WO2002088778A2 - Ligne a retard optique - Google Patents

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WO2002088778A2
WO2002088778A2 PCT/FR2002/001424 FR0201424W WO02088778A2 WO 2002088778 A2 WO2002088778 A2 WO 2002088778A2 FR 0201424 W FR0201424 W FR 0201424W WO 02088778 A2 WO02088778 A2 WO 02088778A2
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micro
mirrors
delay line
optical
signal
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PCT/FR2002/001424
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WO2002088778A3 (fr
Inventor
Patrick Brindel
Emmanuel Desurvire
Original Assignee
Alcatel
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
    • G02B6/2861—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using fibre optic delay lines and optical elements associated with them, e.g. for use in signal processing, e.g. filtering
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror

Definitions

  • the present invention relates to the field of telecommunications equipment and in particular optical systems.
  • the invention relates more particularly to optical synchronization means belonging to an optical signal transmission system.
  • the optical signal synchronization means generally comprise optical delay lines.
  • a delay line lengthens the optical path length of a signal crossing it, in particular in order to synchronize this signal with another signal not crossing this line.
  • Delay lines are used in particular in two main types of applications.
  • the first type of application concerns the regeneration of optical signals. It is known that for the transmission of optical signals over very long distances such as transoceanic transmissions by submarine cable, it is necessary to regenerate the signals at regular intervals to compensate for their attenuation during their propagation in the line optical fiber. .
  • This regeneration is not limited to a simple amplitude regeneration but also includes temporal processing such as temporal reshaping and refocusing in time because these signals also undergo deformations during their propagation.
  • These signals for example wavelength multiplexes on WDM (Wavelength Division Multiplexing in English terminology) transmission channels, are generally regenerated by synchronous modulation techniques.
  • Optical delay lines are used for this purpose to synchronize groups of WDM signals simultaneously with respect to a reference clock required for time processing.
  • optical switching which has the function of routing signals from certain transmission channels to other available channels.
  • the switching equipment requires optical synchronization of all the signals used.
  • Known delay lines can be specific optical fibers having the particularity of being stretchable over portions of their length placed between mandrels, in order to obtain, by modification of the length of the stretchable portion, the desired optical path for a given signal .
  • These delay lines are generally inserted on the line fibers.
  • optical delay lines lack stability. Indeed, the stresses generated by the stretching can vary according to the polarization modes of the signals or exceed the elastic limit of the stretchable fiber, thus creating irreversible modifications.
  • optical delay lines currently used are of the mechanical type. Such delay lines, generally placed between an input optical fiber and an output optical fiber, comprise a collimating input lens and a focusing output lens separated by a free space forming the optical path whose length is adjustable by means of a screw or a micrometer, with or without motorization.
  • Optical delay lines such as stretchable fibers are bulky. Similarly, optical delay lines of the mechanical type are difficult to integrate into an optical system, their lengths often exceeding 10 cm.
  • the object of the invention is to provide an optical delay line for the optical synchronization of signals which is reliable and easily integrated into an optical system.
  • the invention is based on the use of micro-mirrors, such as those described in the article by WU M C et al., "Optical MEMS: Huge possibilities for
  • the invention provides for this purpose an optical delay line intended to lengthen the length of the optical path by at least one signal passing through said line, said line being characterized in that it comprises at least one optical axis on which are aligned a plurality of micro-mirrors and an actuator for controlling the position of said micro-mirrors.
  • the basic idea of the invention therefore consists in developing a miniaturized delay line through the use of a plurality of micro-mirrors which are for example manufactured according to microelectronic type processes.
  • the miniaturized delay line according to the invention provides an optical synchronization means that can easily be integrated into an optical system.
  • the micro-mirrors can be easily aligned in the axis of an input optical fiber. In this way, a signal entering the delay line by this fiber travels on this same axis before and after reflection on a micro-mirror.
  • a delay line according to the invention can comprise a single optical fiber for input and output which reduces the manufacturing cost.
  • the micro-mirrors can be of the planar, spherical, corner, multi-sided or birefringent type. They can also absorb signals of a certain wavelength range, for example spurious signals.
  • micro-mirrors make it possible to reduce the number of actions on one or more micro-mirrors so that optical synchronization is more reliable and faster.
  • the micro-mirrors can be integrated into a component-type support such as a silicon substrate.
  • the micro-mirrors can be movable in rotation and the delay line then comprises an actuator for orienting the micro-mirrors.
  • the length of the optical path of a signal crossing the delay line according to the invention may depend on the orientation of micro-mirrors which reflect it. Micro-mirrors can be oriented so that they reflect this signal and therefore lengthen the length of its optical path compared to a signal not crossing the line.
  • the choice and / or the orientation of one or more micro-mirrors which reflect a signal can be modified so that the length of the optical path of the signal is adjusted as required.
  • optical delay line according to the invention therefore makes it possible to synchronize or temporally shift a signal crossing the line with respect to another signal which does not cross it.
  • the micro-mirrors and the actuator for orienting the micro-mirrors can be integrated into a support of the component type such as a silicon substrate.
  • micro-mirrors and the actuator for orienting the micro-mirrors are easily integrated into an optical system. This is made possible for example thanks to the technology used to make the Micro-Opto-Electro-Mechanical systems called MEMS.
  • MEMS are components manufactured from microelectronic type processes which simultaneously offer mechanical, electrical and optical functions.
  • MEMS have many advantages such as their great integration capacity due to their reduced size and their reliability due to the advanced techniques employed.
  • the micro-mirrors can be deformable and the delay line then comprises an actuator for deforming the micro-mirrors.
  • the length of the optical path of a signal crossing the delay line can also depend according to the invention on the deformation of micro-mirrors which reflect it.
  • the micro-mirrors and the actuator for deforming the micro-mirrors can be according to the invention integrated in a component-type support such as a silicon substrate.
  • the optical delay line according to the invention can comprise means for programming the length of the optical signal path.
  • micro-mirrors and the programming means can be integrated into a component-type support.
  • the micro-mirrors and the programming means according to the invention can be easily integrated into an optical system.
  • all the micro-mirrors can be aligned along a single optical axis. If this axis corresponds to the axis of the input optical fiber, a signal entering the delay line according to the invention by this fiber travels on this same axis before and after reflection on a micro-mirror determined at l 'advanced. This signal therefore crosses the input optical fiber. It is thus possible to use only one optical fiber at the input and output of the delay line, which reduces the manufacturing cost.
