WO2004010125A1 - Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法 - Google Patents

Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法 Download PDF

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WO2004010125A1
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analyzer
rays
ray inspection
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Iwao Sugimoto
Akio Komura
Masami Ando
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Hitachi Zosen Corporation
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material

Definitions

  • the present invention relates to an X-ray inspection apparatus and an X-ray inspection method capable of inspecting the inside of an object using X-rays.
  • X-rays are used when inspecting the inside of an object without crushing.
  • a transmission image that shows the internal state of the object based on the difference in the amount of transmission of the X-ray to the object, that is, the difference in the amount of absorption, is obtained.
  • an object of the present invention is to provide a specific X-ray inspection apparatus and an X-ray inspection method using X-ray refraction. Disclosure of the invention
  • the first X-ray inspection apparatus of the present invention includes an X-ray generator, X-rays from the X-ray generator, and the energy density thereof is adjusted to emit X-rays of a predetermined wavelength with a predetermined width. And a collimator that receives X-rays from the monochromator and emits them in a predetermined direction. And an analyzer that inputs the X-rays that are emitted from this collimator and that are bent when passing through the inspection object to emphasize the degree of refraction, and an X-ray that is emitted from this analyzer.
  • the X-ray detector comprises an X-ray detector for detecting the intensity of the object and an image display device for displaying an image showing the internal state of the inspection object based on the intensity detected by the X-ray detector.
  • a second X-ray inspection apparatus is the first X-ray inspection apparatus, wherein the monochromator, the collimator, and the analyzer are supported via an angle adjuster.
  • the third X-ray inspection apparatus is the first X-ray inspection apparatus according to the first X-ray inspection apparatus, wherein the collimator and the analyzer are separated from each other, and the inspection object can be moved between them.
  • the equipment is arranged.
  • the collimator and the analyzer are separated and arranged, and a movement capable of moving an inspection object therebetween is provided.
  • the equipment is arranged.
  • X-rays from an X-ray generator are incident on a monochrome, and the energy density is adjusted to emit X-rays of a predetermined wavelength with a predetermined width.
  • the X-rays from the monochromator are incident on the collimator and emitted in a predetermined direction, and the X-rays emitted from the collimator are irradiated on the object to be inspected.
  • a second X-ray inspection method is the method according to the first X-ray inspection method, wherein the monochromator, the collimator, and the analyzer are supported via an angle adjuster.
  • a third X-ray inspection method is the first X-ray inspection method according to the first X-ray inspection method, wherein the collimator and the analyzer are arranged separately, and the inspection object can be moved between them. This is a method of arranging devices.
  • the collimator and the analyzer are separately arranged.
  • 'I a method of arranging a moving device capable of moving the inspection object between them.
  • a refraction image of the inspection object can be obtained using a general-purpose and small-sized X-ray generator without using X-rays generated in a large synchrotron radiation facility. Can be obtained.
  • FIG. 1 is a perspective view of an X-ray inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a passing state of X-rays in the X-ray inspection apparatus
  • Fig. 3 is a schematic diagram illustrating the X-ray passing state in the X-ray inspection device.
  • FIG. 4 is a perspective view of the X-ray inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 shows the appearance of an X-ray inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • the X-ray detection apparatus includes an X-ray generation apparatus 1 having an X-ray emission unit 1b provided above an X-ray generation apparatus main body 1a; X-rays emitted from the emission section 1 b of the X-ray generator 1 are incident to adjust the energy density of the X-rays. And a monochromator 2 for outputting X-rays of a predetermined wavelength with a predetermined width, and X-rays of a predetermined wavelength emitted from the monochromator 2 are incident on the monochromator 2 to reduce the parallelism.
  • X-rays of a predetermined wavelength monochromatic X-rays, which are obtained by the cooperation of a monochromator
  • An analyzer 4 that enters (inputs) refracted X-rays when passing through and emphasizes the degree of refraction, and an X-ray detector that detects the intensity of refracted X-rays from this analyzer 4 and extracts them as digital signals
  • a digital image signal of the X-ray intensity detected by the X-ray detector 5 and the X-ray detector 5 is input to create a transmission image (a three-dimensional image showing the internal state) of the test object and an image to be displayed on the display screen.
