WO1999016922A1 - Method and device for introducing powdery solids into a plasma - Google Patents

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Definitions

  • FIG. 5 and Figure 6 shows a probe head as an aerosol distributor in two mutually perpendicular sections and Figure 7 and Figure 8 shows an alternative probe tip in two mutually perpendicular sections.
  • FIG. 7 it is shown that a powder feed pipe 13 can reach up to the outlet plate 16. Due to the special shape of the plate 16, the powder particles are distributed radially, whereby they receive a radial speed component.
  • the outlet plate 16 has a conical elevation 19 in its center, which advantageously prevents the accumulation of powder in the center of the plate 16.

Abstract

One method is already known whereby the solids are first of all transformed into an aerosol which is subsequently introduced into the plasma for vaporisation. According to the invention, the aerosol is fed into the plasma in such a way that a radial velocity component is provided in the aerosol flow. The corresponding device has several parallel hollow elements (12) with an upstream exit plate (16) whose shape is adapted thereto.

Description

Beschreibungdescription
Verfahren und Vorrichtung zur Einbringung pulverformiger Feststoffe m ein PlasmaMethod and device for introducing powdery solids into a plasma
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Einbringung pulverformiger Feststoffe m ein Plasma, wobei die Feststoffe zunächst m e n Aerosol überfuhrt werden und das Aerosol anschließend dem Plasma zugef hrt wird. Daneben bezieht sich die Erfindung auch auf die zugehörige Vorrichtung zur Durchfuhrung des Verfahrens mit einer Sonde zum Injizieren des Aerosols m das Plasma.The invention relates to a method for introducing powdery solids into a plasma, the solids first being transferred into an aerosol and the aerosol then being fed to the plasma. In addition, the invention also relates to the associated device for performing the method with a probe for injecting the aerosol into the plasma.
In induktiv angeregten Hochfrequenzplasmen hoher Leistungs- dichte werden Temperaturen um 10.000 K bei Stromungsgeschwindigkeiten der Größenordnung 10 m/s erreicht. Dadurch wird es möglich, pulverformige Substanzen vollständig zu verdampfen, wenn die Korngroße hinreichend klein und die Verweildauer in den für die Verdampfung geeigneten Zonen des Plasmas hmrei- chend groß ist. Bei geeigneter Prozeßfuhrung können aus der im Plasma enthaltenen Dampfphase Schichten vorgegebener Zusammensetzung mit hoher Aufwachsrate auf Substraten abgeschieden werden, was beispielsweise aus der GB 22 64 718 bekannt ist. Anwendungen dieses als sog. Plasma-Kurzzeit- Verdampfung (Plasma Flash Evaporation = PFE) bekannten Verfahrens sind beispielsweise die Herstellung hochtzemperatur- supraleitender (HTSL-) Schichten aus Yttrium-Barium-Kupferoxid und die Deposition warmedammender Schichten aus Zirkonoxid auf thermisch hoch belasteten Maschinenteilen wie bei- spielsweise Turbinenschaufeln.In inductively excited high-frequency plasmas with a high power density, temperatures of around 10,000 K are reached at flow rates of the order of 10 m / s. This makes it possible to completely vaporize powdery substances if the grain size is sufficiently small and the residence time in the zones of the plasma suitable for the evaporation is sufficiently long. With a suitable process control, layers of a predetermined composition can be deposited on substrates with a high growth rate from the vapor phase contained in the plasma, as is known, for example, from GB 22 64 718. Applications of this process known as so-called plasma flash evaporation (PFE) are, for example, the production of high-temperature superconducting (HTSL) layers made of yttrium-barium copper oxide and the deposition of heat-insulating layers made of zirconium oxide on thermally highly stressed machine parts such as for example turbine blades.
Bei allen Anwendungen vorbeschriebener Art ist zu fordern, daß die ms Plasma eingebrachten Substanzen restlos verdampfen, da anderenfalls die Qualltat der erzeugten Schichten durch unverdampfte Partikel wie etwa erstarrte Flüssigkeitströpfchen beeinträchtigt wird.In all applications of the type described above, it must be demanded that the substances introduced into the plasma evaporate completely, since otherwise the quality of the layers produced is impaired by undevaporated particles such as solidified liquid droplets.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren anzugeben, mit dem insbesondere auch hochschmelzende Pulver geeignet verdampft werden können, und eine zugehörige Vorrichtung zu schaffen.The object of the invention is therefore to provide a method with which, in particular, high-melting powders can also be suitably evaporated, and to create an associated device.