  • all the micro-mirrors can be aligned along at least two distinct optical axes, these micro-mirrors being arranged in two groups of at least two micro-mirrors each.
  • the optical delay line can comprise an optical circulator.
  • the delay line according to the invention may further comprise at least one micro-filter in wavelength selective reflection to filter at least one of the signals.
  • a reflection micro-filter according to the invention is a wavelength selective miniaturized reflection filter.
  • the length of the optical path of a signal crossing the line according to the invention is then a function of its wavelength which is not achievable in the prior art unless adding additional specific delay lines dedicated to each wavelength.
  • the optical delay line according to the invention makes it possible to shift signals of distinct wavelengths arriving simultaneously at the level of the line. It also makes it possible to synchronize signals of distinct wavelengths arriving at the line level at different times.
  • the micro-mirrors and the micro-filters in reflection according to the invention can be integrated in a component type support in order to be easily integrated in an optical system.
  • a delay line according to the invention can comprise at least two micro-mirrors and at least one micro-filter in selective wavelength reflection, the micro-filter in selective wavelength reflection being placed on the optical path between two successive micro-mirrors.
  • the reflection micro-filter (s) according to the invention can be Bragg micro-networks.
  • a Bragg micro-network according to the invention is a miniaturized Bragg network also manufactured according to microelectronic type methods in order to be integrated into an optical system.
  • the delay line according to the invention makes possible the optical synchronization of a group of WDM type signals of distinct wavelengths.
  • An optical signal transmission system can advantageously comprise a delay line according to the invention.
  • a WDM regenerated transmission system can be optimized using a delay line according to the invention because it has the advantage of pre-synchronizing only the signals which need to be regenerated.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of a delay line according to the invention in a first embodiment
  • FIG. 2 shows the delay line of Figure 1 with the path of a signal s 1
  • FIG. 3 shows the delay line of FIG. 1 with the path of a signal s 2
  • FIG. 4 is a schematic perspective view of a delay line according to the invention in a second embodiment
  • FIG. 5 shows the delay line of FIG. 4 with the path of a signal s 3 ,
  • FIG. 6 shows the delay line of FIG. 4 with the path of a signal s 4 ,
  • Figure 7 is a schematic perspective view of a delay line according to the invention in a third embodiment
  • Figure 8 is a schematic view of an optical system incorporating the delay line of Figure 7.
  • the common elements have the same reference numbers.
  • FIG. 1 shows a delay line 10 according to a first embodiment of the invention, comprising a silicon substrate 8 carrying an input optical fiber 1 1 on the X axis, followed by an input collimating lens 1 3 arranged along the X axis, and a plurality of micro-mirrors 6 arranged along the 'X axis,.
  • the silicon substrate 8 further comprises an output optical fiber 12 of axis X 2 distinct from the axis X, and parallel to the latter.
  • the fiber 12 is preceded by an exit collimating lens 14 along the axis X 2 and a plurality of micro-mirrors 6 also arranged along the axis X 2 .
  • the micro-mirrors 6 are deformable along the axes X, and X 2 by means of membranes (not shown), and mobile in rotation around the axes X, and X 2 by means of pivoting supports (not shown).
  • Line 10 for this purpose comprises electronic means for orienting and / or deforming these micro-mirrors 6 such as for example an actuator 7 of the electrostatic, thermal, magnetic or piezoelectric type.
  • the actuator 7 controls the orientation and / or the deformation of the micro-mirrors 6 by means of electrical connections 9 with the micro-mirrors 6.
  • the micro-mirrors 6 are grouped two by two so as to form pairs 1 5, 1 6 and 1 7.
  • Each pair 15, 16 and 1 7 comprises a micro-mirror carried by the X axis, and a micro-mirror carried by axis X 2 .
  • the pair 1 5 therefore consists of two micro-mirrors 15, and 1 5 2 respectively carried by the X axis, and the X axis 2 . The same is true for pairs 16 and 1 7.
  • the choice, the orientation and / or the deformation of micro-mirrors 6 at a given instant can be programmed in advance by programming means (not shown) and independently for each pair 1 5 , 1 6 and 1 7 of micro-mirrors.
  • these parameters can be easily changed in order to modify the length of the optical signal path.
  • the part of the silicon substrate 8 containing the micro-mirrors 6 does not exceed 1 mm in length, the spacing between the micro-mirrors 6 can be of the order of 100 ⁇ m.
  • the electronic means 7 for orienting and / or deforming the micro-mirrors 6 as well as the means for programming (not shown) the length of the optical signal path are manufactured according to microelectronic type methods used for MEMS and integrated on the substrate 8.
  • the length of the delay line 10 is less than 5 cm and is therefore easily integrated into an optical system.
  • the input optical fiber 1 1 in particular delivers a signal s, or a signals 2 .
  • the signal s, or the signal s 2 is collimated by means of the input collimating lens 1 3.
  • the signal s is reflected successively on the micro-mirrors 16, and 1 6 2 . After passing through the output collimating lens 14, this signal s arrives in the output optical fiber 12.
  • the signal s can thus be synchronized or offset in time with respect to another signal (not shown) which does not cross this line 10.
  • the signal s 2 presented in FIG. 3 is reflected successively on the micro-mirrors 1 7, and 1 7 2 while the pairs 15 and 1 6 allow it to pass. Then, after passing through the output collimating lens 14, this signal s 2 passes through the output optical fiber 12.
  • the signal s 2 can thus be synchronized or offset in time with respect to another signal (not shown) which does not cross this line 10.
  • line 10 can in particular make it possible to interleave different signals perfectly in time.
  • an optical path of 1 50 ⁇ m in length introduces a delay of the order of a picosecond.
  • the delay line 10 also makes it possible to time-shift several signals arriving simultaneously at the level of the line 10 with respect to other signals which do not cross this line 10.
  • a signal (not shown) can also cross the delay line 10 along the axis X, and undergo a single reflection on one of the micro-mirrors 6 of the axis X,. In this case, this signal does not cross the output optical fiber 1 2 but returns to the input optical fiber 1 1.
  • a delay line according to the invention 20 comprises a silicon substrate 8 carrying an optical fiber 21 of axis X, followed by a collimating lens 23 disposed along the X axis, and a plurality of micro-mirrors 6 also arranged along the X axis,.
