WO2000004412A1 - Dispositif d'affichage a tres faible consommation - Google Patents

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WO2000004412A1
WO2000004412A1 PCT/FR1999/001713 FR9901713W WO0004412A1 WO 2000004412 A1 WO2000004412 A1 WO 2000004412A1 FR 9901713 W FR9901713 W FR 9901713W WO 0004412 A1 WO0004412 A1 WO 0004412A1
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liquid
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Inventor
Jean-Frédéric Clerc
Original Assignee
Commissariat A L'energie Atomique
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/004—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on a displacement or a deformation of a fluid

Definitions

  • the invention relates to a display device using a liquid capable of absorbing light, this liquid being introduced between two walls.
  • a display device can be applied to many fields; it can in particular be matrix.
  • liquid crystal liquid crystal
  • reflective type devices “Guest Host”, that is to say dichroic dye.
  • a modulation of the attenuation or absorption coefficient ⁇ is carried out, as a function of an applied electric field. For example, when the field is applied, the absorption coefficient O ON has a value lower than the absorption coefficient OC OFF in the absence of a field.
  • the thickness of the liquid crystal layer is constant.
  • the subject of the invention is a display device comprising transparent or reflecting walls, at least one of which is a film or a layer or a thin layer, and an absorbent or very absorbent liquid comprised between the walls.
  • the walls delimit a volume or an area in which; -: OR where the layer of liquid is contained or trapped.
  • Means are further provided for varying the thickness of the layer of liquid between the two walls or for varying the distance between the two walls or for varying the shape of the volume or of the area in which the liquid is contained or imprisoned.
  • This liquid can be an organic dye or a pigment, for example particles in solution in a liquid such as particles of anthraquinone and / or azoic in an aqueous solution.
  • the variation in distance or thickness or volume causes a variation in absorption through the layer, therefore of transmission or reflection, but the absorption coefficient of the liquid remains constant.
  • the device comprises at least one central zone, called the display zone, and at least one lateral zone, called the liquid reserve zone.
  • it may further comprise, for each lateral zone, means for deforming a part of one of the two walls consisting of a flexible film or of a thin deformable layer, so as to increase the volume available for the liquid. between the deformed wall and the other wall.
  • the optical absorption is proportional to the product of the thickness by the absorption coefficient. If the thickness changes the optical absorption changes, whatever the angle of observation.
  • the thickness variation between the walls can be obtained by applying an electromechanical force on at least one of them.
  • the means for actuating the walls may for example be electromagnetic or electrostatic.
  • it may be stored, when the distance or the thickness or the volume between the walls is reduced, in one or more lateral reserve zones.
  • display area For questions of dynamics, we prefer miniature storage areas and close to a display area called display area.
  • a micro-suction system allows the creation of such storage micro-zones. Such a system has a particularly advantageous hysteresis effect for the intended application, and which makes it possible to physically separate the "actuator" part from the "fluid” part.
  • the micro-suction system is, for elsewhere, associated with control means, for example electrodes.
  • FIG. 1A and 1B illustrate the operating principle of a display device according to the invention
  • FIG. 2A and 2B represent an embodiment of the invention
  • FIG. 3 represents the distance between the electrodes of the control means of a device according to the invention, as a function of the voltage applied between these electrodes,
  • FIG. 4A to 4F show stages in the production of a device according to the invention.
  • a display according to the invention implements a variation in volume or thickness of a layer, or of a pocket, containing an absorbent or very absorbent liquid 6 (FIG. 1A).
  • a variation in thickness causes a variation in absorption through the layer
  • the liquid layer 6 is between walls 2, 4, which are transparent or reflective depending on the operating mode chosen. In transmissive mode, the two walls are transparent, in reflective mode, at least one of the walls is transparent and the other is reflective (that is to say associated either directly or indirectly with a reflective layer). At least one of these layers, or walls, can undergo translation relative to the other wall. It is for example a flexible film or a thin layer.
  • the walls 2, " 4 are made of a transparent material. They feel represented in the rest state: the thickness E which separates them is quite large, and there is therefore a strong attenuation of a radius 8 which passes through the wall 2 and the liquid layer 6.
  • the thickness e of the liquid layer is reduced to a lower value and the beam 8 can pass through the display device while being less attenuated.
