WO2000055386A1 - Beheizungseinrichtung - Google Patents

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WO2000055386A1
WO2000055386A1 PCT/EP2000/002020 EP0002020W WO0055386A1 WO 2000055386 A1 WO2000055386 A1 WO 2000055386A1 EP 0002020 W EP0002020 W EP 0002020W WO 0055386 A1 WO0055386 A1 WO 0055386A1
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WO
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component
temperature
heating
chamber
metal layer
Prior art date
Application number
PCT/EP2000/002020
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English (en)
French (fr)
Inventor
Gebhard Döpper
Werner Stamm
Beate Heimberg
Original Assignee
Siemens Aktiengesellschaft
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/2001—Maintaining constant desired temperature

Definitions

  • the invention relates to a heating device for heating a high-temperature component coated with a metal layer, in particular a component of a gas turbine, with a heating chamber in which built-in parts are provided.
  • the invention further relates to a method for heating a high-temperature component coated with a metal layer.
  • Coating systems for coating a gas turbine blade are known in which ceramic layers are applied to the gas turbine blade by means of physical evaporation processes.
  • Such a coating system can be constructed, for example, from chambers connected directly one behind the other and connected to a trolly system for conveying the turbine blades.
  • a first chamber serves as the loading chamber.
  • Turbine blades can be received by the loading chamber.
  • Turbine blades in the loading chamber can be transported from the loading chamber into a vacuum chamber, where the turbine blades are preheated. This is followed by further transport into a process chamber in which a ceramic material is heated, melted and evaporated by means of electron beam evaporation, in particular zirconium oxide partially stabilized with yttrium.
  • the turbine blade consists of a nickel-based superalloy on which a metallic bonding layer of the MCrAlY type is applied, where M stands for nickel and / or cobalt, Cr for chromium, Al for aluminum and Y for yttrium.
  • a thin layer of aluminum oxide is formed on this metallic connection layer, to which the actual thermal insulation layer made of zirconium oxide stabilized with yttrium is applied.
  • the turbine blade is coated using a physical evaporation process in which the ceramic material (zirconium oxide) is evaporated by bombardment with electron beams. This takes place in a vacuum chamber, the turbine blade being heated to a component temperature of approximately 1000 ° C. by means of heat radiation by means of a substrate heater.
  • the ceramic thermal barrier coating has a columnar crystalline structure, the individual crystal columns being oriented substantially perpendicular to the surface of the metallic bonding layer.
  • the first-mentioned object is achieved in this case by a heating device which has a heating chamber for heating a high-temperature component to a component temperature, in which built-in components are provided which, at a chamber temperature required in the heating chamber to achieve the component temperature, have a slight tendency to outgas the metal layer has impaired elements.
  • the invention is based on the knowledge that materials that are used for the internal components, such as radiant heating element, inner lining of the heating chamber or component holder for the high-temperature component in furnaces and heating chambers in preheating or heat treatment processes, influence the atmosphere in the boiler room and the immediate component environment to have. So z. B. are released from a component holder made of graphite carbon, which can diffuse into the component at high temperatures. If the material of the component or the material of the metal layer is a carbon-sensitive material, the material properties of the entire high-temperature component can be adversely affected. With the invention, the composition and the metallurgical composition of the furnace or heating chamber installation parts are now taken into account when heating materials, preferably adapted to one another.
  • the built-in parts preferably have an inner lining of the heating chamber, a holder for the component and / or a heating element.
  • the built-in parts are essentially free of carbon that tends to outgas.
  • the built-in parts are preferably free of graphite. It is further preferred that all built-in parts have a low tendency to outgas elements that impair the metal layer, in particular carbon.
  • the materials of the built-in parts and those of the components to be heated are preferably of the same type.
  • the installation parts preferably consist of a nickel-based, iron-based or cobalt-based alloy.
  • the high-temperature component which is in particular a component of a gas turbine, such as a turbine guide vane, a turbine rotor blade, a guide ring or a wall element of a combustion chamber of the gas turbine, preferably has a metal layer of the MCrAlX type.
  • M stands for one or more elements from the group comprising nickel, cobalt and iron.
  • Cr stands for chrome and AI for aluminum.