  • the delay line 20 further comprises an optical circulator 29 disposed upstream of the optical fiber 21, in connection with an input line optical fiber 291 as well as an output line optical fiber 292.
  • the micro-mirrors 6 are deformable along the X axis, by means of membranes (not shown), and mobile in rotation around the X axis, thanks to pivoting supports (not shown).
  • the delay line 20 comprises electronic means for orienting and deforming these micro-mirrors 6. such as an actuator 7 which controls the orientation and / or the deformation of the micro-mirrors 6 by means of of electrical connections 9 with the micro-mirrors 6.
  • each micro-mirror at a given instant can be programmed in advance by programming means (not shown).
  • the electronic means 7 for orientation and / or deformation as well as the means for programming (not shown) the length of the optical path signals are manufactured according to microelectronic type methods used for MEMS and integrated on the substrate 8.
  • FIGS. 5 and 6 represent two different configurations of the line 20 with regard to the orientation of the micro-mirrors 6.
  • the input line optical fiber 291 notably delivers a signal s 3 or a signal s 4 .
  • the signal s 3 or the signal s 4 passes through the circulator 29 then the optical fiber 21 and is collimated by means of the collimating lens 23.
  • the signal s 3 presented in FIG. 5 is reflected on the micro-mirror 26 oriented parallel to the optical fiber 21 and then performs the reverse path. After passing through the collimating lens 23, this signal s 3 arrives in the optical fiber 21 and then again crosses the optical circulator 29 which directs it to the optical fiber of the output line 292.
  • the signal s 3 can thus be synchronized or offset in time with respect to another signal (not shown) which does not cross this line 20.
  • the signal s 4 presented in FIG. 6 is reflected on the micro-mirror 25 oriented parallel to the optical fiber 21 and then performs the reverse path. After passing through the collimating lens 23, this signal s 4 arrives in the optical fiber 21 then again crosses the optical circulator 29 which directs it to the optical fiber of the output line 292.
  • the signal s 4 can thus be synchronized or offset in time with respect to another signal (not shown) which does not cross this line 20.
  • a signal (not shown) can also cross the line to late without thinking. In this case, this signal does not cross the optical fiber 21.
  • a delay line according to the invention 30 comprises a silicon substrate 8 carrying an input optical fiber 31 followed by an input collimating lens 33 and a plurality of micro-mirrors 6 arranged along the optical path.
  • the delay line 30 further comprises an output optical fiber 32 preceded by an output collimating lens 34 and Bragg microarrays 37, regularly arranged between several successive micro-mirrors.
  • the micro-mirrors 6 are deformable by means of membranes (not shown) and mobile in rotation thanks to pivoting supports (not shown).
  • the delay line 30 includes electronic means for orienting and / or deforming these micromirrors 6 such as an actuator 7 which controls the orientation and / or deformation of the micro-mirrors 6 by means of electrical connections (not shown) with the micro-mirrors 6.
  • the micro-mirrors 6 are grouped two by two so as to form pairs and in particular the pairs 35 and 36.
  • the pair 35 is thus made up of two micro-mirrors 35, and 35 2 .
  • pair 36 is thus made up of two micro-mirrors 35, and 35 2 . The same is true for pair 36.
  • micro-mirrors The choice, orientation and / or deformation of the micro-mirrors at a given instant can be programmed in advance by programming means (not shown) and independently for each pair of micro-mirrors.
  • programming means not shown
  • delay line 30 since the delay line 30 is easily reconfigurable, these parameters can be easily modified.
  • the Bragg 37 microgrids filter in reflection signals of one or certain wavelengths and let through the other signals of wavelengths distinct from that (s) filtered (s) .
  • the Bragg micro-networks 37, the electronic means 7 for deforming and orienting the micro-mirrors as well as the means for programming (not shown) the length of the optical signal path are produced according to the microelectronic type methods used for MEMS and integrated on the substrate 8.
  • the Bragg 37 micro-networks can be in particular written in the substrate 8 for example using the technology used for the silicon / silica waveguides.
  • the input optical fiber 31 delivers signals s 5 and s 6 of distinct wavelengths ⁇ 5 and ⁇ 6 .
  • the signals s 5 and s ⁇ are collimated by means of the input collimating lens 33.
  • the signal s 5 is reflected successively on the micro-mirrors 35, and 35 2 then passes through a Bragg micro-network 37, before being again reflected on the micro-mirrors 36, and 36 2 .
  • This signal is finally reflected by a Bragg 37 2 micro-network filtering in particular the signals of wavelength ⁇ 5 .
  • the signal s 5 then performs the reverse path and after a second pass through the input collimating lens 33, this signal s 5 returns to the input optical fiber 31.
  • the signal s 6 shifted in time with respect to the signal s 5 , is reflected successively on the micro-mirrors 35, and 35 2 . then on the Bragg 37 micro-network, filtering in particular the signals of wavelength ⁇ ⁇ .
  • the signal s 6 then performs the reverse path and after a second pass through the input collimating lens 33, this signal s 6 returns to the input optical fiber 31.
  • the initial time offset between each signal s 5 and s 6 can be of the order of the duration or of a fraction of the duration of a bit.
  • the signals s 5 and s 6 are synchronized.
  • a signal (not shown) after a series of successive reflections on pairs of micro-mirrors can cross the entire delay line 30 without being reflected by at least one Bragg micro-array 37. This signal then passing through the optical fiber of output 32 instead of input optical fiber 31 is separated from other signals.
  • the delay line 30 provides an optical synchronization function combined with a frequency filtering function.
  • the signals s 5 , s 6 are for example WDM signals in particular of the NRZ type or else signals of the RZ type such as the solitons.
  • the delay line 30 can be used in a regenerated WDM transmission system shown in FIG. 8.
  • the transmission system comprises the delay line 30 placed between an optical circulator 49 and an OADM (for Optical Add and Drop Module in English terminology). Saxon) 47 parallel to a synchronous optical regenerator called “3R” (for Re-shaping Re-timing Re-amplifying in English terminology) 46.
  • This system 40 carries signals s 7 s 8 and s 9 of wavelengths distinct and time-shifted.
  • WDM s 7 and s 8 which need to be regenerated arrive at the delay line 30 which provides a pre-synchronization of these signals s 7 and s 8 . These signals then cross again the circulator 49 and arrive at the level of the optical regenerator 46 then in the OADM 47.