  • the function of converting the X-ray intensity into a digital signal may be provided, for example, in the image display device 6 instead of the X-ray detector 5.
  • the monochromator 2, the collimator 3, and the analyzer 4 are separately arranged, and each is provided with a goniometer (an example of an angle adjuster, specifically, a base plate having a precision angle adjustment function).
  • a moving device 7 is placed between 1 and 13 and between the collimator 3 and the analyzer 4 so that the object A can be placed and moved in a predetermined direction. Have been.
  • the monochromator 2 and the collimator 3 are arranged on the device body 1a of the X-ray generator 1 via gonio stages 11 and 12, respectively.
  • the analyzer 4 is connected to the X-ray generator 1 It is arranged via a gonio stage 13 on a gantry 8 provided separately.
  • the gonio stages 11 to 13 have a fine angle of angle (direction around the axis indicated by, b, c) of the monochromator 2, collimator 3, and analyzer 4 mounted on the upper surface. Adjustments are made.
  • the moving device 7 is lifted and lowered (indicated by an arrow d), and is guided by a guide rail 22 provided on the lift 21 and a collimator 3. It is provided so as to cross the analyzer 4 in a horizontal direction substantially perpendicular to the X-ray emission direction, and to be reciprocally movable (indicated by an arrow 'e) by the driving device 23 and to be covered. And a mounting table 24 on which the inspection object A can be mounted.
  • the X-ray generator 1 has an anode electrode (for example, Cu, Mo, Ag) capable of generating characteristic X-rays (X-rays having an energy density necessary for passing the X-rays depending on the material of the inspection object).
  • the X-ray detector 5 detects the intensity in real time by inputting X-rays from the analyzer 4. Specifically, in order to reduce the size of the device, it is composed of a detection material with a high X-ray absorption efficiency (sensitivity) (X-ray detection element with a large atomic number, for example, CdTe). A direct conversion type semiconductor detector is used.
  • the X-rays incident on the collimator 3 from the monochromator 2 are transmitted X-rays B transmitted straight and diffracted X-rays emitted in the opposite direction (line symmetry) to the transmitted X-rays B.
  • it is sufficient to use one of the X-rays because it is separated into the line C.
  • the X-ray detector 5 (5!, 5 2) together to place two, such that each X-rays transmitted through the analyzer 4, enters only that the X-ray detector 5 I 5 2, respectively, A shielding plate 9 for X-ray guidance is provided.
  • the inspection objects A 1, A 2 are formed by the transmitted X-rays B and the diffracted X-rays C from the collimator 3.
  • the same X-ray detector 5 may detect both X-rays B and C that have passed through. Also in this case, the shielding plate 9 is provided.
  • the X-rays radiated on the inspection object A and refracted when passing through the inspection object A enter the analyzer 4, where the degree of the refraction is emphasized and input to the X-ray detector 5.
  • the X-ray detector 5 detects the intensity of the X-rays, converts the intensity into a digital signal, and inputs the digital signal to the image display device 6. As the images are created, they are displayed on the display screen.
  • the mounting table 24 is moved to the outside by moving.
  • a general-purpose and small-sized one-time X-ray generator with a rotating port is used without using X-rays generated in a large synchrotron radiation facility.
  • a monochromator 2 capable of adjusting the energy density of the X-rays emitted from b and emitting the X-rays of a predetermined wavelength with a predetermined width, and a collimator capable of emitting the X-rays from the monochromator 2 in a predetermined direction.
  • the width of each of the collimators 3 and the analyzer 4 is smaller than that of the case where the collimator 3 and the analyzer 4 are cut out from a silicon ingot as a body as in the collimator and analyzer according to the second embodiment described later. (Length) can be obtained.