  • I denotes the intensity of the beam with respect to its initial intensity I 0 .
  • the activation means can be electromagnetic: or electrostatic.
  • micro-suction cups which allows the creation of storage microzones around the display area of the display device, each display area corresponding to an image point.
  • FIGS. 2A and 2B Such a device is shown in FIGS. 2A and 2B (respectively: "OFF” state and "ON” state).
  • This device comprises first and second transparent walls 2, 4. In other applications one or the other of these walls may be reflective.
  • the wall 2 is made of glass or plastic and the wall 4 is made of plastic or consists of a mineral layer (for example: silicon nitride).
  • This device also comprises a first and a second electrode 10, 16 located against the wall 4. It also comprises a third and a fourth electrode 12, 14 located respectively with regard to each of the electrodes 10, 16. These electrodes can for example be made of metal, for example aluminum.
  • the electrodes 10, 16 are each located in a compartment 18, 19, which can optionally be maintained at reduced pressure (that is to say less than atmospheric pressure or at 1 bar, for example of the order of a few millibars or 1 millibar).
  • the spaces 18, 19 are separated by a transparent spacer film 20 which can have the same composition as the film or the layer 4. In fact, the spaces 18, 19 can be produced in this film 20.
  • a seal 24 delimits each image point.
  • Such a seal consists for example of a photosensitive organic resin, such as those used for masking in microelectronics.
  • the entire device rests on a substrate 22 (plastic or glass), which may possibly be a mirror in a reflective operating mode of the device.
  • the electrodes 12, 14 being interposed between the film 20 and the substrate 22.
  • the display area 30 of the display device which constitutes the image point (FIG. 2B)
  • the display area 30 of the display device has its thickness reduced to a low value, depending on the operating principle of the device explained above in connection with FIGS. 1A and 1B.
  • FIG. 3 represents the evolution of the distance d between the electrodes 10, 12 (and 14, 16) as a function of the application of a voltage between these same electrodes.
  • the voltage scale can be divided into three zones A, B, C.
  • the device is in "OFF" mode when the electrodes 10 and 12 (respectively 14 and 16) are subjected to a voltage in region A.
  • the device is in operating mode ("ON") when the electrodes are subjected to a voltage contained in region C.
  • the device is in the "OFF” or “ON” position in storage mode when the electrodes are subjected to a voltage included in region B. In other words, the device has no change in state.
  • the structure of the invention has a bistable operation.
  • the film, or the wall, 2 can have a thickness of between a few ⁇ m and 100 ⁇ m, while the film, or the wall 4, has a thickness of between 1 ⁇ m and a few hundred nm.
  • the dye its thickness varies from approximately 1 ⁇ m ("OFF") to approximately 100 nm ("ON" state).
  • the electrodes 10, 12, 14, 16 can have a typical thickness of the order of 100 n.
  • Spaces 18, 19 have a thickness of between a few ⁇ m and a few tens of ⁇ m.
  • the zone 20 has a thickness equal to that of the spaces 18, 19 increased by the sum of the thicknesses of the electrodes 10, 12 (or 14, 16).
  • the substrate 22 can have a thickness of the order of 1 mm.
  • the seal 24 can typically have a width of 10 ⁇ m and a height equal to the thickness of the liquid 6 in the "OFF" state of the device.
  • the applied voltages are between a few volts and a few hundred volts, for example 300 volts, depending on the stiffness and the size of the walls 2, 4.
  • the surface occupied by the "microwells" is preferably as small as possible relative to the surface of the image point, since the transmission is limited by the surface of these microvents (the lateral zone is approximately 1/5 to 1/3 lower than the display zone)
  • FIGS. 4A to 4F represent a method of manufacturing a device according to the invention.
  • a first step the walls 50, 52 of silica are deposited and etched. In the middle of the etched area is deposited, and etched, a titanium layer 54. Optionally, an insulating layer 56 can be deposited over the titanium layer, to avoid short circuits.
  • a second step (FIG. 4B) a sacrificial layer 58 of tungsten is deposited, over the electrode 54. This layer is then etched (FIG. 4C) so as to then be able to produce a second titanium electrode 62, partially or completely integrated (FIG. 4D).