  • the WDM signal s 9 After passing through the optical circulator 49, the WDM signal s 9 which is not to be regenerated crosses the delay line 30 and then arrives at the OADM 47 where all the signals s 7 , s 8 and s 9 are recombined .

Abstract

La présente invention concerne le domaine des équipements de télécommunications et notamment des systèmes optiques. L'invention propose à cet effet une ligne à retard optique destinée à allonger la longueur du chemin optique d'au moins un signal traversant ladite ligne caractérisée en ce qu'elle comprend au moins un axe optique sur lequel sont alignés une pluralité de micro-miroirs (6) et en ce qu'elle comprend un actionneur (7) pour commander la position des micro-miroirs.

Description

LIGNE A RETARD OPTIQUE
La présente invention concerne le domaine des équipements de télécommunications et notamment des systèmes optiques. L'invention concerne plus particulièrement des moyens de synchronisation optique appartenant à un système de transmission de signaux optiques.
De manière connue, les moyens de synchronisation optique de signaux comprennent généralement des lignes à retard optique. Une ligne à retard allonge la longueur du chemin optique d'un signal la traversant, notamment afin de synchroniser ce signal avec un autre signal ne traversant pas cette ligne.
Les lignes à retard sont notamment utilisées dans deux types d'applications principaux.
Le premier type d'application concerne la régénération de signaux optiques. On sait que pour la transmission de signaux optiques sur de très longues distances telles que les transmissions transocéaniques par câble sous- marin, il est nécessaire de régénérer à intervalles réguliers les signaux pour compenser leur atténuation au cours de leur propagation dans la fibre optique de ligne. Cette régénération ne se limite pas à une simple régénération en amplitude mais comporte aussi des traitements temporels tels que la remise en forme temporelle et le recentrage dans le temps car ces signaux subissent également des déformations au cours de leur propagation.
Ces signaux, par exemple multiplexes en longueurs d'onde sur des canaux de transmission WDM (Wavelength Division Multiplexing en terminologie anglo-saxonne), sont généralement régénérés par des techniques de modulation synchrone. Les lignes à retard optique sont utilisées à cet effet pour synchroniser simultanément des groupes de signaux WDM par rapport à une horloge de référence requise pour les traitements temporels.
Un deuxième type d'application des lignes à retard optique est la commutation optique, qui a pour fonction d'aiguiller des signaux issus de certains canaux de transmission vers d'autres canaux disponibles. Les équipements de commutation requièrent une synchronisation optique de l'ensemble des signaux mis en œuvre.
Des lignes à retard connues peuvent être des fibres optiques spécifiques possédant la particularité d'être étirables sur des portions de leur longueur placées entre des mandrins, afin d'obtenir par modification de la longueur de la portion étirable le chemin optique souhaité pour un signal donné. Ces lignes à retard sont généralement insérées sur les fibres de lignes.
Cependant, de telles lignes à retard optique manquent de stabilité. En effet, les contraintes générées par l'étirement peuvent varier en fonction des modes de polarisation des signaux ou dépasser la limite d'élasticité de la fibre étirable, créant alors des modifications irréversibles.
D'autres lignes à retard optique actuellement utilisées sont de type mécanique. De telles lignes à retard, généralement placées entre une fibre optique d'entrée et une fibre optique de sortie, comprennent une lentille d'entrée de collimation et une lentille de sortie de focalisation séparées par un espace libre formant le chemin optique dont la longueur est réglable au moyen d'une vis ou d'un micromètre, avec ou sans motorisation.
Les lignes à retard optique telles que les fibres étirables sont encombrantes. De même, les lignes à retard optique de type mécanique sont difficilement intégrables dans un système optique, leurs longueurs dépassant souvent 1 0 cm.
Le but de l'invention est de réaliser une ligne à retard optique pour la synchronisation optique de signaux fiable et aisément intégrable dans un système optique. L'invention se fonde sur l'utilisation de micro-miroirs, tels que ceux décrits dans l'article de WU M C et al., « Optical MEMS : Huge possibilities for
Lilliputian-sized devices », Optics and Photonics News, Optical Society of
America, Washington, vol. 9, No. 6, June 1 998, pages 25-29.
L'invention propose à cet effet une ligne à retard optique destinée à allonger la longueur du chemin optique d'au moins un signal traversant ladite ligne, ladite ligne étant caractérisée en ce qu'elle comprend au moins un axe optique sur lequel sont alignés une pluralité de micro-miroirs et un actionneur pour commander la position desdits micro-miroirs.
L'idée de base de l'invention consiste donc à mettre au point une ligne à retard miniaturisée grâce à l'utilisation d'une pluralité de micro-miroirs qui sont par exemple fabriqués selon des procédés de type microélectronique.
Ainsi, la ligne à retard miniaturisée selon l'invention fournit un moyen de synchronisation optique facilement intégrable dans un système optique.
Les micro-miroirs peuvent être aisément alignés dans l'axe d'une fibre optique d'entrée. De cette manière, un signal entrant dans la ligne à retard par cette fibre effectue un parcours sur ce même axe avant et après réflexion sur un micro-miroir. Ainsi, une ligne à retard selon l'invention peut comprendre une unique fibre optique d'entrée et de sortie ce qui réduit le coût de fabrication. Les micro-miroirs peuvent être de type plan, sphérique, coin, à multi faces ou biréfringent. Ils peuvent également absorber des signaux d'une certaine gamme de longueur d'onde, par exemple des signaux parasites.
L'utilisation d'une pluralité de micro-miroirs permet de réduire le nombre des actions sur un ou des micro-miroirs de telle manière que la synchronisation optique est plus fiable et plus rapide.
Dans un mode de réalisation préféré, les micro-miroirs peuvent être intégrés dans un support de type composant tel qu'un substrat en silicium.
Ceci permet de réduire la taille de la ligne à retard selon l'invention et d'augmenter ainsi sa capacité d'intégration dans un système optique. De préférence, les micro-miroirs peuvent être mobiles en rotation et la ligne à retard comprend alors un actionneur pour orienter les micro-miroirs.
