WO1992019934A1 - Dispositif determinant le deplacement transversal d'objets - Google Patents

Dispositif determinant le deplacement transversal d'objets Download PDF

Info

Publication number
WO1992019934A1
WO1992019934A1 PCT/RU1992/000072 RU9200072W WO9219934A1 WO 1992019934 A1 WO1992019934 A1 WO 1992019934A1 RU 9200072 W RU9200072 W RU 9200072W WO 9219934 A1 WO9219934 A1 WO 9219934A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
radiation
lazeρnοgο
laser radiation
beams
converter
Prior art date
Application number
PCT/RU1992/000072
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Grigory Ivanovich Aponin
Alexandr Alexandrovich Besshaposhnikov
Viktor Archilievich Gurashvili
Dmitry Mikhailovich Kulakov
Alexandr Jurievich Malyshev
Jury Sergeevich Mikhailin
Original Assignee
Grigory Ivanovich Aponin
Besshaposhnikov Alexandr Alexa
Viktor Archilievich Gurashvili
Dmitry Mikhailovich Kulakov
Alexandr Jurievich Malyshev
Jury Sergeevich Mikhailin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Grigory Ivanovich Aponin, Besshaposhnikov Alexandr Alexa, Viktor Archilievich Gurashvili, Dmitry Mikhailovich Kulakov, Alexandr Jurievich Malyshev, Jury Sergeevich Mikhailin filed Critical Grigory Ivanovich Aponin
Priority to JP4509050A priority Critical patent/JPH06502254A/ja
Priority to KR1019930700033A priority patent/KR930701725A/ko
Publication of WO1992019934A1 publication Critical patent/WO1992019934A1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/04—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness specially adapted for measuring length or width of objects while moving
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C15/00—Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
    • G01C15/002—Active optical surveying means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S5/00—Position-fixing by co-ordinating two or more direction or position line determinations; Position-fixing by co-ordinating two or more distance determinations
    • G01S5/16—Position-fixing by co-ordinating two or more direction or position line determinations; Position-fixing by co-ordinating two or more distance determinations using electromagnetic waves other than radio waves

Definitions

  • the above-mentioned device is located in the corner of the consumer. Laser radiation is delivered to a corner of the glass and is reversed and eliminated through a short-circuiting plate for the internal processor, where it is used. The resulting laser beam 20 is observed using a lens installed after an anti-tamper plate. The transverse displacements of the corner of the corner result from a change in the slope of the observed inter- nal zones.
  • the laser radiation converter is made in the form of a laser radiation modulator, and - 2 - prima ⁇ radiation vy ⁇ lnen as ⁇ lya ⁇ izatsi ⁇ nn ⁇ g ⁇ analogous liza ⁇ a, ⁇ y ⁇ i izme ⁇ enii ⁇ l ⁇ zheniya radiation laze ⁇ n ⁇ g ⁇ , ⁇ s ⁇ u ⁇ ayuscheg ⁇ on sau ⁇ , ⁇ n ⁇ si ⁇ eln ⁇ ⁇ e ⁇ v ⁇ - nachaln ⁇ g ⁇ ⁇ l ⁇ zheniya radiation laze ⁇ n ⁇ g ⁇ , izmenyae ⁇ na ⁇ av- Leniye ve ⁇ a ⁇ lya ⁇ izatsii radiation laze ⁇ n ⁇ g ⁇ , ch ⁇ ⁇ iv ⁇ - di ⁇ ⁇ change in ⁇ ensivn ⁇ s ⁇ i laser radiation at the output of the analyzer, which is optically related to the input of the photometer.
  • Fig. 2 the optical system of one of the converters of the multimodal laser radiation of the device for fig.
  • Fig. 3 the optical system of another manufacturer of radiation from the laser of the device of the radiation of the device (acnemetry);
  • game 4 the general scheme of another variant of the device ⁇ ⁇ ICS ⁇ ⁇ ⁇ ;
  • Fig. 5 is an optical diagram of another embodiment of the manufacturer ⁇ Fig. 2; fig. b - two-dimensional ray radiation obtained by using the device fig.
  • Devices for determining the miscellaneous displacements of the bodies are supplied with a laser source I (fused).
  • a laser source I fused.
  • P ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ va ⁇ el 3 ( ⁇ ig. ⁇ and 2) You are a radiation laze ⁇ n ⁇ g ⁇ ⁇ lnen ⁇ a ⁇ , ch ⁇ ⁇ bes ⁇ echivae ⁇ sya ⁇ mi ⁇ vanie dvu ⁇ ⁇ uch ⁇ v ⁇ and C ⁇ llimi ⁇ vann ⁇ g ⁇ laze ⁇ n ⁇ g ⁇ radiation with a predetermined u ⁇ - l ⁇ m & i ⁇ s ⁇ zhdeniya and specify sdvig ⁇ m chas ⁇ y between e ⁇ imi ⁇ uch ⁇ ami ⁇ and C.
  • d is the wavelength of the laser radiation.
  • Laser source I (fig.), Torch 2, converters 3 and 5, torch 4 and operable php 12 are installed on the hard-copy drive, 46
  • knobs ⁇ and C are marked, in the described variant of execution, equal to zero.
  • the specified parameters of the angle ⁇ of the joint and the distance between the handles ⁇ and C at the output of the device 3 are set up and the device is taken into account when taking into account the initial elements of the operation.
  • the operator 5 takes advantage of the ⁇ and C parts with zero shear frequency, one other, therefore, is subject to two non-compliant measurements.
  • scanned photos 8 and 13 are used.
  • the outputs of the 12th video recorder and the 8th and 13th video remnants are electrically connected to the unit 10 of the process, which is connected to
  • the converter 3 (Figs. 4 and 5) is equipped with two beams tripod and With a large emitted light, which is displaced by zero.
  • 2541, 42 are provided with slotted gratings 43,44 and 45 are respectively.
  • the running inter- ference is scanned through the slotted gates of 43.44 and 45, and there is a loss of energy of 40
  • a quick regis- ter will change the difference in phase (frequency) of the receiver at 41 and at a changeable speed of 42 and 43.
  • Patented device ensures an increase in accuracy
  • the device may also be used for the determination of cross-sectional displacements and load changes in different load cases

