WO2003047727A1 - Verfahren zur gasreinigung - Google Patents

Verfahren zur gasreinigung Download PDF

Info

Publication number
WO2003047727A1
WO2003047727A1 PCT/DE2002/004396 DE0204396W WO03047727A1 WO 2003047727 A1 WO2003047727 A1 WO 2003047727A1 DE 0204396 W DE0204396 W DE 0204396W WO 03047727 A1 WO03047727 A1 WO 03047727A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gas
plasma
process gas
cleaned
ignited
Prior art date
Application number
PCT/DE2002/004396
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Erwin Bayer
Jörg Höschele
Jürgen STEINWANDEL
Original Assignee
Mtu Aero Engines Gmbh
Daimlerchrysler Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mtu Aero Engines Gmbh, Daimlerchrysler Ag filed Critical Mtu Aero Engines Gmbh
Priority to US10/497,074 priority Critical patent/US7217903B2/en
Priority to EP02792629A priority patent/EP1448292A1/de
Publication of WO2003047727A1 publication Critical patent/WO2003047727A1/de

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/32—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by electrical effects other than those provided for in group B01D61/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
    • B01J19/122—Incoherent waves
    • B01J19/126—Microwaves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/80—Employing electric, magnetic, electromagnetic or wave energy, or particle radiation
    • B01D2259/806—Microwaves
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S588/00—Hazardous or toxic waste destruction or containment
    • Y10S588/90—Apparatus

Definitions

  • the invention relates to a method for gas purification according to the preamble of patent claim 1.
  • EP 0 785 016 A1 describes a complex process for removing pollutant-containing exhaust air by combining a biological cleaning stage with a non-thermal plasma cleaning stage. Another disadvantage of the process described in EP 0 785 016 A1 is that the non-thermal plasma only partially oxidizes the pollutants, which means that toxic constituents can be formed. For the cleaning of these components, the use of further moderators is used, which means a further construction effort.
  • thermal plasmas are used for cleaning gases.
  • the gas to be cleaned is fed into the between two electrodes e.g. generated by an arc burner thermal plasma.
  • the disadvantage here is that due to the high gas velocity of the plasma and the high density gradient, the gas to be cleaned can only penetrate insufficiently into the hot plasma zones.
  • the gas to be cleaned is passed through a thermal plasma, the plasma being generated by electrodeless ignition of a process gas, so that the pollutants contained in the gas to be cleaned are converted into environmentally neutral, fully oxidized substances by means of the thermal plasma.
  • An advantage of the method according to the invention is that due to the high plasma temperatures, which are in the range of a few 10,000 K, the pollutants, which usually consist of long-chain CH compounds, are split into individual environmentally compatible CH fragments, which is also referred to as cracking.
  • Another advantage is that no further filters or moderators are necessary. As a result, the method according to the invention is simpler and less expensive than conventional methods.
  • the plasma is generated without electrodes in the method according to the invention, no wearing parts such as e.g. the electrodes of an arc torch. This also prevents any reactions of the pollutants with the electrodes, which would lead to the formation of toxic constituents, particularly in tungsten electrodes in conventional arc burners.
  • the process gas required to ignite the plasma contains oxygen and / or nitrogen. Air can expediently be used as the process gas, but it is also possible to use process gases with other stoichiometric ratios.
  • the thermal plasma can be ignited by means of resonant coupling of high-frequency microwaves to the process gas. Such an ignition is known for example from DE 195 13 250 A1.
  • the method according to the invention can be used in particular in the cleaning of gases and vapors which arise in the bath care in electroplating or degreasing baths.
  • the method according to the invention can also be used in other fields of application in which the purification of exhaust air containing pollutants or harmful to health is required.
  • Fig. 1 shows a sectional view of a first exemplary embodiment of the method according to the invention, wherein the process gas is ignited by means of microwaves.
  • Fig. 2 shows a sectional view of a second exemplary embodiment of the method according to the invention, wherein the process gas is ignited by means of radio waves.
  • a first exemplary device for performing the method according to the invention is shown in a sectional view.
  • a dielectric microwave-transparent tube 1 with a gas inlet opening 2 and a gas outlet opening 3 is advantageously present.
  • the process gas P is advantageously introduced into the pipe 1 through the gas inlet opening 2, the process gas P being introduced in such a way that it advantageously has a tangential and an axial flow component directed in the direction of the gas outlet opening 3.
  • a metallic expansion nozzle 4 is advantageously attached to the gas outlet opening 3 of the tube 1.
  • the tube 1 is expediently in a waveguide 5, in which the microwaves, which are generated by a microwave source, not shown, are transported. By absorption of microwave energy, a thermal microwave plasma 7 is ignited in the area 6 in which the tube 1 is located in the waveguide 5.
  • the microwave source can be operated continuously or pulsed.
  • the gas RG to be cleaned is advantageously passed through the gas inlet opening 2 into the pipe 1 and thus through the region 6 in which the plasma 7 burns.
  • the cleaning of the pollutant-containing gas RG takes place in this area 6, the pollutants being cracked into individual environmentally compatible fragments.
  • This gas mixture consisting of the plasma 7, the cleaned gas G and the fragments, flows through the expansion nozzle 4 at the gas outlet opening 3 of the tube 1.
  • the gas mixture is expanded, thereby preventing, in particular, recombination of the fragments present in the gas mixture into toxic substances becomes.
  • FIG. 2 essentially corresponds to the embodiment shown in FIG. 1. 2, the tube 1 is wrapped with a coupling coil 8, however. Furthermore, the tube 1 is advantageously transparent to radio waves. Thus, according to the embodiment in FIG. 1, a thermal rf plasma 7 is generated in the region 6 by means of absorption of radio energy.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reinigung von Gasen, insbesondere zur Reinigung von mit Umwelt-Schadstoffen verunreinigten Gasen (RG) mittels Plasmaentladung. Erfindungsgemäß wird das zu reinigende Gas (RG) durch ein thermisches Plasma (7) geleitet, welches mittels elektrodenlosem Zünden eines Prozeßgases (P) erzeugt wird, so dass mittels des thermischen Plasmas (7) die in dem zu reinigenden Gas (G) enthaltenen Schadstoffe in umweltneutrale volloxidierte Substanzen umgewandelt werden.

