WO1999047952A1 - Dünnschichtspektrometer mit transmissionsgitter - Google Patents

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WO1999047952A1
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Dietmar Sander
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Dietmar Sander
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Abstract

Ein Spektrometer mit einer dünnen Lichtleiterschicht in einem in Dünnschichttechnologie hergestellten Schichtaufbau zwischen zwei Deckschichten niedrigeren Brechungsindexes, mit einer ein Gitter aufweisenden Endfläche der Lichtleiterschicht, die durch die Lichtleiterschicht hindurch mit zu analysierendem Licht bestrahlt wird, und mit einem Zeilensensor, auf den das Spektrum abgebildet wird, wobei das treppenförmige Stufengitter mit transparenten Stufenflächen und mit Stufenkanten senkrecht zur Schichtebene ausgebildet ist und an den Stufenflächen des Gitters ein zweites Medium angrenzt, dessen Brechungsindex kleiner ist als der der Lichtleiterschicht, ist dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter in Treppenrichtung kontinuierlich die Höhe und Breite seiner Stufen derart ändert, daß für zwei ausgewählte Wellenlängen jeweils die Gesamtlichtwege durch die Lichtleiterschicht und das zweite Medium bis zu einem der jeweiligen Wellenlänge zugehörigen Brennpunkt für alle benachbarten Frontflächen des Gitters eine Längendifferenz von demselben Vielfachen der jeweiligen Wellenlänge aufweisen.

Claims

11PATENTANSPRÜCHE:
1. Spektrometer mit einer dünnen Lichtleiterschicht ( 1) in einem in Dünnschichttechnologie hergestellten Schichtaufbau zwischen zwei Deckschichten (10, 9) niedrigeren Brechungsindexes, mit einer ein Gitter (3, 3') aufweisenden Endfläche der Lichtleiterschicht, die durch die Lichtleiterschicht hindurch mit zu analysierendem Licht (4, 4') bestrahlt wird, und mit einem Zeilensensor (6), auf den das Spektrum (B, D) abgebildet wird, wobei das treppenformige Stufengitter (3, 3') mit transparenten Stufenflächen (7) und mit Stufenkanten senkrecht zur Schichtebene ausgebildet ist und an den Stufenflächen des Gitters ein zweites Medium (2) angrenzt, dessen Brechungsindex kleiner ist als der der Lichtleiterschicht, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter (3, 3') in Treppenrichtung kontinuierlich die Höhe und Breite seiner Stufen derart ändert, daß für zwei ausgewählte Wellenlängen (λb, λd) jeweils die Gesamtlichtwege durch die Lichtleiterschicht (1) und das zweite Medium (2) bis zu einem der jeweiligen Wellenlänge zugehörigen Brennpunkt (B, D) für alle benachbarten Frontflächen (7) des Gitters (3) eine Längendifferenz von demselben Vielfachen der jeweiligen Wellenlänge aufweisen. 12
2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Medium (2) Luft ist.
3. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Medium aus einer an das Gitter (3) angrenzenden zweiten Lichtleiterschicht (14) gebildet ist.
4. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter (3) mit parallelem Licht (4) bestrahlt ist.
5. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter (3') mit divergentem Licht (4') bestrahlt ist.
PCT/EP1999/001744 1998-03-19 1999-03-17 Dünnschichtspektrometer mit transmissionsgitter WO1999047952A1 (de)

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