WO1998057729A1 - Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques - Google Patents
Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques Download PDFInfo
- Publication number
- WO1998057729A1 WO1998057729A1 PCT/FR1998/000822 FR9800822W WO9857729A1 WO 1998057729 A1 WO1998057729 A1 WO 1998057729A1 FR 9800822 W FR9800822 W FR 9800822W WO 9857729 A1 WO9857729 A1 WO 9857729A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- depletion
- gas
- air
- working
- outlet
- Prior art date
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000009434 installation Methods 0.000 title claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000000779 depleting effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 5
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 claims description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 9
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920005597 polymer membrane Polymers 0.000 description 2
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000006392 deoxygenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/02—Preparation of oxygen
- C01B13/0229—Purification or separation processes
- C01B13/0248—Physical processing only
- C01B13/0251—Physical processing only by making use of membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/229—Integrated processes (Diffusion and at least one other process, e.g. adsorption, absorption)
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/75—Multi-step processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/86—Catalytic processes
- B01D53/869—Multiple step processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/14—Production of inert gas mixtures; Use of inert gases in general
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/02—Preparation of oxygen
- C01B13/0229—Purification or separation processes
- C01B13/0248—Physical processing only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
- C01B2210/0046—Nitrogen
Definitions
- N 2 -O 2 atmospheres typically having O 2 limit contents respectively. a few% in one case and a few thousand ppm in the second case.
- several means of depleting O 2 in the source air can be used: cryogenic distillation, adsorption of oxygen on a catalytic bed, combination of oxygen with a another gas, or selective permeation through a membrane.
- the air is depleted in O 2 to obtain a first gas mixture with an O 2 content of less than or equal to tl, - part of this first gas mixture is used to supply the first working gas,
- the device can include one or more of the following characteristics:
- This device is intended to provide the working atmospheres of a reflow soldering furnace 9 and of a wave soldering machine 11, forming part of an installation for assembling electronic components.
- the electronic components are stored before being assembled in the reflow oven 9 or in the wave soldering machine 11, is carried out in the enclosure 7 for storing electronic components, located upstream of the means 1.
- the second depletion means 3 O 2 using a conventional method of catalytic combination of oxygen with hydrogen to form water.
- These means 3 comprise a dryer making it possible to condense the water produced, discharged at 6, and to obtain a gas depleted in O 2 at their outlet 10.
- the mixture N 2 ⁇ 0 2 produced at the outlet 10 of the means 3 has a O 2 content close to 50 ppm, directly supplying a wave soldering machine 11 of electronic components.
- the permeate mixture obtained at the second outlet 14 of the first O 2 depletion means 1 is oxygenated air having an O 2 content close to 25%, used to supply a unit 17 consuming oxygenated air.
- FIG. 2 illustrates a case of using first (1A), second (IB) and third (5) means of oxygen depletion, respectively: a membrane separator 1A, making it possible to produce, at its residual outlet 2 , a gas mixture N 2 -O 2 with a residual oxygen content close to 10%, in order to supply with this mixture a component storage enclosure 7; a membrane separator IB, making it possible to produce, at its residual outlet 10, a gaseous mixture N 2 -
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
L'invention concerne un procédé de fourniture, à partir d'une source commune d'air (13), d'au moins deux gaz de travail dont les teneurs limites en O2, respectivement t1 et t2, sont telles que t1 est supérieure à t2. Dans ce procédé: on appauvrit en O2 (en 1) l'air pour obtenir un premier mélange gazeux de teneur en O2 inférieure ou égale a t1, on utilise une partie de ce premier mélange gazeux pour fournir (en 7) le premier gaz de travail, on appauvrit en O2 (en 3) une autre partie de ce premier mélange gazeux pour obtenir un deuxième mélange gazeux de teneur en O2 inférieure ou égale à t2, et on utilise ce deuxième mélange gazeux pour fournir (en 9) le deuxième gaz de travail.
