the tube, at least one of the pair of tube holding units is moved by the first moving unit to press the cut surface of the tube against the cutting plate. Thereby, the cut surface of the tube is pressed against both surfaces of the cutting plate. Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, the foreign substance is pushed out of the joint surface of the tube and separates from the cutting plate. Therefore, foreign matter is not drawn into or unfolded (spread out) from the joint surface of the tube due to the subsequent relative movement between the cutting plate and the joint surface of the tube. Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and good joint state can always be ensured.
[0016] このように本発明に係るチューブ接合装置によれば、チューブの接合部分に粘着 物などの異物が付着していても、チューブ接合の際にチューブの接合面に異物を引 き込んだり、展開させる(広げる)ことがない。したがって、チューブの接合部分に粘着 物などの異物が付着していても、安定して良好な接合状態を常に確保することができ る。 As described above, according to the tube joining apparatus of the present invention, even if foreign matter such as an adhesive substance is attached to the joint portion of the tube, the foreign matter may be drawn into the joint surface of the tube during tube joining. It does not expand (spread). Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and favorable joint state can always be ensured.
[0017] 本発明に係るチューブ接合装置においては、さらに、前記チューブを切断した後に 、接合するチューブの切断面同士が対向するように前記チューブ保持手段の少なく とも一方を移動させる第 2の移動手段を有することが望ましい。 [0017] In the tube joining apparatus according to the present invention, further, after cutting the tube, the second moving means for moving at least one of the tube holding means so that the cut surfaces of the tubes to be joined face each other. It is desirable to have
このチューブ接合装置では、第 2の移動手段により、接合対象となるチューブの切 断面同士が対向するようにチューブ保持手段が移動させられる。このとき、異物はチ
ユーブの接合面外に押し出されているので、チューブの移動によって異物が接合面 に展開する(広がる)ことがない。したがって、チューブの接合部分に粘着物などの異 物が付着していても、安定して良好な接合状態を常に確保することができる。 In this tube joining apparatus, the tube holding means is moved by the second moving means so that the cut surfaces of the tubes to be joined face each other. At this time, foreign matter Since the tube is pushed out of the joint surface, the foreign matter does not spread (spread) on the joint surface due to the movement of the tube. Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and favorable joint state can always be ensured.
[0018] また、本発明に係るチューブ接合装置においては、前記第 1の移動手段は、前記 第 2の移動手段により接合するチューブの切断面同士が対向した状態で、前記チュ ーブの切断面を前記切断板に押しつけるために前記チューブ保持手段の少なくとも 一方を移動させることが望ましレ、。 [0018] Further, in the tube joining apparatus according to the present invention, the first moving means may be configured such that the cut surfaces of the tubes joined by the second moving means face each other. It is desirable to move at least one of the tube holding means in order to press the tube holding member against the cutting plate.
こうすることにより、接合対象となるチューブの切断面同士が対向させられた状態に おいて、異物が切断板に接触していたとしても、その異物をチューブの接合面外に 押し出して切断板から離すことができるからである。その結果として、次に実施される 切断板抜取工程を実施した際に、異物をチューブの接合面に確実に引き込み展開 させなレ、ようにすること力できる。したがって、チューブの接合部分に粘着物などの異 物が付着していても、安定して良好な接合状態を常に確保することができる。 By doing so, even if foreign matter is in contact with the cutting plate in a state where the cut surfaces of the tubes to be joined are opposed to each other, the foreign matter is pushed out of the joint surface of the tube and is pushed out of the cutting plate. This is because they can be separated. As a result, it is possible to ensure that the foreign matter is not drawn into the joint surface of the tube and unfolded when the next cutting plate extracting step is performed. Therefore, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and favorable joint state can always be ensured.
[0019] さらに、本発明に係るチューブ接合装置においては、前記第 1の移動手段は、前記 チューブを切断した後に、前記切断板が前記チューブの切断面外へ抜き去られた状 態で、前記チューブの切断面同士を押し付けるために前記チューブ保持手段の少な くとも一方を移動させることが望ましい。 [0019] Further, in the tube joining apparatus according to the present invention, the first moving means may cut the tube, and then pull the cutting plate out of the cut surface of the tube. It is desirable to move at least one of the tube holding means in order to press the cut surfaces of the tubes together.
こうすることにより、切断板がチューブから抜き取られる際に異物がチューブの接合 面に引き込まれたとしても、異物がチューブの接合面外に押し出されるからである。し たがって、チューブの接合部分に粘着物などの異物が付着していても、安定して良 好な接合状態を常に確保することができる。 By doing so, even if foreign matter is drawn into the joint surface of the tube when the cutting plate is extracted from the tube, the foreign matter is pushed out of the joint surface of the tube. Therefore, even if foreign matter such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, a stable and good joint state can always be ensured.
発明の効果 The invention's effect
[0020] 本発明に係るチューブ接合方法およびチューブ接合装置によれば、上記したよう に、チューブの接合部分に粘着物などの異物が付着していても、接合強度の低下を 起こさず安定してチューブを接合することができる。 [0020] According to the tube joining method and the tube joining apparatus according to the present invention, as described above, even if a foreign substance such as an adhesive adheres to the joint portion of the tube, the joining strength is not reduced and stably. Tubes can be joined.
図面の簡単な説明 Brief Description of Drawings
[0021] [図 1]本発明のチューブ接続装置の一実施の形態における内部機構の斜視図である
[図 2]本発明のチューブ接続装置の一実施の形態における内部機構の平面図である FIG. 1 is a perspective view of an internal mechanism in one embodiment of a tube connection device of the present invention. FIG. 2 is a plan view of an internal mechanism in one embodiment of the tube connection device of the present invention.
[図 3]クランプローターを示した斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view showing a clamp rotor.
[図 4]図 3におけるロータ一片の A方向断面図である。 FIG. 4 is a sectional view in the A direction of a piece of the rotor in FIG. 3.
[図 5]固定クランプボディを示す斜視図である。 FIG. 5 is a perspective view showing a fixed clamp body.
[図 6]固定クランプボディ 13の平面図である。 FIG. 6 is a plan view of a fixed clamp body 13.
[図 7]第 1チューブ保持具 1の可動クランプ 12を示す分解斜視図である。 FIG. 7 is an exploded perspective view showing a movable clamp 12 of the first tube holder 1.
[図 8]第 1チューブ保持具 1を示した断面図である。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing a first tube holder 1.
[図 9]第 2チューブ保持具 2の固定クランプ 81の外観斜視図である。 FIG. 9 is an external perspective view of a fixing clamp 81 of the second tube holder 2.
[図 10],駆動カム 92の外観斜視図である。 FIG. 10 is an external perspective view of a drive cam 92.
[図 11]固定クランプ 81及びバックル 111を示した斜視図である。 FIG. 11 is a perspective view showing a fixed clamp 81 and a buckle 111.
[図 12]第 1チューブ保持具 1及び第 2チューブ保持具 2を図 1の C方向から示した正 面図である。 FIG. 12 is a front view showing a first tube holder 1 and a second tube holder 2 as viewed from a direction C in FIG. 1.
[図 13]第 1チューブ保持具 1側から見たウェハホルダを示した斜視図である。 FIG. 13 is a perspective view showing the wafer holder viewed from the first tube holder 1 side.
[図 14]チューブ切断時のウェハ 6の位置を示した図である。 FIG. 14 is a diagram showing a position of a wafer 6 at the time of cutting a tube.
[図 15]チューブの切断'接合動作を概念的に示す図である。 FIG. 15 is a view conceptually showing a cutting and joining operation of a tube.
[図 16]チューブの接合部分に粘着物などの異物が付着した場合における異物の動 きを概念的に示す図である。 FIG. 16 is a view conceptually showing the movement of a foreign substance when a foreign substance such as an adhesive adheres to a joint portion of a tube.
[図 17]従来のチューブ接合技術では、チューブの接合部分に異物が付着していると 接合不良が発生することを説明するための図である。 FIG. 17 is a view for explaining that, in a conventional tube joining technique, a joining defect occurs when a foreign substance adheres to a joining portion of a tube.
符号の説明 Explanation of symbols
1 チューブ接合装置 1 Tube joining equipment
2 第 1クランプ 2 First clamp
3 第 2クランプ 3 Second clamp
6 ウエノヽー 6 Ueno
11 , 81 固定クランプ 11, 81 Fixed clamp
12, 82 可動クランプ 12, 82 Movable clamp
24, 224 押圧アーム
25, 225 ローラベアリング 24, 224 Press arm 25, 225 roller bearing
92 駆動カム 92 Drive cam
131 , 231 スプリング 131, 231 spring
293, 294 スライド用カム 293, 294 Slide cam
293a— 293c, 294a— 294c スライドカム面 293a— 293c, 294a— 294c Slide cam surface
発明を実施するための最良の形態 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[0023] 以下、本発明のチューブ接合方法およびチューブ接合装置を具体化した最も好適 な実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。本実施の形態は、持続的腹 膜透析(CAPD)における透析液バッグと廃液バッグの交換時などのチューブ接合に 本発明を適用したものである。 Hereinafter, the most preferred embodiments that embody the tube joining method and the tube joining apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the present embodiment, the present invention is applied to tube joining in continuous peritoneal dialysis (CAPD) such as when exchanging a dialysate bag and a waste liquid bag.
[0024] そこで、まず、本実施の形態に係るチューブ接合装置の概略構成を図 1および図 2 に示す。図 1は、チューブ接合装置の内部機構を示した斜視図であり、図 2は、その 平面図である(可動クランプ 12, 82を除く)。このチューブ接合装置は、チューブ 7, 8 を保持するチューブ保持機構、ウェハー(切断板) 6をチューブ 7, 8に対して移動さ せる切断機構、およびチューブ 7, 8の接合動作毎に新しいウェハー 6を送るための ウェハー送り機構など力 構成されている。そこで、先ずチューブ保持機構の構成に ついて説明する。 [0024] First, FIGS. 1 and 2 show a schematic configuration of the tube joining apparatus according to the present embodiment. FIG. 1 is a perspective view showing the internal mechanism of the tube joining apparatus, and FIG. 2 is a plan view thereof (excluding the movable clamps 12 and 82). This tube joining device consists of a tube holding mechanism that holds the tubes 7 and 8, a cutting mechanism that moves the wafer (cutting plate) 6 with respect to the tubes 7 and 8, and a new wafer 6 for each joining operation of the tubes 7 and 8. And a wafer feed mechanism to send the wafer. Therefore, the configuration of the tube holding mechanism will be described first.
[0025] チューブ保持機構は、 2本のチューブ 7, 8を隙間を開けて 2箇所で保持及び挟み 込み、切断後にそれぞれのチューブを回転させて入れ替えて、異なるチューブの切 断面同士を押し付けて接合させるものである。その主要な構成は、第 1チューブ保持 具 1と第 2チューブ保持具 2であり、それぞれ固定クランプ 11 , 81と、これにピン継手 で連結された可動クランプ 12, 82とから構成されている。 [0025] The tube holding mechanism holds and sandwiches the two tubes 7 and 8 at two locations with a gap therebetween, and after cutting, rotates and replaces each tube, thereby pressing and joining the cut sections of different tubes. It is to let. The main components thereof are a first tube holder 1 and a second tube holder 2, which are respectively composed of fixed clamps 11, 81 and movable clamps 12, 82 connected to the fixed clamps by pin joints.
[0026] 第 1チューブ保持具 1と第 2チューブ保持具 2とは、一定の間隔をもって平行に並べ られ、互いにスライド(近接および離間)可能に設けられている。より詳細に述べると、 第 1チューブ保持具 1は、第 2チューブ保持具 2との間隔を調節できるようスライド可 能に設けられ、第 2チューブ保持具 2は、第 1チューブ保持具 1との間隔を調節できる ようスライド可能に設けられている。そして、第 1チューブ保持具 1と第 2チューブ保持 具 2との間には、切断機構をなすウェハーホルダが配置され、第 1チューブ保持具 1
と第 2チューブ保持具 2とに保持されたチューブ 7, 8に対して直交方向にウェハー 6 を移動させるよう構成されてレ、る。 [0026] The first tube holder 1 and the second tube holder 2 are arranged in parallel at a predetermined interval, and are provided so as to be slidable (approach and separation) from each other. More specifically, the first tube holder 1 is provided so as to be slidable so that the distance between the first tube holder 1 and the second tube holder 2 can be adjusted, and the second tube holder 2 is connected to the first tube holder 1. It is slidable so that the distance can be adjusted. A wafer holder serving as a cutting mechanism is arranged between the first tube holder 1 and the second tube holder 2, and the first tube holder 1 The second tube holder 2 is configured to move the wafer 6 in a direction orthogonal to the tubes 7 and 8 held by the second tube holder 2.
