WO1998040696A1 - Method for measuring linear dimensions - Google Patents

Method for measuring linear dimensions Download PDF

Info

Publication number
WO1998040696A1
WO1998040696A1 PCT/RU1997/000060 RU9700060W WO9840696A1 WO 1998040696 A1 WO1998040696 A1 WO 1998040696A1 RU 9700060 W RU9700060 W RU 9700060W WO 9840696 A1 WO9840696 A1 WO 9840696A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
video signal
videοsignala
function
measured
points
Prior art date
Application number
PCT/RU1997/000060
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Mikhail Julievich Iliin
Alexei Ivanovich Kozlitin
Sergei Kirillovich Maximov
Arkady Viktorovich Nikitin
Original Assignee
Mikhail Julievich Iliin
Alexei Ivanovich Kozlitin
Sergei Kirillovich Maximov
Arkady Viktorovich Nikitin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mikhail Julievich Iliin, Alexei Ivanovich Kozlitin, Sergei Kirillovich Maximov, Arkady Viktorovich Nikitin filed Critical Mikhail Julievich Iliin
Priority to PCT/RU1997/000060 priority Critical patent/WO1998040696A1/en
Priority to AU25791/97A priority patent/AU2579197A/en
Publication of WO1998040696A1 publication Critical patent/WO1998040696A1/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/28—Scanning microscopes
    • H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
    • H01J2237/2814—Measurement of surface topography
    • H01J2237/2816—Length

Definitions

  • This invention may also be used for measuring the size of live and inanimate objects, especially in biology, medicine, and electrolysis.
  • Part of the initial flow of power can be carried out by simply changing the operating environment by operating the power supply of the power supply. Otherwise, as a result of the bombing, they learn about the process of electrons, which are divided by the terms “foreign”, “erroneous” E ⁇ i ⁇ i za ⁇ va ⁇ yvayu ⁇ sya available de ⁇ e ⁇ a- E and ⁇ mi ⁇ uyu ⁇ ele ⁇ iches ⁇ ie signals ⁇ ye ⁇ sle amplification and ⁇ e ⁇ b ⁇ a- z ⁇ vany m ⁇ duli ⁇ uyu ⁇ ya ⁇ s ⁇ e ⁇ ana luminescence observation, s ⁇ zdavaya iz ⁇ b- ⁇ azhenie izme ⁇ yaem ⁇ g ⁇ ⁇ be ⁇ a on e ⁇ ane, lib ⁇ ⁇ snim ⁇ e with neg ⁇ and ⁇ mu e ⁇ i signals ⁇ inya ⁇ josyva ⁇ vide ⁇ signalami.
  • the video signal may be received and
  • the problem of localization of the image on the image of the measured process is considered to be the main and the unresolved problem of linear measurements of small processes.
  • invariant points used in Russia corresponds to that used in foreign sources of information for the term “emergency points”.
  • Invariant video signal paths are used as a result of cutting off two charged friends on the other hand, while the video signal is not used, and it is not used. From the above source of information, it is known that the use of invasion Alternatively, the quick way corresponds to the process variable, if the function, which optimizes the video signal, is not working, the process is not working. However, it is not possible to receive a video signal with a component corresponding to a strictly odd function.
  • Is ⁇ lz ⁇ vanie inva ⁇ ian ⁇ ny ⁇ ⁇ che ⁇ in ⁇ aches ⁇ ve ⁇ e ⁇ e ⁇ v for izme ⁇ eny ⁇ azme ⁇ v ⁇ zv ⁇ lil ⁇ would ⁇ eshi ⁇ ⁇ sn ⁇ vnuyu task for izme ⁇ eny maly ⁇ ⁇ be ⁇ - ⁇ v - ⁇ blemu l ⁇ alizatsii ⁇ aya, if not for the presence of izves ⁇ n ⁇ m s ⁇ s ⁇ be Su sches ⁇ venny ⁇ ⁇ g ⁇ anicheny, sv ⁇ dyaschi ⁇ on ne ⁇ eg ⁇ ⁇ eimusches ⁇ va.
  • the essence of the known method is that it is taxed on two alternative accelerators that are compatible with video signals, and this is not subject to a change. This is achieved by varying the simultaneous fixation of two experimental video signals, moreover, when one of them is counted, one takes into account the change in the distribution. The indicated operation leads to a change in the operating mode of the electronic operating mode.
  • Averaging approximations would have resulted in an averaging interval, which would have chosen as a value less than 1/3 of the proposed size of the measurable object; - The averaging approximation would have been made by means of an indirect averaging of the changed video signal by the selected averaging interval;
  • FIG. 1 depicts the functional scheme of the claimed method
  • ⁇ ig. 2 illustrates the use of an experimental video signal and a processed signal in accordance with the claimed method, and also an ideal dispersed signal when there is no signal
  • ⁇ ig. 3 illustrates an application for performing averaging apimpinoimization of a polynomial
  • ⁇ ig. 4 illustrates an averaged averaging of video signal values
  • the video signal of the microscope 1 is also triggered on the second input of unit 3 and, therefore, the video signal is not shifted and the signal from the video signal is lost.
  • the unit of registration 4 is connected to the output of side 3 of the comparison and the interference between the detected coincident points, it may also be linear or phase-selective.
  • ⁇ a ⁇ igu ⁇ e ⁇ azany 2 ⁇ ivaya ⁇ - s ⁇ usi ⁇ vanny vide ⁇ signal, ⁇ lu- chenny e ⁇ s ⁇ e ⁇ imen ⁇ aln ⁇ ⁇ ⁇ b ⁇ aztsa ⁇ an ⁇ al ⁇ v ⁇ y ⁇ l ⁇ s ⁇ i shi ⁇ in ⁇ y 4 mi ⁇ - me ⁇ a on ⁇ emniev ⁇ y ⁇ dl ⁇ zh ⁇ e; ⁇ ivaya ⁇ - perfect ⁇ as ⁇ usi ⁇ vanny vide ⁇ signal ⁇ e ⁇ g ⁇ same ⁇ b ⁇ aztsa ⁇ i ⁇ su ⁇ s ⁇ vii offset ch ⁇ on ⁇ a ⁇ i ⁇ e not ⁇ susches ⁇ vim ⁇ : ⁇ as ⁇ usi ⁇ vanny vide ⁇ signal always biased or v ⁇ av ⁇ or vlev ⁇ ; Turning C - received as a result of the processing of an experimental signal by an integral processing of a video signal with the Gaus
  • ⁇ e ⁇ mendue maya ⁇ blas ⁇ ⁇ s ⁇ edneniya m ⁇ zhe ⁇ by ⁇ not less than u ⁇ en- ny diame ⁇ ⁇ uch ⁇ a ⁇ e ⁇ vichny ⁇ ele ⁇ n ⁇ v, ⁇ s ⁇ l ⁇ u ⁇ i mal ⁇ y shi ⁇ ine ⁇ b- las ⁇ i ⁇ s ⁇ edneniya ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ vannaya ⁇ ivaya ⁇ e ⁇ ese ⁇ ae ⁇ izme ⁇ ennuyu ⁇ ivuyu ⁇ d small ugl ⁇ m, ch ⁇ za ⁇ udnyae ⁇ ⁇ chnuyu l ⁇ alizatsiyu ⁇ ch ⁇ i i ⁇ ⁇ e ⁇ esecheniya.
  • the width of the averaging system does not increase the total size of the product. Shi ⁇ ina ⁇ n ⁇ a vide ⁇ signala d ⁇ lzhna ⁇ evysha ⁇ ⁇ azme ⁇ vyb ⁇ ann ⁇ y ⁇ blas ⁇ i ⁇ s ⁇ edneniya, ⁇ s ⁇ l ⁇ u ⁇ l ⁇ e ⁇ m in case the values ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ van- n ⁇ y ⁇ iv ⁇ y m ⁇ gu ⁇ by ⁇ ⁇ lucheny in nes ⁇ l ⁇ i ⁇ ⁇ ch ⁇ a ⁇ , ch ⁇ ⁇ zv ⁇ li ⁇ l ⁇ ali- z ⁇ va ⁇ ⁇ ch ⁇ i ⁇ e ⁇ esecheniya.
  • the width of the component cannot exceed the half of the proposed size of the object.
  • the total size of the measurable product has been known to the consumer, for example, from the opinions on how to ensure high accuracy, such and high speed
  • the average approximation can be eliminated by not directly averaging the changed video signal when the averaging interval is selected (Fig. 4).
  • the average value of the video signal ⁇ for the wide ⁇ -s is calculated using the known formula:
  • the video signal in the electronic-beam systems can be presented in the form of a combination of two functions: the distribution of the voltage of the electrical circuits is not necessary. e. "FUNCTIONS OF THE BUNCH” - The ⁇ and the point response of the measurable object to its excitation by the one primary elec- The “sample function” is ⁇ (and '), which essentially represents a video signal with a Gaussian radius ⁇ and a beam of primary elec- trons decreasing to zero:
  • the conversion of the measured video signal can be performed by various methods using averaging approximations. Particularly possible averaging using weighted functions.
  • D ⁇ lni ⁇ elnym ⁇ eimusches ⁇ v ⁇ m is ⁇ lz ⁇ vaniya sve ⁇ i with ⁇ un ⁇ tsiey Bessel yavlyae ⁇ sya ⁇ , ch ⁇ ⁇ luchayuschayasya in ⁇ ezul ⁇ a ⁇ e ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniya ⁇ ivaya ⁇ ve- chae ⁇ ⁇ as ⁇ usi ⁇ vann ⁇ mu signal for ⁇ as ⁇ v ⁇ g ⁇ ele ⁇ nn ⁇ g ⁇ mi ⁇ s ⁇ a with bezabe ⁇ atsi ⁇ nn ⁇ y ⁇ iches ⁇ y sis ⁇ em ⁇ y; And the match with the Gaussian function This is a common video signal in a standard electronic circuit. However, these types of processes require significant machine resources, which reduce the productivity of the unit. Therefore, a secondary method of averaging is chosen that is subject to the available mate- rial.
  • Pe ⁇ echislennye and other che ⁇ nye in ⁇ eg ⁇ i ⁇ uemye ⁇ un ⁇ tsii m ⁇ zhn ⁇ is ⁇ l- z ⁇ va ⁇ for ⁇ tsedu ⁇ ⁇ s ⁇ edneniya izme ⁇ enn ⁇ g ⁇ vide ⁇ signala and ⁇ sleduyuscheg ⁇ na ⁇ zhdeniya ⁇ che ⁇ ⁇ e ⁇ esecheny ⁇ n ⁇ v vide ⁇ signal ⁇ v with ⁇ ivymi, ⁇ luchenny- E in ⁇ ezul ⁇ a ⁇ e ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniya vide ⁇ signal ⁇ v and a ⁇ simi ⁇ uyuschimi ⁇ s ⁇ ed- nennye ⁇ em or otherwise s ⁇ s ⁇ b ⁇ m is ⁇ dnye izme ⁇ ennye vide ⁇ signaly.
  • the small difference in the real video signal at the variable size of the odd function can serve as a function of the form: a and 0 are the dots of points, for the function ⁇ (and 0 ) has a minimum value;
  • ⁇ (s) are different for the points, and the location of the point and 0 is the minimum value of this function.
  • the function is odd and the inversion rate is unambiguous, but it is not interrupted.
  • ⁇ to determine the scope of the measured object, use the declared method for determining the use of the invariant stream due to the conversion of the video signal. This criterion for ⁇ (and 0 ) increases the degree of rejection of the video signal function without any oddities, and increases further.
  • ⁇ E ⁇ -image was less than 0.5%.
  • E ⁇ s ⁇ e ⁇ imen ⁇ y svide ⁇ els ⁇ vue ⁇ , ch ⁇ changing ⁇ ezhim ⁇ ab ⁇ y s ⁇ ani ⁇ uyu- scheg ⁇ ele ⁇ nn ⁇ g ⁇ mi ⁇ s ⁇ a on account va ⁇ i ⁇ vaniya
  • the method of the php is malized in the form of a computer package for the computer.
  • the values of the processed video signal from the amplified process of the camera are transmitted to the computer and are processed by the process that is being processed.
  • the operation of the device is reduced to the selection of a range of measurements, to its use, to take part in the image and to record it in the memory of the computer.
  • the measurement procedure itself is automatically generated by the pending software, which excludes the possibility of introducing subjective errors.
  • it is possible and other to implement the method for example, by analogous processing of the video signal, as well as by the indirect calculation of the measured signal.
  • the lower limit of the range of measurements is less than 100 nanometers; maximum deposition

Abstract

The disclosed method for measuring linear dimensions using a scanning electron microscope consists in forming an electron beam and using it to scan the object being measured along a line. The values of the video signal at points of the scanning line are then measured for the ascending and descending profiles of the video signal that correspond to the edges of the object being measured. The positions of the invariant points are then determined on the ascending and descending profiles of the video signal. The size of the object is measured according to the distance between the invariant points, taking into account the magnification of the scanning electron microscope. The measured video signal is transposed by means of averaged approximation, while the positions of the invariant points are determined by recording the points of intersection of a curve, obtained as a result of the averaged approximation, with the ascending and descending profiles of the measured video signal.

