WO1998018415A1 - Vorrichtung und verfahren zur formgebung von oberflächen - Google Patents

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WO1998018415A1
WO1998018415A1 PCT/EP1997/005828 EP9705828W WO9818415A1 WO 1998018415 A1 WO1998018415 A1 WO 1998018415A1 EP 9705828 W EP9705828 W EP 9705828W WO 9818415 A1 WO9818415 A1 WO 9818415A1
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laser
unit
area
individual
shaping
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PCT/EP1997/005828
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Inventor
Jürgen Kühnert
Holger MÄUSEZAHL
Stefan Pieger
Eckhard SCHRÖDER
Original Assignee
Aesculap Meditec Gmbh
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Priority to AU51205/98A priority patent/AU5120598A/en
Priority to EP97945865A priority patent/EP0951260B1/de
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    • A61F9/00804—Refractive treatments
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • A61F9/008—Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00897—Scanning mechanisms or algorithms

Definitions

  • the invention relates to a device and a method for shaping surfaces, in particular lenses, by means of laser ablation of the surfaces, in particular, but not exclusively, of surfaces of biological materials.
  • the invention is preferably used in photo refractive keratectomy (PRK) and ophthalmologically exact shaping of lenses.
  • the known state of the art will be described below with reference to that closest to the invention, which deals with the correction of ametropia.
  • the ablative procedures for the treatment of ametropia in the human eye which have been carried out since the mid-1980s, are all based on the formulas described by Munnerlin for the first time for calculating the necessary flattening or division of the cornea. If myopia is corrected, more corneal tissue is removed in the corneal center than in the peripheral area of the cornea according to these calculations. If farsightedness is corrected, more tissue is removed in the corneal periphery than in the center of the cornea. The resulting strengthening or weakening effect on the refractive power of the cornea surface corresponds in its effect to that of a contact lens.
  • US Pat. No. 5,520,679 describes an ophthalmological surgical method using a spot scanning laser in which the cornea is removed by setting individual laser spots.
  • a spot scanning laser in which the cornea is removed by setting individual laser spots.
  • an attempt is made to achieve a removal that is as uniform as possible in terms of surface area in that laser spots that follow one another in time are set with a defined overlap ratio.
  • this requires, especially when using an erbium laser, an increased thermal load on individual surface areas.
  • the invention has for its object to provide a device and a method for shaping surfaces, in particular lenses and in particular surfaces of biological materials using a laser with a pulsed laser output beam, which ensure that in the event of a sudden deliberate or unwanted surface treatment termination at least an acceptable Partial correction of the surface to be processed is present, which represents an improvement in the conditions of the initial state. Furthermore, it is an object of the invention to especially when using an erbium laser, to reduce the surface to be machined as much as possible.
  • the individual layers of a surface to be processed are removed in a predetermined order in order to minimize the risk of deterioration in vision in the event of unforeseen treatment discontinuations.
  • processing in which only at the end an optically perfect, spherical corneal surface with the entire desired correction is created, as many partial corrections as possible with acceptable intermediate results are generated in the proposed method using the proposed device.
  • the full correction sought by the processing is not achieved, but the remaining visual defect can be remedied much more easily with glasses or a contact lens.
  • a new PRK can be carried out at a later point in time in a much more uncompromised manner, even with devices that work according to other methods.
  • the described device and the described shaping method are suitable for all PRK methods currently used, such as area ablation, slit scanning and small spot scanning, both for ablation on the corneal surface and intrastromal tissue ablation in conjunction with the LASIK method or picosecond lasers.
  • the proposed method differs from the multi-pass method occasionally used in devices operating according to the area ablation principle in that a very large number of partial corrections, which are as small as possible, are deliberately generated here.
  • the Multi Pass typically only divides into 2 - 3 partial corrections.
  • the Multi Pass technique primarily tries to reduce certain side effects typical of area ablation, such as excessive drying, excessive tissue warming and the development of Central Islands.
  • FIG. 1 block diagram of the essential components of a device according to the invention and their functional
  • Fig. 2 shows an example of the sequence of processing steps required for a myopia correction in the case of the use of so-called small spot scanning according to the prior art
  • FIG. 3 shows a possibility of the sequence of processing steps required for a myopia correction according to the invention, also in the case of the use of small spot scanning.
  • the device consists of a pulsed laser 1 known per se and used for laser scanning.
  • Lasers with a pulsed laser output beam for example UV lasers such as Eximer lasers, Er: YAG lasers or Q-switched lasers for the intended use of a suitable wavelength and Intensity or energy into consideration.
  • a laser shaping unit 2 is arranged downstream of the laser 1 and, as is known from the prior art, is formed from lenses, mirrors and prisms.
  • a laser milling deflection unit 3 is provided which is matched to the laser pulse sequence and which deflects the laser radiation onto the surface 4 to be processed in a defined manner.
  • the laser beam deflection unit 3 and the steel forming unit 2 are connected to a control unit 5.
  • a first input unit 6 is provided, which receives the refractive input variables (eg dpt, sph, cyl) of the surface 4 to be processed. These output parameters are initially on usual way to determine regardless of the processing device.
  • a second input unit 7 is provided, which is used primarily for recording laser-relevant data. Such data relate to the laser beam diameter, the energy density of the laser beam and the energy distribution over the laser beam cross section and an overlap factor, which can be variably specified individually as well as in its entirety.
  • a calculation unit 8 is assigned to these two input units 6, 7, within which all necessary individual laser shot coordinates are assigned to one another depending on the total surface 4 to be removed. This means that it is determined and determined how many laser spots are to be set in which sub-area of the surface to be removed depending on the laser parameters in order to bring the surface 4 into the desired state.
  • the calculation unit 8 is followed by a so-called block generator 9, to which the data from the calculation unit 8 are fed, and in which the individual laser shot coordinates for the removal of any one which can be predetermined can be removed
  • Step 3 shows the processing sub-steps (Stepl to 6; 7-12; 13-18; 19-24; 25-30; 31-36; 37-42; 43-48; 49 -54).
  • Each of these processing sub-steps represents a complete partial correction in itself.
