WO2001052270A1 - Modulation method for the large-angle orientation of polarization planes in light beams within the vacuum ultraviolet and x-ray spectral region and device for carrying out said method - Google Patents

Modulation method for the large-angle orientation of polarization planes in light beams within the vacuum ultraviolet and x-ray spectral region and device for carrying out said method Download PDF

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WO2001052270A1
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WO
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angle
membrane
light beams
magnetic field
incidence
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PCT/DE2000/004628
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Hans-Christoph Mertins
Franz Schäfers
Andreas Gaupp
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Berliner Elektronenspeichering - Gesellschaft Für Synchrotronstrahlung M.B.H.
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/09—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on magneto-optical elements, e.g. exhibiting Faraday effect

Definitions

  • Modulation method for large-angle alignment of polarization planes in light beams in the vacuum ultraviolet and X-ray spectral range and device for carrying out the method are described in detail below.
  • the invention relates to a modulation method for time-related, variable alignment under a large-angle relative inclusion angle ⁇ of polarization planes of linearly or elliptically polarized light beams in the vacuum ultraviolet and X-ray spectral range with respect to a target surface by variable magnetic and optical action on the light beams in a modulation line and on a device for carrying out the method.
  • the microscopy and spectroscopy of magnetic domains or structures of magneto-optically active samples are becoming increasingly important in basic and application-oriented research, for example in the development of storage media for fast computers as well as in the study of non-magnetic substances, the intrinsic linear dichroism show how Langmuir Blodget films or polymers under tension.
  • the use of synchrotron radiation in the vacuum ultraviolet (VUV) and X-ray spectral range, which has to be carried out in the vacuum range, is of increasing importance, which has great advantages over the classic use of visible radiation. Due to the smaller wavelength of synchrotron radiation, for example, the spatial resolution increases to the nm range - a necessary prerequisite for the characterization and development of new types of nanostructures.
  • MCD Magnetic Circular Dichroism
  • MLD Magnetic Linear dichroism
  • MCD microscopy After MCD microscopy has developed successfully in recent years, there are now promising approaches for MLD microscopy.
  • the use of the MLD effect also allows the mapping of antiferromagnetic domains and thus expands the possibilities that are given by the MCD effect. This fact is e.g. of interest for the investigation of magnetic superlattices in oscillating interlayer couplings in magnetic layer systems.
  • Microscopy using the MLD effect enables the representation of the magnetic structures by determining the difference image (difference of the failure intensities if the incident intensities were the same) from two images, with parallel or perpendicular orientation between sample magnetization and polarization plane of the radiation used have been included.
  • the samples are “scanned” for image acquisition and the difference image is recorded from each sample location within a short time ( ⁇ 1 sec) (compare “X-Ray Microscopy and Spectromicroscopy”, J. Thieme et al., Springer-Verlag Berlin-Heidelberg 1998).
  • a mechanical sample rotation such as is also done in scanning microscopy, creates a local offset between the sample location and the scanning light beam, which is significantly larger than the spatial resolution of an individual microscope image, which leads to a reduction in the spatial resolution of the difference image.
  • the shifting of the magnet series allows the plane of polarization of the emitted light to be rotated, but the intensity of the incident radiation cannot be kept constant. This means that when using such aligned radiation to generate difference images, these do not reflect the magnetic structure of the sample to be examined.
  • the shifting of the magnet series takes a few minutes and is therefore very slow, which on the one hand leads to an intolerable increase in the measurement time.
  • an undulator as a highly specialized measurement setup is extremely expensive and generally not readily available.
  • Both light beams are spatially separated and pass through a simple chopper in the form of a rotating pinhole before they hit a sample location as the target area.
  • the chopper acts optically on the two light beams and modulates the alignment of the polarization planes in a time pattern.
  • this very new, but known modulation method is based on an extremely expensive arrangement, the cost per undulator is approximately DM 1 million.
  • the two parallel light beams have to be temporally within the desired resolution of approx. 30 nm at the location of the sample and energetically stable, which is currently not possible.
  • Another possibility for rotating the plane of polarization is to use the Faraday effect. If linearly polarized light passes through a magnetized film, the plane of polarization can undergo a rotation. This is a known effect in the visible spectral range.
  • the amount of Faraday rotation depends on the material used, the light energy or the wavelength of the light and the component of the magnetization of the film, which is parallel to the direction of light. A maximum Faraday rotation can currently be observed in a narrowband energy range near a resonance energy of the material used.
  • the direction of the Faraday rotation depends on the orientation of the magnetization and light direction (parallel / anti-parallel). In the VUV and X-ray area, this effect has recently been observed by scientists as part of basic research (see below).
  • tuneable polariser used in this context refers to the fact that the multilayer mirror can be used for different wavelengths of the X-rays used.
  • the method according to the invention therefore provides that the alignment is achieved exclusively by utilizing the Faraday effect, in that the light beams on the modulation path are guided through a thin membrane made of a magneto-optical membrane material which shows the Faraday effect and which a magnetic field B 0 .... B S which is continuously variable in strength from zero to the material-dependent saturation and in the orientation and whose angle of incidence ⁇ is below the right angle to the direction of propagation of the Light rays can be rotated, and the large-angle relative inclusion angle ⁇ can be continuously modulated for two polarization planes of the light rays
  • the aim of the modulation method according to the invention is the highly precise, temporal alignment of the polarization plane under a relative inclusion angle ⁇ on a target surface, usually a sample to be examined.
  • the linear or elliptically polarized light undergoes a rotation of its plane of polarization during transmission through the membrane showing the Faraday effect in the VUV and X-ray range.
  • the two orientations between the polarization plane of the scanning beam and the preferred direction of the fixed sample can thus be achieved by rotating the plane of polarization of the light.
  • microscopy and spectroscopy using the MLD effect are, in addition to a simple process sequence, in particular that the rotation of the polarization plane allows the microscopic information to be recorded at exactly the same point on the sample with constant light intensity during the measurement , An offset of the measuring point by a mechanical rotation of the sample or by a radiation offset is thus avoided and a higher spatial resolution of the measurements is achieved.
  • Microscopy using the MLD effect requires linearly polarized Synchrotron radiation, which is offered to a far greater extent than circularly polarized radiation. The invention thus makes it possible to expand the field of application of microscopy and spectroscopy in order to obtain material-specific information using the MLD effect from the visible to the VUV and X-ray spectral range.
  • the linearly or elliptically polarized light on the modulation path experiences a rotation of the polarization plane around the Faraday rotation angles ⁇ - ⁇ and ⁇ 2 through a suitable magneto-optical action in the membrane.
  • Their amounts are primarily determined by the two magnetic field strengths Bx and B 2 set one after the other on the membrane and additionally also by the angle of incidence ⁇ between the incident light rays and the membrane due to the general relationship
  • the changeable magnetic field lies within the membrane with the thickness d.
  • This consists of a material showing the Faraday effect with the Faraday constant k.
  • the relative inclusion angle ⁇ to be achieved is the relevant parameter.
  • all sensible combinations of settings based on the superposition principle are possible for its implementation.
  • it is particularly advantageous if the two magnetic field strengths B 1 and B 2 are identical in terms of magnitude below the magnetic saturation or are above it with any amounts, but have opposite signs. The equality of the amounts below the saturation or their arbitrary position above the saturation results in a match between the intensities of the light beams in the two selected orientations of the polarization planes.
  • the first setting is then to be selected, for example, parallel to a main axis, for example with regard to sample magnetization, of the material to be examined, the second setting is then made at right angles to it.
  • the effective thickness d * of the membrane can then be selected by changing the angle of incidence ⁇ in accordance with formula (1) such that the maximum necessary angle of rotation ⁇ p ⁇ ⁇ is reached when a magnetic field of strength Bi is present.
  • the second rotation angle ⁇ 2 to be set must satisfy the condition I ⁇ i - ⁇ 2
  • the method according to the invention is simple to implement and implement in terms of apparatus.
  • the modulation element contains the thin membrane necessary for the method, which consists of a magneto-optical membrane material which shows the Faraday effect, has a controllable electromagnet surrounding the membrane for the variable generation of a magnetic field in the membrane and is rotatably mounted for varying the angle of incidence ⁇ between the light rays and the membrane.
  • the setting of the two Faraday rotation angles ⁇ i and ⁇ 2 by generating corresponding magnetic fields Bi and B 2 by means of a suitable coil energization is a technically simple possibility of polarization modulation.
  • the rotatable mounting of the membrane in the modulation element brings about its simple and controllable controllable rotation option for varying the angle of incidence ⁇ in order to be able to change and adjust the effective thickness d * of the membrane.
  • This results in the advantages that the membrane as a transmission element has the necessary thickness on the one hand in order to lead to the desired Faraday rotation angle. However, it is also not thicker than absolutely necessary, so that the absorption of the transmitted radiation can be kept as small as possible.
  • the electromagnet is provided with a rotatable, U-shaped iron core which has the thin membrane between its poles and a coil winding on its yoke side.
  • the iron core becomes a stable and versatile supporting structure for the modulation element, which enables it to be manufactured particularly cost-effectively.
  • the special description section for further design details.
  • FIG. 1 shows a diagram for measured Faraday rotations
  • FIG. 2 shows a diagram for the measured dependence of the Faraday rotation on the angle of incidence and FIG. 3 shows a modulation device according to the invention.
  • FIG. 3 For a more detailed explanation of the diagram in FIG. 1, an exemplary embodiment for the design of a suitable membrane as a transmission element will first be described in connection with FIG. 3.