そして、そのウェハー 6によって切断されたチューブを回転させるためのクランプ口 一ターが第 1チューブ保持具 1に設けられている。ここに、図 3は、クランプローターを 示した斜視図であり、図 4は、図 3で示したロータ一片 31 (32)の A方向断面図である Further, a clamp port for rotating the tube cut by the wafer 6 is provided in the first tube holder 1. Here, FIG. 3 is a perspective view showing the clamp rotor, and FIG. 4 is a cross-sectional view in the A direction of the rotor piece 31 (32) shown in FIG.
[0027] クランプローター 30は、一対のロータ一片 31 , 32から構成されるものであり、その口 ータ一片 31 , 32は、ギヤを半割して構成した回転対称形状をなすものである。従つ て、ロータ一片 31 , 32は、共に半円形をした同型のものであり、半割面を重ね合わ せて 1個のクランプローター 30となるものである。 [0027] The clamp rotor 30 is composed of a pair of rotor pieces 31 and 32, and the rotor pieces 31 and 32 have a rotationally symmetric shape formed by splitting gears in half. Therefore, the rotor pieces 31 and 32 are of the same type, both having a semicircular shape, and are formed as a single clamp rotor 30 by overlapping the half surfaces.
具体的には、クランプローター 30は、中央部にチューブを保持するためのチューブ 保持部 33, 33、そのチューブ保持部 33, 33から半径方向に張り出したフランジ部 3 4, 34、及びフランジ部 34, 34外周のリム部 35には、ローターギヤ 36, 36並びに口 ック溝 37a, 37b, 37a, 37bが形成されてなるものである。 Specifically, the clamp rotor 30 includes tube holding portions 33, 33 for holding tubes in the center, flange portions 34, 34 projecting radially from the tube holding portions 33, 33, and flange portions 34. The outer rim 35 has rotor gears 36, 36 and opening grooves 37a, 37b, 37a, 37b formed therein.
[0028] そのチューブ保持部 33, 33は、保持溝 33aと円筒の先端部が中心方向に傾斜し て幅狭になった閉塞部 33b, 33bが形成されている。保持溝 33a, 33aは、チューブ 7, 8の約直径分の深さの断面略半円形の溝であり、閉塞部 33b, 33bは、そこで押し 潰したチューブ 7, 8が扁平形状となって、チューブ管内が閉塞されるだけの隙間を なすように、ともに対称的に形成されている。また、リム部 35, 35に形成されたロック 溝 37a, 37a及びロック溝 37b, 37bは、両方のロータ一片 31 , 32とも同位置に形成 されている。これは、ロック溝 37a, 37aが固定クランプ 11のロック手段に、そしてロッ ク溝 37b, 37bが可動クランプ 12に設けられたロック手段に対応するようにしたためで める。 [0028] The tube holding portions 33, 33 are formed with holding grooves 33a and closed portions 33b, 33b in which the tip of the cylinder is inclined toward the center and narrowed. The holding grooves 33a, 33a are grooves having a substantially semicircular cross section with a depth corresponding to the diameter of the tubes 7, 8, and the closed portions 33b, 33b have the flat tubes 7, 8 crushed there. Both are formed symmetrically so as to form a gap enough to close the inside of the tube. Further, the lock grooves 37a, 37a and the lock grooves 37b, 37b formed in the rim portions 35, 35 are formed at the same position on both the rotor pieces 31, 32. This is because the locking grooves 37a, 37a correspond to the locking means of the fixed clamp 11, and the locking grooves 37b, 37b correspond to the locking means provided on the movable clamp 12.
[0029] 次に、ロータ一片 31, 32が装填される第 1チューブ保持具 1の固定クランプ 11及び 可動クランプ 12について説明する。固定クランプ 11は、図 5に示す固定クランプボデ ィ 13に対し、ボディカバー 14 (図 1参照)を固定して形成されている。固定クランプボ ディ 13は、側壁 15に図示するような外形枠 16が突設され、その外形枠 16にボディ力 バー 14が当てられてネジ止めされる。固定クランプ 1 1は、上面が開放された中空形
状をなすものであり、その中に前述したロータ一片 31 (32)が装填される。更に、ボデ イカバー 14にはステッピングモータ 3 (図 2参照)が固定され、固定クランプ 11内には 、その回転出力をロータ一片 31 (32)へ伝達するギヤ列が設けられる。 Next, the fixed clamp 11 and the movable clamp 12 of the first tube holder 1 into which the rotor pieces 31 and 32 are loaded will be described. The fixed clamp 11 is formed by fixing a body cover 14 (see FIG. 1) to a fixed clamp body 13 shown in FIG. The fixed clamp body 13 has an outer frame 16 projecting from the side wall 15 as shown in the figure, and a body force bar 14 is applied to the outer frame 16 and screwed. Fixed clamp 1 1 is a hollow type with an open top The rotor piece 31 (32) described above is loaded therein. Further, the stepping motor 3 (see FIG. 2) is fixed to the body cover 14, and a gear train for transmitting the rotation output to the rotor piece 31 (32) is provided in the fixed clamp 11.
[0030] 固定クランプボディ 13は、上方の両角部に、単一の支持ブラケット 17と二股の支持 ブラケット 18とが形成されている。単一の支持ブラケット 17は、可動クランプ 12とのピ ン継手用であり、二股の支持ブラケット 18には、その間にベアリング 28が軸支されて いる。 [0030] The fixed clamp body 13 has a single support bracket 17 and a forked support bracket 18 formed at both upper corners. The single support bracket 17 is for a pin joint with the movable clamp 12, and the bifurcated support bracket 18 has a bearing 28 supported therebetween.
また、固定クランプボディ 13の側壁 15の上辺と、ボディカバー 14の上辺(不図示) には、ロータ一片 31 (32)のチューブ保持部 33を支持すベぐ半円形に切り欠かれ た回転支持溝 19が形成されている。そして、側壁 15には、回転支持溝 19と同一中 心の円周上に、ロータ一片 31 (32)を回転支持するローラ 20, 20, 20が軸支されて いる。 3個のローラ 20…は、中央のローラ 20に対して 60°の間隔で両側のローラ 20, 20が対称的に配置されてレ、る。 In addition, the upper side of the side wall 15 of the fixed clamp body 13 and the upper side (not shown) of the body cover 14 have a semicircular notch-shaped rotary support groove for supporting the tube holding portion 33 of the rotor piece 31 (32). 19 are formed. On the side wall 15, rollers 20, 20, 20 for rotatably supporting the rotor piece 31 (32) are supported on the circumference of the same center as the rotation support groove 19. The three rollers 20,... Are arranged such that the rollers 20, 20 on both sides are symmetrically arranged at an interval of 60 ° with respect to the center roller 20.
更に、固定クランプボディ 13には、側壁 15の上辺から突き出るように位置決突起 2 1が形成されている。 Further, a positioning protrusion 21 is formed on the fixed clamp body 13 so as to protrude from the upper side of the side wall 15.
[0031] そして、この固定クランプボディ 13は、前述したように第 1チューブ保持具 1が第 2チ ユーブ保持具 2に対して平行移動できるように形成されている。ここで、図 6は、固定 クランプボディ 13の平面図である。 [0031] The fixed clamp body 13 is formed so that the first tube holder 1 can move in parallel with the second tube holder 2 as described above. Here, FIG. 6 is a plan view of the fixed clamp body 13. FIG.
固定クランプボディ 13は、側壁 15に垂直にスライド管 22が突設され、またガイド口 ーラ 23がスライド管 22の軸方向に回転自在に軸支されている。スライド管 22は、後 述するカム支持台 290から突設されたガイドロッドにはめ込まれ、ガイドローラ 23は、 図 1に示すベース 210に固定されたガイドブロック 29のガイド溝 29a内に配置される 従って、第 1チューブ保持具 1の固定クランプ 11は、固定クランプボディ 13がスライ ド管 22とガイドローラ 23とで支持され、ベース 210から浮いた状態で取り付けられる。 The fixed clamp body 13 has a slide tube 22 projecting vertically from the side wall 15, and a guide roller 23 rotatably supported in the axial direction of the slide tube 22. The slide tube 22 is fitted into a guide rod projecting from a cam support 290 described later, and the guide roller 23 is disposed in a guide groove 29a of a guide block 29 fixed to a base 210 shown in FIG. Therefore, the fixed clamp 11 of the first tube holder 1 is mounted in a state where the fixed clamp body 13 is supported by the slide tube 22 and the guide roller 23 and floats from the base 210.
[0032] また、固定クランプボディ 13には、図 6に示すように押圧アーム 24が第 2チューブ 保持具 2側に突設され、先端にはローラベアリング 25が軸支されている。 As shown in FIG. 6, the fixed clamp body 13 has a pressing arm 24 protruding from the second tube holder 2 side, and a roller bearing 25 supported at the tip.
そして、スライド管 22とガイドローラ 23とで支持された移動可能な固定クランプ 11は
、図 1に示すベース 210に固定された支持壁 181との間にスプリング 131が設けられ 、このスプリング 131によって常時第 2チューブ保持具 2側へと付勢されている。 そのため、押圧アーム 24先端のローラベアリング 25が、後述するカム支持台 290 内の駆動カムに常時当接され、そのカム面を転動可能な構成となっている。 The movable fixed clamp 11 supported by the slide tube 22 and the guide roller 23 A spring 131 is provided between the support wall 181 fixed to the base 210 shown in FIG. 1, and the spring 131 constantly urges the second tube holder 2 side. Therefore, the roller bearing 25 at the tip of the pressing arm 24 is always in contact with a driving cam in a cam support base 290 described later, so that the cam surface can be rolled.
[0033] 続いて図 7は、第 1チューブ保持具 1の可動クランプ 12を示す分解斜視図であり、 第 2チューブ保持具 2側から見た図である。可動クランプ 12は、図示する可動クラン プボディ 51にボディカバー 52が取り付けられ、固定クランプ 11と同様に中空をなす ものであり、その中にロータ一片 31 (32)が装填される。 Next, FIG. 7 is an exploded perspective view showing the movable clamp 12 of the first tube holder 1, as viewed from the second tube holder 2 side. The movable clamp 12 has a body cover 52 attached to a movable clamp body 51 shown in the drawing, and is hollow like the fixed clamp 11, and a rotor piece 31 (32) is loaded therein.
可動クランプボディ 51及びボディカバー 52には、それぞれ対応する位置に半円形 に切り欠かれた回転支持溝 53, 54が形成されている。そして、そのボディカバー 52 には、回転支持溝 54と同一中心の円周上に、ロータ一片 31 (32)を回転支持する口 ーラ 55, 55, 55カ軸支されてレヽる。 3個のローラ 55…は、中央のローラ 55に対して 6 0°の間隔で他の 2個のローラ 55, 55が対称的に配置されている。更に、可動クラン プボディ 51には、その両端にピン継手用の二股の支持ブラケット 56, 57が突設され ている。 In the movable clamp body 51 and the body cover 52, rotation support grooves 53, 54 cut out in a semicircle are formed at corresponding positions. The body cover 52 is rotatably supported by rollers 55, 55, and 55 that rotatably support the rotor piece 31 (32) on the same circumference as the rotation support groove 54. Of the three rollers 55, the other two rollers 55 are arranged symmetrically at an interval of 60 ° with respect to the center roller 55. Further, the movable clamp body 51 is provided with bifurcated support brackets 56, 57 for pin joints at both ends thereof.
[0034] 次に、図 8は、第 1チューブ保持具 1を示した断面図である。具体的には、固定クラ ンプ 11はボディカバー 14を外した固定クランプボディ 13を、可動クランプ 12は可動 クランプボディ 51の断面を、それぞれ簡略化して示した図である。 Next, FIG. 8 is a sectional view showing the first tube holder 1. Specifically, the fixed clamp 11 is a simplified view of the fixed clamp body 13 with the body cover 14 removed, and the movable clamp 12 is a simplified view of the cross section of the movable clamp body 51.