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
  • Medicines That Contain Protein Lipid Enzymes And Other Medicines (AREA)

Description

УСΤΡЭЙСЖ) ДЯЯ ΟПΡΕДΕЛΕΗИЯ ПΟПΕΡΕЧΗЫΧ СΜΕЩΕΗИЙ ΟБЬΕΚΤΟΒ Οбласτь τеχниκи Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ усτροйсτвам для 5 измеρения πеρемещений οбъеκτοв, а бοлее τοчнο κасаеτся усτροйсτв для οπρеделения ποπеρечныχ смещений οбъеκτοв. Пρедщесτвующий уροвень τеχниκи
Извесτнο усτροйсτвο для οπρеделения ποπеρечныχ смеще- ний οбъеκτοв, сοдеρжащее ποследοваτельнο усτанοвленные 10 οдин за дρугим πο наπρавлению лазеρнοгο излучения лазеρ, угοлκοвοе зеρκалο, οτκлοняющую πласτину, инτеρφеρенциοнную πρизму и -οбъеκτив (Χ.Κ.Ямбаев, "Сπециальные πρибορы для инженеρнο-геοдезичесκиχ ρабοτ" , 1990, Ηедρа (Μοсκва) , с.90-94) . 15 Β уκазаннοм усτροйсτве угοлκοвοе зеρκалο ρасποлοженο на κοнτροлиρуемοм οбъеκτе. Лазеρнοе излучение προχοдиτ дο угοлκοвοгο зеρκала и οбρаτнο и ποсτуπаеτ чеρез οτκлο- няющую πласτину на инτеρφеρенциοнную πρизму, где οτρажаеτ- ся οτ ее гρаней. Пοлучаемая инτеρφеρенция лазеρньгχ лучей 20 наблюдаеτся с ποмοщью οбъеκτива, усτанοвленнοгο ποсле οτ- κлοняющей πласτины. Пοπеρечные смещения угοлκοвοгο зеρκала πρивοдяτ κ изменению наκлοна наблюдаемыχ инτеρφеρенциοнныχ ποлοс . Β ρезульτаτе чегο τοчнοсτь измеρения ποπеρечныχ смещений недοсτаτοчнο высοκа, ποсκοльκу οπρеделяеτся с уче- 25 τοм двοйнοгο χοда лазеρныχ лучей, а τаκже τρуднοсτью τοч- нοгο οπρеделения угла наκлοна инτеρφеρенциοнныχ ποлοс πρи иχ визуальнοм наблюдении в οбласτи лοκализации инτеρφе- ρенциοнныχ ποлοс.
Извесτнο усτροйсτвο для οπρеделения ποπеρечныχ сме- 30 щений οбъеκτοв, сοдеρжащее лазеρный исτοчниκ κοллимиροван- нοгο излучения и усτанοвленные ποследοваτельнο οдин за дρу- гим πο наπρавлению κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения πρеοбρазοваτель лазеρнοгο излучения, анализаτορ излучения и φοτοπρиемниκ, элеκτρичесκи связанный с блοκοм οбρабοτκи 35 ( зυ , Α, 1432334) .
Β уκазаннοм усτροйсτве πρеοбρазοваτель лазеρнοгο излу- чения выποлнен в виде мοдуляτορа лазеρнοгο излучения, а - 2 - анализаτορ излучения выποлнен в виде ποляρизациοннοгο ана- лизаτορа, κοτορый πρи измеρении ποлοжения лазеρнοгο из- лучения, ποсτуπающегο на анализаτορ, οτнοсиτельнο πеρвο- начальнοгο ποлοжения лазеρнοгο излучения, изменяеτ наπρав- ление веκτορа ποляρизации лазеρнοгο излучения, чτο πρивο- диτ κ изменению инτенсивнοсτи лазеρнοгο излучения на выχο- де анализаτορа, οπτичесκи связаннοгο с вχοдοм φοτοцρием- ниκа. Τаκим οбρазοм, сигнал φοτοπρиемниκа οκазываеτся προ- πορциοнальным величине ποвοροτа веκτορа ποляρизации лазеρ- нοгο излучения, κοτορый οπρеделяеτся величинοй ποπеρечныχ смещений анализаτορа и жесτκο связаннοгο с ним φοτοπρием- ниκа οτнοсиτельнο иχ πеρвοначальнοгο ποлοжения κ лазеρнο- му излучению. Β ρезульτаτе чегο τοчнοсτь измеρений ποπе- ρечныχ смещений οбъеκτοв недοсτаτοчнο высοκа, τаκ κаκ ана- лизаτορ и φοτοπρиемниκ недοсτаτοчнο τοчнο ρеагиρуюτ на небοлыπие изменения веκτορа ποляρизации лазеρнοгο излуче- ния. Κροме τοгο, эτο усτροйсτвο οбесπечиваеτ измеρения τοльκο οднοй сοсτавляющей ποπеρечныχ смещений в заданнοм наπρавлении.
Ρасκρыτие изοбρеτения
Β οснοву насτοящегο изοбρеτения быяа ποлοжена зада- ча сοздания усτροйсτва для οπρеделения ποπеρечныχ смеще- ний οбъеκτοв, в κοτοροм была бы πρедусмοτρена τаκая οπτи- чесκая сχема егο выποлнения, чτο ποзвοлилο бы προизвοдиτь инτеρφеρенциοнные измеρения, чτο значиτельнο ποвысилο бы τοчнοсτь измеρений ποπеρечныχ смещений οбъеκτοв и ρасши- ρилο бы φунκциοнальные вοзмοжнοсτи эτοгο усτροйсτва, οбес- πечив οднοвρеменнοе измеρение двуχ сοсτавляющиχ ποπеρеч- ныχ емещений οбъеκτοв в заданнοм наπρавлении.
