WO1988004422A1 - Surface inspection device - Google Patents

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WO1988004422A1
WO1988004422A1 PCT/DE1987/000573 DE8700573W WO8804422A1 WO 1988004422 A1 WO1988004422 A1 WO 1988004422A1 DE 8700573 W DE8700573 W DE 8700573W WO 8804422 A1 WO8804422 A1 WO 8804422A1
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WO
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radiation
sensor
radiation source
tested
workpiece
Prior art date
Application number
PCT/DE1987/000573
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German (de)
French (fr)
Inventor
Günter HEGE
Michael Struck
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Definitions

  • the invention relates to a surface testing device according to the preamble of the main claim.
  • a device for the automatic inspection of surfaces is already known.
  • a radiation source is provided, the focused radiation of which is guided over a workpiece surface, the radiation reflected from the surface being evaluated according to certain criteria for the surface quality.
  • the reflected radiation strikes, on the one hand, a radiation receiver in the bright field and, on the other hand, a plurality of radiation detectors arranged in the same plane around the bright field detector, which detect the total angular distribution of the radiation backscattered from the workpiece surface in terms of amount and direction . Damage to the workpiece surface changes the radiation reflected in the dark field or bright field.
  • the surface inspection device has the advantage that color deviations of the material of the surface to be inspected are recognized.
  • a radiation source is provided which emits radiation of a predetermined frequency lying in the optical frequency range. Part of the radiation reflected from the surface to be tested is directed at a radiation detector which emits an output signal proportional to the irradiance to an evaluation device. The direction of the radiation reflected by the surface to be tested is detected by a radiation detector which delivers a signal dependent on the point at which the radiation hits the detector to the evaluation device.
  • a color deviation is recognized in the evaluation device by comparing the recorded measured values with stored comparison values.
  • the measures listed in the subclaims enable advantageous further developments and improvements of the surface inspection device specified in the main claim.
  • An improvement in the color detection results if two radiation sources are provided which emit two radiations of different frequencies which can be predetermined in the optical range.
  • a detector is provided which emits a signal to an evaluation device which is proportional to the intensity of the radiation reflected from the surface to be tested at the one frequency, and a further detector is provided which sends a signal to the evaluation device emits that is proportional to the intensity of the radiation reflected from the surface to be tested at the other frequency.
  • a color contrast measurement is possible with the output signals of the two color-selective detectors.
  • Particularly suitable radiation sources are semiconductor lasers whose output power can be controlled within certain limits.
  • halogen lamps for example, can also be used in cost-sensitive systems, from the broadband emission spectrum of which the desired radiation components can optionally be selected using a pass-through filter.
  • Power regulation of the radiation sources has the advantage that strong fluctuations in intensity at the radiation detectors, caused by a strongly different reflecting surface of the parts to be tested, can be reduced to easily manageable values.
  • the surface inspection device uses the light section principle as the optical measuring method, which fulfills all requirements for detection and measurement of the surface defects to be expected.
  • a light beam or a light band is projected obliquely, preferably at an angle of less than or equal to 45 ° to the surface normal, onto the surface to be tested.
  • the profile curve of the surface is contained in the radiation reflected by the surface to be tested.
  • the angle of inclination between the incident radiation and the surface normal increases the resolution of the surface tester by increasing the profile line.
  • the light section method clearly reduces a three-dimensional geometry into a two-dimensional image, sequentially for the workpiece surface that is just illuminated by the light beam.
  • the surface of a three-dimensional workpiece can thus be checked.
  • at least a first movable mirror is provided, with which the incident radiation is guided in a cell shape or with another pattern over the surface to be tested.
  • a further rotatable mirror is arranged in the beam path of the reflected radiation, which enables the deflection of the reflected radiation to be adapted to the limited radiation detector areas.
  • a device for moving the workpiece to be tested can be provided. Further details and advantageous developments of the surface inspection device according to the invention result from further subclaims in connection with the following description.