  • a nitride membrane 64 is then deposited, with a thickness of around 500 n.
  • the electrodes 54, 62 have a thickness of approximately 100 nm by providing (for example, by etching) one or more access zones to the layer 58 (these zones are preferably outside the lateral zones).
  • the final thickness E of the chamber 56 thus formed is approximately a few ⁇ m, and the diameter ⁇ of the chamber is between a few tens and a few hundred ⁇ m.
  • a matrix structure of the display areas separated by lateral areas can be produced in the same way according to the invention.

Abstract

L'invention concerne un dispositif d'affichage comportant: deux parois (2,4) transparentes ou réflectrices, l'une au moins des parois étant constituée à d'un film à un flexible ou d'une couche mince déformable, un liquide (6) absorbant la lumière compris entre ces deux parois, des moyens pour faire varier la distance entre les deux parois.

Description

DISPOSITIF D'AFFICHAGE A TRES FAIBLE CONSOMMATION
Domaine technique et art antérieur
L'invention concerne un dispositif d'affichage mettant en oeuvre un liquide apte à absorber de la lumière, ce liquide étant introduit entre deux parois. Un tel dispositif d'affichage peut s'appliquer à de nombreux domaines ; il peut en particulier être matriciel .
On connaît des dispositifs d'affichage mettant en oeuvre des cristaux liquides (L.C.D., ' "Liquid Crystal Display" ) , notamment des dispositifs réflectïfs de type "Guest Host", c'est-à-dire à colorant dichroïque. Dans ce type de dispositif on réalise une modulation du coefficient d'atténuation ou d'absorption α, en fonction d'un champ électrique appliqué. Par exemple, lorsque le champ est appliqué, le coefficient d'absorption OON a une valeur inférieure au coefficient d'absorption OCOFF en l'absence de champ. L'épaisseur de la couche de cristal liquide est constante.
L'utilisation de cette propriété dans les cristaux liquides "Guest Host" ne peut être réalisée de façon uniforme dans toutes les directions. Il en résulte une réduction du contraste visuel lorsqu'on regarde l'afficheur avec certains angles d'incidence.
On notera également que ces dispositifs ne présentent pas simultanément un fort contraste avec une forte transmission. Cela est dû au fait que le colorant utilisé doit être orienté par le cristal liquide, et que l'absorption est anisotrope (α//>α±) . L'efficacité du colorant est de ce fait réduite d'environ moitié. Exposé de l'invention
Il se pose donc le problème de réaliser un nouveau type de dispositif d'affichage. En particulier, il se pose aussi le problème de réaliser un dispositif d'affichage permettant d'utiliser des colorants isotropes .
L'invention a pour objet un dispositif d'affichage comportant des parois transparentes, ou réflectrices , dont une au moins est un film ou une couche ou une couche mince, et un liquide absorbant ou très absorbant compris entre les parois. Les parois délimitent un volume ou une zone dans lequel ;-:OU laquelle la couche de liquide est contenue ou emprisonnée. Des moyens sont en outre prévus pour faire varier l'épaisseur de la couche de liquide entre les deux parois ou pour faire varier la distance entre les deux parois ou pour faire varier la forme du volume ou de la zone dans lequel ou laquelle le liquide est contenu ou emprisonné.
Le caractère absorbant ou très absorbant du liquide est relatif à une certaine gamme spectrale. Ce liquide peut être un colorant organique ou un pigment, par exemple des particules en solution dans un liquide telles que des particules d' anthraquinone et/ou d'azoïques dans une solution aqueuse.
La variation de distance ou d'épaisseur ou de volume provoque une variation de 1 ' absorption à travers la couche, donc de transmission ou de réflexion, mais le coefficient d'absorption du liquide reste constant.
Le dispositif comporte au moins une zone centrale, dite zone d'affichage, et au moins une zone latérale, dite zone de réserve du liquide. De plus, il peut comporter en outre pour chaque zone latérale, des moyens pour déformer une partie de l'une des deux parois constituée d'un film flexible ou d'une couche mince deformable, de manière à accroître le volume disponible pour le liquide entre la paroi déformée et 1 ' autre paroi .