  • This exemplary embodiment describes measurement results which have been achieved on a membrane MF, consisting of a 277 nm thick magneto-optically active cobalt layer (Co), vapor-deposited on a 100 nm thick Si 3 N 4 layer.
  • the orientation of the polarization plane PP was determined using a reflection multilayer based on the Rabinovitch principle.
  • the diagram according to FIG. 1 shows a measurement of the orientation of the polarization plane on the basis of the Faraday rotation for cobalt (Co) as the membrane material.
  • a polarization analyzer is rotated by the azimuth angle ⁇ .
  • the photon energy is 774 eV at the Co 2p 3/2 absorption edge (see small diagram).
  • the diagram according to FIG. 2 shows the dependence of the relative inclusion angle ⁇ due to the Faraday rotation on the angle of incidence ⁇ into the membrane material. The measurement results were achieved with light from the photon energy at the Co 2p 3/2 absorption edge at which the Faraday rotation is at a maximum.
  • FIG. 3 schematically shows an exemplary embodiment of a device for carrying out the method.
  • a modulation element is located on a modulation path MD along the linearly polarized radiation LPB in which the orientation of its polarization plane PP can be continuously modulated ME (polarization modulator).
  • ME polarization modulator
  • This has a U-shaped iron core FC, between the poles of which a membrane MF (magnetic film) is arranged.
  • a coil winding C of an electromagnet EM is wound around the yoke region CA, with the aid of which magnetic fields of different strengths B and orientation + B, -B can be generated in the membrane MF.
  • the modulation element ME is rotatably mounted and aligned at an angle of incidence ⁇ to the incident light beams LPB.
  • the light beams LPB transmitted through the magnetized membrane MF experience large-angle Faraday rotations ⁇ i, ⁇ 2 of the polarization plane PP in clockwise or counterclockwise direction.
  • any large-angle relative inclusion angle ⁇ can be set continuously.
  • a right-angled orientation for the structural analysis of a sample P with a magnetization direction M is shown.
  • B magnetic field strength (B 0 ... B S , +/- B, B 1 f B 2 )

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Abstract

In microscopy and spectroscopy methods, differences occur between two items of measurement information which are recorded with a different orientation between the magneto-optically active sample and the polarization plane of the scanning radiation. In order to obtain a high resolution, the modulation method provides that a rotation of the polarization plane is effected solely on basis of the Faraday effect. To this end, the light beams (LPB) are directed through a magnetizable and rotatable thin membrane (MF) made of a membrane material (K) that exhibits the Faraday effect. The polarization plane (PP) is rotated around a defined rotational angle (ζ1, ζ2) whose values can be continuously adjusted by magnetic field intensities (B1, B2) and by the angle of incidence (υ) between the light beams (LPB) and the membrane (MF). The applied magnetic field direction (+/-B) determines the respective direction of rotation. A corresponding superimposition makes it possible to rapidly obtain any large-angle relative angle of incidence (ζ) in a simple and highly resolved manner.

Description

Bezeichnungdescription
Modulationsverfahren zur großwinkligen Ausrichtung von Polarisationsebenen in Lichtstrahlen im Vakuum-Ultravioletten- und Röntgen-Spektralbereich und Vorrichtung zur Verfahrensdurchführung.Modulation method for large-angle alignment of polarization planes in light beams in the vacuum ultraviolet and X-ray spectral range and device for carrying out the method.
Beschreibungdescription
Die Erfindung bezieht sich auf ein Modulationsverfahren zur zeitbezogenen, variablen Ausrichtung unter einem großwinkligen relativen Einschlusswinkel φ von Polarisationsebenen linear- oder elliptisch polarisierter Lichtstrahlen im Vakuum-Ultravioletten- und Röntgen-Spektralbereich in Bezug auf eine Zielfläche durch veränderbare magnetische und optische Einwirkung auf die Lichtstrahlen in einer Modulationsstrecke und auf eine Vorrichtung zur Verfahrensdurchführung.The invention relates to a modulation method for time-related, variable alignment under a large-angle relative inclusion angle φ of polarization planes of linearly or elliptically polarized light beams in the vacuum ultraviolet and X-ray spectral range with respect to a target surface by variable magnetic and optical action on the light beams in a modulation line and on a device for carrying out the method.
Die Mikroskopie und Spektroskopie von magnetischen Domänen oder Strukturen magneto-optisch aktiver Proben gewinnen zunehmend an Bedeu- tung in der Grundlagen- und anwendungsorientierten Forschung, z.B. in der Entwicklung von Speichermedien für schnelle Computer ebenso wie in der Untersuchung nichtmagnetischer Substanzen, die intrinsischen Linear- Dichroismus zeigen, wie z.B. Langmuir Blodget Filme oder Polymere unter Spannung. Von wachsender Bedeutung ist dabei die im Vakuumbereich durchzuführende Anwendung von Synchrotronstrahlung im Vakuum-Ultravioletten- (VUV) und Röntgen-Spektralbereich, die große Vorteile gegenüber der klassischen Nutzung sichtbarer Strahlung besitzt. Aufgrund beispielsweise der kleineren Wellenlänge der Synchrotronstrahlung steigt das räumliche Auflösungsvermögen bis in den nm-Bereich - eine notwendige Voraussetzung zur Charakterisierung und Entwicklung neuartiger Nanostrukturen. Zur Charakterisierung magneto-optisch aktiver Systeme werden der „Magnetische- Circular-Dichroismus" (MCD) und in zunehmendem Maße der „Magnetische- Linear-Dichroismus" (MLD) ausgenutzt. Diese Effekte basieren auf der magnetfeld- und orientierungs-abhängigen Wechselwirkung zwischen der zu untersuchenden Probe und der einfallenden zirkulär bzw. linear- oder elliptisch (mit zwei Vorzugsebenen) polarisierten Strahlung. Damit können magnetische Phänomene durch einfache Intensitätsmessungen untersucht werden, da die Intensität des transmittierten oder reflektierten Lichtes oder der emittierten Photoelektronen von der Magnetisierung der Probe und der Polarisation des einfallenden Lichtes abhängt. Der Dichroismus kann somit zur mikroskopischen und spektroskopischen Abbildung magnetischer Domänen ausgenutzt werden. Diese magneto-optischen Effekte sind elementspezifisch und fallen im VUV- und Röntgenspektralbereich um Größenordnungen stärker aus als im sichtbaren Spektralbereich. Das räumliche Auflösungsvermögen liegt zur Zeit bei 30 nm.The microscopy and spectroscopy of magnetic domains or structures of magneto-optically active samples are becoming increasingly important in basic and application-oriented research, for example in the development of storage media for fast computers as well as in the study of non-magnetic substances, the intrinsic linear dichroism show how Langmuir Blodget films or polymers under tension. The use of synchrotron radiation in the vacuum ultraviolet (VUV) and X-ray spectral range, which has to be carried out in the vacuum range, is of increasing importance, which has great advantages over the classic use of visible radiation. Due to the smaller wavelength of synchrotron radiation, for example, the spatial resolution increases to the nm range - a necessary prerequisite for the characterization and development of new types of nanostructures. To characterize magneto-optically active systems, the "Magnetic Circular Dichroism" (MCD) and increasingly the "Magnetic" Linear dichroism "(MLD) is used. These effects are based on the magnetic field and orientation-dependent interaction between the sample to be examined and the incident circular or linear or elliptical (with two preferential planes) polarized radiation Intensity measurements are investigated, since the intensity of the transmitted or reflected light or the emitted photoelectrons depends on the magnetization of the sample and the polarization of the incident light. The dichroism can thus be used for the microscopic and spectroscopic imaging of magnetic domains. These magneto-optical effects are element-specific and are in the VUV and X-ray spectral range orders of magnitude stronger than in the visible spectral range. The spatial resolution is currently 30 nm.
Nachdem die MCD-Mikroskopie sich in den letzten Jahren erfolgreich entwickelt hat, gibt es nunmehr auch für die MLD-Mikroskopie erfolgversprechende Ansätze. Die Ausnutzung des MLD-Effektes gestattet auch die Abbildung von antiferromagnetischen Domänen und erweitert damit die Möglichkeiten, die durch den MCD-Effekt gegeben sind. Diese Tatsache ist z.B. von Interesse für die Untersuchung magnetischer Übergitter bei oszillierenden Zwischenschichtkopplungen in magnetischen Schichtsystemen.After MCD microscopy has developed successfully in recent years, there are now promising approaches for MLD microscopy. The use of the MLD effect also allows the mapping of antiferromagnetic domains and thus expands the possibilities that are given by the MCD effect. This fact is e.g. of interest for the investigation of magnetic superlattices in oscillating interlayer couplings in magnetic layer systems.
