WO2000002264A1 - Mikrosystem und verfahren zur herstellung - Google Patents

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WO2000002264A1
WO2000002264A1 PCT/DE1999/001872 DE9901872W WO0002264A1 WO 2000002264 A1 WO2000002264 A1 WO 2000002264A1 DE 9901872 W DE9901872 W DE 9901872W WO 0002264 A1 WO0002264 A1 WO 0002264A1
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Inventor
Kord Pannkoke
Matthias CLÜVER
Thomas Gesang
Original Assignee
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302—Sensors

Definitions

  • the invention relates to a microsystem with components that act on sensors and / or actuators and / or optically, and a method for producing the same.
  • a particular field of application of the invention is the increasing use of sensors and actuators in many areas. Some applications require reduced sensors, actuators or optical systems
  • volume miniaturized systems
  • / or reduced rigidity and / or non-closed structures Particularly in the area of use of composite materials, there is an increasing need for micro systems that can be integrated into the material.
  • a reduced stiffness of the sensors, actuators or optical systems is required especially for the implementation in fiber composite structures, since otherwise the specific, structure-related properties of the composite materials are adversely affected. Such an adverse influence can be caused, for example, by changes in stiffness and / or the introduction of additional interfaces in the structure.
  • the object of the present invention is to provide a sensor system that is sensorially and / or actuatively and / or optically effective and that has a low rigidity and is suitable for structurally conformal integration into composite materials. Furthermore, the object is to provide a method for producing the microsystem.
  • microsystem according to claim 1 and the method according to claims 14 and 15, respectively.
  • Advantageous embodiments of the microsystem and the manufacturing process are the subject of the subclaims.
  • microsystem according to the invention contains as
  • Main elements with sensor and / or actuator and / or optically active constituents which are in the form of small-volume components, for example as fibers or powder or granules.
  • Small volume is to be understood here in particular to mean that these components have dimensions of less than 200 ⁇ m at least in one dimension.
  • the invention is not limited to rod-shaped or fibrous components, but can be realized with components of any geometry.
  • the components are carried solely by their function-mediating elements, for example control elements, without using a substrate.
  • the function-mediating elements are necessary for the sensory, actuator and / or optical function of the components.
  • the volume and rigidity of the system can be considerably reduced by dispensing with a substrate and by using the function-imparting elements in a double function, that is to say to generate the mechanical stability of the system and, for example, to electrically control the components.
  • the components are preferably thin, for example electrostrictive fibers, which have a diameter of less than 100 ⁇ m. The best results are achieved with fibers ⁇ 30 ⁇ m in diameter.
  • the function-imparting elements which are electrodes in the case of electrostrictive fibers, are preferably arranged in interdigital geometry, the electrodes extending perpendicular to the longitudinal axis of the fibers.
  • the length of the fibers is usually between 5 mm and 15 cm.
  • the sensor and / or actuator and / or optically active materials can, for example, have special optical, optogalvanic, photoelectric, electro-mechanical, magnetomechanical, magnetoelectric, acoustoelectric, pyroelectric or thermoelectric properties or combinations of these properties.
  • These can be glasses, ceramics, semiconductors or polymers, for example.
  • components consisting of these material classes can be modified, for example, by (homogeneous or inhomogeneous, complete or partial) doping, coatings, etc.
  • the substrate-less microsystems according to the invention advantageously have a reduced material volume and a minimized rigidity. As a result, they can be installed in or on components or composite materials without significantly influencing their (optimized) mechanical properties. A structurally conformal integration of the microsystem according to the invention into a component or a composite material is thus possible.
  • microsystems are used in particular as sensors and / or actuators in adaptronic composite systems such as adaptive aircraft wings, impact sensors, for example for space shuttle vehicles, adaptive optics (mirror geometry, lens position), for example in semiconductor lithographs, and active vibration control in precision machines such as e.g. Pick and place machines, or for vibration damping, for example in magnetic resonance topographs.
  • adaptronic composite systems such as adaptive aircraft wings, impact sensors, for example for space shuttle vehicles, adaptive optics (mirror geometry, lens position), for example in semiconductor lithographs, and active vibration control in precision machines such as e.g. Pick and place machines, or for vibration damping, for example in magnetic resonance topographs.