  • the defined block sequence sent from the sequence generator 10 to the control unit 5 through the interaction of previously mentioned units serves on the one hand to control the laser steel deflection unit 3 and on the other hand to control the SttaMforaiungsaku 2 and there in particular for controlling a provided in the steel forming unit 2, the aperture 21 which can be changed in its opening, the function of which will be explained in more detail when the method is run.
  • a center detector unit 11 which, depending on the control data leaving the control unit 5, connects and controls at least the laser unit 1, the beam shaping unit 2; 21 and the laser steel deflection unit 3 are coordinated in a predeterminable manner.
  • the first and second input unit 6; 7, the calculation unit 8, the block generator 9, the sequence generator 10 and the control unit 5 are assigned to a second computer unit connected to the central computer 11. It is also possible to integrate the units mentioned in the central computer 11.
  • a monitoring unit 12 is advantageously provided, which detects random deflection movements of the surface 4 to be processed and forwards corresponding correction signals to the laser target deflection unit 3 via the control unit 5.
  • a monitoring unit is described, for example, by A. Unkroth et al. in "Coraeal surgery by two-dimensionally scanning of a low-energy excimer laser beam” SPIE Vol. 2126 Ophthalmic Technol. IV 1994 pp. 217ff. described.
  • FIG. 2 which exemplifies the sequence of processing steps required for a myopia correction in the case of the use of so-called small spot scanning according to the prior art, will first be explained.
  • the individual ablation layers are arranged in continuous rows, as would be used in the treatment of spherical myopia in small spot scanning.
  • the individual points mark the center points of the individual laser ablation of a circular laser beam with a diameter of approximately 1-2 mm.
  • a suitable overlap factor and a suitable, for example, Gaussian beam profile each of the individual laser shots per layer results in a kind of tissue removal within an area which is of some kind with respect to the correction to be generated, but which is as refractive as possible.
  • FIG. 3 shows the sequence of the individual ablation layers used in the method.
  • a series of layer removals combined according to the invention forms (cf. Stepl to 6; 7-12; 13-18; 19-24; 25-30; 31-36; 37- 42; 43-48; 49-54) each with its own partial correction.
  • the exact number of layers per partial correction can be changed in certain areas.
  • a minimum number of layers should not be undercut so that a theoretical approximation to a spherical surface is possible at all.
  • the refractive effect of the partial correction should be kept as low as possible in order to keep residual irregularities that arise when the treatment is discontinued within a reasonably low refractive range.
  • a laser 1 with a pulsed laser output beam for example a UV laser, such as excimer laser, Er: YAG laser or Q-switched laser for the intended use, suitable wavelength and intensity or energy and the use of laser beam deflection unit 3 matched to the laser pulse sequence can be formed by controllable tilting mirrors or the like, laser spots are set in the processing area in such a way that, depending on the to be processed, deviating from the target value Lens profile (myopia, hyperopia, astigmatism, corneal scars or the like), the following steps are carried out: a) in a first predetermined area, several laser spots are set one after the other, in terms of area as evenly as possible, but randomly distributed, b) in an enlarged or reduced area compared to the first area second area, analogous to the first area, again several individual laser spots with the same stipulation as under a), but offset to the individual laser spots of the first area and set in the same or different numbers, c) the process of laser spot setting in n areas,
  • Stepl a first step
  • the laser spots further away from it are preferably only set, as a result of which local overheating, as a result of the setting of several spots in a small area, is effectively prevented.
  • a partial overlap of previous ablation areas by the control unit 5 is preferably only permitted in the subsequent ablation layers (Step2, ..., n).
  • Step2 that follows Stepl, several laser spots are set in a somewhat enlarged area, with the four laser spots set in the center according to Stepl in Step2 in the example already set to be set according to Stepl.
  • Stepl If you only look at the laser spots set in the middle area according to Stepl (see steps 3 to 6), you can see that the number and the coordinates of the laser spots are also changed. The same also applies to the other areas surrounding the central area.
  • the generated first sequence (Stepl to 6) of removal steps then already results in a first optical partial correction, in which a necessary termination of the shaping process could possibly take place without adverse effects in accordance with the requirement dl).
  • Fig. 3 the exemplified method up to the last processing step in the individual block sequences, it can be seen that a constant change in the number and the coordinates of the individual laser spots results in a uniform material removal, with a higher in the central areas Removal is achieved because laser spots are set at every step. With the appropriate procedure, an exact spherical lens correction can thus be carried out in the example.
  • the shaping method with variation of the laser spot diameter and / or the laser beam energy density and / or the laser spot profile during the implementation of the method steps according to the requirements a) to c) by appropriate control of the laser 1 and / or the SttaWformungsech 2 is first carried out at least once with first parameters, whereupon the method steps according to a) to c) are repeatedly carried out with changed parameters until a processing state corresponding to a partial correction in accordance with dl) or a complete correction in accordance with d2) is achieved becomes. It is particularly within the scope of the invention to use laser spots with different spot diameters.
  • At least one machining cycle a) to c) is advantageously carried out with a large laser spot diameter and others with smaller laser spot diameters.
  • the combination of machining cycles with different laser spot diameters ensures both the reaction short processing times, as well as a shaping removal according to the desired parameters. If, for example, a laser beam with a diameter of 1 mm is used during the fine removal, at least in areas in which a larger removal is required, at least once a shaping removal in accordance with the requirements of a) to c) with a larger laser beam diameter , for example with 2 mm.
  • the processing time can be shortened while the desired one is saved
  • an element influencing the energy density of the laser radiation between laser 1 and surface 4 can be processed.
  • Such an element can e.g. be a mechanical or variable optical attenuator. It is also within the scope of the invention to carry out at least one processing cycle a) to c) with a high energy density and others with a low energy density.
  • the invention is not limited to the exemplary embodiments described. So it is e.g. also within the scope of the invention that individual ablation areas by means of the steel foundry unit 2; 21 and / or the laser deflection unit 3 are formed by self-contained ring tracks or gap-like ablation zones, as a result of which the ablation method according to the invention can basically be used to make lens corrections that deviate from the spherical setpoint.
  • the lasers proposed for the PRK or the LASIK method come into consideration.
  • the laser is preferably an excimer laser with a wavelength of 193 nm or an Er: YAG laser with a wavelength of 2940 nm.
  • the energy density applied to the surface to be processed is preferably 100-300 mJ / cm in an embodiment according to the invention.