Description
PROCEDE ET DISPOSITIF DE FOURNITURE DE PLUSIEURS GAZ DE TRAVAIL, ET SON APPLICATION A UNE INSTALLATION D'ASSEMBLAGE DE COMPOSANTS ELECTRONIQUES
La présente invention concerne un procédé de fourniture, à partir d'une source commune d'air, d'au moins deux gaz de travail ayant des teneurs limites en O2 différentes.
De nombreux procédés industriels nécessitent l'utilisation d'atmosphères de travail N2-O2 ayant des teneurs limites en O2 différentes. De tels procédés sont parfois mis en oeuvre sur un même site industriel.
C'est le cas par exemple dans l'industrie électronique, où les procédés de brasage par refusion et de brasage à la vague pour assembler les composants électroniques font appel à des atmosphères N2-O2 ayant typiquement des teneurs limites en O2 respectivement de quelques % dans un cas et de quelques milliers de ppm dans le second cas. En fonction de la teneur limite en O2 à obtenir, plusieurs moyens d'appauvrissement en O2 de l'air de la source peuvent être utilisés : distillation cryogénique, adsorption de l'oxygène sur lit catalytique, combinaison de 1 ' oxygène avec un autre gaz , ou encore perméation sélective au travers d'une membrane.
Généralement, pour fournir des atmosphères de travail N2-O2 de teneurs limites différentes en O2 pour la mise en oeuvre de procédés industriels sur un même site, on utilise soit des moyens distincts de fourniture, en multipliant ainsi les dispositifs de fourniture de gaz de travail, soit une alimentation en atmosphère unique pour tous les procédés, conduisant ainsi à un appauvrissement en O2 superflu pour une partie des procédés. De telles solutions ne sont pas optimales. L'invention a pour but de remédier au problème mentionné précédemment et, en particulier, de fournir un procédé économique de fourniture, à partir d'une source
commune d'air, de gaz de travail ayant des teneurs limites en O2 différentes.
A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de fourniture, à partir d'une source commune d'air, d'au moins deux gaz de travail dont les teneurs limites en O2 , respectivement tl et t2 , sont telles que tl est supérieure à t2 , caractérisé en ce que :
- on appauvrit en O2 1 ' air pour obtenir un premier mélange gazeux de teneur en O2 inférieure ou égale à tl, - on utilise une partie de ce premier mélange gazeux pour fournir le premier gaz de travail,
- on appauvrit en O2 une autre partie de ce premier mélange gazeux pour obtenir un deuxième mélange gazeux de teneur en O2 inférieure ou égale à t2 , et - on utilise ce deuxième mélange gazeux pour fournir le deuxième gaz de travail.
Selon des modes particuliers de réalisation, le procédé peut comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : - lesdits premier et second mélanges gazeux sont directement les gaz de travail,
- on récupère au moins un produit oxygéné résultant d'un desdits appauvrissements en O2 en vue d'une utilisation de ce produit oxygéné, - le produit oxygéné est de l'air suroxygéné provenant du premier appauvrissement en O2 , ti est supérieure ou égale à 0,5% (et préférentiellement comprise entre 0,5 % et 10%) et t2 est inférieure ou égale à 1% (et préférentiellement comprise entre 100 ppm et 5000 ppm) .
L'invention a également pour objet un dispositif de fourniture, à partir d'une source commune d'air, d'au moins deux gaz de travail ayant des teneurs limites en O2 différentes, caractérisé en ce qu'il comprend : - des premiers moyens d'appauvrissement en O2,
- des deuxièmes moyens d'appauvrissement en O2,
- des moyens raccordant une entrée des premiers moyens d'appauvrissement en 02 à la source d'air,
des moyens raccordant une entrée des deuxièmes moyens d'appauvrissement en O2 à une sortie des premiers moyens d ' appauvrissement,
- des moyens de production du premier gaz de travail, raccordés à une sortie des premiers moyens d ' appauvrissement, et,
- des moyens de production du deuxième gaz de travail, raccordés à une sortie des deuxièmes moyens d ' appauvrissement . Selon des modes particuliers de réalisation le dispositif peut comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes :
- les moyens de production des gaz de travail sont des moyens de prélèvement direct des mélanges gazeux à la sortie des moyens d'appauvrissement,
- des moyens d'appauvrissement en O2 présentent une sortie de produit oxygéné, et le dispositif comprend des moyens raccordant cette sortie à une unité de consommation de ce produit oxygéné, - le produit oxygéné est de l'air suroxygéné provenant des premiers moyens d'appauvrissement, les premiers et/ou les deuxièmes moyens d'appauvrissement en O2 sont des moyens d'appauvrissement en O2 par combinaison de IO2 avec un autre gaz ou par adsorption de IO2 sur lit catalytique ou encore par perméation sélective au travers d'une membrane.