  • FIG. 4 shows an appearance of an X-ray inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • the collimator and the analyzer are separated from each other, but in the second embodiment, the collimator and the analyzer are configured as an integral unit. Things.
  • the collimator 51 and the analyzer 52 according to the X-ray inspection apparatus are formed at a predetermined distance on the same support substrate 53, and accordingly, The entire support substrate 53 is placed on a gonio stage 54.
  • the gonio stage 5 4 Is used to fine-tune the angle (direction around the axis indicated by f) of the collimator 51 and the analyzer 52 placed on the upper surface in the horizontal plane.
  • the collimator 51 and the analyzer 52 formed on the supporting substrate 53 are obtained by integrally cutting (including the supporting substrate, of course) from a cylindrical silicon ingot. It is.
  • the outer diameter is limited, and if the distance between the collimator and the analyzer becomes longer, the width, especially the analyzer, is inevitably increased.
  • the collimator and analyzer The width (length) can be increased.

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Abstract

Ｘ線発生装置１と、このＸ線発生装置１からのＸ線を入射するとともにそのエネルギー密度を調節して所定波長のＸ線を所定幅でもって出射するモノクロメータ２と、このモノクロメータ２からのＸ線を入射して所定方向に出射するコリメータ３と、このコリメータ３から出射されて被検査物を通過する際に屈折したＸ線を入力してその屈折度合いを強調するアナライザ４と、このアナライザ４から出射されたＸ線を入力してその強度を検出するＸ線検出器５と、このＸ線検出器５にて検出された強度に基づき被検査物Ａの内部状態が分かる画像を表示する画像表示装置６とから構成したもの。

Description

明
X線検査装置および X線検査方法 技術分野
本発明は、 X線を用いて物体の内部を検査し得る X線検査装置お よび X線検査方法に関するものである。 背景技術
物体の内部を非破壌にて検査する場合、 X線が用いられており、 通常は、 X線の物体に対する透過量、 すなわち吸収量の差に基づき 物体の内部状態が分かる透過画像を得ていた。 '
しかし、 被検査物の X線の吸収係数の差が小さい場合には、 鮮明 な透過画像を得ることが困難であった。
そこで、 最近、 吸収量の差ではなく、 物質中の境界における微小 な密度差により、 X線が屈折するという現象を利用して、 被検査物 の内部を撮影するという方法が提案されている。
そこで、 本発明は、 X線の屈折を利用した具体的な X線検査装置 および X線検査方法を提供することを目的とする。 発明の開示
本発明の第 1 の X線検査装置は、 X線発生装置と、 この X線発 生装置からの X線を入射するとともにそのエネルギー密度を調節し て所定波長の X線を所定幅でもって出射するモノクロメータと、 こ のモノクロメータからの X線を入射して所定方向に出射するコリメ —タと、 このコリメ一夕から出射されて被検査物を通過する際に屈 折した X線を入力してその屈折度合いを強調するアナライザと、 こ のアナライザから出射された X線を入力してその強度を検出する X 線検出器と、 この X線検出器にて検出された強度に基づき被検査物 の内部状態が分かる画像を表示する画像表示装置とから構成したも のである。