第 1チューブ保持具 1は、固定クランプ 11と可動クランプ 12とが支持ブラケット 17, 56でピン結合され、可動クランプ 12が揺動することによって図示するように重ね合わ され、また図 1に示すように開くよう構成されている。そして、可動クランプ 12の揺動端 に形成された支持ブラケット 57には、バックル 125 (図 7参照)がピン結合され、その 顎部 127が固定クランプ 11のベアリング 28に掛けられて、図示する状態でロックされ るよう構成されてレ、る。 In the first tube holder 1, the fixed clamp 11 and the movable clamp 12 are pin-coupled by the support brackets 17, 56, and the movable clamp 12 is swung to be overlapped as shown in the figure. It is configured to open. A buckle 125 (see FIG. 7) is pin-coupled to a support bracket 57 formed at the swinging end of the movable clamp 12, and its jaw 127 is hung on the bearing 28 of the fixed clamp 11, as shown in FIG. It is configured to be locked with
[0035] 図 8に示す第 1チューブ保持具 1のクランプ状態では、配置されたチューブ 7, 8 (図 [0035] In the clamped state of the first tube holder 1 shown in Fig. 8, the arranged tubes 7, 8 (Fig.
2参照)が、ロータ一片 31 , 32の保持溝 33a, 33aによってそれぞれ保持され、閉塞 部 33b, 33bによって図示するようにクランプして閉塞されるよう構成されている。なお 、図示するクランプローター 30は、図 4で示すロータ一片 31, 32の B— B断面を表し
たものである。 2) are held by the holding grooves 33a, 33a of the rotor pieces 31, 32, respectively, and are clamped and closed by the closing portions 33b, 33b as shown in the figure. The clamp rotor 30 shown in the drawing represents a cross section of the rotor pieces 31 and 32 shown in FIG. It is a thing.
ロータ一片 31 , 32は、チューブ保持咅 33とリム咅 35との間にローラ 20· · · , 55…が入り込むように装填される。従って、図示するクランプ状態では、ロータ一片 31 , 32によって 1個のクランプローター 30 (図 3参照)が構成され、またローラ 20· · ·, 55…は、同一円周上に等間隔(60°間隔)に位置する。なお、このクランプローター 3 0は、閉塞部 33b, 33bが第 2チューブ保持具 2側に突出す向きに配置されている。 また、固定クランプ 11には、ボディカバー 14にステッピングモータ 3 (図 2参照)が固 定され、貫通孔 32a (図 1参照)から内部に進入したモータ軸 3aに駆動ギヤ 61が取り 付けられ、その駆動ギヤ 61がドライブギヤ 63に嚙み合い、そのドライブギヤ 63がクラ ンプローター 30のローターギヤ 36に嚙み合っている。 The rotor pieces 31 and 32 are loaded so that the rollers 20... 55 enter between the tube holding portion 33 and the rim 35. Accordingly, in the illustrated clamped state, one clamp rotor 30 (see FIG. 3) is constituted by the rotor pieces 31 and 32, and the rollers 20... 55 are arranged at equal intervals (60 °) on the same circumference. Interval). The clamp rotor 30 is arranged such that the closing portions 33b, 33b protrude toward the second tube holder 2. In the fixed clamp 11, the stepping motor 3 (see FIG. 2) is fixed to the body cover 14, and the drive gear 61 is attached to the motor shaft 3a that has entered the inside through the through hole 32a (see FIG. 1). The drive gear 61 meshes with the drive gear 63, and the drive gear 63 meshes with the rotor gear 36 of the crank rotor 30.
[0036] そして、固定クランプ 1 1及び可動クランプ 12には、チューブを保持する状態にない 場合、あるいは非クランプ状態の際に、装填されたロータ一片 31, 32が、固定クラン プ 11及び可動クランプ 12内におレ、て図 8に示す位置からずれなレ、よう位置決めする ため、回転防止手段としてのロック手段が設けられている。いずれのロック手段もロー タ一片 31 , 32に形成されたロック、溝 37a, 37bにはまり込んで、ロータ一片 31 , 32の ずれを規制するものである。 [0036] The fixed rotor 11 and the movable clamp 12 receive the loaded rotor pieces 31, 32 when the tube is not held or when the clamp is not clamped. Locking means as a rotation preventing means is provided in 12 for positioning so as not to deviate from the position shown in FIG. Each of the locking means fits into the locks and grooves 37a, 37b formed on the rotor pieces 31, 32, and regulates the displacement of the rotor pieces 31, 32.
[0037] 続いて、第 2チューブ保持具 2について具体的に説明する。ここに、図 9は、第 2チ ユーブ保持具 2の固定クランプ 81の外観斜視図であり、特に第 1チューブ保持具 1側 から見た図である。また、図 10は、駆動カム 92の外観斜視図である。 Next, the second tube holder 2 will be specifically described. Here, FIG. 9 is an external perspective view of the fixing clamp 81 of the second tube holder 2, and is a view particularly seen from the first tube holder 1 side. FIG. 10 is an external perspective view of the drive cam 92. FIG.
この固定クランプ 81は、後述する駆動カム 92を軸支するカム支持台 290に対して スライド可能に配置されている。なお、カム支持台 290は、ベース 210に固定されて いる。また、図 2に示すように、ベース 210に固定された支持壁 281との間にスプリン グ 231が設けられ、このスプリング 231によって常時第 1チューブ保持具 1側へと付勢 されている。そのため、押圧アーム 224先端に設けられたローラベアリング 225が後 述するスライド用カム 294に常時当接され、固定クランプ 81は、そのカム面を転動可 能な構成となっている。 The fixed clamp 81 is slidably disposed on a cam support base 290 that supports a driving cam 92 described later. The cam support 290 is fixed to the base 210. As shown in FIG. 2, a spring 231 is provided between the support 281 and the support wall 281 fixed to the base 210, and the spring 231 constantly urges the spring 231 toward the first tube holder 1. Therefore, the roller bearing 225 provided at the tip of the pressing arm 224 is always in contact with the slide cam 294 described later, and the fixed clamp 81 is configured to be able to roll the cam surface.
[0038] 固定クランプボディ 83は、上方の両角部に、単一の支持ブラケット 87と二股の支持 ブラケット 88とが各々形成されている。単一の支持ブラケット 87は、可動クランプ 82と
のピン継手用であり、二股の支持ブラケット 88には、その間にベアリング 90を支持し ている。また、固定クランプボディ 83には、側壁 85の上辺から突き出るように位置決 突起 89が形成されている。 [0038] The fixed clamp body 83 has a single support bracket 87 and a forked support bracket 88 formed at both upper corners. The single support bracket 87 is And a bifurcated support bracket 88 supports a bearing 90 therebetween. Further, a positioning projection 89 is formed on the fixed clamp body 83 so as to protrude from the upper side of the side wall 85.
固定クランプボディ 83は、側壁 85に垂直にスライド管 32が突設され、またガイド口 ーラ 33がスライド管 32の軸方向に回転自在に軸支されている。スライド管 32は、後 述するカム支持台 290から突設されたガイドロッド 91にはめ込まれ、ガイドローラ 33 は図 1に示すベース 210に固定されたガイドブロック 39のガイド溝 39a内に配置され る。したがって、第 2チューブ保持具 2の固定クランプ 81は固定クランプボディ 83がス ライド管 32とガイドローラ 33とで支持され、ベース 210から浮いた状態で取り付けられ る。 The fixed clamp body 83 has a slide tube 32 projecting vertically from a side wall 85, and a guide roller 33 rotatably supported in the axial direction of the slide tube 32. The slide tube 32 is fitted into a guide rod 91 projecting from a cam support 290 described later, and the guide roller 33 is disposed in a guide groove 39a of a guide block 39 fixed to a base 210 shown in FIG. . Therefore, the fixed clamp 81 of the second tube holder 2 is attached while the fixed clamp body 83 is supported by the slide tube 32 and the guide roller 33 and floats from the base 210.
[0039] 図 10に示すように、駆動カム 92は、減速ギヤ 95と一体的に形成され、図示する位 置にてカム支持台 290によって軸支されている。駆動カム 92は、円形状のスライド用 カム 293 (294)と偏心形状の切断用カム 94とが一体に形成されたものである。つまり 、駆動カム 92は、図 10において減速ギヤ 95を挟んで手前側にスライド用カム 293お よび切断用カム 94が形成され、奥側にスライド用カム 294が形成されている。なお、 スライド用カム 293と 294とは同一構成のものであり、スライド用カム 293が第 1チュー ブ保持具 1をスライドさせるためのものであり、スライド用カム 294が第 2チューブ保持 具 2をスライドさせるためのものである。 As shown in FIG. 10, the drive cam 92 is formed integrally with the reduction gear 95, and is supported by a cam support 290 at a position shown in the figure. The driving cam 92 is formed by integrally forming a circular sliding cam 293 (294) and an eccentric cutting cam 94. That is, the driving cam 92 has a sliding cam 293 and a cutting cam 94 formed on the near side with respect to the reduction gear 95 in FIG. 10, and a sliding cam 294 formed on the back side. The slide cams 293 and 294 have the same configuration. The slide cam 293 is for sliding the first tube holder 1, and the slide cam 294 is for the second tube holder 2. It is for sliding.
駆動カム 92は、ベース 210に固定されたカム支持台 290に支持されている。その力 ム支持台 290の側壁は、駆動カム 92が現れるように大きく切りかかれている。 The drive cam 92 is supported by a cam support 290 fixed to the base 210. The side wall of the support 290 is largely cut so that the driving cam 92 appears.
[0040] これらのスライド用カム 293, 294には、その端面に軸方向の高さを変化させる傾斜 を付けたスライドカム面 293a, 293b, 293c力 S形成されてレヽる。スライドカム面 293a, 293b, 293cは、スライドカム面 293aが最も高ぐスライドカム面 293cが最も低ぐス ライドカム面 293bがその中間の高さとなっている。また、切断用カム 94には、その外 周側面によって偏心カム面 94aが形成されている。 [0040] These slide cams 293, 294 are formed with slide cam surfaces 293a, 293b, 293c having a force S formed on an end face thereof to be inclined to change the height in the axial direction. The slide cam surfaces 293a, 293b, and 293c have an intermediate height with the slide cam surface 293b having the highest slide cam surface 293c and the slide cam surface 293b having the lowest slide cam surface 293c. Further, the cutting cam 94 has an eccentric cam surface 94a formed by an outer peripheral side surface thereof.
一方、ボディカバー 84には、ステッピングモータ 4 (図 2参照)が固定され、図 10に 示すように、貫通孔 84aから内部に進入したモータ軸 4aに駆動ギヤ 96が取り付けら れ、その駆動ギヤ 96と減速ギヤ 95とが嚙み合わされている。
[0041] 次に図 11は、可動クランプ 82及びバックル 120を示した斜視図である。可動クラン プ 82は、一体成形された中空の可動クランプボディ 110によつて構成されたものであ り、両端に二股の支持ブラケット 111 , 112が形成されている。また、可動クランプボ ディ 110には、チューブを通す U字溝 113, 113と側方に突設された閉塞部 114, 1 14が形成され、その間はチューブを軽く押さえるよう隆起した押圧部 115, 115が形 成されている。更に、可動クランプボディ 110には、固定クランプボディ 83の位置決 突起 89に対して揺動端側 (バックル 120側)で当てられる係止壁 116が形成されてい る。 On the other hand, the stepping motor 4 (see FIG. 2) is fixed to the body cover 84, and as shown in FIG. 10, a drive gear 96 is attached to the motor shaft 4a that has entered the inside through the through hole 84a. And reduction gear 95 are combined. Next, FIG. 11 is a perspective view showing the movable clamp 82 and the buckle 120. The movable clamp 82 is constituted by a hollow movable clamp body 110 which is integrally formed, and has bifurcated support brackets 111 and 112 at both ends. Further, the movable clamp body 110 is formed with U-shaped grooves 113, 113 through which tubes are inserted, and closed portions 114, 114 projecting sideways, between which are pressed pressing portions 115, 115 protruding so as to lightly hold the tubes. Is formed. Further, the movable clamp body 110 is provided with a locking wall 116 which is applied to the positioning projection 89 of the fixed clamp body 83 on the swing end side (the buckle 120 side).