Ainsi, selon l'invention, le liquide est-il contenu dans un volume constant deformable compris entre deux parois dont l'une au moins est deformable. L'absorption optique est proportionnelle au produit de l'épaisseur par le coefficient d'absorption. Si l'épaisseur change l'absorption optique change, quel que soit l'angle d'observation.
La variation d'épaisseur entre les parois peut être obtenue par application d'une force électromécanique sur l'une d'entre elles au moins.
Les moyens d ' actionnement des parois peuvent être par exemple électromagnétiques ou électrostatiques . Pour des raisons de conservation du volume de liquide, on pourra stocker celui-ci, lors de la diminution de la distance ou de 1 ' épaisseur ou du volume entre les parois, dans une ou plusieurs zones de réserve latérales. Pour des questions de dynamique, on préfère des zones de stockage miniaturisées et rapprochées d'une zone d'affichage dite zone d' ffichage.
Un système de microventouses permet la création de telles microzones de stockage. Un tel système présente un effet d'hystérèse particulièrement intéressant pour l'application envisagée, et qui permet de séparer physiquement la partie "actionneur" de la partie "fluide". Le système de microventouses est, par ailleurs, associé à des moyens de commande, par exemple des électrodes.
Brève description des figures
De toute façon, les caractéristiques et avantages de 1 ' invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels :
- Les figures 1A et 1B illustrent le principe de fonctionnement d'un dispositif d'affichage seïon 1 ' invention, - les figures 2A et 2B représentent un mode de réalisation de l'invention,
- la figure 3 représente la distance entre les électrodes des moyens de commande d'un dispositif selon l'invention, en fonction de la tension appliquée entre ces électrodes,
- les figures 4A à 4F représentent des étapes de réalisation d'un dispositif selon l'invention.
Description détaillée de modes de réalisation de 1 ' invention
Un afficheur selon l'invention met en oeuvre une variation de volume ou d'épaisseur d'une couche, ou d'une poche, contenant un liquide 6 absorbant ou très absorbant (figure 1A) . Une variation d'épaisseur provoque une variation d'absorption à travers la couche
6, donc de transmission ou de réflexion. Il peut y avoir par exemple double trajet optique après renvoi par un miroir situé sous la couche 4. La couche de liquide 6 est comprise entre des parois 2, 4, qui sont transparentes ou réflectrices suivant le mode de fonctionnement choisi. En mode transmissif, les deux parois sont transparentes, en mode réflectif, au moins l'une des parois est transparente et l'autre est réflectrice (c'est-à-dire associée soit directement, soit indirectement à une couche réflectrice) . Au moins l'une de ces couches, ou parois, peut subir une translation par rapport à l'autre paroi. C'est par exemple un film flexible ou une couche mince.
Sur la figure 1A, les parois 2, "4 sont constituées d'un matériau transparent. Elles sent représentées à l'état de repos : l'épaisseur E qui les sépare est assez importante, et il y a donc une forte atténuation d'un rayon 8 qui traverse la paroi 2 et la couche de liquide 6.
A l'état activé ("ON") l'épaisseur e de la couche de liquide est ramenée à une valeur plus faible et le faisceau 8 peut traverser le dispositif d'affichage en étant moins atténué.
La loi qui régit l'absorption de la lumière est exponentielle. Si on désigne par α le coefficient d'atténuation, ou d'absorption, du matériau 6 et par x la distance à traverser par un faisceau lumineux, on a :
Figure imgf000007_0001
ou :
Figure imgf000007_0002
où I désigne l'intensité du faisceau par rapport à son intensité initiale I0. On voit que si 1 μm de colorant dense ne laisse passer que 10% de la lumière, 0,1 μm du même colorant laisseront passer environ 81% de la lumière :
si
Figure imgf000008_0001
Donc : τ0± _— e-0,2302 _— QO1I9Ό.
10
La variation de l'épaisseur entre les parois 2,
4 peut être obtenue par application d'une force électromécanique sur l'une d'entre elles au moins..Les moyens d'activation peuvent être électromagnétique :ou électrostatiques.
On va décrire ci-dessous un principe de microventouses, qui permet la création de microzones de stockage autour de la zone d'affichage du dispositif d'affichage, chaque zone d'affichage correspondant à un point image.
