WO2003088321A3 - Vorrichtung und verfahren zum positionieren eines plattenförmigen substrates - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum positionieren eines plattenförmigen substrates Download PDF

Info

Publication number
WO2003088321A3
WO2003088321A3 PCT/DE2003/001063 DE0301063W WO03088321A3 WO 2003088321 A3 WO2003088321 A3 WO 2003088321A3 DE 0301063 W DE0301063 W DE 0301063W WO 03088321 A3 WO03088321 A3 WO 03088321A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
transport section
photoelectric barrier
conveyer belt
front edge
Prior art date
Application number
PCT/DE2003/001063
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2003088321A2 (de
Inventor
Dirk Eisinger
Marc Zoller
Original Assignee
Siemens Ag
Dirk Eisinger
Marc Zoller
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag, Dirk Eisinger, Marc Zoller filed Critical Siemens Ag
Priority to EP03746222A priority Critical patent/EP1495488A2/de
Publication of WO2003088321A2 publication Critical patent/WO2003088321A2/de
Publication of WO2003088321A3 publication Critical patent/WO2003088321A3/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)

Abstract

Die Erfindung schafft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Positionieren eines Substrates (101) auf einer ein Transportband (302) aufweisenden Transportstrecke (100). Erfindungsgemäß wird die Position des transportierten Substrates (101) bestimmt, indem die in Transportrichtung (102) gesehene vorderste Kante des Substrates (101) mittels einer Lichtschranke erfasst wird. Der Erfassungsbereich (105) der Lichtschranke erstreckt sich bis unterhalb des Auflageniveaus (701) des Substrates (101) auf dem Transportband (302). Somit wird die Substratvorderkante auch dann erfasst, wenn sich diese beispielweise infolge eines Durchbiegens unterhalb des Auflageniveaus (701) befindet. Das Transportband (302) wird in einer Schleife um den Erfassungsbereich (105) der Lichtschranke herumgeführt, so dass sich der Erfassungsbereich (105) der Lichtschranke quer über die gesamte Transportstrecke (100) verlaufen kann. Gemäß einer Weiterbildung wird zusätzlich ein Sensorelement (106) verwendet, welcher relativ zu der Lichtschranke stromaufwärts an der Transportstrecke (100) angebracht ist und mittels welchem ebenfalls die Vorderkante des zu positionierenden Substrates (101) erfassbar ist. Auf diese Weise kann ein besonders schonendes Abbremsen des entlang der Transportstrecke (100) bewegten Substrates (101) erreicht werden.
PCT/DE2003/001063 2002-04-12 2003-04-01 Vorrichtung und verfahren zum positionieren eines plattenförmigen substrates WO2003088321A2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP03746222A EP1495488A2 (de) 2002-04-12 2003-04-01 Vorrichtung und verfahren zum positionieren eines plattenförmigen substrates

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2002116284 DE10216284C1 (de) 2002-04-12 2002-04-12 Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren eines plattenförmigen Substrates
DE10216284.0 2002-04-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2003088321A2 WO2003088321A2 (de) 2003-10-23
WO2003088321A3 true WO2003088321A3 (de) 2003-12-18

Family

ID=29224480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2003/001063 WO2003088321A2 (de) 2002-04-12 2003-04-01 Vorrichtung und verfahren zum positionieren eines plattenförmigen substrates

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1495488A2 (de)
CN (1) CN1647245A (de)
DE (1) DE10216284C1 (de)
WO (1) WO2003088321A2 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006042734A1 (de) * 2006-09-12 2008-03-27 Siemens Ag Fluggepäckförderanlage
CN108657818B (zh) * 2017-03-31 2024-04-26 可能可特科技（深圳）有限公司 一种基于fpc电镀的搬运装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2601430A1 (de) * 1975-06-30 1977-01-13 Fmc Corp Vorrichtung zur ueberwachung der position eines foerderbandes
US4463845A (en) * 1981-09-24 1984-08-07 Harris Gerald R Material-handling apparatus and method
DE19823938C1 (de) * 1998-05-28 2000-02-10 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zum linearen Positionieren und zur Lageerkennung eines Substrates

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2601430A1 (de) * 1975-06-30 1977-01-13 Fmc Corp Vorrichtung zur ueberwachung der position eines foerderbandes
US4463845A (en) * 1981-09-24 1984-08-07 Harris Gerald R Material-handling apparatus and method
DE19823938C1 (de) * 1998-05-28 2000-02-10 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zum linearen Positionieren und zur Lageerkennung eines Substrates
US6168003B1 (en) * 1998-05-28 2001-01-02 Siemens Aktiengesellschaft Method and apparatus for the linear positioning and for the position recognition of a substrate on an onserting unit

Also Published As

Publication number Publication date
DE10216284C1 (de) 2003-12-18
CN1647245A (zh) 2005-07-27
WO2003088321A2 (de) 2003-10-23
EP1495488A2 (de) 2005-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7178659B2 (en) Methods and apparatuses for inducting articles onto a conveyor
WO2000076884A3 (de) Einrichtung zur kontrolle und überwachung eines fördergurtes, insbesondere eines rohrfördergurtes
WO2003059789A3 (en) Conveyor belt inspection system and method
EP1321827A3 (de) Farbbilderzeugungsverfahren und -gerät
WO2004059699A3 (en) System and method for on-the-fly eccentricity recognition
WO1999062314A3 (de) Verfahren und vorrichtung zum linearen positionieren und zur lageerkennung eines substrates
EP1445079A3 (de) Vorrichtung zur Bearbeitung von bedruckten Verpackungen o. dgl. Substraten
EP1231520A3 (de) Bilderzeugungsgerät
CA2249284A1 (en) Singulating apparatus for a mail handling system
EP1052683A4 (de) Belichtungsverfahren und vorrichtung
EP1889783A3 (de) Verpackungsmaschine und Verfahren
TWI256469B (en) Polymer coatings for chemical sensors
MY126808A (en) Paper sheet feeder
JP2007050951A5 (de)
AU6815098A (en) Method and apparatus for detecting irregularities in a product
WO2003088321A3 (de) Vorrichtung und verfahren zum positionieren eines plattenförmigen substrates
WO2000045147A3 (de) Verfahren und vorrichtung zur detektion mikroskopisch kleiner objekte
ATE313501T1 (de) Fördereinrichtung zur leckerkennung von beuteln
EP1193204A3 (de) Lichtsensor für Bogenprodukte
WO2000009428A3 (de) Anordnung zur vereinzelung von nebeneinanderliegenden paketen
EP3231745B1 (de) Anlage zum transfer von gegenständen zwischen zwei fliessbändern, und verfahren zur steuerung des flusses dieser gegenstände
WO2009034723A1 (ja) 紙葉類処理機構、紙葉類処理方法および紙葉類処理装置
TR200302272T4 (tr) Gıda ürünü ambalaj malzemesi tomarını işlemek için çok kademeli ünite.
WO2000013995A3 (de) Einrichtung zum transportieren von blattförmigem fördergut
KR20090049213A (ko) 벨트 컨베이어장치용 벨트 쏠림 교정장치

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): CN JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT RO SE SI SK TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2003746222

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 20038082748

Country of ref document: CN

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2003746222

Country of ref document: EP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 2003746222

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: JP