Die Mikroskopie unter Ausnutzung des MLD-Effektes ermöglicht die Darstellung der magnetischen Strukturen durch die Bestimmung des Differenz- bildes (Differenz der Ausfallsintensitäten, wenn die Einfallsintensitäten gleich waren) aus zwei Bildern, die mit paralleler bzw. senkrechter Orientierung zwischen Probenmagnetisierung und Polarisationsebene der verwendeten Strahlung aufgenommen worden sind. In der Regel werden zur Bildaufnahme die Proben „abgerastert" und von jedem Probenort innerhalb kurzer Zeit (<1 sec) das Differenzbild aufgenommen (vergleiche „X-Ray Microscopy and Spectromicroscopy", J.Thieme et al., Springer-Verlag Berlin-Heidelberg 1998). Um Proben mittels MLD-Effekt mikroskopisch untersuchen zu können, ist es erforderlich, die Ausrichtungen zwischen Probenmagnetisierung und Polarisationsebene des einfallenden Lichts unter relativ großen Winkeln ändern zu können. Insbesondere bei Proben mit intrinsischem Linear-Dichroismus oder solche mit fester innerer Struktur ist es zu deren MLD-Untersuchung notwendig, die beiden orthogonalen Orientierungen zwischen Probenmagnetisierung und Polarisationsebene realisieren zu können. Dies geschieht entweder durch Vermessung der zu untersuchenden Probe mit Lichtstrahlen, die zueinander unterschiedliche, in der Regel senkrechte Polarisationsebenen aufweisen oder bei Verwendung einer festen Polarisationsebene durch zwei zueinander um die Lichtachse, in der Regel um 90° mechanisch gedrehten Probenpositionen (vergleiche „New Magnetic Linear Dichroism in Total Photoelectron Yield for Magnetic Domain Imaging" von F.U. Hillebrecht et al., Physical Review Letters Vol. 75 (1995), No. 11 , pp. 2224-2227 oder „X-Ray Magnetic Dichroism of Antiferromagnet Fe2θ3 : The Orientation of Magnetic Moments Observed by Fe 2p X-Ray Absorption Spectroscopy" von P. Kuiper at al., Physical Review Letters, Vol. 70, No.10 (1993), pp. 1549 - 1552). Eine mechanische Probendrehung, wie sie beispielsweise auch bei der Rastermikroskopie erfolgt, erzeugt jedoch einen lokalen Versatz zwischen Probenort und abtastendem Lichtstrahl, der deutlich größer als die räumliche Auflösung eines einzelnen Mikroskopiebildes ist, was zu einer Reduzierung der räumlichen Auflösung des Differenzbildes führt.Microscopy using the MLD effect enables the representation of the magnetic structures by determining the difference image (difference of the failure intensities if the incident intensities were the same) from two images, with parallel or perpendicular orientation between sample magnetization and polarization plane of the radiation used have been included. As a rule, the samples are “scanned” for image acquisition and the difference image is recorded from each sample location within a short time (<1 sec) (compare “X-Ray Microscopy and Spectromicroscopy”, J. Thieme et al., Springer-Verlag Berlin-Heidelberg 1998). In order to be able to microscopically examine samples using the MLD effect, it is necessary to be able to change the alignments between the sample magnetization and the polarization plane of the incident light at relatively large angles. Particularly in the case of samples with intrinsic linear dichroism or those with a fixed internal structure, it is necessary for their MLD examination to be able to implement the two orthogonal orientations between sample magnetization and polarization plane. This is done either by measuring the sample to be examined with light beams that have mutually different, generally perpendicular polarization planes, or when using a fixed polarization plane through two specimen positions that are mechanically rotated about the light axis, usually by 90 ° (compare "New Magnetic Linear Dichroism in Total Photoelectron Yield for Magnetic Domain Imaging "by FU Hillebrecht et al., Physical Review Letters Vol. 75 (1995), No. 11, pp. 2224-2227 or" X-Ray Magnetic Dichroism of Antiferromagnet Fe 2 θ 3 : The Orientation of Magnetic Moments Observed by Fe 2p X-Ray Absorption Spectroscopy "by P. Kuiper at al., Physical Review Letters, Vol. 70, No.10 (1993), pp. 1549-1552). However, a mechanical sample rotation, such as is also done in scanning microscopy, creates a local offset between the sample location and the scanning light beam, which is significantly larger than the spatial resolution of an individual microscope image, which leads to a reduction in the spatial resolution of the difference image.
Für die oben zuerst genannte, aus dem Stand der Technik bekannte Möglichkeit, die Polarisationsebene, insbesondere auch von linear oder elliptisch polarisiertem Licht, anstelle der Probe drehen zu können, sollen im Folgenden Ansätze zur Überwindung des in diesem Zusammenhang auftretenden Problems skizziert werden, die aber aus verschiedenen Gründen nicht zur Lösung geführt haben.For the above-mentioned possibility known from the prior art to be able to rotate the plane of polarization, in particular also of linearly or elliptically polarized light, instead of the sample, approaches to overcome the problem occurring in this context are outlined below, but these are failed to solve the problem for various reasons.
Beispielsweise in dem Fachbuch „Grätings, Mirrors and Slits" von W. B. Peatman et al., Gordon and Brench Science Publishers, The Netherlands, 1997, werden Undulatoren und Wiggler zur Erzeugung von Synchrotronstrahlung hoher Intensität im VUV- und Röntgenbereich beschrieben. Hierbei handelt es sich um periodische Anordnungen von Magneten in gegenüber liegenden Reihen, die durch Ablenkung der Elektronen auf schlangenförmige Bahnen zur Abstrahlung elektromagnetischer Strahlung von hoher Brillanz und definierter Polarisation führen. Durch entsprechende laterale Verschiebung der Magnetreihen kann unter anderem linear polarisiertes Licht mit horizontaler oder vertikaler Ausrichtung der Polarisationsebene erzeugt werden. Die Verschiebung der Magnetreihen ermöglicht zwar eine Drehung der Polarisations- ebene des abgestrahlten Lichtes, doch kann die Intensität der einfallenden Strahlung nicht konstant gehalten werden. Das bedeutet, dass bei einem Einsatz derartig ausgerichteter Strahlung zur Erzeugung von Differenzbildern diese nicht die Magnetstruktur der zu untersuchenden Probe widerspiegeln. Außerdem benötigt die Verschiebung der Magnetreihen einige Minuten und ist damit sehr träge, was zum einen zu einer nicht tolerierbaren Messzeitverlängerung führt. Zum anderen ist ein Undulator als hochspezialisierter Messaufbau extrem teuer und im Allgemeinen auch nicht ohne Weiteres verfügbar.For example, in the textbook "Grätings, Mirrors and Slits" by WB Peatman et al., Gordon and Brench Science Publishers, The Netherlands, 1997, undulators and wigglers for generating high-intensity synchrotron radiation in the VUV and X-ray range are described. These are periodic arrangements of magnets in opposite rows, which by deflecting the electrons on serpentine paths lead to the emission of electromagnetic radiation of high brilliance and defined polarization. Corresponding lateral displacement of the magnet series can be used, inter alia, to generate linearly polarized light with a horizontal or vertical orientation of the polarization plane. The shifting of the magnet series allows the plane of polarization of the emitted light to be rotated, but the intensity of the incident radiation cannot be kept constant. This means that when using such aligned radiation to generate difference images, these do not reflect the magnetic structure of the sample to be examined. In addition, the shifting of the magnet series takes a few minutes and is therefore very slow, which on the one hand leads to an intolerable increase in the measurement time. On the other hand, an undulator as a highly specialized measurement setup is extremely expensive and generally not readily available.
In dem Aufsatz „First Results Of The Circularly Polarised Undulator Beamline At BESSY II" von M. R. Weiss et al. (Proceedings SRI 99 - Synchrotron Radiation Instrumentation -, Oktober 1999, Stanfort, USA), von dem die Erfindung als Stand der Technik ausgeht, wird ein anderes zeitbezogenes Modulationsverfahren zur kontinuierlichen, großwinkligen Drehung der Polari- sationsebene mittels der Undulatoren beschrieben. Hierbei werden zwei Undulatoren als magnetische Modulationselemente nacheinander als Modulationsstrecke installiert, die durch veränderbare magnetische Einwirkung die Lichtstrahlen erzeugen und dabei die Ausrichtung ihrer Polarisationsebene beeinflussen. Dazu erzeugt der erste Undulator linear (oder elliptisch) polarisiertes Licht im Vakuum-Ultravioletten- und Röntgen-Spektralbereich mit horizontaler Polarisationsebene, der zweite Licht mit vertikaler Ausrichtung (oder der entsprechend gewünschten Ausrichtung unter einem großwinkligen relativen Einschlusswinkel) der Polarisationsebenen. Beide Lichtstrahlen sind räumlich getrennt und durchlaufen einen einfachen Chopper in Form einer drehbaren Lochblende, bevor sie auf einen Probenort als Zielfläche treffen. Der Chopper wirkt als Modulationselement veränderbar optisch auf die beiden Lichtstrahlen ein und moduliert die Ausrichtung der Polarisationsebenen in einem Zeitraster. Dieses sehr neue, aber an sich bekannte Modulationsverfahren basiert jedoch auf einer extrem teuren Anordnung, die Kosten betragen pro Undulator ca.1 Mio. DM. Außerdem müssen die beiden parallelen Lichtstrahlen im Rahmen der gewünschten Auflösung von ca. 30 nm am Ort der Probe zeitlich und energetisch stabil zur Deckung gebracht werden, was derzeit nicht möglich ist.In the article "First Results Of The Circularly Polarized Undulator Beamline At BESSY II" by MR Weiss et al. (Proceedings SRI 99 - Synchrotron Radiation Instrumentation -, October 1999, Stanfort, USA), from which the invention proceeds as prior art, Another time-related modulation method for the continuous, large-angle rotation of the polarization plane by means of the undulators is described, in which two undulators are installed as magnetic modulation elements one after the other as a modulation section, which generate the light beams through changeable magnetic influence and thereby influence the orientation of their polarization plane first undulator linearly (or elliptically) polarized light in the vacuum ultraviolet and X-ray spectral range with horizontal polarization plane, the second light with vertical orientation (or the correspondingly desired orientation under a large angle relative inclusion angle) of the polarization planes. Both light beams are spatially separated and pass through a simple chopper in the form of a rotating pinhole before they hit a sample location as the target area. As a modulation element, the chopper acts optically on the two light beams and modulates the alignment of the polarization planes in a time pattern. However, this very new, but known modulation method is based on an extremely expensive arrangement, the cost per undulator is approximately DM 1 million. In addition, the two parallel light beams have to be temporally within the desired resolution of approx. 30 nm at the location of the sample and energetically stable, which is currently not possible.
