WO1989001602A1 - Sliding caliper - Google Patents

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WO1989001602A1
WO1989001602A1 PCT/DE1987/000546 DE8700546W WO8901602A1 WO 1989001602 A1 WO1989001602 A1 WO 1989001602A1 DE 8700546 W DE8700546 W DE 8700546W WO 8901602 A1 WO8901602 A1 WO 8901602A1
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measuring
longitudinal direction
electrodes
electrode
counter
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Application number
PCT/DE1987/000546
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Inventor
René Lazecki
Alexander Witte
Original Assignee
Pav Präzisions-Apparatebau Aktiengesellschaft
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Publication date
Application filed by Pav Präzisions-Apparatebau Aktiengesellschaft filed Critical Pav Präzisions-Apparatebau Aktiengesellschaft
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2412Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap
    • G01D5/2415Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap adapted for encoders
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/20Slide gauges
    • G01B3/205Slide gauges provided with a counter for digital indication of the measured dimension

Definitions

  • the invention relates to a caliper with a first measuring part and a second measuring part movable relative to it in a longitudinal direction, with at least one planar measuring electrode arranged electrically insulated on the first measuring part and a plurality of planar ones arranged on the second measuring part and extending transversely to the longitudinal direction Measuring counter electrodes, past which the measuring electrode moves with relative longitudinal movement of the first measuring part to the second measuring part is, the measuring electrode and the measuring counter-electrodes form a capacitor, the capacitance value varies depending on the relative movement of the two parts to each other.
  • a caliper of the type mentioned, in which the distance between two measuring jaws is recorded, evaluated and displayed electronically, is generally known.
  • gauge is used in the following, this is only intended to illustrate the invention more clearly and clearly with reference to this application example. It goes without saying that the invention can also be used in other mechanical / electrical length measuring devices, e.g. also with micrometers, probes and the like.
  • a rotor is arranged on a rod so that it can move longitudinally.
  • the rotor and the rod are each provided with a measuring beak projecting at 90 °, between which the object to be measured is enclosed.
  • conventional "electronic" calipers are provided with a capacitive measuring arrangement.
  • This measuring arrangement consists of flat measuring electrodes, which are arranged in sliding surfaces of the rod and the rotor. These two-dimensional measuring electrodes form the two plates of a capacitor, the capacitance value of which is detected and evaluated.
  • the degree of coverage of the electrodes on the rotor and the rod changes, and thus also the capacitance value of the capacitor formed in this way.
  • the known slide gauges are designed so that the measuring electrodes are formed as insulated electrically conductive surfaces (islands) on the rod as well as on the rotor. In practice, this is achieved by depicting the electrically insulated surfaces by vapor deposition on an electrically non-conductive base body or by inserting punched strips into a base body, which is also non-conductive, or the like.
  • the e.g. Measuring electrodes arranged on the rod must therefore not only be insulated from one another but also from the rod.
  • the individual measuring electrodes of the rod which are arranged, for example, in the longitudinal direction in each case 2.2 mm long and at a distance of, for example, 2.54 mm, must be connected to one another so that the one or more electrodes of the rotor are closed each individual electrode of the rod can have a capacitive and evaluable interaction.
  • the known slide gauges thus have the disadvantage that they are extremely complex, in particular with regard to the arrangement of the many electrodes on the rod, because the insulation and subsequent wiring required a very complex manufacturing process.
  • the very complex production inevitably entails a certain sensitivity to mechanical loads.
  • the invention is therefore based on the object of developing a slide gauge of the type mentioned at the outset which considerably simplifies its manufacture and at the same time significantly increases its robustness.
  • This object is achieved, on the one hand, in that the measuring counter-electrodes are designed as an electrically conductive surface which is continuous in the longitudinal direction and is provided with a coating of dielectric material which at least partially discontinuously covers the surface in the longitudinal direction.
  • Another important advantage of coating with dielectric material is that almost any shape for the counterelectrode can be chosen during coating, in particular printing.
  • the area is left in regions in the longitudinal direction without coating and forms a first reference counterelectrode there, which is opposed by a first reference electrode on the first measuring part.
  • the area can be partially in Be provided with a continuous coating in the longitudinal direction and form a second reference counterelectrode there, which is opposed by a second reference electrode on the first measuring part.
  • the above-mentioned measures have the advantage that when the measuring parts are shifted relative to one another a reference value is generated which is independent of the longitudinal shift, one of which corresponds to the maximum capacitance value (with the dielectric coating switched on) and the other to the minimum capacitance value (without dielectric coating), these being the two extreme values between which the capacitance value between the measuring electrodes and the measuring counter-electrodes varies when the two measuring parts are shifted relative to one another.
  • disturbance variables for example the temperature dependence of the relative dielectric constant of the coating, the age dependence of the dielectric constant and the like.
  • the measuring counter electrodes are designed as a continuous, electrically conductive surface in the longitudinal direction, which is provided with recesses arranged discontinuously in the longitudinal direction.
  • the object on which the invention is based can be achieved completely, because even with this solution variant the entire counter surface, for example the entire rod, acts as counter electrode and separate electrodes no longer have to be embedded in the rod.
  • the indentations required can be introduced in a simple manner, for example by electroerosion, or they can be conversely applied to a reference surface elevations by electrode deposition.
  • the geometric design of the measuring counter-electrodes can be varied to a certain extent, although not to the same extent as is the case when printing with a dielectric covering.
  • the measuring electrodes and the measuring counter-electrodes are designed as strips arranged transversely to the longitudinal direction and arranged at a constant distance from one another, as is known per se.
  • At least two measuring electrodes are arranged in an odd multiple of a quarter of the distance from one another in the longitudinal direction, likewise in a manner known per se.
  • This measure has the advantage, on the one hand, that by comparing the output signals of the two measuring electrodes it can be determined in which direction the two measuring parts are relative are shifted towards each other. Another advantage of this arrangement is that:
  • the result is theoretically a triangular course of the capacitance value as a function of the longitudinal displacement.
  • the reversal points of this triangular course that is to say the points of the longitudinal displacement at which the measuring electrodes and the counter-measuring electrodes just overlap or do not overlap, are, in practice, rounded to rounding.
  • At least two measuring electrodes are arranged offset in an even number multiple of the distance from one another in the longitudinal direction and are electrically connected in parallel.
  • This measure has the advantage that a larger signal yield is possible because the effective capacitor area is doubled. This is particularly important because, in the usual dimensions of calipers, capacitance values occur in the pF range, so that the evaluable value is doubled Measurement signals means a significant simplification for further signal processing.
  • a large number of measuring counter electrodes are provided, the extent of which is stepped in the longitudinal direction.
  • This measure has the advantage that a nonius-like arrangement is created, in which the increase or decrease in the surface coverage of the electrodes changes step by step, so that in this way a step-shaped signal function can be achieved as a function of the longitudinal displacement, particularly with digital evaluation means can be easily processed.
  • the measuring counter electrodes are profiled in the longitudinal direction.
  • This exemplary embodiment of the invention makes use of the possibility, in particular when printing with a dielectric coating, of being able to choose the geometric design of the measuring counterelectrodes almost freely.
  • By cleverly shaping the measuring counter-electrodes either non-linearities can be compensated or deliberate non-linearities can be generated, for example stepped courses of the measuring signal.
  • a multiplicity of measuring electrodes are arranged at a distance from one another transversely to the longitudinal direction and can be moved over an equal number of tracks of measuring counter-electrodes.
  • Figure 1 is a plan view of an electrode side of a slide of a slide gauge.
  • FIG. 2 shows a plan view of an associated electrode side of a rod of a slide gauge
  • FIG. 3 shows a view of the rotor according to FIG. 1, which was placed on the slide according to FIG. 2;
  • FIG. 4 shows an illustration in section, in the longitudinal direction, through the arrangement according to FIG. 3;
  • FIG. 5 shows a further illustration, in section, of a variant of the arrangement according to FIG. 4;
  • 15 is a highly schematic view of a multi-lane electrode arrangement according to the invention.
  • 10 designates a rotor of a slide gauge, which is provided with longitudinal guides 11 for a rod.
  • the rotor 10 is provided with a first reference electrode 12 and a second reference electrode 13, which extend in the longitudinal direction x of the rotor 10 over a relatively large length section. They are preferably located Reference electrodes 12, 13 next to the guides 11 and extend over almost the entire length of the rotor 10.
  • the first and second measuring electrodes 14, 15 form a first pair and the third and fourth measuring electrodes 16, 17 form a second pair.
  • the Messelek electrodes 14/15 and 16/17 of the two pairs are each offset by an equal first distance 18, which can be 4.74 mm in a practical embodiment of the invention if the extension of the measuring electrodes 14 to 17 in the longitudinal direction x each Is 2.2mm.
  • the pairs 14/15 and 16/17 of the measuring electrodes are offset from one another by a second distance 19, which is preferably an odd multiple of a quarter of the first distance 18.