Description

VERFAHREN ZUR GASREINIGUNG MITTELS PLASMAENTLADUNG
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Gasreinigung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Mit der zunehmenden Bedeutung des Umweltschutzes hat sich in den letzten Jahren eine Reihe von Verfahren zur Entfernung von Schadstoffen (Emissionen), z.B. von organischen Lösemitteln, in Abluft etabliert. In EP 0 785 016 A1 wird ein aufwendiges Verfahren zur Entfernung von schadstoffhaltiger Abluft durch Kombination einer biologischen Reinigungsstufe mit einer nicht-thermischen Plasmareinigungsstufe beschrieben. Ein weiterer Nachteil des in EP 0 785 016 A1 beschriebenen Verfahrens ist, dass durch das nicht-thermische Plasma die Schadstoffe nur teiloxidiert werden, wodurch toxische Bestandteile gebildet werden können. Es werden zur Reinigung dieser Bestandteile der Einsatz weiterer Moderatoren eingesetzt, die einen weiteren baulichen Aufwand bedeuten.
Es sind des weiteren Verfahren bekannt, bei denen zur Reinigung von Gasen thermische Plasmen verwendet werden. Hierbei wird das zu reinigende Gas in das zwischen zwei Elektroden z.B. eines Bogenbrenners erzeugte thermische Plasma geleitet. Der Nachteil hierbei ist, dass das zu reinigende Gas aufgrund der hohen Gasgeschwindigkeit des Plasmas und des hohen Dichtegradienten nur unzureichend in die heißen Plasmazonen eindringen kann.
Ein weiteres Verfahren, bei dem zur Abluftreinigung ein Plasma mit einem Katalysator kombiniert wird, ist aus dem PLASMACAT® - Verfahren der Fa. Up-To-Date Umwelttechnik AG bekannt. Ein weiteres Verfahren zur Gasreinigung mittels dielektrisch behinderter Entladung wird in US 5,387,775 beschrieben. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, mit dem eine gegenüber dem Stand der Technik einfachere und effektivere Reinigung von schadstoffhaltiger Luft möglich ist.
Diese Aufgabe wird mit dem Verfahren des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Erfindungsgemäß wird das zu reinigende Gas durch ein thermisches Plasma geleitet, wobei das Plasma mittels elektrodenlosem Zünden eines Prozeßgases erzeugt wird, so dass mittels des thermischen Plasmas die in dem zu reinigenden Gas enthaltenen Schadstoffe in umweltneutrale volloxidierte Substanzen umgewandelt werden.
Ein Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist, dass aufgrund der hohen Plasmatemperaturen, welche im Bereich von einigen 10000 K liegen, die Schadstoffe, welche üblicherweise aus langkettigen CH-Verbindungen bestehen, in einzelne umweltverträgliche CH-Fragmente gespalten werden, was auch als Cracken bezeichnet wird.
Ein weiterer Vorteil ist, dass keine weiteren Filter oder Moderatoren notwendig sind. Dadurch ist das erfindungsgemäße Verfahren gegenüber herkömmlichen Verfahren einfacher und kostengünstiger.
Da in dem erfindungsgemäßen Verfahren das Plasma elektrodenlos erzeugt wird, werden keine Verschleißteile wie z.B. die Elektroden eines Bogenbrenners benötigt. Somit werden auch etwaige Reaktionen der Schadstoffe mit den Elektroden, welche insbesondere bei Wolframelektroden in herkömmlichen Bogenbrennem zur Bildung von toxischen Bestandteilen führen würden.
In einer vorteilhaften Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist das zur Zündung des Plasmas benötigte Prozeßgas Sauerstoff- und/oder stickstoffhaltig. Zweckmäßig kann hierbei als Prozeßgas Luft verwendet werden, es ist aber auch möglich, Prozeßgase mit anderen stöchiometrischen Verhältnissen einzusetzen. Das thermische Plasma kann in einer vorteilhaften Ausführung der Erfindung mittels resonanter Kopplung von hochfrequenten Mikrowellen an das Prozeßgas gezündet werden. Eine derartige Zündung ist z.B. aus DE 195 13 250 A1 bekannt.
Es ist aber in einer anderen vorteilhaften Ausführung der Erfindung auch möglich, das thermische Plasma mittels induktiver Kopplung von Radiowellen an das Prozeßgas zu zünden. Ein derartiges Verfahren ist aus der nicht vorveröffentlichen DE 101 40 298.8 bekannt.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann insbesondere bei der Reinigung von Gasen und Dämpfen, die bei der Badpflege bei Galvanik- oder Entfettungsbädern entstehen, eingesetzt werden. Selbstverständlich kann das erfindungsgemäße Verfahren auch in anderen Anwendungsgebieten, in denen die Reinigung von schadstoffhaltiger oder gesundheitsschädlicher Abluft erforderlich ist, eingesetzt werden.
Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausführungen der Erfindung werden im weiteren anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 in Schnittdarstellung eine erste beispielhafte Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, wobei das Prozeßgas mittels Mikrowellen gezündet wird.
Fig. 2 in Schnittdarstellung eine zweite beispielhafte Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, wobei das Prozeßgas mittels Radiowellen gezündet wird.
In Fig. 1 ist in Schnittdarstellung eine erste beispielhafte Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dargestellt. Vorteilhaft ist ein dielektrisches mikrowellentransparenten Rohr 1 mit einer Gaseintrittsöffnung 2 und einer Gasaustrittsöffnung 3 vorhanden. Das Prozeßgas P wird vorteilhaft durch die Gaseintrittsöff- nung 2 in das Rohr 1 eingeleitet, wobei die Einleitung des Prozeßgases P derart erfolgt, dass es vorteilhaft eine tangentiale und eine in Richtung der Gasaustrittsöffnung 3 gerichtete axiale Strömungskomponente aufweist. An der Gasaustrittsöffnung 3 des Rohrs 1 ist vorteilhaft eine metallische Expansionsdüse 4 angebracht. Das Rohr 1 befindet sich zweckmäßig in einem Wellenleiter 5, in dem die Mikrowellen, welche von einer nicht dargestellten Mikrowellenquelle erzeugt werden, transportiert werden. Durch Absorption von Mikrowellenenergie wird in dem Bereich 6, in dem sich das Rohr 1 in dem Wellenleiter 5 befindet, ein thermisches Mikrowellenplasma 7 gezündet. Die Mikrowellenquelle kann dabei kontinuierlich oder gepulst betrieben werden.
Das zu reinigende Gas RG wird vorteilhaft durch die Gaseintrittsöffnung 2 in das Rohr 1 und somit durch den Bereich 6, in dem Plasma 7 brennt, geleitet. In diesem Bereich 6 findet die Reinigung des schadstoffhaltigen Gases RG statt, wobei die Schadstoffe in einzelne umweltverträgliche Fragmente gecrackt werden. Dieses, aus dem Plasma 7, dem gereinigten Gas G und den Fragmenten bestehende Gasgemisch, strömt durch die Expansionsdüse 4 an der Gasaustrittsöffnung 3 des Rohrs 1. Das Gasgemisch wird dabei expandiert, wodurch insbesondere eine Rekombination der in dem Gasgemisch vorhandenen Fragmente zu toxischen Substanzen verhindert wird.
Die in Fig. 2 dargestellte Ausführung entspricht im wesentlichen der in Fig. 1 gezeigten Ausführung. In Fig. 2 ist das Rohr 1 allerdings mit einer Koppelspule 8 umwickelt. Des weiteren ist das Rohr 1 vorteilhaft radiowellentransparent. Somit wird, entsprechend der Ausführung in Fig. 1 , mittels Absorption von Radioenergie im Bereich 6 ein thermisches rf-Plasma 7 erzeugt.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zur Reinigung von Gasen, insbesondere zur Reinigung von mit Umwelt-Schadstoffen verunreinigten Gasen (RG) mittels Plasmaentladung, dadurch gekennzeichnet, dass das zu reinigende Gas (RG) durch ein thermisches Plasma (7) geleitet wird, welches mittels elektrodenlosem Zünden eines Prozeßgases (P) erzeugt wird, so dass mittels des thermischen Plasmas (7) die in dem zu reinigenden Gas (RG) enthaltenen Schadstoffe in umweltneutrale volloxidierte Substanzen umgewandelt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Prozeßgas (P) sauerstoffhaltig und/oder stickstoffhaltig ist.
3. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasma (7) mittels resonanter Kopplung von hochfrequenten Mikrowellen an das Prozeßgas (P) gezündet wird.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass Plasma (7) mittels induktiver Kopplung von Radiowellen an das Prozeßgas (P) gezündet wird.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasma (7) in einem dielektrischen, mikrowellen- oder radiowel- lentransparenten sowie eine Gaseintritts-(2) und Gasaustrittsöffnung (3) aufweisenden Rohr (1) gezündet wird, wobei das Prozeßgas (P) derart durch die Gaseintrittsöffnung (2) in das Rohr (1) eingespeist wird, dass das Prozeßgas (P) eine tangentiale Strömungskomponente aufweist.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das zu reinigende Gas (RG) durch die Gaseintrittsöffnung (2) des Rohrs (1) in das Plasma eingeleitet wird. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasma (7) und das durch das Plasma (7) gereinigte Gas (G) durch eine an der Gasaustrittsöffnung (3) vorhandenen metallischen Expansionsdüse (4) geleitet werden.
PCT/DE2002/004396 2001-12-01 2002-11-29 Verfahren zur gasreinigung WO2003047727A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/497,074 US7217903B2 (en) 2001-12-01 2002-11-29 Method for purifying gas using plasma discharge
EP02792629A EP1448292A1 (de) 2001-12-01 2002-11-29 Verfahren zur gasreinigung mittels plasmaentladung