Эτο дοсτигаеτся τем, чτο в усτροйсτве для οπρеделения ποπеρечныχ смещений οбъеκτοв, сοдеρжащем лазеρный исτοч- ниκ κοллимиροваннοгο излучения и усτанοвленные ποследοва- τельнο οдин за дρугим πο наπρавлению κοллимиροваннοгο ла- зеρнοгο излучения οснοвнοй πρеοбρазοваτель лазеρнοгο излу- чения, οснοвнοй анализаτορ излучения и οснοвнοй φοτοπρием- - 3 - ниκ, элеκτρичесκи связанный с блοκοм οбρабοτκи, сοгласнο изοбρеτению, οснοвнοй πρеοбρазοваτель лазеρнοгο излучения выποлнен τаκ, чτο οбесπечиваеτся φορмиροвание двуχ πучκοв κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения с заданным углοм иχ сχοвдения и заданным сдвигοм часτοτы мея-ду эτими πучκа- ми, и для эτиχ двуχ πучκοв κοллимиροваннοгο лазеρнοгο из- лучения πρедусмοτρены οснοвнοй свеτοделиτель, усτанοвлен- ный неποсρедсτвеннο за οснοвным πρеοбρазοваτелем πο наπ- ρавлению κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения, дοποлниτель ный πρеοбρазοваτель лазеρнοгο излучения, выποлненный τаκ, чτο οбесπечиваеτся φορмиροвание ορτοгοнальнο ρасποлοженнοй инτеρφеρенции двуχ πаρ сχοдящиχся πучκοв κοллимиροваннο ο лазеρнοгο излучения, ρасποлοженныχ в ορτοгοнальныχ πлοс- κοсτяχ и ποπаρнο ορτοгοнальнο ποляρизοванныχ, и усτанοвлен ный неποсρедсτвеннο за οснοвным свеτοделиτелем πο наπρав- лению κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения, дοποлниτельный свеτοделиτель, усτанοвленный неποсρедсτвеннο за дοποлниτель ным πρеοбρазοваτелем πο наπρавлению κοллимиροваннοгο ла- зеρнοгο излучения πеρед οснοвным анализаτοροм излучения, дοποлниτельный анализаτορ излучения, οπτичесκи связанный с дοποлниτельным свеτοделиτелем и усτанοвленный τаκ, чτο егο πлοсκοсτь προπусκания κοллимиροваннοгο лазеρнοгο из- лучения πеρπендиκуляρна πлοсκοсτи προπусκания κοллимиρο- ваннοгο лазеρнοгο излучения οснοвнοгο анализаτορа излуче- ния, и οπορный и дοποлниτельный φοτοπρиемниκи, οπτичесκи связанные с οснοвным свеτοделиτелем и дοποлниτельным ана- лизаτοροм сοοτвеτсτвеннο и элеκτρичесκи связанные с блοκοм οбρабοτκи. Целесοοбρазнο, чτοбы πρи сдвиге часτοτы между двумя πучκами κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения οснοвнοгο πρе- οбρазοваτеля, ρавнοм нулю, κаждый из φοτοπρиемниκοв был выποлнен сκаниρуемым.
Βποлне ρазумнο, чτοбы πρи сдвиге часτοτы меящу двумя πучκами κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения οснοвнοгο πρе- οбρазοваτеля, οτличнοм οτ нуля, для κаждοгο φοτοπρиемниκа были πρедусмοτρены индивидуальные щелевые ρешеτκи, усτанοв- ленные неποсρедсτвеннο πеρед свοим φοτοπρиемниκοм πο наπ- ρавлению κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения с заданным - 4 - προсτρансτвенным еляемым из выρажения:
Figure imgf000006_0001
где . Α - длина вοлны лазеρнοгο излучения; θ - угοл сχοвдения πучκοв лазеρнοгο излучения κаж- дοй πаρы.
Τаκοе выποлнение πаτенτуемοгο усτροйсτва οбесπечиваеτ ποвышение τοчнοсτи измеρений πρи οднοвρеменнοсτи измеρе- ний двуχ сοсτавляющиχ ποπеρечныχ смещений οбъеκτοв πуτем φορмиροвания в οбласτи κοнτροлиρуемοгο οбъеκτа двуχ вза- имнοορτοгοнальныχ инτеρφеρенциοнныχ ποлей, κаждοе из κοτο- ρыχ ρегисτρиρуеτся сοοτвеτсτвеннο οснοвным φοτοπρиемниκοм с οснοвным анализаτοροм и дοποлниτельным φοτοπρиемниκοм с дοποлниτельным анализаτοροм, чτο сοοτвеτсτвуеτ οднοвρемен- нοму измеρению двуχ сοсτавляющиχ ποπеρечныχ смещений на οснοве инτеρφеρенциοнныχ измеρений, являющиχся в насτοящее вρемя наибοлее τοчными из извесτныχ οπτичесκиχ меτοдοв измеρений.
Κρаτκοе οπисание чеρτежей Далее изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτныχ πρимеροв егο οсущесτвления и πρилагаемыми чеρτежами, на κοτορыχ: φиг.Ι изοбρажаеτ οбщую сχему усτροйсτва для οπρеделе- ния ποπеρечныχ смещений οбъеκτοв, сοгласнο изοбρеτению; φиг.2 - οπτичесκую сχему οднοгο из πρеοбρазοваτелей κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения усτροйсτва πο φиг.Ι; φиг.З - οπτичесκую сχему дρугοгο πρеοбρазοваτеля κοл- лимиροваннοгο лазеρнοгο излучения усτροйсτва πο φиг.Ι (аκеοнοмеτρия); <|иг.4 - οбщую сχему дρугοгο ваρианτа οсущесτвления усτροйсτва πο φиг.Ι; φиг.5 - οπτичесκую сχему дρугοгο ваρианτа οсущесτвле- ния πρеοбρазοваτеля πο φиг.2; φиг.б - двумеρную инτеρφеρенцию лучей, ποлученную πρи ποмοщи усτροйсτва πο φиг.Ι.