  • X stands for one or more elements from the group comprising rhenium, yttrium and the elements of the rare earths.
  • the heating device is particularly suitable in the context of a coating process for producing oxidation and corrosion protection layers, for example made of an alloy of the type MCrAlReY, on a gas turbine component.
  • a preheating process for a subsequent coating of the gas turbine component with a thermal barrier coating by means of electron beam evaporation (EB-PVD process) it is particularly advantageous if the oxidation and corrosion protection layer is produced without carbon contamination, since such contamination contaminates the adhesion and also the structure of the thermal barrier coating would adversely affect.
  • a preheating process that does not use carbon-containing radiant heating elements is therefore preferably selected.
  • Components of an inner lining are also preferred other internals, in particular a holder for the high-temperature component, are essentially or completely free of carbon.
  • the electron beam heating as it is for example given in the above article "Ceramic thermal barrier coatings Deposited with the electron beam-physical vapor deposition techn ⁇ que w be used.
  • the components of an inner lining of the heating device (furnace) and the holder for the high-temperature component are preferably made of a material of the same type as the high-temperature component, for example of a nickel-based or cobalt-based alloy.
  • the heating device is also suitable for heat treatment of gas turbine components provided with an oxidation and corrosion protection layer made of an alloy, for example of the MCrAlReY type.
  • the heat treatment serves to connect the metal layer to the base material of the gas tower component without the metal layer being contaminated with carbon.
  • the inner components such as the heating element, inner lining and holder of the high-temperature component, are made of a respective material that is used for the
  • Temperatures of up to 800 ° C that are required for heat treatment hardly tend to outgas or only emit those elements that do not negatively influence the properties of the high-temperature component for its intended use, for example a gas turbine. These precautions significantly improve the quality of the metal layer and the ability of the metal layer to attach to the base material. Furthermore, the long-term creep strength of the layer is significantly increased.
  • the on a method for heating a high-temperature component coated with a metal layer on a building Part temperature-directed object is achieved in that the high-temperature component is heated to the component temperature in a heating chamber with built-in parts, the built-in parts having a slight tendency for outgassing elements affecting the metal layer in a chamber temperature required in the heating chamber to achieve the component temperature.
  • the high-temperature component is preferably heated in accordance with the intended heat treatment process, for example for connecting the metal layer to the base material of the high-temperature component or for preheating the high-temperature component for subsequent coating with a thermal barrier coating.
  • An MCrAlX layer can be applied as the metal layer, which is heat-treated before being coated with a ceramic layer (bonding heat treatment), in particular to improve the bonding of the ceramic layer.
  • the component temperature is preferably above 800 ° C. when the thermal insulation layer (ceramic layer) is applied.
  • the heating device and the method for heating a high-temperature component coated with a metal layer to a component temperature, at least on the surface of the high-temperature component, are described by way of example with reference to the exemplary embodiments shown in the drawing.
  • FIGS. 1 and 2 show a heating device in a longitudinal section.
  • the heating device 20 has a heating chamber 1, hereinafter also referred to as a vacuum chamber or coating chamber.
  • the heating chamber 1 has an inlet 7 for gas, for example Oxygen and / or an inert gas such as nitrogen.
  • Various built-in parts 2a, 11, 12 are arranged within the heating chamber 1. This is a radiation heating element 2a, a holder 11 for the high-temperature component 5, which can be rotated about a longitudinal axis 14, and an inner lining 12.
  • the high-temperature component 5 is held in the holder 11 such that it can also be rotated about the longitudinal axis 14 .
  • the heating element 2 a is arranged directly above the high-temperature component 5, so that heating of the high-temperature component 5 to a corresponding component temperature is ensured as a result of thermal radiation.
  • the E components (heating element 2a, holder 11, inner lining 12) are designed such that they have only a slight tendency to outgas from the metal layer 13 at a chamber temperature prevailing to achieve the component temperature in the heating chamber 1 and a temperature of the heating element 2a. have the base material of the high-temperature component 5 or a thermal barrier layer (not shown) which has to be applied to the metal layer 13 and has an adverse effect.
  • the inner lining 12 can be formed from several individual elements, an inner coating of the heating chamber 1 or directly from the wall forming the heating chamber 1.