  • FIG. 1 shows a structure of a surface inspection device according to the invention
  • FIG. 2 shows an incident and reflected radiation in the area of a surface to be tested.
  • Figure 1 shows a first and a second radiation source 10, 11.
  • the radiation 12 emitted by the second radiation source 11 is with a deflecting mirror 13 and a beam splitter 14 with that emitted by the first radiation source 10.
  • Radiation 15 combined into a light beam 16.
  • the term “light” is not intended to restrict the frequency range of the optical radiation 12, 15 emitted by the two radiation sources 10, 11 to the visible part of the optical frequency range.
  • the term “optical frequency range” is understood to mean the frequency range of the ultraviolet, visible and infrared radiation.
  • the two optical radiations 12, 15 each have a predetermined frequency.
  • Lasers which emit radiation of the desired frequency are advantageously used for the two radiation sources 10, 11.
  • Semiconductor lasers are particularly suitable since their output power can be easily controlled via a control circuit 17.
  • Thermal radiators, in particular halogen lamps, can also be used as an inexpensive alternative to lasers.
  • the desired spectral component of the broadband radiation emitted by the thermal radiators is transmitted with the aid of a
  • the light beam 16 passes through a beam-shaping device 20 and via a rotatable deflecting mirror 21 and via an imaging optics embodied as a collimating lens 22 as incident radiation 25 sharply focused onto a surface 23 of a workpiece 24 to be tested.
  • the radiation 30 reflected by the surface 23 arrives Via an imaging optics 31, which is preferably designed as a converging lens, and via a second rotatable mirror 32 onto a sensor arrangement 33.
  • the sensor arrangement 33 comprises a first radiation detector 34, which emits an output signal to an evaluation device 35 which is generated by the impact point of the reflected radiation 30 on an active surface 36 of the first sensor 34.
  • the reflected radiation 30 is imaged on the surface 36 of the first sensor 34 using a converging lens 37.
  • two beam splitters 38, 39 are arranged, which couple out part of the reflected radiation 30.
  • the radiation 40 coupled out by the first beam splitter 38 passes via a deflecting mirror 41 and a third color transmission filter 42 to a converging lens 43, which images the coupled radiation 40 onto a second radiation detector 44, which emits an output signal to the evaluation device 35, which is proportional to its irradiance.
  • the radiation 45 coupled out by the second beam splitter 39 passes via a further deflecting mirror 46 and a fourth color transmission filter 47 to a converging lens 48 which emits the coupled out radiation 45 images onto a third radiation sensor 49, which outputs an output signal to the evaluation device 35, which is proportional to its irradiance.
  • the evaluation device supplies output signals to three actuating devices 50, 51, 52.
  • the first actuating device 50 moves the first rotatable mirror 21 and the second actuating device 51 moves the second rotatable mirror 32.
  • Both rotatable mirrors 21, 32 are moved one by one Drawing plane of Figure 1 perpendicular axis in the two indicated arrow directions 53, 54 rotated.
  • the third adjusting device 52 moves the workpiece 24 in a plane parallel to the drawing plane in FIG. 1. The directions are shown by arrows 55.
  • the evaluation device 35 outputs signals to the control circuit 17, which controls the radiation power of the two radiation sources 10, 11.
  • the evaluation device 35 is connected to an evaluation and input unit 56, which on the one hand for the input of data and commands for the evaluation device 35 and on the other hand for the output of the measured values of the surface 23 to be tested determined by the evaluation device 35 of the workpiece 24 is provided.
  • FIG. 2 is a detailed image according to the section line II-II 'shown in FIG. 1, which shows the incident and reflected radiation 25, 30 between the two converging lenses 22, 31 in the region of the workpiece 24.
  • the parts that correspond in FIGS. 1 and 2 are each given the same reference numerals. registered.