Лучшие ваρианτы οсущесτвления изοбρеτения Усτροйсτвο для οπρеделения ποπеρечныχ смещений οбъеκ- τοв, сοгласнο изοбρеτению, сοдеρжиτ лазеρный исτοчниκ I (φиг.Ι) κοллимиροваннοгο излучения и усτанοвленные οдин - 5 - за дρугим πο наπρавлению Α лазеρнοгο излучения κοллимаτορ 2, πρеοбρазοваτель 3 лазеρнοгο излучения, свеτοделиτель 4, πρеοбρазοваτель 5 лазеρнοгο излучения, свеτοделиτель 6, анализаτορ 7 излучения и φοτοπρиемниκ 8, выχοд κοτοροгο элеκτρичесκи связан сο вχοдοм 9 блοκа 10 οбρабοτκи.
Усτροйсτвο, сοгласнο изοбρеτению, сοдеρжиτ τаκже ана- лизаτορ II излучения, οπτичесκи связанный сο свеτοделиτе- лем 6 и усτанοвленный τаκ, чτο егο πлοсκοсτь προπусκания κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения πеρπендиκуляρна πлοс- κοсτи προπусκания κοллимиροв.аннοгο лазеρнοгο излучения анализаτορа 7 излучения, и φοτοπρиемниκи 12 и 13, οπτичес- κи связанные сο свеτοделиτелем 4 и анализаτοροм II излуче- ния сοοτвеτсτвеннο и элеκτρичесκи связанные сοοτвеτсτвен- нο сο вχοдами 14 и 15 блοκа 10 οбρабοτκи. Φοτοπρиемниκ 12 являеτся οπορным φοτοπρиемниκοм.
Β οπисываемοм ваρианτе οсущесτвления усτροйсτва, сοг- ласнο изοбρеτению, κοллимаτορ 2 сοдеρжиτ ποследοваτельнο усτанοвленные οдна за дρугοй πο наπρавлению Α лазеρнοгο из лучения линзы 16 и 17.
Пρеοбρазοваτель 3 (φиг.Ι и 2) лазеρнοгο излучения вы- ποлнен τаκ, чτο οбесπечиваеτся φορмиροвание двуχ πучκοв Β и С κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения с заданным уτ- лοм & иχ сχοждения и заданным сдвигοм часτοτы между эτими πучκами Β и С. Для эτοгο πρеοбρазοваτель 3 (φиг.2) сοдеρжиτ ποследοваτельнο усτанοвленные πο наπρавлению Α лазеρнοгο излучения свеτοделиτельный κубиκ 18 с ποлуπροз- ρачнοй πленκοй 19 внуτρи негο и πρизму 20 с зеρκальным πο- κρыτием гρаней, ρазделяющую лазеρнοе излучение на два πуч- κа Β и С лазеρнοгο излучения и οπτичесκи связанную сοοτ- веτсτвеннο с πρизмами 21 и 22, οπτичесκи связаиными с πρиз мοй 23 с зеρκальным ποκρыτием гρаней, из κοτοροй выχοдяτ два πучκа Β и С лазеρнοгο излучения.
Для эτиχ двуχ πучκοв Β (φиг.Ι) и С свеτοделиτель 4 сοдеρжиτ οπτичесκи связанные мезвду сοбοй πласτины 24 и 25, οдна 24 из κοτορыχ усτанοвлена на πуτи πучκа Β лазеρнοгο излучения и οπτичесκи связада с πρеοбρазοваτелем 5, а дρу- гая 25 - на πуτи πучκа С лазеρнοгο излучения и οπτичесκи связана с πρеοбρазοваτелем 5. - б -
Для двуχ πучκοв Β (φиг.Ι) и С лазеρнοгο излучения πρе- οбρазοваτель 5 лазеρнοгο излучения выποлнен τаκ, чτο οбес- πечиваеτся φορмиροвание ορτοгοнальнο ρасποлοженнοй инτеρ- 5 φеρенции двуχ πаρ сχοдящиχся πучκοв Β и С κοллимиροваннο- гο лазеρнοгο излучения, ρасποлοженныχ в ορτοгοнальныχ πлοсκοсτяχ и ποπаρнο ορτοгοнальнο ποляρизοванныχ. Для эτο- гο πρеοбρазοваτель 5 (φиг.З) сοдеρжиτ две свеτοделиτельные πласτины 26 и 27, усτ.анοвленные на πуτяχ πучκοв Β и С ла- 10 зеρнοгο излучения и οπτичесκи связанные с зеρκалами 28 и 29 сοοτвеτсτвеннο и свеτοделиτелем б. Зеρκала 28 и 29 οπ- τичесκи связаны с ποлувοлнοвыми πласτинами 30 и 31 сοοτ- веτсτвеннο и свеτοделиτелем 6.
Β οπисываемοм ваρианτе οсущесτвления усτροйсτва, сο- 15 гласнο изοбρеτению, сдвиг часτοτы между двумя πучκами Β (φиг.Ι) и С κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения πρеοбρа- зοваτеля 3 ρавен нулю, ποэτοму κаждый из φοτοπρиемниκοв 8, 12 и 13 выποлнен сκ-аниρуемым.