Eine weitere Möglichkeit zur Drehung der Polarisationsebene eröffnet die Ausnutzung des Faraday-Effektes. Tritt linear polarisiertes Licht durch einen magnetisierten Film, so kann die Polarisationsebene eine Drehung erfahren. Dies ist ein bekannter Effekt im sichtbaren Spektralbereich. Der Betrag der Faradaydrehung hängt ab von dem verwendeten Material, der Lichtenergie bzw. der Wellenlänge des Lichtes und der Komponente der Magnetisierung des Films, die parallel zur Lichtrichtung liegt. Eine maximale Faradaydrehung kann derzeit in einem schmalbandigen Energiebereich nahe einer Resonanzenergie des verwendeten Materials beobachtet werden. Die Richtung der Faradaydrehung hängt von der Orientierung von Magnetisierung und Lichtrichtung (parallel / antiparallel) ab. Im VUV und Röntgenbereich ist vor kurzem dieser Effekt von Wissenschaftlern im Rahmen von Grundlagenforschungen auch beobachtet worden (vergleiche unten). Allerdings ist es bisher nicht gelungen, großwinklige Drehungen der Polarisationsebene zu erreichen, wie sie für die Mikroskopie unter Ausnutzung des Linear-Dichroismus notwendig sind. Bisher wurde nur über Faradaydrehungen von 5° und maximal 15° (vergleiche unten) berichtet. Im Vergleich zu diesen erreichten Drehungen wird damit auch genauer definiert, welche Winkel bei der Erfindung von der Bezeichnung „großwinklig" erfasst werden sollen, nämlich solche weit oberhalb der bekannten Drehwinkel. Über die Möglichkeit einer kontinuierlichen Einstellung des Faraday-Drehwinkels ist bei den genannten Arbeiten ebenfalls nicht berichtet worden. Ein Zusammenhang zwischen den genannten Grundlagenerkenntnissen und einer möglichen Realisierbarkeit in Polarisationsverfahren wurde bislang nicht hergestellt.Another possibility for rotating the plane of polarization is to use the Faraday effect. If linearly polarized light passes through a magnetized film, the plane of polarization can undergo a rotation. This is a known effect in the visible spectral range. The amount of Faraday rotation depends on the material used, the light energy or the wavelength of the light and the component of the magnetization of the film, which is parallel to the direction of light. A maximum Faraday rotation can currently be observed in a narrowband energy range near a resonance energy of the material used. The direction of the Faraday rotation depends on the orientation of the magnetization and light direction (parallel / anti-parallel). In the VUV and X-ray area, this effect has recently been observed by scientists as part of basic research (see below). However, it has so far not been possible to achieve large-angle rotations of the polarization plane, as are necessary for microscopy using linear dichroism. So far, only Faraday rotations of 5 ° and a maximum of 15 ° (see below) have been reported. In comparison to these rotations achieved, this also defines more precisely which angles are to be covered by the term "large-angle" in the invention, namely those far above the known angles of rotation. The possibility of a continuous Adjustment of the Faraday angle of rotation has also not been reported in the work mentioned. A connection between the basic knowledge mentioned and a possible feasibility in polarization processes has not yet been established.
In dem Aufsatz „Soft x-ray Faraday rotation at Fe L2,3 edges" von J. B. Kortright et al. (Physical Review B, Volume 51 , Number 15, 15.04.1995-1, pp. 10240 - 10243) berichten die Autoren zum einen von der erreichten Faradaydrehung der Polarisationsebene linear polarisierter Röntgenstrahlung nach Trans- mission unter feststehendem Lichteinfallswinkel einer eisenhaltigen Probe mit einer Eisen-Gesamtdicke von 80 nm, die zu einer relativ kleinen Faradaydrehung von maximal 4.8° bei einer bestimmten Photonenenergie an der Fe 2p Absorptionskante, d.h. im Röntgenbereich führt. Bei dem zur Messung dieses Faraday-Drehwinkels verwendeten Messgeräts handelt es sich um einen Multilayerspiegel, der auf der klassischen Linear-Polarisa- tionsmessung nach Rabinovitch basiert. Die in diesem Zusammenhang gebrauchte Terminologie „tuneable polariser" bezieht sich darauf, dass der Multilayerspiegel für verschiedene Wellenlängen der verwendeten Röntgenstrahlung eingesetzt werden kann. Aus der ermittelten Faradaydrehung kann dann die Faraday-Konstante des Materials (Faradaydrehung pro Schichtdicke) bestimmt werden. Diese berechnen die Autoren zu k = 4.8 / 80 nm =The authors report in the article "Soft x-ray Faraday rotation at Fe L 2 , 3 edges" by JB Kortright et al. (Physical Review B, Volume 51, Number 15, April 15, 1995-1, pp. 10240 - 10243) on the one hand the Faraday rotation of the polarization plane of linearly polarized X-ray radiation after transmission under a fixed angle of incidence of an iron-containing sample with a total iron thickness of 80 nm, which leads to a relatively small Faraday rotation of maximum 4.8 ° at a certain photon energy at the Fe 2p absorption edge, The measuring device used to measure this Faraday rotation angle is a multilayer mirror which is based on the classic linear polarization measurement according to Rabinovitch. The terminology “tuneable polariser” used in this context refers to the fact that the multilayer mirror can be used for different wavelengths of the X-rays used. The Faraday constant of the material (Faraday rotation per layer thickness) can then be determined from the determined Faraday rotation. The authors calculate this to be k = 4.8 / 80 nm =
6 x 104 deg / mm, um zu zeigen, dass dieser Wert um einen Faktor 20 größer ist als im sichtbaren Spektralbereich. Unter der Annahme linearen Verhaltens von k könnte man prinzipiell aus diesem k-Wert eine Probenstärke in einer Höhe von ca. 800 nm für die Fe-Schicht bestimmen, die zu den gewünschten großwinkeligen Faradaydrehungen führen könnte. Eine Schicht solcher Dicke ist jedoch nicht mehr ausreichend transparent im VUV- und Röntgen- Spektralbereich.6 x 10 4 deg / mm to show that this value is 20 times larger than in the visible spectral range. Assuming linear behavior of k, one could in principle determine a sample thickness at a height of approx. 800 nm for the Fe layer from this k value, which could lead to the desired large-angle Faraday rotations. However, a layer of this thickness is no longer sufficiently transparent in the VUV and X-ray spectral range.
In dem Artikel „Optics for element-resolved soft X-ray magneto-optical studies" von J. B. Kortright et al. (Journal of Magnetism and Magnetic Materials 191 (1999) pp. 79 - 89) geben die Autoren einen Überblick über die Möglichkeiten der Polarisationsanalyse und Mikroskopie im Röntgenspektralbereich und berichten von neuen Messungen der Faradaydrehung. Dabei wird Röntgenlicht unter einem festen Einfallswinkel von 30° durch eine 32 nm dicke Fe-Schicht geschickt, was zu einer maximalen Faradaydrehung von 15° bei einer bestimmten Energie im Bereich der Fe 2p-Absorptionskante führt. Hierbei handelt es sich jedoch wiederum um einen einzelnen relativ kleinen Drehwinkel, der unter einem festen Einfallswinkel der Strahlung erreicht wird und keine kontinuierliche Drehung der Polarisationsebene von linear oder elliptisch polarisierter Lichtstrahlen zur Erzeugung von großwinkligen Einschlusswinkeln erlaubt.In the article "Optics for element-resolved soft X-ray magneto-optical studies" by JB Kortright et al. (Journal of Magnetism and Magnetic Materials 191 (1999) pp. 79-89), the authors give an overview of the possibilities polarization analysis and microscopy in the X-ray spectral range and report on new measurements of the Faraday rotation. X-ray light is sent through a 32 nm thick Fe layer at a fixed angle of incidence of 30 °, which leads to a maximum Faraday rotation of 15 ° at a certain energy in the area of the Fe 2p absorption edge. However, this in turn is a single, relatively small angle of rotation, which is achieved at a fixed angle of incidence of the radiation and does not permit continuous rotation of the plane of polarization of linearly or elliptically polarized light beams to generate large-angle inclusion angles.