そして、この可動クランプボディ 110には、その支持ブラケット 112にバックル 120が ピン結合される。バックル 120は、図 7に示した第 1チューブ保持具 1側のバックル 12 5をはめ込んで一体のものとなるよう構成されている。即ちバックル 120の把持板 121 は、片側(第 1チューブ保持具 1側)に大きく張り出し、そこに、バックル 125の揷入部 126及びピン 129を挿入させる挿入溝 122が形成されている。そして、支持ブラケット 112の位置には、バックル 125と同様に顎部 123及び押圧突片 124が形成されてい る。 Then, a buckle 120 is pin-coupled to the support bracket 112 of the movable clamp body 110. The buckle 120 is configured so that the buckle 125 on the first tube holder 1 side shown in FIG. That is, the gripping plate 121 of the buckle 120 protrudes largely on one side (the first tube holder 1 side), and an insertion groove 122 for inserting the insertion portion 126 of the buckle 125 and the pin 129 is formed therein. At the position of the support bracket 112, similarly to the buckle 125, a jaw 123 and a pressing projection 124 are formed.
[0042] そこで、第 2チューブ保持具 2は、固定クランプボディ 83に対して可動クランプ 82が 支持ブラケット 111によってピン結合され、その可動クランプ 82が揺動することによつ て重ね合わされ、また図 1に示すように開くよう構成されてレ、る。 Therefore, the second tube holder 2 is overlapped by the movable clamp 82 being pin-coupled to the fixed clamp body 83 by the support bracket 111 and the movable clamp 82 swinging. It is configured to open as shown in FIG.
そして、可動クランプ 82の揺動端にピン結合されたバックル 120の顎部 123がベア リング 90に掛けられて、クランプ状態でロックされるよう構成されている。 The jaw 123 of the buckle 120, which is pin-coupled to the swinging end of the movable clamp 82, is hung on the bearing 90 and is locked in a clamped state.
第 1チューブ保持具 2のクランプ状態では、固定クランプボディ 83の保持溝 98と可 動クランプボディ 110の閉塞部 114とは、チューブ 7, 8を扁平させてチューブ管内を 閉塞するだけの隙間があけられるよう構成されている。 When the first tube holder 2 is clamped, there is a gap between the holding groove 98 of the fixed clamp body 83 and the closing portion 114 of the movable clamp body 110 so that the tubes 7 and 8 are flattened and the inside of the tube tube is closed. It is configured to be.
[0043] 以上のような第 1チューブ保持具 1及び第 2チューブ保持具 2は、図 1及び図 2に示 すように、ベース 210に対して平行に配置される。具体的には、ベース 210に直接固 定されたカム支持台 290から突設されたガイドロッド 91 (図 10参照)に、第 1チューブ 保持具 1に設けられたスライド管 22がはめ込まれる。そして、第 1チューブ保持具 1は 、固定クランプ 11がガイドローラ 23によって他方も支持されるので、第 1チューブ保
持具 1自身のベース 210に対する平行を保って、第 2チューブ保持具 2と距離を調節 するような移動が可能となる。 The first tube holder 1 and the second tube holder 2 as described above are arranged in parallel to the base 210, as shown in FIGS. Specifically, the slide tube 22 provided on the first tube holder 1 is fitted into a guide rod 91 (see FIG. 10) projecting from a cam support 290 directly fixed to the base 210. Then, since the fixed clamp 11 is also supported by the guide roller 23, the first tube holder 1 holds the first tube. The holder 1 itself can be moved parallel to the base 210 while adjusting the distance to the second tube holder 2.
[0044] また、第 2チューブ保持具 2の固定クランプボディ 83に設けられたスライド管 32が、 カム支持台 290から突設されたガイドロッド 91にはめ込まれる。そして、第 2チューブ 保持具 2は固定クランプ 83がガイドローラ 33によって他方も支持されているため、第 2チューブ保持具 2も第 1チューブ保持具 1との平行と、第 2チューブ保持具 2自身の ベース 210に対する平行を保って、第 1チューブ保持具 1と距離を調節するような移 動が可能となる。 The slide tube 32 provided on the fixed clamp body 83 of the second tube holder 2 is fitted into a guide rod 91 protruding from the cam support base 290. The second tube holder 2 is parallel to the first tube holder 1 and the second tube holder 2 itself because the other clamp 83 is also supported by the guide roller 33. The movement of adjusting the distance to the first tube holder 1 can be performed while maintaining parallelism with the base 210.
[0045] このようにカム支持台 290に対して移動可能に支持された第 1チューブ保持具 1は 、固定クランプボディ 13がスプリング 131によって常時第 2チューブ保持具 2側へと付 勢されている。そのため、第 1チューブ保持具 1に突設された押圧アーム 24のローラ ベアリング 25 (図 6参照)が、カム支持台 290に設けられた駆動カム 92のスライド用力 ム 293に当接し、常にそのカム面を転動するように構成されている。 In the first tube holder 1 movably supported by the cam support base 290 as described above, the fixed clamp body 13 is constantly biased toward the second tube holder 2 by the spring 131. . Therefore, the roller bearing 25 (see FIG. 6) of the pressing arm 24 protruding from the first tube holder 1 comes into contact with the sliding force 293 of the driving cam 92 provided on the cam support base 290, and the cam It is configured to roll on a surface.
[0046] 一方、第 2チューブ保持具 2は、固定クランプボディ 81がスプリング 231によって常 時第 1チューブ保持具 1側へと付勢されている。そのため、第 2チューブ保持具 2に 設けられた押圧アーム 224のローラベアリング 225 (図 9参照) 1S カム支持台 290に 設けられた駆動カム 92のスライド用カム 294に当接し、常にそのカム面を転動するよ うに構成されている。 On the other hand, in the second tube holder 2, the fixed clamp body 81 is constantly biased toward the first tube holder 1 by the spring 231. Therefore, the roller bearing 225 of the pressing arm 224 provided on the second tube holder 2 (see FIG. 9) comes into contact with the sliding cam 294 of the driving cam 92 provided on the 1S cam support base 290, and the cam surface is always It is configured to roll.
[0047] そして、第 1チューブ保持具 1と第 2チューブ保持具 2とは、図 12に示すように、ロー タ一片 31 (32)の保持溝 33b, 33bにおけるチューブ 7, 8の閉塞部と、固定クランプ 81の保持溝 98先端および可動クランプ 82の閉塞部 114によるチューブ 7, 8の閉塞 部との間に、僅かな隙間が空けられるように配置されている。図 12は、第 1チューブ 保持具 1及び第 2チューブ保持具 2を図 1の C方向から示した正面図である。 As shown in FIG. 12, the first tube holder 1 and the second tube holder 2 are connected to the closed portions of the tubes 7 and 8 in the holding grooves 33b and 33b of the rotor piece 31 (32). It is arranged so that a slight gap is provided between the end of the holding groove 98 of the fixed clamp 81 and the closed part of the tubes 7 and 8 by the closed part 114 of the movable clamp 82. FIG. 12 is a front view showing the first tube holder 1 and the second tube holder 2 from the direction C in FIG.
[0048] そして、チューブ 7, 8を閉塞させて保持した第 1チューブ保持具 1と第 2チューブ保 持具 2との間には、チューブ 7, 8を切断するウェハー 6を上下させるための切断機構 が設けられている。 [0048] Between the first tube holder 1 and the second tube holder 2 holding the tubes 7 and 8 closed, a cutting for raising and lowering the wafer 6 for cutting the tubes 7 and 8 is performed. A mechanism is provided.
そこで、次に切断機構について説明する。前述したような第 1チューブ保持具 1と第 2チューブ保持具 2との間には、ウェハー 6を保持して上下させるウェハーホルダが
配置されている。ここに、図 13は、ウェハー 6を保持するためのウェハーホルダを示し た斜視図である。 Therefore, the cutting mechanism will be described next. Between the first tube holder 1 and the second tube holder 2 as described above, a wafer holder for holding and raising and lowering the wafer 6 is provided. Are located. FIG. 13 is a perspective view showing a wafer holder for holding the wafer 6.
[0049] ウェハーホルダ 140は、カム支持台 290により支持されているガイドロッド 91に対し て揺動支持されるものであり、そのガイドロッド 91にはめ込まれる揺動管 142を備え たベース板 141に、固定板 143及び開閉板 145とが両面に設けられている。固定板 143はベース板 141に対して第 1チューブ保持具 1側に固定され、両板の間にはゥ ェハー 6が通る不図示の溝が形成されている。固定板 143には、 2箇所において上 方に突き出し、ウェハー 6の上方へのズレを防止する返しを備えたズレ止め 143a, 1 43bが形成されている。 The wafer holder 140 is swingably supported by a guide rod 91 supported by a cam support base 290, and is mounted on a base plate 141 having a swing tube 142 fitted into the guide rod 91. The fixing plate 143 and the opening / closing plate 145 are provided on both sides. The fixing plate 143 is fixed to the first tube holder 1 side with respect to the base plate 141, and a groove (not shown) through which the wafer 6 passes is formed between the two plates. The fixing plate 143 is formed with shift stoppers 143a and 143b that protrude upward at two locations and have barbs that prevent the wafer 6 from shifting upward.
[0050] 開閉板 145は、下部にて軸支され、更にその軸支部分の下方側で付勢部材によつ て付勢されて、上方が固定板 143に対して当接 *離間、即ち開閉するよう設けられて いる。開閉板 145には、固定板 143のズレ止め 143aの位置に対応して電極 146a, 146bが設けられ、このウェハーホルダ 140内に装填されたウェハー 6の抵抗体端子 に接触して通電するよう構成されている。また、開閉板 145には、固定板 143の他方 のズレ止め 143bに対応するように押圧片 145bが形成されている。更に、開閉板 14 5の外面には、ウェハー 6の進入方向に沿って平行に一本の凸ライン 145sが形成さ れている。 The opening / closing plate 145 is pivotally supported at a lower portion, and further urged by an urging member at a lower side of the shaft supporting portion, so that the upper portion is in contact with the fixed plate 143 * separated, ie, It is provided to open and close. The opening / closing plate 145 is provided with electrodes 146a and 146b corresponding to the position of the displacement prevention 143a of the fixing plate 143. The electrodes 146a and 146b are configured to contact the resistor terminals of the wafer 6 loaded in the wafer holder 140 and to conduct electricity. Have been. Further, a pressing piece 145b is formed on the opening / closing plate 145 so as to correspond to the other stopper 143b of the fixed plate 143. Further, on the outer surface of the opening / closing plate 145, one convex line 145s is formed in parallel along the direction in which the wafer 6 enters.
[0051] また、ベース板 141には、ウェハー 6を固定板 143側に押し付けて位置決めするた めの位置決用板バネ 147a, 147b, 147cが設けられ、最後尾の板バネ 147aに重な るように後退防止用板パネ 148が設けられている。位置決用板パネ 147a, 147b, 1 47cは、ウェハーホルダ 140内に装填されたウェハー 6の高さの下端で前後 3箇所を 押さえるように配置され、後退防止用板パネ 148は、通り過ぎたウェハー 6の退路を 断っための返シ 148aが形成されている。 [0051] The base plate 141 is provided with positioning leaf springs 147a, 147b, 147c for pressing the wafer 6 against the fixing plate 143 to position the wafer 6, and overlaps the rearmost leaf spring 147a. As described above, receding prevention plate panel 148 is provided. The positioning plate panels 147a, 147b, and 147c are arranged so as to press the front and rear three places at the lower end of the height of the wafer 6 loaded in the wafer holder 140, and the receding prevention plate panel 148 is used for the passing wafer 148. A return 148a is formed to refuse the exit of step 6.
[0052] そして、このようなウェハーホルダ 140は、第 1チューブ保持具 1および第 2チュー ブ保持具 2とともにガイドロッド 91にはめ込まれ、第 1チューブ保持具 1との間に配設 されたスプリング 153 (図 2参照)によって、第 2チューブ保持具 2側へ付勢されている Then, such a wafer holder 140 is fitted into the guide rod 91 together with the first tube holder 1 and the second tube holder 2, and a spring disposed between the wafer holder 140 and the first tube holder 1. 153 (see Fig. 2) biased toward the second tube holder 2
[0053] また、ウェハーホルダ 140には、ベース板 141に固定された軸にローラベアリング 1
55が軸支されている。図示しないが、ウェハーホルダ 140は、このローラベアリング 1 55がカム支持台 290内に進入し、駆動カム 92に形成された切断用カム面 94におけ る偏心カム面 94aの頂部に載せられた状態で取り付けられる。 The wafer holder 140 has a roller bearing 1 on a shaft fixed to the base plate 141. 55 are supported. Although not shown, the wafer holder 140 is in a state where the roller bearing 1 55 enters the cam support base 290 and is mounted on the top of the eccentric cam surface 94 a of the cutting cam surface 94 formed on the driving cam 92. Installed with.