  • microsystem is characterized in that, in addition to the small-volume components that are effective in terms of sensors and / or actuators and / or optics, it only contains function-imparting elements, for example control electrodes, and therefore does not have a carrier substrate. In this way, a structurally compliant integration of the microsystem into the composite system is achieved.
  • the further configurations of the microsystem in the composite system correspond to those of claims 2 to 11, but the function-imparting elements do not have to perform a (mechanically) supporting function.
  • FIG. 1 shows an example of a subframe with an applied interdigital electrode structure for producing an embodiment of the microsystem according to the invention
  • FIG. 2 shows the example from FIG. 1 with electrostrictive fibers placed on it
  • FIG. 3 shows an embodiment of the microsystem according to the invention created by separating the subframe from FIG. 1.
  • the exemplary embodiment relates to an embodiment of the microsystem according to the invention, in which the actuator or sensor components are electrostrictive fibers with diameters around 30 ⁇ m, which are electrically contacted.
  • a subframe with an edge length in the mm to cm range e.g. made of a polyimide film (e.g. 50 ⁇ m thick).
  • subframe does not necessarily have to have a closed or flat shape, as in the example shown game. More complicated three-dimensional arrangements can also be suitable for holding the wires or functional elements during manufacture.
  • interdigital electrodes e.g interdigital electrodes
  • the interdigital structure is characterized by two mirror-like, slightly offset interdigitated, comb-like electrodes. On the two
  • Electrode structure An electrical lead is attached to each electrode structure.
  • the contact between the electrode structures and the leads can be made, for example, by means of an electrically conductive adhesive.
  • Figure 1 shows this arrangement schematically.
  • the conductive wires (1) are attached to the subframe (2) in an interdigital arrangement in such a way that they extend into the free area (3) within the frame, so as to cover the free area like a network.
  • the wires are connected to electrical leads (4).
  • FIG. 2 shows the subframe from FIG. 1 with the additionally applied electrostrictive fibers (5). Since the contact of the fibers on the wires alone does not guarantee sufficient contacting, an electrical and mechanical connection is subsequently made between the wires and the fibers, for example by means of an elastic, electrically conductive adhesive. Low-viscosity adhesives can flow around the majority of the surfaces in a thin layer and thus create the desired electrical connections. Highly viscous adhesives can be applied using microdisks at the crossing points of fibers and wires.
  • the subframe is then separated. This is particularly easy if the wiring has been attached to the subframe using a detachable adhesive connection. After the subframe has been removed, only the contacted electrostrictive fibers that are carried by the electrodes remain, as shown in FIG. This microsystem can be used as a semi-finished product.
  • Fibers can be attached in analog process steps. It is also possible to produce multilayers consisting of several layers of interdigital electrode structures provided with fibers on one or both sides.
  • Another method variant is to first attach the fibers to the subframe in an adhesive manner, rather than the wires.
  • the wire structure is then applied to the fibers.
  • the further process steps take place in an analogous manner to the above exemplary embodiment.
  • the exemplary embodiment shown represents a microsystem that can be used by the later user as a semi-finished product for integration into composite materials.
  • the microsystem according to the invention is a non-substrate fabric with low stiffness, which preferably consists of the finest - possibly functionally (eg electrically or optically) contacted fibers or components with other small-volume geometries.
  • This microsystem can be integrated into this component directly during the production of a component, for example a composite material or fiber composite.
  • the step of detaching the wiring from the auxiliary frame can only take place when it is applied to a layer or layer of the composite structure, so that the frame simultaneously serves as a transport medium for the microsystem.
  • a polymer can be applied to the fabric created.
  • a polymer coating is required in particular when the microsystem is to be integrated into an electrically conductive carbon fiber-reinforced material for the electrical insulation of the microsystem from the surrounding component, since otherwise short circuits could occur in the microsystem.
  • the fibers can be placed directly on a layer of the composite system during manufacture of the composite system.
  • the electrode structure can be applied before and / or after the fibers have been deposited, for example in the form of an electrically conductive adhesive.