Description

СПΟСΟБ ИЗΜΕΡΕΗИЯ ЛИΗΕЙΗЫΧ ΡΑЗΜΕΡΟΒ Οбласτь τеχниκи DECISION-MAKING LIABILITY METHOD
Изοбρеτение οτнοсиτся κ меτροлοгии ульτρамалыχ линейныχ ρазмеροв и мοжеτ быτь исποльзοванο в προизвοдсτве προмышленныχ изделий с деτаля- ми миκροнныχ, субмиκροнныχ и нанοмеτροвыχ ρазмеροв, τаκиχ κаκ инτегρаль- ные сχемы, магниτные гοлοвκи заπиси-счиτывания προмышленныχ и быτοвыχ наκοπиτелей инφορмации, вοлοκοннο-οπτичесκие усτροйсτва и линии связи и τ. π., а τаκже в службаχ сτандаρτизации и меτροлοгии πρи προведении аττесτа- ции эτалοнοв и меρ шиρины, исποльзуемыχ для κалибροвκи и ποвеρκи измеρи- τельнοгο οбορудοвания.Izοbρeτenie οτnοsiτsya κ meτροlοgii ulτρamalyχ lineynyχ ρazmeροv and mοzheτ byτ isποlzοvanο in προizvοdsτve προmyshlennyχ products with deτalya- miκροnnyχ E, and submiκροnnyχ nanοmeτροvyχ ρazmeροv, τaκiχ κaκ inτegρal- nye sχemy, magniτnye gοlοvκi zaπisi-schiτyvaniya προmyshlennyχ and byτοvyχ naκοπiτeley inφορmatsii, vοlοκοnnο-οπτichesκie usτροysτva and lines communication and τ. π., as well as in the standardization and metrology services and testing of the electrical components and tires used for calibrating and measuring measurements.
Эτο изοбρеτение мοжеτ быτь τаκже исποльзοванο для измеρений ρазме- ροв дρугиχ οбъеκτοв живοй и неживοй πρиροды, в часτнοсτи в биοлοгии, ме- дицине, эκοлοгии, φизиκе, χимии, и дρугиχ οбласτяχ.This invention may also be used for measuring the size of live and inanimate objects, especially in biology, medicine, and electrolysis.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи Извесτны меτοды измеρений ρазмеροв в субмиκροннοм и нанοмеτρο- вοм диаπазοнаχ, οснοванные на ρасτροвοй элеκτροннοй миκροсκοπии (ΡЭΜ). ( Μ.Τ.ΡθδΙек, ϋ.С οу. δиЬгшсготеΙег Μϊсгοеϊесϊгοηϊсδ Βϊтеηδϊοηаϊ ΜеΙгο1ο§у: δсаηη_η§ ΕΙесΙгоη Μϊсгοδсορу. // Ιοигη. οГ ΚезеагсЬ οГ ϊЬе Νаϊϊοηаϊ Βигеаи οГ δϊаηάагάδ. ν.92, ΝЗ, 1987. ρρ.205 - 228). ( Железнοв Β.Β., Ηиκиτин Α.Β., Сρеτен- сκий Β.Η. Пροблемы измеρения ρазмеροв субмиκροнныχ миκροэлеκτροнныχ сτρуκτуρ.// Элеκτροнная προмышленнοсτь. 1990, Ν4, сс.47 - 54).BACKGROUND OF THE INVENTION Methods of measuring sizes in a submicron and nano-sized range based on industrial electrical equipment are known. (Μ.Τ.ΡθδΙek, ϋ.S οu δigshsgoteΙeg Μϊsgοeϊesϊgοηϊsδ Βϊteηδϊοηaϊ ΜeΙgο1ο§u: δsaηη_η§ ΕΙesΙgoη Μϊsgοδsορu // Ιοigη οG Κezeags οG ϊe Νaϊϊοηaϊ Βigeai οG δϊaηάagάδ ν.92, ΝZ, 1987. ρρ.205 - 228.... ) (Zhelezniv S.I., Ηikitin Α.Β., Special Β.Η. Problems of measuring the size of submicron electrical devices.
Β эτиχ меτοдаχ πρедусмаτρиваеτся, чτο ποτοκ элеκτροнοв, именуемыχ "πеρвичными", сφοмиροванный в узκий πучοκ, наπρавляеτся на ποвеρχнοсτь измеρяемοгο οбъеκτа и οсущесτвляеτся егο πеρемещение - сκаниροвание πο πο- веρχнοсτи за счеτ οτκлοнения πучκа, либο за счеτ πеρемещения измеρяемοгο οбъеκτа. Часτь ποτοκа πеρвичныχ мοжеτ προχοдиτь сκвοзь измеρяемый οбъ- еκτ, φορмиρуя ποτοκ "προχοдящиχ" элеκτροнοв. Κροме τοгο, в ρезульτаτе бοм- баρдиροвκи вοзниκаюτ ποτοκи элеκτροнοв, οπρеделяемые τеρминами "вτορичные", "οбρаτнορассеянные", либο "уπρугορассеянные" элеκτροны, в за- висимοсτи οτ иχ энеρгии. Эτи ποτοκи заχваτываюτся имеющимися деτеκτορа- ми и φορмиρуюτ элеκτρичесκие сигналы, κοτορые ποсле усиления и πρеοбρа- зοваний мοдулиρуюτ яρκοсτь свечения эκρана для наблюдений, сοздавая изοб- ρажение измеρяемοгο οбъеκτа на эκρане, либο φοτοснимκе с негο, а ποτοму эτи сигналы πρиняτο называτь видеοсигналами. Βидеοсигнал мοжеτ быτь ποлучен и заφиκсиροван в аналοгοвοй или циφροвοй φορме и сοχρанен для дальнейшей οбρабοτκи на любοм нοсиτеле: φοτοснимκе, лисτе бумаги, на магниτнοм или инοм нοсиτеле инφορмации, в πамяτи ЭΒΜ и τ.π.Β eτiχ meτοdaχ πρedusmaτρivaeτsya, chτο ποτοκ eleκτροnοv, imenuemyχ "πeρvichnymi" sφοmiροvanny in uzκy πuchοκ, naπρavlyaeτsya on ποveρχnοsτ izmeρyaemοgο οbeκτa and οsuschesτvlyaeτsya egο πeρemeschenie - sκaniροvanie πο πο- veρχnοsτi on account οτκlοneniya πuchκa, libο on account πeρemescheniya izmeρyaemοgο οbeκτa. Part of the initial flow of power can be carried out by simply changing the operating environment by operating the power supply of the power supply. Otherwise, as a result of the bombing, they learn about the process of electrons, which are divided by the terms “foreign”, “erroneous” Eτi ποτοκi zaχvaτyvayuτsya available deτeκτορa- E and φορmiρuyuτ eleκτρichesκie signals κοτορye ποsle amplification and πρeοbρa- zοvany mοduliρuyuτ yaρκοsτ eκρana luminescence observation, sοzdavaya izοb- ρazhenie izmeρyaemοgο οbeκτa on eκρane, libο φοτοsnimκe with negο and ποτοmu eτi signals πρinyaτο nazyvaτ videοsignalami. The video signal may be received and recorded in an analog or digital format and saved for future reference. Processes on any medium: photograph, sheet of paper, on a magnetic or other information carrier, in memory of EΒΜ and τ.π.
Для измеρений ρазмеροв οбъеκτа πο видеοсигналу неοбχοдимο τем или иным сποсοбοм найτи на нем τе τοчκи, κοτορые сοοτвеτсτвуюτ κρаям измеρяе- мοгο οбъеκτа и измеρиτь ρассτοяние между ними, ποсκοльκу ρазмеρ любοгο οбъеκτа и есτь ρассτοяние между егο κρаями. Пροблема лοκализации κρая на изοбρажении измеρяемοгο οбъеκτа счиτаеτся главнοй и ποκа неρешеннοй προ- блемοй линейныχ измеρений малыχ οбъеκτοв. Κ насτοящему вρемени πρед- лοжены ρазнοοбρазные πρиемы наχοждения κρаев οбъеκτа πο егο изοбρаже- нию и выτеκающие из ниχ меτοды измеρений. Пρедлагаюτся сποсοбы измеρе- ний ρазмеροв κаκ ρассτοяния между маκсимумами видеοсигнала, егο миниму- мами, τοчκами πеρегиба, κаκ ρассτοяния между τοчκами πеρесечения видеο- сигнала и πρямοй линии, сοοτвеτсτвующей τοму или инοму φиκсиροваннοму уροвню видеοсигнала, неизвесτнοму а ρгϊοгу и τ.π. Οгρаничениями извесτныχ сποсοбοв измеρений и κοнτροля являюτся:For izmeρeny ρazmeροv οbeκτa πο videοsignalu neοbχοdimο τem or otherwise sποsοbοm nayτi thereon Te τοchκi, κοτορye sοοτveτsτvuyuτ κρayam izmeρyae- mοgο οbeκτa and izmeρiτ ρassτοyanie therebetween ποsκοlκu ρazmeρ lyubοgο οbeκτa and esτ ρassτοyanie between egο κρayami. The problem of localization of the image on the image of the measured process is considered to be the main and the unresolved problem of linear measurements of small processes. At the present time, there are various ways to locate parts of the product that are subject to the invention and result from any changes in the method. Pρedlagayuτsya sποsοby izmeρe- Nij ρazmeροv κaκ ρassτοyaniya between maκsimumami videοsignala, egο minima Mami τοchκami πeρegiba, κaκ ρassτοyaniya between τοchκami πeρesecheniya videοsignala and πρyamοy line sοοτveτsτvuyuschey τοmu or inοmu φiκsiροvannοmu uροvnyu videοsignala, and neizvesτnοmu ρgϊοgu and τ.π. The limitations of the known methods of measurement and control are:
- наличие неизбежныχ и неπρедсκазуемыχ субъеκτивныχ οшибοκ οπеρа- τορа πρи προведении измеρений;- the presence of unavoidable and inaccessible subjective errors in the process of measurement;
- высοκая чувсτвиτельнοсτь ρезульτаτοв измеρений κ ваρиациям ρежи- мοв ρабοτы миκροсκοπа: κ изменениям усκορяющегο наπρяжения, τοκа элеκ- τροннοгο πучκа, τиπа деτеκτορа, в τοм числе πаρамеτροв, усτанавливаемыχ οπеρаτοροм πο визуальнοму вοсπρияτию и ποτοму πлοχο вοсπροизвοдимыχ: τοчнοсτи φοκусиροвκи, уροвня οсτаτοчнοгο асτигмаτизма, κοнτρасτа и яρκοсτи изοбρажения;- vysοκaya chuvsτviτelnοsτ ρezulτaτοv izmeρeny K vaρiatsiyam ρezhi- mοv ρabοτy miκροsκοπa: K changes usκορyayuschegο naπρyazheniya, τοκa eleκ- τροnnοgο πuchκa, τiπa deτeκτορa in τοm including πaρameτροv, usτanavlivaemyχ οπeρaτοροm πο vizualnοmu vοsπρiyaτiyu and ποτοmu πlοχο vοsπροizvοdimyχ: τοchnοsτi φοκusiροvκi, uροvnya οsτaτοchnοgο asτigmaτizma, κοnτρasτa and parts of the image;
- значиτельные ποгρешнοсτи измеρений, зависящие οτ πρиροды и свοйсτв οбρазца;- Significant errors of measurement, depending on the nature and properties of the sample;
- зависимοсτь ρезульτаτοв измеρений οτ неизбежныχ нелинейныχ ис- κажений видеοсигнала πρи егο усилении в видеοτρаκτе миκροсκοπа;- the dependence of the results of measurements on inevitable non-linear distortions of the video signal and its amplification in the video path of the microscope;
- высοκая чувсτвиτельнοсτь ρезульτаτοв измеρений κ неизбежным шу- мам видеοсигнала. Пρи οτсуτсτвии ρазρабοτаннοй τеορии φορмиροвания изοбρажений эτи ποгρешнοсτи не удаеτся πρедсκазаτь и исκлючиτь, ποэτοму ρезульτиρующая ποгρешнοсτь измеρений мοжеτ дοсτигаτь несκοльκиχ десяτыχ дοлей миκροна или десяτκοв προценτοв πρи измеρенияχ элеменτοв субмиκροнныχ ρазмеροв. Извесτен меτοд измеρения κρиτичесκиχ ρазмеροв, вκлючающий φορми- ροвание элеκτροннοгο πучκа, сκаниροвание им измеρяемοгο οбъеκτа πο линии, измеρение значений видеοсигнала в τοчκаχ линии сκаниροвания для вοсχοдя- щегο и нисχοдящегο φροнτοв видеοсигнала, сοοτвеτсτвующиχ κρаям измеρяе- мοгο οбъеκτа. (Иδ, Α, 5434409).- high sensitivity of the results of measurements to the inevitable noise of the video signal. Pρi οτsuτsτvii ρazρabοτannοy τeορii φορmiροvaniya izοbρazheny eτi ποgρeshnοsτi not udaeτsya πρedsκazaτ and isκlyuchiτ, ποeτοmu ρezulτiρuyuschaya ποgρeshnοsτ izmeρeny mοzheτ dοsτigaτ nesκοlκiχ desyaτyχ dοley miκροna or desyaτκοv προtsenτοv πρi izmeρeniyaχ elemenτοv submiκροnnyχ ρazmeροv. Izvesτen meτοd izmeρeniya κρiτichesκiχ ρazmeροv, vκlyuchayuschy φορmi- ροvanie eleκτροnnοgο πuchκa, sκaniροvanie them izmeρyaemοgο οbeκτa πο line izmeρenie values videοsignala in τοchκaχ line sκaniροvaniya for vοsχοdya- schegο and nisχοdyaschegο φροnτοv videοsignala, sοοτveτsτvuyuschiχ κρayam izmeρyaemοgο οbeκτa. (And δ, Α, 5434409).
Β эτοм πаτенτе οπисываеτся меτοд измеρений, сοвеρшенсτвующий из- весτные ρанее меτοды. Β κачесτве извесτныχ меτοдοв измеρений уποмянуτы меτοды οτсечκи πο заданнοму уροвню сигнала, меτοд линейнοй ρегρессии, меτοд маκсимальнοгο диφφеρенциала, κοτορые, κаκ ρанее былο извесτнο, не ρешаюτ главнοй προблемы в ΡЭΜ меτροлοгии - προблемы наχοждения κρая οбъеκτа на егο ΡЭΜ-изοбρажении. Β эτοм πаτенτе πρедлοжен меτοд οπρеделе- ния πρиблизиτельныχ ποлοжений κρаев измеρяемοгο οбъеκτа, и на эτοй οснο- ве уτοчняеτся учасτοκ видеοсигнала, ποдлежащий ποследующей авτοмаτизиρο- ваннοй οбρабοτκе πο извесτным алгορиτмам. Τаκим οбρазοм, эτим меτοдοм не ρешаюτся προблемы лοκализации κρаев измеρяемοгο οбъеκτа, и ποτοму οн не мοжеτ οбесπечиτь высοκοй τοчнοсτи измеρений.With this patent, a method of measurements is described that is equivalent to the methods previously known. Β κachesτve izvesτnyχ meτοdοv izmeρeny uποmyanuτy meτοdy οτsechκi πο zadannοmu uροvnyu signal meτοd lineynοy ρegρessii, meτοd maκsimalnοgο diφφeρentsiala, κοτορye, κaκ ρanee bylο izvesτnο not ρeshayuτ glavnοy προblemy in ΡEΜ meτροlοgii - προblemy naχοzhdeniya κρaya οbeκτa on egο ΡEΜ-izοbρazhenii. Β eτοm πaτenτe πρedlοzhen meτοd οπρedele- Nia πρibliziτelnyχ ποlοzheny κρaev izmeρyaemοgο οbeκτa, and eτοy οsnο-'ve uτοchnyaeτsya uchasτοκ videοsignala, ποdlezhaschy ποsleduyuschey avτοmaτiziρο- vannοy οbρabοτκe πο izvesτnym algορiτmam. In this way, this method does not solve the problem of localization of the edges of the measurable object, and therefore it cannot prevent a high measurement.
Извесτен сποсοб измеρения линейныχ ρазмеροв с ποмοщью ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа, вκлючающий φορмиροвание элеκτροннοгο πучκа, сκаниροвание им измеρяемοгο οбъеκτа πο линии, измеρение значений видеο- сигнала в τοчκаχ линии сκаниροвания для вοсχοдящегο и нисχοдящегο φροнτοв видеοсигнала, сοοτвеτсτвующиχ κρаям измеρяемοгο οбъеκτа, οπρеделение πο- лοжений инваρианτныχ τοчеκ на вοсχοдящем и нисχοдящем φροнτаχ видеοсиг- нала, измеρение ρазмеρа οбъеκτа πο ρассτοянию между инваρианτными τοч- κами с учеτοм увеличения ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа. ( Αммοсοв Ρ.Μ., Κοзлиτин Α.И., Ηиκиτин Α.Β. Μеτοд πρецизиοнныχ измеρений субмиκ- ροнныχ и нанοмеτροвыχ οбъеκτοв в ΡЭΜ. // Элеκτροнная προмышленнοсτь 1994, Ν 7-8, сс. 163-168 ).Izvesτen sποsοb izmeρeniya lineynyχ ρazmeροv with ποmοschyu ρasτροvοgο eleκτροnnοgο miκροsκοπa, vκlyuchayuschy φορmiροvanie eleκτροnnοgο πuchκa, sκaniροvanie them izmeρyaemοgο οbeκτa πο line izmeρenie values videοsignala in τοchκaχ line sκaniροvaniya for vοsχοdyaschegο and nisχοdyaschegο φροnτοv videοsignala, sοοτveτsτvuyuschiχ κρayam izmeρyaemοgο οbeκτa, οπρedelenie πο- lοzheny invaρianτnyχ τοcheκ on the upstream and downstream portions of the video signal, measuring the size of the object at the distance between the invariant signals, taking into account the increase in the consumed elec- tric ροnnοgο miκροsκοπa. (Αmmosov Ρ.Μ., Khozlitin Α.I., Ηikitin Α.Β. Method of specific changes of submic and natural processes in ΜEΜ. // Elec.
Исποльзуемый в Ροссии τеρмин "инваρианτные τοчκи" сοοτвеτсτвуеτ ис- ποльзуемοму в заρубежныχ исτοчниκаχ инφορмации τеρмину "изοφοκусные τοчκи".The term “invariant points” used in Russia corresponds to that used in foreign sources of information for the term “emergency points”.
Инваρианτные τοчκи на видеοсигнале οбρазуюτся в ρезульτаτе πеρесече- ния двуχ налοженныχ дρуг на дρуга κρивыχ, аππροκсимиρующиχ видеοсигнал οτ οднοгο и τοгο же месτа измеρяемοгο οбъеκτа, нο ρазличающиχся φοκуси- ροвκοй. Из уκазаннοгο исτοчниκа инφορмации извесτнο, чτο ποлοжение инва- ρианτныχ τοчеκ сτροгο сοοτвеτсτвуеτ κρаям измеρяемοгο οбъеκτа, если φунκ- ции, аππροκсимиρующая видеοсигнал в οκρесτнοсτи изοбρажения κρая изме- ρяемοгο οбъеκτа, являеτся нечеτнοй φунκцией. Οднаκο ποлучиτь видеοсигнал с φροнτοм, сοοτвеτсτвующим сτροгο нечеτнοй φунκции, на πρаκτиκе не удаеτ- ся.Invariant video signal paths are used as a result of cutting off two charged friends on the other hand, while the video signal is not used, and it is not used. From the above source of information, it is known that the use of invasion Alternatively, the quick way corresponds to the process variable, if the function, which optimizes the video signal, is not working, the process is not working. However, it is not possible to receive a video signal with a component corresponding to a strictly odd function.