L'invention a finalement pour objet une installation d'assemblage de composants électroniques comprenant une enceinte de stockage sous atmosphère contrôlée de composants électroniques, la teneur limite de l'atmosphère de cette enceinte en O2 étant ti, et au moins une machine d'assemblage des composants sous atmosphère contrôlée, la teneur limite de l'atmosphère de cette machine en O2 étant t2 < ti, l'installation se caractérisant en ce qu'elle comprend un dispositif de fourniture de gaz de travail, alimentant ladite enceinte en ledit premier mélange gazeux et ladite machine d'assemblage en ledit deuxième mélange gazeux.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple, et faite en se référant aux figures annexées sur lesquelles : - la figure 1 représente schématiquement un dispositif de fourniture de gaz de travail selon l'invention alimentant deux postes utilisateurs (9, 11) dont les besoins en gaz de travail diffèrent; la figure 2 représente schématiquement un autre dispositif de fourniture de gaz de travail selon l'invention alimentant trois postes utilisateurs (7, 9, 11) dont les besoins en gaz de travail diffèrent.
Le dispositif de la figure 1 comprend des premiers moyens 1 d'appauvrissement en 02 par permeation sélective au travers d'une membrane polymère, et des deuxièmes moyens
3 d'appauvrissement en O2 par combinaison catalytique de celui-ci avec de l'hydrogène.
Ce dispositif est destiné à fournir les atmosphères de travail d'un four de brasage par refusion 9 et d'une machine 11 de brasage à la vague, faisant partie d'une installation d'assemblage de composants électroniques.
Le stockage des composants électroniques, avant leur assemblage dans le four de refusion 9 ou dans la machine 11 de brasage à la vague, est réalisé dans l'enceinte 7 de stockage de composants électroniques, localisée en amont des moyens 1.
Les atmosphères de travail choisies aux différents points de l'installation représentée sont les suivantes :
- on prélève de l'air, en provenance de la source d'air 13, pour alimenter l'enceinte de stockage 7, cet air ayant été au préalable grâce à l'appareillage 15 filtré, dépoussiéré et séché,
- les moyens 1 d'appauvrissement en O2 utilisent le procédé classique d'appauvrissement en O2 de l'air issu de la source 13, par permeation sélective au travers d'une membrane polymère, et fournissant à leur sortie résiduaire 2 un mélange N2-O2 ayant une teneur en O2 voisine ici de 1%. Ce mélange alimente d'une part directement un four 9 de
o
brasage de composants électroniques par refusion, et d'autre part une entrée 4 des deuxièmes moyens 3 d'appauvrissement en O2,
- Les deuxièmes moyens 3 d'appauvrissement en O2 utilisent un procédé classique de combinaison catalytique de l'oxygène avec de l'hydrogène pour former de l'eau. Ces moyens 3 comprennent un sécheur permettant de condenser l'eau produite, évacuée en 6, et d'obtenir un gaz appauvri en O2 à leur sortie 10. Le mélange N2~02 produit à la sortie 10 des moyens 3 a une teneur en O2 voisine de 50 ppm, alimentant directement une machine 11 de brasage à la vague de composants électronique.