  • the adhesive can be cured in the same process step as the curing of the composite system.
  • a supporting function of the electrodes is not necessary with this system. This also creates a microsystem that is present within the composite system without a substrate.

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben. Das erfindungsgemäße Mikrosystem enthält als Hauptelemente sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksame Bestandteile, die in Form von kleinvolumigen Komponenten, beispielsweise als Fasern oder Pulver, vorliegen. Unter kleinvolumig ist hierbei insbesondere zu verstehen, daß diese Komponenten zumindest in einer Dimension Abmessungen von weniger als 200 νm aufweisen. Die Komponenten werden erfindungsgemäß ohne ein Substrat allein von ihren funktionsvermittelnden Elementen getragen. Die funktionsvermittelnden Elemente sind für die sensorische und/oder aktorische und/oder optische Funktion der Komponenten notwendig. Durch Verzicht auf ein Substrat und die Verwendung der funktionsvermittelnden Elemente in einer Doppelfunktion, d.h. zur Erzeugung der mechanischen Stabilität des Systems und zur beispielsweise elektrische Ansteuerung der Komponenten, können das Volumen und die Steifigkeit des Systems erheblich reduziert werden.

Description

Mikrosystem und Verfahren zur Herstellung
Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem mit sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksamen Bestandteilen sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben.
Ein besonderes Anwendungsgebiet der Erfindung ist der in vielen Bereichen zunehmende Einsatz von Sensoren und Aktoren. Einige Anwendungen erfordern hierbei Sensoren, Aktoren oder optische Systeme reduzierten
Volumens (miniaturisierte Systeme) und/oder reduzierter Steifigkeit und/oder nichtgeschlossener Strukturen. Insbesondere im Einsatzbereich von Verbundwerkstoffen besteht ein zunehmender Bedarf an MikroSystemen, die in den Werkstoff integriert werden können. Gerade für die Implementierung in Faserverbundstrukturen ist eine reduzierte Steifigkeit der Sensoren, Aktoren oder optischen Systeme erforderlich, da sonst die spezifischen, strukturbedingten Eigenschaften der Verbundwerk- Stoffe nachteilig beeinflußt werden. Ein solcher nachteiliger Einfluß kann beispielsweise durch Steifig- keitssprünge und/oder die Einführung zusätzlicher Grenzflächen in der Struktur verursacht werden.
Klassische Sensoren, Aktoren oder optische
Systeme, die beispielsweise auf dem Einsatz piezoelektrischer Körper oder dotierter Gläser basieren, lassen sich zwar teilweise miniaturisieren, behalten aber in jedem Fall eine erhebliche Steifigkeit. Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksames Mikrosystem anzugeben, das eine geringe Steifigkeit aufweist und für die strukturkon- forme Integration in Verbundwerkstoffe geeignet ist. Weiterhin besteht die Aufgabe darin, ein Verfahren zur Herstellung des Mikrosystems bereitzustellen.
Die Aufgabe wird mit dem Mikrosystem nach Anspruch 1 und den Verfahren nach Anspruch 14 bzw. 15 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des Mikrosystems und des Herstellungsverfahrens sind Gegenstand der Unteransprüche.
Das erfindungsgemäße Mikrosystem enthält als
Hauptelemente sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksame Bestandteile, die in Form von klein- volumigen Komponenten, beispielsweise als Fasern oder Pulver bzw. Granulat, vorliegen. Unter kleinvolumig ist hierbei insbesondere zu verstehen, daß diese Komponenten zumindest in einer Dimension Abmessungen von weniger als 200 um aufweisen. Weiterhin soll damit ausgedrückt werden, daß sich die Erfindung nicht auf Stäbchen- oder faserförmige Komponenten beschränkt, sondern mit Komponenten beliebiger Geometrien realisiert werden kann.