また、不図示のバネにより、ウェハーホルダー 140のローラベアリング 155が常に偏 心カム面 94aを転動するように構成されている。 The roller bearing 155 of the wafer holder 140 is configured to always roll on the eccentric cam surface 94a by a spring (not shown).
[0054] 次に、ウェハーホルダ 140にウェハー 6を送り込むためのウェハー送り機構にっレヽ て説明する。ウェハー 6は、図 1及び図 2に示すウェハーカセット 160内に複数枚が 重ねて収納され、送りライン上に押し出された 1枚のウェハー 6が、その送りラインに 沿って移動する送りコマ 161によって矢印 X方向(図 2参照)に押し出されるよう構成 されている。 Next, a wafer feeding mechanism for feeding the wafer 6 into the wafer holder 140 will be described. A plurality of wafers 6 are stored in a wafer cassette 160 shown in FIGS. 1 and 2 in a stacked manner, and one wafer 6 extruded on a feed line is moved by a feed frame 161 moving along the feed line. It is configured to be pushed in the direction of arrow X (see Fig. 2).
送りコマ 161は、先端部にウェハー 6の厚さ分の段差による爪部 161aが形成され、 スライダ 162と一体に形成されている。スライダ 162は、ベース 210上に固定された支 持壁 181 , 182間に掛け渡して固定されたガイドロッド 171に摺動支持されている。 The feed piece 161 has a claw portion 161 a formed at the tip thereof by a step corresponding to the thickness of the wafer 6, and is formed integrally with the slider 162. The slider 162 is slidably supported by a guide rod 171 fixed between the support walls 181 and 182 fixed on the base 210.
[0055] また、支持壁 181 , 182には、ガイドロッド 171と平行に掛け渡された雄ネジ 172が 回転自在に支持されている。そして、スライダ 162と一体的に形成された雌ネジブ口 ック 163にボールを保持した雌ネジが形成され、雄ネジ 172に螺合してボールネジが 構成されている。 Further, a male screw 172 hung in parallel with the guide rod 171 is rotatably supported by the support walls 181, 182. A female screw holding a ball is formed in a female screw block 163 formed integrally with the slider 162, and a ball screw is formed by screwing with the male screw 172.
雄ネジ 172には、支持壁 182側端部に伝達ギヤ 173が固定されている。そして、支 持壁 182には、外側力 ステッピングモータ 5が固定され、その支持壁 182を貫いた モータ軸に固定された駆動ギヤ 174と、伝達ギヤ 173とが嚙み合っている。 The transmission gear 173 is fixed to the male screw 172 at the end on the support wall 182 side. The outer force stepping motor 5 is fixed to the support wall 182, and the drive gear 174 fixed to the motor shaft penetrating the support wall 182 is engaged with the transmission gear 173.
[0056] 更に、雌ネジブロック 163の上面には、上下に板材 2枚が重ねて取り付けられたマ 一力 166, 167力 S設けられてレヽる。一方、支持壁 181, 182には、図 2に示すように制 御基板 183が固定され、その制御基板 183には待機検出センサ 185と送り検出セン サ 186とが設けられている。待機検出センサ 185は、マーカ 166の位置によって送り コマ 161の待機位置を検出するセンサであり、送り検出センサ 186は、マーカ 167の 位置によって送りコマ 161の送り位置を検出するセンサである。マーカ 166, 167は、 その検出対象部分である先端の開き具合を調節できるように雌ネジブロック 163に対 して軸支されている。
また、ガイドロッド 171には、スライダ 162のオーバーランを防止するストッパ 175, 1 76力 S、それぞれ支持壁 181 , 182に当てられて嵌合されている。 Further, on the upper surface of the female screw block 163, there is provided a pair of upper and lower plates 166, 167, and S, which are provided with two plate members stacked one on top of the other. On the other hand, a control board 183 is fixed to the support walls 181 and 182 as shown in FIG. 2, and the control board 183 is provided with a standby detection sensor 185 and a feed detection sensor 186. The standby detection sensor 185 is a sensor that detects the standby position of the feed frame 161 based on the position of the marker 166, and the feed detection sensor 186 is a sensor that detects the feed position of the feed frame 161 based on the position of the marker 167. The markers 166 and 167 are pivotally supported on the female screw block 163 so that the degree of opening of the tip, which is the detection target portion, can be adjusted. Further, stoppers 175 and 176 for preventing the slider 162 from overrunning are fitted on the guide rod 171 against the support walls 181 and 182, respectively.
[0057] 更に、スライダ 162には、送りコマ 161の下方から支持アーム 168が突設され、支持 アーム 168の先端には更にピン 169が突設されている。一方、支持壁 182とカム支 持台 390とに、角柱形状の梁 191がガイドロッド 171に平行に掛け渡されている。梁 1 91は、角部に段差を付けたレール 192が形成され、そのレール 192上に角柱形状 の操作ロッド 195が載せられている。この操作ロッド 195には、裏面に縦方向に沿つ てガイド溝 195aが形成され、レール 192に突設された案内ピン 193にはめられてい る。 Further, a support arm 168 is provided on the slider 162 from below the feeder 161, and a pin 169 is further provided on the tip of the support arm 168. On the other hand, a prism-shaped beam 191 is stretched between the support wall 182 and the cam support 390 in parallel with the guide rod 171. The beam 191 is formed with a rail 192 having a step at the corner, and a prismatic operation rod 195 is mounted on the rail 192. The operating rod 195 has a guide groove 195 a formed on the back surface along the vertical direction, and is fitted on a guide pin 193 protruding from the rail 192.
そして、スライダ 162から突設された支持アーム 168の先端力 この操作ロッド 195 の後端部に横から当てられ、その支持アーム 168先端のピン 169が、操作ロッド 191 に軽くはめ込まれている。 The distal end force of the support arm 168 protruding from the slider 162 is applied to the rear end of the operation rod 195 from the side, and the pin 169 at the end of the support arm 168 is lightly fitted into the operation rod 191.
[0058] 次に、以上のような構成からなるチューブ接合装置のチューブ接合動作について 図 15 (a)— (f)および図 16 (a)— (f)をも参照しながら説明する。図 15 (a)— (f)は、 チューブの切断'接合動作を概念的に示す図である。図 16 (a)—(f)は、チューブの 接合部分に粘着物などの異物が付着した場合における異物の動きを概念的に示す 図である。このチューブ接合装置は、可動クランプ 12, 82の上部を除く全体が不図 示のカバーによって覆われている。図 1に示すように可動クランプ 12, 82を上に開け ば、固定クランプ 11 , 81の上面が現れ、チューブ 7, 8のセットが可能な状態となる。 そこで、使用者は、 2本のチューブ 7, 8 (図 2参照)をそれぞれチューブガイド 100に はめ込む。 Next, the tube joining operation of the tube joining apparatus having the above configuration will be described with reference to FIGS. 15 (a)-(f) and FIGS. 16 (a)-(f). FIGS. 15 (a)-(f) are diagrams conceptually showing tube cutting and joining operations. FIGS. 16 (a)-(f) are diagrams conceptually showing the movement of a foreign substance when a foreign substance such as an adhesive adheres to a joint portion of a tube. This tube joining device is entirely covered with a cover (not shown) except for the upper portions of the movable clamps 12 and 82. When the movable clamps 12 and 82 are opened upward as shown in FIG. 1, the upper surfaces of the fixed clamps 11 and 81 appear, and the tubes 7 and 8 can be set. Therefore, the user fits the two tubes 7 and 8 (see FIG. 2) into the tube guide 100, respectively.
[0059] 続いて、使用者は、チューブ 7, 8をセットした後、図 1に示す状態のチューブ接合 装置をバックル 120を持って可動クランプ 12, 82を閉じる。即ち、可動クランプ 12, 8 2を固定クランプ 11, 81へと重ね、これらによってチューブ 7, 8を保持してクランプさ せる。 Subsequently, after setting the tubes 7 and 8, the user holds the buckle 120 and closes the movable clamps 12 and 82 of the tube joining device in the state shown in FIG. That is, the movable clamps 12, 8 2 are superimposed on the fixed clamps 11, 81, and the tubes 7, 8 are held and clamped by these.
バックノレ 120は、バックル 125と一体的に形成されているため、把持板 121 (図 11 参照)を持って操作することによって、両方の可動クランプ 12, 82を一緒に閉じること ができる。そして、可動クランプ 12, 82が固定クランプ 11 , 81に重ねられた状態(図
8参照)でノ ックノレ 120を回転させれ ίま、類咅 127力 S固定クランプ 11 , 81のべ ァリング 28, 90に引つ力けられてロック状態になる。 Since the buckle 120 is formed integrally with the buckle 125, both movable clamps 12, 82 can be closed together by operating the holding plate 121 (see FIG. 11). Then, the movable clamps 12, 82 are overlaid on the fixed clamps 11, 81 (see FIG. (See 8) to rotate the knocking knob 120, and it is pulled by the bearings 28, 90 of the class 127 force S fixed clamps 11, 81 and locked.
[0060] 次に、可動クランプ 12, 82が固定クランプ 11 , 81に重ねられると、固定クランプ 11Next, when the movable clamps 12 and 82 are superimposed on the fixed clamps 11 and 81,
, 81に突設された位置決突起 21 , 89が中空の可動クランプ 12, 82内に進入し、横 方向に隙間無く嵌合する。そのため、横ズレが防止されて、正確な位置で固定クラン プ 11 , 81と可動クランプ 12, 82と力重ね合わされる。 , 81 project into the hollow movable clamps 12, 82, and are fitted in the horizontal direction without a gap. Therefore, the lateral displacement is prevented, and the fixed clamps 11 and 81 and the movable clamps 12 and 82 are superposed at accurate positions.
このとき、第 1チューブ保持具 1側では、図 8に示すように可動クランプ 12側に進入 した位置決突起 21によって板パネ 71が押し退けられる。そのため、位置決突起 21 の押圧力によって板パネ 71が橈められて変形し、その変形によって係合片 72が後 退して、クランプローター 30のロック溝 37bから外される。 At this time, on the first tube holder 1 side, as shown in FIG. 8, the plate panel 71 is pushed back by the positioning protrusion 21 that has entered the movable clamp 12 side. Therefore, the panel panel 71 is bent and deformed by the pressing force of the positioning protrusion 21, and the deformation causes the engaging piece 72 to retreat and to be removed from the lock groove 37 b of the clamp rotor 30.
[0061] 次いで、チューブ 7, 8が正確にクランプされ、スタートスィッチの入力待機状態とな つているチューブ接合装置に、使用者からスタートスィッチが入力されれると、装置の 各機構が駆動してチューブの切断及び接合が実行される。その際、先ずウェハー 6 の交換が行われる。 [0061] Next, when the start switch is input by the user to the tube joining device in which the tubes 7, 8 are accurately clamped and the start switch is in the standby state, the respective mechanisms of the device are driven to drive the tube. Cutting and joining are performed. At that time, first, the wafer 6 is replaced.
ウェハー 6は、一回のチューブ接合毎に一枚が使用され、先に使用された使用済 みウェハー 6は、ウェハーホルダ 140 (図 1参照)内に残されたままとなっているからで ある。そのため、スタートスィッチが入力されると、先ず次の動作によってウェハー 6の 交換が行われる(図 1及び図 2参照)。 One wafer 6 is used for each tube bonding, and the used wafer 6 used earlier is left in the wafer holder 140 (see FIG. 1). . Therefore, when the start switch is input, first, the wafer 6 is replaced by the following operation (see FIGS. 1 and 2).