Vor dem allgemeinen Hintergrund des gewürdigten Standes der Technik und ausgehend im Speziellen von dem weiter oben erläuterten bekannten Verfahren zur Modulation von Polarisationsebenen in Lichtstrahlen im Vaku- um-Ultravioletten- und Röntgen-Spektralbereich zu deren großwinkliger Ausrichtung soll es daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung sein, ein Modulationsverfahrens anzugeben, mit dem zum einen die großwinkligen Einschlusswinkel zwischen zwei Polarisationsebenen in Bezug auf eine Zieloberfläche beliebig unter Erzielung einer zeitlich hohen Intensitätsstabilität und örtlichen Auflösung kontinuierlich einstellbar sind. Zum anderen sollte das Verfahren einfach sein sowohl in seinen Voraussetzungen, seinem Ablauf und in seiner Handhabbarkeit als auch in seiner apparativen Umsetzung insbesondere im Hinblick auf den Kostenaspekt.Against the general background of the acknowledged prior art and, in particular, starting from the known method for modulating polarization planes in light beams in the vacuum ultraviolet and X-ray spectral range explained above for their large-angle alignment, it is therefore the object of the present invention to specify a modulation method with which, on the one hand, the large-angle inclusion angles between two polarization planes with respect to a target surface can be continuously adjusted as desired to achieve high temporal intensity stability and local resolution. On the other hand, the process should be simple both in terms of its requirements, its sequence and its manageability and in terms of its implementation, particularly with regard to the cost aspect.
Als Lösung hierfür ist bei dem erfindungsgemäßen Verfahren deshalb vorgesehen, dass die Ausrichtung ausschließlich durch Ausnutzung des Faraday-Effektes erreicht wird, indem die Lichtstrahlen auf der Modulationsstrecke durch eine dünne Membran aus einem den Faraday-Effekt zeigenden magneto-optischen Membranmaterial geleitet werden, die mit einem in der Stärke kontinuierlich von Null bis in die materialabhängige Sättigung und in der Orientierung veränderlichen Magnetfeld B0....BS magnetisierbar und deren Einfallswinkel θ unterhalb des rechten Winkels zur Ausbreitungsrichtung der Lichtstrahlen verdrehbar ist, und der großwinklige relative Einschlusswinkel φ für zwei Polarisationsebenen der Lichtstrahlen kontinuierlich modulierbar ist durchAs a solution to this, the method according to the invention therefore provides that the alignment is achieved exclusively by utilizing the Faraday effect, in that the light beams on the modulation path are guided through a thin membrane made of a magneto-optical membrane material which shows the Faraday effect and which a magnetic field B 0 .... B S which is continuously variable in strength from zero to the material-dependent saturation and in the orientation and whose angle of incidence θ is below the right angle to the direction of propagation of the Light rays can be rotated, and the large-angle relative inclusion angle φ can be continuously modulated for two polarization planes of the light rays
(A) ausgehend von einem Einfallswinkel θ an der Membran veränderbares Einstellen einer Magnetfeldstärke Bi zu einer ersten Ausrichtung einer gewählten Polarisationsebene unter einem Drehwinkel φi und daran zeitlich anschließend durch veränderbares Einstellen einer Magnetfeldstärke B2 zu einer zweiten Ausrichtung dieser Polarisationsebene unter einem den ersten Drehwinkel q>ι zu dem relativen Einschlusswinkel φ ergänzenden Drehwinkel φ2, und in Abhängigkeit von der zu erreichenden Größe des relativen Einschlusswinkels φ zusätzlich durch(A) starting from an angle of incidence θ on the membrane, a variable setting of a magnetic field strength Bi to a first orientation of a selected polarization plane at an angle of rotation φi and then temporally by changing a magnetic field strength B 2 to a second orientation of this polarization plane at a first angle of rotation q > ι to the relative inclusion angle φ supplementary rotation angle φ 2 , and depending on the size of the relative inclusion angle φ to be achieved additionally by
(B) weiteres Drehen der Membran zur Verringerung des Einfallswinkels θ .(B) further rotating the membrane to reduce the angle of incidence θ.
Ziel des erfindungsgemäßen Modulationsverfahrens ist die hochgenaue, zeitliche Ausrichtung der Polarisationsebene unter einem relativen Einschlusswinkel φ auf einer Zielfläche, in der Regel einer zu untersuchenden Probe. Das linear oder elliptisch polarisierte Licht erfährt bei der Transmission durch die den Faraday-Effekt im VUV- und Röntgenbereich zeigende Membran eine Drehung seiner Polarisationsebene. Die beiden Orientierungen zwischen der Polarisationsebene des Abtaststrahls und der Vorzugsrichtung der feststehenden Probe können somit durch die Drehung der Polarisationsebene des Lichtes erzielt werden. Die mit der Erfindung erzielten Vorteile für die Mikroskopie und Spektroskopie unter Ausnutzung des MLD-Effektes bestehen neben einem einfachen Verfahrensablauf also insbesondere darin, dass durch die Drehung der Polarisationsebene die mikroskopischen Informationen an exakt derselben Stelle der Probe bei während der Messung konstanter Lichtintensität aufgenommen werden können. Ein Versatz des Messpunktes durch eine mechanische Drehung der Probe oder durch einen Strahlenversatz wird somit vermieden und eine höhere räumliche Auflösung der Messungen erreicht. Die Mikroskopie unter Ausnutzung des MLD-Effektes benötigt linear polarisierte Synchrotronstrahlung, die in weitaus größerem Maße angeboten wird als zirkulär polarisierte Strahlung. Die Erfindung ermöglicht also eine Erweiterung des Anwendungsbereiches der Mikroskopie und Spektroskopie zur Erzielung von material-spezifischen Informationen unter Ausnutzung des MLD-Effektes vom sichtbaren in den VUV und Röntgen-Spektralbereich.The aim of the modulation method according to the invention is the highly precise, temporal alignment of the polarization plane under a relative inclusion angle φ on a target surface, usually a sample to be examined. The linear or elliptically polarized light undergoes a rotation of its plane of polarization during transmission through the membrane showing the Faraday effect in the VUV and X-ray range. The two orientations between the polarization plane of the scanning beam and the preferred direction of the fixed sample can thus be achieved by rotating the plane of polarization of the light. The advantages achieved by the invention for microscopy and spectroscopy using the MLD effect are, in addition to a simple process sequence, in particular that the rotation of the polarization plane allows the microscopic information to be recorded at exactly the same point on the sample with constant light intensity during the measurement , An offset of the measuring point by a mechanical rotation of the sample or by a radiation offset is thus avoided and a higher spatial resolution of the measurements is achieved. Microscopy using the MLD effect requires linearly polarized Synchrotron radiation, which is offered to a far greater extent than circularly polarized radiation. The invention thus makes it possible to expand the field of application of microscopy and spectroscopy in order to obtain material-specific information using the MLD effect from the visible to the VUV and X-ray spectral range.
Bei der Faradaydrehung erfährt das linear oder elliptisch polarisierte Licht auf der Modulationsstrecke durch eine geeignete magneto-optische Einwirkung in der Membran eine Drehung der Polarisationsebene um die Faradayschen Drehwinkel φ-χ und φ2 . Deren Beträge werden in erster Linie festgelegt durch die beiden an der Membran zeitlich nacheinander eingestellten Magnetfeldstärken B-x und B2 und zusätzlich auch durch den Einfallswinkel θ zwischen der einfallenden Lichtstrahlen und der Membran aufgrund der allgemeinen BeziehungDuring the Faraday rotation, the linearly or elliptically polarized light on the modulation path experiences a rotation of the polarization plane around the Faraday rotation angles φ-χ and φ 2 through a suitable magneto-optical action in the membrane. Their amounts are primarily determined by the two magnetic field strengths Bx and B 2 set one after the other on the membrane and additionally also by the angle of incidence θ between the incident light rays and the membrane due to the general relationship
(1) φι 2 = B1/2 k d cotan (θ).(1) φι 2 = B1 / 2 k d cotan (θ).
Das veränderbare Magnetfeld liegt innerhalb der Membran mit der Dicke d. Diese besteht aus einem den Faradayeffekt zeigenden Material mit der Faradaykonstante k. Der Faraday-Drehwinkel φι/2 kann aufgrund der angelegten Magnetfeldstärke B-ι/2 nur so lange kontinuierlich vergrößert werden, bis das Membranmaterial in den magnetischen Sättigungsbereich gelangt (B > Bsat). Danach kann ein weiteres kontinuierliches Anwachsen des Faraday- Drehwinkels nur durch eine Vergrößerung der „magneto-optisch effektiven" Dicke d* (d* = d cotan (θ) ) durch eine Verringerung des Einfallswinkels θ erreicht werden. Hierbei werden sowohl die Durchtrittslänge für die Lichtstrahlen durch die Membran als auch die parallel zur Lichtrichtung verlaufende Magnetfeldkomponente und damit die Faradaydrehung vergrößert. Inwieweit eine zusätzliche Veränderung des Einfallswinkel erforderlich ist, hängt dabei von der angestrebten Größe des einzustellenden Einschlusswinkels φ ab und ist im Einzelnen vom gewählten Membranmaterial und deren Dicke d sowie vom Energiebereich der Lichtstrahlen abhängig und entsprechend anzupassen. Somit kann bei dem erfindungsgemäßen Modulationsverfahren durch die einfache Wahl von zwei anliegenden Magnetfeldstärken in Abhängigkeit von der Einstellung des Einfallswinkels als Kombination der effektbedingenden Parameter jede gewünschte Ausrichtung von zwei Polarisationsebenen der Lichtstrahlen erreicht werden.The changeable magnetic field lies within the membrane with the thickness d. This consists of a material showing the Faraday effect with the Faraday constant k. The Faraday angle of rotation φι / 2 can only be increased continuously until the membrane material reaches the magnetic saturation range (B> B sat ) due to the applied magnetic field strength B-ι / 2 . Thereafter, a further continuous increase in the Faraday angle of rotation can only be achieved by increasing the “magneto-optically effective” thickness d * (d * = d cotan (θ)) by reducing the angle of incidence θ. Both the passage length for the The extent to which an additional change in the angle of incidence is necessary depends on the desired size of the inclusion angle φ to be set and is dependent on the membrane material selected and its thickness d and depending on the energy range of the light rays and adapt accordingly. Thus, in the modulation method according to the invention, any desired alignment of two polarization planes of the light beams can be achieved by simply selecting two applied magnetic field strengths depending on the setting of the angle of incidence as a combination of the effect-related parameters.