Le mélange perméat obtenu à la seconde sortie 14 des premiers moyens 1 d'appauvrissement en O2 est de l'air suroxygéné ayant une teneur en O2 voisine de 25%, utilisé pour alimenter une unité 17 consommatrice d'air suroxygéné.
Cette unité 17 peut être, par exemple, un four et peut être située sur le même site industriel que l'installation d'assemblage des composants électroniques. L'air suroxygéné obtenu peut ainsi être utilisé pour alimenter la flamme de brûleurs destinés à faire fondre le verre entrant dans la fabrication de tubes de téléviseurs.
Le dispositif selon l'invention permet donc, par appauvrissements successifs en O2 de l'air de la source 13, d'alimenter en gaz de travail des procédés dont les teneurs limites en O2 sont très différentes.
Le procédé de fourniture de gaz de travail mis en oeuvre est particulièrement économique puisque, d'une part, il utilise des moyens d'appauvrissement en O2 communs pour fournir des gaz de travail de teneur limite en O2 différentes, et d'autre part, il supprime les appauvrissements en O2 superflus.
Plus brièvement, la figure 2 illustre un cas d'utilisation de premiers (1A) , seconds (IB) et troisièmes (5) moyens d'appauvrissement en oxygène, respectivement : un séparateur membranaire 1A, permettant de produire, en sa sortie résiduaire 2, un mélange gazeux
N2-O2 de teneur résiduelle en oxygène voisine de 10%, afin d'alimenter à l'aide de ce mélange une enceinte de stockage de composants 7; un séparateur membranaire IB, permettant de produire, en sa sortie residuaire 10, un mélange gazeux N2-
O2 de teneur résiduelle en oxygène allant typiquement de 1 à 3%, afin d'alimenter à l'aide de ce mélange un four 9 de brasage de composants par refusion; des moyens 5 de deoxygénation par réaction catalytique de l'oxygène avec de l'hydrogène pour former de l'eau. Ces moyens 5 comprennent un sécheur permettant de condenser l'eau produite, évacuée en 8 , et d'obtenir en leur sortie 12 un mélange N2-O2 dont la teneur en O2 est voisine de 50 ppm, alimentant directement une machine 11 de brasage à la vague de composants électroniques.
Claims
1. Procédé de fourniture, à partir d'une source commune d'air (13), d'au moins deux gaz de travail dont les teneurs limites en O2 , respectivement tl et t2 , sont telles que tl est supérieure à t2 , caractérisé en ce que :
- on appauvrit en O2 (en 1, 1A) l'air pour obtenir un premier mélange gazeux de teneur en O2 inférieure ou égale à tl,
- on utilise une partie de ce premier mélange gazeux pour fournir (en 7, en 9) le premier gaz de travail,
- on appauvrit en O2 (en 3, en IB) une autre partie de ce premier mélange gazeux pour obtenir un deuxième mélange gazeux de teneur en O2 inférieure ou égale à t2 , et
- on utilise ce deuxième mélange gazeux pour fournir (en 9, en 11) le deuxième gaz de travail.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits premier et second mélanges gazeux sont directement les gaz de travail.
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2 , caractérisé en ce qu'on récupère au moins un produit oxygéné résultant d'un desdits appauvrissements en O2 (en 1) en vue d'une utilisation (en 17) de ce produit.
4. Procédé selon la revendication 3 , caractérisé en ce que le produit oxygéné est de l'air suroxygéné provenant du premier appauvrissement en O2 (en 1) .
5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que ti est supérieure ou égale à 0,5% et préférentiellement comprise entre 0,5 % et 10%, et t2 est inférieure ou égale à 1% et préférentiellement comprise entre 100 ppm et 5000 ppm.