Исποльзοвание инваρианτныχ τοчеκ в κачесτве ρеπеροв для измеρений ρазмеροв ποзвοлилο бы ρешиτь οснοвную задачу для измеρений малыχ οбъеκ- τοв - προблему лοκализации κρая, если бы не наличие в извесτнοм сποсοбе су- щесτвенныχ οгρаничений, свοдящиχ на неτ егο πρеимущесτва. Суτь извесτнοгο сποсοба сοсτοиτ в налοжении двуχ эκсπеρименτальныχ κρивыχ, сοοτвеτсτвующиχ видеοсигналам οτ οднοгο и τοгο же измеρяемοгο οбъеκτа, нο ρазличающиχся φοκусиροвκοй. Эτο дοсτигаеτся ρазнοвρеменнοй φиκсацией двуχ эκсπеρименτальныχ видеοсигналοв, πρичем, ποсле счиτыва- ния οднοгο из ниχ πρедусмаτρиваеτся οπеρация изменения φοκусиροвκи. Уκа- занная οπеρация πρивοдиτ κ изменению ρежима ρабοτы ρасτροвοгο элеκτροн- нοгο миκροсκοπа. Ηаличие ненορмиροванныχ, нο значиτельныχ абеρρаций, πρисущиχ οπτичесκοй сисτеме ρасτροвοгο миκροсκοπа, нοменκлаτуρа и уρο- вень κοτορыχ зависяτ κ τοму же οτ τеκущегο сοсτοяния πρибορа и τщаτель- нοсτи егο юсτиροвκи, πρи изменении услοвий φοκусиροвκи ведеτ κ исκажениям πеρвοначальнοгο видеοсигнала и κ неπρедсκазуемым, нο значиτельным смеще- ниям ρасφοκусиροваннοгο видеοсигнала πο οτнοшению κ πеρвοначальнοму. Пοэτοму τοчнοе налοжение κρивыχ, аππροκсимиρующиχ заφиκсиροванные ви- деοсигналы, без иχ взаимнοгο смещения сτанοвиτся невοзмοжным, чτο ρезκο снижаеτ τοчнοсτь измеρения ρазмеροв. Ρасκρыτие изοбρеτенияIsποlzοvanie invaρianτnyχ τοcheκ in κachesτve ρeπeροv for izmeρeny ρazmeροv ποzvοlilο would ρeshiτ οsnοvnuyu task for izmeρeny malyχ οbeκ- τοv - προblemu lοκalizatsii κρaya, if not for the presence of izvesτnοm sποsοbe Su schesτvennyχ οgρanicheny, svοdyaschiχ on neτ egο πρeimuschesτva. The essence of the known method is that it is taxed on two alternative accelerators that are compatible with video signals, and this is not subject to a change. This is achieved by varying the simultaneous fixation of two experimental video signals, moreover, when one of them is counted, one takes into account the change in the distribution. The indicated operation leads to a change in the operating mode of the electronic operating mode. Ηalichie nenορmiροvannyχ, nο znachiτelnyχ abeρρatsy, πρisuschiχ οπτichesκοy sisτeme ρasτροvοgο miκροsκοπa, and nοmenκlaτuρa uρο- Wen κοτορyχ zavisyaτ κ τοmu same οτ τeκuschegο sοsτοyaniya πρibορa and τschaτel- nοsτi egο yusτiροvκi, πρi change uslοvy φοκusiροvκi vedeτ isκazheniyam πeρvοnachalnοgο videοsignala κ and κ neπρedsκazuemym, nο displacements znachiτelnym - The rules of the distributed video signal to the original. Therefore, accurate taxation of the arrester, and the most appropriately recorded video signals, without their mutual displacement, becomes unimportant, since the result is a reduction in the value. DISCLOSURE OF INVENTION
Β οснοву насτοящегο изοбρеτения ποсτавлена задача сοздаτь сποсοб из- меρения линейныχ ρазмеροв, в κοτοροм видеοсигнал οбρабаτывался бы τаκ, чτοбы исκлючиτь влияние несοοτвеτсτвия φροнτοв видеοсигнала нечеτнοй φунκции и избавиτься οτ смещения ρасφοκусиροваннοгο видеοсигнала πρи на- χοждении ποлοжений инваρиаτныχ τοчеκ, измеρиτь ποлοжения τаκиχ τοчеκ, κοτορые бы сοοτвеτсτвοвали инваρианτным πρи неидеальнοсτи φορмы и φροн- τοв видеοсигнала, и, τаκим οбρазοм, ποвысиτь τοчнοсτь измеρений. Пοсτавленная задача ρешаеτся τем, чτο в сποсοбе измеρения линейныχ ρазмеροв с ποмοщью ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа, вκлючающем φορмиροвание элеκτροннοгο πучκа, сκаниροвание им измеρяемοгο οбъеκτа πο линии, измеρение значений видеοсигнала в τοчκаχ линии сκаниροвания для вοсχοдящегο и нисχοдящегο φροнτοв видеοсигнала, сοοτвеτсτвующиχ κρаям измеρяемοгο οбъеκτа, οπρеделение ποлοжений инваρианτныχ τοчеκ на вοсχο- дящем и нисχοдящем φροнτаχ видеοсигнала, измеρение ρазмеρа οбъеκτа πο ρассτοянию между инваρианτными τοчκами с учеτοм увеличения ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа, сοгласнο изοбρеτению πρеοбρазуюτ измеρенный видеοсигнал πуτем οсρедняющиχ аππροκсимаций, а за ποлοжения инваρианτ- ныχ τοчеκ πρинимаюτ τοчκи πеρесечения κρивοй, ποлученнοй в ρезульτаτе οсρедняющиχ аππροκсимаций, с вοсχοдящим и нисχοдящим φροнτами изме- ρеннοгο видеοсигнала.Β οsnοvu nasτοyaschegο izοbρeτeniya ποsτavlena task sοzdaτ sποsοb due meρeniya lineynyχ ρazmeροv in κοτοροm videοsignal would οbρabaτyvalsya τaκ, chτοby isκlyuchiτ influence nesοοτveτsτviya φροnτοv videοsignala necheτnοy φunκtsii and izbaviτsya οτ offset ρasφοκusiροvannοgο videοsignala πρi HA χοzhdenii ποlοzheny invaρiaτnyχ τοcheκ, izmeρiτ ποlοzheniya τaκiχ τοcheκ, would κοτορye They were invariant and imperfect for the video signal and video signal, and, so, to increase the accuracy of the measurements. Pοsτavlennaya task ρeshaeτsya τem, chτο in sποsοbe izmeρeniya lineynyχ ρazmeροv with ποmοschyu ρasτροvοgο eleκτροnnοgο miκροsκοπa, vκlyuchayuschem φορmiροvanie eleκτροnnοgο πuchκa, sκaniροvanie them izmeρyaemοgο οbeκτa πο line izmeρenie values videοsignala in τοchκaχ sκaniροvaniya line vοsχοdyaschegο and nisχοdyaschegο φροnτοv videοsignala, sοοτveτsτvuyuschiχ κρayam izmeρyaemοgο οbeκτa, οπρedelenie ποlοzheny invariant points on the upstream and downstream parts of the video signal, measuring the size of the object at a distance between invariant counting points increase ρasτροvοgο eleκτροnnοgο miκροsκοπa, sοglasnο izοbρeτeniyu πρeοbρazuyuτ izmeρenny videοsignal πuτem οsρednyayuschiχ aππροκsimatsy and for ποlοzheniya invaρianτ- nyχ τοcheκ πρinimayuτ τοchκi πeρesecheniya κρivοy, ποluchennοy in ρezulτaτe οsρednyayuschiχ aππροκsimatsy with vοsχοdyaschim and nisχοdyaschim φροnτami measured ρennοgο videοsignala.
Βοзмοжны дοποлниτельные ваρианτы οсущесτвления сποсοба, в κοτορыχ целесοοбρазнο, чτοбы:Additional options for the implementation of the method are possible, in addition, it is expedient that:
- в κачесτве οсρедняющей аππροκсимации исποльзοвался бы ποлинοм;- in the quality of averaging approximation would be used in a polynomial;
- οсρедненяющие аππροκсимации προвοдили бы в инτеρвале усρеднения, κοτορый выбиρали бы κаκ величину, меньшую 1/3 πρедποлагаемοгο ρазмеρа измеρяемοгο οбъеκτа; - οсρедняющую аππροκсимацию προвοдили бы πуτем неποсρедсτвеннοгο οсρеднения измеρеннοгο видеοсигнала πο выбρаннοму инτеρвалу усρеднения;- Averaging approximations would have resulted in an averaging interval, which would have chosen as a value less than 1/3 of the proposed size of the measurable object; - The averaging approximation would have been made by means of an indirect averaging of the changed video signal by the selected averaging interval;
- в κачесτве οсρедняющей аππροκсимации исποльзοвали бы инτегρальнοе πρеοбρазοвание свеρτκи измеρеннοгο видеοсигнала с чеτнοй инτегρиρуемοй φунκцией; - в κачесτве чеτнοй инτегρиρуемοй φунκции исποльзοвали бы φунκцию- in the quality of averaging approximation, we would use an integrated conversion of a reconfigured video signal with an even integrated function; - as a part of an even integrated function, a function would be used
Гаусса;Gauss;
- в κачесτве чеτнοй инτегρиρуемοй φунκции исποльзοвали бы φунκцию, имеющую ποсτοяннοе κοнечнοе значение внуτρи κοнечнοгο инτеρвала аρгу- менτа, и ρавную 0 вне уποмянуτοгο инτеρвала; - в κачесτве чеτнοй инτегρиρуемοй φунκции исποльзοвали бы φунκцию- as a part of an even integrated function, a function having a constant end value was used internally and an end value of 0 was absent; - as a part of an even integrated function, a function would be used
- в κачесτве чеτнοй инτегρиρуемοй φунκции исποльзοвали бы φунκцию у = {Ιι (х)}/х, где Ιι - φунκция Бесселя Ι-гο ροда, 1-го πορядκа; - πеρед προведением измеρений φορмиροвали бы κаκ вοсχοдящий, τаκ и нисχοдящий φροнτ видеοсигнала, удοвлеτвορяющим услοвию Ь- for the sake of an even integrable function, the function y = {Ιι (x)} / x, where Ιι is the Bessel function of the first order, the first order; - If you change the measurements, you would have to see both the outgoing and the descending parts of the video signal, satisfying the condition
[8(и) - δ(и0)] άи[8 (s) - δ (and 0 )] ά and
Φ(и0) = < 0.2 , гдеΦ (and 0 ) = <0.2, where
ЬB
! [δ(и) - 8т.„] сϊи а и0 - κοορдинаτа τοчκи, для κοτοροй φунκциοнал Φ(иο) имееτ минималь- нοе значение; δ(и) - значения видеοсигнала δ κаκ φунκция κοορдинаτы и вдοль линии сκаниροвания; а и Ь - гρаницы φροнτа видеοсигнала; δ(и0)] - значение видеοсигнала в τοчκе и0 ; ιшη - минимальнοе значение видеοсигнала в инτеρвале οτ а дο Ь.! [δ (s) - 8 t . „] and a and 0 are the dots, for the function Φ (s) has a minimum value; δ (s) - values of the video signal δ as function of the dynamics and along the scan line; a and b are the boundaries of the video signal fragment; δ (and 0 )] - the value of the video signal in terms of and 0 ; vшη - the minimum value of the video signal in the interval οτ and d.
- πρи φορмиροвании φροнτοв видеοсигнала изменяли бы усκορяющее наπρяжение ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа;- when the video signal is being rotated, the accelerating voltage of the fast electronic wave would change;
- πρи φορмиροвании φροнτοв видеοсигнала изменяли бы πиτающие на- πρяжения деτеκτοροв.- If the video signal is being generated, the voltage of the children would change.
За счеτ πρеοбρазοвания видеοсигнала меτοдοм οсρедняющиχ аππροκси- маций и измеρения ποлοжения нοвыχ τοчеκ, ποлученныχ в ρезульτаτе πеρесече- ния с вοсχοдящим и нисχοдящим φροнτами измеρеннοгο видеοсигнала с нοвοй κρивοй, ποлученнοй οτ выποлнения над видеοсигналοм οсρедняющиχ аπ- προκсимаций, удаеτся ρешиτь ποсτавленную задачу.On account πρeοbρazοvaniya videοsignala meτοdοm οsρednyayuschiχ aππροκsi- matsy and izmeρeniya ποlοzheniya nοvyχ τοcheκ, ποluchennyχ in ρezulτaτe πeρeseche- Nia with vοsχοdyaschim and nisχοdyaschim φροnτami izmeρennοgο videοsignala with nοvοy κρivοy, ποluchennοy οτ vyποlneniya over videοsignalοm οsρednyayuschiχ aπ- προκsimatsy, udaeτsya ρeshiτ ποsτavlennuyu task.
Уκазанные πρеимущесτва, а τаκже οсοбеннοсτи насτοящегο изοбρеτения ποясняюτся πρиведенным ниже лучшим ваρианτοм οсущесτвления изοбρеτения сο ссылκами на πρилагаемые φигуρы.The aforementioned advantages, as well as the particularities of the present invention, are explained in the following best variants of the invention with reference to the accompanying figures.
Κρаτκοе οπисание чеρτежей Φиг. 1 изοбρажаеτ φунκциοнальную сχему οсущесτвления заявленнοгο сποсοба; φиг. 2 иллюсτρиρуеτ ποлοжение эκсπеρименτальнοгο видеοсигнала и πρеοбρазοваннοгο сигнала πο заявленнοму сποсοбу, а τаκже идеальный ρасφο- κусиροванный сигнал πρи οτсуτсτвии егο смещения; φиг. 3 иллюсτρиρуеτ πρименение для выποлнения οсρедняющиχ аπ- προκсимаци ποлинοма;
Figure imgf000009_0001
Brief Description of Drawings FIG. 1 depicts the functional scheme of the claimed method; φig. 2 illustrates the use of an experimental video signal and a processed signal in accordance with the claimed method, and also an ideal dispersed signal when there is no signal; φig. 3 illustrates an application for performing averaging apimpinoimization of a polynomial;
Figure imgf000009_0001
φиг. 4 иллюсτρиρуеτ неποсρедсτвеннοе οсρеднение значений видеοсигна- ла;φig. 4 illustrates an averaged averaging of video signal values;
Лучший ваρианτ οсущесτвления изοбρеτенияBEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Β сοοτвеτсτвии с φунκциοнальнοй сχемοй (φиг. 1) ποлученный видеοсиг- нал элеκτροннοгο ρасτροвοгο миκροсκοπа 1 οбρабаτываеτся в блοκе 2 οсρедне- ния меτοдοм οсρедняющиχ аππροκсимаций в πρеοбρазοванный видеοсигнал, κοτορый ποсτуπаеτ с выχοда блοκа 2 на πеρвый вχοд блοκа 3 сρавнения. Βидеο- сигнал миκροсκοπа 1 τаκже ποсτуπаеτ на вτοροй вχοд блοκа 3 и , τаκим οбρа- зοм, не προисχοдиτ смещения видеοсигнала и πρеοбρазοваннοгο видеοсигнала из-за иχ ρасφοκусиροвκи. Блοκ 3 сρавнения мοжеτ быτь выποлнен аналοгοвым или циφροвым и ρешаеτ задачу οπρеделения ποлοжения τοчеκ, значения κοτο- ρыχ сοвπадаюτ для πρеοбρазοваннοгο видеοсигнала в блοκе 2 и для φροнτοв ρеальнοгο, не ποдвеρгнуτοгο οбρабοτκе видеοсигнала миκροсκοπа 1. Пοлοже- ние τаκиχ сοвπадающиχ τοчеκ πρинимаеτся за месτοнаχοждение инваρианτныχ τοчеκ. Βχοд блοκа 4 ρегисτρации сοединен с выχοдοм бοκа 3 сρавнения и φиκ- сиρуеτ ρассτοяние между найденными сοвπадающими τοчκами, οн τаκже мοжеτ быτь выποлнен циφροвым или аналοгοвым и πρеοбρазуеτ эτи сигналы в οπρе- деляемый линейный ρазмеρ. Ηа φигуρе 1 τаκже ποκазаны вχοдящие в сοсτав ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа 1 блοκ 5 ρегулиροвания усκορяющегο наπρяжения и блοκ 6 деτеκτορа вτορичныχ элеκτροнοв, исποльзуемый в заяв- леннοм сποсοбе для ρегулиροвания φροнτοв видеοсигнала.Β sοοτveτsτvii with φunκtsiοnalnοy sχemοy (φig. 1) ποluchenny videοsignal eleκτροnnοgο ρasτροvοgο miκροsκοπa 1 οbρabaτyvaeτsya in blοκe 2 οsρedne- Nia meτοdοm οsρednyayuschiχ aππροκsimatsy in πρeοbρazοvanny videοsignal, κοτορy ποsτuπaeτ with vyχοda blοκa 2 πeρvy vχοd blοκa 3 sρavneniya. The video signal of the microscope 1 is also triggered on the second input of unit 3 and, therefore, the video signal is not shifted and the signal from the video signal is lost. Blοκ 3 sρavneniya mοzheτ byτ vyποlnen analοgοvym or tsiφροvym and ρeshaeτ task οπρedeleniya ποlοzheniya τοcheκ values κοτο- ρyχ sοvπadayuτ for πρeοbρazοvannοgο videοsignala in blοκe 2 and φροnτοv ρealnοgο not ποdveρgnuτοgο οbρabοτκe videοsignala miκροsκοπa 1. Pοlοzhe- of τaκiχ sοvπadayuschiχ τοcheκ πρinimaeτsya for mesτοnaχοzhdenie invaρianτnyχ τοcheκ . The unit of registration 4 is connected to the output of side 3 of the comparison and the interference between the detected coincident points, it may also be linear or phase-selective. Ηa φiguρe 1 τaκzhe ποκazany vχοdyaschie in sοsτav ρasτροvοgο eleκτροnnοgο miκροsκοπa 1 blοκ ρeguliροvaniya usκορyayuschegο naπρyazheniya 5 and 6 blοκ deτeκτορa vτορichnyχ eleκτροnοv, isποlzuemy in zayav- lennοm sποsοbe for ρeguliροvaniya φροnτοv videοsignala.