  • the incident radiation 25 forms an angle of incidence 57 with the surface normal 59 on the surface 23 of the workpiece 24.
  • the radiation 30 reflected by the surface 23 forms an angle of incidence 58 with the surface normals 59.
  • the surface inspection device works as follows:
  • the light beam 16 is guided with the first rotatable mirror 21 in a cell shape or with any other pattern over the surface 23 of the workpiece 24.
  • the incident radiation 25 forms with the surface normal 59 of the surface 23 to be tested an angle of incidence 57 which is preferably less than or equal to 45 °.
  • the radiation 30 reflected by the surface 23 has a change in position during the scanning, which reflects the profile line of the surface 23. If the angle of incidence 57 is chosen to be approximately 45 °, then the angle of incidence 58 is likewise approximately 45 ° and the profile curve that appears appears excessive in the ratio of the root of 2 to 1.
  • This measuring method has long been known as a light section method in optical surface inspection technology (K. Räntsch: The optics in precision measurement, Kunststoff, Hanser, 1949).
  • the reflected radiation 30 reaches the active surface 36 of the first radiation sensor 34. Since the point of incidence of the incident radiation 25 on the surface 23 to be tested is known at all times, the point of incidence of the reflected radiation 30 on the first sensor 34 is also provided that one interference-free surface 23, given at any time by optical imaging relationships. A deviation of the position is determined by the evaluation device 35 by comparison with a "good" pattern and processed further. Statistics and / or output via input and output unit 56 then take place, for example.
  • the detectable surface 23 depends on the maximum possible deflections of the two rotatable mirrors 21, 32 and on the surface of the detectors 34, 44, 49.
  • a change in location of the reflected radiation on the first sensor 34, caused by the movement of the first rotatable mirror 21, is automatically taken into account in the evaluation in the evaluation device 35. From a certain position of the first rotatable mirror 21, the reflected radiation no longer strikes the active surface 36 of the first sensor 34.
  • the measurement range can then be expanded by the second rotatable mirror 32. At least with larger deflections by the first rotatable mirror 21, the reflected radiation 30 is tracked by the second rotatable mirror 32 in such a way that it always falls on the active surface 36 of the first sensor 34. Since the second rotatable mirror 32 is also controlled by the evaluation device 35 via the second actuating device 51, the position of the second rotatable mirror 32 is known at all times in the evaluation device 35 and can be taken into account when evaluating the measurement result.
  • Part of the reflected radiation 30 is coupled out by the beam splitter 38 and imaged on the second radiation sensor 44. However, only the radiation components which the third color transmission filter 42, which is matched to one of the two emitted radiations 12, 15, pass onto the second sensor 44. Part of the reflected radiation 30 is further masked out by the beam splitter 39, which is imaged on the third radiation sensor 49. Only those radiation components which the fourth color transmission filter 47, which is matched to the other of the two emitted radiations 12, 15, can pass onto the third sensor 49. Since the second and third sensors 44, 49 each output an output signal to the evaluation device 35 that is proportional to the irradiance, these two sensors 44, 49 change the intensity of the two radiation components 12, 15 in the reflected radiation 30 detected.
  • a change in the location of the reflected radiation 30 on the surfaces of the two sensors 44 and 49 has no effect on the measurement result, as long as the surface area on which the output signal is not left is proportional to the irradiance.
  • a change in the intensity of one or the other or both radiation components 12, 15 indicates a frequency-dependent reflection on the surface 23 to be tested if no change in position is detected by the first sensor 34 at the same time. From the determined relative change in the output signals of either the second sensor 44 or the third sensor 49 or a relative change in the ratio of the two signals to one another, a change in color of the surface 23 to be tested can be concluded.
  • a quantitative indication of color changes for example as changes in the color coordinates in the color triangle, can be displayed via the input and output device 56.
  • Another evaluation method is a neighborhood analysis, in which the position and color deviation of the reflected radiation 30 from one scanning point on the surface 23 to the next is detected and evaluated and compared with stored reference values.