  • the laser spot on the surface 4 to be machined is largely circular and has a laser spot diameter of 3 mm for at least one ablation layer. Additional layers are made with a laser spot diameter of 1 mm worn away.
  • the beam profile can in particular have a Gaussian distribution here, but a pot-shaped distribution is also possible.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Formgebung von Oberflächen, insbesondere von Linsen, vermittels einer Laserabtragung der Oberflächen. Bevorzugt findet die Erfindung Anwendung bei der Photo Refraktiven Keratektomie und ophthalmologisch exakten Formung von Kontaktlinsen. Die Aufgabe der Erfindung, eine Lösung anzugeben, die gewährleistet, daß bei einem plötzlichen Oberflächenbearbeitungsabbruch wenigstens eine akzeptable Teilkorrektur der zu bearbeitenden Oberfläche vorliegt, wird dadurch gelöst, daß die Vorrichtung einen zum Laserscanning eingesetzten gepulsten Laser (1), eine Strahlformungseinheit (2) und eine Laserstrahlablenkeinheit (3), die den Laserstrahl auf eine zu bearbeitende Oberfläche (4) ablenkt, enthält, wobei die Laserstrahlablenkeinheit (3) und die Strahlformungseinheit (2) von einer Ansteuereinheit (5) durch das Zusammenwirken einer ersten (6) und zweiten Eingabeeinheit (7), einer Berechnungseinheit (8), der die Daten der ersten und zweiten Eingabeeinheiten (6; 7) zugeführt werden, eines Blockgenerators (9), dem die in der Berechnungseinheit (8) gewonnenen Daten zugeführt werden und in dem die Einzellaserschußkoordinaten zur Abtragung jeweils einer beliebig vorgebbaren abzutragenden Einzeloberflächenschicht einander zugeordnet werden, und eines Ablaufgenerators (10), an den die, einem Einzelabtragungsgebiet entsprechenden, in Blöcken zusammengefaßten, vom Blockgenerator (9) erzeugten Daten weitergeleitet werden und in dem die einzelnen Blöcke zusammengefaßt und in eine vorgebbare Reihenfolge gebracht werden, derart ansteuerbar sind, daß eine vom Ablaufgenerator (10) gesandte bestimmte Blocksequenz auf die Laserstrahlablenkeinheit (3) und auf eine Strahlformungseinheit (2) in der Weise einwirken, daß pro Blocksequenz jeweils eine vollständige Teilkorrektur der zu bearbeitenden Öberflache (4) gewährleist ist und weiterhin eine Zentralrechnereinheit (11) vorgesehen ist, die in Abhängigkeit von den die Ansteuereinheit (5) verlassenden Ansteuerdaten die Zuschaltung und Steuerung zumindest der Lasereinheit (1), der Strahlformungseinheit (2; 21) und der Laserstrahlablenkeinheit (3) in vorgebbare Weise koordiniert.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Formgebung von Oberflächen
Beschreibung Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Formgebung von Oberflächen, insbesondere von Linsen, vermittels einer Laserabtragung der Oberflächen, insbesondere, jedoch nicht ausschließlich, von Oberflächen biologischer Materiahen. Bevorzugt findet die Erfindung Anwendung bei der Photo Refraktiven Keratektomie (PRK) und ophthalmologisch exakten Formung von Kont^linsen.
Der bekannte Stand der Technik soll im nachstehenden anhand des dem der Erfindung am nächsten kommenden beschrieben werden, der sich mit der Korrektur von Fehlsichtigkeit befaßt. Die seit Mitte der 80er Jahre durchgeführten ablativen Verfahren zur Behandlung von Fehlsichtigkeiten am menschlichen Auge beruhen alle auf den erstmalig von Munnerlin beschriebenen Formeln für die Berechnung der nötigen Abflachung bzw. Aufsteilung der Hornhaut. Im Falle der Korrektur einer Kurzsichtigkeit wird gemäß dieser Berechnungen mehr Hornhautgewebe im Hornhautzentrum als im peripheren Bereich der Hornhaut entfernt. Im Falle der Korrektur von Weitsichtigkeit wird mehr Gewebe in der Hornhautperipherie als im Zentrum der Hornhaut abgetragen. Der dadurch auf die Brechkraft der Hornhautoberfläche entstehende verstärkende oder abschwächende Effekt entspricht in seiner Wirkung dem einer Kontaktlinse.
Die Entfernung der entsprechenden Hornhautmenge erfolgt bei allen bekannten, der Erfindung nahekommenden Verfahren in einzelnen, aufeinanderfolgenden Bereichen von sich stetig verändernden Arealen. Im theoretisch einfachsten Fall, einer Korrektur sphärischer Myopie, werden diese Areale durch aufeinanderfolgende Kreise mit stetig kleiner oder größer werdenden Durchmessern beschrieben. Für die Erzielung eines optimalen Behandlungsergebnisses ist es notwendig, alle Schichten einer Serie komplett abzuarbeiten. Kennzeichnend für die derzeitig bekannten Verfahren ist, daß diese Serien immer vom Beginn bis zum Ende in stetig steigender oder fallender Reihenfolge abgearbeitet werden. Kommt es bei diesen Verfahren zu einem ungewollten Behandlungsabbruch, entstehen unregelmäßige Hornhautoberflächen, die in der Regel zu einer deutlichen Verschlechterung des Sehvermögens führen. Leider lassen sich so verursachte Sehfelder mit konventionellen Mitteln, wie einer Brille oder Kontaktlinse, nicht oder nur unzureichend beheben. Einziger Ausweg ist es, die Behandlung an genau dem Punkt fortzusetzten, an dem sie unterbrochen wurde. Kann der genaue Punkt der Behandlungsunterbrechung nicht festgestellt werden oder ist der Patient nicht bereit, eine weitere Behandlung über sich ergehen zu lassen, kommt es zu einer dauernden Verschlechterung des Sehvermögens. Eine umfassende Beschreibung des bislang bekannten Standes der Technik ist in EP 90 308 709.6 (entspricht DE 690 24 558 T2) abgehandelt.