Bei der Einstellung der beiden Magnetfeldstärken Bf und B2 ist der zu erreichende relative Einschlusswinkel φ der relevante Parameter. Zu dessen Umsetzung sind prinzipiell alle sinnvollen Einstellungskombinationen nach dem Superpositionsprinzip möglich. Nach einer Fortführung des erfindungsgemäßen Modulationsverfahrens ist es aber besonders vorteilhaft, wenn die beiden Magnetfeldstärken B^ und B2 unterhalb der magnetischen Sättigung betragsmäßig identisch sind oder oberhalb davon mit beliebigen Beträgen liegen, aber entgegengesetzte Vorzeichen aufweisen. Durch die Gleichheit der Beträge unterhalb der Sättigung oder deren beliebige Lage oberhalb der Sättigung wird eine Übereinstimmung der Intensitäten der Lichtstrahlen in den beiden ausgewählten Orientierungen der Polarisationsebenen bewirkt. Insbesondere bei Vergleichsmessungen, die auf Differenzbildung von Einzel- messungen beruhen, entfallen dadurch zusätzliche Kompensationsschritte, sodass der Messablauf wesentlich vereinfacht und trotzdem in seinen erzielbaren Messergebnissen verbessert wird. Durch die entgegengesetzte Orientierung der Magnetfeldstärken, die durch eine einfache Umpolung des angelegten Magnetfeldes bewirkt werden kann, addieren sich die jeweils erzeugten Drehwinkel φi und φ2 vollständig zu dem relativen Einschluss- winkei φ, da die Faradaydrehungen im und entgegen dem Uhrzeigersinn jeweils von der ungedrehten Grundorientierung der ausgewählten Polarisationsebene aus erfolgen.When setting the two magnetic field strengths B f and B 2 , the relative inclusion angle φ to be achieved is the relevant parameter. In principle, all sensible combinations of settings based on the superposition principle are possible for its implementation. After a continuation of the modulation method according to the invention, however, it is particularly advantageous if the two magnetic field strengths B 1 and B 2 are identical in terms of magnitude below the magnetic saturation or are above it with any amounts, but have opposite signs. The equality of the amounts below the saturation or their arbitrary position above the saturation results in a match between the intensities of the light beams in the two selected orientations of the polarization planes. In the case of comparison measurements in particular, which are based on the formation of differences between individual measurements, additional compensation steps are omitted, so that the measurement process is considerably simplified and the measurement results that can be achieved are nevertheless improved. Due to the opposite orientation of the magnetic field strengths, which can be achieved by simply reversing the polarity of the applied magnetic field, the respectively generated rotation angles φi and φ 2 add up completely to the relative inclusion angle φ, since the Faraday rotations clockwise and counterclockwise from the unrotated one Basic orientation of the selected polarization level from.
Die Erreichung der kontinuierlichen, hochgenauen Positionierung von zwei Polarisationsebenen unter einem großwinkligen relativen Einschlusswinkel φ mit dem erfindungsgemäßen Polarisationsverfahren dient insbesondere, wie bereits erwähnt, dem Ziel, Proben mit intrinsischem Linear-Dichroismus oder solche mit fester innerer magnetischer Struktur unter Ausnutzung des Linear- Dichroismus in Mikroskopie oder Spektroskopie im VUV- und Röntgenbereich untersuchen zu können. Derartige Materialien weisen oft eine stark achsenorientierte Strukturierung ihrer charakteristischen Eigenschaften auf. Um diese erfassen zu können, ist es deshalb nach einer nächsten Erfindungsfortführung vorteilhaft, wenn als relativer Einschlusswinkel φ ein rechter Winkel für eine orthogonale Ausrichtung der Polarisationsebenen eingestellt wird. Die erste Einstellung ist dann beispielsweise parallel zu einer Hauptachse, beispielsweise bezüglich einer Probenmagnetisierung, des zu untersuchenden Materials zu wählen, die zweite Einstellung erfolgt dann im rechten Winkel dazu. Die effektive Dicke d* der Membran kann durch Veränderung des Einfallswinkels θ dann gemäß Formel (1 ) so gewählt sein, dass der maximale notwendige Drehwinkel <p<\ erreicht wird, wenn ein Magnetfeld der Stärke Bi anliegt. Der zweite einzustellende Drehwinkel φ2 muss die Bedingung I φi - φ2| = φ = 90° erfüllen und wird durch geeignete Wahl des angelegten Magnetfeldes B2 eingestellt. Für Bi = B2 weisen die Lichtstrahlen darüber hinaus bei beiden Einstellungen gleiche Lichtintensitäten auf und Differenzmessungen sind besonders einfach und zuverlässig durchführbar.The achievement of the continuous, highly precise positioning of two polarization planes under a large-angle relative inclusion angle φ with the polarization method according to the invention, as already mentioned, serves in particular the aim of being able to examine samples with intrinsic linear dichroism or those with a fixed internal magnetic structure using linear dichroism in microscopy or spectroscopy in the VUV and X-ray range. Such materials often have a strongly axis-oriented structuring of their characteristic properties. In order to be able to record these, it is therefore advantageous after a next invention continuation if a right angle for an orthogonal alignment of the polarization planes is set as the relative inclusion angle φ. The first setting is then to be selected, for example, parallel to a main axis, for example with regard to sample magnetization, of the material to be examined, the second setting is then made at right angles to it. The effective thickness d * of the membrane can then be selected by changing the angle of incidence θ in accordance with formula (1) such that the maximum necessary angle of rotation <p < \ is reached when a magnetic field of strength Bi is present. The second rotation angle φ 2 to be set must satisfy the condition I φi - φ 2 | = φ = 90 ° and is set by a suitable choice of the applied magnetic field B 2 . For Bi = B 2 , the light beams also have the same light intensities at both settings and differential measurements can be carried out particularly easily and reliably.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist einfach durchzuführen und apparatetechnisch umzusetzen. Bei einer bevorzugten Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Modulationsverfahren mit einem auf der Modulations- strecke angeordneten Modulationselement kann insbesondere vorteilhaft vorgesehen sein, dass das Modulationselement die für das Verfahren notwendige dünne Membran enthält, die aus einem den Faraday-Effekt zeigenden magneto-optischen Membranmaterial besteht, einen die Membran umgebenden regelbaren Elektromagneten zur variablen Erzeugung eines Magnetfeldes in der Membran aufweist und zur Variation des Einfallswinkels θ zwischen Lichtstrahlen und Membran drehbar gelagert ist. Die Einstellung der beiden Faraday-Drehwinkel φi und φ2 durch die Erzeugung entsprechender Magnetfelder B-i und B2 durch eine geeignete Spulenbestromung ist eine technisch einfach zu realisierende Möglichkeit der Polarisationsmodulation. Die drehbare Lagerung der Membran im Modulationselement bewirkt deren einfache und kontrolliert regelbare Drehmöglichkeit zur Variation des Einfallswinkels θ, um die effektive Dicke d* der Membran verändern und einstellen zu können. Dadurch ergeben sich die Vorteile, dass die Membran als Transmissionselement zum einen die notwendige Dicke aufweist, um zum gewünschten Faraday-Drehwinkel zu führen. Sie ist aber auch nicht dicker als unbedingt notwendig, sodass die Absorption der transmittierten Strahlung so klein wie möglich gehalten werden kann.The method according to the invention is simple to implement and implement in terms of apparatus. In a preferred device for carrying out the modulation method according to the invention with a modulation element arranged on the modulation path, it can be provided in an advantageous manner that the modulation element contains the thin membrane necessary for the method, which consists of a magneto-optical membrane material which shows the Faraday effect, has a controllable electromagnet surrounding the membrane for the variable generation of a magnetic field in the membrane and is rotatably mounted for varying the angle of incidence θ between the light rays and the membrane. The setting of the two Faraday rotation angles φi and φ 2 by generating corresponding magnetic fields Bi and B 2 by means of a suitable coil energization is a technically simple possibility of polarization modulation. The rotatable mounting of the membrane in the modulation element brings about its simple and controllable controllable rotation option for varying the angle of incidence θ in order to be able to change and adjust the effective thickness d * of the membrane. This results in the advantages that the membrane as a transmission element has the necessary thickness on the one hand in order to lead to the desired Faraday rotation angle. However, it is also not thicker than absolutely necessary, so that the absorption of the transmitted radiation can be kept as small as possible.