6. Dispositif de fourniture, à partir d'une source commune d'air (13), d'au moins deux gaz de travail ayant des teneurs limites en O2 différentes, caractérisé en ce qu'il comprend : - au moins des premiers moyens (1, 1A) d'appauvrissement en O2, et
- des deuxièmes moyens (3, IB) d'appauvrissement en 02,
- des moyens raccordant une entrée des premiers moyens (1, 1A) d'appauvrissement en O2 à la source d'air (13), des moyens raccordant une entrée des deuxièmes moyens (3, IB) d'appauvrissement en O2 à une sortie des premiers (1, 1A) moyens d'appauvrissement,
- des moyens de production du premier gaz de travail, raccordés à une sortie des premiers moyens (1, 1A) d ' appauvrissement, et,
- des moyens de production du deuxième gaz de travail, raccordés à une sortie des deuxièmes moyens (3, IB) d ' appauvrissement .
7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens de production des gaz de travail sont des moyens de prélèvement direct des mélanges gazeux à la sortie des moyens d'appauvrissement.
8. Dispositif selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que des moyens (1) d'appauvrissement en O2 présentent une sortie de produit oxygéné, et en ce que le dispositif comprend des moyens raccordant cette sortie à une unité (17) de consommation de ce produit oxygéné.
9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que le produit oxygéné est de l'air suroxygéné provenant des premiers moyens d'appauvrissement.
10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisé en ce que les premiers et/ou les deuxièmes moyens (1,3) d'appauvrissement en O2 sont des moyens d'appauvrissement en O2 par combinaison de IO2 avec un autre gaz ou par adsorption de IO2 sur lit catalytique ou par permeation sélective au travers d'une membrane .
11. Installation d'assemblage de composants électroniques comprenant une enceinte (7) de stockage sous atmosphère contrôlée de composants électroniques, la teneur limite de l'atmosphère de cette enceinte en O2 étant ti, et au moins une machine d'assemblage des composants (9,11) sous atmosphère contrôlée, la teneur limite de l'atmosphère de cette machine (9,11) en O2 étant t2 < ti, caractérisée en ce qu'elle comprend un dispositif de fourniture de gaz
de travail selon l'une quelconque des revendications 6 à 10, alimentant ladite enceinte (7) en ledit premier mélange gazeux et ladite machine d'assemblage (9, 11) en ledit deuxième mélange gazeux.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50385899A JP2002511020A (ja) | 1997-06-17 | 1998-04-24 | 複数の作業ガスの送出方法および装置ならびに電子部品の組立プラントへの応用 |
| EP98922860A EP0989899A1 (fr) | 1997-06-17 | 1998-04-24 | Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques |
| AU75349/98A AU7534998A (en) | 1997-06-17 | 1998-04-24 | Method and device for supplying several working gases, and its application to aninstallation for assembling electronic components |
| US09/423,296 US6293997B1 (en) | 1997-06-17 | 1998-04-24 | Method and device for supplying several working gases, and its application to an installation for assembling electronic components |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9707507A FR2764523B1 (fr) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques |
| FR97/07507 | 1997-06-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1998057729A1 true WO1998057729A1 (fr) | 1998-12-23 |
Family
ID=9508073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/FR1998/000822 WO1998057729A1 (fr) | 1997-06-17 | 1998-04-24 | Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6293997B1 (fr) |
| EP (1) | EP0989899A1 (fr) |
| JP (1) | JP2002511020A (fr) |
| AU (1) | AU7534998A (fr) |
| FR (1) | FR2764523B1 (fr) |
| WO (1) | WO1998057729A1 (fr) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6602324B2 (en) * | 2001-11-15 | 2003-08-05 | Air Products And Chemicals, Inc. | Sulfur control in ion-conducting membrane systems |
| US7081153B2 (en) * | 2003-12-02 | 2006-07-25 | Honeywell International Inc. | Gas generating system and method for inerting aircraft fuel tanks |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0596268A1 (fr) * | 1992-10-06 | 1994-05-11 | Praxair Technology, Inc. | Procédé à membrane pour l'obtention de puretés multiples |