  • the heating chamber 1 is connected to a vacuum pump system which has a diffusion pump 8, valves 9 and a vacuum pump 10, so that a vacuum required for coating the high-temperature component 5 with a ceramic thermal barrier layer can be set.
  • a corresponding vacuum can also be set before or when the high-temperature component 5 heats up to a component temperature.
  • a ceramic element 4 Arranged below the high-temperature component 5 is a ceramic element 4 which can be rotated about an axis and which consists of a ceramic for producing a thermal insulation layer, for example of zirconium oxide partially stabilized with yttrium.
  • An electron beam gun 3 also projects into the heating chamber 1 below the holder 11.
  • a coating process for coating the high-temperature component 5 a turbine blade or a heat shield element for lining a combustion chamber
  • an electron beam emerging from the electron beam gun 3 strikes the ceramic element 4.
  • ceramic particles are vaporized from the ceramic element 4, which form a particle cloud 6 around the high-temperature component 5.
  • Ceramic particles separate from the particle cloud ⁇ onto the high-temperature component 5 rotating about the longitudinal axis 14.
  • the deposition process is regulated with regard to the speed of rotation, vapor pressure of an inert gas and addition of oxygen in such a way that a stem-stable thermal insulation layer is preferably formed on the metal layer 13 serving as the application layer.
  • the high-temperature component 5 is heated via the radiation heating element 2 a to a corresponding component temperature of preferably over 800 ° C. on the surface of the metal layer 13.
  • FIG. 2 a longitudinal section is also shown schematically and in simplified form, a heating device 20 for heating a high-temperature component 5 analogous to FIG. 1, which at the same time serves to produce a thermal barrier coating on the high-temperature component 5 from a ceramic material.
  • the embodiment according to FIG. 2 does not have an indirect radiation heating element 2a but a further electron beam gun 2b. Through this electron beam gun 2b, the high-temperature component 5 is bombarded directly by an electron beam and heated to a component temperature due to this bombardment.
  • the further structural design of the heating device 20 according to FIG. 2 is analogous to the embodiment according to FIG. 1.
  • the invention is characterized in that in a heating device, which is used in particular in the course of a coating process of a high-temperature component, Built-in parts are provided which tend to outgas slightly from chemical elements, which could negatively influence the metallurgical properties of the high-temperature component, metal layers and / or ceramic layers applied thereon.
  • the built-in parts are free of outgassable carbon. In particular, they have no graphite.
  • the built-in parts can also be provided with a corresponding coating or barrier layer.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Beheizungseinrichtung (20) zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht (13) beschichteten Hochtemperaturbauteils (5), insbesondere eines Gasturbinenbauteils, auf eine Bauteiltemperatur. Die Erwärmung erfolgt hierbei in einer Heizkammer (1), welche Einbauteile (2a, 11, 12) aufweist, die bei einer in der Heizkammer (1) zur Erzielung der Bauteiltemperatur erforderlichen Kammertemperatur eine geringe Neigung zum Ausgasen von die Metallschicht (13) beeinträchtigenden Elementen aufweist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Erwärmung eines Hochtemperaturbauteils.

Description

BEHEIZUNGSEINRICHTUNG
Beheizungseinrichtung und Verfahren zur Erwärmung eines Hochtemperaturbauteils, insbesondere eines Gasturbinenbau- teils
Die Erfindung betrifft eine Beheizungseinrichtung zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht beschichteten Hochtemperaturbauteils, insbesondere eines Bauteils einer Gasturbine, mit einer Heizkammer in der Einbauteile vorgesehen sind. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht beschichteten Hochtemperaturbauteils .