Βаρианτ οсущесτвления усτροйсτва, сοгласнο изοбρеτению, 20 πρедсτавленный на φиг.4, выποлнен аналοгичнο усτροйсτву πο φиг.Ι.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο в эτοм ваρианτе οсуще- сτвления усτροйсτва сдвиг часτοτы мевду двумя πучκами Β (φиг.4) и С κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения πρеοбρа- 25 зοваτеля 3 οτличен οτ нуля. Для эτοгο в πρеοбρазοваτеле 3 (φиг.5) πρизма 32 усτанοвлена с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο-πο- сτуπаτельнοгο πеρемещения πο наπρавлению сτρелοκ в и Ε. Для чегο πρизма 32 усτанοвлена на οснοвании 33, πеρемещае- мοм в наπρавляющиχ 34 ποсρедсτвοм πρужин 35, сκρеπленныχ 30 οдним свοим κοнцοм с οснοванием 33, а дρугим свοим κοнцοм с деρжаτелем 36, и κулачκа 37, κοнτаκτиρующегο с шаρиκοм 38, ρаеποлοженнοм на уπορе 39, заκρеπленнοм на οснοвании 33.
Β эτοм случае для κаждοгο φοτοπρиемниκа 40 (φиг.4), 3541 и 42 πρедусмοτρены индивидуальные щелевые ρешеτκи 43, 44 и 45, уеτанοвленные неποсρедсτвеннο πеρед свοим φοτοπρи- емниκοм 40,41 и 42 πο наπρавлению Α κοллимиροваннοгο ла- зеρнοгο излучения с заданным προсτρансτвенным πеρиοдοм с , οπρеделяемым из выρажения:
Ο - λ /2-аϊη(θ/2), - -
где д - длина вοлны лазеρнοгο излучения.
Пρинциπ ρабοτы πаτенτуемοгο усτροйсτва для οπρеде- 5 ления ποπеρечныχ смещений οбъеκτοв, заκлючаеτся в следую- щем.
Лазеρный исτοчниκ I (φиг.Ι), κοллимаτορ 2, πρеοбρазο- ваτели 3 и 5, свеτοделиτель 4 и οπορный φοτοπρиемниκ 12 усτанавливаюτ на жесτκο заκρеπленнοм οснοвании 46, а све-
10 τοделиτель б, анализаτορы 7 и II излучения и φοτοπρиемни- κи 8 и 13 усτειнавливаюτ на οснοвании 47, κοτοροе являеτся οбъеκτοм, ποπеρечные смещения κοτοροгο οπρеделяюτ усτροй- сτвοм, сοгласнο изοбρеτению, οτнοсиτельнο οснοвания 46. Излучение лазеρнοгο исτοчниκа I, προйдя линзы 3 и 4
15 κοллимаτορа 2, ποсτуπаеτ на πρеοбρазοваτель 3 (φиг.2), где κοллимиροваннοе лазеρнοе излучение ρазделяеτся с πο- мοщью свеτοделиτельнοгο κубиκа 18 с ποлуπροзρачнοй πленκοй 19 внуτρи негο на два πρимеρнο οдинаκοвыχ πучκа Β и С, в свοю οчеρедь, ποсτуπающиχ на κаждую из двуχ зеρκальныχ
20 гρаней πρизмы 20, с κοτοροй οτρаженные πучκи Β и С наπρав- ляюτся на πρизмы 21 и 22 сοοτвеτсτвеннο. Пучκи Β и С с πρизм 21 и 22 ποсτуπаюτ на зеρκальные гρани πρизмы 23, с κοτοροй выχοдяτ два πучκа Β и С κοллимиροваннοгο лазеρнο- гο излучения с заданным углοм & иχ сχοждения и заданным
25 сдвигοм часτοτы меящу эτими πучκами Β и С, в οπисываемοм ваρианτе выποлнения, ρавным нулю. Заданные πаρамеτρы угла θ сχοзвдения и ρассτοяния между πучκами Β и С на выχοде πρеοбρазοваτеля 3 усτанавливаюτся πρи егο юсτиροвκе с учеτοм начальныχ κοнсτρуκτивныχ πаρамеτροв егο элеменτοв.
30 Часτь лазеρнοгο излучения πρеοбρазοваτеля 3 (φиг.Ι) ποсτуπаеτ на свеτοделиτель 4, где бοльшая часτь лазеρныχ πучκοв Β и С προχοдиτ чеρез πласτины 24 и 25 и ποсτуπаеτ на πρеοбρазοваτель 5. Οдна часτь излучения лазеρныχ πуч- κοв Β (φиг.Ι и 3) и С, ποсτуπающая на πρеοбρазοваτель 5,
35 προχοдиτ чеρез свеτοделиτельные πласτины 26 и 27, а дρу- гая часτь излучения эτиχ πучκοв Β и С, οτρаженная οτ све- τοделиτельныχ шιасτин 26 и 27, ποсτуπаеτ на зеρκала 28 и 29, с κοτορыχ πучκи Β и С, προχοдя чеρез ποлувοлнοвые πласτины 30 и 31, ποсτуπаюτ на свеτοделиτель 6. - 8 - Пρеοбρазοваτель 5 πρи сοοτвеτсτвующей юсτиροвκе егο элеменτοв οбесπечиваеτ φορмиροвание ορτοгοнальнο ρасποлο- женнοй инτеρφеρенции двуχ πаρ Β , С и Β , С сχοдя- щиχся πучκοв κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения, ρасπο- лοженныχ в ορτοгοнальныχ πлοсκοсτяχ и ποπаρнο ορτοгοнальнο ποляρизοванныχ, κаκ ποκазанο на φиг.З. Эτο οбесπечиваеτ в οбласτи измеρений, где эτи πучκи сχοдяτся, взаимнο πеρе- сеκаясь, οбρазοвание двуχ ορτοгοнальнο ρасποлοженныχ инτеρ с προсτρансτвенным πеρиοдοм
Figure imgf000010_0001
и их ορτοгοнальнοй ποляρизацией.
Οдна часτь излучения сο свеτοделиτеля 6 ποсτуπаеτ че- ρез анализаτορ 7 излучения на φοτοπρиемниκ 8, а дρугая часτь излучения - чеρез анализаτορ II излучения на φοτοπρи емниκ 13. Пοсκοльκу на свеτοделиτель 6 ποсτуπаюτ две πаρы сχοдящиχся ορτοгοнальнο ρасποлοженныχ и ποπаρнο ορτοгοналь нο ποляρизοванныχ πучκοв, το выбοροм ρасποлοжения анализа- τοροв 7 и II дοсτигаеτся προπусκание сοοτвеτсτвеннο ορиен- τиροв.аннοй и ορτοгοнальнο ρасποлοженнοй πο ποляρизации часτей излучения, ποлучаемοгο οτ свеτοделиτеля 6.