  • FIG. 2 shows the rod 30 belonging to the rotor 10 of FIG. 1, also in a view of the surface provided with electrodes.
  • FIG. 2 clearly shows two comb-like structures which engage in one another and form a first counterelectrode 31 and a second counterelectrode 32 at their base, each passing through in the longitudinal direction x.
  • the interdigitated fingers of the comb-like structures alternately form a first measuring counter electrode 33 and a second measuring counter electrode 34, specifically at a first distance 18 of, for example, 4.74 mm.
  • the electrodes in the rotor 10 and in the rod 30 can be designed differently, but need not be.
  • the rotor 10 consists of a metallic material which is provided with an insulating insert 4.0.
  • the measuring electrodes 14 to 17 and the reference electrodes 12 and 13, which consist of an electrically conductive material, are embedded in this insulating insert 40.
  • the measuring electrodes 14 to 17, like the reference electrodes 12 and 13, are connected to an evaluation unit 43 by means of lines 41 and 42.
  • the rod 30, which is also made of a metallic material, is also connected to the evaluation unit 43 via a connection 44.
  • the evaluation unit 43 is usually located on the rotor 10 and the connection 44 is represented by the metallic contact of the rotor 10 and rod 30 on the very narrow mechanical guides 11.
  • the evaluation unit 43 is connected to a display unit 45, for example a digital LCD unit.
  • the measuring counter electrodes 33, 34 are formed on the rod 30 by a coating 46 on a metallic surface 47 of the rod 30. The same applies to the reference counter electrodes 31 and 32.
  • this can be done by gluing a comb-shaped dielectric adhesive tape according to FIG. 3 to the bare surface 47 of the rod 30 or by applying a corresponding print made of dielectric material by screen printing or the like.
  • This creates alternating capacitor areas of low capacitance (none Adhesive tape or imprint, ie air as a dielectric) and high capacity (adhesive tape or imprint with a high, realistic dielectric constant acts as a dielectric).
  • the first reference electrode 12 with its associated first reference counterelectrode 31 therefore always shows a minimum capacitance value because the capacitor formed by the electrodes 12, 31 has a minimum capacitance value without dielectric, while this is the case with the second reference electrode 13 with the associated second reference counterelectrode 32 is the maximum value which is determined by the dielectric in the form of the continuous coating 46.
  • the measuring electrodes 14 to 17 alternatively travel over coated and non-coated areas of the surface 47, so that cyclically maximum and minimum capacitance values arise which are measured and evaluated in the evaluation unit 43.
  • the parallel connection of the measuring electrodes 14/15 and 16/17 results in capacitors of double area and thus a signal of double amplitude.
  • the design of the rotor 10 is unchanged.
  • the rod 30a is with one another of the following elevations 50 or depressions 51, so that the distance between the electrode surface of the rotor 10 and the rotor 30a fluctuates between a minimum value 52 and a maximum value 53.
  • the depressions 51 can be formed from the surface 47 by means of electroerosion or other material-removing methods, but alternatively, an application can also be carried out by means of electrode deposition or other galvanic methods in order to produce the distance variation 52/53.
  • the capacitance value also varies in this case between a minimum value (distance 52) and a maximum value (distance 53), because the capacitance value of a capacitor also depends on the distance between its planar electrodes.
  • FIG. 9 shows a further variant of an electrode arrangement, in which ten measuring electrodes 70/0 to 70/9 are arranged on the rotor in an equidistant manner in the longitudinal direction x. On a rod, also equidistantly offset in the longitudinal direction x, ten measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 are arranged, which for the sake of clarity are shown in Fig. 6 next to the measuring electrodes 70/0 to 70/9, but in the practical arrangement are below the same.
  • the length 72/0 to 72/9 of the measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 decreases in steps, for example by 1 each / 10 of a division. If the measuring electrodes 70/0 to 70/9 and the measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 are in an initial position, but in the position shown in FIG. 9, but with respect to one another, a maximum capacitance value is formed. If, for example, the measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 in FIG.
  • a staircase function 78 as shown in FIG. 11 is obtained.
  • Such a staircase function 78 has the advantage in digital signal evaluation that the transition points can be identified more easily than with a continuous signal curve by means of digital comparators.
  • FIGS. 9 to 11 thus forms a vernier in which the area coverage and thus the capacitance value within a measuring point changes with the units of the respectively lower measuring point in an easier to evaluate manner.
  • FIG. 12 shows a measuring counterelectrode 79 which is provided with a profile 80 in the longitudinal direction x in order in this way to achieve non-linearities, for example as in the case of the ground ones Mini a 63 in Fig. 7 to compensate or to generate desired non-linearities.
  • FIG. 13 shows a further measuring counterelectrode 91, which is provided with a step profile 82 in the longitudinal direction x, in order in this way likewise to produce a stepped course of the capacitance value C.
  • Fig. 14 shows a further measuring counterelectrode 85 with a continuous continuous staircase profile which can pass over the entire length of the rod 30.
  • FIG. 15 shows a further arrangement in which four measuring electrodes 90/0 to 90/3 are arranged offset on the rotor transversely to the longitudinal direction x.
  • Each measuring electrode 90/0 to 90/3 has a path of measuring counter electrodes 91 which are discontinuously applied in the longitudinal direction x as strips.
  • the measuring electrodes 90/0 to 90/3 are connected to a decoder 92, which determines an absolute or relative position of the rotor on the rod from the signal present at each measuring electrode 90/0 to 90/3 and from their logical combination with one another.
  • the arrangement of the measuring counter electrodes 91 can e.g.
  • a two-off-four code, a BCD code or another suitable code results on the measuring electrodes 90/0 to 90/3 when the rotor moves on the rod and on the measuring electrodes 90 / 0 to 90/3 due to the logical pattern of the measuring counterelectrodes 91 alternatively a high or a low capacitance.

Abstract

A sliding caliper has a first measurement part and a second measurement part that can move in a longitudinal direction (x) relative to the first part. Flat measurement electrodes (14 to 17) are electrically insulated on the first measurement part. On the second measurement part, a plurality of flat measurement counter-electrodes (33, 34) transversely arranged to the longitudinal direction (x) are passed by the measurement electrodes (14 to 17) when the first measurement part moves relative to the second measurement part in the longitudinal direction. The measurement electrodes (14 to 17) and the measurement counter-electrodes (33, 34) form a condenser the capacitance (C) of which varies according to the relative displacement of both measurement parts. In order to simplify the construction, and therefore the manufacture of the sliding caliper, and to obtain a greater degree of freedom from the point of view of the geometric design of the measurement counter-electodes, the measurement counter-electrodes (33, 34) are formed as electrically conductive surfaces (47) that extend continuously in the longitudinal direction (x) and are provided with a coating (46) of dielectric material that intermittently covers at least parts of the surface (4) in the longitudinal direction (x).

Description

Schieblehre Caliper
Die Erfindung betrifft eine Schieblehre mit einem ersten Meßtei und einem relativ dazu in einer Längsrichtung beweglichen zweiten Meßteil, mit mindestens einer auf dem ersten Meßteil elektrisch isoliert angeordneten, flächenhaften Meßelektrode und einer Vielzahl von auf dem zweiten Meßteil angeordneten, sich quer zur Längsrichtung erstreckenden, flächenhaften Meß- Gegenelektroden, an denen vorbei die Meßelektrode bei relativer Längsbewegung des ersten Meßteils zum zweiten Meßteil bewegt wird, wobei die Meßelektrode und die Meß-Gegenelektroden einen Kondensator bilden, dessen Kapazitätswert in Abhängigkeit von der Relativbewegung der beiden Me teile zueinander variiert.The invention relates to a caliper with a first measuring part and a second measuring part movable relative to it in a longitudinal direction, with at least one planar measuring electrode arranged electrically insulated on the first measuring part and a plurality of planar ones arranged on the second measuring part and extending transversely to the longitudinal direction Measuring counter electrodes, past which the measuring electrode moves with relative longitudinal movement of the first measuring part to the second measuring part is, the measuring electrode and the measuring counter-electrodes form a capacitor, the capacitance value varies depending on the relative movement of the two parts to each other.
Eine Schieblehre der eingangs genannten Art, bei der der Abstan zwischen zwei Meßschnäbeln auf elektronische Weise erfaßt, ausgewertet und angezeigt wird, ist allgemein bekannt.A caliper of the type mentioned, in which the distance between two measuring jaws is recorded, evaluated and displayed electronically, is generally known.
Wenn im folgenden von einer "Schieblehre" die Rede ist, so soll dies die Erfindung nur in Bezug auf dieses Anwendungsbei¬ spiel klarer und deutlicher veranschaulichen. Es versteht sich, daß die Erfindung darüberhinaus auch bei anderen mecha¬ nisch/elektrischen Längenmeßgeräten Verwendung finden kann, so z.B. auch bei Mikrometern, Meßtastern und dgl..If the term "slide gauge" is used in the following, this is only intended to illustrate the invention more clearly and clearly with reference to this application example. It goes without saying that the invention can also be used in other mechanical / electrical length measuring devices, e.g. also with micrometers, probes and the like.