Es sind Beschichtungsanlagen zur Beschichtung einer Gasturbinenschaufel bekannt, bei denen mittels physikalischer Verdampfungsverfahren keramische Schichten auf die Gasturbinenschaufel aufgebracht werden. Eine solche Beschichtungsanlage kann beispielsweise aus unmittelbar hintereinander geschalte- ten und mit einem Trolly-System zur Beförderung der Turbinenschaufeln verbundenen Kammern aufgebaut sein. Eine erste Kammer dient hierbei als Beladungskammer. Turbinenschaufeln können von der Beladungskammer aufgenommen werden. Turbinenschaufeln in der Beladungskammer können dabei von der Bela- dungskammer aus in eine Vakuumkammer transportiert werden, wo die Turbinenschaufeln vorgeheizt werden. Anschließend erfolgt ein Weitertransport in eine Prozeßkammer, in der ein keramisches Material mittels Elektronenstrahlverdampfens, insbesondere mit Yttrium teilstabilisiertes Zirkonoxid, erhitzt, geschmolzen und verdampft wird. Das keramische Material kondensiert auf den Turbinenschaufeln und bildet hierdurch die keramische Beschichtung. Die so beschichteten Turbinenschaufeln werden in eine Kühlkammer weitertransportiert und hierin gekühlt. In -der Vorheizkammer ist eine indirekte Heizung mittels eines Graphit-Heizers zur Beheizung der Turbinenschaufeln vorgesehen. In der US-PS 5,238,752 ist ein Wärmedämmschichtsystem, welches auf eine Turbinenschaufel aufgebracht ist, beschrieben.
Die Turbinenschaufel besteht hierbei aus einer Nickelbasis- Superlegierung, auf der eine metallische Anbindungsschicht der Art MCrAlY aufgebracht ist, wobei M für Nickel und/oder Kobalt, Cr für Chrom, AI für Aluminium und Y für Yttrium steht. Auf dieser metallischen Anbindungsschicht entsteht eine dünne Schicht aus Aluminiumoxid, auf die die eigentliche Wärmedämmschicht aus mit Yttrium stabilisiertem Zirkonoxid aufgebracht ist. Die Beschichtung der Turbinenschaufel erfolgt hierbei mittels eines physikalischen Verdampfungsverfahrens, bei dem das keramische Material (Zirkonoxid) durch Beschüß mit Elektronenstrahlen verdampft wird. Dies erfolgt in einer Vakuumkammer, wobei die Turbinenschaufel über einen Substratheizer mittels Wärmestrahlung auf eine Bauteiltemperatur von etwa 1000° C aufgeheizt wird. Die keramische Wärmedämmschicht weist hierbei einen stengelkristallinen Aufbau auf, wobei die einzelnen Kristallstengel im wesentlichen senkrecht zur Oberfläche der metallischen Anbindungsschicht orientiert sind.
In dem Artikel „Ceramic thermal barrier coatings deposited with the electron beam-physical vapour deposition technique* von E. Lugscheider et al., Surface and Coatings Technology 98, 1998, Seiten 1221-1227, ist das Aufbringen von keramischen Wärmedämmschichten auf einer metallischen Struktur beschrieben. Hierin wird die stengelkristalline Struktur einer aus teilstabilisiertem Zirkonoxid aufgebauten Wärmedä m- schicht bei zwei unterschiedlichen Beschichtungsverfahren verglichen. In einem ersten Beschichtungsverfahren wird die Metallstruktur indirekt über einen Strahlungsheizer beheizt, welcher Strahlungsheizer mit einem graphithaltigen Film beschichtet ist. Gemäß einer zweiten Methode wird die metalli- sehe Struktur, das Substrat, direkt mittels Elektronenstrahlen beheizt. Die Temperatur an der Oberfläche des Substrats wird hierbei auf etwa 900° C eingestellt. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Beheizungseinrichtung zur Erwärmung eines mit einer metallischen Schicht beschichteten Hochtemperaturbauteils, insbesondere eines Gasturbinenbau- teils, anzugeben. Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist ein Verfahren zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht beschichteten Hochtemperaturbauteils anzugeben.
Die erstgenannte Aufgabe wird hierbei gelöst durch eine Beheizungseinrichtung, welche eine Heizkammer zur Erwärmung ei- nes Hochtemperaturbauteils auf eine Bauteiltemperatur aufweist, in der Einbauteile vorgesehen sind, die bei einer in der Heizkammer zur Erzielung der Bauteiltemperatur erforderlichen Kammertemperatur eine geringe Neigung zum Ausgasen von die Metallschicht beeinträchtigten Elementen aufweist.