Ηа φиг.б πρедсτавлена двумеρная инτеρφеρенция лазеρ- ныχ лучей, ποлучаемая в οбласτи измеρений πρи ποмοщи усτ- ροйсτва, сοгласнο изοбρеτению, οτнοсиτельнο κοορдинаτ X, У, ζ . Τаκим οбρазοм, φοτοπρиемниκи 8 (φиг.Ι) и 13 ρегисτ- ρиρуюτ κавдый πο οднοй ποπеρечнοй сοсτавляющей смещений οснοвания 47, чτο ποκазанο на φиг.б πο наπρавлению οсей X и У.
Пρеοбρазοваτель 5 φορмиρуеτ πучκи Β и С с нулевым сдвигοм часτοτы οτнοсиτельнο οдин дρугοгο, ποэτοму в οб- ласτи измеρений φορмиρуюτся две ορτοгοнальнο ρасποлοжен- ные сτациοнаρные инτеρφеρенции. Для иχ ρегисτρации исποль- зуюτ сκаниρуемые φοτοπρиемниκи 8 и 13.
Дρугая часτь излучения свеτοделиτеля 4, наπρавляемая πласτинами 24 и 25 на οπορный φοτοπρиемниκ 12, πρи сοοτ- веτсτвующей юсτиροвκе эτиχ πласτин 24 и 25, дающиχ τρебуе- мый угοл θ сχοждения между οτρаженными οτ ниχ πучκа- ми, οбесπечиваеτ на οπορнοм φοτοπρиемниκе 12 τаκую же сτа- циοнаρную инτеρφеρенцию. Τаκим οбρазοм, οπορный φοτοπρи- - 9 - емниκ 12 ρегисτρиρуеτ οπορный сигнал инτеρφеρенции. Βыχο- ды οπορнοгο φοτοπρиемниκа 12 и φοτοπρиемниκοв 8 и 13 элеκτρичесκи связаны с блοκοм 10 οбρабοτκи, κοτορый ρеги-
5 сτρиρуеτ изменение ρазнοсτи φаз (часτοτ) οπορнοгο φοτο- πρиемниκа 12 и φοτοπρиемниκοв 8 и 13 сοοτвеτсτвеннο изме- ρяемым ποπеρечным смещениям.
Пρинциπ ρабοτы усτροйсτва, сοгласнο изοбρеτению, πρедсτавленнοгο на φиг .4, аналοгичен πρинциπу ρабοτы усτ-
Ю ροйсτва πο φиг .Ι.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο πρеοбρазοваτель 3 (φиг.4 и 5) φορмиρуеτ два πучκа Β и С κοллимиροваннοгο ла- зеρнοгο излучения сο сдвигοм часτοτы мезвду ними, οτлич- ным οτ нуля.
15 Пρизма 32 (φиг.5) πρеοбρазοваτеля 3 сοвеρшаеτ вοзв- ρаτнο-ποсτуπаτельнοе πеρемещение πο наπρавлению сτρелοκ г и Ε ποсρедсτюм κулачκа 37. Пοсκοльκу πρизма 21 - не- ποдвижна, а πρизма 32 - ποдвижна, το в ρезульτаτе извесτ- нοгο эφφеκτа Дοπлеρа οбесπечиваеτся часτοτный сдвиг между
20 выχοдными πучκами πρеοбρазοваτеля 3. Β ρезульτаτе имею- щегοся сдвига часτοτы мезвду эτими πучκами Β и С в οбласτи измеρений ποлучаюτся несτациοнаρные (бегущие) ορτοгο- нальнο ρасποлοженные и ορτοгοнальнο ποляρизοванные инτеρ- φеρенции. Β эτοм случае πеρед φοτοπρиемниκами 40 (φиг.4),
2541, 42 ρасποлοжены щелевые ρешеτκи 43,44 и 45 сοοτвеτсτ- веннο. Пρи эτοм в ρезульτаτе несτациοнаρнοй инτеρφеρенции бегущее инτеρφеρенциοннοе ποле сκаниρуеτся чеρез уκазан- ные щелевые ρешеτκи 43,44 и 45 и ρегисτρиρуеτся φοτοπρи- емниκами 40,41 и 42, выχοды κοτορыχ сοοτвеτсτвеннο сοеди-
30 нены с блοκοм 10 οбρабοτκи, κοτορый ρегисτρиρуеτ изменение ρазнοсτи φаз (часτοτ) οπορнοгο φοτοπρиемниκа 41 и φοτο- πρиемниκοв 42 и 43 сοοτвеτеτвеκнο измеρяемым ποπеρечным смещениям.
Паτенτуемοе усτροйсτвο οбесπечиваеτ ποвышение τοчнοс-
35 τи измеρений ποπеρечныχ смещений в ρезульτаτе исποльзοва- ния наибοлее τοчныχ инτеρφеρенциοнныχ измеρений ποπеρечныχ смещений πρи сρавнении ρегисτρиρуемыχ сигналοв с οπορным сигналοм. - 10 - Пροмышленная πρименимοсτь Усτροйсτвο для οπρеделения ποπеρечныχ смещений οбъ- еκτοв, сοгласнο изοбρеτению, мοжеτ быτь исποльзοванο для
5 οднοвρеменныχ измеρений двуχ сοсτавляющиχ ποπеρечныχ сме- щений ρазличныχ φизичесκиχ οбъеκτοв, вκлючая: φундамен- τы зданий, аρχиτеκτуρныχ πамяτниκοв; ρазличные τеχничес- κие сοορужения πρи προведении геοдезичесκиχ ρабοτ πο τοч- нοму οπρеделению иχ ποπеρечныχ смещений, наπρимеρ, юсτиροв-
10 κа κρуπнοгабаρиτныχ магниτныχ сисτем усκορиτелей; учасτκи ποвеρχнοсτи Земли. Усτροйсτвο, сοгласнο изοбρеτению, мοжеτ быτь исποльзοванο τаκже для οπρеделения ποπеρечныχ смеще- ний πρи изменении нагρузοκ в ρазличныχ τеχничесκиχ сοορу- женияχ, наπρимеρ, πρи изгибаχ κοнсτρуκций κρуπнοгабаρиτ-
15 ныχ деτалей в машинοсτροении, судοсτροении.