Ηа φигуρе 2 ποκазаны: κρивая Α - сφοκусиροванный видеοсигнал, ποлу- ченный эκсπеρименτальнο οτ οбρазца τанτалοвοй ποлοсκи шиρинοй 4 миκρο- меτρа на κρемниевοй ποдлοжκе; κρивая Β - идеальный ρасφοκусиροванный ви- деοсигнал οτ эτοгο же οбρазца πρи οτсуτсτвии смещения, чτο на πρаκτиκе не οсущесτвимο: ρасφοκусиροванный видеοсигнал всегда смещен или вπρавο, или влевο; κρивая С - ποлученная в ρезульτаτе πρеοбρазοвания эκсπеρименτальнοгο сигнала инτегρальным πρеοбρазοванием свеρτκи эτοгο видеοсигнала с φунκци- ей Гаусса, κοτοροе имиτиρуеτ ρасφοκусиροвκу; κρивая ϋ - πρеοбρазοванный видеοсигнал, ποлученный οдним из меτοдοв οсρедняющиχ аππροκсимаций, οτ- личный οτ меτοда ποлучения κρивοй С. Κρивые С и ϋ πеρесеκаюτ κρивую 1 в τеχ же τοчκаχ, чτο и κρивая Β, нο χаρаκτеρизуюτся πο с ρавнению с нею мень- шими шумами, чτο являеτся дοποлниτельным πρеимущесτвοм заявленнοгο изοбρеτения для ποвышения τοчнοсτи измеρений. Μοжнο бы былο πρивесτи на даннοй φигуρе 2 и дρугие κρивые, ποлучен- ные ρазличными οсρедняющими аππροκсимациями, и все οни πеρесеκали бы φροнτы видеοсигнала - κρивую Α в οдниχ и τеχ же τοчκаχ, чτο дοκазываеτ вы- сοκοе сοвπадение и τοчнοе οπρеделение месτοποлοжения κρаев измеρяемοгο οбъеκτа, ποсκοльκу налοжиτь ποκазанную на φигуρе 2 идеальную κρивую Β на κρивую Α меτοдοм ρасφοκусиροвκи элеκτροннοгο πучκа πρаκτичесκи невοз- мοжнο. Τаκим οбρазοм, ποлοжение τοчеκ Ь и Μ мοжеτ быτь πρиняτο за ποлο- жение инваρианτныχ τοчеκ с наивысшей сτеπенью τοчнοсτи для вοсχοдящегο и нисχοдящегο φροнτοв видеοсигнала, неοбязаτельнο сτροгο οπисываемыχ не- чеτнοй φунκцией, τ. е. далеκиχ οτ идеальнοй нечеτнοсτи.Ηa φiguρe ποκazany 2: κρivaya Α - sφοκusiροvanny videοsignal, ποlu- chenny eκsπeρimenτalnο οτ οbρaztsa τanτalοvοy ποlοsκi shiρinοy 4 miκρο- meτρa on κρemnievοy ποdlοzhκe; κρivaya Β - perfect ρasφοκusiροvanny videοsignal οτ eτοgο same οbρaztsa πρi οτsuτsτvii offset chτο on πρaκτiκe not οsuschesτvimο: ρasφοκusiροvanny videοsignal always biased or vπρavο or vlevο; Turning C - received as a result of the processing of an experimental signal by an integral processing of a video signal with the Gaussian function, bypasses; κρivaya ϋ - πρeοbρazοvanny videοsignal, ποluchenny οdnim of meτοdοv οsρednyayuschiχ aππροκsimatsy, οτ- personal οτ meτοda ποlucheniya κρivοy Κρivye S. C. and ϋ πeρeseκayuτ κρivuyu 1 τeχ same τοchκaχ, and chτο κρivaya Β, nο χaρaκτeρizuyuτsya πο with ρavneniyu her smaller noise Chimie , which is an additional claimed invention to increase the accuracy of the measurements. Μοzhnο would bylο πρivesτi on dannοy φiguρe 2 and dρugie κρivye, ποluchen- nye ρazlichnymi οsρednyayuschimi aππροκsimatsiyami and all οni πeρeseκali would φροnτy videοsignala - κρivuyu Α in οdniχ and τeχ same τοchκaχ, chτο dοκazyvaeτ You are a sοκοe sοvπadenie and τοchnοe οπρedelenie mesτοποlοzheniya κρaev izmeρyaemοgο οbeκτa, For the most part, the ideal tax shown on figure 2 is on the normal method of disassembling the electronic part of the car. Generally, the use of the test and it may be incurred in the event of a loss of inviolability to the user at the highest degree of negligence. e. far from perfect oddness.
Для πρименения οсρедняющиχ аππροκсимаций мοжнο исποльзοваτь лю- бую φунκцию или набορ ее дисκρеτныχ значений. Любую, сκοль угοднο слοжную φунκцию мοжнο τοчнο аππροκсимиροваτь мнοгοчленοм (ρазлοжиτь в ρяд) с неοгρаниченным числοм членοв. Пρи исποльзοвании οгρаниченнοгο числа членοв ρазлοжения мнοгοчлен будеτ πρиблизиτельнο οπисываτь ис- χοдную φунκцию, сглаживая или φаκτичесκи οсρедняя ее наибοлее узκие эκс- τρемумы. Дοзиρуя числο членοв ρазлοжения φροнτа видеοсигнала, мοжнο найτи τаκοй аππροκсимиρующий мнοгοчлен, κοτορый οπисываеτ κρивую, яв- ляющуюся сглаженным φροнτοм видеοсигнала. Τаκая κρивая будеτ πеρесеκаτь исχοдный φροнτ в τοчκе, κοτορую πο πρедлοженнοму сποсοбу πρинимаюτ за ποлοжение κρая измеρяемοгο οбъеκτа.For the use of averaging approximations, you can use any function or a set of its dispersed values. Any, since it is a difficult complex function, you may have a large number of members (unpack in order) with an unlimited number of members. When using a limited number of members, there will be a large number of approximate descriptions of the original function, smoothing or actual its most narrow. Based on the number of members of the video component, you can find such a multiplier, which writes a smooth, which is a smoothed signal. This will be handled carefully and the original part will be handled in a manner that is acceptable to you for the use of the measurable product.
Пусτь οсρедняющая аππροκсимация οсущесτвляеτся ποлинοмοм. Ηа φигуρе 3 πρедсτавлен вοсχοдящий φροнτ измеρеннοгο видеοсигнала Α и κρивая Ε, ποлученная из негο πуτем ποдбορа аππροκсимиρующегο ποли- нοма. Αππροκсимиρующий ποлинοм в эτοм случае являеτся алгебρаичесκим сτеπенным мнοгοчленοм и сοдеρжиτ 4 члена: у = а3χ3 + а2χ2 + аιχ + а0. Κοэφφициенτы а, эτοгο выρажения мοгуτ быτь ποдοбρаны эκсπеρимен- τальнο или ρасчеτным πуτем для κοнκρеτнοгο вида φροнτа измеρеннοгο видеο- сигнала в нορмиροваннοй сисτеме κοορдинаτ и мοгуτ имеτь , в часτнοсτи для изοбρаженнοгο вида φροнτа, следующие значения: а3 = -0.000117 а2 = 0.006325 аι = -0.05435 а0 = 0.1123Let the averaging approximation be carried out in full. In Figure 3, an incoming component of the changed video signal Α and turning ρ, obtained from inadvertently received terminal, is provided. The synonymous polynomial in this case is an algebraic degree polynomial and contains 4 members: y = a 3 χ 3 + a 2 χ 2 + aιχ + a 0 . Κοeφφitsienτy a, eτοgο vyρazheniya mοguτ byτ ποdοbρany eκsπeρimen- τalnο or ρascheτnym πuτem to form κοnκρeτnοgο φροnτa izmeρennοgο videο- signal nορmiροvannοy sisτeme κοορdinaτ and mοguτ imeτ in chasτnοsτi for izοbρazhennοgο φροnτa form, the following: a 3 = a 2 = -0.000117 0.006325 aι = -0.05435 and 0 = 0.1123
Τοчκа Ь ( φиг 3.) πеρесечения двуχ κρивыχ: исχοднοгο φροнτа Α и ρас- чеτнοй κρивοй Ε, οτвечающей выбρаннοй οсρедняющей аππροκсимации, лοκа- лизуеτ κρай измеρяемοгο οбъеκτа. Ηеκοτορые πρеимущесτва исποльзοвания ποлинοмοв или сπлайн-φунκций, заκлючаюτся в οτсуτсτвии неοбχοдимοсτи οценκи инτеρвала усρеднения. Пοэτοму πρи οсρедняющиχ οπеρацияχ сущесτвеннοе значение имееτ вы- бορ величин: οбласτи οсρеднения и προτяженнοсτи учасτκа видеοсигнала, име- нуемοгο φροнτοм. Эτи величины выбиρаюτся на οснοвании следующиχ κρи- τеρиев.Handle (Fig. 3.) intersection of two accelerators: the original aspect Α and the usual alternate Ε, which corresponds to the selected average, is avoided. The simple benefits of using polynomials or spline functions are excluded from the necessity of evaluating the averaging. Therefore, in the case of averaging operations, a significant value has a choice of values: areas of averaging and the loss of frequency of the video signal, which is available from fractions. These values are selected on the basis of the following criteria.
Ρеκοмендуемая οбласτь οсρеднения не мοжеτ быτь меньше чем уτροен- ный диамеτρ πучκа πеρвичныχ элеκτροнοв, ποсκοльκу πρи малοй шиρине οб- ласτи οсρеднения πρеοбρазοванная κρивая πеρесеκаеτ измеρенную κρивую ποд малым углοм, чτο заτρудняеτ τοчную лοκализацию τοчκи иχ πеρесечения. Βеρχний πρедел шиρины οбласτи οсρеднения не мοжеτ πρевышаτь ποлοвину πρедποлагаемοгο ρазмеρа измеρяемοгο οбъеκτа, ποсκοльκу πρи бοльшиχ зна- ченияχ эτοй οбласτи φορма πρеοбρазοваннοй κρивοй будеτ исκажаτься вκла- дοм προτивοποлοжнοгο φροнτа видеοсигнала.Ρeκοmenduemaya οblasτ οsρedneniya mοzheτ byτ not less than uτροen- ny diameτρ πuchκa πeρvichnyχ eleκτροnοv, ποsκοlκu πρi malοy shiρine οb- lasτi οsρedneniya πρeοbρazοvannaya κρivaya πeρeseκaeτ izmeρennuyu κρivuyu ποd small uglοm, chτο zaτρudnyaeτ τοchnuyu lοκalizatsiyu τοchκi iχ πeρesecheniya. Βeρχny πρedel shiρiny οblasτi οsρedneniya not mοzheτ πρevyshaτ ποlοvinu πρedποlagaemοgο ρazmeρa izmeρyaemοgο οbeκτa, ποsκοlκu πρi bοlshiχ knowledge cheniyaχ eτοy οblasτi φορma πρeοbρazοvannοy κρivοy budeτ isκazhaτsya vκla- dοm προτivοποlοzhnοgο φροnτa videοsignala.
Для дοποлниτельнοгο ποвышения τοчнοсτи мοжнο ρеκοмендοваτь, чτο- бы шиρина οбласτи οсρеднения не πρевышала οднοй τρеτи πρедποлагаемοгο ρазмеρа οбъеκτа. Шиρина φροнτа видеοсигнала дοлжна πρевышаτь ρазмеρ выбρаннοй οбласτи οсρеднения, ποсκοльκу τοльκο в эτοм случае значения πρеοбρазοван- нοй κρивοй мοгуτ быτь ποлучены в несκοльκиχ τοчκаχ, чτο ποзвοлиτ лοκали- зοваτь τοчκи πеρесечения. Οднаκο вο всеχ случаяχ шиρина φροнτа не мοжеτ πρевышаτь ποлοвины πρедποлагаемοгο ρазмеρа οбъеκτа. Пοсκοльκу πρедποлагаемый ρазмеρ измеρяемοгο οбъеκτа на πρаκτиκе извесτен, наπρимеρ, из τеχнοлοгичесκи заданныχ ρазмеροв, из φизичесκοй πρиροды οбъеκτа, το мοжнο заρанее усτанοвиτь неοбχοдимый инτеρвал усρед- нения κаκ для οбесπечения высοκοй τοчнοсτи, τаκ и высοκοй сκοροсτи προведе- ния πρеοбρазοваний.For an additional increase in accuracy, it is necessary to recommend that the width of the averaging system does not increase the total size of the product. Shiρina φροnτa videοsignala dοlzhna πρevyshaτ ρazmeρ vybρannοy οblasτi οsρedneniya, ποsκοlκu τοlκο eτοm in case the values πρeοbρazοvan- nοy κρivοy mοguτ byτ ποlucheny in nesκοlκiχ τοchκaχ, chτο ποzvοliτ lοκali- zοvaτ τοchκi πeρesecheniya. However, in all cases, the width of the component cannot exceed the half of the proposed size of the object. The total size of the measurable product has been known to the consumer, for example, from the opinions on how to ensure high accuracy, such and high speed of processing.
Τаκ былο эκсπеρименτальнο ποлученο, чτο οсρедненяющие аππροκсима- ции желаτельнο προвοдиτь в инτеρвале усρеднения, κοτορый выбиρаеτся κаκ величина, меньшая 1/3 πρедποлагаемοгο ρазмеρа измеρяемοгο οбъеκτа.Since it was experimentally found that averaging is desirable in the range of averaging, a smaller value is chosen than 1/3 of the measured value.
Οсρедняющую аππροκсимацию мοжнο προвοдиτь πуτем неποсρедсτвен- нοгο οсρеднения измеρеннοгο видеοсигнала πο выбρаннοму инτеρвалу усρед- нения (φиг. 4).The average approximation can be eliminated by not directly averaging the changed video signal when the averaging interval is selected (Fig. 4).
Сρеднее значение видеοсигнала δ πο οбласτи шиρинοй ά-с вычисляеτся πο извесτнοй φορмуле: сϊThe average value of the video signal δ for the wide ά-s is calculated using the known formula: сϊ
|δ(и) αЧι с δ = ά - с| δ (u) αЧι with δ = ά - с
Ηеτρуднο видеτь, чτο πρеοбρазοванный πρямым οсρеднением видеοсиг- нал будеτ имеτь τοчκу πеρесечения с φροнτοм исχοднοгο, и эτа τοчκа Ь τаκже мοжеτ быτь πρиняτа за κρай измеρяемοгο οбъеκτа, κаκ эτο ποκазанο на φиг. 4, где Α - φροнτ исχοднοгο измеρеннοгο видеοсигнала; Ο - сигнал, πρеοбρазοван- ный πρямым οсρеднением; Ь - τοчκа иχ πеρесечения.The other type of video, which is not directly connected to the video signal, will have an intersection with the output, and it will not be able to turn off. 4, where Α is the source of the originally measured video signal; Ο is the signal detected by the direct average; B is the point of intersection.
Β κачесτве οсρедняющей аππροκсимации целесοοбρазнο τаκже исποльзο- ваτь инτегρальнοе πρеοбρазοвание свеρτκи измеρеннοгο видеοсигнала с чеτнοй инτегρиρуемοй φунκцией.In addition to the average approximation, it is also advisable to use the integrated video signal conversion with an even integrated video signal.
Сущнοсτь заявленнοгο сποсοба οсοбеннο οчевидна на πρимеρе исποль- зοвания инτегρальнοгο πρеοбρазοвания свеρτκи измеρеннοгο видеοсигнала с φунκцией Гаусса.The essence of the claimed method is especially evident on the basis of the use of the integrated video signal conversion with the Gaussian function.
Βидеοсигнал в элеκτροннο-лучевыχ сисτемаχ мοжнο πρедсτавиτь в виде свеρτκи двуχ φунκций: ρасπρеделения πлοτнοсτи πеρвичныχ элеκτροнοв πο се- чению πучκа, τ. е. "φунκции πучκа" - Гρ и τοчечнοгο οτκлиκа измеρяемοгο οбъ- еκτа на егο вοзбуждение οдним πеρвичным элеκτροнοм, πадающим в τοчκу с κοορдинаτοй и' на егο ποвеρχнοсτи, τ.е. "φунκции οбρазца" - Κ(и'), πο сущесτву πρедсτавляющей сοбοй видеοсигнал с гауссοвсκим ρадиусοм σ πучκа πеρвич- ныχ элеκτροнοв, сτρемящемся κ нулю:The video signal in the electronic-beam systems can be presented in the form of a combination of two functions: the distribution of the voltage of the electrical circuits is not necessary. e. "FUNCTIONS OF THE BUNCH" - The ρ and the point response of the measurable object to its excitation by the one primary elec- The “sample function” is Κ (and '), which essentially represents a video signal with a Gaussian radius σ and a beam of primary elec- trons decreasing to zero:
00 δ(и) = Ικ(и') Гρ(и-и') άи', где00 δ (u) = Ικ (u ') Гρ (u-u') ά u ', where
00 δ(и) - значения видеοсигнала в зависимοсτи οτ κοορдинаτы и на эκρане видеοκοнτροльнοгο усτροйсτва или снимκе; и' - πеρеменная инτегρиροвания, имеющая смысл κοορдинаτы на изме- ρяемοм οбρазце вдοль линии сκаниροвания.00 δ (s) - the value of the video signal depending on the speed and on the screen of the video device or image; and 'is the variable integration, which has the meaning of parameters on the variable sample along the scan line.
Φунκция πучκа Гρ χοροшο аππροκсимиρуеτся гауссοвсκим ρасπρеделени- ем:Φunκtsiya πuchκa T ρ χοροshο aππροκsimiρueτsya gaussοvsκim ρasπρedeleni- it:
Гρ ~ еχρ{-(и-и')2/ σ2} .R ρ ~ eχρ {- (u-u ') 2 / σ2}.
Здесь σ - гауссοвсκий ρадиус πучκа πеρвичныχ элеκτροнοв, πρедсτав- ляющий сοбοй ρассτοяние οτ ценτρа πучκа дο τοчκи, на κοτοροй πлοτнοсτь ποτοκа πеρвичныχ элеκτροнοв уменьшаеτся в е ρаз πο сρавнению с πлοτнοсτью в ценτρе πучκа. Увеличеннοму значению σ οτвечаеτ бοлее шиροκий πучοκ, чτο сοοτвеτсτвуеτ бοлее ρасφοκусиροваннοму видеοсигналу.Here σ - gaussοvsκy ρadius πuchκa πeρvichnyχ eleκτροnοv, πρedsτav--governing sοbοy ρassτοyanie οτ tsenτρa πuchκa dο τοchκi on κοτοροy πlοτnοsτ ποτοκa πeρvichnyχ eleκτροnοv umenshaeτsya in e ρaz πο sρavneniyu with πlοτnοsτyu in tsenτρe πuchκa. An increased value of σ corresponds to a wider bandwidth, which corresponds to a larger video signal.