Die Aufgabe ist erfindungsgemäß bei einem Verfahren der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das Aerosol dem Plasma derart zugeführt wird, daß eine radiale Geschwindigkeitskomponente im Aerosolstrom vorliegt. Vorzugsweise wird dabei das dem Plasma zugeführte Aerosol weiträumig außerhalb des Axialbereiches im Plasma verteilt. Insbesondere wird das Aerosol auch in solche Plasmazonen eingebracht, bei denen aufgrund des Mechanismus der Erzeugung induktiv gekoppelter Plasmen höhere Temperaturen vorliegen als im Axialbereich.The object is achieved according to the invention in a method of the type mentioned at the outset in that the aerosol is fed to the plasma in such a way that a radial velocity component is present in the aerosol stream. The aerosol supplied to the plasma is preferably distributed widely outside the axial region in the plasma. In particular, the aerosol is also introduced into those plasma zones in which, due to the mechanism of the generation of inductively coupled plasmas, temperatures are higher than in the axial region.
Bei der zugehörigen Vorrichtung mit einer Sonde zum Injizie- ren des Aerosols in das Plasma sind mehrere parallele Hohlelemente vorhanden, denen eine geeignet geformte Austrittsplatte vorgeschaltet ist. Vorzugsweise sind die Hohlelemente durch diskrete Rohre gebildet, wobei wenigstens zwei Rohre, vorzugsweise aber vier Rohre, vorhanden sind, die symmetrisch zur Austrittsplatte angeordnet sind.In the associated device with a probe for injecting the aerosol into the plasma, there are several parallel hollow elements which are preceded by a suitably shaped outlet plate. The hollow elements are preferably formed by discrete tubes, with at least two tubes, but preferably four tubes, which are arranged symmetrically to the outlet plate.
Mit der Erfindung können nunmehr insbesondere hochschmelzende Feststoffe, wie beispielsweise Zirkonoxid als Wärmedämmschicht für Turbinenteile oder dergleichen, besser verdampft werden. Dabei kann das zunächst hergestellte Aerosol sowohl ein Pulveraerosol als auch ein Flüssigkeitsaerosol sein.With the invention, in particular high-melting solids, such as zirconium oxide as a heat insulation layer for turbine parts or the like, can now be better evaporated. The aerosol initially produced can be both a powder aerosol and a liquid aerosol.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Figurenbeschreibung von Ausführungs- beispielen anhand der Zeichnung in Verbindung mit den Patentansprüchen. Es zeigen jeweils in schematischer Darstellung Figur 1 einen bekannten Plasmabrenner im Querschnitt, Figur 2 und Figur 3 eine verbesserte Sondenspitze zurFurther details and advantages of the invention result from the following description of the figures of exemplary embodiments with reference to the drawing in conjunction with the patent claims. They each show a schematic representation Figure 1 shows a known plasma torch in cross section, Figure 2 and Figure 3 shows an improved probe tip
Verwendung beim Plasmabrenner der Figur 1 in zwei zueinander senkrechten Schnitten, Figur 4 einen dabei verwendeten Kühlwasserverteiler imUse in the plasma torch of Figure 1 in two mutually perpendicular sections, Figure 4 a cooling water distributor used in the
Querschnitt, Figur 5 und Figur 6 einen Sondenkopf als Aerosolverteiler in zwei zueinander senkrechten Schnitten und Figur 7 und Figur 8 eine alternative Sondenspitze in zwei zueinander senkrechten Schnitten.Cross section, Figure 5 and Figure 6 shows a probe head as an aerosol distributor in two mutually perpendicular sections and Figure 7 and Figure 8 shows an alternative probe tip in two mutually perpendicular sections.
In den Figuren haben gleiche bzw. gleichwirkende Teile sich entsprechende Bezugszeichen. Die Figuren werden teilweise gemeinsam beschrieben.In the figures, the same or equivalent parts have corresponding reference numerals. Some of the figures are described together.