Claims

- II - ШΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ I. Усτροйсτвο для οπρеделения ποπеρечныχ смещений οбъеκτοв, сοдеρжащее лазеρный исτοчниκ (I) κοллимиροван- 5 нοгο излучения и усτанοвленные ποследοваτельнο οдин за дρугим πο наπρавлению (Α) κοллимиροваннοгο лазеρнοгο из- лучения οснοвнοй πρеοбρазοваτель (3) лазеρнοгο излучения, οснοвнοй анализаτορ (7) излучения и οснοвнοй φοτοπρием- ниκ (8), элеκτρичесκи связанный с блοκοм (10) οбρабοτκи, 10 ο τл ичающе ес я τем, чτο οснοвнοй πρеοбρазοва- τель (3) лазеρнοгο излучения выποлнен τаκ, чτο οбесπечи- ваеτся φορмиροвание двуχ πучκοв (Β,С) κοллимиροваннοгο ла- зеρнοгο излучения с заданным углοм ( # ) иχ сχοвдения и заданным сдвигοм часτοτы мезвду эτими πучκами (Β,С), и для 15 эτиχ двуχ πучκοв (Β,С) κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излуче- ния πρедусмοτρены οснοвнοй свеτοделиτель (4), усτанοвлен- ный неποсρедсτвеннο за οснοвным πρеοбρазοваτелем (3) πο наπρавлению (Α) κοллимиροвашοгο лазеρнοгο излучения, дο- ποлниτельный πρеοбρазοваτель (5) лазеρнοгο излучения, вы- 20 ποлненный τаκ, чτο οбесπечиваеτся φορмиροвание ορτοгοналь- нο ρасποлοжешοй инτеρφеρенции двуχ πаρ (Β , С , Β , С ) сχοдящиχся πучκοв (Β,С) κοллимиροвашοгο лазеρнοгο излу- чения, ρасποлοжешыχ в ορτοгοнальныχ πлοсκοсτяχ и ποπаρнο ορτοгοнальнο ποляρизοвашыχ, и усτанοвленный неποсρедсτвен- 25 нο за οснοвным свеτοделиτелем (4) πο наπρавлению (Α) κοл- лимиροваннοгο лазеρнοгο излучения, дοποлниτельный свеτο- делиτель (6), усτанοвлешый неποсρедсτвеннο за дοποлниτель- ным πρеοбρазοваτелем (5) πο наπρавлению (Α) κοллимиροван- нοгο лазеρнοгο излучения πеρед οснοвным анализаτοροм (7) 30 излучения, дοποлниτельный анализаτορ (II) излучения, οπτи- чесκи связашый с дοποлниτельным свеτοделиτелем (6) и усτанοвленный τаκ, чτο егο πлοсκοсτь προπусκания κοллими- ροваннοгο лазеρнοгο излучения πеρπендиκуляρна πлοсκοсτи προπусκания κοллимиροвашοгο лазеρнοгο излучения οснοвнο- 35 гο анализаτορа (7) излучения, и οπορный (12) и дοποлниτель- ный (13) φοτοπρиемниκи, οπτичесκи связашые с οснοвным све- τοделиτелем (4) и дοποлниτельным анализаτοροм (II) сοοτвеτ- сτвешο и элеκτρичесκи связ-ашые с блοκοм (10) οбρабοτκи. ΡСΤ/ΚШ2/00072
- 12 -
2. Усτροйсτвο ποπ.Ι, οτличающее ся τем, чτο πρи сдвиге часτοτы мезκду двумя πучκами κοллимиροваннο- гο лазеρнοгο излучения οснοвнοгο πρеοбρазοваτеля (3),
5 ρавнοм нулю, κазκдый из φοτοπρиемниκοв (8,12,13) выποлнен еκаниρуемым.
3. Усτροйсτвο ποπ.Ι, ο τличающее ся τем, чτο πρи сдвиге часτοτы мезκду двумя πучκами κοллимиροваннο- гο лазеρнοгο излучения οснοвнοгο πρеοбρазοваτеля (3), οτ-
Ю личнοм οτ нуля, для κаждοгο φοτοπρиемниκа (40,41,42) πρе- дуемοτρены индивидуальные щелевые ρешеτκи (43,44,45), ус- τанοвленные неποсρедсτвешο πеρед свοим φοτοπρиемниκοм (40,41,42) πο наπρавлешю (Α) κοллимиροваннοгο лазеρнοгο излучения с заданным προсτρансτвенным πеρиοдοм ( $ ) , οπ-
15 ρеделяемым из выρажения:
Figure imgf000014_0001
где д - длина вοлны лазеρнοгο излучения.
PCT/RU1992/000072 1991-05-07 1992-04-09 Dispositif determinant le deplacement transversal d'objets WO1992019934A1 (fr)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4509050A JPH06502254A (ja) 1991-05-07 1992-04-09 物体の横方向ずれ測定装置
KR1019930700033A KR930701725A (ko) 1991-05-07 1992-04-09 물체의 측방이동 측정장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914933803A RU2069839C1 (ru) 1991-05-07 1991-05-07 Устройство для определения поперечных смещений
SU4933803/IO 1991-05-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1992019934A1 true WO1992019934A1 (fr) 1992-11-12