Die Komponenten werden erfindungsgemäß ohne Verwendung eines Substrates allein von ihren funktionsvermittelnden Elementen, beispielsweise von Ansteuerungs- elementen, getragen. Die funktionsvermittelnden Elemente sind für die sensorische, aktorische und/oder optische Funktion der Komponenten notwendig. Durch Verzicht auf ein Substrat und die Verwendung der funktionsvermittelnden Elemente in einer Doppelfunktion, d.h. zur Erzeugung der mechanischen Stabilität des Systems und zur beispielsweise elektrischen Ansteuerung der Komponenten, können das Volumen und die Steifigkeit des Systems erheblich reduziert werden.
Vorzugsweise sind die Komponenten dünne, beispielsweise elektrostriktive Fasern, die einen Durch- messer von weniger als 100 μm aufweisen. Die besten Ergebnisse werden mit Fasern von < 30 μm Durchmesser erzielt. Im Falle paralleler Anordnung der Fasern in einer Monolage werden die funktionsvermittelnden Elemente, die bei elektrostriktiven Fasern Elektroden sind, vorzugsweise in Interdigitalgeometrie angeordnet, wobei sich die Elektroden senkrecht zur Längsachse der Fasern erstrecken. Die Länge der Fasern beträgt in der Regel zwischen 5 mm und 15 cm.
Die sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksamen Materialien können beispielsweise besondere optische, optogalvanische, photoelektrische, elektro- mechanische, magnetomechanische, magnetoelektrische, akustoelektrische, pyroelektrische oder thermoelek- trische Eigenschaften oder Kombinationen dieser Eigenschaften aufweisen. Hierbei kann es sich z.B. um Gläser, Keramiken, Halbleiter oder Polymere handeln. In der technischen Ausführung können beispielsweise aus diesen Materialklassen bestehende Komponenten z.B. durch (homogene oder inhomogene, vollständige oder teilweise) Dotierungen, Beschichtungen usw. modifiziert sein. Die erfindungsgemäßen substratlosen Mikrosysteme weisen in vorteilhafter Weise ein reduziertes Materialvolumen und eine minimierte Steifigkeit auf. Dadurch können sie in oder an Bauteile oder Verbundwerkstoffe ein- bzw. angebracht werden, ohne deren (optimierte) mechanische Eigenschaften maßgeblich zu beeinflussen. Somit ist eine strukturkonforme Integration des erfindungsgemäßen Mikrosystems in ein Bauteil oder einen Verbundwerkstoff möglich.
Die Mikrosysteme finden insbesondere Verwendung als Sensor und/oder Aktor in adaptronischen Verbundsystemen wie beim adaptiven Flugzeugflügel, beim Impact-Sensor beispielsweise für Raumfähren, bei adap- tiven Optiken (Spiegelgeometrie, Linsenposition) etwa in Halbleiterlithographen, bei aktiver Schwingungskontrolle bei Präzisionsmaschinen wie z.B. Bestückungsautomaten, oder bei der Schwingungsdämpfung beispielsweise bei Magnetresonanztopographen.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verbundsystem mit einem integrierten Mikrosystem. Das Mikrosystem zeichnet sich dadurch aus, daß es neben den sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirk- samen, kleinvolumigen Komponenten nur funktionsvermittelnde Elemente wie beispielsweise Ansteuerelektroden enthält, also kein Trägersubstrat aufweist. Hierdurch wird eine strukturkonforme Integration des Mikrosystems in das Verbundsystem erreicht. Die weiteren Ausgestaltungen des Mikrosystems in dem Verbundsystem entsprechen denen der Ansprüche 2 bis 11, wobei jedoch die funktionsvermittelnden Elemente keine (mechanisch) tragende Funktion ausüben müssen. Eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mikro¬ systems sowie des Verfahrens zur Herstellung werden nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels in Ver- bindung mit den Zeichnungen näher erläutert. Hierbei zeigen
Figur 1 ein Beispiel für einen Hilfsrahmen mit einer aufgebrachten Interdigital-Elektrodenstruktur zur Herstellung einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mikrosystems;
Figur 2 das Beispiel aus Figur 1 mit aufgelegten elektrostriktiven Fasern; und
Figur 3 eine durch Abtrennung des Hilfsrahmens der Figur 1 entstandene Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mikrosystems.
Das Ausführungsbeispiel bezieht sich auf eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mikrosystems, bei der die aktorischen bzw. sensorischen Bestandteile elektrostriktive Fasern mit Durchmessern um 30 μm sind, die elektrisch kontaktiert werden.