Ainsi, la longueur du chemin optique d'un signal traversant la ligne à retard selon l'invention peut dépendre de l'orientation de micro-miroirs qui le réfléchissent. Des micro-miroirs peuvent être orientés de sorte qu'ils réfléchissent ce signal et allongent donc la longueur de son chemin optique par rapport à un signal ne traversant pas la ligne.
De plus, le choix et/ou l'orientation d'un ou des micro-miroirs qui réfléchissent un signal peuvent être modifiés de sorte que la longueur du chemin optique du signal est ajustée en fonction des besoins.
La ligne à retard optique selon l'invention permet donc de synchroniser ou de décaler temporellement un signal traversant la ligne par rapport à un autre signal qui ne la traverse pas.
Avantageusement, les micro-miroirs et l'actionneur pour orienter les micro-miroirs peuvent être intégrés dans un support de type composant tel qu'un substrat en silicium.
Ainsi, les micro-miroirs et l'actionneur pour orienter les micro-miroirs sont facilement intégrables dans un système optique. Ceci est rendu possible par exemple grâce à la technologie utilisée pour réaliser les systèmes Micro- Opto-Electro-Mécanique dits MEMS.
De manière générale, les MEMS sont des composants fabriqués à partir de procédés de type microélectronique qui offrent simultanément des fonctions mécaniques, électriques et optiques. Les MEMS présentent de nombreux atouts tels que leur grande capacité d'intégration du fait de leur taille réduite et leur fiabilité du fait des techniques de pointe employées.
Avantageusement, les micro-miroirs peuvent être déformables et la ligne à retard comprend alors un actionneur pour déformer les micro-miroirs.
Ainsi, la longueur du chemin optique d'un signal traversant la ligne à retard peut aussi dépendre selon l'invention de la déformation de micro- miroirs qui le réfléchissent.
Dans un mode de réalisation préféré, les micro-miroirs et l'actionneur pour déformer les micro-miroirs peuvent être selon l'invention intégrés dans un support de type composant tel qu'un substrat en silicium.
De cette façon les micro-miroirs et l'actionneur pour déformer les micro-miroirs sont facilement intégrables dans un système optique. Dans un mode de réalisation avantageux, la ligne à retard optique selon l'invention peut comprendre des moyens de programmation de la longueur du chemin optique de signaux.
Ces moyens de programmation permettent de déterminer à l'avance, en fonction des besoins, la longueur du chemin optique de signaux traversant une ligne selon l'invention, ceci en déterminant à l'avance l'orientation et/ou la déformation des micro-miroirs à chaque instant. En outre, la ligne à retard selon l'invention peut être facilement reconfigurable.
Les micro-miroirs et les moyens de programmation peuvent être intégrés dans un support de type composant. Ainsi, les micro-miroirs et les moyens de programmation selon l'invention sont aisément intégrables dans un système optique.
Avantageusement, tous les micro-miroirs peuvent être alignés le long d'un axe optique unique. Si cet axe correspond à l'axe de la fibre optique d'entrée, un signal entrant dans la ligne à retard selon l'invention par cette fibre effectue un parcours sur ce même axe avant et après réflexion sur un micro-miroir déterminé à l'avance. Ce signal retraverse donc la fibre optique d'entrée. Il est ainsi possible de n'utiliser qu'une seule fibre optique en entrée et en sortie de la ligne à retard ce qui réduit le coût de fabrication.
Dans un mode de réalisation préféré, tous les micro-miroirs peuvent être alignés le long d'au moins deux axes optiques distincts, ces micro-miroirs étant arrangés en deux groupes d'au moins deux micro-miroirs chacun.
Selon un mode de réalisation, la ligne à retard optique peut comprendre un circulateur optique.
Placé en amont d'une fibre optique d'entrée ou en aval d'une fibre optique de sortie, ce circulateur permet de sélectionner et d'orienter un signal qui a éventuellement subi un décalage temporel. Dans un autre mode de réalisation, la ligne à retard selon l'invention peut comprendre en outre au moins un micro-filtre en réflexion sélectif en longueur d'onde pour filtrer au moins l'un des signaux.
Un micro-filtre en réflexion selon l'invention est un filtre en réflexion miniaturisé sélectif en longueur d'onde.
Ainsi, la longueur du chemin optique d'un signal traversant la ligne selon l'invention est alors fonction de sa longueur d'onde ce qui n'est pas réalisable dans l'art antérieur à moins d'ajouter des lignes à retard spécifiques supplémentaires dédiées à chaque longueur d'onde. De cette façon, la ligne à retard optique selon l'invention permet de décaler des signaux de longueurs d'onde distinctes arrivant simultanément au niveau de la ligne. Elle permet également de synchroniser des signaux de longueurs d'onde distinctes arrivant au niveau de la ligne à différents instants.
De préférence, les micro-miroirs et les micro-filtres en réflexion selon l'invention peuvent être intégrés dans un support de type composant afin d'être aisément intégrables dans un système optique.
Selon une variante, une ligne à retard selon l'invention peut comprendre au moins deux micro-miroirs et au moins un micro-filtre en réflexion sélectif en longueur d'onde, le micro-filtre en réflexion sélectif en longueur d'onde étant placé sur le chemin optique entre deux micro-miroirs successifs.
Avantageusement, le ou les micro-filtres en réflexion selon l'invention peuvent être des micro-réseaux de Bragg.
Un micro-réseau de Bragg selon l'invention est un réseau de Bragg miniaturisé également fabriqué selon les procédés de type microélectronique afin d'être intégrable dans un système optique.
Ainsi, la ligne à retard selon l'invention rend possible la synchronisation optique d'un groupe de signaux de type WDM de longueurs d'onde distinctes. Un système de transmission de signaux optiques peut comprendre avantageusement une ligne à retard selon l'invention.
Par exemple, un système de transmission régénéré WDM peut être optimisé à l'aide d'une ligne à retard selon l'invention car elle présente l'avantage de présynchroniser uniquement les signaux qui ont besoin d'être régénérés.