また、 本発明の第 2の X線検査装置は、 上記第 1の X線検査装置 において、 モノクロメータ、 コリメ一夕およびアナライザを、 角度 調整機を介して支持したものである。
また、 本発明の第 3の X線検査装置は、 上記第 1の X線検査装置 において、 コリメ一夕とアナライザとを分離して配置するとともに 、 これらの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置したもので ある。
さらに、 本発明の第 4の X線検査装置は、 上記第 2の X線検査装 置において、 コリメータとアナライザとを分離して配置するととも に、 これらの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置したもの である。
本発明の第 1の X線検査方法は、 X線発生装置からの X線をモノ クロメ一夕に入射するとともにそのエネルギー密度を調節して所定 波長の X線を所定幅でもって出射し、 このモノクロメータからの X 線をコリメータに入射して所定方向に出射し、 このコリメ一夕から 出射された X線を被検査物に照射し、 この被検査物を通過する際に 屈折した X線をアナライザに入力してその屈折度合いを強調し、 こ のアナライザから出射された X線を X線検出器に入力してその強度 を検出し、 この X線検出器にて検出された強度を画像表示装置に入 力して被検査物の内部状態が分かる画像を表示する方法である。 また、 本発明の第 2の X線検査方法は、 上記第 1 の X線検査方法 において、 モノクロメータ、 コリメータおよびアナライザを、 角度 調整機を介して支持する方法である。
また、 本発明の第 3の X線検査方法は、 上記第 1 の X線検査方法 において、 コリメ一夕とアナライザとを分離して配置するとともに 、 これらの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置する方法で ある。
さらに、 本発明の第 4の X線検査方法は、 上記第 2の X線検査方 法において、 コリメ一夕とアナライザとを分離して配置するととも
'に、 これらの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置する方法 である。
上記各 X線検査装置および X線検査方法によると、 大型の放射光 施設にて発生される X線を用いることなく、 汎用で且つ小型の X線 発生装置を用いて、 被検査物の屈折画像を得ることができる。 図面の簡単な説明
図 1 は、 本発明の第 1の形態に係る X線検査装置の斜視図、 図 2は、 同 X線検査装置における X線の通過状態を説明する模式 図、
図 3 は、 同 X線検査装置における X線の通過状態を説明する模式 図、
図 4は、 本発明の第 2 'の形態に係る X線検査装置の斜視図である 発明を実施するための最良の形態
本発明を、 より詳細に説明するために、 添付の図面に従って説 明する。
図 1 は、 本発明の第 1 の形態に係る X線検査装置の外観を示して いる。
図 1 に示すように、 この X線検查装置は、 X線を発生する装置本 体部 1 aの上方に当該 X線の出射部 1 bが設けられた X線発生装置 1 と、 この X線発生装置 1 の出射部 1 bから出射された X線を入射 して X線のエネルギー密度を調節 [例えば、 X線を絞りエネルギー 密度を高くすることにより、 物体の通過力 （透過力ともいう） が高 められる] するとともに所定波長の X線を所定幅でもって出力する ためのモノクロメータ 2 と、 このモノクロメータ 2から出射された 所定波長の X線を入射してその平行性を 0 . ' 1秒以下に改善してず れがない所定波長 （単色光の X線であり、 これはモノクロメータと 協働の作用により得られるものである） の X線を所定方向に出力す るためのコリメ一夕 3 と、 このコリメ一夕 3から出射された X線が 被検査物を通過する際に屈折した X線を入射 （入力） してその屈折 度合いを強調するためのアナライザ 4と、 このアナライザ 4からの 屈折した X線の強度を検出するとともにディジタル信号として取り 出す X線検出器 5 と、 この X線検出器 5にて検出された X線強度の ディジタル信号を入力して被検査物の透過画像 （内部状態が分かる 立体的画像） を作成するとともに表示画面に表示する画像表示装置 6 とから構成されている。 なお、 X線の強度をディ ジタル信号に変 換する機能については、 X線検出器 5ではなく、 例えば画像表示装 置 6側に具備させてもよい。 そして、 上記モノクロメータ 2、 コリメータ 3およびアナライザ 4は、 それぞれ分離して配置されるとともに、 それぞれゴニォステ ージ （角度調整機の一例で、 具体的には、 精密角度調整機能を有す る台板である） 1 1〜 1 3上に載置され、 またコリメ一夕 3 とアナ ライザ 4との間には、 被検査物 Aを載置して所定方向に移動させ得 る移動装置 7が設けられている。