  • a color change arises, in particular, from inclusions of foreign material in the surface 23 to be tested and, for example, from chemical or thermal influencing of the surface 23 of the workpiece 24. Such defects can be detected and displayed with the surface testing device according to the invention.
  • a simplified embodiment of the surface testing device according to the invention according to FIG. 1 is given if only one radiation source is provided instead of the two radiation sources 10, 11.
  • the sensor arrangement 33 contains the first radiation sensor 34, which detects the position of the reflected radiation 30, and a further radiation sensor, which measures the irradiance. In this arrangement, none of the color filters 18, 19, 42, 47 is required. A change in color of the surface 23 to be tested leads to a change in the intensity of the reflected radiation 30. If the first sensor 34 detects no change in position and, at the same time, the intensity of the reflected radiation 30 changes, a change in color in the surface 23 to be tested can be concluded at least qualitatively.
  • a further possibility for simplifying the surface testing device with a radiation source is given by using only a single radiation sensor. This sensor simultaneously detects both the point at which the reflected radiation 30 strikes the sensor 34 and the intensity. All types of one- or two-dimensional multi-sensor arrangements are suitable. Photo diode rows are preferably used.
  • more than two radiation sources can be provided, all radiation sources emitting radiation in the optical frequency range with frequencies different from one another.
  • the sensor arrangement 33 then contains further decoupling paths 40, 45 for the reflected radiation 30, which lead to color-selective radiation sensors 42, 44 and 47, 49, respectively. With this arrangement, an even more precise color analysis can be carried out.

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Abstract

In a device for inspecting the surface (23) of a three-dimensional part (24), two radiation sources (10, 11) are provided which emit radiation (12, 15) of a given frequency. The common light beam (16) is directed on to the surface to be checked (2) of the part (24) by means of a beam forming system (20) and a first rotary mirror (21) as well as of a concentrating lens (22). The radiation (30) reflected from the surface (29) arrives at an arrangement of sensors (33) after passing through another convex lens (31) and deflection by a second rotary mirror (32). The sensor arrangement (33) comprises a first radiation sensor (34) which sends to an evaluation unit (35) an output signal which depends on the point of impingement of the radiation on the active surface (36) of the first sensor (34). Two further radiation sensors (44, 49) are provided which supply the evaluation unit (35) with an output signal which varies according to the radiation intensity of said sensors (44, 49). Upstream of the latter are arranged colour-permeable filters (42, 47), the pass-band of one filter (42) being modulated on the other radiation frequency (12) of the second radiation source (111). The apparatus described automatically identifies faults characterized by different geometrical and colour markings on the surface (29) of the part (24).

Description

Oberflachenprufvorrichtung Surface inspection device
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung geht aus von einem Oberflachenprufvorrichtung nach der Gattung des Hauptanspruchs. Aus der DE-OS 32 32 885 ist bereits eine Vorrichtung zur automatischen Prüfung von Oberflächen bekannt. Es ist eine Strahlungsquelle vorgesehen, deren fokussierte Strahlung über eine Werkstückoberfläche geführt wird, wobei die von der Ober¬ fläche zurückgeworfene Strahlung nach bestimmten Kriterien für die Oberf chenbeschaffenheit ausgewertet wird. Die zurückgeworfene Strahlung trifft einerseits auf einen Strahlungsempfänger im Hell¬ feld und andererseits auf eine Mehrzahl, in der gleichen Ebene um den Hellfelddetektor herum angeordneter Strahlungsdetektoren, die die gesamte Winkelverteilung der im Dunkelfeld von der Werkstück¬ oberfläche zurückgestreuten Strahlung nach Betrag und Richtung er¬ fassen. Schäden auf der Werkstückoberfläche verändern die im Dunkel¬ feld oder Hellfeld reflektierte Strahlung.The invention relates to a surface testing device according to the preamble of the main claim. From DE-OS 32 32 885 a device for the automatic inspection of surfaces is already known. A radiation source is provided, the focused radiation of which is guided over a workpiece surface, the radiation reflected from the surface being evaluated according to certain criteria for the surface quality. The reflected radiation strikes, on the one hand, a radiation receiver in the bright field and, on the other hand, a plurality of radiation detectors arranged in the same plane around the bright field detector, which detect the total angular distribution of the radiation backscattered from the workpiece surface in terms of amount and direction . Damage to the workpiece surface changes the radiation reflected in the dark field or bright field.