Les caractéristiques et objets de la présente invention ressortiront de la description détaillée donnée ci-après en regard des figures annexées, présentées à titre illustratif et nullement limitatif. Dans ces figures :
• la figure 1 est une vue schématique en perspective d'une ligne à retard selon l'invention dans un premier mode de réalisation,
• la figure 2 montre la ligne à retard de la figure 1 avec le trajet d'un signal s1 ; • la figure 3 montre la ligne à retard de la figure 1 avec le trajet d'un signal s2,
• la figure 4 est une vue schématique en perspective d'une ligne à retard selon l'invention dans un second mode de réalisation,
• la figure 5 montre la ligne à retard de la figure 4 avec le trajet d'un signal s3,
• la figure 6 montre la ligne à retard de la figure 4 avec le trajet d'un signal s4,
• la figure 7 est une vue schématique en perspective d'une ligne à retard selon l'invention dans un troisième mode de réalisation, • la figure 8 est une vue schématique d'un système optique incorporant la ligne à retard de la figure 7. Dans toutes ces figures, les éléments communs portent les mêmes numéros de référence.
On a représenté en figure 1 , une ligne à retard 10 selon un premier mode de réalisation de l'invention, comprenant un substrat de silicium 8 portant une fibre optique d'entrée 1 1 d'axe X, suivie d'une lentille de collimation d'entrée 1 3 disposée le long de l'axe X, et d'une pluralité de micro-miroirs 6 disposés le long de l'axe X, . Le substrat de silicium 8 comprend en outre une fibre optique de sortie 1 2 d'axe X2 distinct de l'axe X, et parallèle à ce dernier. La fibre 1 2 est précédée d'une lentille de collimation de sortie 14 le long de l'axe X2 et d'une pluralité de micro-miroirs 6 également disposés le long de l'axe X2.
Les micro-miroirs 6 sont déformables le long des axes X, et X2 par l'intermédiaire de membranes (non représentées), et mobiles en rotation autour des axes X, et X2 grâce à des supports pivotants (non représentés). La ligne 10 comprend à cet effet des moyens électroniques d'orientation et/ou de déformation de ces micro-miroirs 6 tels que par exemple un actionneur 7 de type électrostatique, thermique, magnétique ou piézoélectrique. L'actionneur 7 commande l'orientation et/ou la déformation des micro-miroirs 6 par l'intermédiaire de connexions électriques 9 avec les micro-miroirs 6.
Les micro-miroirs 6 sont groupés deux à deux de manière à former des paires 1 5, 1 6 et 1 7. Chaque paire 15, 16 et 1 7 comprend un micromiroir porté par l'axe X, et un micro-miroir porté par l'axe X2. La paire 1 5 est donc constituée de deux micro-miroirs 15, et 1 52 respectivement portés par l'axe X, et l'axe X2. Il en est de même pour les paires 16 et 1 7.
Selon l'invention, le choix, l'orientation et/ou la déformation de micro-miroirs 6 à un instant donné peuvent être programmés à l'avance par des moyens de programmation (non représentés) et de façon indépendante pour chaque paire 1 5, 1 6 et 1 7 de micro-miroirs. De plus, la ligne à retard 10 étant facilement reconfigurable ces paramètres peuvent être facilement changés afin de modifier la longueur du chemin optique de signaux.
La partie du substrat en silicium 8 contenant les micro-miroirs 6 ne dépasse pas 1 mm de longueur, l'espacement entre les micro-miroirs 6 pouvant être de l'ordre de 100 μm. Les moyens électroniques 7 d'orientation et/ou de déformation des micro-miroirs 6 ainsi que les moyens de programmation (non représentés) de la longueur du chemin optique de signaux sont fabriqués selon les procédés de type microélectronique utilisés pour les MEMS et intégrés sur le substrat 8. La longueur de la ligne à retard 10 est inférieure à 5 cm et est ainsi facilement intégrable dans un système optique.
On décrit maintenant le fonctionnement de la ligne à retard 10 en relation avec les figures 2 et 3 qui représentent deux configurations différentes de la ligne 10 pour ce qui est de l'orientation des micro-miroirs 6. La fibre optique d'entrée 1 1 délivre notamment un signal s, ou un signals2. En arrivant au niveau de la ligne 10, le signal s, ou le signal s2 est collimaté au moyen de la lentille de collimation d'entrée 1 3.
Le signal s,, présenté en figure 2, est réfléchi successivement sur les micro-miroirs 16, et 1 62. Après un passage dans la lentille de collimation de sortie 14, ce signal s, arrive dans la fibre optique de sortie 1 2.
A la sortie de la ligne à retard 10 le signal s, peut être ainsi synchronisé ou décalé temporellement par rapport à un autre signal (non représenté) qui ne traverse pas cette ligne 10.
Le signal s2 présenté en figure 3 est réfléchi successivement sur les micro-miroirs 1 7, et 1 72 tandis que les paires 15 et 1 6 le laissent passer. Ensuite, après un passage dans la lentille de collimation de sortie 14, ce signal s2 traverse la fibre optique de sortie 1 2.
A la sortie de la ligne à retard 10 le signal s2 peut être ainsi synchronisé ou décalé temporellement par rapport à un autre signal (non représenté) qui ne traverse pas cette ligne 10.
Associée à un coupleur optique, la ligne 10 peut notamment permettre d'entrelacer parfaitement temporellement des signaux différents. A titre d'exemple, un chemin optique de 1 50 μm de longueur introduit un délai de l'ordre de la picoseconde. La ligne à retard 10 permet aussi de décaler temporellement plusieurs signaux arrivant simultanément au niveau de la ligne 10 par rapport à d'autres signaux qui ne traversent pas cette ligne 10.
Un signal (non représenté) peut également traverser la ligne à retard 10 le long de l'axe X, et subir une seule réflexion sur l'un des micro-miroirs 6 de l'axe X, . Dans ce cas, ce signal ne traverse pas la fibre optique de sortie 1 2 mais retourne dans la fibre optique d'entrée 1 1 .
Dans un second mode de réalisation présenté en figure 4, une ligne à retard selon l'invention 20 comprend un substrat de silicium 8 portant une fibre optique 21 d'axe X, suivie d'une lentille de collimation 23 disposée le long de l'axe X, et d'une pluralité de micro-miroirs 6 également disposés le long de l'axe X, . La ligne à retard 20 comprend en outre un circulateur optique 29 disposé en amont de la fibre optique 21 , en liaison avec une fibre optique de ligne d'entrée 291 ainsi qu'une fibre optique de ligne de sortie 292.