Bei den bekannten Schieblehren der eingangs genannten Art ist ein Läufer auf einem Stab längsverschieblich angeordnet. Der Läufer und der Stab sind jeweils mit einem unter 90° abstehende Meßschnabel versehen, zwischen denen das Meßobjekt eingeschlos¬ sen wird. Um die absolute Position des Läufers auf dem Stab in Längsrichtung zu messen, sind herkömmliche "elektronische" Schieblehren mit einer kapazitiven Meßanordnung versehen. Diese Meßanordnung besteht aus flächenhaften Meßelektroden,, die in aneinander vorbeigleitenden Oberflächen des Stabes und des Läufers angeordnet sind. Diese flächenhaften Meßelektroden bilden die beiden Platten eines Kondensators, dessen Kapazi¬ tätswert erfaßt und ausgewertet wird. Bei Längsverschiebung des Läufers auf dem Stab ändert sich nämlich der Grad der Überdeckung der Elektroden auf dem Läufer und dem Stab und damit auch der Kapazitätswert des so gebildeten Kondensators. Die bekannten Schieblehren sind dabei so ausgeführt, daß sowoh auf dem Stab wie auch auf dem Läufer die Meßelektroden als isolierte elektrisch leitende Flächen (Inseln) ausgebildet sind. In der Praxis wird dies so erreicht, daß man die elek¬ trisch isolierten Flächen durch Aufdampfen auf einen elektrisc nicht leitenden Grundkörper darstellt oder durch Einlegen gestanzter Bänder in einen ebenfalls nicht leitenden Grundkörp oder dgl..In the known slide gauges of the type mentioned, a rotor is arranged on a rod so that it can move longitudinally. The rotor and the rod are each provided with a measuring beak projecting at 90 °, between which the object to be measured is enclosed. In order to measure the absolute position of the rotor on the rod in the longitudinal direction, conventional "electronic" calipers are provided with a capacitive measuring arrangement. This measuring arrangement consists of flat measuring electrodes, which are arranged in sliding surfaces of the rod and the rotor. These two-dimensional measuring electrodes form the two plates of a capacitor, the capacitance value of which is detected and evaluated. When the rotor is displaced longitudinally on the rod, the degree of coverage of the electrodes on the rotor and the rod changes, and thus also the capacitance value of the capacitor formed in this way. The known slide gauges are designed so that the measuring electrodes are formed as insulated electrically conductive surfaces (islands) on the rod as well as on the rotor. In practice, this is achieved by depicting the electrically insulated surfaces by vapor deposition on an electrically non-conductive base body or by inserting punched strips into a base body, which is also non-conductive, or the like.
Die z.B. auf dem Stab angeordneten Meßelektroden müssen daher nicht nur gegeneinander sondern auch gegen den Stab isoliert sein. Um eine Kondensator-Meßanordnung zu erreichen, müssen die einzelnen Meßelektroden des Stabes, die beispielsweise in Längsrichtung jeweils 2,2mm lang und im Abstand von beispiels¬ weise 2,54mm angeordnet sind, miteinander verbunden werden, damit die eine oder mehrere Elektroden des Läufers zu jeder einzelnen Elektrode des Stabes in kapazitive und auswertbare Wechselwirkung treten kann.The e.g. Measuring electrodes arranged on the rod must therefore not only be insulated from one another but also from the rod. In order to achieve a capacitor measuring arrangement, the individual measuring electrodes of the rod, which are arranged, for example, in the longitudinal direction in each case 2.2 mm long and at a distance of, for example, 2.54 mm, must be connected to one another so that the one or more electrodes of the rotor are closed each individual electrode of the rod can have a capacitive and evaluable interaction.
Die bekannten Schieblehren haben damit den Nachteil, daß sie insbesondere hinsichtlich der Anordnung der vielen Elektroden auf dem Stab außerordentlich aufwendig sind, weil die erforder liche Isolierung und anschließende Verdrahtung einen sehr aufwendigen Herstellungsprozess erfordert. Die sehr aufwendige Herstellung bringt darüberhinaus zwangsläufig auch eine gewiss Empfindlichkeit gegen mechanische Belastungen mit sich.The known slide gauges thus have the disadvantage that they are extremely complex, in particular with regard to the arrangement of the many electrodes on the rod, because the insulation and subsequent wiring required a very complex manufacturing process. In addition, the very complex production inevitably entails a certain sensitivity to mechanical loads.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Schieblehr der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, das ihre Herstellung erheblich vereinfacht und gleichzeitig ihre Robustheit erheblich erhöht wird. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß zum einen dadurch gelöst, daß die Meß-Gegenelektroden als in Längsrichtung durchgehende, elektrisch leitfähige Fläche ausgebildet sind, die mit einer die Fläche in Längsrichtung wenigstens bereichsweise diskonti¬ nuierlich überdeckenden Beschichtung aus dielektrischem Materia versehen ist.The invention is therefore based on the object of developing a slide gauge of the type mentioned at the outset which considerably simplifies its manufacture and at the same time significantly increases its robustness. This object is achieved, on the one hand, in that the measuring counter-electrodes are designed as an electrically conductive surface which is continuous in the longitudinal direction and is provided with a coating of dielectric material which at least partially discontinuously covers the surface in the longitudinal direction.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird auf diese Weise vollkommen gelöst, weil nunmehr die gesamte leitfähige Fläche, beispielsweise der Stab einer Schieblehre als Gegen¬ elektrode wirkt. Es liegt auf der Hand, daß dies die Herstellun der Schieblehre erheblich vereinfacht, weil nur noch eine geeignete leitfähige Fläche des Stabes mit dem dielektrischen Material versehen, beispielsweise beklebt oder bedruckt zu werden braucht und der Stab dann insgesamt als Gegenelektrode wirkt. Ein separates isoliertes Einbetten und Verdrahten von Gegenelektroden ist mithin nicht mehr erforderlich. Dies erhöht auch die Robustheit der Schieblehre, bei der der Querschnitt des Stabes nicht mehr durch eine Nut geschwächt werden muß, in die dann die Gegenelektroden einzubringen sind.The object on which the invention is based is completely achieved in this way because the entire conductive surface, for example the rod of a slide gauge, now acts as a counter electrode. It is obvious that this greatly simplifies the manufacture of the slide gauge because only a suitable conductive surface of the rod needs to be provided with the dielectric material, for example to be glued or printed, and the rod then acts as a counterelectrode overall. A separate insulated embedding and wiring of counter electrodes is therefore no longer necessary. This also increases the robustness of the slide gauge, in which the cross section of the rod no longer has to be weakened by a groove into which the counter electrodes are then to be inserted.
Ein weiterer wesentlicher Vorteil der Beschichtung mit dielek¬ trischem Material besteht darin, daß beim Beschichten, ins¬ besondere Bedrucken nahezu beliebige Formgestaltungen für die Gegenelektrode gewählt werden können.Another important advantage of coating with dielectric material is that almost any shape for the counterelectrode can be chosen during coating, in particular printing.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Fläche bereichsweise in Längsrichtung ohne Beschichtung belasse und bildet dort eine erste Bezugs-Gegenelektrode, der auf dem ersten Meßteil eine erste Bezugselektrode gegenübersteht. Alternativ oder zusätzlich kann die Fläche bereichsweise in Längsrichtung mit durchgehender Beschichtung versehen sein und dort eine zweite Bezugs-Gegenelektrode bilden, der auf dem ersten Meßteil eine zweite Bezugselektrode gegenübersteht.In a preferred embodiment of the invention, the area is left in regions in the longitudinal direction without coating and forms a first reference counterelectrode there, which is opposed by a first reference electrode on the first measuring part. As an alternative or in addition, the area can be partially in Be provided with a continuous coating in the longitudinal direction and form a second reference counterelectrode there, which is opposed by a second reference electrode on the first measuring part.
Die vorstehend genannten Maßnahmen haben den Vorteil, daß bei Verschiebung der Meßteile zueinander jeweils ein von der Längsverschiebung unabhängiger Bezugswert erzeugt wird, von denen einer dem maximalen Kapazitätswert (unter Einschaltung der dielektrischen Beschichtung) und der andere dem minimalen Kapazitätswert (ohne dielektrische Beschichtung) entspricht, wobei dies die beiden Extremwerte sind, zwischen denen der Kapazitätswert zwischen den Meßelektroden und den Meß-Gegen¬ elektroden beim Verschieben der beiden Meßteile zueinander variiert. Auf diese Weise ist es möglich, Störgrößen, beispiels weise die Temperaturabhängigkeit der relativen Dielektrizitäts¬ konstante der Beschichtung, die Altersabhängigkeit der Dielek¬ trizitätskonstante und dgl. auszumitteln.The above-mentioned measures have the advantage that when the measuring parts are shifted relative to one another a reference value is generated which is independent of the longitudinal shift, one of which corresponds to the maximum capacitance value (with the dielectric coating switched on) and the other to the minimum capacitance value (without dielectric coating), these being the two extreme values between which the capacitance value between the measuring electrodes and the measuring counter-electrodes varies when the two measuring parts are shifted relative to one another. In this way it is possible to average out disturbance variables, for example the temperature dependence of the relative dielectric constant of the coating, the age dependence of the dielectric constant and the like.