Mit der bekannten Vorrichtung kann die Farbe von Fremdmaterial¬ einschlüssen auf der zu prüfenden Oberfläche nicht erkannt werden. Es ist lediglich darauf hingewiesen, daß dunkle Stellen auf der zu prüfenden Oberfläche mit dem Hellfelddetektor aufgrund von Refle¬ xionsschwankungen erkannt werden können. Vorteile der ErfindungWith the known device, the color of foreign material inclusions on the surface to be tested cannot be recognized. It is only pointed out that dark spots on the surface to be tested can be detected with the bright field detector due to fluctuations in reflection. Advantages of the invention
Die erfindungsgemäße Oberfl chenpr fvorrichtung hat demgegenüber den Vorteil, daß Farbabweichungen des Materials der zu prüfenden Ober¬ fläche erkannt werden. Es ist eine Strahlungsquelle vorgesehen, die eine im optischen Frequenzbereich liegende Strahlung vorgegebener Frequenz emittiert. Ein Teil der von der zu prüfenden Oberfläche re¬ flektierten Strahlung ist auf einen Strahlungsdetektor gerichtet, der ein zur Bestrahlungsstärke proportionales Ausgangssignal an eine Auswerteeinrichtung abgibt. Die Richtung der von der zu prüfenden Oberfläche reflektierte Strahlung wird von einem Strahlungsdetektor erfaßt, der ein von dem Auftreffort der Strahlung auf dem Detektor abhängiges Signal an die Auswerteeinrichtung liefert. Eine Farbab¬ weichung wird in der Auswerteeinrichtung durch Vergleich der erfa߬ ten Meßwerte mit gespeicherten Vergleichswerten erkannt.In contrast, the surface inspection device according to the invention has the advantage that color deviations of the material of the surface to be inspected are recognized. A radiation source is provided which emits radiation of a predetermined frequency lying in the optical frequency range. Part of the radiation reflected from the surface to be tested is directed at a radiation detector which emits an output signal proportional to the irradiance to an evaluation device. The direction of the radiation reflected by the surface to be tested is detected by a radiation detector which delivers a signal dependent on the point at which the radiation hits the detector to the evaluation device. A color deviation is recognized in the evaluation device by comparing the recorded measured values with stored comparison values.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor¬ teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Hauptanspruch angegebenen Oberflachenprufvorrichtung möglich. Eine Verbesserung der Farbdetektion ergibt sich, wenn zwei Strahlungsquellen vorge¬ sehen sind, die zwei im optischen Bereich liegende Strahlungen vor¬ gebbarer unterschiedlicher Frequenz emittieren. Es ist ein Detektor vorgesehen, der an eine Auswerteeinrichtung ein Signal abgibt, das proportional zur Intensität der von der zu prüfenden Oberfläche re¬ flektierte Strahlung mit der einen Frequenz ist, und es ist ein wei¬ terer Detektor vorgesehen, der an die Auswerteeinrichtung ein Signal abgibt, das proportional zur Intensität der von der zu prüfenden Oberfläche reflektierte Strahlung mit der anderen Frequenz ist. Mit den AusgangsSignalen der beiden farbselektiven Detektoren ist eine Farbkontrastmessung möglich. Als Strahlungsquellen eignen sich insbesondere Halbleiterlaser, de¬ ren Ausgangsleistung innerhalb gewisser Grenzen steuerbar ist. In kostenempfindlichen Anlagen können jedoch auch beispielsweise Halo¬ genlampen Verwendung finden, aus deren breitbandigem Emissionsspek¬ trum gegebenenfalls mit Farbdurchlaßfilter die gewünschten Strah¬ lungsanteile herausgesucht werden können.The measures listed in the subclaims enable advantageous further developments and improvements of the surface inspection device specified in the main claim. An improvement in the color detection results if two radiation sources are provided which emit two radiations of different frequencies which can be predetermined in the optical range. A detector is provided which emits a signal to an evaluation device which is proportional to the intensity of the radiation reflected from the surface to be tested at the one frequency, and a further detector is provided which sends a signal to the evaluation device emits that is proportional to the intensity of the radiation reflected from the surface to be tested at the other frequency. A color contrast measurement is possible with the output signals of the two color-selective detectors. Particularly suitable radiation sources are semiconductor lasers whose output power can be controlled within certain limits. However, halogen lamps, for example, can also be used in cost-sensitive systems, from the broadband emission spectrum of which the desired radiation components can optionally be selected using a pass-through filter.