In US-PS 5,520,679 ist eine ophthalmologische Operationsmethode unter Verwendung eines Spot Scanning Lasers beschrieben, bei der der Hornhautabtrag durch Setzen einzelner Laserspots erfolgt. Bei diesem Verfahren, das im übrigen wie die o.g. Abtragverfahren durchgeführt wird, wird versucht, einen flächenmäßig möglichst gleichmäßigen Abtrag dadurch zu erzielen, daß zeitlich unmittelbar aufeinanderfolgende Laserspots mit einem definierten Überlappungsverhältnis gesetzt werden. Dies bedingt jedoch, insbesondere bei Einsatz eines Erbium-Lasers eine erhöhte thermische Belastung einzelner Flächenareale.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Formgebung von Oberflächen, insbesondere von Linsen und hierbei insbesondere von Oberflächen biologischer Materialien unter Verwendung eines Lasers mit gepulstem Laserausgangsstrahl anzugeben, die gewährleisten, daß bei einem plötzlichen gewollten oder ungewollten Oberflachenbearbeitungsabbruch wenigstens eine akzeptable Teilkorrektur der zu bearbeitenden Oberfläche vorliegt, die einer Verbesserung der Verhältnisse des Ausgangszustandes darstellt. Weiterhin ist es Aufgabe der Erfindung, die thermische Belastung, insbesondere bei Verwendung eines Erbium-Lasers, der zu bearbeitenden Oberfläche weitestgehend zu reduzieren.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche 1 und 8 gelöst. Vorteilhafte weitere Ausgestaltungen sind in den jeweils nachgeordneten Ansprüchen erfaßt.
Bei dem hier vorgestellten Verfahren und der zum Einsatz gelangenden Vorrichtung werden die einzelnen Schichten einer zu bearbeitenden Oberfläche in einer vorbestimmten Reihenfolge abgetragen, um das Risiko einer Verschlechterung des Sehvermögens bei unvorhergesehenen Behandlungsabbrüchen zu minimieren. Anstelle einer Bearbeitung, bei der erst am Ende eine optisch einwandfreie, sphärische Hornhautoberfläche mit der gesamten, angestrebten Korrektur entsteht, werden beim vorgeschlagenen Verfahren unter Verwendung der vorgeschlagenen Vorrichtung möglichst viele Teilkorrekturen mit akzeptablen Zwischenergebnissen erzeugt. Bei einem plötzlichem Behandlungsabbruch kommt es deshalb nie zu stark unregelmäßigen bearbeiteten Oberflächen. In solch einem Fall wird zwar nicht die volle, durch die Bearbeitung angestrebte Korrektur erreicht, doch der verbleibende Sehfehler kann wesentlich einfacher mit einer Brille oder Kontaktlinse behoben werden. Darüber hinaus kann zu einem späteren Zeitpunkt eine erneute PRK wesentlich unkomphzierter, auch mit nach anderen Verfahren arbeitenden Geräten vorgenommen werden.
Die beschriebene Vorrichtung und das beschriebene Formgebungsverfahren eignen sich für alle derzeit verwendeten PRK-Methoden wie Area Ablation, Slit Scanning und Small Spot Scanning, sowohl bei Ablationen auf der Hornhautoberfläche als auch intrastromale Gewebeabtragungen in Verbindung mit der LASIK- Methode oder Pikosekunden Lasern.
Das vorgeschlagene Verfahren unterscheidet sich von der bei nach dem Area Ablation Prinzip arbeitenden Geräten gelegentlich verwendeten Multi Pass Methode dadurch, daß hier bewußt sehr viele, möghchst kleine Teilkorrekturen erzeugt werden. Beim Multi Pass erfolgt typischerweise nur eine Aufteilung in 2 - 3 Teilkorrekturen. Außerdem wird mit der Multi Pass Technik in erster Linie versucht, bestimmte für die Area Ablation typische Nebeneffekte, wie einer zu starken Austrocknung, einer zu starken Gewebeerwärmung und der Entstehung von Central Islands zu reduzieren.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines schematischen Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 blockschaltbildartig die wesentlichen Komponenten einer erfindungsgemäßen Vorrichtung sowie ihre funktioneile
Zuordnung zueinander,
Fig. 2 beispielhaft die Abfolge erforderlicher Bearbeitungsschritte für eine Myopie Korrektur im Falle der Anwendung des sogenannten Small Spot Scanning nach dem Stand der Technik und
Fig. 3 eine Möglichkeit der erfindungsgemäßen Abfolge erforderlicher Bearbeitungsschritte für eine Myopie Korrektur ebenfalls im Falle der Anwendung des Small Spot Scanning.