Die Erfindung geht hierbei von der Erkenntnis aus, daß Werkstoffe, die für die Innenbauteile, wie Strahlungsheizelement, Innenauskleidung der Heizkammer oder Bauteilhalterung für das Hochtemperaturbauteil in Öfen und Heizkammern bei Vorheiz- oder Wärmebehandlungsprozessen verwendet werden, auf die Atmosphäre im Heizraum und die unmittelbare Bauteilumgebung Einfluß haben. So kann z. B. aus einer Bauteilhalterung aus Graphit Kohlenstoff freigesetzt werden, der bei hohen Temperaturen in das Bauteil hineindiffundieren kann. Handelt es sich bei dem Werkstoff des Bauteils oder dem Werkstoff der Metallschicht um ein gegenüber Kohlenstoff empfindlichen Werkstoff, kann eine negative Beeinflussung der Materialeigenschaften des gesamten Hochtemperaturbauteils hervorgerufen werden. Mit der Erfindung wird nunmehr beim Erwärmen von Werkstoffen deren Zusammensetzung und die metallurgische Zusammensetzung der Ofen- bzw. Heizkammereinbauteile berücksichtigt, vorzugsweise aufeinander angepaßt. Damit werden sowohl die Heizmethode als auch die chemische Zusammensetzung der Einbauteile, insbesondere der Werkstoffe eines Strah- lungsheizelementes, einer Bauteilhalterung oder Bauteile einer Innenauskleidung berücksichtigt. Die Einbauteile weisen vorzugsweise eine Innenauskleidung der Heizkammer, eine Halterung für das Bauteil und/oder ein Heizelement auf. Die Einbauteile sind hierbei im wesentlichen frei von zum Ausgasen neigendem Kohlenstoff. Vorzugsweise sind die Einbauteile frei von Graphit. Weiter bevorzugt besitzen sämtliche Einbauteile eine geringe Neigung zum Ausgasen von die Metallschicht beeinträchtigenden Elementen, insbesondere Kohlenstoff. Bevorzugt sind die Werkstoffe der Einbauteile und die der zu erwärmenden Bauteile artgleich.
Die Einbauteile bestehen vorzugsweise aus einer Nickelbasis-, Eisenbasis- oder Kobaltbasislegierung.
Das Hochtemperaturbauteil, welches insbesondere ein Bauteil einer Gasturbine, wie eine Turbinenleitschaufel, eine Turbinenlaufschaufel, ein Führungsring oder ein Wandelement einer Brennkammer der Gasturbine ist, weist vorzugsweise eine Metallschicht der Art MCrAlX auf. M steht hierbei für eines oder mehrere Elemente aus der Gruppe umfassend Nickel, Kobalt und Eisen. Cr steht für Chrom und AI für Aluminium. X steht hierbei für eines oder mehrere Elemente aus der Gruppe umfassend Rhenium, Yttrium und die Elemente der Seltenen Erden.
Die Beheizungseinrichtung eignet sich besonders im Rahmen ei- nes Beschichtungsprozesses zur Herstellung von Oxidations- und Korrosionsschutzschichten, beispielsweise aus einer Legierung der Art MCrAlReY, auf einem Gasturbinenbauteil. Hierbei ist es in einem Vorheizprozeß für eine anschließende Beschichtung des Gasturbinenbauteils mit einer Wärmedämmschicht mittels Elektronenstrahlverdampfens (EB-PVD-Verfahren) besonders vorteilhaft, wenn die Oxidations- und Korrosionsschutzschicht ohne Kohlenstoffkontamination hergestellt wird, da eine solche Verunreinigung die Haftung und auch die Struktur der Wärmedämmschicht sehr nachteilig beeinflussen würde. Es wird daher vorzugsweise ein Vorheizverfahren gewählt, das keine kohlenstoffhaltigen Strahlungsheizelemente verwendet. Vorzugsweise sind auch Bauteile einer Innenauskleidung sowie andere Einbauten, insbesondere eine Halterung für das Hoch- temperaturbauteil im wesentlichen oder vollständig frei von Kohlenstoff ausgeführt. Als Vorheizverfahren kann beispielsweise das Elektronenstrahlheizen, wie es beispielsweise in obigem Artikel „Ceramic thermal barrier coatings deposited with the electron beam-physical vapour deposition technιquew angegeben ist, verwendet werden. Bei diesem Vorheizverfahren mittels Elektronenstrahlen tritt keine Kontamination mit irgendwelchen Elementen des aufzuheizenden Hochtemperatur- bauteils auf. Die Bauteile einer Innenauskleidung der Beheizungseinrichtung (Ofen) sowie die Halterung des Hochtempe- raturbauteils sind in diesem Fall vorzugsweise aus einem zum Hochtemperaturbauteil artgleichen Material hergestellt, beispielsweise aus einer Nickelbasis- oder Kobaltbasis- legierung.