なお、 上記モノクロメータ 2およびコリメータ 3については、 X 線発生装置 1の装置本体部 1 a上に、 それぞれゴニォステージ 1 1 ， 1 2 を介して配置され、 またアナライザ 4については、 X線発生 装置 1 とは別個に設けられた架台 8上に、 ゴニォステージ 1 3を介 して配置されている。
上記ゴニォステージ 1 1〜 1 3 は、 その上面に載置されたモノク ロメ一夕 2、 コリメータ 3およびアナライザ 4の水平面内での角度 ( , b , cにて示す軸心回りでの方向） の微調整を行うものであ る。
上記移動装置 7は、 昇降自在 （矢印 dにて示す） に設けられた昇 降台 2 1 と、 この昇降台 2 1上に設けられた案内レール 2 2に案内 されて、 コリメ一夕 3 とアナライザ 4との間を横切るように、 すな わち X線の出射方向とほぼ直交する水平方向で、 駆動装置 2 3によ り往復移動自在 （矢印' eにて示す） に設けられるとともに被検査物 Aを載置し得るようにされた載置台 2 4とから構成されている。 上記 X線発生装置 1には、 特性 X線 （被検査物の材質に応じてそ の通過に必要なエネルギー密度の X線） を発生し得るアノード電極 (例えば、 C u， M o , A g , L a B 6など） が用いられるととも に、 汎用で且つ小型の回転口一夕式の装置が用いられている。 なお 、 従来は、 大型の放射光施設にて発生される X線が用いられていた また、 X線検出器 5は、 アナライザ 4からでた X線を入力してリ アルタイムでその強度を検出し得るもので、 具体的には、 装置の小 型化を図るために、 X線の吸収効率 （感度） が高い検出材 （原子番 号の大きい X線検出素子、 例えば C d T e ) により構成された直接 変換型の半導体検出器が用いられる。
ここで、 コリメ一夕 3およびアナライザ 4について、 もう少し詳 しく説明する。
すなわち、 図 2に示すように、 モノクロメータ 2からコリメータ 3に入射された X線は、 真っ直ぐに透過する透過 X線 Bと、 透過 X 線 Bとは反対方向 （線対称） に出射する回折 X線 Cとに分かれるた め、 通常は、 一方の X線を使用すればよいのであるが、 例えば両方 の X線を使用することにより、 2個の被検査物 A 1 , A 2を同時に 検査することができる。 この場合、 X線検出器 5 ( 5 ！ , 5 2 ) を 2個配置するとともに、 アナライザ 4を透過した各 X線が、 それぞ れの X線検出器 5 ぃ 5 2にだけ入るように、 X線案内用の遮蔽板 9が設けられる。 勿論、 図 3に示すように、 X線検出器 5の幅を広 く しておく ことにより、 コリメ一夕 3からの透過 X線 Bと回折 X線 Cにより、 被検査物 A 1 , A 2を透過した両方の X線 B , Cを、 同 一の X線検出器 5にて検出するようにしてもよい。 この場合も、 遮 蔽板 9が設けられる。
次に、 上記構成において、 被検査物の検査方法 （X線検査方法） について説.明する。
まず、 被検査物 （例えば、 手荷物など） Aを載置台 2 4上に載置 した後、 コリメ一夕 3 とアナライザ 4との間に移動させ、 次に X線 発生装置 1 の出射部 1 bから X線を出射する。
この出射された X線はモノクロメータ 2に入り、 ここで所定波長 で且つ所定幅の X線にされた後、 コリメ一夕 3 に入射され、 さらに ここから、 所定方向にすなわち被検査物 Aに対して所定波長の X線 が出射 （照射） される。
被検査物 Aに照射されて当該被検査 Aを通過する際に屈折した X線はアナライザ 4に入り、 ここでその屈折度合いが強調され、 X 線検出器 5に入力される。
そして、 この X線検出器 5では、 X線の強度が検出されるととも にその強度がディジタル信号にされて画像表示装置 6に入力され、 ここで、 被検査物 Aの内部状態が分かる透過画像が作成されるとと もに、 表示画面に表示される。
なお、 被検査物 Aの検査が終わると、 載置台 2 4の移動により外 部に搬出される。