In Figur 1 sind blockschaltbildartig die wesentlichen Komponenten der vorgeschlagenen Vorrichtung dargestellt. Zunächst besteht die Vorrichtung aus einem an sich bekannten, zum Laserscanning eingesetzten gepulsten Laser 1. Für diesen Laser kommen Laser mit gepulstem Laserausgangsstrahl, bspw. UV-Laser, wie Eximerlaser, Er:YAG-Laser oder gütegeschaltetem Laser für den vorgesehenen Verwendungszweck geeigneter Wellenlänge und Intensität bzw. Energie in Betracht. Dem Laser 1 ist eine Sfrahlformungseinheit 2 nachgeordnet, die, wie nach dem Stand der Technik bekannt, aus Linsen, Spiegeln und Prismen gebildet ist. Weiterhin ist eine, auf die Laserimpulsfolge abgestimmte Lasersfrahlablenkeinheit 3 vorgesehen, die die Laserstrahlung definiert auf die zu bearbeitende Oberfläche 4 ablenkt. Die Laserstrahlablenkeinheit 3 und die Sttahlformungseinheit 2 sind mit einer Ansteuereinheit 5 in Verbindung gebracht. Zum definierten Ansteuern der Ansteuereinheit 5 ist zunächst eine erste Eingabeeinheit 6 vorgesehen, die die refraktiven Eingangsgrößen (z.B. dpt, sph, zyl) der zu bearbeitenden Oberfläche 4 aufnimmt. Diese Ausgangsparameter sind zunächst auf übliche Weise, unabhängig von der Bearbeitungsvorrichtung, zu ermitteln. Weiterhin ist eine zweite Eingabeeinheit 7 vorgesehen, welche vornehmlich zur Aufnahme laserrelevanter Daten dient. Solche Daten betreffen den Laserstrahldurchmesser, die Energiedichte des Laserstrahls und die Energieverteilung über den Laserstrahlquerschnitt und einen Überlappungsfaktor, welche einzeln als auch in ihrer Gesamtheit variabel vorgebbar sind. Diesen beiden Eingabeeinheiten 6, 7 ist eine Berechnungseinheit 8 zugeordnet, innerhalb derer, alle erforderlichen Lasereinzelschußkoordinaten in Abhängigkeit von der gesamt abzutragenden Oberfläche 4 einander zugeordnet werden. Das heißt, dort wird ermittelt und festgelegt, wieviele Laserspots in welchem Teilgebiet der abzutragenden Oberfläche in Abhängigkeit der Laserparameter zu setzen sind, um die Oberfläche 4 in den gewünschten Sollzustand zu überführen. Der Berechnungseinheit 8 ist ein sogenannter Blockgenerator 9 nachgeordnet, dem die Daten der Berechnungseinheit 8 zugeführt werden, und in dem die Einzellaserschußkoordinaten zur Abtragung jeweils einer beliebig vorgebbaren abzutragenden
Einzeloberflächenschicht (vgl. bspw. Fig. 3 ein behebiges, durch einen Step x erfaßtes Gebiet) in solcher Weise einander zugeordnet werden (in Blöcke zusammengefaßt werden), daß zeitlich unmittelbar aufeinanderfolgende Laserspots im Einzelabtragungsgebiet in der Folge voneinander so beabstandet gesetzt werden, daß sie keine Überlappung erfahren, was vorteilhaft über eine Zufallsverteilung erreicht wird und bei der Diircfiführung des Verfahrens den Vorteil nach sich zieht, daß die thermische Belastung im Abtragungsgebiet miiώniert wird. Dem Blockgenerator 9 ist schließlich ein Ablaufgenerator 10 nachgeordnet, in dem die einzelnen, im Blockgenerator 9 gebildeten Blöcke zusammengefaßt und in eine der Erfindung zugrundeliegende Reihenfolge gebracht werden. Diese Reihenfolge stellt jeweils eine Blocksequenz dar, die anhand von Fig. 3 den Bearbeitungsteilschritten (Stepl bis 6; 7-12; 13-18; 19-24; 25-30; 31-36; 37- 42; 43-48; 49-54) entspricht. Jeder dieser Bearbeitungsteilschritte stellt dabei in sich eine vollständige Teilkorrektur dar. Die durch das Zusammenwirken bisher genannter Einheiten vom Ablaufgenerator 10 an die Ansteuereinheit 5 gesandte definierte Blocksequenz dient zum einen der Ansteuerung der Lasersttahlablenkeinheit 3 und zum anderen der Ansteuerung der SttaMforaiungseinheit 2 und dort insbesondere zur Ansteuerung einer in der Sttahlformungseinheit 2 vorgesehenen, in ihrer Öffnung veränderbaren Blende 21, deren Funktion beim Ablauf des Verfahrens näher erläutert wird. Weiterhin ist eine Zenttafreclmereinheit 11 vorgesehen, die in Abhängigkeit von den die Ansteuereinheit 5 verlassenden Ansteuerdaten die Zuschaltung und Steuerung zumindest der Lasereinheit 1, der Sfrahlformungseinheit 2; 21 und der Lasersttahlablenkeinheit 3 in vorgebbare Weise koordiniert. Es liegt im Rahmen der Erfindung, die erste und zweite Eingabeeinheit 6; 7, die Berechnungseinheit 8, den Blockgenerator 9, den Ablaufgenerator 10 und die Ansteuereinheit 5 einer zweiten, mit dem Zentralrechner 11 in Verbindung stehenden Rechnereinheit zuzuordnen. Auch ist es möghch, die genannten Einheiten im Zentralrechner 11 zu integrieren. Zusätzlich zu den bis hierher beschriebenen Einheiten ist vorteilhaft eine Überwachungseinheit 12 vorgesehen, die zufalhge Auslenkbewegungen der zu bearbeitenden Oberfläche 4 erfaßt und über die Ansteuereinheit 5 entsprechende Korrektursignale an die Lasersttaruablenkeinheit 3 weiterleitet. Eine solche Überwachungseinheit ist z.B. von A. Unkroth et al. in "Coraeal surgery by two-dimensionally scanning of a low-energy excimer laser beam" SPIE Vol. 2126 Ophthalmic Technol. IV 1994 S. 217ff. beschrieben.
Zum besseren Verständnis des erfindungsgemäßen Verfahrens soll zunächst Figur 2, die beispielhaft die Abfolge erforderlicher Bearbeitungsschritte für eine Myopie Korrektur im Falle der Anwendung des sogenannten Small Spot Scanning nach dem Stand der Technik darstellt, erläutert werden. Gemäß Figur 2 sind die einzelnen Ablationsschichten in stetigen Reihen angeordnet, wie sie bei einer Behandlung von sphärischer Kurzsichtigkeit im Small Spot Scanning verwendet würden. Die einzelnen Punkte kennzeichnen die Mittelpunkte der einzelnen Laserablationen eines kreisförmigen Laserstrahles mit etwa 1-2 mm Durchmesser. Bei geeignetem Überlappungsfaktor und geeignetem, z.B. gaußförmigen Strahlprofil ergibt sich aus all den einzelnen Laserschüssen pro Schicht jeweils ein bzgl. der zu erzeugenden Korrektur irgendwie gearteter, jedoch möglichst refraktiv gleichmäßiger Gewebeabtrag innerhalb eines Areals. Bei der Area Ablation Methode entspräche ein solches Areal jeweils einem einzigen Laserpuls. Erst nach Abfolge aller, im Beispiel nach Fig. 2 vierundf nfzig Steps, von denen jeder einen Abtrag einer Schicht darstellt, ist die gewünschte Korrektur mit einem in der Mitte stärkeren Gewebeabtrag erreicht. Jeder Abbruch der Oberflächenformung vor Erreichen des letzten Bearbeitungsschrittes ist hier mit den oben beschriebenen Nachteilen verbunden.