Un tel dispositif est représenté sur les figures 2A et 2B (respectivement : état "OFF" et état "ON" ) .
Ce dispositif comporte une première et une deuxième parois transparentes 2, 4. Dans d'autres applications l'une ou l'autre de ces parois peut être réflectrice. Selon un mode de réalisation, la paroi 2 est en verre ou en plastique et la paroi 4 est en plastique ou est constituée d'une couche minérale (par exemple : nitrure de silicium) .
Ce dispositif comporte en outre une première et une deuxième électrodes 10, 16 localisées contre la paroi 4. Il comporte également une troisième et une quatrième électrodes 12, 14 localisées respectivement au regard de chacune des électrodes 10, 16. Ces électrodes peuvent être par exemple en métal, par exemple en aluminium.
Les électrodes 10, 16 sont situées chacune dans un compartiment 18, 19, qui peut être éventuellement maintenu à pression réduite (c'est-à-dire inférieure à la pression atmosphérique ou à 1 bar, par exemple de l'ordre de quelques millibars ou de 1 millibar). Les espaces 18, 19 sont séparés par un film espaceur transparent 20 qui peut avoir la même composition que le film ou la couche 4. En fait, les espaces 18, 19 peuvent être réalisés dans ce film 20.
Un joint d'étanchéité 24 délimite chaque poϋnt image. Un tel joint est constitué par exemple d'une résine organique photosensible, telle que celles utilisées pour le masquage en microélectronique.
Enfin, l'ensemble du dispositif repose sur un substrat 22 (en plastique ou en verre) , qui peut être éventuellement un miroir dans un mode de fonctionnement réflectif du dispositif. Les électrodes 12, 14 étant intercalées entre le film 20 et le substrat 22.
Lors de l'application d'une tension aux électrodes 10, 12 et 14, 16 la zone d'affichage 30 du dispositif d'affichage, qui constitue le point image (figure 2B) voit son épaisseur ramenée à une valeur faible, selon le principe de fonctionnement du dispositif expliqué ci-dessus en liaison avec les figures 1A et 1B .
La figure 3 représente l'évolution de la distance d entre les électrodes 10, 12 (et 14, 16) en fonction de l'application d'une tension entre ces mêmes électrodes. L'échelle des tensions peut être divisée en trois zones A, B, C. Le dispositif est en mode "OFF" lorsque les électrodes 10 et 12 (respectivement 14 et 16) sont soumises à une tension dans la région A. Le dispositif est en mode de fonctionnement ("ON") lorsque les électrodes sont soumises à une tension contenue dans la région C. Le dispositif est en position "OFF" ou "ON" en mode mémorisation lorsque les électrodes sont soumises à une tension comprise dans la région B. Autrement dit, le dispositif n'a pas de modification d'état. Ainsi, la structure de l'invention présente un fonctionnement bistable.
Dans le mode représenté sur la figure 2B, on voit que l'application d'une tension aux électrodes '10 , 12, 14, 16 conduit à la déformation de la paroi 4 dans les zones sur lesquelles sont fixées les électrodes. Il en résulte la formation de zones 38, 40 de stockage du fluide 6. Ce dernier est donc attiré dans les parties latérales du dispositif d'affichage, d'où une diminution de l'épaisseur de la zone d'affichage 30. La zone désignée sur la figure 2B par la référence 32 devient donc une zone d'absorption faible, délimitée par deux zones 34, 36 de concentration du fluide.
Ainsi, il est réalisé un système de déformation de la paroi 4, de type "ventouse".
Selon un mode de réalisation particulier, le film, ou la paroi, 2 peut avoir une épaisseur comprise entre quelques μm et 100 μm, tandis que le film, ou la paroi 4, a une épaisseur comprise entre 1 μm et quelques centaines de nm. Le colorant, quant à lui, voit son épaisseur varier de environ 1 μm ("OFF") à environ 100 nm (état "ON").
Les électrodes 10, 12, 14, 16 peuvent avoir une épaisseur typique de l'ordre de 100 n . Les espaces 18, 19 ont une épaisseur comprise entre quelques μm et quelques dizaines de μm.
La zone 20 a une épaisseur égale à celle des espaces 18, 19 augmentée de la somme des épaisseurs des électrodes 10, 12 (ou 14, 16).