Figur 1 zeigt schematisch einen induktiv angeregten Plasmabrenner 1. Eine solche Plasmaquelle ist vom Stand der Technik bekannt. Eine Induktionsspule 2, die von einem Hochfrequenzgenerator gespeist wird, umschließt koaxial ein zylindrisches äußeres Rohr 3 aus einem hochtemperaturfesten Isolierstoff.FIG. 1 schematically shows an inductively excited plasma torch 1. Such a plasma source is known from the prior art. An induction coil 2, which is fed by a high-frequency generator, coaxially encloses a cylindrical outer tube 3 made of a high-temperature-resistant insulating material.
Zwischen dem äußeren Rohr 3 und einem koaxial dazu angeordneten inneren Rohr 4 fließt ein Hüllgasstrom 5, der die für den gewünschten Prozeß benötigten Gase enthalten kann. Durch das innere Rohr 4 strömt ein weiteres Gas 6. Im Bereich der Induktionsspule 2 vermischen sich die Gasströme 5 und 6 und bilden unter dem Einfluß der durch die Induktionsspule eingekoppelten Energie ein induktiv angeregtes thermisches Plasma 7, das in eine hier nicht dargestellte Reaktionskammer einströmt.Between the outer tube 3 and an inner tube 4 arranged coaxially thereto, a sheath gas flow 5 flows, which can contain the gases required for the desired process. Another gas 6 flows through the inner tube 4. In the area of the induction coil 2, the gas streams 5 and 6 mix and, under the influence of the energy coupled in by the induction coil, form an inductively excited thermal plasma 7 which flows into a reaction chamber (not shown here).
Die zu verdampfenden pulverförmigen Ausgangsstoffe werden dem Stand der Technik entsprechend durch Dispersion in Trägergasen, wie z.B. Argon, zu Pulveraerosolen aufbereitet und durch eine sogenannte Pulverinjektionssonde 10, im folgenden auch kurz "Sonde" genannt, in das Plasma 7 eingebracht. Die Erzeugung des Pulveraerosols und seine Einbringung in die Sonde geschieht durch Apparaturen, die als Pulverförderer bezeichnet werden und nicht Gegenstand der Erfindung sind.According to the state of the art, the powdery starting materials to be evaporated are processed into powder aerosols by dispersion in carrier gases, such as argon, and introduced into the plasma 7 by a so-called powder injection probe 10, hereinafter also referred to as "probe". The generation of the powder aerosol and its introduction into the The probe is made by apparatus which are referred to as powder conveyors and which are not the subject of the invention.
Bekannte, hier nicht im einzelnen dargestellte Sonden be- stehen aus einem Metallröhrchen mit einem Durchmesser im Millimeterbereich, das von zwei weiteren Rohren passenden Durchmessers koaxial umgeben ist. Durch eine solche Konstruktion kann zwischen dem inneren und dem mittleren Rohr Kühlwasser zugeführt werden, das zwischen dem mittleren und äuße- ren Rohr abfließt. Auf diese Weise wird die Sonde gekühlt und kann schadlos in das mehrere Tausend Grad heiße thermische Plasma eingebracht werden.Known probes, not shown here in detail, consist of a metal tube with a diameter in the millimeter range, which is coaxially surrounded by two further tubes of suitable diameter. With such a construction, cooling water can be supplied between the inner and the middle pipe, which flows off between the middle and the outer pipe. In this way, the probe is cooled and can be injected into the thermal plasma, which is several thousand degrees hot.
Sonden der anhand Figur 1 beschriebenen Art erteilen dem in das Plasma eintretenden Pulver eine in Bezug auf die Längsachse 1 der Sonde und des Plasmas nahezu ausschließlich axial gerichtete Geschwindigkeit. Dies hat den Nachteil, daß die gesamte Pulvermenge und das sie tragende Gas in einen engen zentralen Plasmabereich eingebracht wird, der dadurch stark gekühlt wird, so daß insbesondere bei hochschmelzenden Pulvern eine unzureichende Verdampfung die Folge ist.Probes of the type described with reference to FIG. 1 give the powder entering the plasma an almost exclusively axially directed speed with respect to the longitudinal axis 1 of the probe and the plasma. This has the disadvantage that the entire amount of powder and the gas carrying it is introduced into a narrow central plasma region, which is thereby strongly cooled, so that insufficient evaporation is the result, particularly in the case of high-melting powders.