[0062] 使用者によってスタートスィッチが入力されると、ステッピングモータ 5が駆動し、そ の回転出力力 駆動ギヤ 174及び伝達ギヤ 173を介してボールネジを構成する雄ネ ジ 172へと伝達される。そのため、雄ネジ 172が回転し、これに螺合した雌ネジの雌 ネジブロック 163が軸方向に移動することとなる。雌ネジブロック 163は、スライダ 162 によって回転止めされているため回転することはなレ、。従って、ステッピングモータ 5 の駆動によって、スライダ 162がガイドロッド 171を軸方向に摺動し、このスライダ 162 の移動にともなって、送りコマ 161及び操作ロッド 195が同方向に移動することとなる そこで、 X方向に送られた送りコマ 161は、先端の爪部 161aがウェハー 6の後端を 引っかけて前方へ押し出し、ウェハーカセット 160からは一枚のウェハー 6だけが抜
き取られる。送りコマ 161によって押し出されたウェハー 6は、起立した状態のまま X 方向へ進み、ウェハーホルダ 140内の溝へと送られる。 When the start switch is input by the user, the stepping motor 5 is driven and transmitted to the male screw 172 constituting the ball screw via the rotation output force drive gear 174 and the transmission gear 173. Therefore, the male screw 172 rotates, and the female screw block 163 of the female screw engaged with the male screw 172 moves in the axial direction. Since the female screw block 163 is stopped by the slider 162, it cannot rotate. Accordingly, the driving of the stepping motor 5 causes the slider 162 to slide on the guide rod 171 in the axial direction, and the movement of the slider 162 causes the feed piece 161 and the operation rod 195 to move in the same direction. In the feed frame 161 sent in the X direction, the claw 161a at the tip hooks the rear end of the wafer 6 and pushes forward, and only one wafer 6 is pulled out from the wafer cassette 160. Be taken away. The wafer 6 extruded by the feed frame 161 advances in the X direction while standing upright, and is sent to a groove in the wafer holder 140.
[0063] スライダ 162の X方向への移動は、送りコマ 161によるウェハー 6の送り出しとともに 、操作ロッド 195によるウェハーホルダ 140の開閉動作をも行わせる。スライダ 162が X方向へ移動すると、支持アーム 168の先端でピン支持された操作ロッド 195も同様 に X方向へレール 192上をスライドする。このとき、操作ロッド 195は、レーノレ 192上の 案内ピン 193にガイド溝 195aがはまっているため、レーノレ 192力、ら脱落することなく 直線的に移動する。 X方向へとレール 192上をスライドした操作ロッド 195は、その先 端がカム支持台 390とウェハーホルダ 140との間へと進入する。そして、操作ロッド 1 95は、スライダ 162によって送りコマ 161の移動と同期しているため、ウェハー 6がゥ ェハーホルダ 140へ揷入されるのに合わせて、当該ウェハーホルダ 140の開閉を行 う。 The movement of the slider 162 in the X direction causes the opening and closing operation of the wafer holder 140 by the operation rod 195 as well as the sending out of the wafer 6 by the sending piece 161. When the slider 162 moves in the X direction, the operating rod 195 supported by a pin at the tip of the support arm 168 also slides on the rail 192 in the X direction. At this time, since the guide groove 195a is fitted in the guide pin 193 on the Reynole 192, the operation rod 195 moves linearly without falling off the Renore 192 force. The operation rod 195 that has slid on the rail 192 in the X direction has its tip end inserted between the cam support 390 and the wafer holder 140. Since the operation rod 195 is synchronized with the movement of the feed frame 161 by the slider 162, the opening and closing of the wafer holder 140 is performed as the wafer 6 is inserted into the wafer holder 140.
[0064] ウェハーホルダ 140内に配置されるウェハー 6の位置は、送りコマ 161の停止位置 によって調整される。その送りコマ 161は、図 2に示すように、マーカ 167がー体的に 移動し、そのマーカ 167の移動が送り検出センサ 186によって検出される。即ち、マ 一力 167が送り検出センサ 186の検出位置にまで移動したときの送りコマ 161の位置 、ウェハーホルダ 140内におけるウェハー 6の定位置となる。 The position of the wafer 6 placed in the wafer holder 140 is adjusted by the stop position of the feed frame 161. As shown in FIG. 2, the marker 167 moves physically in the feed frame 161, and the movement of the marker 167 is detected by the feed detection sensor 186. That is, the position of the feed frame 161 when the force 167 moves to the detection position of the feed detection sensor 186 becomes the fixed position of the wafer 6 in the wafer holder 140.
そこで、マーカ 167が送りコマ 161と一体になつて X方向へ移動し、それが送り検出 センサ 186によって検出されると、その送り検出センサ 186からの検出信号が制御側 に送られ、ステッピングモータ 5には逆回転の駆動制御が行われる。 Therefore, when the marker 167 moves in the X direction integrally with the feed frame 161 and is detected by the feed detection sensor 186, a detection signal from the feed detection sensor 186 is sent to the control side, and the stepping motor 5 , Reverse drive control is performed.
[0065] そのため、雄ネジ 172には逆回転が生じ、雌ネジブロック 163及びスライダ 162が 反 X方向に移動し、送りコマ 161が後退するのでウェハー 6のみがウェハーホルダ 14 0内に残される。 [0065] Therefore, reverse rotation occurs in the male screw 172, the female screw block 163 and the slider 162 move in the anti-X direction, and the feeder 161 moves backward, so that only the wafer 6 remains in the wafer holder 140.
そして、図 2に示す位置まで戻ったところで、待機検出センサ 185がマーカ 166を 検出し、その検出信号が制御側に送られてステッピングモータ 5の回転停止が制御さ れる。 Then, when returning to the position shown in FIG. 2, the standby detection sensor 185 detects the marker 166, and the detection signal is sent to the control side to stop the rotation of the stepping motor 5.
[0066] 一方、ウェハーホルダ 140には使用済みウェハー 6が装填されたままとなつている 、当該使用済みウェハー 6も位置決用板パネ 147a, 147b, 147cによって固定板
143 押さえつけられている。そのため、厚さが数百/ i mと薄いウェハー 6, 6同士で も必ず端面同士が重なり合い、使用済みウェハー 6が新しいウェハー 6によってゥェ ハーホルダ 140から押し出され、ウェハー 6の交換が確実に行われる。 On the other hand, the used wafer 6 is still loaded in the wafer holder 140. The used wafer 6 is also fixed by the positioning plate panels 147a, 147b, 147c. 143 It is being held down. Therefore, even if the thickness of the wafers 6 and 6 is as thin as several hundreds / im, the end faces always overlap each other, and the used wafer 6 is pushed out of the wafer holder 140 by the new wafer 6, and the wafer 6 is reliably replaced. .
[0067] また、ウェハー 6は、定位置にまで送られたところで、その後端が後退防止用板バ ネ 148をすり抜け、後退防止用板パネ 148の先端が固定板 143に当たり、その先端 の返シ 148aによってウェハー 6の退路が断たれる。そのため、押し出された使用済 みウェハー 6を使用者が取り出そうとした場合などに、誤って押してしまっても新たな ウェハー 6が押し戻されることなく定位置に配置される。 When the wafer 6 has been sent to the home position, the rear end of the wafer 6 slips through the receding-prevention plate panel 148, and the tip of the receding-prevention panel panel 148 hits the fixed plate 143. The retreat of wafer 6 is cut off by 148a. Therefore, when a user tries to remove the used wafer 6 that has been pushed out, even if the user pushes the used wafer 6 by mistake, the new wafer 6 is placed in a fixed position without being pushed back.
[0068] そして、前述したようにスライダ 162とともに操作ロッド 195が後退すると、開閉板 14 5は、その押さえ込みから解放されて不図示の付勢部材によって閉状態となる。その ため、開閉板 145に設けられた電極 146a 146bがウェハー 6の抵抗体端子に接触 し、通電された抵抗体が加熱してウェハー 6の昇温(約 300°C)が行われる。 When the operating rod 195 moves back together with the slider 162 as described above, the opening / closing plate 145 is released from its pressing, and is closed by an urging member (not shown). Therefore, the electrodes 146a and 146b provided on the opening / closing plate 145 come into contact with the resistor terminals of the wafer 6, and the energized resistors are heated to raise the temperature of the wafer 6 (about 300 ° C.).
[0069] そして、ウェハー 6の十分な昇温に続いてチューブ 7, 8の切断が行われる。チュー ブ 7, 8の切断は、ウェハーホルダ 140の揺動によってウェハー 6を上昇させ、第 1チ ブ保持具 1及び第 2チューブ保持具 2によってクランプされたチューブ 7, 8にゥ ェハー 6を直交させる(図 15 (a)参照)。このとき、チューブの接合部分に粘着物など の異物(例えば、テープ糊など)が付着していると、図 16 (a)に示すように、その異物 9がチューブ接合部分でウェハー 6を挟んで左右に分離される。 Then, following sufficient temperature rise of the wafer 6, the tubes 7 and 8 are cut. In cutting the tubes 7 and 8, the wafer 6 is raised by swinging the wafer holder 140, and the wafer 6 is orthogonally inserted into the tubes 7 and 8 clamped by the first tube holder 1 and the second tube holder 2. (See Fig. 15 (a)). At this time, if foreign matter such as an adhesive (for example, tape glue) adheres to the joint portion of the tube, as shown in FIG. 16 (a), the foreign matter 9 sandwiches the wafer 6 at the tube joint portion. Separated left and right.
[0070] なお、ウェハーホルダ 140の揺動は、ステッピングモータ 4 (図 2参照)の回転を駆 動カム 92 (図 10参照)に伝達することによって行われる。 The swing of wafer holder 140 is performed by transmitting the rotation of stepping motor 4 (see FIG. 2) to driving cam 92 (see FIG. 10).
そこで、ステッピングモータ 4の起動によって、その回転出力がモータ軸 4aに固定さ れた駆動ギヤ 96から減速ギヤ 95 伝達され、その減速ギヤ 95と一体に形成された 駆動カム 92に回転が与えられる。そして、駆動カム 92が回転すれば、ローラべアリン グ 155が載せられた切断用カム 94の頂部の高さが変化する。その場合、ウェハーホ ダ 140は、駆動カム 92によって押し上げられて上昇し、また駆動カム 92に従って 下降することとなる。 Then, when the stepping motor 4 is started, its rotation output is transmitted from the drive gear 96 fixed to the motor shaft 4a to the reduction gear 95, and rotation is given to the drive cam 92 formed integrally with the reduction gear 95. When the drive cam 92 rotates, the height of the top of the cutting cam 94 on which the roller bearing 155 is placed changes. In this case, the wafer holder 140 is pushed up by the drive cam 92 and rises, and descends according to the drive cam 92.
そして、ウェハーホルダ 140内のウェハー 6がチューブ 7 8に対して直交方向に移 動することとなる。
[0071] そこで、第 1チューブ保持具 1及び第 2チューブ保持具 2によってクランプされたチ ユーブ 7, 8は、ウェハー 6によって下方力 切り込まれ、加熱されたウェハー 6の当て られた部分が溶融し、切断される。ここに、図 14は、チューブ切断時のウェハー 6の 位置を示した図である。 Then, the wafer 6 in the wafer holder 140 moves in the direction orthogonal to the tube 78. [0071] Therefore, the tubes 7, 8 clamped by the first tube holder 1 and the second tube holder 2 are cut by a downward force by the wafer 6, and the heated portion of the wafer 6 to which the wafer 6 has been applied is melted. And is cut off. FIG. 14 is a diagram showing the position of the wafer 6 at the time of cutting the tube.
加熱されたウェハー 6は、その切断辺(上辺)がチューブ 7, 8に対して下方から当て られ、揺動するウェハーホルダ 140によってチューブ 7, 8に対して斜めにスライドす るように切り進められる。従って、チューブ 7, 8を切断するウェハー 6の切断辺の当接 部分が切断する過程でずれるため、ウェハー 6における切断部分の熱量が保たれる The heated wafer 6 has its cut side (upper side) applied to the tubes 7 and 8 from below, and is cut by the oscillating wafer holder 140 so as to slide obliquely with respect to the tubes 7 and 8. . Therefore, the contact portion of the cut side of the wafer 6 that cuts the tubes 7 and 8 shifts in the process of cutting, so that the calorie of the cut portion of the wafer 6 is maintained.