Eine Leistungsregelung der Strahlungsquellen bringt den Vorteil mit sich, daß starke Intensitätsschwankungen an den Strahlungsdetekto¬ ren, verursacht durch eine stark unterschiedlich reflektierende Oberfläche der zu prüfenden Teile, auf leicht handhabbare Werte reduziert werden können.Power regulation of the radiation sources has the advantage that strong fluctuations in intensity at the radiation detectors, caused by a strongly different reflecting surface of the parts to be tested, can be reduced to easily manageable values.
Die erfindungsgemäße Oberflachenprufvorrichtung verwendet als op¬ tisches Meßverfahren das Lichtschnittprinzip, das alle Anforderungen an Erkennung und Vermessung der zu erwartenden Oberflächendefekte erfüllt. Beim Lichtschnittverfahren wird ein Lichtstrahl oder ein Lichtband schräg, vorzugsweise mit einem Winkel von kleiner oder gleich 45° zur Oberflächennormalen, auf die zu prüfende Oberfläche projiziert. In der von der zu prüfenden Oberfläche reflektierten Strahlung ist die Profilkurve der Oberfläche enthalten. Der Nei¬ gungswinkel zwischen der einfallenden Strahlung und der Flächen¬ normale vergrößert das Auflösungsvermögen des Oberflächenprüfgeräts durch eine Überhöhung der Profillinie. In den Grenzen der Schärfen¬ tiefe der eingesetzten Objektive reduziert das Lichtschnittverfahren eindeutig eine dreidimensionale Geometrie in eine zweidimensionale Abbildung, sequentiell für die vom Lichtstrahl gerade beleuchtete Werkstückoberfläche. Somit kann die Oberfläche eines dreidimen¬ sionalen Werkstücks geprüft werden. Damit auch größere Oberflächen vermessen werden können ist wenig¬ stens ein erster bewegbarer Spiegel vorgesehen, mit dem die einfal¬ lende Strahlung zellenförmig oder mit einem anderen Muster über die zu prüfende Oberfläche geführt wird. Gegebenenfalls ist im Strahlen¬ gang der reflektierten Strahlung ein weiterer drehbarer Spiegel an¬ geordnet, der eine Anpassung der Auslenkung der reflektierten Strah¬ lung an die begrenzten Strahlungsdetektorflächen ermöglicht. Ferner kann eine Vorrichtung zur Bewegung des zu prüfenden Werkstücks vor¬ gesehen sein. Weitere Einzelheiten und vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Oberflächenprüfgeräts ergeben sich aus weite¬ ren Unteransprüchen in Verbindung mit der folgenden Beschreibung.The surface inspection device according to the invention uses the light section principle as the optical measuring method, which fulfills all requirements for detection and measurement of the surface defects to be expected. In the light section method, a light beam or a light band is projected obliquely, preferably at an angle of less than or equal to 45 ° to the surface normal, onto the surface to be tested. The profile curve of the surface is contained in the radiation reflected by the surface to be tested. The angle of inclination between the incident radiation and the surface normal increases the resolution of the surface tester by increasing the profile line. Within the limits of the depth of focus of the lenses used, the light section method clearly reduces a three-dimensional geometry into a two-dimensional image, sequentially for the workpiece surface that is just illuminated by the light beam. The surface of a three-dimensional workpiece can thus be checked. In order that larger surfaces can also be measured, at least a first movable mirror is provided, with which the incident radiation is guided in a cell shape or with another pattern over the surface to be tested. If necessary, a further rotatable mirror is arranged in the beam path of the reflected radiation, which enables the deflection of the reflected radiation to be adapted to the limited radiation detector areas. Furthermore, a device for moving the workpiece to be tested can be provided. Further details and advantageous developments of the surface inspection device according to the invention result from further subclaims in connection with the following description.