Im Gegensatz dazu, steht das vorgeschlagene erfindungsgemäße Verfahren, welches anhand einer Abfolge erforderlicher Bearbeitungsschritte für eine Myopie Korrektur unter Einsatz des Small Spot Scanning, wie in Fig. 3 dargestellt, beschrieben werden soll. In Figur 3 ist die beim Verfahren verwendete Folge der einzelnen Ablationsschichten dargestellt. Dabei bildet jeweils eine gemäß der Erfindung zusammengefaßte Serie von Schichtabtragungen (vgl. Stepl bis 6; 7-12; 13-18; 19-24; 25-30; 31-36; 37- 42; 43-48; 49-54) jeweils eine eigene Teilkorrektur. Die genaue Anzahl der Schichten pro Teilkorrektur läßt sich in bestimmten Bereichen verändern. Zum einen sollte eine Mindestanzahl von Schichten nicht unterschritten werden damit eine theoretische Annäherung an eine sphärische Oberfläche überhaupt möglich ist. Zum anderen sollte der refraktive Effekt der Teilkorrektur so gering wie möghch gehalten werden, um bei einem Behandlungsabbruch entstehende Restunregelmäßigkeiten in einem vertretbar geringem refraktiven Rahmen zu halten. Als sinnvoll erscheint eine Mindestzahl von 5 Schichten und eine bestimmbare Höchstzahl, die einer Korrektur von annähernd einer halben Dioptrie entspräche. Bei einer Ablationstiefe von 9 μm pro dpt für eine 5 mm Myopie Behandlung und einer typischen Schichtdicke von 0.3 μm wären dies bspw. 15 Schichten. Unter Verwendung eines Lasers 1 mit gepulstem Laserausgangsstrahl, bspw. einem UV-Laser, wie Excimerlaser, Er:YAG-Laser oder gütegeschaltetem Laser für den vorgesehenen Verwendungszweck geeigneter Wellenlänge und Intensität bzw. Energie und der Verwendung von auf die Laserimpulsfolge abgestimmten Laserstrahlablenkeinheit 3, die durch ansteuerbare Kippspiegel o.a. gebildet sein kann, wird im Bearbeitungsgebiet ein Setzen von Laserspots derart vorgenommen, daß in Abhängigkeit vom zu bearbeitenden, vom Sollwert abweichenden Linsenprofil (Myopie, Hyperopie, Astigmatismus, Cornea-Narben o.a.) folgende Schritte ausgeführt werden: a) in einem ersten vorgegebenen Gebiet werden mehrere Laserspots nacheinander, flächenmäßig möglichst gleichmäßig, jedoch zufällig verteilt gesetzt, b) in einem gegenüber dem ersten Gebiet vergrößerten oder verkleinerten zweitem Gebiet, analog zum ersten Gebiet wiederum mehrere Einzellaserspots mit der gleichen Maßgabe wie unter a), jedoch zu den Einzellaserspots des ersten Gebietes versetzt und in gleicher oder veränderter Anzahl gesetzt werden, c) der Vorgang des Laserspotsetzens in n Gebieten, wobei n zumindest fünf betragen soll, jeweils mit den Maßgaben nach a) und b) solange fortgesetzt wird, bis flächenmäßig das gesamte Bearbeitungsgebiet zu einem ersten Mal erfaßt und weitestgehend refraktiv gleichmäßig abgetragen ist, dl) an dieser Bearbeitungsstufe ein ggf. erforderlicher Abbruch des Abtragungsverfahrens vorgenommen wird, wodurch wenigstens eine optische Teilkorrektur realisiert ist, oder d2) die Bearbeitungsschritte nach a) bis c) wiederholt solange fortgeführt werden, bis ein gleichmäßiger, dem angestrebten Sollwert der
Oberfläche entsprechender Abtrag des gesamten Bearbeitungsgebietes erreicht ist, wodurch ein refraktiver, insbesondere sphärischer Abtrag der zu bearbeitenden Oberfläche 4 erreicht wird.
Vergleicht man Fig. 3, ist zu erkennen, daß in einem ersten Schritt (Stepl) zeitlich aufeinanderfolgend vier Laserspots entsprechend der Maßgabe a) gesetzt werden. Das heißt also nach dem Setzen des jeweils aktuellen Laserspots erfolgt vorzugsweise erst das jeweilige Setzen weiter von ihm entfernter Laserspots, wodurch eine lokale Überhitzung, infolge des Setzens mehrerer Spots in einem kleinen Areal, wirkungsvoll verhindert wird. Bevorzugt wird erst bei den jeweils folgenden Abtragungsschichten (Step2, ...,n) eine teilweise Überlappung vorheriger Abtragungsbereiche durch die Ansteuereinheit 5 zugelassen. In dem sich an Stepl anschließenden zweiten Bearbeitungsschritt (Step2) werden mehrere Laserspots in einem etwas vergrößerten Gebiet gesetzt, wobei die entsprechend Stepl mittig gesetzten vier Laserspots im Beispiel bei Step2 bereits versetzt zu den nach Stepl gesetzt werden. Betrachtet man im weiteren nur die im mittleren Areal nach Stepl gesetzten Laserspots (vgl Step3 bis 6), so ist zu erkennen, daß im weiteren auch die Anzahl der Laserspots und ihre Koordinaten verändert werden. Das gleiche gilt ebenso für die das mittige Areal umgebenden weiteren Areale. Die erzeugte erste Folge (Stepl bis 6) von Abtragungsschritten ergibt danach bereits eine erste optische Teilkorrektur, bei der gemäß der Maßgabe dl) ggf. ein erforderlicher Abbruch des Formgebungsverfahrens ohne nachteilige Wirkungen erfolgen könnte. Betrachtet man in Fig. 3 das beispielhaft erläuterte Verfahren bis zum letzten Bearbeitungsschritt in den einzelnen Blocksequenzen, so ist zu erkennen, daß durch eine ständige Veränderung der Anzahl und der Koordinaten der einzelnen Laserspots im Ergebnis ein gleichförmiger Materialabtrag, mit einem in den mittigen Arealen höheren Abtrag, da dort bei jedem Step Laserspots gesetzt werden, erzielt wird. Bei entsprechender Verfahrensführung kann somit im Beispiel eine exakte sphärische Linsenkorrektur durchgeführt werden.