[0072] ウェハー 6によるチューブ 7, 8の切断及び接合は、第 1チューブ保持具 1及び第 2 チューブ保持具 2によって押し潰されたチューブ 7, 8のそれぞれの閉塞部分(図 12 参照)で行われる。 The cutting and joining of the tubes 7 and 8 by the wafer 6 are performed at the respective closed portions (see FIG. 12) of the tubes 7 and 8 crushed by the first tube holder 1 and the second tube holder 2. Is
固定クランプ 11 , 81に可動クランプ 12, 82が重ねられると、チューブガイド 100 (図 1参照)に支持されたチューブ 7, 8は、第 1チューブ保持具 1では、クランプローター 30の閉塞部 33b, 33b (図 3参照)によって、また第 2チューブ保持具 2では、固定ク ランプボディ 83の保持溝 98 (図 9参照)と可動クランプボディ 110の閉塞部 114 (図 1 1参照)とによって、図 12に示すようにクランプされる。従って、第 1チューブ保持具 1 及び第 2チューブ保持具 2の間には、円筒形状のチューブ 7, 8が扁平形状になって 管内が密着した部分が現れる。当該部分がウェハー 6によって切断され、また接合さ れる部分である。 When the movable clamps 12 and 82 are superimposed on the fixed clamps 11 and 81, the tubes 7 and 8 supported by the tube guide 100 (see FIG. 1) are moved by the first tube holder 1 into the closed portions 33b and 33b of the clamp rotor 30. 33b (see FIG. 3), and in the second tube holder 2, by the holding groove 98 (see FIG. 9) of the fixed clamp body 83 and the closing portion 114 (see FIG. 11) of the movable clamp body 110. Clamped as shown in 12. Therefore, between the first tube holder 1 and the second tube holder 2, the cylindrical tubes 7 and 8 have a flattened shape, and a portion where the tubes are in close contact appears. This portion is a portion cut and bonded by the wafer 6.
[0073] そこで、ウェハーホルダ 140の揺動によってウェハー 6が上昇して図 14に示すよう にチューブ 7, 8が切断される。チューブ 7, 8は予めクランプされて潰されて、管内の 液が切断部分からクランプ時に押し流されているので、切断時には切断部から流れ 出ることもない。 Then, the wafer 6 is lifted by the swing of the wafer holder 140, and the tubes 7, 8 are cut as shown in FIG. The tubes 7 and 8 are previously clamped and crushed, and the liquid in the tubes is flushed from the cut portion at the time of clamping, so that the tubes do not flow out of the cut portion during cutting.
チューブ切断時、チューブ 7, 8の切断部分は樹脂が溶融又は軟ィヒした高温の状 態であるため、その切断面がウェハー 6に気密に接触しているため、続いて行われる チューブ切断面の接合までの間、チューブ 7, 8内部が大気に触れることなく無菌状 態が維持される。
[0074] ここで、ウェハーホルダ 140を上昇させる駆動カム 92は、その切断用カム 94と、第 1チューブ保持具 1を移動させるスライド用カム 293と、第 2チューブ保持具 2を移動さ せるスライド用カム 294とが一体に形成されている。そして、第 1チューブ保持具 1は、 スプリング 131によって常時付勢され(図 1参照)、押圧アーム 24のローラベアリング 2 5 (図 6参照)が、駆動カム 92のスライド用カム 293 (図 10参照)に当接されている。ま た、第 2チューブ保持具 2は、スプリング 231によって常時付勢され(図 1参照)、押圧 アーム 224のローラベアリング 225 (図 9参照)力 駆動カム 92のスライド用カム 294 ( 図 10参照)に当接されている。 When cutting the tubes, the cut portions of tubes 7 and 8 are in a high-temperature state where the resin has melted or softened, and their cut surfaces are in air-tight contact with wafer 6. Until joining, the inside of tubes 7 and 8 is kept in an aseptic condition without contacting the atmosphere. Here, the drive cam 92 for raising the wafer holder 140 includes a cutting cam 94, a slide cam 293 for moving the first tube holder 1, and a slide for moving the second tube holder 2. And the cam 294 are integrally formed. Then, the first tube holder 1 is constantly urged by the spring 131 (see FIG. 1), and the roller bearing 25 of the pressing arm 24 (see FIG. 6) is moved by the sliding cam 293 of the driving cam 92 (see FIG. 10). ). Further, the second tube holder 2 is constantly urged by the spring 231 (see FIG. 1), and the roller bearing 225 of the pressing arm 224 (see FIG. 9) The sliding cam 294 of the driving cam 92 (see FIG. 10) Is abutted.
[0075] そのため、駆動カム 92の回転によってウェハーホルダ 140が上昇した段階で、ロー ラベアリング 25はスライド用カム 293のスライドカム面 293aに入り込んで転動する。ま た、ローラベアリング 225はスライド用カム 294のスライドカム面 294aに入り込んで転 動する。その結果、ウェハー 6が上昇してチューブ 7, 8を切断するとともに、第 1チュ ーブ保持具 1の第 2チューブ保持具 2へのスライド、および第 2チューブ保持具 2の第 1チューブ保持具 1へのスライドが一義的に行われ、チューブ 7, 8における各切断面 が所定のタイミングで軸方向に押し当てられる(図 15 (b) )。これにより、チューブ 7, 8 における各切断面がウェハー 6の両面に押し当てられるので、チューブ 7, 8の接合 部分に粘着物などの異物 9が付着していたとしても、その異物 9はチューブ 7, 8の接 合面外 (バリ外)に押し出される(図 16 (b)参照)。 Therefore, when the wafer holder 140 is raised by the rotation of the driving cam 92, the roller bearing 25 enters the slide cam surface 293a of the slide cam 293 and rolls. Further, the roller bearing 225 enters the slide cam surface 294a of the slide cam 294 and rolls. As a result, the wafer 6 rises and cuts the tubes 7 and 8, and slides the first tube holder 1 to the second tube holder 2 and the first tube holder 2 of the second tube holder 2. The slide to 1 is uniquely performed, and the cut surfaces of the tubes 7 and 8 are pressed in the axial direction at a predetermined timing (FIG. 15 (b)). As a result, the cut surfaces of the tubes 7 and 8 are pressed against both surfaces of the wafer 6, so that even if foreign matter 9 such as an adhesive adheres to the joint portion of the tubes 7 and 8, the foreign matter 9 is removed from the tube 7. It is pushed out of the connection plane (outside the burr) of, 8 (see Fig. 16 (b)).
[0076] 次いで、ウェハー 6によって切り離されたチューブ 7, 8は、第 1チューブ保持具 1で クランプされた部分の反転がクランプローター 30の回転によって行われる。 Next, the tubes 7 and 8 cut off by the wafer 6 are inverted by the rotation of the clamp rotor 30 at the portion clamped by the first tube holder 1.
そこで、ウェハー 6が十分上昇したところでステッピングモータ 4の駆動は停止し、続 くステッピングモータ 3 (図 2参照)の駆動によってクランプローター 30に回転が与えら れる。ステッピングモータ 3の回転は、図 8に示すように、そのモータ軸 3aの駆動ギヤ る。そこで、クランプローター 30は、ロータ一片 31, 32が図 8に示す 1個の回転体とな つて回転する。 Then, when the wafer 6 is sufficiently raised, the driving of the stepping motor 4 is stopped, and the rotation of the clamp rotor 30 is given by the subsequent driving of the stepping motor 3 (see FIG. 2). As shown in FIG. 8, the rotation of the stepping motor 3 is driven by the drive gear of the motor shaft 3a. Then, the clamp rotor 30 rotates with the rotor pieces 31 and 32 serving as one rotating body shown in FIG.
クランプローター 30は、ステッピングモータ 3によってロータ一片 31 , 32が固定クラ ンプ 11と可動クランプ 12とで入れ替わるように 180°の回転が与えられる。従って、図
15 (c)に示すように、クランプされた 2本のチューブ 7, 8は、互い違いに対面するよう に回転することとなる。 The clamp rotor 30 is rotated by 180 ° by the stepping motor 3 so that the rotor pieces 31 and 32 are switched between the fixed clamp 11 and the movable clamp 12. Therefore, the figure As shown in FIG. 15 (c), the two clamped tubes 7, 8 rotate so as to face each other alternately.
[0077] ここで、上記したように、チューブ 7, 8の切断後にチューブ 7, 8の各接合面をゥェ ハー 6の両面に押し当てている。このため、チューブ 7, 8の接合部分に粘着物などの 異物 9が付着していたとしても、その異物 9はチューブ 7, 8の接合面外(バリ外)に押 し出されている。つまり、接合部に異物 9が存在しなレ、。したがって、図 16 (c)に示す ように、切断後のチューブ 7, 8を回転させても、チューブ 7, 8の接合面に異物 9が引 き込まれることがない。 Here, as described above, after cutting the tubes 7, 8, the joining surfaces of the tubes 7, 8 are pressed against both surfaces of the wafer 6. Therefore, even if foreign matter 9 such as an adhesive adheres to the joint of the tubes 7 and 8, the foreign matter 9 is pushed out of the joint surface of the tubes 7 and 8 (outside the burr). That is, there is no foreign matter 9 at the joint. Therefore, as shown in FIG. 16 (c), even if the tubes 7 and 8 after cutting are rotated, the foreign matter 9 is not drawn into the joint surfaces of the tubes 7 and 8.
[0078] このとき、クランプローター 30は、同一円周上に等間隔で配置されたローラ 20· · ·, 5 5…によって回転支持され、仮想の回転軸を中心にした正確な回転を行うこととなる。 したがって、クランプローター 30が反転してロータ一片 31 , 32の位置が入れ替わつ たときには、当該接触面は同一円周上に位置し、チューブ 7, 8の切断面は反転前の 位置に正確に重ねられることとなる。つまり、チューブ 7 (8)の切断面とチューブ 8 (7) の切断面とが正確に重ねられるのである。 At this time, the clamp rotor 30 is rotatably supported by rollers 20,..., 55,... Arranged at equal intervals on the same circumference, and performs accurate rotation about a virtual rotation axis. It becomes. Therefore, when the clamp rotor 30 is inverted and the positions of the rotor pieces 31 and 32 are interchanged, the contact surfaces are located on the same circumference, and the cut surfaces of the tubes 7 and 8 are exactly at the positions before the inversion. Will be overlaid. That is, the cut surface of the tube 7 (8) and the cut surface of the tube 8 (7) are accurately overlapped.
[0079] その後、後述するように、ウェハー 6を下降させてチューブ接合を行うのであるが、 チューブ 7, 8の接合面に粘着物などの異物 9が付着していた場合にウェハー 6を下 降させる際、異物 9をチューブ 7, 8の接合面に引き込まれないようにするために、図 1 5 (d)に示すように、チューブ 7, 8をウェハー 6の両面に押し付ける。これにより、異物 9は、図 16 (d)に示すように、チューブ 7, 8の接合面外 (バリ外)に押し出される。した がって、異物 9はチューブ 7, 8の接合面外 (バリ外)に押し出された状態で、後述する ようにしてチューブ 7, 8を回転させるため異物 9がチューブ 7, 8の接合面に引き込ま れることを防止することができる。 Thereafter, as will be described later, the wafer 6 is lowered to perform tube bonding. When foreign matter 9 such as an adhesive substance is adhered to the bonding surfaces of the tubes 7 and 8, the wafer 6 is lowered. At this time, the tubes 7, 8 are pressed against both surfaces of the wafer 6, as shown in FIG. 15D, in order to prevent the foreign matter 9 from being drawn into the joining surfaces of the tubes 7, 8. As a result, the foreign matter 9 is pushed out of the joint surface of the tubes 7 and 8 (outside of the burr) as shown in FIG. Therefore, the foreign matter 9 is pushed out of the joint surface of the tubes 7 and 8 (outside the burr), and the foreign matter 9 is rotated by rotating the tubes 7 and 8 as described later. It can be prevented from being drawn into.
[0080] このときのチューブ 7, 8の押し付け動作は、第 1チューブ保持具 1の第 2チューブ保 持具 2へのスライド、および第 2チューブ保持具 2の第 1チューブ保持具 1へのスライド によって行われる。そして、これら第 1チューブ保持具 1のスライド動作、および第 2チ ユーブ保持具 2のスライド動作は上記したようにして行われる。すなわち、まず、ステツ ビングモータ 4を再び起動させて、駆動カム 92 (図 10参照)を回転させる。そうすると 、駆動カム 92と一体的に形成されているスライド用カム 293, 294も回転する。その
込んで転動するとともに、ローラベアリング 225がスライド用カム 294の傾斜したスライ ドカム面 294bに入り込んで転動する。このため、スプリング 131 , 231の付勢力により 、第 1チューブ保持具 1の第 2チューブ保持具 2へのスライド、および第 2チューブ保 持具 2の第 1チューブ保持具 1へのスライドが行われる。なお、このとき、切断用カム 9 4の頂部の高さは変化しないので、ウェハーホルダ 140の位置は変わらなレ、。つまり 、ウェハー 6は、上昇したままの状態である。 At this time, the pressing operation of the tubes 7 and 8 is performed by sliding the first tube holder 1 to the second tube holder 2 and sliding the second tube holder 2 to the first tube holder 1. Done by The sliding operation of the first tube holder 1 and the sliding operation of the second tube holder 2 are performed as described above. That is, first, the stepping motor 4 is started again, and the drive cam 92 (see FIG. 10) is rotated. Then, the slide cams 293 and 294 formed integrally with the drive cam 92 also rotate. That The roller bearing 225 enters the inclined slide cam surface 294b of the slide cam 294 and rolls. Therefore, the biasing force of the springs 131 and 231 causes the first tube holder 1 to slide on the second tube holder 2 and the second tube holder 2 to slide on the first tube holder 1. . At this time, since the height of the top of the cutting cam 94 does not change, the position of the wafer holder 140 does not change. That is, the wafer 6 remains in a raised state.