| EP0635456A1 (fr) * | 1993-07-22 | 1995-01-25 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Procédé de fourniture d'azote au moyen de membranes semi-perméables ou de séparateurs de gaz par adsorption |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4681602A (en) * | 1984-12-24 | 1987-07-21 | The Boeing Company | Integrated system for generating inert gas and breathing gas on aircraft |
| DE3715555A1 (de) * | 1987-05-09 | 1988-11-17 | Draegerwerk Ag | Vorrichtung zur zerlegung und anreicherung eines mehrkomponentigen gases mit hilfe mehrerer trennkammern |
| US4960579A (en) * | 1988-04-01 | 1990-10-02 | Union Carbide Corporation | Membrane process and system for nitrogen production |
| US4894068A (en) * | 1988-12-27 | 1990-01-16 | Permea, Inc. | Process for capturing nitrogen from air using gas separation membranes |
| US4931070A (en) * | 1989-05-12 | 1990-06-05 | Union Carbide Corporation | Process and system for the production of dry, high purity nitrogen |
| US5069692A (en) * | 1989-12-11 | 1991-12-03 | Sundstrand Corporation | Fully integrated inert gas and oxidizer replenishment system |
| US5169415A (en) * | 1990-08-31 | 1992-12-08 | Sundstrand Corporation | Method of generating oxygen from an air stream |
| US5102432A (en) * | 1990-12-10 | 1992-04-07 | Union Carbide Industrial Gases Technology Corporation | Three-stage membrane gas separation process and system |
| US5207806A (en) * | 1991-10-08 | 1993-05-04 | Praxair Technology, Inc. | Dual product pressure swing adsorption and membrane operations |
| US5163978A (en) * | 1991-10-08 | 1992-11-17 | Praxair Technology, Inc. | Dual product pressure swing adsorption process and system |
| US5169412A (en) * | 1991-11-20 | 1992-12-08 | Praxair Technology Inc. | Membrane air drying and separation operations |
| US5290341A (en) * | 1992-08-26 | 1994-03-01 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Fast response membrane generator using heat accumulation |
| US5378263A (en) * | 1992-12-21 | 1995-01-03 | Praxair Technology, Inc. | High purity membrane nitrogen |
| US5730780A (en) * | 1993-10-15 | 1998-03-24 | Opus Services, Inc. | Method for capturing nitrogen from air using gas separation membrane |
| FR2712821B1 (fr) * | 1993-11-26 | 1995-12-22 | Air Liquide | Procédé et installation de fourniture d'azote au moyen de membranes semi-perméables utilisant une géométrie membranaire variable. |
| FR2745199B1 (fr) * | 1996-02-28 | 2002-03-29 | Air Liquide | Procede et installation de separation d'air par permeation, pour la production d'azote |
| US5827351A (en) * | 1997-02-14 | 1998-10-27 | Praxair Technology, Inc. | Air separation system and method |
-
1997
- 1997-06-17 FR FR9707507A patent/FR2764523B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-04-24 EP EP98922860A patent/EP0989899A1/fr not_active Withdrawn
- 1998-04-24 JP JP50385899A patent/JP2002511020A/ja active Pending
- 1998-04-24 US US09/423,296 patent/US6293997B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-04-24 AU AU75349/98A patent/AU7534998A/en not_active Abandoned
- 1998-04-24 WO PCT/FR1998/000822 patent/WO1998057729A1/fr not_active Application Discontinuation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0596268A1 (fr) * | 1992-10-06 | 1994-05-11 | Praxair Technology, Inc. | Procédé à membrane pour l'obtention de puretés multiples |
| EP0635456A1 (fr) * | 1993-07-22 | 1995-01-25 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Procédé de fourniture d'azote au moyen de membranes semi-perméables ou de séparateurs de gaz par adsorption |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6293997B1 (en) | 2001-09-25 |
| FR2764523A1 (fr) | 1998-12-18 |
| JP2002511020A (ja) | 2002-04-09 |
| FR2764523B1 (fr) | 1999-07-16 |
| EP0989899A1 (fr) | 2000-04-05 |
| AU7534998A (en) | 1999-01-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1890961B1 (fr) | Procede pour la production simultanee d'hydrogene et de monoxyde de carbone | |