Weiterhin liegt es im Rahmen der Erfindung, daß das Formgebungsverfahren bei Variation des Laserspotdurchmessers und/oder der Laserstrahlenergiedichte und/oder des Laserspotprofils während der Durchführung der Verfahrensschritte nach den Maßgaben a) bis c) durch eine entsprechende Ansteuerung des Lasers 1 und/oder der SttaWformungseinheit 2 zunächst wenigstens einmal mit ersten Parametern ausgeführt wird, woran anschheßend die Verfahrensschritte nach a) bis c) mit veränderten Parametern solange wiederholt durchgeführt werden, bis ein, einer Teilkorrektur entsprechender Bearbeitungszustand nach der Maßgabe dl) oder eine vollständige Korrektur nach der Maßgabe d2) erreicht wird. Es hegt im besonderen im Rahmen der Erfindung, Laserspots mit unterschiedhchen Spotdurchmessern zu verwenden. Vorteilhafeter Weise wird mindestens ein Bearbeitungszyklus a) bis c) mit einem großen Laserspotdurchmesser und weitere mit kleineren Laserspotdurchmessern durchgeführt. Die Kombination von Bearbeitungszyklen mit unterschiedhchen Laserspotdurchmessern sichert sowohl die Reahsierung kurzer Bearbeitungszeiten, als auch einen Formgebungsabtrag entsprechend der gewünschten Parameter. Gelangt also bspw. während des Feinabtrags ein Laserstrahl mit einem Durchmesser von 1 mm zur Anwendung, kann vorher zumindest in solchen Gebieten, in denen ein größerer Abtrag erforderlich ist, wenigstens einmal ein Formgebungsabtrag entsprechend der Maßgaben nach a) bis c) mit einem größeren Laserstrahldurchmesser, bspw. mit 2 mm, durchgeführt werden.
In einer weiteren Ausführung läßt sich die Verkürzung der Bearbeitungszeit bei gleichzeitiger Sicherung der gewünschten
Abtragung dadurch realisieren, daß zwischen Laser 1 und zu bearbeitender Oberfläche 4 ein die Energiedichte der Laserstrahlung beeinflussendes Element angeordnet ist. Ein solches Element kann z.B. ein mechanischer oder variabler optischer Abschwächer sein. Auch hegt es im Rahmen der Erfindung mindestens einen Bearbeitungszyklus a) bis c) mit hoher Energiedichte und weitere mit niederer Energiedichte durchzuführen.
Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele begrenzt. So liegt es z.B. ebenso im Rahmen der Erfindung, daß einzelne Abtragungsgebiete vermittels der Sttahlfoirnungseinheit 2; 21 und/oder der LasersttaMablenkeinheit 3 durch in sich geschlossene Ringbahnen oder spaltartige Abtragungszonen gebildet werden, wodurch sich durch das erfindungsgemäße Abtragungsverfahren im Grunde beliebige, vom sphärischen Sollwert abweichende Linsenkorrekturen vornehmen lassen.
Für die im Rahmen der Erfindung eingesetzten Laser kommen die für die PRK bzw. das LASIK- Verfahren vorgeschlagenen Laser in Betracht. Vorzugsweise ist der Laser ein Excimerlaser der Wellenlänge 193 nm oder ein Er:YAG-Laser der WeUenlänge 2940 nm. Bei Verwendung eines Excimerlasers beträgt die auf der zu bearbeitenden Oberfläche applizierte Energiedichte in einer erfindungsgemäßen Ausführung vorzugsweise 100 - 300 mJ/cm . Der Laserspot auf der zu bearbeitenden Oberfläche 4 ist weitgehend kreisrund und besitzt für mindestens eine Abtragungsschicht einen Laserspotdurchmesser von 3 mm. Weitere Schichten werden mit einem Laserspotdurchmesser von 1 mm abgetragen. Das Strahlprofil kann hier insbesondere eine gaußförmige Verteilung aufweisen, aber auch eine topfförmige Verteilung ist möglich. Es liegt im besonderen im Rahmen der Erfindung, den großflächigen Abtrag mit einer gaußförmigen Verteilung vorzunehmen und die Verteilung beim kleineren Durchmesser topfförmig zu wählen. Eine solche Kombination erlaubt es in besonderer Weise, sowohl einen kontinuierlichen Übergang in das unbehandelte Gebiet zu realisieren, als auch Unregelmäßigkeiten der Cornea, wie z.B. Narben zu behandeln.
Es liegt ausdrücklich im Rahmen der Erfindung, die beschriebene Methode zur ophthalmologisch exakten Formung von Kontaktlinsen anzuwenden.
Bezuεszeichenliste
1 Lasereinheit
2 Sttahlformungseinheit
21 - Blende
3 LasersttaWablenkeinheit
4 zu bearbeitende Oberfläche
5 Ansteuereinheit
6 erste Eingabeeinheit
7 zweite Eingabeeinheit
8 Berechnungseinheit
9 Blockgenerators
10 - Ablaufgenerator
11 - Zentralrechnereinheit
12 - Überwachungseinheit

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Formgebung von Oberflächen, insbesondere von Linsen, vermittels Laserabtrag, enthaltend einen üblichen zum Laserscanning eingesetzten gepulsten Laser (1) geeigneter
Wellenlänge und Energie, eine Sttahlformungseinheit (2) und eine auf die Laserimpulsfolge abgestimmte Laserstrahlablenkeinheit (3), die den Laserstrahl auf eine zu bearbeitende Oberfläche (4) ablenkt, dadurch gekennzeichnet, daß die LasersttaMablenkeinheit (3) und die Sttahlformungseinheit (2) von einer Ansteuereinheit (5) durch das
Zusammenwirken
- einer ersten Eingabeeinheit (6), die alle Ausgangsparameter der zu bearbeitenden Oberfläche beinhaltet,
- einer zweiten Eingabeeinheit (7), in die vornehmlich laserrelevante Daten, wie Lasersttahldurchmesser, Energiedichte, Energieverteilung und ein zulässiger Überlappungsfaktor einzelner Laserspots eingebbar sind,
- einer Berechnungseinheit (8), der die Daten der ersten und zweiten Eingabeeinheiten (6; 7) zugeführt werden und innerhalb derer, alle erforderlichen Lasereinzelschußkoordinaten in Abhängigkeit von der gesamt abzutragenden Oberfläche (4) einander zugeordnet werden,
- eines Blockgenerators (9), dem die in der Berechnungseinheit (8) gewonnen Daten zugeführt werden und in dem die Einzellaserschußkoordinaten zur Abttagung jeweils einer beliebig vorgebbaren abzutragenden Einzeloberflächenschicht einander zugeordnet werden, und