Die Beheizungseinrichtung eignet sich ebenfalls zu einer Wärmebehandlung von mit einer Oxidations- und Korrosionsschutzschicht aus einer Legierung, beispielsweise der Art MCrAlReY, versehenen Gasturbmenbauteile. Die Wärmebehandlung dient der Anbindung der Metallschicht an den Grundwerkstoff des Gastur- bmenbauteils, ohne daß die Metallschicht kohlenstoffkontaminiert wird. Hierzu sind die Innenbauteile, wie Heizelement, Innenauskleidung und Halterung des Hochtemperaturbauteils aus einem jeweiligen Werkstoff ausgeführt, der bei den für die
Wärmebehandlung erforderlichen Temperaturen von bis zu 800° C kaum zum Ausgasen neigt oder aber beim Ausgasen nur solche Elemente abgibt, die die Eigenschaften des Hochtemperaturbauteils für dessen bestimungsgemaßen Einsatz, beispielsweise einer Gasturbine, nicht negativ beeinflussen. Durch diese Vorkehrungen wird die Qualltat der Metallschicht und das Anb dungsvermogen der Metallschicht an den Grundwerkstoff erheblich verbessert. Ferner wird die Dauerzeitstandfestig- keit der Schicht deutlich erhöht.
Die auf ein Verfahren zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht beschichteten Hochtemperaturbauteils auf eine Bau- teiltemperatur gerichtete Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Hochtemperaturbauteil in einer Heizkammer mit Einbauteilen auf die Bauteiltemperatur aufgeheizt wird, wobei die Einbauteile bei einer in der Heizkammer zur Erreichung der Bauteiltemperatur erforderlichen Kammertemperatur eine geringe Neigung zum Ausgasen von die Metallschicht beeinträchtigenden Elementen aufweist. Das Hochtemperaturbauteil wird hierbei vorzugsweise entsprechend dem vorgesehenen Wärmebehandlungsprozeß, beispiels- weise zur Anbindung der Metallschicht an den Grundwerkstoff des Hochtemperaturbauteils oder zur Vorheizung des Hochtemperaturbauteils für eine anschließende Beschichtung mit einer Wärmedämmschicht, aufgeheizt. Als Metallschicht kann hierbei eine MCrAlX-Schicht aufgebracht sein, die vor Beschichtung mit einer Keramikschicht wärmebehandelt wird (Anbindungs- wärmebehandlung) , um insbesondere die Anbindung der Keramikschicht zu verbessern. Die Bauteiltemperatur liegt hierbei bei Aufbringen der Wärmedämmschicht (Keramikschicht) vorzugsweise bei oberhalb 800° C.
Die Beheizungseinrichtung sowie das Verfahren zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht beschichteten Hochtemperaturbauteils auf eine Bauteiltemperatur, zumindest an der Oberfläche des Hochtemperaturbauteils, werden beispielhaft anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen beschrieben.
Es zeigen hierbei schematisch und nicht maßstäblich Figuren 1 und 2 eine Beheizungseinrichtung in einem Längsschnitt.