| EP0465298B1 (fr) | Procédé et installation de production d'un composant gazeux à partir d'un mélange gazeux | |
| EP1223395A1 (fr) | Procédé intégré de séparation d'air et de génération d'énergie et installation pour la mise en oeuvre d'un tel procédé | |
| EP0644153B1 (fr) | Procédé de séparation du silane à l'aide d'une membrane | |
| FR2788112A1 (fr) | Appareil de type torchere et procede pour la combustion de gaz | |
| FR2969175A1 (fr) | Procede d'operation d'une installation de haut fourneau avec recyclage de gaz de gueulard | |
| CA2188988A1 (fr) | Procede et installation de production d'hydrogene et d'energie | |
| EP1004343B1 (fr) | Procédé de séparation par absorption modulée en pression d'un mélange de gaz | |
| EP0519783A1 (fr) | Procédé et dispositif de fourniture de gaz à un analyseur à haute sensibilité | |
| EP1702177A1 (fr) | Procede de combustion etagee avec injection optimisee de l'oxydant primaire | |
| WO1998057729A1 (fr) | Procede et dispositif de fourniture de plusieurs gaz de travail, et son application a une installation d'assemblage de composants electroniques | |
| EP1618334A1 (fr) | PROCEDE DE COMBUSTION ETAGEE D UN COMBUSTIBLE LIQUIDE ET D&a pos;UN OXYDANT DANS UN FOUR | |
| US6432372B2 (en) | Method and apparatus for preventing reactive vapor backstreaming and backstreaming induced deposition | |
| FR2640728A1 (fr) | Procede et appareil de reduction de la formation d'oxydes d'azote pendant une combustion | |
| CA2086232C (fr) | Procede de production de soufre a partir d'au moins un gaz acide renfermant de l'hydrogene sulfure et d'un effluent combustible et reacteur thermique | |
| JPS6387519A (ja) | 半導体製造装置の排ガス燃焼方法 | |
| FR3015636A1 (fr) | Combustion avec recuperation de chaleur amelioree | |
| EP0384834A1 (fr) | Procédé de métallisation de céramiques et appareil pour sa mise en oeuvre | |
| EP1335789B1 (fr) | Procede d'oxydation partielle d'un flux de gaz comprenant du sulfure d'hydrogene et de l'ammoniac | |
| EP0375491B1 (fr) | Procédé et installation de traitement thermique de cémentation, carbonitruration ou chauffage avant trempe de pièces métalliques | |
| FR3030689A1 (fr) | Oxy-bruleur pour gaz combustible a bas pouvoir calorifique et son utilisation | |
| US6436353B1 (en) | Gas recovering apparatus | |
| EP0809067B1 (fr) | Procédé de réduction, par recombustion des oxydes d'azote contenus dans les fumées issues d'une combustion primaire réalisée dans un four, et installation pour sa mise en oeuvre. | |
| EP1797963A1 (fr) | Chambre de mélange et dispositif de pulvérisation comportant une telle chambre | |
| EP3844102A1 (fr) | Procédé de production d'un gaz de synthèse par traitement d'un flux gazeux contenant du co2 et un ou plusieurs hydrocarbures |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY CA CH CN CU CZ DE DK EE ES FI GB GE GH GM GW HU ID IL IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MD MG MK MN MW MX NO NZ PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TR TT UA UG US UZ VN YU ZW |
|
| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): GH GM KE LS MW SD SZ UG ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE BF BJ CF CG CI CM GA GN ML MR NE SN TD TG |
|
| DFPE | Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101) | ||
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| REG | Reference to national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: 8642 |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 09423296 Country of ref document: US |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 1998922860 Country of ref document: EP |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: CA |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: JP Ref document number: 1999503858 Format of ref document f/p: F |
|
| WWP | Wipo information: published in national office |
Ref document number: 1998922860 Country of ref document: EP |
|
| WWW | Wipo information: withdrawn in national office |
Ref document number: 1998922860 Country of ref document: EP |