[0081] そして、上記のように回転したチューブ 7, 8の切断面は、切断直後と同様に、第 2 チューブ保持具 2側でクランプされたチューブ 7, 8の切断面とウェハー 6を挟んで同 一位置に配置される。そこで、図 15 (e)に示すように、続いてウェハー 6が降ろされ、 図 15 (f)に示すように、切断面同士が軸方向に押し当てられれば、切断されたチュ ーブ 7, 8は、互い違いに切断面同士が溶着しそれぞれ 1本のチューブとなる。 Then, the cut surfaces of the tubes 7 and 8 rotated as described above are sandwiched between the cut surfaces of the tubes 7 and 8 clamped on the second tube holder 2 side and the wafer 6 in the same manner as immediately after cutting. It is located at the same position. Then, as shown in FIG. 15 (e), the wafer 6 is subsequently lowered, and as shown in FIG. 15 (f), when the cut surfaces are pressed against each other in the axial direction, the cut tubes 7, In the case of 8, the cut surfaces are alternately welded to each other to form one tube.
[0082] その際、先ずクランプローター 30を反転させたステッピングモータ 3が停止し、続い て再度ステッピングモータ 4が起動する。そのため、駆動カム 92 (図 10参照)が回転 し、ローラベアリング 155 (図 13参照)が載せられた切断用カム 94の頂部の高さが下 がり、それに従ってウェハーホルダ 140は下降する。よって、ウェハー 6も下降してチ ユーブ 7, 8から抜き取られる。その際、ウェハー 6と溶融したチューブ切断面との接 触抵抗が大きいため、ウェハー 6がウェハーホルダ 140から抜けないようにズレ止め 143a, 143bによって引っかけられて、ウェハー 6の抜けが防止されている。 At that time, first, the stepping motor 3 in which the clamp rotor 30 is inverted is stopped, and then the stepping motor 4 is started again. Therefore, the driving cam 92 (see FIG. 10) rotates, and the height of the top of the cutting cam 94 on which the roller bearing 155 (see FIG. 13) is placed is lowered, and the wafer holder 140 is lowered accordingly. Therefore, the wafer 6 also descends and is extracted from the tubes 7 and 8. At that time, since the contact resistance between the wafer 6 and the melted tube cut surface is large, the wafer 6 is hooked by the slip stoppers 143a and 143b so as not to come off the wafer holder 140, and the wafer 6 is prevented from coming off. .
[0083] また、ウェハーホルダ 140を下降させる駆動カム 92は、その切断用カム 94と、第 1 チューブ保持具 1および第 2チューブ保持具 2をスライドさせるスライド用カム 293お よび 294がー体に形成されている。そのため、チューブ 7, 8からのウェハー 6の抜き 取りと、第 1チューブ保持具 1の第 2チューブ保持具 2へのスライド、および第 2チュー ブ保持具 2の第 1チューブ保持具 1へのスライドが一義的に行われ、チューブの切断 面同士が所定のタイミングで軸方向に押し当てられる。つまり、上記したようにして口 一ラベアリング 25がスライド用カム 293の傾斜したスライドカム面 293cに入り込んで 転動するとともに、ローラベアリング 225がスライド用カム 294の傾斜したスライドカム 面 294c (こ人り込んで転動する。このため、スプリング 131, 231の付勢力 ίこより、第 1
チューブ保持具 1の第 2チューブ保持具 2へのスライド、および第 2チューブ保持具 2 の第 1チューブ保持具 1へのスライドが行われるのである。 The drive cam 92 for lowering the wafer holder 140 has a cutting cam 94 and slide cams 293 and 294 for sliding the first tube holder 1 and the second tube holder 2. Is formed. Therefore, the wafer 6 is extracted from the tubes 7 and 8, the first tube holder 1 slides to the second tube holder 2, and the second tube holder 2 slides to the first tube holder 1. Is performed uniquely, and the cut surfaces of the tubes are pressed in the axial direction at a predetermined timing. In other words, as described above, the mouth bearing 25 enters the inclined slide cam surface 293c of the slide cam 293 and rolls, and the roller bearing 225 is inclined by the slide cam surface 294c of the slide cam 294 (this person). As a result, the first force of the springs 131 and 231 The slide of the tube holder 1 to the second tube holder 2 and the slide of the second tube holder 2 to the first tube holder 1 are performed.
[0084] そして、切断されて反転したチューブ 7, 8は、その切断面同士が押し当てられるこ とによって溶着接合され、互い違いに接合された 2本のチューブ 7, 8が形成される。 このように、チューブ 7, 8の接合部分に異物 9が存在していても、ウェハー 6を下降 させる際には、図 16 (e)に示すように、異物 9がウェハー 6に接触していないため、異 物 9がチューブ 7, 8の接合面に引き込まれることがなレ、。また、ウェハー 6の下降時 に異物 9がチューブの接合面に展開した(広がった)としても、ウェハー 6がチューブ 力 抜き取られた後にチューブ同士が押し付けられることにより、図 16 (f)に示すよう に、異物 9がチューブの接合面外 (バリ外)に押し出される。したがって、安定して良 好な接合状態を確保することができる。 [0084] Then, the cut tubes 7 and 8 which are turned over are welded and joined by pressing the cut surfaces thereof to form two tubes 7 and 8 which are alternately joined. As described above, even when the foreign matter 9 exists at the joint portion between the tubes 7 and 8, when the wafer 6 is lowered, the foreign matter 9 is not in contact with the wafer 6 as shown in FIG. Therefore, foreign matter 9 cannot be drawn into the joint surface of tubes 7 and 8. Also, even if the foreign matter 9 spreads (spreads) on the joining surface of the tubes when the wafer 6 descends, the tubes are pressed together after the wafer 6 is pulled out of the tube force as shown in FIG. 16 (f). Then, the foreign matter 9 is pushed out of the joint surface of the tube (outside of the burr). Therefore, it is possible to stably maintain a favorable bonding state.
[0085] その後、ウェハーホルダ 140の下降完了を、不図示のリミットスィッチによって検出 する。その検出によって、ソレノイド 202のプランジャ 203が下降し、ノくックル 120, 12 5の取り外しが可能となる。 Thereafter, completion of the lowering of the wafer holder 140 is detected by a limit switch (not shown). By this detection, the plunger 203 of the solenoid 202 is lowered, and the knockers 120 and 125 can be removed.
そこで、使用者は、バックル 120, 125を外し、可動クランプ 12, 82を開いてチュー ブ 7, 8の取り出しを行う。 Therefore, the user removes the buckles 120 and 125, opens the movable clamps 12 and 82, and removes the tubes 7 and 8.
寄せられた第 1チューブ保持具 1および第 2チューブ保持具 2は、次のチューブ接 合動作が行われるまでそのままの位置にとどまっている。そして、スィッチが入れられ ると、ステッピングモータ 4が起動し、駆動カム 92の回転を調節して、第 1チューブ保 持具 1および第 2チューブ保持部 2の位置を初期状態に戻す。 The moved first tube holder 1 and second tube holder 2 remain at the same position until the next tube joining operation is performed. Then, when the switch is turned on, the stepping motor 4 is started, the rotation of the drive cam 92 is adjusted, and the positions of the first tube holder 1 and the second tube holder 2 are returned to the initial state.
[0086] 以上、詳細に説明したように本実施の形態に係るチューブ接合装置 1は、ウェハー ホルダ 140を上昇.下降させる駆動カム 92には、その切断用カム 94と、第 1チューブ 保持具 1を移動させるスライド用カム 293と、第 2チューブ保持具 2を移動させるスライ ド用カム 294とが一体に形成されている。そして、第 1チューブ保持具 1は、スプリング 131によって常時付勢され、押圧アーム 24のローラベアリング 25力 S、駆動カム 92の スライド用カム 293に当接されている。また、第 2チューブ保持具 2は、スプリング 231 によって常時付勢され、押圧アーム 224のローラベアリング 225力 駆動カム 92のス ライド用カム 294に当接されている。
[0087] そのため、駆動カム 92の回転によってウェハーホルダ 140の動きに連動して、ロー ラベアリング 25はスライド用カム 293のスライドカム面 293a— 293cに入り込んで転動 する。また、ローラベアリング 225はスライド用カム 294のスライドカム面 294a— 294c に入り込んで転動する。その結果、ウェハー 6が上昇してチューブ 7, 8を切断した後 、クランプローター 30が回転してチューブ 7, 8が回転させられた後、およびウェハー 6が下降してチューブ 7, 8から抜けた後において、第 1チューブ保持具 1の第 2チュ ーブ保持具 2へのスライド、および第 2チューブ保持具 2の第 1チューブ保持具 1への スライドが行われる。 [0086] As described above in detail, the tube bonding apparatus 1 according to the present embodiment includes the drive cam 92 for raising and lowering the wafer holder 140, the cutting cam 94, and the first tube holder 1 And a slide cam 294 for moving the second tube holder 2 are integrally formed. The first tube holder 1 is constantly urged by a spring 131, and is in contact with the roller bearing 25 force S of the pressing arm 24 and the slide cam 293 of the drive cam 92. Further, the second tube holder 2 is constantly urged by a spring 231 and is in contact with a slide cam 294 of a roller bearing 225 force drive cam 92 of the pressing arm 224. [0087] Therefore, the roller bearing 25 enters the slide cam surfaces 293a-293c of the slide cam 293 and rolls in conjunction with the movement of the wafer holder 140 by the rotation of the drive cam 92. Further, the roller bearing 225 enters the slide cam surfaces 294a-294c of the slide cam 294 and rolls. As a result, after the wafer 6 rises and cuts the tubes 7 and 8, the clamp rotor 30 rotates to rotate the tubes 7 and 8, and the wafer 6 descends and falls out of the tubes 7 and 8. Later, the slide of the first tube holder 1 to the second tube holder 2 and the slide of the second tube holder 2 to the first tube holder 1 are performed.
[0088] これにより、チューブ 7, 8における各切断面が所定のタイミングで軸方向に押し当 てられる。これにより、チューブ 7, 8における各切断面がウェハー 6に押し当てられる ので、チューブの接合部分に粘着物などの異物 9が付着していたとしても、その異物 9はチューブ 7, 8の接合面外(バリ外)に押し出される。したがって、チューブ 7, 8の 接合面には異物 9が展開したり、引き込まれることを確実に防止することができるので 、チューブ 7, 8の接合部分に異物 9が付着していても、接合強度の低下を起こさず 安定してチューブ 7, 8を接合することができる。 [0088] Thereby, the cut surfaces of the tubes 7, 8 are pressed in the axial direction at a predetermined timing. As a result, the cut surfaces of the tubes 7 and 8 are pressed against the wafer 6, so that even if a foreign substance 9 such as an adhesive adheres to the joint portion of the tubes, the foreign substance 9 is removed from the joint surface of the tubes 7 and 8. It is pushed out (outside the burr). Therefore, it is possible to reliably prevent the foreign matter 9 from being unfolded or drawn into the joint surface of the tubes 7 and 8. The tubes 7 and 8 can be joined stably without causing a decrease in the size.
[0089] なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するもので はなぐその要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろ んである。例えば、上記した実施の形態では、チューブ 7, 8を切断した後に回転させ てチューブ接合を行う回転式を例示した力 チューブ 7, 8を切断した後に回転させる 代わりにスライドさせてチューブ接合を行うスライド式であっても本発明を適用すること ができる。
The above-described embodiment is merely an example, and various improvements and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. . For example, in the above-described embodiment, a rotary type in which the tubes 7 and 8 are cut and then rotated to perform the tube joining is illustrated. The slide in which the tubes 7 and 8 are cut and then rotated instead of being rotated to perform the tube joining. The present invention can be applied to a formula.