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10159152.7 2001-12-01
DE10159152A DE10159152A1 (de) 2001-12-01 2001-12-01 Verfahren zur Gasreinigung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2003047727A1 true WO2003047727A1 (de) 2003-06-12

Family

ID=7707769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2002/004396 WO2003047727A1 (de) 2001-12-01 2002-11-29 Verfahren zur gasreinigung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7217903B2 (de)
EP (1) EP1448292A1 (de)
DE (1) DE10159152A1 (de)
WO (1) WO2003047727A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006031075A1 (en) * 2004-09-15 2006-03-23 Automit Co., Ltd. Plasma apparatus for treating harmful gas
WO2016070950A1 (de) * 2014-11-06 2016-05-12 Brückner Maschinenbau GmbH & Co. KG Plasma abgasreinigung

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7452122B2 (en) * 2003-07-24 2008-11-18 Bio-Lab, Inc. Feeder device
FR2864795B1 (fr) * 2004-01-06 2008-04-18 Air Liquide Procede de traitement des gaz par des decharges hautes frequence
DE102004046814B3 (de) * 2004-09-27 2006-03-09 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Beeinflussung von Verbrennungsvorgängen, insbesondere zum Betrieb einer Gasturbine
US8994270B2 (en) 2008-05-30 2015-03-31 Colorado State University Research Foundation System and methods for plasma application
EP2297377B1 (de) 2008-05-30 2017-12-27 Colorado State University Research Foundation Auf plasma basierende chemikalienquellenvorrichtung und verfahren zu ihrer verwendung
US8575843B2 (en) 2008-05-30 2013-11-05 Colorado State University Research Foundation System, method and apparatus for generating plasma
KR101025035B1 (ko) * 2009-06-23 2011-03-25 주성호 프라즈마를 이용한 버어너
US8222822B2 (en) 2009-10-27 2012-07-17 Tyco Healthcare Group Lp Inductively-coupled plasma device
AU2010349784B2 (en) 2010-03-31 2015-01-15 Colorado State University Research Foundation Liquid-gas interface plasma device
CA2794902A1 (en) 2010-03-31 2011-10-06 Colorado State University Research Foundation Liquid-gas interface plasma device
US9532826B2 (en) 2013-03-06 2017-01-03 Covidien Lp System and method for sinus surgery
US9555145B2 (en) 2013-03-13 2017-01-31 Covidien Lp System and method for biofilm remediation