Die der Erfindung eingangs genannte Aufgabe wird ferner erfin¬ dungsgemäß dadurch gelöst, daß die Meß-Gegenelektroden als in Längsrichtung durchgehende, elektrisch leitfähige Fläche ausgebildet sind, die mit in Längsrichtung diskontinuierlich angeordneten Vertiefungen versehen ist.The object mentioned at the outset of the invention is further achieved according to the invention in that the measuring counter electrodes are designed as a continuous, electrically conductive surface in the longitudinal direction, which is provided with recesses arranged discontinuously in the longitudinal direction.
Auch auf diese Weise kann die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe vollkommen gelöst werden, weil auch bei dieser Lδsungs- variante die gesamte Gegenfläche, beispielsweise also der gesamte Stab, als Gegenelektrode wirkt und separate Elektroden nicht mehr in den Stab eingebettet werden müssen. Die erforder¬ lichen Vertiefungen können dabei in einfacher Weise, z.B. durch Elektroerosion eingebracht werden oder es werden in umgekehrter Weise auf eine Bezugsfläche Erhöhungen durch Elektrodeposition aufgebracht. Auch hier kann in gewissem Umfange die geometrische Gestaltung der Meß-Gegenelektroden variiert werden, wenngleich nicht in dem selben Maße, wie dies beim Bedrucken mit einem dielektrischen Belag der Fall ist.In this way too, the object on which the invention is based can be achieved completely, because even with this solution variant the entire counter surface, for example the entire rod, acts as counter electrode and separate electrodes no longer have to be embedded in the rod. The indentations required can be introduced in a simple manner, for example by electroerosion, or they can be conversely applied to a reference surface elevations by electrode deposition. Here too, the geometric design of the measuring counter-electrodes can be varied to a certain extent, although not to the same extent as is the case when printing with a dielectric covering.
Es versteht sich, daß auch bei der zweiten LδsungsVariante der Erfindung mit diskontinuierlich angeordneten Vertiefungen Bezugselektroden und Bezugs-Gegenelektroden in Gestalt von durchgehend vorhandenen bzw. durchgehend nicht-vorhandenen Vertiefungen über die Gesamtlänge des zweiten Meßteils vorge¬ sehen werden können.It goes without saying that in the second solution variant of the invention with discontinuously arranged depressions, reference electrodes and reference counter-electrodes in the form of continuously present or non-existent depressions can be provided over the entire length of the second measuring part.
Bei bevorzugten Ausgestaltungen beider Lδsungsvarianten sind die Meßelektroden und die Meß-Gegenelektroden als quer zur Längsrichtung angeordnete Streifen ausgebildet und in konstante Abstand zueinander angeordnet, wie dies an sich bekannt ist.In preferred embodiments of both solution variants, the measuring electrodes and the measuring counter-electrodes are designed as strips arranged transversely to the longitudinal direction and arranged at a constant distance from one another, as is known per se.
Sieht man gleichzeitig die zuvor genannten Bezugselektroden vor, so entsteht eine kammartige Struktur, die in beiden LδsungsVarianten einfach auf- bzw. eingebracht werden kann.If the reference electrodes mentioned above are provided at the same time, a comb-like structure is created which can easily be applied or introduced in both solution variants.
Ferner ist bevorzugt, wenn in ebenfalls an sich bekannter Weise mindestens zwei Meßelektroden in einem ungeradzahligen Vielfachen eines Viertels des Abstandes zueinander in Längs¬ richtung versetzt angeordnet sind.It is further preferred if at least two measuring electrodes are arranged in an odd multiple of a quarter of the distance from one another in the longitudinal direction, likewise in a manner known per se.
Diese Maßnahme hat zum einen den Vorteil, daß durch Vergleich der AusgangsSignale der beiden Meßelektroden festgestellt werden kann, in welcher Richtung die beiden Meßteile relativ zueinander verschoben werden. Ein weiterer Vorteil dieser Anordnung liegt in folgendem:This measure has the advantage, on the one hand, that by comparing the output signals of the two measuring electrodes it can be determined in which direction the two measuring parts are relative are shifted towards each other. Another advantage of this arrangement is that:
Wenn bei der eingangs geschilderten kapazitiven Anordnung die Meßelektroden an den Meß-Gegenelektroden vorbeilaufen, so entsteht theoretisch ein dreieckfδrmiger Verlauf des Kapazitäts wertes in Abhängigkeit von der Längsverschiebung. Die Umkehr¬ punkte dieses dreieckfδrmigen Verlaufes, also die Punkte der Längsverschiebung, bei denen sich die Meßelektroden und die Gegen-Meßelektroden gerade vollkommen oder gar nicht überdecken sind jedoch in der Praxis zu Rundungen verschliffen. Um auch hier einen reproduzierbaren und linearen Meßwert zu erzielen, kann man bei einer Meßelektroden-Anordnung im Abstand von einem ungeradzahligen Vielfachen eines Viertels des Abstandes auf die jeweils andere Meßelektrode umschalten, die sich in diesem Augenblick im Bereich größter Linearität, nämlich in der Mitte zwischen zwei Umkehrpunkten befindet. Auf diese Weise erhält man also ingesamt eine streng lineare Abhängigkeit über den gesamten Meßbereich.If, in the capacitive arrangement described at the outset, the measuring electrodes pass the measuring counter-electrodes, the result is theoretically a triangular course of the capacitance value as a function of the longitudinal displacement. The reversal points of this triangular course, that is to say the points of the longitudinal displacement at which the measuring electrodes and the counter-measuring electrodes just overlap or do not overlap, are, in practice, rounded to rounding. In order to achieve a reproducible and linear measured value here, too, one can switch to the other measuring electrode in a measuring electrode arrangement at a distance of an odd multiple of a quarter of the distance, which at this moment is in the area of greatest linearity, namely in the middle between two reversal points. In this way, a strictly linear dependency is obtained over the entire measuring range.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung sind mindestens zwei Meßelektroden in einem geradzahligen Vielfachen des Abstandes zueinander in Längsrichtung versetzt angeordnet und elektrisch parallel geschaltet.In a further exemplary embodiment of the invention, at least two measuring electrodes are arranged offset in an even number multiple of the distance from one another in the longitudinal direction and are electrically connected in parallel.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß eine größere Signalausbeute möglich ist, weil die effektiv wirksame Kondensatorfläche verdoppelt wird. Dies ist deswegen besonders wichtig, weil bei üblichen Abmessungen von Schieblehren Kapazitätswerte im pF-Bereich auftreten, so daß eine Verdoppelung des auswertbaren Meßsignales eine erhebliche Vereinfachung für die weitere Signalverarbeitung bedeutet.This measure has the advantage that a larger signal yield is possible because the effective capacitor area is doubled. This is particularly important because, in the usual dimensions of calipers, capacitance values occur in the pF range, so that the evaluable value is doubled Measurement signals means a significant simplification for further signal processing.
Bei weiteren Ausführungsbeispielen der Erfindung ist eine Vielzahl von Meß-Gegenelektroden vorgesehen, deren Ausdehnung in Längsrichtung gestuft ist.In further exemplary embodiments of the invention, a large number of measuring counter electrodes are provided, the extent of which is stepped in the longitudinal direction.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, daß eine noniusartige Anordnung entsteht, bei der die Zunahme bzw. Abnahme der Flächenüber- deckung der Elektroden sich stufenweise ändert, so daß auf diese Weise eine treppenformige Signalfunktion in Abhängigkeit von der Längsverschiebung erzielbar ist, die mit digitalen Auswertmitteln besonders einfach verarbeitet werden kann.This measure has the advantage that a nonius-like arrangement is created, in which the increase or decrease in the surface coverage of the electrodes changes step by step, so that in this way a step-shaped signal function can be achieved as a function of the longitudinal displacement, particularly with digital evaluation means can be easily processed.
Bei weiteren Ausführungsbeispielen der Erfindung sind die Meß-Gegenelektroden in Längsrichtung profiliert.In further exemplary embodiments of the invention, the measuring counter electrodes are profiled in the longitudinal direction.
Dieses Ausführungsbeispiel der Erfindung macht sich die insbe¬ sondere beim Bedrucken mit einer dielektrischen Beschichtung bestehende Möglichkeit zunutze, die geometrische Gestaltung der Meß-Gegenelektroden nahezu frei wählen zu können. Durch geschickte geometrische Formgebung der Meß-Gegenelektroden können auf diese Weise entweder Nichtlinearitäten kompensiert oder gewollte Nichtlinearitäten erzeugt werden, beispielsweise gestufte Verläufe des Meßsignales.This exemplary embodiment of the invention makes use of the possibility, in particular when printing with a dielectric coating, of being able to choose the geometric design of the measuring counterelectrodes almost freely. By cleverly shaping the measuring counter-electrodes, either non-linearities can be compensated or deliberate non-linearities can be generated, for example stepped courses of the measuring signal.