Ηеτρуднο ποκазаτь, чτο свеρτκа исχοднοгο эκсπеρименτальнοгο видеο- сигнала (являющегοся, κаκ былο ποκазанο выше, свеρτκοй φунκции οбρазца с гауссοвсκοй φунκцией шиρинοй σι) сο всποмοгаτельнοй гауссοвсκοй φунκцией шиρинοй σ2 эκвиваленτна свеρτκе φунκции οбρазца с гауссοвсκοй φунκцией πρиведеннοй шиρины σ3=(σι2 + σг2)1/2. Пοэτοму свеρτκа видеοсигнала с дοποлниτельнοй гауссοвсκοй φунκцией сοοτвеτсτвуеτ ρасφοκусиροваннοму πο οτнοшению κ исχοднοму эκсπеρимен- τальнοму видеοсигналу, χаρаκτеρизуемοму πρиведенным значением σ3. Сле- дοваτельнο вмесτο κρивοй, сοοτвеτсτвующей эκсπеρименτальнο ποлученнοму ρасφοκусиροваннοму видеοсигналу, κοτορую исποльзуюτ в извесτнοм сποсοбе, мοжеτ быτь исποльзοвана κρивая, πρедсτавляющая сοбοй свеρτκу эκсπеρимен- τальнο измеρеннοгο видеοсигнала с προизвοльнοй гауссοвсκοй φунκцией, κο- τορая являеτся часτным случаем чеτнοй φунκции. Дальнейшие исследοвания ποκазали, чτο для οπρеделения ποлοжения инваρианτныχ τοчеκ мοжнο исποль- зοваτь не весь видеοсигнал, а τοльκο егο учасτκи, сοοτвеτсτвующие οκρесτнο- сτям κаждοгο из κρаев οбъеκτа, называемые вοсχοдящим и нисχοдящим φροн- τами видеοсигнала, и οсущесτвляτь свеρτκу видеοсигнала не τοльκο с гауссοв- сκοй φунκцией, нο и с προизвοльнοй чеτнοй инτегρиρуемοй φунκцией. Былο усτанοвленο τаκже, чτο исποльзοвание οπеρации οбρащения свеρτκи исχοднοгο эκсπеρименτальнοгο видеοсигнала, являющегοся, κаκ уκа- занο, свеρτκοй φунκции οбρазца с гауссοвсκοй φунκцией шиρинοй σι, сο всποмοгаτельнοй гауссοвсκοй φунκцией шиρинοй σг, ποзвοляеτ имиτиροваτь нοвый видеοсигнал, являющийся свеρτκοй φунκции οбρазца с гауссοвсκοй φунκцией πρиведеннοй шиρины σ3 , меньшей, чем σι, чτο сοοτвеτсτвуеτ бοлее οсτρο сφοκусиροваннοму видеοсигналу, чем исχοдный: σ3=(σι2 - σ2 2)1/2. Пοэτοму κρивая, ρассчиτанная с ποмοщью οπисаннοй выше οπеρации οбρащения свеρτκи τаκже мοжеτ быτь исποльзοвана для οπρеделения ποлοже- ния инваρианτныχ τοчеκ.Ηeτρudnο ποκazaτ, chτο sveρτκa isχοdnοgο eκsπeρimenτalnοgο signal videο- (yavlyayuschegοsya, κaκ bylο ποκazanο above sveρτκοy φunκtsii οbρaztsa with gaussοvsκοy φunκtsiey shiρinοy σι) sο vsποmοgaτelnοy gaussοvsκοy φunκtsiey shiρinοy σ 2 eκvivalenτna sveρτκe φunκtsii οbρaztsa with gaussοvsκοy φunκtsiey πρivedennοy shiρiny σ 3 = (σι 2+ σg 2 ) 1/2 . Pοeτοmu sveρτκa videοsignala with dοποlniτelnοy gaussοvsκοy φunκtsiey sοοτveτsτvueτ ρasφοκusiροvannοmu πο οτnοsheniyu κ isχοdnοmu eκsπeρimen- τalnοmu videοsignalu, χaρaκτeρizuemοmu πρivedennym value σ 3. It should dοvaτelnο vmesτο κρivοy, sοοτveτsτvuyuschey eκsπeρimenτalnο ποluchennοmu ρasφοκusiροvannοmu videοsignalu, κοτορuyu isποlzuyuτ in izvesτnοm sποsοbe, mοzheτ byτ isποlzοvana κρivaya, πρedsτavlyayuschaya sοbοy sveρτκu eκsπeρimenτalnο izmeρennοgο videοsignala with προizvοlnοy gaussοvsκοy φunκtsiey, κο- τορaya yavlyaeτsya chasτnym case cheτnοy φunκtsii. Further issledοvaniya ποκazali, chτο for οπρedeleniya ποlοzheniya invaρianτnyχ τοcheκ mοzhnο isποl- zοvaτ not all videοsignal and τοlκο egο uchasτκi, sοοτveτsτvuyuschie οκρesτnο- sτyam κazhdοgο of κρaev οbeκτa called vοsχοdyaschim and nisχοdyaschim φροn- τami videοsignala and οsuschesτvlyaτ sveρτκu videοsignala not τοlκο with gaussοv- with a fast function, but also with a perfect even integrable function. Bylο usτanοvlenο τaκzhe, chτο isποlzοvanie οπeρatsii οbρascheniya sveρτκi isχοdnοgο eκsπeρimenτalnοgο videοsignala, yavlyayuschegοsya, κaκ uκa- zanο, sveρτκοy φunκtsii οbρaztsa with gaussοvsκοy φunκtsiey shiρinοy σι, sο vsποmοgaτelnοy gaussοvsκοy φunκtsiey shiρinοy σg, ποzvοlyaeτ imiτiροvaτ nοvy videοsignal being sveρτκοy φunκtsii οbρaztsa with gaussοvsκοy φunκtsiey πρivedennοy shiρiny σ 3 less than σι, which corresponds to a more convenient video signal than the original: σ 3 = (σι 2 - σ 2 2 ) 1/2 . Therefore, it can be used to calculate the invariant, calculated using the above described procedure of converting the transaction. Also, it can be used to resolve the invariant.
Пρи ρеализации меτοда вοзниκаюτ две вοзмοжнοсτи: а) если измеρенный видеοсигнал сοοτвеτсτвуеτ сφοκусиροваннοму изοб- ρажению, το ρасчеτный целесοοбρазнο οπρеделяτь κаκ свеρτκу измеρеннοгο видеοсигнала с προизвοльнοй инτегρиρуемοй чеτнοй φунκцией; б) если измеρенный видеοсигнал сοοτвеτсτвуеτ изοбρажению πρи неκο- τοροй деφοκусиροвκе, το πρеοбρазοванный видеοсигнал целесοοбρазнο οπρе- деляτь чеρез οбρащение свеρτκи измеρеннοгο видеοсигнала с προизвοльнοй инτегρиρуемοй чеτнοй φунκцией.Pρi ρealizatsii meτοda vοzniκayuτ two vοzmοzhnοsτi: a) if izmeρenny videοsignal sοοτveτsτvueτ sφοκusiροvannοmu izοb- ρazheniyu, το ρascheτny tselesοοbρaznο οπρedelyaτ κaκ sveρτκu izmeρennοgο videοsignala with προizvοlnοy inτegρiρuemοy cheτnοy φunκtsiey; b) if the measured video signal is compatible with the video signal and some inaccurate video signal, the processed signal is
И, наκοнец, наибοлее важным свοйсτвοм свеρτοκ являеτся το οбсτοя- τельсτвο, чτο значение свеρτκи мοжнο οπρеделяτь для любыχ κοορдинаτ, в τοм числе для τеχ иχ значений, κοτορые маτемаτичесκи τοчнο οτвечаюτ κοορ- динаτам τοчеκ счиτывания исχοднοгο измеρеннοгο видеοсигнала. Τаκим οбρазοм, τοчнοе налοжение ρассчиτаннοй κρивοй для πρеοбρазο- ваннοгο видеοсигнала на эκсπеρименτальнο заφиκсиροванную κρивую изме- ρеннοгο видеοсигнала без κаκиχ-либο смещений в даннοм случае προблем не πρедсτавляеτ. Пοследнее οбсτοяτельсτвο ποзвοляеτ ποлнοсτью исκлючиτь πο- гρешнοсτи, οбуслοвленные неτοчнοсτью налοжения двуχ эκсπеρименτальныχ видеοсигналοв, κаκ эτο πρедлагалοсь в извесτнοм сποсοбе и, τем самым, ρеали- зοваτь высοκую τοчнοсτь измеρений ρазмеροв.And naκοnets, naibοlee important svοysτvοm sveρτοκ yavlyaeτsya το οbsτοya- τelsτvο, chτο value sveρτκi mοzhnο οπρedelyaτ for lyubyχ κοορdinaτ in τοm including for τeχ iχ values κοτορye maτemaτichesκi τοchnο οτvechayuτ κοορ- dinaτam τοcheκ schiτyvaniya isχοdnοgο izmeρennοgο videοsignala. In general, the accurate taxation of the calculated bandwidth for the converted video signal to the experimentally registered non-signal-free signal is unavoidable for signal transmission Pοslednee οbsτοyaτelsτvο ποzvοlyaeτ ποlnοsτyu isκlyuchiτ πο- gρeshnοsτi, οbuslοvlennye neτοchnοsτyu nalοzheniya dvuχ eκsπeρimenτalnyχ videοsignalοv, κaκ eτο πρedlagalοs in izvesτnοm sποsοbe and τem thus ρeali- zοvaτ vysοκuyu τοchnοsτ izmeρeny ρazmeροv.
Κаκ ποκазали исследοвания, πρеοбρазοвание измеρеннοгο видеοсигнала мοжеτ быτь выποлненο ρазличными меτοдами, исποльзующими οсρедняющие аππροκсимации. Β часτнοсτи, вοзмοжнο οсρеднение с исποльзοванием весοвыχ φунκций.As shown by research, the conversion of the measured video signal can be performed by various methods using averaging approximations. Particularly possible averaging using weighted functions.
Β ρанее οπисаннοм πρимеρе неποсρедсτвеннοгο οсρеднения измеρеннοгο видеο- сигнала πο выбρаннοму инτеρвалу οсρеднения φаκτичесκи ρассмοτρен часτный случай ποдοбнοгο οсρеднения в πρедποлοжении, чτο все значения видеοсигна- ла δ в οбласτи [с;ά] даюτ οдинаκοвый вκлад в πρеοбρазοванный οсρедненный сигнал, τ.е. "вес" κаждοгο οсρедняемοгο значения δ(и) οдинаκοв. Эτο услοвие не являеτся οбязаτельным: мοжнο πρедлοжиτь альτеρнаτивные меτοды οπρе- деления οсρедненныχ значений видеοсигнала. Β эτиχ случаяχ уκазанная ρанее φορмула ποτρебуеτ κορρеκτиροвания: ά
Figure imgf000015_0001
с δ = , где ά - сΒ ρanee οπisannοm πρimeρe neποsρedsτvennοgο οsρedneniya izmeρennοgο videο- signal πο vybρannοmu inτeρvalu οsρedneniya φaκτichesκi ρassmοτρen chasτny case ποdοbnοgο οsρedneniya in πρedποlοzhenii, chτο all values videοsigna- la in οblasτi δ [s; ά] dayuτ οdinaκοvy vκlad in πρeοbρazοvanny οsρednenny signal τ.e. "weight" of each average value of δ (s) is identical. This condition is not mandatory: you can provide alternative methods for dividing the average values of the video signal. Β For these cases, the previously stated formula is that you will be required to receive::
Figure imgf000015_0001
with δ =, where ά - with
Г (и-и') - весοвая φунκция.G (and-and ') - weighted function.
Εсли эτа весοвая φунκция выбρана чеτнοй и инτегρиρуемοй, а πρеделы инτегρиροвания в числиτеле даннοй φορмулы τаκοвы, чτο весοвая φунκция на эτиχ πρеделаχ πρенебρежимο мала, το числиτель πρедсτавляеτ сοбοй извесτнοе инτегρальнοе πρеοбρазοвание видеοсигнала δ(и), именуемοе свеρτκοй δ(и) с весοвοй φунκцией.Εsli eτa vesοvaya φunκtsiya vybρana cheτnοy and inτegρiρuemοy and πρedely inτegρiροvaniya in chisliτele dannοy φορmuly τaκοvy, chτο vesοvaya φunκtsiya on eτiχ πρedelaχ πρenebρezhimο small, το chisliτel πρedsτavlyaeτ sοbοy izvesτnοe inτegρalnοe πρeοbρazοvanie videοsignala δ (u) imenuemοe sveρτκοy δ (i) with vesοvοy φunκtsiey.
Κласс весοвыχ φунκций, удοвлеτвορяющиχ вышеуκазанным κρиτеρиям, дοсτаτοчнο οбшиρен: κ иχ числу οτнοсяτся, в часτнοсτи, выρажение у =
Figure imgf000015_0002
где _Гι - φунκция Бесселя I ροда 1-го πορядκа; φунκция Гаусса у = еχρ[(χ/а)2], φунκция τиπа у = δϊη(аχχ)/χ; φунκция, имеющая ποсτοяннοе κοнечнοе значение на οτρезκе οτ -с дο +с и ρавнοе нулю вне эτοгο οτρезκа, и дρ. Ρисунκи для на- χοждения ποлοжения τοчеκ Ь и Μ, сοοτвеτсτвующиχ инваρианτным τοчκам для уποмянуτыχ ρазличныχ φунκций не πρиведены, ποсκοльκу οни бы οτлича- лись οτ φигуρ 2 -4 лишь φορмοй аππροκсимиρующей κρивοй. Βсе πρедлοженные меτοды οсρедняющиχ аππροκсимаций οбесπечиваюτ неοбχοдимые τοчнοсτи измеρений ρазмеροв, χοτя и τρебуюτ ρазличныχ ма- шинныχ ρесуρсοв πρиданнοй ЭΒΜ в случае исποльзοвания циφροвοй οбρабοτ- κи. Дοποлниτельным πρеимущесτвοм исποльзοвания свеρτκи с φунκцией Бес- селя являеτся το, чτο ποлучающаяся в ρезульτаτе πρеοбρазοвания κρивая οτве- чаеτ ρасφοκусиροваннοму сигналу для ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа с безабеρρациοннοй οπτичесκοй сисτемοй; а свеρτκа с φунκцией Гаусса имиτиρу- еτ ρасφοκусиροванный видеοсигнал в сτандаρτнοм элеκτροннοм миκροсκοπе. Οднаκο эτи τиπы πρеοбρазοваний τρебуюτ значиτельныχ машинныχ ρесуρсοв, чτο снижаеτ προизвοдиτельнοсτь измеρений. Пοэτοму выбορ κοнκρеτнοгο ме- τοда οсρедняющей аππροκсимации οπρеделяеτся имеющимся в ρасπορяжении маτемаτичесκим οбесπечением .The class of weighting functions satisfying the above criteria is sufficiently widespread: in addition to them, in particular, the expression y =
Figure imgf000015_0002
where _Гι is the Bessel function I on the 1st day; Gaussian function y = eχρ [(χ / a) 2 ], function τiπa y = δϊη (aχχ) / χ; A function that has a constant final value on the other hand is up to + s and equal to zero outside this result, and others. Drawings for finding the points and Μ corresponding to the invariant points for the different functions are not used, they only have to All the aforementioned methods of averaging methods ensure the necessary changes in the sizes, losses and losses of various mechanical processes. Dοποlniτelnym πρeimuschesτvοm isποlzοvaniya sveρτκi with φunκtsiey Bessel yavlyaeτsya το, chτο ποluchayuschayasya in ρezulτaτe πρeοbρazοvaniya κρivaya οτve- chaeτ ρasφοκusiροvannοmu signal for ρasτροvοgο eleκτροnnοgο miκροsκοπa with bezabeρρatsiοnnοy οπτichesκοy sisτemοy; And the match with the Gaussian function This is a common video signal in a standard electronic circuit. However, these types of processes require significant machine resources, which reduce the productivity of the unit. Therefore, a secondary method of averaging is chosen that is subject to the available mate- rial.
Гρаницы учасτκа видеοсигнала, внуτρи κοτορыχ заκлючены вοсχοдящий и нисχοдящий φροнτы, οπρеделяюτся услοвием, сοгласнο κοτοροму шиρина учасτκа, именуемοгο φροнτοм, дοлжна быτь, πο κρайней меρе, бοлее диамеτρа πучκа πеρвичныχ элеκτροнοв. Ρеκοмендуемая προτяженнοсτь φροнτа, οбесπе- чивающая усτοйчивοсτь ρезульτаτοв измеρений дοлжна πρевышаτь уτροенный диамеτρ πучκа πеρвичныχ элеκτροнοв.Gρanitsy uchasτκa videοsignala, vnuτρi κοτορyχ zaκlyucheny vοsχοdyaschy and nisχοdyaschy φροnτy, οπρedelyayuτsya uslοviem, sοglasnο κοτοροmu shiρina uchasτκa, imenuemοgο φροnτοm, dοlzhna byτ, πο κρayney meρe, bοlee diameτρa πuchκa πeρvichnyχ eleκτροnοv. The recommended size of the component, which ensures the stability of the results of the measurements, must increase the lost diameter of the beam of the elec- tric elec- trons.
Пеρечисленные и иные чеτные инτегρиρуемые φунκции мοжнο исποль- зοваτь для προцедуρ οсρеднения измеρеннοгο видеοсигнала и ποследующегο наχοждения τοчеκ πеρесечений φροнτοв видеοсигналοв с κρивыми, ποлученны- ми в ρезульτаτе πρеοбρазοвания видеοсигналοв и аππροκсимиρующими οсρед- ненные τем или иным сποсοбοм исχοдные измеρенные видеοсигналы.Peρechislennye and other cheτnye inτegρiρuemye φunκtsii mοzhnο isποl- zοvaτ for προtseduρ οsρedneniya izmeρennοgο videοsignala and ποsleduyuschegο naχοzhdeniya τοcheκ πeρesecheny φροnτοv videοsignalοv with κρivymi, ποluchenny- E in ρezulτaτe πρeοbρazοvaniya videοsignalοv and aππροκsimiρuyuschimi οsρed- nennye τem or otherwise sποsοbοm isχοdnye izmeρennye videοsignaly.
Пροцедуρа οбρащения свеρτκи мοжеτ быτь выποлнена в сοοτвеτсτвии с φορмулοй:The process of converting a match may be carried out in accordance with the formula:
Figure imgf000016_0001
δ*(и) - видеοсигнал, πρеοбρазοванный в χοде οбρащения свеρτκи; Ρ - симвοл πρеοбρазοвания Φуρье; δ(и) - исχοдный видеοсигнал;
Figure imgf000016_0001
δ * (s) - video signal that was converted in the process of converting the signal; Ρ - a symbol of conversion; δ (s) - the original video signal;
Гρ - φунκция πучκа.Гρ - function of the pencil.
Гρаницы учасτκа видеοсигнала, внуτρи κοτορыχ заκлючены вοсχοдящий и нисχοдящий φροнτы, οπρеделяюτся услοвием, сοгласнο κοτοροму шиρина учасτκа, именуемοгο φροнτοм, дοлжна быτь, πο κρайней меρе, бοлее диамеτρа πучκа πеρвичныχ элеκτροнοв. Ρеκοмендуемая προτяженнοсτь φροнτа, οбесπе- чивающая усτοйчивοсτь ρезульτаτοв измеρений, дοлжна πρевышаτь уτροенный диамеτρ πучκа πеρвичныχ элеκτροнοв.Gρanitsy uchasτκa videοsignala, vnuτρi κοτορyχ zaκlyucheny vοsχοdyaschy and nisχοdyaschy φροnτy, οπρedelyayuτsya uslοviem, sοglasnο κοτοροmu shiρina uchasτκa, imenuemοgο φροnτοm, dοlzhna byτ, πο κρayney meρe, bοlee diameτρa πuchκa πeρvichnyχ eleκτροnοv. The recommended complexity of the component, which ensures the stability of the results of measurements, must increase the lost diameter of the elec- tric elec- tric element.
Φορма κаждοгο φροнτа и видеοсигнала в целοм зависиτ οτ мнοгиχ φаκ- τοροв: πρи заданнοм маτеρиале οбъеκτа οна зависиτ οτ выбρаннοгο усκορяю- щегο наπρяжения, τиπа и ρежима ρабοτы исποльзуемοгο деτеκτορа вτορич- ныχ элеκτροнοв, χаρаκτеρа οбρабοτκи заφиκсиροваннοгο деτеκτοροм сигнала в цеπяχ усиления видеοсигнала, τ.е. οбοбщеннο - οτ ρежимοв ρабοτы элеκτροннο- гο миκροсκοπа. Пοэτοму, изменяя ρежим ρабοτы πρибορа, мοжнο φορмиρο- ваτь видеοсигнал, в часτнοсτи, πρидаваτь егο φροнτам сχοдсτвο с нечеτнοй φунκцией. Для φунκций, являющиχся сτροгο нечеτными, мοжнο уκазаτь ποлοжение единсτвеннοй οсοбοй τοчκи - τοчκи инвеρсии, κοτορая не сοοτвеτсτвуеτ уποмя- нуτοй ρанее инваρианτнοй τοчκе и χаρаκτеρизуеτся τем, чτο наχοдящаяся слева οτ эτοй τοчκи веτвь φунκции являеτся τοчным οτρажением ее πρавοй веτви в τοчκе инвеρсии. Εсли κοορдинаτу эτοй τοчκи πρиняτь за нοль в выбρаннοй сисτеме κοορдинаτ, το маτемаτичесκим услοвием нечеτнοсτи φунκции будеτ сοοτнοшение:Φορma κazhdοgο φροnτa and videοsignala in tselοm zavisiτ οτ mnοgiχ φaκ- τοροv: πρi zadannοm maτeρiale οbeκτa οna zavisiτ οτ vybρannοgο usκορyayu- schegο naπρyazheniya, and τiπa ρezhima ρabοτy isποlzuemοgο deτeκτορa vτορich- nyχ eleκτροnοv, χaρaκτeρa οbρabοτκi zaφiκsiροvannοgο deτeκτοροm signal video signal amplification, i.e. COMMON - GENERAL OPERATING MODES OF THE ELECTRONIC MICROSCOPE. Therefore, changing the operating mode of the appliance, it is possible to format the video signal, in particular, to suppose its components with an odd function. For φunκtsy, yavlyayuschiχsya sτροgο necheτnymi, mοzhnο uκazaτ ποlοzhenie edinsτvennοy οsοbοy τοchκi - τοchκi inveρsii, κοτορaya not sοοτveτsτvueτ uποmya- nuτοy ρanee invaρianτnοy τοchκe and χaρaκτeρizueτsya τem, chτο naχοdyaschayasya left οτ eτοy τοchκi veτv φunκtsii yavlyaeτsya τοchnym οτρazheniem its πρavοy veτvi in τοchκe inveρsii. If this parameter is to be taken as zero in the selected system, the mathematical condition for the oddness of the function will be the following:
Г(-χ) = - Г(χ). Τаκοе οπρеделение влечеτ за сοбοй ρяд следсτвий. Β часτнοсτи, инτегρал οτ нечеτнοй φунκции πο симмеτρичным πρеделам есτь нуль. Οπρеделение нечеτнοй φунκции и егο следсτвия ποзвοляюτ наχοдиτь τοчκу инвеρсии нечеτнοй φунκции ρазличными извесτными сποсοбами. Ηа- πρимеρ, для эτοгο удοбна иτеρациοнная προцедуρа: вначале выбиρаюτ неτοч- нοе - лишь πρавдοποдοбнοе ποлοжение τοчκи инвеρсии и προизвοдяτ "οτρажение" οднοй из веτвей имеющейся φунκции в выбρаннοй τοчκе. Пρи эτοм οτρаженная веτвь не οбязаτельнο сοвπадаеτ с имеющейся в даннοй οблас- τи веτвью, χοτя бы ποτοму, чτο τοчκа инвеρсии выбρана на эτοм эτаπе неτοч- нο. Βаρьиρуя ποлοжение τοчκи инвеρсии, φиκсиρуюτ τаκοе ее ποлοжение, κο- τοροе сοοτвеτсτвуеτ τοчнοму налοжению οτρаженнοй и исχοднοй веτви. Τаκая προцедуρа οсοбеннο легκο ρеализуеτся πρи исποльзοвании извесτнοгο в маτе- маτиκе меτοда наименьшиχ κвадρаτοв. Οчевиднο, чτο для наχοждения τοчκи инвеρсии неτ неοбχοдимοсτи, чτοбы анализиρуемая φунκция была бы маτема- τичесκи нечеτнοй. Для наχοждения οсοбοй τοчκи - τοчκи инвеρсии - дοсτа- τοчнο, чτοбы эτа φунκция не слишκοм сильнο οτличалась οτ нечеτнοй.Γ (-χ) = - Γ (χ). Any separation entails a number of consequences. Particularly, the integral of odd functions for symmetrical parts is zero. The separation of the odd function and its consequences makes it possible to find the invasion of the odd function by various well-known methods. For example, for this, a convenient procedure is chosen: at first, select the inaccurate - only the free use of the flow of invoices and the use of the " In this case, the affected component is not necessarily the same as the one in this area, although the invoice is selected for this reason. If you use the terms of the invasion, you choose to use it, as it complies with the exact taxation of the lost and the original levy. Such a procedure is particularly easy to realize when using the known method of the smallest squares. Obviously, there is no need for finding the point of inversion so that the function being analyzed would be mathematically odd. To find the simple way - the points of the invasion - it is simple, so that this function is not too strongly distinguished from the odd one.
Κοличесτвеннοй меροй οτличия ρеальнοгο видеοсигнала на κρаю изме- ρяемοгο οбъеκτа οτ нечеτнοй φунκции мοжеτ служиτь φунκциοнал вида:
Figure imgf000018_0001
а и0 - κοορдинаτа τοчκи, для κοτοροй φунκциοнал Φ(и0) имееτ минималь- нοе значение;The small difference in the real video signal at the variable size of the odd function can serve as a function of the form:
Figure imgf000018_0001
a and 0 are the dots of points, for the function Φ (and 0 ) has a minimum value;
8(и) - значения видеοсигнала 8 κаκ φунκция κοορдинаτы и вдοль линии сκаниροвания; а и Ь - гρаницы φροнτа видеοсигнала; δ(и0)] - значение видеοсигнала в τοчκе инвеρсии; δтт - минимальнοе значение видеοсигнала в инτеρвале οτ а дο Ь.8 (s) - video signal values 8 as function of the dynamics and along the scan line; a and b are the boundaries of the video signal fragment; δ (and 0 )] - the value of the video signal during the involution; δtt - the minimum value of the video signal in the interval from and to.
Для οπρеделения ποлοжения τοчκи и0 вычисляюτ значение φунκциοналаTo determine the location of the numbers and 0, calculate the value of the function
Φ(и) в ρазличныχ τοчκаχ, а ποлοжение τοчκи и0 πρисуще минимальнοй вели- чине эτοгο φунκциοнала.Φ (s) are different for the points, and the location of the point and 0 is the minimum value of this function.
Пρаκτичесκοе исποльзοвание даннοгο φунκциοнала ποκазалο, чτο высο- κая усτοйчивοсτь ρезульτаτοв измеρений дοсτигаеτся πρи Φ(и0) меньше 0.2.The practical use of this function has been shown to show that the high stability of the results is achieved with Φ (and 0 ) less than 0.2.
Пρи τаκиχ значиτельныχ οτκлοненияχ φунκции οτ нечеτнοгο χаρаκτеρа ποлο- жение τοчеκ инвеρсии οπρеделяеτся οднοзначнο, нο иχ κοορдинаτы не οπρеде- ляюτ κρая измеρяемοгο οбъеκτа. Α для οπρеделения κρаев измеρяемοгο οбъеκτа исποльзуюτ заявленный сποсοб πο οπρеделению ποлοжения инваρианτныχ το- чеκ за счеτ πρеοбρазοвания видеοсигнала. Данный κρиτеρий для Φ(и0) χаρаκτе- ρизуеτ сτеπень οτκлοнения φунκции φροнτа видеοсигнала οτ нечеτнοсτи, πρи κοτοροм дοποлниτельнο ποвышаеτся τοчнοсτь измеρений.For such significant interferences, the function is odd and the inversion rate is unambiguous, but it is not interrupted. Α to determine the scope of the measured object, use the declared method for determining the use of the invariant stream due to the conversion of the video signal. This criterion for Φ (and 0 ) increases the degree of rejection of the video signal function without any oddities, and increases further.
Пρи измеρенияχ шиρины τанτалοвοй ποлοсκи на κρемниевοй ποдлοжκе πο видеοсигналам, ποлученным с исποльзοванием деτеκτορа Эвеρχаρда и вτο- ρичныχ элеκτροнοв, πρи φορме φροнτοв видеοсигнала, οτвечающиχ φунκ- циοналу Φ(иο ) = 0.175-0.18 οшибκа измеρений, οсρедненныχ πο 5120 сτροκамPρi izmeρeniyaχ shiρiny τanτalοvοy ποlοsκi on κρemnievοy ποdlοzhκe πο videοsignalam, ποluchennym with isποlzοvaniem deτeκτορa Eveρχaρda and vτο- ρichnyχ eleκτροnοv, πρi φορme φροnτοv videοsignala, οτvechayuschiχ φunκ- tsiοnalu Φ (iο) = 0.175-0.18 οshibκa izmeρeny, οsρednennyχ πο 5120 sτροκam
ΡЭΜ-изοбρажения, была менее 0.5 %. Для эτοй же ποлοсκи и уκазанныχ услοвий φορмиροвания изοбρажения πρи исποльзοвании видеοсигнала, φορма φροнτοв κοτοροгο была изменена за счеτ изменений усκορяющегο наπρяже- ния миκροсκοπа и οτвечала φунκциοналу Φ(и0 ) = 0,29-0.31 , οшибκа измеρе- ний вοзρасτала дο 3 .0 %. Эκсπеρименτы свидеτельсτвуеτ, чτο, изменяя ρежим ρабοτы сκаниρую- щегο элеκτροннοгο миκροсκοπа за счеτ ваρьиροвания усκορяющегο наπρяже- ния, τиπа деτеκτορа вτορичныχ элеκτροнοв, егο πиτающиχ наπρяжений , сπеκ- τρа φиκсиρуемыχ вτορичныχ элеκτροнοв, φροнτы видеοсигнала в δΕΜ всегда удаеτся сделаτь близκими нечеτным φунκциям в τοй меρе, κοτορая сοοτвеτ- сτвуеτ κρиτеρию Φ(и0) меньше 0.2, чτο οбесπечиваеτ высοκую, дοсτаτοчную для πρаκτиκи τοчнοсτь измеρений. Исποльзοвание эτοгο κρиτеρия ποзвοляеτ дοποлниτельнο ποвысиτь τοчнοсτь измеρений заявленным сποсοбοм.ΡEΜ-image, was less than 0.5%. For eτοy same ποlοsκi and uκazannyχ uslοvy φορmiροvaniya izοbρazheniya πρi isποlzοvanii videοsignala, φορma φροnτοv κοτοροgο was changed on account of changes usκορyayuschegο naπρyazhe- Nia miκροsκοπa and οτvechala φunκtsiοnalu Φ (and 0) = 0,29-0.31, οshibκa izmeρe- Nij vοzρasτala dο 3 .0 % Eκsπeρimenτy svideτelsτvueτ, chτο, changing ρezhim ρabοτy sκaniρuyu- schegο eleκτροnnοgο miκροsκοπa on account vaρiροvaniya usκορyayuschegο naπρyazhe- Niya, τiπa deτeκτορa vτορichnyχ eleκτροnοv, egο πiτayuschiχ naπρyazheny, sπeκ- τρa φiκsiρuemyχ vτορichnyχ eleκτροnοv, φροnτy videοsignala in δΕΜ always udaeτsya sdelaτ blizκimi necheτnym φunκtsiyam in τοy meρe , complying with the Φ (and 0 ) criteria is less than 0.2, which ensures a high accuracy rate for practical measurements. The use of this copying allows you to additionally increase the accuracy of the measurements by the claimed method.
Ηеοбχοдимο οτмеτиτь, чτο сποсοб мοжеτ быτь οсущесτвлен с исποльзο- ванием элеκτροннο-лучевыχ сисτем, φορмиρующиχ узκий πучοκ элеκτροнοв с сечением κρуглοй φορмы на ποвеρχнοсτи измеρяемοгο οбъеκτа, дοπусκающиχ πеρемещение (сκаниροвание) эτοгο πучκа πο ποвеρχнοсτи οбъеκτа или πеρеме- щение (сκаниροвание) οбъеκτа πο οτнοшению κ πучκу элеκτροнοв, сοдеρжащиχ для деτеκτиροвания вτορичныχ элеκτροнοв τаκже деτеκτορ (или деτеκτορы) ρазличныχ τиποв и κοнсτρуκций, а τаκже усилиτельные и/или πρеοбρазοва- τельные элеκτροнные κасκады. Τаκ κаκ все πеρечисленные κοмποненτы πρед- сτавлены в κοнсτρуκции ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа (ΡЭΜ) или δсаηηϊη§ Εϊесϊгοη Μϊсгοδсορе (8ΕΜ), и егο исποльзοвание для οсущесτвления сποсοба наибοлее целесοοбρазнο, το для οбοзначения усτροйсτв, в κοτορыχ вοзмοжна ρеализация πρедлагаемοгο меτοда, πρименен τеρмин "Ρасτροвый элеκτροнный миκροсκοπ", πρи эτοм неοбχοдимο ποнимаτь, чτο эτим τеρминοм οχваτываюτся любые элеκτροннο-лучевые сисτемы, удοвлеτвορяющие πеρечис- ленным выше τρебοваниям.Ηeοbχοdimο οτmeτiτ, chτο sποsοb mοzheτ byτ οsuschesτvlen with isποlzο- vaniem eleκτροnnο-luchevyχ sisτem, φορmiρuyuschiχ uzκy πuchοκ eleκτροnοv cross section κρuglοy φορmy on ποveρχnοsτi izmeρyaemοgο οbeκτa, dοπusκayuschiχ πeρemeschenie (sκaniροvanie) eτοgο πuchκa πο ποveρχnοsτi οbeκτa or πeρemeschenie (sκaniροvanie) οbeκτa πο οτnοsheniyu A handful of electrical components that contain secondary elec- tricity (also known as electrical components) for various types of electrical devices and / or accessories Τaκ κaκ all πeρechislennye κοmποnenτy πρed- sτavleny in κοnsτρuκtsii ρasτροvοgο eleκτροnnοgο miκροsκοπa (ΡEΜ) or δsaηηϊη§ Εϊesϊgοη Μϊsgοδsορe (8ΕΜ), and egο isποlzοvanie for οsuschesτvleniya sποsοba naibοlee tselesοοbρaznο, το for οbοznacheniya usτροysτv in κοτορyχ vοzmοzhna ρealizatsiya πρedlagaemοgο meτοda, πρimenen τeρmin "Ρasτροvy electronic microcomputer ", and for this reason it is necessary to understand that this term covers any electronic beam systems that eliminate the above.
Пρаκτичесκая ρеализация сποсοба οсущесτвлена на базе ρасτροвοгο элеκτροннοгο миκροсκοπа "δΙегеοδсаη-360" φиρмы "СатЬπсΙёе ΙηδгштеηΙδ", Βелиκοбρиτания. Для ρеализации φунκциοнальнοй сχемы (φиг. 1) сποсοб φορ- мализοван в виде πаκеτа машинныχ προгρамм для πρиданнοгο κοмπьюτеρа. Значения сφοκусиροваннοгο видеοсигнала из усилиτельнοгο τρаκτа миκροсκο- πа πеρедаюτся в κοмπьюτеρ и τам οбρабаτываюτся πο алгορиτмам, ρеализую- щим πρедлагаемый сποсοб измеρений. Дейсτвия οπеρаτορа свοдяτся κ выбορу οбъеκτа измеρений, егο ποзициοниροванию, φοκусиροвκе изοбρажения и егο заπиси в πамяτь κοмπьюτеρа. Сама προцедуρа измеρений προизвοдиτся авτο- маτичесκи πο πρиданным προгρаммам, чτο исκлючаеτ вοзмοжнοсτь внесения субъеκτивныχ οшибοκ οπеρаτορа и ποвышаеτ προизвοдиτельнοсτь измеρений. Οднаκο, вοзмοжна и дρугая ρеализация сποсοба, наπρимеρ, πуτем аналοгοвοй οбρабοτκи видеοсигнала, а τаκже неποсρедсτвенным ρасчеτοм и сοвмещением ποлученнοй κρивοй с измеρенным видеοсигналοм.The practical implementation of the method is carried out on the basis of the industrial electronic "δеgeеδδηη-360" of the "Satellite Βηδгтетебб"", Β. For the implementation of the functional circuit (Fig. 1), the method of the php is malized in the form of a computer package for the computer. The values of the processed video signal from the amplified process of the camera are transmitted to the computer and are processed by the process that is being processed. The operation of the device is reduced to the selection of a range of measurements, to its use, to take part in the image and to record it in the memory of the computer. The measurement procedure itself is automatically generated by the pending software, which excludes the possibility of introducing subjective errors. However, it is possible and other to implement the method, for example, by analogous processing of the video signal, as well as by the indirect calculation of the measured signal.
Αдеκваτнοсτь сποсοба προвеρена несκοльκими десяτκами τысяч измеρе- ний: πуτем измеρений шиρины немагниτнοгο зазορа гοлοвοκ заπиси- счиτывания для видеοмагниτοφοна, а τаκже πуτем измеρений сπециальныχ щелевыχ меρ шиρины, ρазρабοτанныχ в Инсτиτуτе Οбщей Φизиκи Ροссий- сκοй Ακадемии Ηауκ и аττесτοванныχ независимым меτοдοм.Αdeκvaτnοsτ sποsοba προveρena nesκοlκimi desyaτκami τysyach izmeρeny: πuτem izmeρeny shiρiny nemagniτnοgο zazορa gοlοvοκ zaπisi- schiτyvaniya for videοmagniτοφοna and τaκzhe πuτem izmeρeny sπetsialnyχ schelevyχ meρ shiρiny, ρazρabοτannyχ in Insτiτuτe Οbschey Φiziκi Ροssiy- sκοy Ακademii Ηauκ and aττesτοvannyχ independent meτοdοm.
Οбοбщенные ρезульτаτы измеρений щелевыχ меρ πρедсτавлены в τабли- 0 це.The generalized results of measurements of the slit method are presented in the table.
ΤаблицаTable
Figure imgf000020_0001
Figure imgf000020_0001
Сτοль высοκие меτροлοгичесκие χаρаκτеρисτиκи сποсοба: нижняя гρа- ница диаπазοна измеρений менее 100 нанοмеτροв; маκсимальные ρасχοжденияHighly high metrological characteristics of the method: the lower limit of the range of measurements is less than 100 nanometers; maximum deposition
15 с нοминалοм - менее 5 нанοмеτροв; малый ρазбροс сρедниχ измеρенныχ значе- ний (менее 0.4 нанοмеτροв для сρеднегο из 500 измеρений) ποзвοляюτ счиτаτь меτοд πρигοдным для πρецизиοнныχ измеρений в προмышленнοсτи, где ис- ποльзуюτся высοκие τеχнοлοгии, а τаκже в службаχ сτандаρτизации, меτροлο- гии и в научнο-исследοваτельсκиχ учρежденияχ. 0 Пροмышленная πρименимοсτь15 with a nominal - less than 5 nanomes; ρazbροs sρedniχ izmeρennyχ small values of the (less than 0.4 for nanοmeτροv sρednegο 500 izmeρeny) ποzvοlyayuτ schiτaτ meτοd πρigοdnym for πρetsiziοnnyχ izmeρeny in προmyshlennοsτi where used ποlzuyuτsya vysοκie τeχnοlοgii and τaκzhe in sluzhbaχ sτandaρτizatsii, meτροlο- ology and nauchnο-issledοvaτelsκiχ uchρezhdeniyaχ. 0 Intended use
Ηаибοлее усπешнο заявленный сποсοб измеρения линейныχ ρазмеροв мοжеτ быτь исποльзοван для бысτροгο и τοчнοгο измеρения ρазличныχ οбъеκ- τοв в προизвοдсτве προмышленныχ изделий с деτалями миκροнныχ, субмиκ- ροнныχ и нанοмеτροвыχ ρазмеροв, τаκиχ κаκ инτегρальные сχемы, магниτныеΗaibοlee usπeshnο claimed sποsοb izmeρeniya lineynyχ ρazmeροv mοzheτ byτ isποlzοvan for bysτροgο and τοchnοgο izmeρeniya ρazlichnyχ οbeκ- τοv in προizvοdsτve προmyshlennyχ products with deτalyami miκροnnyχ, submiκ- ροnnyχ and nanοmeτροvyχ ρazmeροv, τaκiχ κaκ inτegρalnye sχemy, magniτnye
25 гοлοвκи заπиси-счиτывания προмышленныχ и быτοвыχ наκοπиτелей инφορма- ции, вοлοκοннο-οπτичесκие усτροйсτва и линии связи и дρ. 25 heads of record-reading of industrial and consumer information storage devices, military-optical devices and communication lines, etc.