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0295083A2 (de) * 1987-06-08 1988-12-14 Efthimion, Philip C., Dr. Apparat und Verfahren für chemische Behandlungen mittels Hochdruck- und Atmosphärendruckplasma, hergestellt durch elektromagnetischen Wellen hoher Frequenz
DE4319118A1 (de) * 1993-06-09 1994-12-15 Breitbarth Friedrich Wilhelm D Verfahren und Vorrichtung zur Entsorgung von Fluorkohlenstoffen und anderen fluorhaltigen Verbindungen
US5478532A (en) * 1991-08-23 1995-12-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Large scale purification of contaminated air
EP0839929A1 (de) * 1996-10-30 1998-05-06 Applied Materials, Inc. Verfahren und Vorrichtung zur Reduzierung von Absetzungen in einer Abgasleitung
US5782085A (en) * 1995-04-07 1998-07-21 Dornier Gmbh Method and apparatus for continuously removing nitrogen oxides in exhaust gases of internal combustion engines
JP2000133494A (ja) * 1998-10-23 2000-05-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd マイクロ波プラズマ発生装置及び方法
WO2000062904A1 (en) * 1999-04-16 2000-10-26 Swinburne Limited Ioniser for effluent gas

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4916273A (en) * 1987-03-11 1990-04-10 Browning James A High-velocity controlled-temperature plasma spray method
US5349154A (en) * 1991-10-16 1994-09-20 Rockwell International Corporation Diamond growth by microwave generated plasma flame
US5387775A (en) 1993-03-31 1995-02-07 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Apparatus for the plasma destruction of hazardous gases
DE4428418C2 (de) * 1994-08-11 1997-03-06 Buck Chem Tech Werke Verfahren und Vorrichtung zum Inertisieren toxischer Gase oder toxischer vergasbarer Stoffe
US5611947A (en) * 1994-09-07 1997-03-18 Alliant Techsystems, Inc. Induction steam plasma torch for generating a steam plasma for treating a feed slurry
EP0785016A1 (de) 1996-01-17 1997-07-23 Rafflenbeul & Partner Verfahren zur Reinigung von schadstoffhaltiger Abluft durch Kombination einer biologischen Reinigungsstufe mit einer nicht-thermischen Plasmareinigungsstufe
US6830662B2 (en) * 1999-02-12 2004-12-14 Chang Yul Cha Process for microwave destruction of harmful agents and waste
US6153852A (en) * 1999-02-12 2000-11-28 Thermal Conversion Corp Use of a chemically reactive plasma for thermal-chemical processes
US6552295B2 (en) * 1999-12-20 2003-04-22 Research Triangle Institute Plasma furnace disposal of hazardous wastes
US6617538B1 (en) * 2000-03-31 2003-09-09 Imad Mahawili Rotating arc plasma jet and method of use for chemical synthesis and chemical by-products abatements
US6417625B1 (en) * 2000-08-04 2002-07-09 General Atomics Apparatus and method for forming a high pressure plasma discharge column
DE10140298B4 (de) 2001-08-16 2005-02-24 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren zum Plasmaschweißen

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0295083A2 (de) * 1987-06-08 1988-12-14 Efthimion, Philip C., Dr. Apparat und Verfahren für chemische Behandlungen mittels Hochdruck- und Atmosphärendruckplasma, hergestellt durch elektromagnetischen Wellen hoher Frequenz
US5478532A (en) * 1991-08-23 1995-12-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Large scale purification of contaminated air
DE4319118A1 (de) * 1993-06-09 1994-12-15 Breitbarth Friedrich Wilhelm D Verfahren und Vorrichtung zur Entsorgung von Fluorkohlenstoffen und anderen fluorhaltigen Verbindungen
US5782085A (en) * 1995-04-07 1998-07-21 Dornier Gmbh Method and apparatus for continuously removing nitrogen oxides in exhaust gases of internal combustion engines
EP0839929A1 (de) * 1996-10-30 1998-05-06 Applied Materials, Inc. Verfahren und Vorrichtung zur Reduzierung von Absetzungen in einer Abgasleitung
JP2000133494A (ja) * 1998-10-23 2000-05-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd マイクロ波プラズマ発生装置及び方法
US6340863B1 (en) * 1998-10-23 2002-01-22 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Microwave plasma generator and system for decomposing organic halide
WO2000062904A1 (en) * 1999-04-16 2000-10-26 Swinburne Limited Ioniser for effluent gas