Bei einer weiteren Gruppe von Ausführungsbeispielen sind eine Vielzahl von Meßelektroden quer zur Längsrichtung beabstandet angeordnet, die über eine gleiche Vielzahl Bahnen von Meß- Gegenelektroden bewegbar sind. Auch diese Maßnahmen, die sich die Variabilität bei der Formge¬ staltung von Meß-Gegenelektroden durch Bedrucken mit dielektri¬ schem Material zunutze machen, ergibt sich der Vorteil, daß eine Codierung des Meßergebnisses möglich ist, indem an jeder Meßelektrode ein digitales Signal erzeugt wird, das durch Verknüpfung mit den digitalen Signalen der anderen Meßelektrode ein relatives oder absolutes Signal für die jeweilige Längs¬ position der Meßteile zueinander bildet.In a further group of exemplary embodiments, a multiplicity of measuring electrodes are arranged at a distance from one another transversely to the longitudinal direction and can be moved over an equal number of tracks of measuring counter-electrodes. These measures, which take advantage of the variability in the design of measuring counter electrodes by printing with dielectric material, also have the advantage that the measurement result can be coded by generating a digital signal at each measuring electrode, which forms a relative or absolute signal for the respective longitudinal position of the measuring parts to one another by linking to the digital signals of the other measuring electrode.
Weitere Vorteile ergeben sich aus der Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.Further advantages result from the description and the attached drawing.
Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nach¬ stehend noch erläuterten Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It goes without saying that the features mentioned above and those still explained below can be used not only in the respectively specified combination but also in other combinations or on their own without departing from the scope of the present invention.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:Exemplary embodiments of the invention are shown in the drawing and are explained in more detail in the following description. Show it:
Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Elektrodenseite eines Läufers einer Schieblehre;Figure 1 is a plan view of an electrode side of a slide of a slide gauge.
Fig. 2 eine Draufsicht auf eine zugehörige Elektrodenseite eines Stabes einer Schieblehre;2 shows a plan view of an associated electrode side of a rod of a slide gauge;
Fig. 3 eine Ansicht des Läufers gemäß Fig. 1, der auf den Schieber gemäß Fig. 2 aufgesetzt wurde; Fig. 4 eine Darstellung im Schnitt, in Längsrichtung, durch die Anordnung gemäß Fig. 3;FIG. 3 shows a view of the rotor according to FIG. 1, which was placed on the slide according to FIG. 2; FIG. 4 shows an illustration in section, in the longitudinal direction, through the arrangement according to FIG. 3;
Fig. 5 eine weitere Darstellung, im Schnitt, einer Variant zur Anordnung gemäß Fig. 4;5 shows a further illustration, in section, of a variant of the arrangement according to FIG. 4;
Fig. 6 bis 8 drei Verläufe von Meßsignalen zur Erläuterung der Anordnung gemäß den Fig. 1 bis 5;6 to 8 three curves of measurement signals to explain the arrangement according to FIGS. 1 to 5;
Fig 9 eine Variante einer Elektrodenanordnung zur Bildung eines Nonius;9 shows a variant of an electrode arrangement for forming a vernier;
Fig. 10 und 1110 and 11
Signalverläufe zur Erläuterung der Elektrodenanord¬ nung gemäß Fig. 9;Signal curves for explaining the electrode arrangement according to FIG. 9;
Fig. 12 bis 14 drei Varianten von in Längsrichtung profilierten Elektroden;12 to 14 three variants of electrodes profiled in the longitudinal direction;
Fig. 15 eine stark schematisierte Ansicht einer mehrbahnige Elektrodenanordnung nach der Erfindung.15 is a highly schematic view of a multi-lane electrode arrangement according to the invention.
In den Fig. 1 bis 4 bezeichnet 10 insgesamt einen Läufer einer Schieblehre, der mit Längsführungen 11 für einen Stab versehen ist. Der Läufer 10 ist mit einer ersten Bezugselektrode 12 und einer zweiten Bezugselektrode 13 versehen, die sich in Längsrichtung x des Läufers 10 über einen relativ großen Längenabschnitt erstrecken. Vorzugsweise befinden sich die Bezugselektroden 12, 13 neben den Führungen 11 und erstrecken sich über nahezu die gesamte Länge des Läufers 10.1 to 4, 10 designates a rotor of a slide gauge, which is provided with longitudinal guides 11 for a rod. The rotor 10 is provided with a first reference electrode 12 and a second reference electrode 13, which extend in the longitudinal direction x of the rotor 10 over a relatively large length section. They are preferably located Reference electrodes 12, 13 next to the guides 11 and extend over almost the entire length of the rotor 10.
Zwischen den Bezugselektroden 12, 13 befinden sich eine erste, eine zweite, eine dritte und eine vierte Meßelektrode 14, 15, 16, 17, die streifenfδrmig ausgebildet sind und sich quer zur Längsrichtung x erstrecken. Die erste und die zweite Meßelek¬ trode 14, 15 bilden ein erstes Paar und die dritte und die vierte Meßelektrode 16, 17 bilden ein zweites Paar. Die Meßelek troden 14/15 bzw. 16/17 der beiden Paare sind jeweils um einen gleichen ersten Abstand 18 gegeneinander versetzt, der bei einem praktischen Ausführungsbeispiel der Erfindung 4,74mm betragen kann, wenn die Erstreckung der Meßelektroden 14 bis 17 in Längsrichtung x jeweils 2,2mm beträgt. Die Paare 14/15 bzw. 16/17 der Meßelektroden sind um einen zweiten Abstand 19 gegeneinander versetzt, der vorzugsweise ein ungeradzahliges Vielfaches eines Viertels des ersten Abstandes 18 beträgt.Between the reference electrodes 12, 13 are a first, a second, a third and a fourth measuring electrode 14, 15, 16, 17, which are strip-shaped and extend transversely to the longitudinal direction x. The first and second measuring electrodes 14, 15 form a first pair and the third and fourth measuring electrodes 16, 17 form a second pair. The Messelek electrodes 14/15 and 16/17 of the two pairs are each offset by an equal first distance 18, which can be 4.74 mm in a practical embodiment of the invention if the extension of the measuring electrodes 14 to 17 in the longitudinal direction x each Is 2.2mm. The pairs 14/15 and 16/17 of the measuring electrodes are offset from one another by a second distance 19, which is preferably an odd multiple of a quarter of the first distance 18.
Fig. 2 zeigt den zum Läufer 10 der Fig. 1 gehörigen Stab 30, ebenfalls in einer Ansicht der mit Elektroden versehenen Oberfläche.FIG. 2 shows the rod 30 belonging to the rotor 10 of FIG. 1, also in a view of the surface provided with electrodes.
Man erkennt aus Fig. 2 deutlich zwei kammartige Strukturen, die ineinander greifen, und an ihrer Basis eine erste Gegenelek¬ trode 31 sowie eine zweite Gegenelektrode 32 bilden, die jeweil in Längsrichtung x durchlaufen. Die ineinander greifenden Finger der kammartigen Strukturen bilden abwechselnd eine erste Meß-Gegenelektrode 33 und eine zweite Meß-Gegenelektrode 34, und zwar im ersten Abstand 18 von z.B. 4,74 mm. Wie man in Verbindung mit Fig. 4 leicht erkennen kann, können die Elektroden im Läufer 10 und im Stab 30 unterschiedlich ausgebildet sein, müssen es aber nicht.2 clearly shows two comb-like structures which engage in one another and form a first counterelectrode 31 and a second counterelectrode 32 at their base, each passing through in the longitudinal direction x. The interdigitated fingers of the comb-like structures alternately form a first measuring counter electrode 33 and a second measuring counter electrode 34, specifically at a first distance 18 of, for example, 4.74 mm. As can easily be seen in connection with FIG. 4, the electrodes in the rotor 10 and in the rod 30 can be designed differently, but need not be.