Le substrat 22 peut avoir une épaisseur de l'ordre de 1 mm. Quant au joint 24, il peut avoir, typiquement, une largeur de 10 μm et une hauteur égale à l'épaisseur du liquide 6 dans l'état "OFF" du dispositif.
Les tensions appliquées sont comprises entre quelques volts et quelques centaines de volts, par exemple 300 volts, selon la rigidité et la dimension des parois 2, 4. La surface occupée par les "microventouses" est de préférence la plus faible possible par rapport à la surface du point image, car la transmission est limitée par la surface de ces microventouses (la zone latérale est inférieure d'environ 1/5 à 1/3 par rapport à la zone d'affichage)
Les figures 4A à 4F représentent un mode de fabrication d'un dispositif selon l'invention.
Dans une première étape (figure 4A) on procède au dépôt et à la gravure de murs 50, 52 en silice. Au milieu de la zone gravée est déposée, et gravée, une couche de titane 54. Eventuellement, une couche isolante 56 peut être déposée par dessus la couche en titane, pour permettre d'éviter des courts-circuits. Dans une deuxième étape (figure 4B) on dépose une couche sacrificielle 58 en tungstène, par dessus l'électrode 54. Cette couche est ensuite gravée (figure 4C) de manière à pouvoir, ensuite, réaliser une seconde électrode 62 en titane, partiellement ou complètement intégrée (figure 4D) . On dépose ensuite une membrane 64 en nitrure, d'épaisseur environ 500 n . Les électrodes 54, 62 ont une épaisseur d'environ 100 nm en ménageant (par exemple, par gravure) une ou plusieurs zones d'accès à la couche 58 (ces zones sont de préférence en dehors des zones latérales) .
On procède ensuite au retrait du tungstène par gravure chimique en phase liquide puis rebouchage des zones d'accès par un dépôt sous vide, par exemple 'de silice . L'épaisseur finale E de la chambre 56 ainsi formée est d'environ quelques μm, et le diamètre φ de la chambre est compris entre quelques dizaines et quelques centaines de μm.
On procède ainsi à la réalisation d'une "microventouse" dont le mode de fonctionnement a été donné ci-dessus en liaison avec la figures 2B.
Une structure matricielle des zones d'affichage séparées par des zones latérales peut être réalisée de la même manière selon l'invention.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif d'affichage comportant :
- deux parois (2, 4) transparentes ou réflectrices, l'une au moins des parois étant constituée d'un film flexible ou d'une couche mince deformable,
- un liquide (6) absorbant la lumière contenu dans un volume constant deformable compris entre ces deux parois ,
- des moyens (10, 12, 14, 16, 18, 19) pour faire varier la distance entre les deux parois.
2. Dispositif selon la revendication 1, le liquide comportant un colorant organique ou un pigment en solution.
3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2 , les moyens pour faire varier la distance entre les deux parois étant électromagnétiques.
4. Dispositif selon la revendication 1 ou 2 , les moyens pour faire varier la distance entre les deux parois étant électrostatiques.
5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes comportant au moins une zone centrale (30), dite zone d'affichage, et au moins une zone latérale (34, 36), dite zone de réserve du liquide.
6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre pour chaque zone latérale des moyens (10, 12, 14, 16, 18, 19) pour déformer une partie de l'une des deux parois constituée d'un film flexible ou d'une couche mince deformable, de manière à accroître le volume disponible pour le liquide entre la paroi déformée (4) et l'autre paroi (2) .
7. Dispositif selon la revendication 6, les moyens pour déformer une partie de l'une des deux parois comportant au moins un ensemble constitué d'une première et d'une deuxième électrodes (10, 12, 14, 16), séparées par une distance d variable.
8. Dispositif selon la revendication 7, la première électrode (10, 16) étant liée mécaniquement à la paroi constituée d'un film flexible ou d'une couche mince deformable et étant située dans une chambre (18, 19) à l'intérieur de laquelle elle peut se déplacer.
9. Dispositif selon la revendication 8, la deuxième électrode (12, 14) étant située en regard de la première électrode, mais sous la chambre (18, 19) à l'intérieur de laquelle la première électrode (10, 16) peut se déplacer.
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