In Figur 2 sind vier gleich lange Pulverrohre 12, d.h. im allgemeineren Fall n Pulverrohre mit n>l (n=l: Stand der Technik) , mit Innendurchmessern im Millimeterbereich so angeordnet, daß ihre Achsen parallel ausgerichtet sind, wobei sich ihre Wandungen auf der gesamten Länge berühren und die Mittelpunkte der kreisringförmigen Schnittflächen ihrerseits auf einem Kreis K liegen. Die Rohre 12 werden von einem Mittelrohr 14 derart umschlossen, daß im Bereich zwischen der inneren Wand des Mittelrohres und den Außenwänden der Pulverrohre ein für den Durchfluß von Kühlwasser W ausreichender Querschnitt verbleibt. Das Mittelrohr 14 wird koaxial von einem Mantelrohr 15 umschlossen, dessen Querschnitt so bemessen ist, daß das zwischen den Rohren 12 und 14 zugeführte Kühlwasser zwischen den Rohren 14 und 15 abfließen kann.In Figure 2, four powder tubes 12 of equal length, ie in the more general case n powder tubes with n> 1 (n = 1: prior art), with inner diameters in the millimeter range are arranged in such a way that their axes are aligned parallel, their walls being on the touch the entire length and the centers of the circular cut surfaces in turn lie on a circle K. The tubes 12 are surrounded by a central tube 14 such that a cross section sufficient for the flow of cooling water W remains in the area between the inner wall of the central tube and the outer walls of the powder tubes. The center tube 14 is coaxial from enclosed a casing tube 15, the cross section of which is dimensioned such that the cooling water supplied between the tubes 12 and 14 can flow off between the tubes 14 and 15.
Die Rohre 12 und 15 enden an der Austrittsplatte 16 und sind dort jeweils an ihrem gesamten Umfang befestigt. Wegen des intensiven Kontaktes zum heißen Plasma 7 ist es vorteilhaft, die Austrittsplatte 16 aus einem hochschmelzenden Material wie beispielsweise Wolfram oder Tantal, zu fertigen. Die Austrittsbohrungen 17, durch die das Pulveraerosol in dasThe tubes 12 and 15 end on the outlet plate 16 and are each fastened there over their entire circumference. Because of the intensive contact with the hot plasma 7, it is advantageous to manufacture the outlet plate 16 from a high-melting material such as, for example, tungsten or tantalum. The outlet bores 17 through which the powder aerosol enters the
Plasma 7 gelangt, durchsetzen die Austrittsplatte unter einem Winkel φ ungleich Null bezüglich der Symmetrielinie 1, so daß das austretende Pulveraerosol eine radiale Geschwindigkeitskomponente erhält.Plasma 7 arrives, pass through the exit plate at an angle φ not equal to zero with respect to the line of symmetry 1, so that the emerging powder aerosol receives a radial velocity component.
Im Interesse einer annähernd rotationssymmetrischen Pulververteilung ist die Anzahl n der Pulverrohre möglichst groß zu wählen, wobei sich als hinreichend vorteilhafte Anzahl bereits n=3 erwiesen hat. Das Mittelrohr 14 endet kurz vor der Austrittsplatte 16, so daß zwischen Austrittsplatte und Mittelrohr ein Ringspalt 18 verbleibt, durch den das Kühlwasser aus dem Bereich zwischen den Rohren 12 und 14 in den Raum zwischen den Rohren 14 und 15 fließen kann.In the interest of an approximately rotationally symmetrical powder distribution, the number n of powder tubes should be chosen to be as large as possible, n = 3 having already proven to be a sufficiently advantageous number. The center tube 14 ends shortly before the outlet plate 16, so that an annular gap 18 remains through the outlet plate and the center tube, through which the cooling water can flow from the area between the tubes 12 and 14 into the space between the tubes 14 and 15.