Die nachfolgenden Schritte der Herstellung eines solchen Mikrosystems können mit bekannten Geräten, Verfahren und Materialien durchgeführt werden.
Zunächst wird ein Hilfsrahmen mit einer Kantenlänge im mm- bis cm-Bereich, z.B. bestehend aus einer Polyimid-Folie (z.B. 50 um Dicke) hergestellt. Der
Hilfsrahmen muß hierbei selbstverständlich nicht unbedingt eine geschlossene oder ebene Form, wie im Bei- spiel dargestellt, aufweisen. Auch kompliziertere dreidimensionale Anordnungen können zur Halterung der Drähte oder Funktionselemente während der Fertigung geeignet sein.
Es schließt sich die klebetechnische Anbringung feiner, elektrisch leitfähiger Drähte (z.B. aus Kupfer mit einem Durchmesser von einigen um bis zu einigen 10 μm) an dem Hilfsrahmen an, so daß die Drähte das freie Feld innerhalb des Rahmens in ähnlicher Weise wie ein Netz oder ein Gitter ausfüllen, und eine geeignete Elektrodenstruktur (z.B. Interdigital-Elektroden) entsteht. Die Interdigitalstruktur zeichnet sich durch zwei spiegelbildliche, leicht versetzt ineinander- greifende, kammartige Elektroden aus. An den beiden
Elektrodenstrukturen wird je eine elektrische Zuleitung angebracht. Die Kontaktierung zwischen den Elektrodenstrukturen und den Zuleitungen kann beispielsweise mittels elektrisch leitfähigen Klebstoffs erfolgen. Figur 1 zeigt diese Anordnung schematisch. Die leitfähigen Drähte (1) sind in interdigitaler Anordnung so am Hilfsrahmen (2) befestigt, daß sie sich in den freien Bereich (3) innerhalb des Rahmens erstrecken, um auf diese Weise den freien Bereich wie ein Netz zu überdecken. Die Drähte sind mit elektrischen Zuleitungen (4 ) verbunden.
Auf diese Drahtstruktur werden schließlich die elektrostriktiven Fasern, beispielsweise mittels geeigneter Vakuum-, elektrostatischer oder Adhäsionsgreifer, in paralleler Anordnung aufgebracht. Das Aufbringen kann selbstverständlich auch mit anderen geeigneten Handhabungstechniken oder in anderen Anordnungen - etwa als ungeordnete Kurzfaserschüttung - erfolgen. Figur 2 zeigt den Hilfsrahmen aus Figur 1 mit den zusätzlich aufgebrachten elektrostriktiven Fasern (5) . Da allein durch das Aufliegen der Fasern auf den Drähten noch keine ausreichende Kontaktierung gewähr- leistet ist, wird anschließend eine elektrische und mechanische Verbindung zwischen den Drähten und den Fasern z.B. mittels eines elastischen elektrisch leitfähigen Klebstoffs hergestellt. Niederviskose Klebstoffe können hierbei eigenständig den größten Teil der Oberflächen in dünner Schicht umfließen und so die gewünschten elektrischen Verbindungen herstellen. Höherviskose Klebstoffe lassen sich mittels Mikrodis- penstechniken gezielt an den Kreuzungspunkten von Fasern und Drähten aufbringen.
Optional kann zur Verbesserung der mechanischen und elektrischen Eigenschaften - auch im Hinblick auf eine spätere Integration des Mikrosystems in ein größeres Bauteil - eine dünne Beschichtung oder, wenn es die spätere Anwendung zuläßt, ein dickerer Verguß des Fasergeleges mit einem Polymer erfolgen.
Anschließend wird der Hilfsrahmen abgetrennt. Dies ist besonders einfach möglich, wenn die Verdrahtung über eine lösbare Klebeverbindung auf dem Hilfsrahmen befestigt wurde. Nach Abtrennung des Hilfsrahmens verbleiben nur noch die kontaktierten elektrostriktiven Fasern, die von den Elektroden getragen werden, wie in Figur 3 dargestellt ist. Dieses Mikrosystem ist als Halbzeug einsetzbar.