上記 X線検査装置によると、 大型の放射光施設にて発生される X 線を用いることなく、 汎用で且つ小型の回転口一夕式の X線発生装 置 1 を用いるとともに、 その出射部 1 bから出射された X線のエネ ルギー密度の調節および所定波長の X線を所定幅でもつて出射し得 るモノクロメータ 2、 このモノクロメータ 2からの X線を所定方向 に出射し得るコリメ一夕 3、 このコリメ一夕 3から出射されて被検 査物 Aを通過する際に屈折した X線を入力するとともにその屈折度 合いを強調するアナライザ 4、 このアナライザ 4により強調された X線の強度を検出するとともにディジタル信号として検出する X線 検出器 5、 およびこの X線検出器 5にて検出された X線強度のディ ジタル信号に基づき被検査物 Aの内部状態が分かる透過画像を作成 するとともに表示する画像表示装置 6 とから構成したので、 X線の 通過時に屈折する現象を用いた装置の具体化を図ることができる。
また、 コリメータ 3およびアナライザ 4を分離して配置している ので、 後述する第 2の形態に係るコリメ一夕およびアナライザのよ うに、 シリコンィンゴッ 卜から—体物として切り出す場合に比べて 、 それぞれの幅 （長さ） が広いものを得ることができる。
ところで、 上記第 1の形態における移動装置 7 として、 昇降台 2 1上に、 所定方向で往復移動自在にされた載置台 2 4を配置したが 、 例えば載置台 2 4の替わりに、 ベルトコンペャを用いてもよい。 次に、 本発明の第 2の形態に係る X線検査装置について説明する 図 4は、 本発明の第 2の形態に係る X線検査装置の外観を示して いる。
上記第 1 の形態に係る X線検査装置においては、 コリメ一夕とァ ナライザとを分離した構成としたが、 本第 2の形態においては、 コ リメ一夕とアナライザとを一体物として構成したものである。
以下、 本第 2の形態に係る X線検査装置の説明に際し、 互いに異 なる部分に着目して説明するとともに、 図 4において、 第 1 の形態 に係る構成部材と同一の構成部材については、 同一の番号を付して おく。
すなわち、 図 4に示すように、 この X線検査装置に係るコリメ一 夕 5 1 とアナライザ 5 2 とは、 同一の支持基板 5 3上に所定距離離 して形成されており、 したがつてこの支持基板 5 3全体が、 ゴニォ ステージ 5 4上に載置されている。 なお、 上記ゴニォステージ 5 4 は、 その上面に載置されたコリメ一夕 5 1およびアナライザ 5 2の 水平面内での角度 （ f にて示す軸心回りでの方向） の微調整を行う ものである。
また、 上記支持基板 5 3上に形成されるコリメ一夕 5 1およびァ ナライザ 5 2については、 円柱状のシリコンインゴッ トから一体的 (勿論、 支持基板も含む） に切り出すことにより得られるものであ る。
このように、 円柱状のシリコンインゴッ トから一体的に切り出す 場合には、 その外径に制限があるとともに、 コリメ一夕とアナライ ザとの距離が長くなると、 どうしても、 それらの幅、 特にアナライ ザ （撮影画像の大きさに相当する） の幅を広くすることができなく なってしまう力 これについは、 第 1 の形態にて説明したように、 両者を分離することにより、 コリメータおよびアナライザの幅 （長 さ） を広くすることができる。 分かり易く言えば、 コリメ一夕およ びアナライザを、 シリコンインゴッ 卜の長さ方向でもって切り出す ことにより、 長いコリメ一夕および長いアナライザ、 すなわち幅が 広いコリメ一夕および幅が広いアナライザを得ることができる。
勿論、 この第 2の形態に係る X線検査装置の作用および効果につ いては、 コ リメ一夕とアナライザとを分離した構成を除き、 第 1 の 形態にて説明したものと同一であるため、 その説明を省略する。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . X線発生装置と、 この X線発生装置からの X線を入射するとと もにそのエネルギー密度を調節して所定波長の X線を所定幅でもつ て出射するモノクロメータと、 このモノクロメータからの X線を入 射して所定方向に出射するコリメ一夕と、 このコリメ一夕から出射 されて被検査物を通過する際に屈折した X線を入力してその屈折度 合いを強調するアナライザと、 このアナライザから出射された X線 を入力してその強度を検出する X線検出器と、 この X線検出器にて 検出された X線強度に基づき被検査物の屈折画像を表示する画像表' 示装置とから構成したことを特徴とする X線検査装置。
2 . モノクロメータ、 コリメ一夕およびアナライザを、 角度調整機 を介して支持したことを特徴とする請求項 1に記載の X線検査装
3 . コリメ一夕とアナライザとを分離して配置するとともに、 これ らの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置したことを特徴と する請求項 1 に記載の X線検査装置。