An ihrer der Austrittsplatte abgewandten Seite enden dasThat ends on their side facing away from the outlet plate
Mantelrohr 15 und das Mittelrohr 14 in dem Kühlwasserverteiler 21, der in Figur 4 im einzelnen dargestellt ist. Über die Eintrittsbohrung 22 strömt Kühlwasser in den Raum zwischen den Rohren 12 und 14. Das von der Sondenspitze 11 zwischen 14 und 15 zurückfließende Wasser verläßt die Sonde durch dieJacket tube 15 and the center tube 14 in the cooling water distributor 21, which is shown in detail in Figure 4. Cooling water flows into the space between the tubes 12 and 14 via the inlet bore 22. The water flowing back from the probe tip 11 between 14 and 15 leaves the probe through the
Austrittsbohrung 23 Die Pulverrohre 12 durchsetzen den Kühlwasserverteiler und sind an seinem den Rohren 14 und 15 abgewandten Ende befestigt.Outlet bore 23 The powder tubes 12 pass through the cooling water distributor and are attached to its end facing away from the tubes 14 and 15.
Für den Fall, daß durch alle Pulverrohre 12 derselbe Stoff dem Plasma zugeführt werden soll, enden die Pulverrohre 12 in einem Sondenkopf 31 entsprechend den Figuren 6 und 7. Der Sondenkopf 31 besitzt an seiner den Rohren 12 abgewandten Seite eine trichterförmige Ausnehmung 32, in deren Zentrum sich eine kegelförmige Spitze befindet 33. Durch Bohrungen 34 treten die Rohre in den Sondenkopf 31 ein, wobei sie im Bereich des Trichters und des Kegels so abgeschnitten sind, daß ihre Enden mit der Innenfläche des Sondenkopfes form- schlüssig sind. Das Pulveraerosol P wird durch ein unmittelbar an den Sondenkopf angeschlossenes Rohr oder einen Schlauch, die in den Figuren nicht gezeigt sind, zugeführt. Der Kegel 33 bewirkt, daß sich kein Pulver im Bereich zwischen den Rohren 12 ansammelt.In the event that the same substance is to be supplied to the plasma through all the powder tubes 12, the powder tubes 12 end in a probe head 31 according to FIGS. 6 and 7. The Probe head 31 has on its side facing away from the tubes 12 a funnel-shaped recess 32, in the center of which there is a conical tip 33. The tubes enter the probe head 31 through bores 34, being cut off in the region of the funnel and the cone, that their ends are form-fitting with the inner surface of the probe head. The powder aerosol P is supplied through a tube or a hose which is directly connected to the probe head and which is not shown in the figures. The cone 33 causes no powder to accumulate in the area between the tubes 12.
Ein besonderer Vorteil der anhand der Figuren 2/3 und 5/6 beschriebenen Anordnungen ergibt sich daraus, daß durch die Rohre 12 unterschiedliche Aerosole dem Plasma zugeführt werden können. Je nach Anwendung sind in diesem Fall mehrere Sondenköpfe einzusetzen, oder jedes der Rohre 12 ist unmittelbar mit einem Pulverförderer zu verbinden.A particular advantage of the arrangements described with reference to FIGS. 2/3 and 5/6 results from the fact that 12 different aerosols can be supplied to the plasma through the tubes. Depending on the application, several probe heads are to be used in this case, or each of the tubes 12 is to be connected directly to a powder conveyor.
Abwandlungen der beschriebenen Ausführungsbeispiele ergeben sich aus den Figuren 7 und 8. Speziell in Figur 7 ist gezeigt, daß ein Pulverzuführungsrohr 13 bis an die Austritts- platte 16 heranreichen kann. Durch die spezielle Formgebung der Platte 16 werden die Pulverparrikel radial verteilt, wobei sie eine radiale Geschwindigkeitskomponente erhalten. In diesem Fall weist die Austrittsplatte 16 in ihrem Zentrum eine kegelförmige Erhebung 19 auf, die vorteilhafterweise die Ansammlung von Pulver im Zentrum der Platte 16 verhindert.Modifications of the described exemplary embodiments result from FIGS. 7 and 8. Specifically in FIG. 7 it is shown that a powder feed pipe 13 can reach up to the outlet plate 16. Due to the special shape of the plate 16, the powder particles are distributed radially, whereby they receive a radial speed component. In this case, the outlet plate 16 has a conical elevation 19 in its center, which advantageously prevents the accumulation of powder in the center of the plate 16.