Der Läufer 10 besteht aus einem metallischen Werkstoff, der mit einem isolierenden Einsatz 4.0 versehen ist. In diesem isolierenden Einsatz 40 sind die Meßelektroden 14 bis 17 sowie die Bezugselektroden 12 und 13, die aus einem elektrisch leitfähigen Material bestehen, eingebettet. Mittels Leitungen 41 und 42 sind die Meßelektroden 14 bis 17, ebenso wie die Bezugselektroden 12 und 13 an einer Auswerteeinheit 43 ange¬ schlossen. Auch der ebenfalls aus einem metallischen Werkstoff bestehende Stab 30 ist über eine Verbindung 44 an die Auswerte¬ einheit 43 angeschlossen. Die Auswerteeinheit 43 befindet sich üblicherweise auf dem Läufer 10 und die Verbindung 44 wird durch den metallischen Kontakt von Läufer 10 und Stab 30 an den sehr engen mechanischen Führungen 11 dargestellt. Die Auswerteeinheit 43 ist an einer Anzeigeeinheit 45, bei¬ spielsweise eine digitale LCD-Einheit angeschlossen.The rotor 10 consists of a metallic material which is provided with an insulating insert 4.0. The measuring electrodes 14 to 17 and the reference electrodes 12 and 13, which consist of an electrically conductive material, are embedded in this insulating insert 40. The measuring electrodes 14 to 17, like the reference electrodes 12 and 13, are connected to an evaluation unit 43 by means of lines 41 and 42. The rod 30, which is also made of a metallic material, is also connected to the evaluation unit 43 via a connection 44. The evaluation unit 43 is usually located on the rotor 10 and the connection 44 is represented by the metallic contact of the rotor 10 and rod 30 on the very narrow mechanical guides 11. The evaluation unit 43 is connected to a display unit 45, for example a digital LCD unit.
Wie man aus Fig. 4 deutlich erkennen kann, werden die Meß- Gegenelektroden 33, 34 auf dem Stab 30 durch eine Beschichtung 46 auf einer metallischen Flächen 47 des Stabes 30 gebildet. Entsprechendes gilt für die Bezugs-Gegenelektroden 31 und 32.As can be clearly seen from FIG. 4, the measuring counter electrodes 33, 34 are formed on the rod 30 by a coating 46 on a metallic surface 47 of the rod 30. The same applies to the reference counter electrodes 31 and 32.
Bei Ausführungsformen der Erfindung kann dies dadurch geschehen daß auf die blanke Fläche 47 des Stabes 30 ein nach Fig. 3 kammartig gestaltetes dielektrisches Klebeband aufgeklebt oder ein entsprechender Aufdruck aus dielektrischem Material durch Siebdruck oder dgl. aufgebracht wird. Hierdurch entstehen abwechselnd Kondensatorbereiche niedriger Kapazität (kein Klebeband bzw. Aufdruck, d.h. Luft als Dielektrikum) und hoher Kapazität (Klebeband bzw. Aufdruck mit hoher realtiver Dielek¬ trizitätskonstante wirkt als Dielektrikum) .In embodiments of the invention, this can be done by gluing a comb-shaped dielectric adhesive tape according to FIG. 3 to the bare surface 47 of the rod 30 or by applying a corresponding print made of dielectric material by screen printing or the like. This creates alternating capacitor areas of low capacitance (none Adhesive tape or imprint, ie air as a dielectric) and high capacity (adhesive tape or imprint with a high, realistic dielectric constant acts as a dielectric).
In der Draufsicht der Fig. 3 erkennt man, daß beim Verschieben des Läufers 10 in Längsrichtung x die Bezugselektroden 12, 13 kontinuierlich über den Bezugs-Gegenelektroden 31, 32 laufen und zwar läuft die erste Bezugselektrode 12 über der in Längs¬ richtung x durchgehenden, unbeschichteten Oberfläche 47, währe die zweite Bezugselektrode 13 über der in Längsrichtung durch¬ gehenden Beschichtung 46 läuft. Die erste Bezugselektrode 12 mit ihrer zugehörigen ersten Bezugs-Gegenelektrode 31 zeigt daher stets einen minimalen Kapazitätswert, weil der durch die Elektroden 12, 31 gebildete Kondensator ohne Dielektrikum einen minimalen Kapazitätswert aufweist, während dies bei der zweiten Bezugselektrode 13 mit der zugehörigen zweiten Bezugs- Gegenelektrode 32 der Maximalwert ist, der durch das Dielektri¬ kum in Gestalt der durchgehenden Beschichtung 46 bestimmt ist.3 that the reference electrodes 12, 13 run continuously over the reference counter-electrodes 31, 32 when the rotor 10 is moved in the longitudinal direction x, namely that the first reference electrode 12 runs over the continuous in the longitudinal direction x, uncoated surface 47, the second reference electrode 13 would run over the longitudinal coating 46. The first reference electrode 12 with its associated first reference counterelectrode 31 therefore always shows a minimum capacitance value because the capacitor formed by the electrodes 12, 31 has a minimum capacitance value without dielectric, while this is the case with the second reference electrode 13 with the associated second reference counterelectrode 32 is the maximum value which is determined by the dielectric in the form of the continuous coating 46.
Die Meßelektroden 14 bis 17 wandern bei Längsverschiebung des Läufers 10 in Längsrichtung x alternativ über beschichtete und nicht-beschichtete Bereichen der Fläche 47, so daß zyklisch maximale und minimale Kapazitätswerte entstehen, die in der Auswerteeinheit 43 gemessen und ausgewertet werden.When the rotor 10 is displaced longitudinally in the longitudinal direction x, the measuring electrodes 14 to 17 alternatively travel over coated and non-coated areas of the surface 47, so that cyclically maximum and minimum capacitance values arise which are measured and evaluated in the evaluation unit 43.
Durch die Parallelschaltung der Meßelektroden 14/15 bzw. 16/17 entstehen dabei jeweils Kondensatoren doppelter Fläche und damit ein Signal doppelter Amplitude.The parallel connection of the measuring electrodes 14/15 and 16/17 results in capacitors of double area and thus a signal of double amplitude.
Bei der in Fig. 5 gezeigten Variante ist die Gestaltung des Läufers 10 unverändert. Der Stab 30a ist hingegen mit aufeinan- derfolgenden Erhöhungen 50 bzw. Vertiefungen 51 versehen, so daß der Abstand der Elektroden-Oberfläche des Läufers 10 vom Läufer 30a zwischen einem Minimalwert 52 und einem Maximalwert 53 schwankt.In the variant shown in FIG. 5, the design of the rotor 10 is unchanged. The rod 30a, however, is with one another of the following elevations 50 or depressions 51, so that the distance between the electrode surface of the rotor 10 and the rotor 30a fluctuates between a minimum value 52 and a maximum value 53.
Die Vertiefungen 51 können bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung durch Elektroerosion oder andere materialabtragende Verfahren aus der Fläche 47 gebildet werden, alternativ kann aber auch durch Elektrodeposition oder andere galvanische Verfahren ein Auftrag gegenüber einer Grundfläche vorgenommen werden, um die Abstandsvariation 52/53 zu erzeugen.In one exemplary embodiment of the invention, the depressions 51 can be formed from the surface 47 by means of electroerosion or other material-removing methods, but alternatively, an application can also be carried out by means of electrode deposition or other galvanic methods in order to produce the distance variation 52/53.
Es ist leicht ersichtlich, daß bei LängsVerschiebung des Läufer 10 auch in diesem Falle eine Variation des Kapazitätswertes zwischen einem minimalen Wert (Abstand 52) und einem maximalen Wert (Abstand 53) eintritt, weil der Kapazitätswert eines Kondensators auch vom Abstand seiner flächenhaften Elektroden abhängt.It is easy to see that when the rotor 10 is displaced longitudinally, the capacitance value also varies in this case between a minimum value (distance 52) and a maximum value (distance 53), because the capacitance value of a capacitor also depends on the distance between its planar electrodes.
Sowohl bei der Elektrodenausbildung der Fig. 5 wie auch bei derjenigen Fig. 4 entstehen Signalverläufe, wie sie in den Fig. 6 bis 8 dargestellt sind.Both in the electrode formation in FIG. 5 and in that in FIG. 4, signal profiles arise, as are shown in FIGS. 6 to 8.
Fig. 6 zeigt mit Verläufen 60 und 61 die über der Längsver¬ schiebung x invarianten Kapazitätswerte C der Bezugselektroden 12/31 und 13/32.6 shows with courses 60 and 61 the capacitance values C of the reference electrodes 12/31 and 13/32 which are invariant over the longitudinal displacement x.
Fig. 7 zeigt demgegenüber mit einem Verlauf 62 die Abhängigkeit des Kapazitätswertes C von der LängsVerschiebung x beim Elektro denpaar 14/33, 34 bzw. 15/33, 34 und man erkennt aus Fig. 7, daß aus praktischen Gründen die Umkehrpunkte des theoretisch dreieckfδrmigen Verlaufes zu beispielsweise einem abgerundeten Minimum 63 verschliffen werden.7, on the other hand, shows with a curve 62 the dependence of the capacitance value C on the longitudinal displacement x in the pair of electrodes 14/33, 34 or 15/33, 34, and it can be seen from FIG. 7, that, for practical reasons, the reversal points of the theoretically triangular course are ground to a rounded minimum 63, for example.