In Figur 1 ist in einer schematischen Darstellung in einem Längsschnitt eine Beheizungseinrichtung 20 zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht 13 beschichteten Hochtemperaturbauteils 5, hier einer Gasturbinenschaufel, dargestellt. Die Beheizungseinrichtung 20 weist eine Heizkammer 1, im folgenden auch Vakuumkammer oder Beschichtungskammer genannt, auf. Die Heizkammer 1 weist einen Einlaß 7 für Gas, beispielsweise Sauerstoff und/oder einem Inertgas wie Stickstoff, auf. Innerhalb der Heizkammer 1 sind verschiedene Einbauteile 2a, 11, 12 angeordnet. Hierbei handelt es sich um ein Strahlungs- Heizelement 2a, eine um eine Längsachse 14 rotierbare Halte- rung 11 für das Hochtemperaturbauteil 5 sowie eine Innenauskleidung 12. In der Halterung 11 ist das Hochtemperaturbauteil 5 so gehaltert, daß es ebenfalls um die Langsachse 14 rotierbar ist. Das Heizelement 2a ist unmittelbar oberhalb des Hochtemperaturbauteils 5 angeordnet, so daß hierdurch über Wärmestrahlung eine Aufheizung des Hochtemperaturbautei- les 5 auf eine entsprechende Bauteiltemperatur gewährleistet ist. Die E bauteile (Heizelement 2a, Halterung 11, Innenauskleidung 12) sind so ausgeführt, daß sie bei einer zur Erzie- lung der Bauteiltemperatur in der Heizkammer 1 herrschenden Kammertemperatur sowie einer Temperatur des Heizelementes 2a lediglich eine geringe Neigung zum Ausgasen von die Metallschicht 13, den Grundwerkstoff des Hochtemperaturbauteiles 5 oder einer auf der Metallschicht 13 aufzubringenden nicht dargestellten Warmedammschicht beeinträchtigenden Elemente aufweisen. Die Innenauskleidung 12 kann hierbei aus mehreren Einzelelementen, einer Innenbeschichtung der Heizkammer 1 oder unmittelbar aus der die Heizkammer 1 bildenden Wand gebildet sein. Die Heizkammer 1 ist mit einem Vakuumpumpsystem verbunden, welches eine Diffusionspumpe 8, Ventile 9 sowie eine Vakuumpumpe 10 aufweist, so daß ein für eine Beschichtung des Hochtemperaturbauteiles 5 mit einer keramischen Warmedammschicht erforderliches Vakuum einstellbar ist. Dabei ist auch bereits vor oder bei einem Aufheizen des Hochtempe- raturbauteils 5 auf eine Bauteiltemperatur ein entsprechendes Vakuum einstellbar. Unterhalb des Hochtemperaturbauteiles 5 ist ein um eine Achse rotierbares Keramikelement 4 angeordnet, welches aus einer Keramik zur Herstellung einer Warmedammschicht, beispielsweise aus mit Yttrium teilstabili- sierten Zirkonoxid besteht. In die Heizkammer 1 ragt zudem unterhalb der Halterung 11 eine Elektronenstrahlkanone 3 hinein. Bei einem Beschichtungsvorgang zur Beschichtung des Hochte - peraturbauteils 5, einer Turbmenschaufel oder einem Hitze- schildelement für die Auskleidung einer Brennkammer, trifft ein von der Elektronenstrahlkanone 3 austretender Elektronen- strahl auf das Keramikelement 4 auf. Hierdurch werden Keramikpartikel aus dem Keramikelement 4 verdampft, welche um das Hochtemperaturbauteil 5 herum eine Partikelwolke 6 bilden. Aus der Partikelwolke β scheiden sich Keramikpartikel auf das um die Langsachse 14 rotierende Hochtemperaturbauteil 5 ab. Der Abscheidevorgang ist im Hinblick auf Rotationsgeschwindigkeit, Dampfdruck eines Inertgases sowie Zusatz von Sauerstoff so geregelt, daß sich vorzugsweise eine stengelknstal- line Warmedammschicht auf der als Anbmdungsschicht dienenden Metallschicht 13 bildet. Vor Beginn des eigentlichen Be- schichtungsvorganges wird das Hochtemperaturbauteil 5 über das Strahlungs-Heizelement 2a auf eine entsprechende Bauteiltemperatur von vorzugsweise über 800° C an der Oberflache der Metallschicht 13 aufgeheizt.