- eines Ablaufgenerators (10), an den die, einem Einzelabttagungsgebiet entsprechenden, in Blöcken zusammengefaßten, vom Blockgenerator (9) erzeugten Daten weitergeleitet werden und in dem die einzelnen Blöcke zusammengefaßt und in eine vorgebbare Reihenfolge gebracht werden, derart ansteuerbar sind, daß eine vom Ablaufgenerator (10) gesandte bestimmte Blocksequenz auf die LasersttaUablenkeinheit (3) und auf eine Strahlformungseinheit (2) in der Weise einwirken, daß pro
Blocksequenz jeweils eine vollständige Teilkorrektur der zu bearbeitenden Oberfläche (4) gewährleistet ist und weiterhin eine Zenttalrechnereinheit (11) vorgesehen ist, die in Abhängigkeit von den die Ansteuereinheit (5) verlassenden Ansteuerdaten die Zuschaltung und Steuerung zumindest der Lasereinheit (1), der Sttahlformungseinheit (2; 21) und der Lasersttahlablenkeinheit (3) in vorgebbare Weise koordiniert.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sttahlformungseinheit (2) mindestens ein Element enthält, das die Größe und/oder die Energiedichte und/oder das Profil des Laserspots auf der zu bearbeitenden Oberfläche (4) verändert.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Element in der SttaMformungseinheit (2) um eine Blende (21) handelt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Element in der Strahlformungseinheit (2) um einen Abschwächer handelt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß weiterhin eine Ürjerwachungseinheit (12) vorgesehen ist, die zufällige Auslenkbewegungen der zu bearbeitenden Oberfläche (4) erfaßt und über die Ansteuereinheit (5) entsprechende Korrektursignale an die Lasersttahlablenkeinheit (3) weiterleitet.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Emgabeeinheit (6; 7), die Berechnungseinheit (8), der Blockgenerator (9), der Ablaufgenerator (10) und die Ansteuereinheit (5) einer zweiten, mit dem Zentralrechner (11) in Verbindung stehender Rechnereinheit zugeordnet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite Eingabeeinheit (6; 7), die Berechnungseinheit (8), der Blockgenerator (9), der Ablaufgenerator (10) und die Auswerteeinheit
(5) im Zentralrechner (11) integriert sind.
8. Verfahren zur Formgebung von Oberflächen, insbesondere von Linsen, vermittels Laserabtrag, unter Einsatz einer Vorrichtung nach den vorstehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß in Abhängigkeit von der zu bearbeitenden, vom angestrebten Sollwert abweichenden Oberfläche a) in einem ersten vorgegebenen Gebiet mehrere Laserspots nacheinander, flächenmäßig möglichst gleichmäßig, jedoch zufällig verteilt gesetzt werden, b) in einem gegenüber dem ersten Gebiet vergrößerten oder verkleinerten zweitem Gebiet, analog zum ersten Gebiet wiederum mehrere Einzellaserspots mit der gleichen Maßgabe wie unter a), jedoch zu den Einzellaserspots des ersten Gebietes versetzt und in gleicher oder veränderter Anzahl gesetzt werden, c) der Vorgang des Laserspotsetzens in n Gebieten, wobei n zumindest fünf betragen soll, jeweils mit den Maßgaben nach a) und b) solange fortgesetzt wird, bis flächenmäßig das gesamte Bearbeitungsgebiet zu einem ersten Mal erfaßt und weitestgehend refraktiv gleichmäßig abgetragen ist, dl) an dieser Bearbeitungsstufe ein ggf. erforderlicher Abbruch des Abtragungsverfahrens vorgenommen wird, wodurch wenigstens eine optische Teilkorrektur realisiert ist oder d2) die Bearbeitungsschritte nach a) bis c) wiederholt solange fortgeführt werden, bis ein gleichmäßiger, dem angestrebten
Sollwert der Oberfläche entsprechender Abtrag des gesamten Bearbeitungsgebietes erreicht ist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zeitlich aufeinanderfolgende Einzellaserspots voneinander deutlich so beabstandet gesetzt werden, daß die pro Laserspot erzeugten Abtragungsgebiete keine Überlappung aufweisen,
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb eines Teilbearbeitungszyklus, bis flächenmäßig das gesamte Bearbeitungsgebiet zu einem ersten Mal erfaßt und weitestgehend refraktiv gleichmäßig abgetragen ist, vorgebbare Teilgebiete mehr als einmal einem Laserspotabtrag ausgesetzt werden.
11. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Formgebungsverfahren bei Variation des Laserspotdurchmessers und/oder der Laserstrahlenergiedichte und/oder des Laserspotprofils während der Durchführung der Verfahrensschritte nach a) bis c) durch eine entsprechende Ansteuerung des Lasers (1) und/oder der Sttahlformungseinheit (2) zunächst wenigstens einmal mit ersten Parametern ausgeführt wird, woran anschheßend die Verfahrensschritte nach a) bis c) mit veränderten Parametern solange wiederholt durchgeführt werden, bis ein Bearbeitungszustand nach dem Verfahrensschritt dl) oder d2) erreicht wird.
12. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest in solchen Gebieten, in denen ein größerer Abtrag erforderlich ist, wenigstens einmal die Bearbeitungsschritte a) bis c) mit einem größeren Laserstrahlspotdurchmesser durchgeführt werden, woran anschließend die Schritte a) bis c) solange mit einem kleineren Laserstrahldurchmesser wiederholt durchgeführt werden, bis ein Bearbeitungszustand nach dl) oder d2) erreicht ist.
13. Verfahren nach Anspruch 8 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß einzelne Abttagungsgebiete vermittels der SttaMfoimungseinheit (2; 21) und/oder der Lasersttahlablenkeinheit (3) durch in sich geschlossene Ringbahnen gebildet werden.
14. Verfahren nach Anspruch 8 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß einzelne Abtragungsgebiete vermittels der SttaMfoimungseinheit (2; 21) und/oder der Laserstrahlablenkeinheit (3) durch spaltartige Abtragungszonen gebildet werden.
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