Der konstruktiven Ausgestaltung des drehbaren Modulationselements mit Elektrospulen und Membran sind keine Grenzen gesetzt. Hier kann eine Anpassung jeweils an den individuellen Anwendungsfall erfolgen. Ein besonders elegante und trotzdem einfach Konstruktion ergibt sich jedoch, wenn nach einer Erfindungsfortführung der Elektromagnet mit einem drehbaren, u-förmigen Eisenkern versehen ist, der zwischen seinen Polen die dünne Membran und auf seiner Jochseite eine Spulenwicklung aufweist. Durch die konstruktive Maßnahme wird der Eisenkern zum stabilen und vielseitigen Traggerüst des Modulationselements, was dessen besonders kostengünstige Herstellung ermöglicht. Aufwendige Zusatzapparaturen und -mechanismen entfallen. Um in diesem Zusammenhang Wiederholungen zu vermeiden, wird an dieser Stelle bezüglich weiterer konstruktiver Details auf den speziellen Beschreibungsteil verwiesen.There are no limits to the design of the rotatable modulation element with electrocoils and membrane. This can be adapted to the individual application. A particularly elegant and yet simple construction results, however, if, according to a continuation of the invention, the electromagnet is provided with a rotatable, U-shaped iron core which has the thin membrane between its poles and a coil winding on its yoke side. As a result of the constructive measure, the iron core becomes a stable and versatile supporting structure for the modulation element, which enables it to be manufactured particularly cost-effectively. There is no need for complex additional equipment and mechanisms. In order to avoid repetition in this context, reference is made to the special description section for further design details.
Prinzipielle Diagramme zur weiteren Veranschaulichung des erfindungsgemäßen Modulationsverfahrens und eine bevorzugte Ausbildungsform einer Vorrichtung zur Verfahrensdurchführung werden nachfolgend anhand der schematischen Figuren näher erläutert. Dabei zeigt : Figur 1 ein Diagramm für gemessene Faradaydrehungen,Basic diagrams for further illustration of the modulation method according to the invention and a preferred embodiment of a device for carrying out the method are explained in more detail below with reference to the schematic figures. It shows: FIG. 1 shows a diagram for measured Faraday rotations,
Figur 2 ein Diagramm für die gemessene Abhängigkeit der Faradaydrehung vom Einfallswinkel und Figur 3 eine erfindungsgemäße Modulationsvorrichtung.2 shows a diagram for the measured dependence of the Faraday rotation on the angle of incidence and FIG. 3 shows a modulation device according to the invention.
Zur näheren Erläuterung des Diagramms in Figur 1 soll zunächst ein Ausführungsbeispiel für die Auslegung einer geeigneten Membran als Transmissionselement in Zusammenhang mit der Figur 3 beschrieben werden. Dieses Ausführungsbeispiel beschreibt Messergebnisse, die an einer Membran MF, bestehend aus einer 277 nm dicken magneto-optisch aktiven Kobalt- Schicht (Co), aufgedampft auf einer 100 nm dicken Si3N4 - Schicht, erzielt worden sind. Die Ausrichtung der Polarisationsebene PP wurde mit einem Reflexionsmultilayer nach dem Rabinovitch-Prinzip ermittelt. Linear oder elliptisch polarisierte Synchrotronstrahlung LPB mit horizontaler Orientierung der Polarisationsebene (relativer Einschlusswinkel φ = 0°) fällt unter einem Einfallswinkel θ = 37° auf die magneto-optisch aktive Membran MF eines Modulationselements ME.For a more detailed explanation of the diagram in FIG. 1, an exemplary embodiment for the design of a suitable membrane as a transmission element will first be described in connection with FIG. 3. This exemplary embodiment describes measurement results which have been achieved on a membrane MF, consisting of a 277 nm thick magneto-optically active cobalt layer (Co), vapor-deposited on a 100 nm thick Si 3 N 4 layer. The orientation of the polarization plane PP was determined using a reflection multilayer based on the Rabinovitch principle. Linear or elliptically polarized synchrotron radiation LPB with horizontal orientation of the polarization plane (relative inclusion angle φ = 0 °) falls on the magneto-optically active membrane MF of a modulation element ME at an angle of incidence θ = 37 °.
Das Diagramm gemäß Figur 1 zeigt eine Messung der Ausrichtung der Polarisationsebene aufgrund der Faradaydrehung für Kobalt (Co) als Membranmaterial. Dazu wird ein Polarisationsanalysator um den Azimutwinkel α gedreht. Die Photonenergie beträgt 774 eV an der Co 2p3/2-Absorptionskante (vgl. kleines Diagramm). Die normierte Winkelverteilung des einfallenden, ungedrehten Lichtstrahls (Kurve mit Dreiecken) als eine Funktion des Azimutswinkels α zeigt maximale Intensitäten bei α = 0° und α = 180° bezüglich einer horizontalen Polarisationsebene PP. Nach Einschieben eines Kobalt- Films unter einem Einfallswinkel θ = 40° ist eine symmetrische Drehung der Polarisationsebene PP um Drehwinkel φ-ι_ φ2 = ± 45° zu verzeichnen, die von der Orientierung des angelegten, im Ausführungsbeispiel gesättigten Magnet- feldes Bs (Kurven mit vollen Kreisen für Parallelität der magnetischen Momente und leeren Kreisen für Antiparallelität) abhängig ist. Dadurch können große relative Einschlusswinkel φ, im gewählten Beispiel im Falle der magnetischen Sättigung ein orthogonaler Einschlusswinkel φ, einfach, hochgenau und reproduzierbar erzeugt werden.The diagram according to FIG. 1 shows a measurement of the orientation of the polarization plane on the basis of the Faraday rotation for cobalt (Co) as the membrane material. For this purpose, a polarization analyzer is rotated by the azimuth angle α. The photon energy is 774 eV at the Co 2p 3/2 absorption edge (see small diagram). The normalized angular distribution of the incident, non-rotated light beam (curve with triangles) as a function of the azimuth angle α shows maximum intensities at α = 0 ° and α = 180 ° with respect to a horizontal polarization plane PP. After inserting a cobalt film at an angle of incidence θ = 40 °, a symmetrical rotation of the polarization plane PP by angle of rotation φ-ι_ φ 2 = ± 45 ° can be observed, which depends on the orientation of the applied magnetic field B s (in the exemplary embodiment saturated). Curves with full circles for parallelism of magnetic moments and empty circles for anti-parallelism). This allows large relative inclusion angle φ, in the selected example an orthogonal inclusion angle φ in the case of magnetic saturation, can be generated simply, highly accurately and reproducibly.
Gemäß Gleichung (1) - vergleiche allgemeiner Beschreibungsteil - kann durch Variation des Einfallswinkels θ durch eine Drehung der Membran MF die Drehung der Polarisationsebene zwischen φ = 0° bei θ = 0° und φ = 90° bei θ = 20° eingestellt werden. Die Faradaykonstante k beträgt für diese Probe für den Fall der magnetischen Sättigung k = 12 deg / 100 nm. In dem Diagramm gemäß Figur 2 ist die Abhängigkeit des relativen Einschlusswinkels φ aufgrund der Faradaydrehung vom Einfallswinkel θ in das Membranmaterial dargestellt. Die Messergebnisse wurden mit Licht der Photonenergie an der Co 2p3/2- Absorptionskante erzielt, an der die Faradaydrehung maximal ist. Bei einem Lichteinfall unter der Normalen (θ = 90°) verläuft das Magnetfeld senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der Lichtstrahlen und es tritt gemäß Gleichung (1 ) keine Faradaydrehung auf. Bei einer Verringerung des Einfallswinkels θ ist eine Vergrößerung der Faradaydrehung zu verzeichnen, da die effektive Schichtdicke d* für den transmittierenden Lichtstrahl größer wird. Im kleinen Diagramm in Figur 2 ist die Abhängigkeit des Drehwinkels von der Magnet- feldstärke für den o.g. Co-Film dargestellt. Die Drehung zeigt eine Hystereseschleife. Die gesättigte Magnetfeldstärke (B > Bs) liegt bei ca. 50 Oe. Für eine Fe-Membran konnten bei 710 eV Photonenenergie Drehungen im Bereich - 60° < φ < 60° erzielt werden. Weitere Membranen, beispielsweise bestehend aus Ni, den seltenen Erden oder Kombinationen dieser Substan- zen, sind technisch realisierbar und erweitern den energetischen Anwendungsbereich.According to equation (1) - compare general description part - by varying the angle of incidence θ by rotating the membrane MF, the rotation of the plane of polarization can be set between φ = 0 ° at θ = 0 ° and φ = 90 ° at θ = 20 °. The Faraday constant k for this sample in the case of magnetic saturation is k = 12 deg / 100 nm. The diagram according to FIG. 2 shows the dependence of the relative inclusion angle φ due to the Faraday rotation on the angle of incidence θ into the membrane material. The measurement results were achieved with light from the photon energy at the Co 2p 3/2 absorption edge at which the Faraday rotation is at a maximum. If light falls below normal (θ = 90 °), the magnetic field is perpendicular to the direction of propagation of the light rays and, according to equation (1), there is no Faraday rotation. If the angle of incidence θ is reduced, the Faraday rotation increases, since the effective layer thickness d * for the transmitting light beam increases. The small diagram in FIG. 2 shows the dependence of the angle of rotation on the magnetic field strength for the above-mentioned co-film. The rotation shows a hysteresis loop. The saturated magnetic field strength (B> B s ) is approximately 50 Oe. For an Fe membrane, rotations in the range of -60 ° <φ <60 ° could be achieved at 710 eV photon energy. Other membranes, for example consisting of Ni, the rare earths or combinations of these substances, are technically feasible and expand the energetic field of application.