In Figur 2 ist m einem Längsschnitt ebenfalls schematisch und vereinfacht eine Beheizungseinrichtung 20 zur Erwärmung eines Hochtemperaturbauteiles 5 analog zu Figur 1 dargestellt, welche gleichzeitig der Herstellung einer Warme- dammbeschichtung auf dem Hochtemperaturbauteil 5 aus einem keramischen Material dient. Im Unterschied zu der in Figur 1 dargestellten Ausfuhrungsform weist die Ausfuhrungsform gemäß Figur 2 kein indirektes Strahlungs-Heizelement 2a sondern eine weitere Elektronenstrahlkanone 2b auf. Durch diese Elektronenstrahlkanone 2b wird das Hochtemperaturbauteil 5 unmit- telbar durch einen Elektronenstrahl beschossen und aufgrund dieses Beschüsses auf eine Bauteiltemperatur aufgeheizt. Die weitere bauliche Ausgestaltung der Beheizungseinrichtung 20 gemäß Figur 2 ist analog der Ausfuhrung gemäß Figur 1.
Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß in einer Beheizungseinrichtung, die insbesondere im Rahmen eines Beschichtungsprozesses eines Hochtemperaturbauteiles verwendet wird, Einbauteile vorgesehen sind, die allenfalls geringfügig zu einem Ausgasen von chemischen Elementen neigen, welche die metallurgischen Eigenschaften des Hochtemperaturbauteils, darauf aufgebrachter Metallschichten und/oder Keramikschich- ten negativ beeinflussen könnten. Insbesondere sind die Einbauteile frei von ausgasbarem Kohlenstoff. Sie weisen insbesondere kein Graphit auf. Zur Vermeidung des Ausgasens von Kohlenstoff oder anderen die metallurgischen Eigenschaften des Hochtemperaturbauteils veränderten Elementen können die Einbauteile auch mit einer entsprechenden Beschichtung oder Sperrschicht versehen sein.

Claims

Patentansprüche
1. Beheizungseinrichtung (20) zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht (13) beschichteten Hochtemperaturbauteils (5) auf eine Bauteiltemperatur mit einer Heizkammer (1), der Einbauteile (2a, 11, 12) vorgesehen sind, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Em- bauteile (2a, 11, 12) bei einer in der Heizkammer (1) zur Er- zielung der Bauteiltemperatur erforderlichen Kammertemperatur eine geringe Neigung zum Ausgasen von die Metallschicht (13) beeinträchtigenden Elementen aufweisen.
2. Beheizungseinrichtung (20) nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Em- bauteile (2a, 11, 12) eine Innenauskleidung (12) der Heizkammer (1), eine Halterung (11) für das Hochtemperaturbauteil (5) und/oder ein Heizelement (2a) umfassen.
3. Beheizungseinrichtung (20) nach einem der vorgehenden An- spruche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Embauteile (2a, 11, 12) frei von zum Ausgasen neigendem Kohlenstoff sind.
4. Beheizungseinrichtung (20) nach Anspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Embauteile (2a, 11, 12) frei von Graphit sind.
5. Beheizungseinrichtung (20) nach einem der vorgehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Einbauteile (2a, 11, 12) aus einer Nickelbasis-, Eisen- basis- oder Kobaltbasislegierung bestehen.
6. Beheizungseinrichtung (20) nach einem der vorgehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß in der Heizkammer (1) ein Bauteil mit einer Metallschicht (13) der Art MCrAlX angeordnet ist, wobei M für eines oder mehrere der Elemente umfassend Eisen, Kobalt oder Nickel, Cr für Chrom, AI für Aluminium und X für eines oder mehrere Elemente aus der Gruppe umfassend Rhenium, Yttrium sowie die Elemente der Seltenen Erden steht.
7. Beheizungseinrichtung (20) nach einem der vorgehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß zur Erwärmung des Hochtemperaturbauteils (5) eine Elektronenstrahlkanone (2b) vorgesehen ist.
8. Verfahren zur Erwärmung eines mit einer Metallschicht (13) beschichteten Hochtemperaturbauteils (5) , insbesondere eines Gasturbinenbauteils, auf eine Bauteiltemperatur, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Hochtemperaturbauteil (5) in einer Heizkammer (1) mit Einbautei- len (2a, 11, 12), welche bei einer in der Heizkammer (1) zur
Erzielung der Bauteiltemperatur erforderlichen Kammertemperatur eine geringe Neigung zum Ausgasen von die Metallschicht (13) beeinträchtigenden Elementen aufweist, auf die Bauteiltemperatur geheizt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem das Hochtemperaturbauteil (5) auf eine Bauteiltemperatur oberhalb 800° C aufgeheizt wird.
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