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 2000, no. 08 6 October 2000 (2000-10-06) *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006031075A1 (en) * 2004-09-15 2006-03-23 Automit Co., Ltd. Plasma apparatus for treating harmful gas
WO2016070950A1 (de) * 2014-11-06 2016-05-12 Brückner Maschinenbau GmbH & Co. KG Plasma abgasreinigung
KR20170084133A (ko) * 2014-11-06 2017-07-19 브뤼크너 마시넨바우 게엠바하 운트 코. 카게 플라즈마 배기가스 정화
JP2017538887A (ja) * 2014-11-06 2017-12-28 ブリュックナー・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー・ウント・コー・カーゲー プラズマ浄化排気法及びその装置
US10525408B2 (en) 2014-11-06 2020-01-07 Brückner Maschinenbau GmbH & Co. KG Plasma exhaust purification
KR102327161B1 (ko) * 2014-11-06 2021-11-16 브뤼크너 마시넨바우 게엠바하 운트 코. 카게 플라즈마 배기가스 정화

Also Published As

Publication number Publication date
DE10159152A1 (de) 2003-06-12
EP1448292A1 (de) 2004-08-25
US7217903B2 (en) 2007-05-15
US20050139593A1 (en) 2005-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1448292A1 (de) Verfahren zur gasreinigung mittels plasmaentladung
DE69730280T2 (de) Verfahren und Anlage zur Behandlung von perfluorierten und hydrofluorkohlenwasserstoffhaltigen Gasen zu ihrer Vernichtung
EP0979135B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur zersetzung von schadstoffen in abgasen von verbrennungsprozessen
EP2611522A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur erzeugung einer barriereentladung in einem gasstrom
DE102006048814A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrowellenplasmen hoher Plasmadichte
EP0436822B1 (de) Verfahren zur Reinigung der Abgase von Anlagen zur Herstellung von Zementklinker
EP3112010B1 (de) Verfahren zur regenerierung eines voc-adsorbers
DE10142800A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Abgasnachbehandlung
DE202011050141U1 (de) Dunstabzugshaube für ein Gargerät und Einheit mit Gargerät und Dunstabzugshaube
WO1996037690A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von abgas
EP1327106A1 (de) Zerstäubungsbrenner für die thermische spaltung von schwefelhaltigem reststoff
DE60131826T2 (de) Entsorgung fluorhaltiger Substanzen aus Gasströmen
DE10304489B4 (de) Einrichtung zur Reinigung von Abgasen mit fluorhaltigen Verbindungen in einem Verbrennungsreaktor mit niedriger Stickoxidemission
EP0659465B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abgasreinigung
EP3114261B1 (de) Heizvorrichtung zur herstellung von kohlenstofffasern
WO2024115407A1 (de) Vorrichtung zur erzeugung einer plasmaflamme, plasmaerzeugungseinrichtung, hochtemperaturprozessanlage und entsprechendes betriebsverfahren
DE4428418C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Inertisieren toxischer Gase oder toxischer vergasbarer Stoffe
EP0347753B1 (de) Verfahren zur Reinigung von Abgasen aus CVD-Prozessen
EP3112008A1 (de) Verfahren zur regenerierung eines adsorbers mittels plasmaquelle und adsorbervorrichtung
DE10330114A1 (de) Vorrichtung zur Reinigung schadstoffhaltiger Abluft
CH691928A5 (de) Schmelzofen zur thermischen Behandlung von schwermetallhaltigen und/oder dioxinhaltigen Sonderabfällen.
DE3320709A1 (de) Elektrischer brenner fuer oxidierenden ofen
DE10059440A1 (de) Verbrennungsverfahren und impulsstromgesteuerte Brennstoff/Sauerstoff-Lanze
EP1400277B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung eines gasförmigen Fluids
DE2360187C2 (de) Verbrennungskammer für die Reinigung von Prozeßabgasen

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE SK TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2002792629

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2002792629

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10497074

Country of ref document: US