Les micro-miroirs 6 sont déformables le long de l'axe X, par l'intermédiaire de membranes (non représentées), et mobiles en rotation autour de l'axe X, grâce à des supports pivotants (non représentés). La ligne à retard 20 comprend à cet effet des moyens électroniques d'orientation et de déformation de ces micro-miroirs 6. tels qu'un actionneur 7 qui commande l'orientation et/ou la déformation des micro-miroirs 6 par l'intermédiaire de connexions électriques 9 avec les micro-miroirs 6.
Selon l'invention, le choix, l'orientation et/ou la déformation de chaque micro-miroir à un instant donné peut être programmé à l'avance par des moyens de programmation (non représentés). De plus, la ligne à retard
20 étant facilement reconfigurable, ces paramètres peuvent être facilement changés afin de modifier la longueur du chemin optique de signaux.
Les moyens électroniques 7 d'orientation et/ou de déformation ainsi que les moyens de programmation (non représentés) de la longueur du chemin optique de signaux sont fabriqués selon les procédés de type microélectronique utilisés pour les MEMS et intégrés sur le substrat 8.
On décrit maintenant le fonctionnement de la ligne à retard 20 en relation avec les figures 5 et 6 qui représentent deux configurations différentes de la ligne 20 pour ce qui est de l'orientation des micro-miroirs 6.
La fibre optique de ligne d'entrée 291 délivre notamment un signal s3 ou un signal s4 . Le signal s3 ou le signal s4 traverse le circulateur 29 puis la fibre optique 21 et est collimaté au moyen de la lentille de collimation 23.
Le signal s3 présenté en figure 5, est réfléchi sur le micro-miroir 26 orienté parallèlement à la fibre optique 21 puis effectue le trajet inverse. Après un passage dans la lentille de collimation 23, ce signal s3 arrive dans la fibre optique 21 puis traverse à nouveau le circulateur optique 29 qui l'oriente sur la fibre optique de ligne de sortie 292.
A la sortie de la ligne à retard 20 le signal s3 peut être ainsi synchronisé ou décalé temporellement par rapport à un autre signal (non représenté) qui ne traverse pas cette ligne 20.
Le signal s4 présenté en figure 6, est réfléchi sur le micro-miroir 25 orienté parallèlement à la fibre optique 21 puis effectue le trajet inverse. Après un passage dans la lentille de collimation 23, ce signal s4 arrive dans la fibre optique 21 puis traverse à nouveau le circulateur optique 29 qui l'oriente sur la fibre optique de ligne de sortie 292.
A la sortie de la ligne à retard 20 le signal s4 peut être ainsi synchronisé ou décalé temporellement par rapport à un autre signal (non représenté) qui ne traverse pas cette ligne 20. Un signal (non représenté) peut également traverser la ligne à retard sans subir de réflexion. Dans ce cas, ce signal ne retraverse pas la fibre optique 21 .
La ligne à retard 20 permet aussi de décaler temporellement plusieurs signaux arrivant simultanément au niveau de cette ligne 20 par rapport à d'autres signaux qui ne traversent pas la ligne 20. Dans un troisième mode de réalisation présenté en figure 7, une ligne à retard selon l'invention 30 comprend un substrat de silicium 8 portant une fibre optique d'entrée 31 suivie d'une lentille de collimation d'entrée 33 et d'une pluralité de micro-miroirs 6 disposés le long du chemin optique. La ligne à retard 30 comprend en outre une fibre optique de sortie 32 précédée d'une lentille de collimation de sortie 34 et de micro-réseaux de Bragg 37, régulièrement disposés entre plusieurs micro-miroirs successifs.
Les micro-miroirs 6 sont déformables par l'intermédiaire de membranes (non représentées) et mobiles en rotation grâce à des supports pivotants (non représentés). La ligne à retard 30 comprend à cet effet des moyens électroniques d'orientation et/ou de déformation de ces micromiroirs 6 tels qu'un actionneur 7 qui commande l'orientation et/ou la déformation des micro-miroirs 6 par l'intermédiaire de connexions électriques (non représentées) avec les micro-miroirs 6. Les micro-miroirs 6 sont groupés deux à deux de manière à former des paires et notamment les paires 35 et 36. La paire 35 est ainsi constituée de deux micro-miroirs 35, et 352. Il en est de même pour la paire 36.
Le choix, l'orientation et/ou la déformation des micro-miroirs à un instant donné peuvent être programmés à l'avance par des moyens de programmation (non représentés) et de façon indépendante pour chaque paire de micro-miroirs. De plus, la ligne à retard 30 étant facilement reconfigurable, ces paramètres peuvent être facilement modifiés.
En fonction de leurs pas, les micro-réseaux de Bragg 37, filtrent en réflexion des signaux d'une ou de certaines longueurs d'onde et laisse passer les autres signaux de longueurs d'onde distinctes de celle(s) filtrée(s).
Les micro-réseaux de Bragg 37, les moyens électroniques 7 pour déformer et orienter les micro-miroirs ainsi que les moyens de programmation (non représentés) de la longueur du chemin optique de signaux sont fabriqués selon les procédés de type microélectronique utilisés pour les MEMS et intégrés sur le substrat 8. Les micro-réseaux de Bragg 37 peuvent être notamment inscrits dans le substrat 8 par exemple à l'aide de la technologie employée pour les guides d'onde silicium/silice.
On décrit maintenant le fonctionnement de la ligne à retard 30.
La fibre optique d'entrée 31 délivre des signaux s5 et s6 de longueurs d'onde distinctes λ5 et λ6. Les signaux s5 et sό sont collimatés au moyen de la lentille de collimation d'entrée 33.
Le signal s5 est réfléchi successivement sur les micro-miroirs 35, et 352 puis traverse un micro-réseau de Bragg 37, avant d'être à nouveau réfléchi sur les micro-miroirs 36, et 362. Ce signal est enfin réfléchi par un micro- réseau de Bragg 372 filtrant notamment les signaux de longueur d'onde λ5. Le signal s5 effectue alors le trajet inverse et après un deuxième passage dans la lentille de collimation d'entrée 33, ce signal s5 retourne dans la fibre optique d'entrée 31 .
Le signal s6, décalé dans le temps par rapport au signal s5, est réfléchi successivement sur les micro-miroirs 35, et 352. puis sur le micro-réseau de Bragg 37, filtrant notamment les signaux de longueur d'onde λό. Le signal s6 effectue alors le trajet inverse et après un deuxième passage dans la lentille de collimation d'entrée 33, ce signal s6 retourne dans la fibre optique d'entrée 31 . Le décalage temporel initial entre chaque signal s5 et s6 peut être de l'ordre de la durée ou d'une fraction de la durée d'un bit. A la sortie de la ligne à retard 40 les signaux s5 et s6 sont synchronisés.