4 . コリメ一夕とアナライザとを分離して配置するとともに、 これ らの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置したことを特徴と する請求項 2に記載の X線検査装置。
5 . X線発生装置からの X線をモノクロメ一夕に入射するとともに そのエネルギー密度を調節して所定波長の X線を所定幅でもって出 射し、 このモノクロメータからの X線をコリメ一夕に入射して所定 方向に出射し、 このコリメ一夕から出射された X線を被検査物に照 射し、 この被検査物を通過する際に屈折した X線をアナライザに入 力してその屈折度合いを強調し、 このアナライザから出射された X 線を X線検出器に入力してその強度を検出し、 この X線検出器にて 検出された X線強度を画像表示装置に入力して被検査物の内部状態 が分かる画像を表示することを特徴とする X線検査方法。
' 6 . モノクロメータ、 コリメ一夕およびアナライザを、 角度調整機 を介して支持したことを特徴とする請求項 5に記載の X線検査方法
7 . コリメータとアナライザとを分離して配置するとともに、 これ らの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置したことを特徴と する請求項 5に記載の X線検査方法。
8 . コ リメータとアナライザとを分離して配置するとともに、 これ らの間に被検査物を移動させ得る移動装置を配置したことを特徴と する請求項 6 に記載の X線検査方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9700675B2 (en) 2011-12-13 2017-07-11 Pharmajet Inc. Needle-free intradermal injection device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06507019A (ja) * 1991-05-14 1994-08-04 ブイ―レイ　イメージング　コーポレイション 物体の内部構造の像を得るための方法
JPH06235704A (ja) * 1993-02-09 1994-08-23 Nippon Steel Corp 単色ｘ線ｃｔ装置
JPH09187455A (ja) * 1996-01-10 1997-07-22 Hitachi Ltd 位相型ｘ線ｃｔ装置
JPH10248833A (ja) * 1996-03-29 1998-09-22 Hitachi Ltd 位相コントラストｘ線撮像装置
JP2002505903A (ja) * 1998-03-12 2002-02-26 クウォンタ ビジョン インコーポレイティド 微小角度ｘ線断層撮影装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06507019A (ja) * 1991-05-14 1994-08-04 ブイ―レイ　イメージング　コーポレイション 物体の内部構造の像を得るための方法
JPH06235704A (ja) * 1993-02-09 1994-08-23 Nippon Steel Corp 単色ｘ線ｃｔ装置
JPH09187455A (ja) * 1996-01-10 1997-07-22 Hitachi Ltd 位相型ｘ線ｃｔ装置
JPH10248833A (ja) * 1996-03-29 1998-09-22 Hitachi Ltd 位相コントラストｘ線撮像装置
JP2002505903A (ja) * 1998-03-12 2002-02-26 クウォンタ ビジョン インコーポレイティド 微小角度ｘ線断層撮影装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9700675B2 (en) 2011-12-13 2017-07-11 Pharmajet Inc. Needle-free intradermal injection device
US10322238B2 (en) 2011-12-13 2019-06-18 Pharmajet, Inc. Needle-free intradermal injection device
US11154659B2 (en) 2011-12-13 2021-10-26 Pharmajet Inc. Needle-free intradermal injection device

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