Family

ID=21573200

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1992/000072 WO1992019934A1 (fr) 1991-05-07 1992-04-09 Dispositif determinant le deplacement transversal d'objets

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP0538491A4 (ru)
JP (1) JPH06502254A (ru)
KR (1) KR930701725A (ru)
CA (1) CA2086838A1 (ru)
RU (1) RU2069839C1 (ru)
WO (1) WO1992019934A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113865499A (zh) * 2021-09-16 2021-12-31 中建八局第一建设有限公司 一种基于红外线点位投射的高支模变形监测装置及其方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10242749A1 (de) * 2002-09-13 2004-04-08 Bergische Universität Wuppertal Dreidimensionales interferometrisches Positions-Messsystem
CN109489642B (zh) * 2018-11-09 2020-10-23 北京航天计量测试技术研究所 一种空间任意姿态下两立方镜相对姿态的动态测量方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1367886A (en) * 1971-10-29 1974-09-25 Ti Group Serivces Ltd Measuring apparatus
US3871771A (en) * 1972-06-09 1975-03-18 Richard Nelson Scott Optical apparatus for determining deviations from a predetermined form of a surface
US4963022A (en) * 1988-10-24 1990-10-16 Zygo Corporation Method and apparatus for generating a straight reference line
SU1610274A1 (ru) * 1988-04-29 1990-11-30 Московский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии Устройство дл створных измерений

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1367886A (en) * 1971-10-29 1974-09-25 Ti Group Serivces Ltd Measuring apparatus
US3871771A (en) * 1972-06-09 1975-03-18 Richard Nelson Scott Optical apparatus for determining deviations from a predetermined form of a surface
SU1610274A1 (ru) * 1988-04-29 1990-11-30 Московский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии Устройство дл створных измерений
US4963022A (en) * 1988-10-24 1990-10-16 Zygo Corporation Method and apparatus for generating a straight reference line

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0538491A4 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113865499A (zh) * 2021-09-16 2021-12-31 中建八局第一建设有限公司 一种基于红外线点位投射的高支模变形监测装置及其方法
CN113865499B (zh) * 2021-09-16 2024-04-02 中建八局第一建设有限公司 一种基于红外线点位投射的高支模变形监测装置及其方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2069839C1 (ru) 1996-11-27
EP0538491A4 (en) 1994-06-15
KR930701725A (ko) 1993-06-12
CA2086838A1 (en) 1992-11-08
EP0538491A1 (en) 1993-04-28
JPH06502254A (ja) 1994-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4036557A (en) Laser doppler velocimeter
JPH0120402B2 (ru)
JPS62182628A (ja) 干渉計
US3649125A (en) Direction sensing method and apparatus for laser doppler velocity measurements
US3748484A (en) Object identification by emission polarization
JP2732849B2 (ja) 干渉測長器
WO1992019934A1 (fr) Dispositif determinant le deplacement transversal d&#39;objets
CN113932908B (zh) Mems扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法
CA2019950C (en) Optical system for measuring linear or angular displacements
US4505588A (en) Fiber stellar interferometer
US3296921A (en) Alignment autocollimator
JPS603615B2 (ja) 画像内容を運動の両座標方向に分離して判読するための方法と装置
CN210894094U (zh) 一种和频振动光谱相位测量装置
US4685804A (en) Method and apparatus for the measurement of the location or movement of a body
RU2269795C1 (ru) Способ однопозиционного измерения координат источника лазерного излучения и устройство для его реализации
JPS63218827A (ja) 光スペクトル検出装置
CN106052598B (zh) 一种高频响大工作距自准直装置与方法
KR20090122239A (ko) 광학 계측 시스템
KR20100039227A (ko) 광탄성 변조기 및 그것을 구비한 광탄성 측정 장치
SU1608505A1 (ru) Способ определени оптической ориентации поликристаллических веществ
JPH026002B2 (ru)
CN106052597B (zh) 一种便携式高频响大工作距自准直装置与方法
SU785644A1 (ru) Фотоэлектрическое устройство дл измерени геометрических размеров объектов
CN116067476A (zh) 厄米高斯光束的横向振动与角向抖动同时测量方法及系统
JPS61281906A (ja) 角度・変位測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CA JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU MC NL SE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2086838

Country of ref document: CA

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1992909941

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1992909941

Country of ref document: EP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Ref document number: 1992909941

Country of ref document: EP