Un signal (non représenté) après une série de réflexions successives sur des paires de micro-miroirs peut traverser la totalité de la ligne à retard 30 sans être réfléchi par au moins un micro-réseau de Bragg 37. Ce signaltraversant alors la fibre optique de sortie 32 au lieu de la fibre optique d'entrée 31 est séparé des autres signaux.
De cette façon, la ligne de retard 30 assure une fonction de synchronisation optique combinée à une fonction de filtrage en fréquence. Les signaux s5, s6 sont par exemple des signaux WDM notamment de type NRZ ou bien des signaux de type RZ tels que les solitons.
La ligne à retard 30 peut être utilisée dans un système de transmission regénéré WDM représenté en figure 8. Le système de transmission comprend la ligne à retard 30 placée entre un circulateur optique 49 et un OADM (pour Optical Add and Drop Module en terminologie anglo-saxonne) 47 parallèlement à un régénérateur optique synchrone dit « 3R » (pour Re- shaping Re-timing Re-amplifying en terminologie anglo-saxonne) 46. Ce système 40 transporte des signaux s7 s8 et s9 de longueurs d'onde distinctes et décalés dans le temps.
On décrit maintenant le fonctionnement du système de transmission 40.
Après un premier passage dans le circulateur optique 49, les signaux
WDM s7 et s8 qui ont besoin d'être régénérés arrivent au niveau de la ligne à retard 30 qui assure une présynchronisation de ces signaux s7 et s8. Ces signaux retraversent alors le circulateur 49 et arrivent au niveau du régénérateur optique 46 puis dans l'OADM 47.
Après un passage dans le circulateur optique 49, le signal WDM s9 qui n'est pas à régénérer traverse la ligne à retard 30 puis arrive au niveau de l'OADM 47 où tous les signaux s7, s8 et s9 sont recombinés.
Bien entendu, la description qui précède a été donnée à titre purement illustratif. On pourra sans sortir du cadre de l'invention remplacer tout moyen par un moyen équivalent. Notamment, dans tous les modes de réalisations, on peut traiter des signaux de longueurs d'onde distinctes ou de même longueur d'onde, signaux arrivant simultanément ou à différents instants au niveau d'une ligne selon l'invention.

Claims

REVENDICATIONS
1. Ligne à retard optique (10, 20, 30) destinée à allonger la longueur du chemin optique d'au moins un signal (s, ...s9) traversant ladite ligne, caractérisée en ce qu'elle comprend au moins un axe optique sur lequel sont alignés une pluralité de micro-miroirs (6) et en ce qu'elle comprend un actionneur (7) pour commander la position des micromiroirs.
2. Ligne à retard (10, 20, 30) selon la revendication 1 caractérisée en ce que lesdits micro-miroirs (6) sont intégrés dans un support (8).
3. Ligne à retard (10, 20, 30) selon l'une des revendications 1 ou 2 caractérisée en ce que lesdits micro-miroirs (6) sont mobiles en rotation et en ce l'actionneur (7) est conçu pour orienter lesdits micro- miroirs (6).
4. Ligne à retard (10, 20, 30) selon la revendication 3 caractérisée en ce que lesdits micro-miroirs (6) et ledit actionneur (7) pour orienter lesdits micro-miroirs (6) sont intégrés dans un support (8).
5. Ligne à retard (10, 20, 30) selon l'une des revendications 1 à 4 caractérisée en ce que lesdits micro-miroirs (6) sont déformables et en ce que l'actionneur (7) est conçu pour déformer lesdits micro-miroirs
(6)-
6. Ligne à retard (10, 20, 30) selon la revendication 5 caractérisée en ce que lesdits micro-miroirs (6) et ledit actionneur (7) pour déformer lesdits micro-miroirs (6) sont intégrés dans un support (8).
7. Ligne à retard (10, 20, 30) selon l'une des revendications 1 à 6 caractérisée en ce qu'elle comprend des moyens de programmation de ladite longueur du chemin optique de signaux (s, ...s9).
8. Ligne à retard (10, 20, 30) selon la revendication 7 caractérisée en ce que lesdits micro-miroirs (6) et lesdits moyens de programmation sont intégrés dans un support (8).
9. Ligne à retard (20) selon l'une des revendications 1 à 8 caractérisée en ce que tous lesdits micro-miroirs (25, 26) sont alignés le long d'un axe optique (X,).
10. Ligne à retard (10, 30) selon l'une des revendications 1 à 8 caractérisée en ce que tous lesdits micro-miroirs (15, ...362) sont alignés le long d'au moins deux axes optiques distincts (X,, X2), lesdits micro- miroirs (1 5, ...362) étant arrangés en deux groupes d'au moins deux micro-miroirs chacun (15...36).
1 1. Ligne à retard (20) selon l'une des revendications 1 à 10 caractérisée en ce qu'elle comprend un circulateur optique (29).
12. Ligne à retard (30) selon l'une des revendications 1 à 1 1 caractérisée en ce qu'elle comprend au moins un micro-filtre en réflexion sélectif en longueur d'onde (37) pour filtrer au moins l'un desdits signaux (s5,...s9).
13. Ligne à retard (30) selon la revendication 12 caractérisée en ce que lesdits micro-miroirs (6) et lesdits micro-filtres en réflexion (37) sont intégrés dans un support (8).
14. Ligne à retard (30) selon l'une des revendications 12 ou 1 3 caractérisée en ce qu'elle comprend au moins deux micro-miroirs (35, ...362) et au moins un micro-filtre en réflexion sélectif en longueur d'onde (37,, 372), ledit micro-filtre en réflexion sélectif en longueur d'onde (37,, 372) étant placé sur le chemin optique entre deux micromiroirs (35, ...362) successifs.
1 5. Ligne à retard (30) selon l'une des revendications 1 2 à 14 caractérisée en ce qu'au moins un micro-filtre en réflexion est un microréseau de Bragg (37,, 372).
16. Système de transmission (40) de signaux (s, ...s9) caractérisé en ce qu'il comprend une ligne à retard optique (10, 20, 30) selon l'une des revendications 1 à 15.
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