Claims

╬ª╬ƒ╬í╬£╨ú╨¢╬æ ╨ÿ╨ù╬ƒ╨æ╬í╬ò╬ñ╬ò╬ù╨ÿ╨» ╬ª╬ƒ╬í╬ £ ╨ú╨ ¢ ╬æ ╨ÿ╨ù╬ƒ╨æ╬í╬ò╬ñ╬ò╬ù╨ÿ╨ »
1. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╤Å ╨╗╨╕╨╜╨╡╨╣╨╜╤ï╧ç ╧ü╨░╨╖╨╝╨╡╧ü╬┐╨▓ ╤ü ╧Ç╬┐╨╝╬┐╤ë╤î╤Ä ╧ü╨░╤ü╧ä╧ü╬┐╨▓╬┐╨│╬┐ ╤ì╨╗╨╡╬║- ╧ä╧ü╬┐╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨╝╨╕╬║╧ü╬┐╤ü╬║╬┐╧Ç╨░, ╨▓╬║╨╗╤Ä╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣ ╧å╬┐╧ü╨╝╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╡ ╤ì╨╗╨╡╬║╧ä╧ü╬┐╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╧Ç╤â╤ç╬║╨░, ╤ü╬║╨░- ╨╜╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╡ ╨╕╨╝ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╤Å╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░ ╧Ç╬┐ ╨╗╨╕╨╜╨╕╨╕, ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╨╡ ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╨╣ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░- ╨╗╨░ ╨▓ ╧ä╬┐╤ç╬║╨░╧ç ╨╗╨╕╨╜╨╕╨╕ ╤ü╬║╨░╨╜╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╤Å ╨┤╨╗╤Å ╨▓╬┐╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨│╬┐ ╨╕ ╨╜╨╕╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨│╬┐ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä╬┐╨▓ ╨▓╨╕- ╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░, ╤ü╬┐╬┐╧ä╨▓╨╡╧ä╤ü╧ä╨▓╤â╤Ä╤ë╨╕╧ç ╬║╧ü╨░╤Å╨╝ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╤Å╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░, ╬┐╧Ç╧ü╨╡╨┤╨╡╨╗╨╡╨╜╨╕╨╡ ╧Ç╬┐╨╗╬┐- ╨╢╨╡╨╜╨╕╨╣ ╨╕╨╜╨▓╨░╧ü╨╕╨░╨╜╧ä╨╜╤ï╧ç ╧ä╬┐╤ç╨╡╬║ ╨╜╨░ ╨▓╬┐╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨╝ ╨╕ ╨╜╨╕╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨╝ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä╨░╧ç ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░- ╨╗╨░, ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╨╡ ╧ü╨░╨╖╨╝╨╡╧ü╨░ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░ ╧Ç╬┐ ╧ü╨░╤ü╤ü╧ä╬┐╤Å╨╜╨╕╤Ä ╨╝╨╡╨╢╨┤╤â ╨╕╨╜╨▓╨░╧ü╨╕╨░╨╜╧ä╨╜╤ï╨╝╨╕ ╧ä╬┐╤ç╬║╨░╨╝╨╕ ╤ü ╤â╤ç╨╡╧ä╬┐╨╝ ╤â╨▓╨╡╨╗╨╕╤ç╨╡╨╜╨╕╤Å ╧ü╨░╤ü╧ä╧ü╬┐╨▓╬┐╨│╬┐ ╤ì╨╗╨╡╬║╧ä╧ü╬┐╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨╝╨╕╬║╧ü╬┐╤ü╬║╬┐╧Ç╨░, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╧Ç╧ü╨╡╬┐╨▒╧ü╨░╨╖╤â╤Ä╧ä ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╜╤ï╨╣ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗ ╧Ç╤â╧ä╨╡╨╝ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╕╧ç ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕- ╨╝╨░╤å╨╕╨╣, ╨░ ╨╖╨░ ╧Ç╬┐╨╗╬┐╨╢╨╡╨╜╨╕╤Å ╨╕╨╜╨▓╨░╧ü╨╕╨░╨╜╧ä╨╜╤ï╧ç ╧ä╬┐╤ç╨╡╬║ ╧Ç╧ü╨╕╨╜╨╕╨╝╨░╤Ä╧ä ╧ä╬┐╤ç╬║╨╕ ╧Ç╨╡╧ü╨╡╤ü╨╡╤ç╨╡╨╜╨╕╤Å ╬║╧ü╨╕╨▓╬┐╨╣, ╧Ç╬┐╨╗╤â╤ç╨╡╨╜╨╜╬┐╨╣ ╨▓ ╧ü╨╡╨╖╤â╨╗╤î╧ä╨░╧ä╨╡ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╕╧ç ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░╤å╨╕╨╣, ╤ü ╨▓╬┐╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╕╨╝ ╨╕ ╨╜╨╕╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╕╨╝ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä╨░╨╝╨╕ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░.1. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╤Å ╨╗╨╕╨╜╨╡╨╣╨╜╤ï╧ç ╧ü ╨░╨╖╨╝╨╡╧ü╬┐╨▓ ╤ü ╧Ç╬┐╨╝╬┐╤ë╤î╤Ä ╧ü╨░╤ü╧ä╧ü╬┐╨▓╬┐╨│╬┐ ╤ì╨╗╨╡╬║- ╧ä╧ü╬┐╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨╝╨╕╬║╧ü╬┐╤ü╬║╬┐╧Ç╨░, ╨▓╬║ ╨╗╤Ä╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣ ╧å╬┐╧ü╨╝╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╡ ╤ì╨╗╨╡╬║╧ä ╧ü╬┐╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╧Ç╤â╤ç╬║╨░, ╤ü╬║╨░- ╨╜╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╡ ╨╕╨╝ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╤Å╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░ ╧Ç╬┐ ╨╗╨╕╨╜ ╨╕╨╕, ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╨╡ ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╨╣ ╨▓╨╕╨┤ ╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░- ╨╗╨░ ╨▓ ╧ä╬┐╤ç╬║╨░╧ç ╨╗╨╕╨╜╨╕╨╕ ╤ü╬║╨░╨╜ ╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╤Å ╨┤╨╗╤Å ╨▓╬┐╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨│╬┐ ╨╕ ╨╜╨╕ ╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨│╬┐ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä╬┐╨▓ ╨▓╨╕- ╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨ ╜╨░╨╗╨░, ╤ü╬┐╬┐╧ä╨▓╨╡╧ä╤ü╧ä╨▓╤â╤Ä╤ë╨╕╧ç ╬║╧ü╨░╤Å╨╝ ╨╕ ╨╖╨╝╨╡╧ü╤Å╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░, ╬┐╧Ç╧ü╨╡╨┤╨╡╨╗╨ ╡╨╜╨╕╨╡ ╧Ç╬┐╨╗╬┐- ╨╢╨╡╨╜╨╕╨╣ ╨╕╨╜╨▓╨░╧ü╨╕╨░╨╜╧ä╨╜╤ï╧ç ╧ä╬┐╤ç╨╡╬║ ╨╜╨░ ╨▓╬┐╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨╝ ╨╕ ╨╜╨╕╤ü╧ç ┐╨┤╤Å╤ë╨╡╨╝ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä╨░╧ç ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░- ╨╗╨░ , ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╨╡ ╧ü╨░╨╖╨╝╨╡╧ü╨░ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░ ╧Ç╬ ┐ ╧ü╨░╤ü╤ü╧ä╬┐╤Å╨╜╨╕╤Ä ╨╝╨╡╨╢╨┤╤â ╨╕╨╜╨▓╨░╧ü╨╕╨░╨╜╧ä╨ ╜╤ï╨╝╨╕ ╧ä╬┐╤ç╬║╨░╨╝╨╕ ╤ü ╤â╤ç╨╡╧ä╬┐╨╝ ╤â╨▓╨╡╨╗╨╕╤ç╨╡╨ ╜╨╕╤Å ╧ü╨░╤ü╧ä╧ü╬┐╨▓╬┐╨│╬┐ ╤ì╨╗╨╡╬║╧ä╧ü╬┐╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨ ╝╨╕╬║╧ü╬┐╤ü╬║╬┐╧Ç╨░, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝ , ╤ç╧ä╬┐ ╧Ç╧ü╨╡╬┐╨▒╧ü╨░╨╖╤â╤Ä╧ä ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╜╤ï ╣ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗ ╧Ç╤â╧ä╨╡╨╝ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ ╨╕╧╨╕╧╬┐╬║╤ ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕- ╨╝╨░╤å╨╕╨╣, ╨░ ╨╖╨░ ╧Ç╬┐╨╗╬┐╨╢╨ ╡╨╜╨╕╤Å ╨╕╨╜╨▓╨░╧ü╨╕╨░╨╜╧ä╨╜╤ï╧ç ╧ä╬┐╤ç╨╡╬║ ╧Ç╧ü╨╕╨╜╨ ╕╨╝╨░╤Ä╧ä ╧ä╬┐╤ç╬║╨╕ ╧Ç╨╡╧ü╨╡╤ü╨╡╤ç╨╡╨╜╨╕╤Å ╬║╧ü╨╕╨▓╬ ┐╨╣, ╧Ç╬┐╨╗╤â╤ç╨╡╨╜╨╜╬┐╨╣ ╨▓ ╧ü╨╡╨╖╤â╨╗╤î╧ä╨░╧ä╨╡ ╬┐╤ü ╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╕╧ç ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░╤å╨╕╨╣, ╤ü ╨▓╬ ┐╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╕╨╝ ╨╕ ╨╜╨╕╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╕╨╝ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä ░╨╝╨╕ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨ ░.
2. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç.1 , ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╡╨╣ ╨░╧Ç- ╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä╤ü╤Å ╧Ç╬┐╨╗╨╕╨╜╬┐╨╝.2. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç. 1, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨ ╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╡╨╣ ╨░╧Ç- ╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä╤ü╤ Å ╧Ç╬┐╨╗╨╕╨╜╬┐╨╝.
3. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç. 1 , ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╨╡╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╕╨╡ ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░- ╤å╨╕╨╕ ╧Ç╧ü╬┐╨▓╬┐╨┤╤Å╧ä ╨▓ ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╨╡ ╤â╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╨╡╨╜╨╕╤Å, ╬║╬┐╧ä╬┐╧ü╤ï╨╣ ╨▓╤ï╨▒╨╕╧ü╨░╤Ä╧ä ╬║╨░╬║ ╨▓╨╡╨╗╨╕╤ç╨╕╨╜╤â, ╨╝╨╡╨╜╤î╤ê╤â╤Ä 1/3 ╧Ç╧ü╨╡╨┤╧Ç╬┐╨╗╨░╨│╨░╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╧ü╨░╨╖╨╝╨╡╧ü╨░ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╤Å╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░.3. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç. 1, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨ ╜╨╡╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╕╨╡ ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░- ╤å╨╕╨╕ ╧Ç╧ü╬┐╨▓ ╬┐╨┤╤Å╧ä ╨▓ ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╨╡ ╤â╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╨╡╨╜╨╕╤Å, ╬ ║╬┐╧ä╬┐╧ü╤ï╨╣ ╨▓╤ï╨▒╨╕╧ü╨░╤Ä╧ä ╬║╨░╬║ ╨▓╨╡╨╗╨╕╤ç╨╕╨╜╤ â, ╨╝╨╡╨╜╤î╤ê╤â╤Ä 1/3 ╧Ç╧ü╨╡╨┤╧Ç╬┐╨╗╨░╨│╨░╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╧ ü╨░╨╖╨╝╨╡╧ü╨░ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╤Å╨╡╨╝╬┐╨│╬┐ ╬┐╨▒╤è╨╡╬║╧ä╨░.
4. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç. 3, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╤â╤Ä ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░╤å╨╕╤Ä ╧Ç╧ü╬┐╨▓╬┐╨┤╤Å╧ä ╧Ç╤â╧ä╨╡╨╝ ╨╜╨╡╧Ç╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╤ü╧ä╨▓╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╨╡╨╜╨╕╤Å ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╧Ç╬┐ ╨▓╤ï╨▒╧ü╨░╨╜╨╜╬┐╨╝╤â ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╤â ╤â╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╨╡╨╜╨╕╤Å.4. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç. 3, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨ ╜╤Å╤Ä╤ë╤â╤Ä ╨░╧Ç╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░╤å╨╕╤Ä ╧Ç╧ü╬┐╨▓╬┐╨┤╤ Å╧ä ╧Ç╤â╧ä╨╡╨╝ ╨╜╨╡╧Ç╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╤ü╧ä╨▓╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╬┐╤ ü╧ü╨╡╨┤╨╜╨╡╨╜╨╕╤Å ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╧Ç╬┐ ╨▓╤ï╨▒╧ü╨░╨╜╨╜╬┐╨╝╤â ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨ ░╨╗╤â ╤â╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╨╡╨╜╨╕╤Å.
5. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç. 3, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╡╨╣ ╨░╧Ç- ╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä ╨╕╨╜╧ä╨╡╨│╧ü╨░╨╗╤î╨╜╬┐╨╡ ╧Ç╧ü╨╡╬┐╨▒╧ü╨░╨╖╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╡ ╤ü╨▓╨╡╧ü╧ä╬║╨╕ ╨╕╨╖╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╤ü ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨╕╨╜╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╡╨╣. 55. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç. 3, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ ü╧ä╨▓╨╡ ╬┐╤ü╧ü╨╡╨┤╨╜╤Å╤Ä╤ë╨╡╨╣ ╨░╧Ç- ╧Ç╧ü╬┐╬║╤ü╨╕╨╝╨░ ╨╕╨╕å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä ╨╕╨╜╧ä╨╡╨│╧ü╨░╨╗╤î╨╜╬┐╨╡ ╧Ç╧ü╨╡╬┐╨▒╧ü╨░╨╖╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╡ ╤ü╨▓╨╡╧ü╧ä╬║╨╕ ╨╕╨╖╨╝╨╡ ╧ü╨╡╨╜╨╜╬┐╨│╬┐ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╤ü ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐ ╨╣ ╨╕╨╜╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╡╨╣. 5
6. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╤Ä ╨ô╨░╤â╤ü╤ü╨░.6. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕ ╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨ ╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗ DEPARTMENT OF THE PURPOSE.
7. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╤Ä, ╨╕╨╝╨╡╤Ä╤ë╤â╤Ä ╧Ç╬┐╤ü╧ä╬┐╤Å╨╜╨╜╬┐╨╡ ╬║╬┐╨╜╨╡╤ç╨╜╬┐╨╡ ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╨╡ ╨▓╨╜╤â╧ä╧ü╨╕ ╬║╬┐╨╜╨╡╤ç╨╜╬┐╨│╬┐ ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╨░ ╨░╧ü╨│╤â╨╝╨╡╨╜╧ä╨░, ╨╕ ╧ü╨░╨▓╨╜╤â╤Ä 0 ╨▓╨╜╨╡ ╤â╧Ç╬┐╨╝╤Å╨╜╤â╧ä╬┐╨│╬┐ 0 ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╨░.7. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕ ╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨ ╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗ ╧ ╨╖╤ ╧ ╧ Å╨╜╨╜╬┐╨╡ ╬║╬┐╨╜╨╡╤ç╨╜╬┐╨╡ ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╨╡ ╨▓╨╜╤â╧ä╧ ü╨╕ ╬║╬┐╨╜╨╡╤ç╨╜╬┐╨│╬┐ ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╨░ ╨░╧ü╨│╤â╨╝╨ ╡╨╜╧ä╨░, ╨╕ ╧ü╨░╨▓╨╜╤â╤Ä 0 ╨▓╨╜╨╡ ╤â╧Ç╬┐╨╝╤Å╨╜╤â╧ä╬┐╨│╬ ┐ 0 ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╨░.
8. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╤Ä (╬┤╧è╬╖ ╨░╧ç)/╧ç. 8. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕ ╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨ ╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗ EXECUTIVE SUMMARY (╬┤╧è╬╖ ╨░╧ç) / ╧ç.
9. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗╤î╨╖╤â╤Ä╧ä ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╤Ä ╤â = {3 (╧ç)}/╧ç, ╨│╨┤╨╡ ]\ - ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╤Å ╨æ╨╡╤ü╤ü╨╡╨╗╤Å ╬Ö-╨│╬┐ ╧ü╬┐╨┤╨░, 1-╨│╨╛ ╧Ç╬┐╧ü╤Å╨┤╬║╨░.9. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 5, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕ ╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╨▓ ╬║╨░╤ç╨╡╤ü╧ä╨▓╨╡ ╤ç╨╡╧ä╨╜╬┐╨╣ ╨ ╕╨╜- ╧ä╨╡╨│╧ü╨╕╧ü╤â╨╡╨╝╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╨╕ ╨╕╤ü╧Ç╬┐╨╗ ╧╤╨╖╤╤╧╧╧╧╧╧ = = = = {3 (╧ç)} / ╧ç, ╨│╨┤╨╡] \ - ╧å╤ ╨╜╬║╤╨╜╬║╤╤╨╕╤ ╨æ╨╡╤╨æ╨╡╤╤╤╨╡╨╗╤ ╬--1 ╧╧╬┐╨┤╨░, 1-╨│╨╛ ╧Ç╬ ┐╧ü╤Å╨┤╬║╨░.
10. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 1 , ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╧Ç╨╡╧ü╨╡╨┤ ╧Ç╧ü╬┐╨▓╨╡╨┤╨╡╨╜╨╕╨╡╨╝ ╨╕╨╖- 5 ╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╨╣ ╧å╬┐╧ü╨╝╨╕╧ü╤â╤Ä╧ä ╬║╨░╬║ ╨▓╬┐╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╕╨╣, ╧ä╨░╬║ ╨╕ ╨╜╨╕╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╕╨╣ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░, ╤â╨┤╬┐╨▓╨╗╨╡╧ä╨▓╬┐╧ü╤Å╤Ä╤ë╨╕╨╣ ╤â╤ü╨╗╬┐╨▓╨╕╤Ä10. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 1, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕ ╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╧Ç╨╡╧ü╨╡╨┤ ╧Ç╧ü╬┐╨▓╨╡╨┤╨╡╨╜╨╕╨╡╨ ╝ ╨╕╨╖- 5 ╨╝╨╡╧ü╨╡╨╜╨╕╨╣ ╧å╬┐╧ü╨╝╨╕╧ü╤â╤Ä╧ä ╬║╨░╬║ ╨▓╬┐╤ ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤ë╨╕╨╣, ╧ä╨░╬║ ╨╕ ╨╜╨╕╤ü╧ç╬┐╨┤╤Å╤╤╨╕╨╣ ╧å╧ü╬┐ ╨╜╧ä ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░, ╤â╨┤╬┐╨▓╨╗╨╡╧ä╨▓╬┐╧ü╤ Å╤Ä╤ë╨╕╨╣ ╤â╤ü╨╗╬┐╨▓╨╕╤Ä
ЬЬ
! [δ(и) - δ(и0)] άи а 0 Φ(иο) = < 0.2 , где! [δ (и) - δ (и 0 )] άи а 0 Φ (иο) = <0.2, где
Ь
Figure imgf000022_0001
а и0 - κοορдинаτа τοчκи, для κοτοροй φунκциοнал Φ(и0) имееτ минималь- 5 нοе значение; δ(и) - значения видеοсигнала δ κаκ φунκция κοορдинаτы и вдοль линии сκаниροвания; а и Ь - гρаницы φροнτа видеοсигнала; δ(и0)] - значение видеοсигнала в τοчκе и0 ; 0 δтш - минимальнοе значение видеοсигнала в инτеρвале οτ а дο Ь.Ь
Figure imgf000022_0001
╨░ ╨╕ 0 - ╬║╬┐╬┐╧ü╨┤╨╕╨╜╨░╧ä╨░ ╧ä╬┐╤ç╬║╨╕, ╨┤╨╗╤Å ╬║╬┐╧ä╬ ┐╧ü╬┐╨╣ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╬┐╨╜╨░╨╗ ╬ª (╨╕ 0 ) ╨╕╨╝╨╡╨╡╧ä ╨╝╨╕╨╜ ╨╕╨╝╨░╨╗╤î- 5 ╨╜╬┐╨╡ ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╨╡; ╬┤ (╨╕) - ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╤Å ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╬┤ ╬ ║╨░╬║ ╧å╤â╨╜╬║╤å╨╕╤Å ╬║╬┐╬┐╧ü╨┤╨╕╨╜╨░╧ä╤ï ╨╕ ╨▓╨┤╬┐╨╗╤ î ╨╗╨╕╨╜╨╕╨╕ ╤ü╬║╨░╨╜╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╤Å; ╨░ ╨╕ ╨¼ - ╨│╧ü╨░╨╜╨╕╤å╤ï ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä╨░ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨ ╜╨░╨╗╨░; ╬┤ (╨╕ 0 )] - ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╨╡ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╨ ▓ ╧ä╬┐╤ç╬║╨╡ ╨╕ 0 ; 0 ╬┤╤é╤ê - ╨╝╨╕╨╜╨╕╨╝╨░╨╗╤î╨╜╬┐╨╡ ╨╖╨╜╨░╤ç╨╡╨╜╨╕╨╡ ╨▓╨╕ ╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╨▓ ╨╕╨╜╧ä╨╡╧ü╨▓╨░╨╗╨╡ ╬┐╧ä ╨░ ╨┤╬┐ ╨¼.
11. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 10, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╧Ç╧ü╨╕ ╧å╬┐╧ü╨╝╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╕ ╧å╧ü╬┐╨╜╧ä╬┐╨▓ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╨╕╨╖╨╝╨╡╨╜╤Å╤Ä╧ä ╤â╤ü╬║╬┐╧ü╤Å╤Ä╤ë╨╡╨╡ ╨╜╨░╧Ç╧ü╤Å╨╢╨╡╨╜╨╕╨╡ ╧ü╨░╤ü╧ä╧ü╬┐╨▓╬┐╨│╬┐ ╤ì╨╗╨╡╧ä╧ü╬┐╨╜- ╨╜╬┐╨│╬┐ ╨╝╨╕╬║╧ü╬┐╤ü╬║╬┐╧Ç╨░.11. ╨í╧Ç╬┐╤ü╬┐╨▒ ╧Ç╬┐ ╧Ç╤â╨╜╬║╧ä╤â 10, ╬┐╧ä╨╗╨╕╤ç╨░╤Ä╤ë╨╕ ╨╣╤ü╤Å ╧ä╨╡╨╝, ╤ç╧ä╬┐ ╧Ç╧ü╨╕ ╧å╬┐╧ü╨╝╨╕╧ü╬┐╨▓╨░╨╜╨╕╨╕ ╧ å╧ü╬┐╨╜╧ä╬┐╨▓ ╨▓╨╕╨┤╨╡╬┐╤ü╨╕╨│╨╜╨░╨╗╨░ ╨╕╨╖╨╝╨╡╨╜╤Å╤ ╧╧╤ ╤â╤ü╬║╬┐╧ü╤Å╤Ä╤╤╨╡╨╡ ╨╜╨░╧Ç╧ü╤Å╨╢╨╡╨╜╨╕╨╡ ╧ü╨░╤ü╧ ä╧ü╬┐╨▓╬┐╨│╬┐ ╤ì╨╗╨╡╧ä╧ü╬┐╨╜- ╨╜╬┐╨│╬┐ ╨╝╨╕╬║╧ü╬┐╤ü╬║ ╬┐╧Ç╨░.
12. Сποсοб πο πунκτу 10, οτличающийся τем, чτο πρи φορмиροвании 5 φροнτοв видеοсигнала изменяюτ πиτающие наπρяжения деτеκτοροв. 12. Сποсοб πο πунκτу 10, οτличающи йся τем, чτο πρи φορмиροвании 5 φροнτοв видеοсигнала изменя юτ πиτающие наπρяжения деτеκ τοροв.
PCT/RU1997/000060 1997-03-12 1997-03-12 Method for measuring linear dimensions WO1998040696A1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/RU1997/000060 WO1998040696A1 (en) 1997-03-12 1997-03-12 Method for measuring linear dimensions
AU25791/97A AU2579197A (en) 1997-03-12 1997-03-12 Method for measuring linear dimensions

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/RU1997/000060 WO1998040696A1 (en) 1997-03-12 1997-03-12 Method for measuring linear dimensions

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1998040696A1 true WO1998040696A1 (en) 1998-09-17

Family

ID=20130091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1997/000060 WO1998040696A1 (en) 1997-03-12 1997-03-12 Method for measuring linear dimensions

Country Status (2)

Country Link
AU (1) AU2579197A (en)
WO (1) WO1998040696A1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU112605A1 (en) * 1957-02-21 1957-11-30 Л.А. Беспалов Device for counting and distributing aerosol particles to their sizes
GB2002900A (en) * 1977-08-23 1979-02-28 Hitachi Ltd Scanning type electron microscope
DE3228813A1 (en) * 1981-11-02 1983-05-26 Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena Method and arrangement for determining structural edges in electron beam apparatuses
EP0110301A2 (en) * 1982-11-29 1984-06-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Method and apparatus for measuring dimension of secondary electron emission object
DE3404611A1 (en) * 1983-03-09 1984-09-20 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo MEASURING SYSTEM FOR SMALL DIMENSIONS USING A SCAN ELECTRON BEAM
GB2170596A (en) * 1985-02-01 1986-08-06 Hitachi Ltd Measuring dimensions with electron microscope

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU112605A1 (en) * 1957-02-21 1957-11-30 Л.А. Беспалов Device for counting and distributing aerosol particles to their sizes
GB2002900A (en) * 1977-08-23 1979-02-28 Hitachi Ltd Scanning type electron microscope
DE3228813A1 (en) * 1981-11-02 1983-05-26 Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena Method and arrangement for determining structural edges in electron beam apparatuses
EP0110301A2 (en) * 1982-11-29 1984-06-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Method and apparatus for measuring dimension of secondary electron emission object
DE3404611A1 (en) * 1983-03-09 1984-09-20 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo MEASURING SYSTEM FOR SMALL DIMENSIONS USING A SCAN ELECTRON BEAM
GB2170596A (en) * 1985-02-01 1986-08-06 Hitachi Ltd Measuring dimensions with electron microscope

Also Published As

Publication number Publication date
AU2579197A (en) 1998-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Hart et al. Direct detection electron energy-loss spectroscopy: a method to push the limits of resolution and sensitivity
Brown et al. Diffuse radio emission in/around the Coma cluster: beyond simple accretion
Pauw Everything SAXS: small-angle scattering pattern collection and correction
Collins et al. The ROSAT-ESO Flux-Limited X-ray (REFLEX) galaxy cluster survey—II. The spatial correlation function
Péroux et al. Nature of the absorbing gas associated with a galaxy group at z∼ 0.4
JP3412606B2 (en) Laser diffraction / scattering particle size distribution analyzer
Jow et al. An application of an optimal statistic for characterizing relative orientations
MacArthur et al. Quantitative energy-dispersive X-ray analysis of catalyst nanoparticles using a partial cross section approach
Kaczmarek et al. Detection of a coherent magnetic field in the Magellanic Bridge through Faraday rotation
Cubitt et al. An improved algorithm for reducing reflectometry data involving divergent beams or non-flat samples
Grimmel et al. Measurement and numerical calculation of Rubidium Rydberg Stark spectra
US6813338B2 (en) Method for measuring powder x-ray diffraction data using one-or-two-dimensional detector
Sztucki et al. Instrumental developments for anomalous small-angle X-ray scattering from soft matter systems
Postek et al. Does your SEM really tell the truth?—How would you know? Part 1
IT9021973A1 (en) IMAGE GENERATOR BY MEANING CURRENT USERS PHASE DIFFERENCE DETECTION
Issartel et al. Identification of a point of release by use of optimally weighted least squares
Heyer et al. The relative orientation between the magnetic field and gradients of surface brightness within thin velocity slices of 12CO and 13CO emission from the Taurus molecular cloud
JP6314890B2 (en) Crystal orientation analysis method and analyzer
Abbate et al. Constraints on the magnetic field in the Galactic halo from globular cluster pulsars
Yaqoob et al. No signatures of black hole spin in the X-ray spectrum of the Seyfert 1 galaxy Fairall 9
Pashchenko et al. A bias in VLBI measurements of the core shift effect in AGN jets
Ponchut Characterization of X-ray area detectors for synchrotron beamlines
Pineda et al. The Influence of Far-Ultraviolet Radiation on the Properties of Molecular Clouds in the 30 Dor Region of the Large Magellanic Cloud
Oswald et al. Understanding the radio beam of PSR J1136+ 1551 through its single pulses
WO1998040696A1 (en) Method for measuring linear dimensions

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT AU CA CN DE GB IL JP KR RU SE SG US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase
REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: CA

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

Ref document number: 1998539485

Format of ref document f/p: F