Entsprechendes gilt für den in Fig. 8 gezeigten Verlauf 64 des Meßelektrodenpaares 16/33, 34 bzw. 17/33, 34, der in Längsrichtung x um ein Viertel des ersten Abstandes 18 versetzt ist. Am Orte des verschliffenen Minimums 63 des Verlaufs 62 mißt man demzufolge eine gerade Flanke 65 beim Verlauf 64. Durch Auswahl des jeweils lineareren Meßsignales kann man daher Meßfehler in den abgerundeten Bereichen der Verläufe 62, 64 eliminieren.The same applies to the course 64 of the pair of measuring electrodes 16/33, 34 and 17/33, 34 shown in FIG. 8, which is offset in the longitudinal direction x by a quarter of the first distance 18. At the location of the smoothed minimum 63 of the course 62, a straight edge 65 is therefore measured at the course 64. By selecting the more linear measurement signal, one can therefore eliminate measurement errors in the rounded areas of the courses 62, 64.
Fig. 9 zeigt eine weitere Variante einer Elektrodenanordnung, bei der auf einem Läufer zehn Meßelektroden 70/0 bis 70/9 in Längsrichtung x äquidestant versetzt angeordnet sind. Auf einem Stab sind, ebenfalls äquidistant in Längsrichtung x versetzt, zehn Meß-Gegenelektroden 71/0 bis 71/9 angeordnet, die der Übersichtlichkeit halber in Fig. 6 neben den Meßelektro den 70/0 bis 70/9 gezeichnet sind, sich aber in der praktischen Anordnung unterhalb derselben befinden.FIG. 9 shows a further variant of an electrode arrangement, in which ten measuring electrodes 70/0 to 70/9 are arranged on the rotor in an equidistant manner in the longitudinal direction x. On a rod, also equidistantly offset in the longitudinal direction x, ten measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 are arranged, which for the sake of clarity are shown in Fig. 6 next to the measuring electrodes 70/0 to 70/9, but in the practical arrangement are below the same.
Während die Meßelektroden 70/0 bis 70/9 eine konstante Aus¬ dehnung in Längsrichtung x besitzen, nimmt die Länge 72/0 bis 72/9 der Meß-Gegenelektroden 71/0 bis 71/9 gestuft ab, und zwar z.B. um je 1/10 einer Teilung. Befinden sich in einer Ausgangsposition die Meßelektroden 70/0 bis 70/9 und die Meß- Gegenelektroden 71/0 bis 71/9 in der in Fig. 9 gezeigten Stellung, jedoch untereinander, so wird ein maximaler Kapazi¬ tätswert gebildet. Bewegt man nun beispielsweise die Meß-Gegenelektroden 71/0 bis 71/9 in Fig. 9 bei feststehenden Meßelektroden 70/0 bis 70/9 nach rechts, und zwar z.B. um 1/10 Teilung, so erkennt man, daß die Überdeckung der jeweiligen Flächen linear abnimmt und zwar um ein Zehnfaches einer gemeinsamen Breite 73 multi¬ pliziert mit der LängsVerschiebung x. Nach Überschreiten einer Längsverschiebung x, die der Länge 72/9 der schmälsten Meß- Gegenelektrode 71/9 entspricht, nimmt die Überdeckung jedoch langsamer ab, weil jetzt nur noch das Neunfache der Breite 73 multipliziert mit der Längsverschiebung x wirksam ist.While the measuring electrodes 70/0 to 70/9 have a constant expansion in the longitudinal direction x, the length 72/0 to 72/9 of the measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 decreases in steps, for example by 1 each / 10 of a division. If the measuring electrodes 70/0 to 70/9 and the measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 are in an initial position, but in the position shown in FIG. 9, but with respect to one another, a maximum capacitance value is formed. If, for example, the measuring counter electrodes 71/0 to 71/9 in FIG. 9 with fixed measuring electrodes 70/0 to 70/9 are moved to the right, for example by 1/10 division, it can be seen that the overlap of the respective Surfaces linearly decreases, namely by ten times a common width 73 multiplied by the longitudinal displacement x. After exceeding a longitudinal displacement x, which corresponds to the length 72/9 of the narrowest measuring counterelectrode 71/9, the coverage decreases more slowly, because now only nine times the width 73 multiplied by the longitudinal displacement x is effective.
Insgesamt ergibt sich damit ein Verlauf 76, wie er in Fig. 10 dargestellt ist und der aus einer Aneinanderreihung von geraden Stücken 77 abnehmender Steigung gebildet wird.Overall, this results in a course 76, as shown in FIG. 10, which is formed from a series of straight pieces 77 of decreasing incline.
Differenziert man den Verlauf 76 gemäß Fig. 10, erhält man eine Treppenfunktion 78, wie sie in Fig. 11 gezeigt ist. Eine solche Treppenfunktion 78 hat bei digitaler Signalauswertung den Vorteil, daß mittels digitaler Komparatoren die Übergangs¬ punkte leichter erkannt werden können, als dies bei einem kontinuierlichen Signalverlauf der Fall ist.If the course 76 is differentiated according to FIG. 10, a staircase function 78 as shown in FIG. 11 is obtained. Such a staircase function 78 has the advantage in digital signal evaluation that the transition points can be identified more easily than with a continuous signal curve by means of digital comparators.
Die Anordnung der Fig. 9 bis 11 bildet somit einen Nonius, bei dem sich die Flachenüberdeckung und damit der Kapazitätswer innerhalb einer Meßstelle mit den Einheiten der jeweils niedri¬ geren Meßstelle in leichter auswertbarer Weise ändert.The arrangement of FIGS. 9 to 11 thus forms a vernier in which the area coverage and thus the capacitance value within a measuring point changes with the units of the respectively lower measuring point in an easier to evaluate manner.
Fig. 12 zeigt eine Meß-Gegenelektrode 79, die in Längsrichtung x mit einem Profil 80 versehen ist, um auf diese Weise Nicht¬ linearitäten, beispielsweise wie bei den verschliffenen Mini a 63 in Fig. 7 zu kompensieren oder aber um gewollte Nichtlinearitäten zu erzeugen.FIG. 12 shows a measuring counterelectrode 79 which is provided with a profile 80 in the longitudinal direction x in order in this way to achieve non-linearities, for example as in the case of the ground ones Mini a 63 in Fig. 7 to compensate or to generate desired non-linearities.
Fig. 13 zeigt eine weitere Meß-Gegenelektrode 91, die mit einem Treppenprofil 82 in Längsrichtung x versehen ist, um auf diese Weise ebenfalls einen gestuften Verlauf des Kapazi¬ tätswertes C zu erzeugen.13 shows a further measuring counterelectrode 91, which is provided with a step profile 82 in the longitudinal direction x, in order in this way likewise to produce a stepped course of the capacitance value C.
Fig. 14 zeigt eine weitere Meß-Gegenelektrode 85 mit kontinuier lich durchgehendem Treppenprofil, das über die gesamte Länge des Stabes 30 durchgehen kann.Fig. 14 shows a further measuring counterelectrode 85 with a continuous continuous staircase profile which can pass over the entire length of the rod 30.
Schließlich zeigt Fig. 15 noch eine weitere Anordnung, bei der vier Meßelektroden 90/0 bis 90/3 quer zur Längsrichtung x gegeneinander versetzt auf dem Läufer angeordnet sind. Zu jeder Meßelektrode 90/0 bis 90/3 gehört eine Bahn von Meß- Gegenelektroden 91, die in Längsrichtung x diskontinuierlich als Streifen aufgetragen sind. Die Meßelektroden 90/0 bis 90/3 sind mit einem Decodierer 92 verbunden, der aus dem an jeder Meßelektrode 90/0 bis 90/3 anliegenden Signal und aus deren logische Verknüpfung miteinander eine absolute oder relative Position des Läufers auf dem Stab bestimmt. Die Anordnung der Meß-Gegenelektroden 91 kann z.B. so gewählt sein, daß sich an den Meßelektroden 90/0 bis 90/3 ein Zwei- Aus-Vier-Code, ein BCD-Code oder ein anderer geeigneter Code ergibt, wenn sich der Läufer auf dem Stab bewegt und an den Meßelektroden 90/0 bis 90/3 durch das logische Muster der Meß-Gegenelektroden 91 alternativ eine hohe bzw. eine niedrige Kapazität anliegt. Finally, FIG. 15 shows a further arrangement in which four measuring electrodes 90/0 to 90/3 are arranged offset on the rotor transversely to the longitudinal direction x. Each measuring electrode 90/0 to 90/3 has a path of measuring counter electrodes 91 which are discontinuously applied in the longitudinal direction x as strips. The measuring electrodes 90/0 to 90/3 are connected to a decoder 92, which determines an absolute or relative position of the rotor on the rod from the signal present at each measuring electrode 90/0 to 90/3 and from their logical combination with one another. The arrangement of the measuring counter electrodes 91 can e.g. be selected so that a two-off-four code, a BCD code or another suitable code results on the measuring electrodes 90/0 to 90/3 when the rotor moves on the rod and on the measuring electrodes 90 / 0 to 90/3 due to the logical pattern of the measuring counterelectrodes 91 alternatively a high or a low capacitance.