In der Figur 3 ist schematisch ein Ausführungsbeispiel für eine Vorrichtung zur Verfahrensdurchführung dargestellt. Auf einer Modulationsstrecke MD, entlang der linear polarisierte Strahlung LPB in der die Orientierung ihrer Polarisationsebene PP kontinuierlich modulierbar ist, befindet sich ein Modulationselement ME (Polarisationsmodulator). Dieses weist einen u-förmigen Eisenkern FC auf, zwischen dessen Polen POL eine Membran MF (Magnetfolie) angeordnet ist. Um den Jochbereich CA ist eine Spulenwicklung C eines Elektromagneten EM gewickelt, mit deren Hilfe Magnetfelder unterschiedlicher Stärke B und Orien- tierung +B, -B in der Membran MF generierbar sind. Das Modulationselement ME ist drehbar gelagert und unter einem Einfallswinkel θ zu den einfallenden Lichtstrahlen LPB ausgerichtet. Die durch die magnetisierte Membran MF transmittierenden Lichtstrahlen LPB erfahren je nach herrschendem Magnetfeld B und eingestelltem Einfallswinkel θ großwinklige Faradaydrehungen φi, φ2 der Polarisationsebene PP in oder entgegen dem Uhrzeigersinn. Durch entsprechende Wahl der Parameter können beliebige großwinklige relative Einschlusswinkel φ kontinuierlich eingestellt werden. Im gewählten Ausführungsbeispiel ist eine rechtwinklige Orientierung zur Strukturanalyse einer Probe P mit einer Magnetisierungsrichtung M dargestellt.FIG. 3 schematically shows an exemplary embodiment of a device for carrying out the method. A modulation element is located on a modulation path MD along the linearly polarized radiation LPB in which the orientation of its polarization plane PP can be continuously modulated ME (polarization modulator). This has a U-shaped iron core FC, between the poles of which a membrane MF (magnetic film) is arranged. A coil winding C of an electromagnet EM is wound around the yoke region CA, with the aid of which magnetic fields of different strengths B and orientation + B, -B can be generated in the membrane MF. The modulation element ME is rotatably mounted and aligned at an angle of incidence θ to the incident light beams LPB. Depending on the prevailing magnetic field B and the set angle of incidence θ, the light beams LPB transmitted through the magnetized membrane MF experience large-angle Faraday rotations φi, φ 2 of the polarization plane PP in clockwise or counterclockwise direction. By choosing the appropriate parameters, any large-angle relative inclusion angle φ can be set continuously. In the selected exemplary embodiment, a right-angled orientation for the structural analysis of a sample P with a magnetization direction M is shown.
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
B Magnetfeldstärke (B0...BS, +/- B, B1 f B2)B magnetic field strength (B 0 ... B S , +/- B, B 1 f B 2 )
C Spulenwicklung von EMC coil winding from EM
CA Jochbereich von FC d konstruktive Schichtdicke von MF d* effektive Schichtdicke von MFCA yoke area of FC d constructive layer thickness of MF d * effective layer thickness of MF
EM ElektromagnetEM electromagnet
FC Eisenkern von EM k Faradaykonstante von MFFC iron core from EM k Faraday constant from MF
LPB linear polarisierte LichtstrahlenLPB linearly polarized light beams
M Magnetisierungsrichtung von PM direction of magnetization of P
MD Modulationsstrecke ME ModulationselementMD modulation line ME modulation element
MF MembranMF membrane
P ProbeP sample
PP Polarisationsebene von LPBPP plane of polarization of LPB
POL Pol von FC θ Einfallswinkel von LPB in MF φ relativer Einschlusswinkel zwischen zwei PP φi, φ2 Drehwinkel von PP als Anteile von φ POL Pol of FC θ angle of incidence of LPB in MF φ relative angle of inclusion between two PP φi, φ 2 angle of rotation of PP as components of φ

Claims

Patentansprüche claims
1. Modulationsverfahren zur zeitbezogenen, variablen Ausrichtung unter einem großwinkligen relativen Einschlusswinkel φ von Polarisationsebenen (PP) linear- oder elliptisch polarisierter Lichtstrahlen (LPB) im Vakuum-Ultravioletten- und Röntgen-Spektralbereich in Bezug auf eine Zielfläche (P) durch veränderbare magnetische und optische Einwirkung auf die Lichtstrahlen in einer Modulationsstrecke (MD), dadurch gekennzeichnet, dass die Ausrichtung ausschließlich durch Ausnutzung des Faraday-Effektes erreicht wird, indem die Lichtstrahlen (LPB) auf der Modulationsstrecke (MD) durch eine dünne Membran (MF) aus einem den Faraday-Effekt zeigenden magneto-optischen Membranmaterial (k) geleitet werden, die mit einem in der Stärke kontinuierlich von Null bis in die materialabhängige Sättigung und in der Orientierung veränderlichen Magnetfeld (B0....BS) magnetisierbar und deren Einfallswinkel θ unterhalb des rechten Winkels zur Ausbreitungsrichtung der Lichtstrahlen (LPB) verdrehbar ist, und der großwinklige relative Einschlusswinkel φ für zwei Polarisationsebenen (PP) der Lichtstrahlen (LPB) kontinuier- lieh modulierbar ist durch1.Modulation method for time-related, variable alignment under a large-angle relative inclusion angle φ of polarization planes (PP) of linearly or elliptically polarized light beams (LPB) in the vacuum ultraviolet and X-ray spectral range in relation to a target area (P) by means of changeable magnetic and optical Effect on the light beams in a modulation path (MD), characterized in that the alignment is achieved exclusively by utilizing the Faraday effect, in that the light beams (LPB) on the modulation path (MD) through a thin membrane (MF) from a Faraday -Effect-showing magneto-optical membrane material (k), which can be magnetized with a continuously changing strength from zero to material-dependent saturation and orientation-changing magnetic field (B 0 .... B S ) and their angle of incidence θ below the right angle to the direction of propagation of the light rays (LPB) bar, and the large-angle relative inclusion angle φ for two polarization planes (PP) of the light beams (LPB) can be continuously modulated by
(A) ausgehend von einem Einfallswinkel θ an der Membran (MF) veränderbares Einstellen einer Magnetfeldstärke Bi zu einer ersten Ausrichtung einer gewählten Polarisationsebene (PP) unter einem Drehwinkel φi und daran zeitlich anschließend durch veränderbares Einstellen einer Magnet- feldstärke B2 zu einer zweiten Ausrichtung dieser Polarisationsebene (PP) unter einem den ersten Drehwinkel φi zu dem relativen Einschlusswinkel φ ergänzenden Drehwinkel φ2, und in Abhängigkeit von der zu erreichenden Größe des relativen Einschlusswinkels φ zusätzlich durch (B) weiteres Drehen der Membran (MF) zur Verringerung des Einfallswinkels θ. (A) Starting from an angle of incidence θ on the membrane (MF), a magnetic field strength Bi can be changed to a first orientation of a selected polarization plane (PP) at an angle of rotation φi and then by changing the setting of a magnetic field strength B 2 to a second orientation this polarization plane (PP) at a rotation angle φ 2 which supplements the first rotation angle φi to the relative inclusion angle φ, and depending on the size of the relative inclusion angle φ to be achieved additionally by (B) further rotating the membrane (MF) to reduce the angle of incidence θ ,
2. Modulationsverfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Magnetfeldstärken Bi und B2 unterhalb der magnetischen Sättigung (Bs) betragsmäßig identisch sind oder oberhalb davon mit beliebigen Beträgen liegen, aber entgegengesetzte Vorzeichen (+B, -B) aufweisen.2. Modulation method according to claim 1, characterized in that the two magnetic field strengths Bi and B 2 below the magnetic saturation (B s ) are identical in terms of amount or above it with any amounts, but have opposite signs (+ B, -B).
3. Modulationsverfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass als relativer Einschlusswinkel φ ein rechter Winkel für eine orthogonale Ausrichtung der Polarisationsebenen (PP) eingestellt wird.3. Modulation method according to claim 1 or 2, characterized in that a right angle for an orthogonal alignment of the polarization planes (PP) is set as the relative inclusion angle φ.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Modulationsverfahrens nach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 3 mit einem auf der Modulationsstrecke (MD) angeordneten Modulationselement (ME), dadurch gekennzeichnet, dass das Modulationselement (ME) die für das Verfahren notwendige dünne Membran (MF) enthält, die aus einem den Faraday-Effekt zeigenden magneto- optischen Membranmaterial (k) besteht, einen die Membran (MF) umgebenden regelbaren Elektromagneten (EM) zur variablen Erzeugung eines Magnetfeldes (B0...BS) in der Membran (MF) aufweist und zur Variation des Einfallswinkels θ zwischen Lichtstrahlen (LPB) und Membran (MF) drehbar gelagert ist.4. Device for carrying out the modulation method according to one of the preceding claims 1 to 3 with a modulation element (ME) arranged on the modulation path (MD), characterized in that the modulation element (ME) contains the thin membrane (MF) necessary for the method, which consists of a magneto-optical membrane material (k) showing the Faraday effect, has a controllable electromagnet (EM) surrounding the membrane (MF) for the variable generation of a magnetic field (B 0 ... B S ) in the membrane (MF) and is rotatably mounted for varying the angle of incidence θ between light beams (LPB) and membrane (MF).
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektromagnet (EM) mit einem drehbaren, u-förmigen Eisenkern (FC) versehen ist, der zwischen seinen Polen (POL) die dünne Membran (MF) und auf seiner Jochseite (CA) eine Spulenwicklung (C) aufweist. 5. The device according to claim 4, characterized in that the electromagnet (EM) is provided with a rotatable, U-shaped iron core (FC), the thin membrane (MF) between its poles (POL) and on its yoke side (CA) has a coil winding (C).
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