Alternativ können zur Steigerung der Wirksamkeit des Mikrosystems auf beiden Seiten der Interdigital- Elektrodenstruktur Fasern in analogen Verfahrensschritten angebracht werden. Ebenso sind Multilayer, bestehend aus mehreren Lagen von jeweils ein- oder beidseitig mit Fasern versehenen Interdigital-Elektro- denstrukturen, herstellbar.
Eine weitere Verfahrensvariante besteht darin, nicht die Drähte, sondern die Fasern zunächst am Hilfsrahmen haftend zu befestigen. Die Drahtstruktur wird dann auf die Fasern appliziert. Die weiteren Verfahrensschritte erfolgen in analoger Weise zu obigem Ausführungsbeispiel .
Das dargestellte Ausführungsbeispiel stellt ein Mikrosystem dar, das vom späteren Anwender als Halbzeug für die Integration in Verbundwerkstoffe einsetzbar ist.
Das erfindungsgemäße Mikrosystem ist ein substrat- loses Gelege geringer Steifigkeit, das bevorzugt aus feinsten - ggfs. funktional (z.B. elektrisch oder optisch) kontaktierten - Fasern oder Komponenten mit anderen kleinvolumigen Geometrien besteht. Dieses Mikrosystem kann direkt während der Fertigung eines Bauteils, beispielsweise eines Verbundwerkstoffes oder Faserverbundes, in dieses Bauteil integriert werden. Hierzu kann beispielsweise der Schritt des Lösens der Verdrahtung vom Hilfsrahmen erst bei Aufbringung auf eine Lage bzw. Schicht der Verbundstruktur erfolgen, so daß der Rahmen gleichzeitig als Transportmedium für das Mikrosystem dient. Optional kann ein Polymer auf das erzeugte Gelege aufgebracht werden. Eine Polymerbeschichtung ist insbesondere bei der beabsichtigten Integration des Mikrosystems in einen elektrisch leitenden Kohlenstoffaser- verstärkten Werkstoff für die elektrische Isolierung des Mikrosystems vom umgebenden Bauteil erforderlich, da ansonsten Kurzschlüsse im Mikrosystem auftreten könnten.
Für die Integration eines substratlosen Mikrosystems in das Verbundsystem können bei Fertigung des Verbundsystems die Fasern direkt auf eine Schicht des Verbundsystems abgelegt werden. Hierbei kann die Elektrodenstruktur vor und/oder nach der Ablage der Fasern, beispielsweise in Form eines elektrisch leitfähigen Klebstoffs, appliziert werden. Die Aushärtung des Klebstoffs kann dabei im gleichen Verfahrensschritt wie die Härtung des Verbundsystems erfolgen.
Eine tragende Funktion der Elektroden ist bei diesem System nicht erforderlich. Auch hierbei entsteht somit ein Mikrosystem, das innerhalb des Verbundsystems ohne Substrat vorliegt.

Claims

Patentansprüche
1. Mikrosystem mit sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksamen Bestandteilen, die in Form von kleinvolumigen Komponenten (5) vorliegen, wobei die Komponenten allein von funktionsvermittelnden Elementen (1) getragen werden, die für die sensorische und/oder aktorische und/oder optische Funktion der Komponenten (5) erforderlich sind.
2. Mikrosystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die kleinvolumigen Komponenten (5) dünne
Fasern sind, die einen Durchmesser von weniger als
100 μm aufweisen.
3. Mikrosystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fasern einen Durchmesser von < 30 um aufweisen.
4. Mikrosystem nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Fasern parallel zueinander in einer Mono- lage angeordnet sind.
5. Mikrosystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Komponenten aus piezoelektrischen, magne- tostriktiven oder elektrostriktiven Materialien bestehen.
6. Mikrosystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Komponenten aus einer Formgedächtnislegie- rung bestehen.
7. Mikrosystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Komponenten aus einem Glas oder einem Halbleitermaterial bestehen.
8. Mikrosystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Material der Komponenten modifiziert ist, insbesondere durch Dotierungen oder Beschichtungen.
9. Mikrosystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die funktionsvermittelnden Elemente (1) An- steuerungselemente für die Komponenten sind.
10. Mikrosystem nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die funktionsvermittelnden Elemente (1) Elektroden oder Zuführungsleitungen sind.
11. Mikrosystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden oder Zuführungsleitungen in Interdigitalgeometrie angeordnet sind.
12. Verbundsystem mit mehreren Materialschichten, in das ein Mikrosystem mit sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksamen, kleinvolumigen Komponenten integriert ist, wobei das Mikrosystem nur funktionsvermittelnde Elemente und kein Substrat aufweist.
13. Verbundsystem nach Anspruch 12 mit einem Mikrosystem nach einem der Ansprüche 1 bis 11.
14. Verfahren zur Herstellung eines Mikrosystems der Ansprüche 1 bis 11 mit folgenden Schritten:
Bereitstellen eines Hilfsrahmens (2) ; Anbringen feiner elektrischer Leitungen (1) an dem Hilfsrahmen, so daß diese am Rahmen haften und sich in den freien Bereich (3) innerhalb des Rahmens erstrecken;
Aufbringen von sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksamen Komponenten (5) auf die Leitungen innerhalb des Hilfsrahmens;
Erzeugen einer haftenden Verbindung zwischen den Leitungen und den Komponenten; und - Lösen der Leitungen und Komponenten von dem Hilfsrahmen oder Abtrennen des Hilfsrahmens.
15. Verfahren zur Herstellung eines Mikrosystems der Ansprüche 1 bis 11 mit folgenden Schritten:
Bereitstellen eines Hilfsrahmens (2) ; Aufbringen von sensorisch und/oder aktorisch und/oder optisch wirksamen Komponenten (5) auf den Hilfsrahmen, so daß diese am Rahmen haften und sich über den freien Bereich (3) innerhalb des Rahmens erstrecken; Aufbringen feiner elektrischer Leitungen (1) auf die Komponenten innerhalb des Hilfsrahmens, so daß sie die Leitungen über den freien Bereich verteilt sind;
Erzeugen einer haftenden und elektrisch leitenden Verbindung zwischen den Leitungen und den Komponenten; und
- Lösen der Komponenten und Leitungen von dem Hilfsrahmen oder Abtrennen des Hilfsrahmens.
16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Hilfsrahmen rechteckig ausgestaltet ist und eine Kantenlänge im Bereich von einigen mm bis mehreren cm aufweist, vorzugsweise zwischen 5 mm und 15 cm.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Hilfsrahmen aus einer Polymerfolie besteht.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Hilfsrahmen zumindest auf einer Seite mit einer haftvermittelnden Beschichtung versehen ist oder selbst aus einem haftvermittelnden Material besteht.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die feinen elektrischen Leitungen den freien Bereich innerhalb des Rahmens netz- oder gitterartig ausfüllen.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der Komponenten auf die
Leitungen bzw. den Hilfsrahmen mit Hilfe eines Vakuum-, elektrostatischen oder Adhäsionsgreifers erfolgt.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die haftende Verbindung zwischen den Leitungen und den Komponenten durch Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Klebstoffes erzeugt wird.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Komponenten zusätzlich mit einer Beschichtung überzogen werden.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Komponenten auf beiden Seiten der dünnen elektrischen Leitungen aufgebracht und/oder mehrere der entstehenden ein- bzw. beidseitigen Fasergelege als Multilayer geschichtet werden.
24. Verwendung des Mikrosystems der Ansprüche 1 bis 11 in einem Verbundwerkstoff, wobei das Mikrosystem bei der Herstellung des Verbundwerkstoffes auf eine Schicht des Verbundwerkstoffes aufgebracht und gegebenenfalls weitere Schichten auf das Mikrosystem auflaminiert werden.
PCT/DE1999/001872 1998-06-30 1999-06-24 Mikrosystem und verfahren zur herstellung WO2000002264A1 (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
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DE19829202A DE19829202B4 (de) 1998-06-30 1998-06-30 Mikrosystem, Verfahren zu seiner Herstellung und seine Verwendung

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