Claims

Patentansprüche Claims
1. Schieblehre mit einem ersten Meßteil und einem relativ dazu in einer Längsrichtung (x) beweglichen zweiten Meßteil, mit mindestens einer auf dem ersten Meßteil elektrisch isoliert angeordneten, flächenhaften Meßelek¬ trode (14 bis 17; 70; 90) und einer Vielzahl von auf dem zweiten Meßteil angeordneten, sich quer zur Längs¬ richtung (x) erstreckenden flächenhaften Meß-Gegenelek¬ troden (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91, an denen vorbei die Meßelektrode (14 bis 17; 70; 90) bei relativer Längsbewegung des ersten Meßteils zum zweiten Meßteil bewegt wird, wobei die Meßelektrode (14 bis 17; 70;1. caliper with a first measuring part and a second measuring part movable relative to it in a longitudinal direction (x), with at least one planar measuring electrode (14 to 17; 70; 90) which is arranged in an electrically insulated manner on the first measuring part and a plurality of arranged in the second measuring part and extending transversely to the longitudinal direction (x) planar measuring counterelectrodes (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91, past which the measuring electrode (14 to 17; 70; 90) upon relative longitudinal movement of the first measuring part relative to the second measuring part, the measuring electrode (14 to 17; 70;
90) und die Meß-Gegenelektroden (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91) einen Kondensator bilden, dessen Kapazitätswert (C) in Abhängigkeit von der Relativbewegung der beiden Meßteile zueinander variiert, dadurch gekennzeichnet, daß die Meß-Gegenelektroden (33, 34; 71; 79; 81; 85;90) and the measuring counter electrodes (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91) form a capacitor, the capacitance value (C) of which varies depending on the relative movement of the two measuring parts to one another, characterized in that the measuring counter electrodes (33, 34; 71; 79; 81; 85;
91) als in Längsrichtung durchgehende, elektrisch leitfähige Fläche (47) ausgebildet sind, die mit einer die Fläche (47) in Längsrichtung (x) wenigstens bereichs weise diskontinuierlich überdeckenden Beschichtung91) are designed as an electrically conductive surface (47) which is continuous in the longitudinal direction and which has a coating which at least partially discontinuously covers the surface (47) in the longitudinal direction (x)
(46) aus dielektrischem Material versehen ist.(46) is made of dielectric material.
2. Schieblehre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche (47) bereichsweise in Längsrichtung (x) ohne Beschichtung (46) belassen ist und dort eine erste Bezugs-Gegenelektrode (31) bildet, der auf dem ersten Meßteil eine erste Bezugselektrode (12) gegenübersteht.2. Caliper according to claim 1, characterized in that the surface (47) in some areas in the longitudinal direction (x) is left without a coating (46) and forms a first reference counterelectrode (31) there, which is opposed by a first reference electrode (12) on the first measuring part.
3. Schieblehre nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die Fläche (47) bereichsweise in Längs¬ richtung (x) mit durchgehender Beschichtung (46) verseh ist, und dort eine zweite Bezugs-Gegenelektrode (32) bildet, der auf dem ersten Meßteil eine zweite Bezugs¬ elektrode (13) gegenübersteht.3. caliper according to claim 1 or 2, characterized gekenn¬ characterized in that the surface (47) in some areas in the longitudinal direction (x) with continuous coating (46) is provided, and there forms a second reference counter electrode (32) on the first measuring part there is a second reference electrode (13).
4. Schieblehre mit einem ersten Meßteil und einem relativ dazu in einer Längsrichtung (x) beweglichen zweiten Meßteil, mit mindestens einer auf dem ersten Meßteil elektrisch isoliert angeordneten, flächenhaften Meßelek trode (14 bis 17; 70; 90) und einer Vielzahl von auf dem zweiten Meßteil angeordneten, sich quer zur Längs¬ richtung (x) erstreckenden, flächenhaften Meß-Gegenelek troden (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91),-an denen vorbei die Meßelektrode (14 bis 17; 70; 90) bei relativer Längsbewegung des ersten Meßteils zum zweiten Meßteil bewegt wird, wobei die Meßelektrode (14 bis 17; 70) und die Meß-Gegenelektroden (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91) einen Kondensator bilden, dessen Kapazitätswert (Z) in Abhängigkeit von der Relaltivbewegung der beiden Meßteile zueinander variiert, dadurch gekennzeichnet, daß die Meß-Gegenelektroden (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91) als in Längsrichtung (x) durchgehende, elektrisch leitfähige Fläche (47) ausgebildet sind, die mit in Längsrichtung (x) diskontinuierlich angeordneten Ver¬ tiefungen (51) versehen ist. 4. caliper with a first measuring part and a relative to it in a longitudinal direction (x) movable second measuring part, with at least one on the first measuring part arranged electrically isolated, area measuring electrode (14 to 17; 70; 90) and a variety of on arranged second measuring part, extending transversely to the longitudinal direction (x), planar measuring counter electrodes (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91), - past which the measuring electrode (14 to 17; 70; 90 ) is moved with relative longitudinal movement of the first measuring part to the second measuring part, the measuring electrode (14 to 17; 70) and the measuring counter-electrodes (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91) forming a capacitor, the capacitance value ( Z) varies as a function of the relative movement of the two measuring parts to one another, characterized in that the measuring counter electrodes (33, 34; 71; 79; 81; 85; 91) as an electrically conductive surface (47) which is continuous in the longitudinal direction (x) are formed with the in longitudinal direction Attention (x) discontinuously arranged depressions (51) is provided.
5. Schieblehre nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche (47) bereichsweise in Längsrichtung (x) ohne Vertiefung (51) belassen ist und dort eine erste Bezugs-Gegenelektrode (31) bildet, die auf dem ersten Meßteil eine erste Bezugselektrode (12) gegenübersteht.5. caliper according to claim 4, characterized in that the surface (47) in some areas in the longitudinal direction (x) is left without a recess (51) and forms a first reference counter-electrode (31) there on the first measuring part a first reference electrode ( 12) faces.
6. Schieblehre nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die Fläche (47) bereichsweise in Längs¬ richtung mit durchgehender Vertiefung (51) versehen ist und dort eine zweite Bezugs-Gegenelektrode (32) bildet, der auf dem ersten Meßteil eine zweite Bezugs¬ elektrode (13) gegenübersteht.6. caliper according to claim 4 or 5, characterized gekenn¬ characterized in that the surface (47) is partially in the longitudinal direction with a continuous recess (51) and there forms a second reference counter-electrode (32) on the first measuring part is opposed by a second reference electrode (13).
7. Schieblehre nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelektroden (14 bis 17) und die Meß-Gegenelektroden (31, 32) als quer zur Längs¬ richtung (x) angeordnete Streifen ausgebildet und in konstantem Abstand (18) zueinander angeordnet sind.7. Caliper according to one of claims 1 to 6, characterized in that the measuring electrodes (14 to 17) and the measuring counter-electrodes (31, 32) are arranged as strips arranged transversely to the longitudinal direction (x) and at a constant distance (18th ) are arranged to each other.
8. Schieblehre nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Meßelektroden (14/16 15/17) in einem ungeradzahligen Vielfachen eines Viertel des Abstandes (19) zueinander in Längsrichtung (x) versetzt angeordnet sind.8. caliper according to one of claims 1 to 7, characterized in that at least two measuring electrodes (14/16 15/17) in an odd multiple of a quarter of the distance (19) to each other in the longitudinal direction (x) are arranged offset.
9. Schieblehre nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Meßelektroden (14/15 16/17) in einem geradzahligen Vielfachen des Abstandes (18) zueinander in Längsrichtung (x) versetzt angeordnet und elektrisch parallel geschaltet sind. 9. caliper according to one of claims 1 to 8, characterized in that at least two measuring electrodes (14/15 16/17) in an even multiple of the distance (18) to each other in the longitudinal direction (x) arranged offset and electrically connected in parallel.
10. Schieblehre nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Meß-Gegenelektrod (71/0 bis 71/9) vorgesehen ist, deren Ausdehnung in10. caliper according to one of claims 1 to 9, characterized in that a plurality of measuring counterelectrode (71/0 to 71/9) is provided, the extension in
Längsrichtung (x) gestuft ist.Longitudinal direction (x) is stepped.
11. Schieblehre nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Meß-Gegenelektroden (79; 81; 85) in Längsrichtung (x) profiliert sind.11. Caliper according to one of claims 1 to 10, characterized in that the measuring counter electrodes (79; 81; 85) are profiled in the longitudinal direction (x).
12. Schieblehre nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Meßelektroden (90/9 bis 90/3) quer zur Längsrichtung (x) beabstandet angeordnet sind, die über einer gleichen Vielzahl Bahne von Meß-Gegenelektroden (91) bewegbar sind. 12. Caliper according to one of claims 1 to 10, characterized in that a plurality of measuring electrodes (90/9 to 90/3) are arranged at a distance transversely to the longitudinal direction (x), which over a same plurality of webs of measuring counter electrodes (91 ) are movable.
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