Die vorstehend beschriebenen Anordnungen können in weiteren Punkten variiert werden. Beispielsweise können die Pulverrohre 12 bereits innerhalb des Mittelrohres bei einem Pulverzuführungsrohr 13 vereinigt werden, das den Kühlwasserverteiler 21 in analoger Weise wie die Rohre 12 durchsetzt. Die Pulverrohre 12 können auch durch einen im allgemeinen zylindrischen Körper ersetzt werden, der auf seiner gesamten Länge von parallelen Kanälen durchzogen ist, die ähnlich angeordnet sind wie die Rohre 12 in Figur 2 und 5.The arrangements described above can be varied in other points. For example, the powder tubes 12 can already be combined within the center tube in a powder feed tube 13 which passes through the cooling water distributor 21 in an analogous manner to the tubes 12. The powder tubes 12 can also be replaced by a generally cylindrical body, which extends over its entire length is traversed by parallel channels which are arranged similarly to the tubes 12 in FIGS. 2 and 5.
Die Anordnung wurde speziell für das Verdampfen pulverförmi- ger Aerosole beschrieben. Entsprechendes gilt aber auch für Flüssigkeitsaerosole . The arrangement has been specifically described for the vaporization of powdered aerosols. The same also applies to liquid aerosols.

Claims

Patentansprüche claims
1. Verfahren zur Einbringung pulverförmiger Feststoffe in ein Plasma, wobei die Feststoffe zunächst in ein Aerosol über- führt werden und anschließend das Aerosol dem Plasma zugeführt wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Aerosol dem Plasma derart zugeführt wird, daß eine radiale Geschwindigkeitskomponente im Aerosolstrom vorliegt.1. A method for introducing powdery solids into a plasma, the solids first being transferred into an aerosol and then the aerosol being fed to the plasma, so that the aerosol is fed to the plasma in such a way that a radial velocity component is present in the aerosol stream.
2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das dem Plasma zugeführte Aerosol weiträumig außerhalb des Axialbereiches im Plasma verteilt wird.2. The method according to claim 1, that the aerosol supplied to the plasma is distributed widely outside the axial region in the plasma.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Aerosol in Plasmazonen eingebracht wird, bei denen aufgrund des Mechanismus der Erzeugung induktiv gekoppelter Plasmen höhere Temperaturen vorliegen als im Axialbereich.3. The method according to claim 1 and claim 2, that the aerosol is introduced into plasma zones in which, due to the mechanism of the generation of inductively coupled plasmas, temperatures are higher than in the axial region.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, g e k e n n z e i c h n e t in der Anwendung bei Pulveraerosolen.4. The method according to any one of the preceding claims, g e k e n n z e i c h n e t used in powder aerosols.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, g e k e n n z e i c h n e t in der Anwendung bei Flüssigkeits- aerosolen.5. The method according to any one of the preceding claims, g e k e n n z e i c h n e t used in liquid aerosols.
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 oder einem der Ansprüche 2 bis 5, mit einer Sonde zum Injizieren des Aerosols in das Plasma, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß mehrere parallele Hohlelemente (12) vorhanden sind, denen eine geeignet geformte Austrittsplatte (16) vorgeschaltet ist. 6. Device for performing the method according to claim 1 or one of claims 2 to 5, with a probe for injecting the aerosol into the plasma, characterized in that a plurality of parallel hollow elements (12) are present, which upstream of a suitably shaped outlet plate (16) is.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Hohlelemente durch diskrete Rohre (12) gebildet sind.7. The device according to claim 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that the hollow elements are formed by discrete tubes (12).
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß wenigstens zwei Rohre (12) vorhanden sind.8. The device according to claim 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that at least two tubes (12) are present.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, d a d u r c h g e - k e n n z e i c h n e t , daß vier gleichartige Rohre (12) vorhanden sind, die symmetrisch zur Austrittsplatte 16 angeordnet sind.9. The device according to claim 8, d a d u r c h g e - k e n n z e i c h n e t that four identical tubes (12) are present, which are arranged symmetrically to the outlet plate 16.
10. Vorrichtung nach Anspruch 6, d a d u r c h g e - k e n n z e i c h n e t , daß die Hohlelemente in die10. The apparatus of claim 6, d a d u r c h g e - k e n n z e i c h n e t that the hollow elements in the
Austrittsplatte (16) integriert sind.Exit plate (16) are integrated.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß in die Aus- trittsplatte (16) Richtungsablenkungselemente (19) integriert sind. 11. Device according to one of claims 6 to 10, d a d u r c h g e k e n e z e i c h n e t that directional deflection elements (19) are integrated in the outlet plate (16).
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