Zeichnungdrawing
Figur 1 zeigt einen Aufbau einer erfindungsgemäßen Oberflachenpr f¬ vorrichtung und Figur 2 zeigt eine einfallende und reflektierte Strahlung im Bereich einer zu prüfenden Oberfläche.FIG. 1 shows a structure of a surface inspection device according to the invention, and FIG. 2 shows an incident and reflected radiation in the area of a surface to be tested.
Beschreibung des AusführungsbeispielsDescription of the embodiment
Figur 1 zeigt eine erste und eine zweite Strahlungsquelle 10, 11. Die von der zweiten Strahlungsquelle 11 emittierte Strahlung 12 wird mit einem Umlenkspiegel 13 und einem Strahlteiler 14 mit der von der ersten Strahlungsquelle 10 emittierten. Strahlung 15 zu einen Licht¬ strahl 16 vereinigt. Der Begriff "Licht" soll keine Einschränkung des Frequenzbereiches der von den beiden Strahlungquellen 10, 11 emittierten optischen Strahlungen 12, 15 auf den sichtbaren Teil des optischen Frequenzbereiches darstellen. Unter dem Begriff "op¬ tischer Frequenzbereich" wird der Frequenzbereich der Ultraviolett-, der sichtbaren und der Infrarotstrahlung verstanden. Die beiden op¬ tischen Strahlungen 12, 15 weisen jeweils eine vorgegebene Frequenz auf. Vorteilhaft werden für die beiden Strahlungsquellen 10, 11 Laser verwendet, die eine Strahlung der gewünschten Frequenz emit¬ tieren. Besonders geeignet sind Halbleiterlaser, da sich deren Ausgangslei¬ stung über eine Ansteuerschaltung 17 leicht steuern läßt. Als preis¬ günstige Alternative zu Lasern können auch thermische Strahler, ins¬ besondere Halogenlampen, verwendet werden. Von der von den ther¬ mischen Strahlern abgegebenen breitbandigen Strahlung wird mit Hilfe von einem ersten und zweiten Farbdurchlaßfilter 18, 19 der gewünsch¬ te Spektralanteil durchgelassen.Figure 1 shows a first and a second radiation source 10, 11. The radiation 12 emitted by the second radiation source 11 is with a deflecting mirror 13 and a beam splitter 14 with that emitted by the first radiation source 10. Radiation 15 combined into a light beam 16. The term “light” is not intended to restrict the frequency range of the optical radiation 12, 15 emitted by the two radiation sources 10, 11 to the visible part of the optical frequency range. The term “optical frequency range” is understood to mean the frequency range of the ultraviolet, visible and infrared radiation. The two optical radiations 12, 15 each have a predetermined frequency. Lasers which emit radiation of the desired frequency are advantageously used for the two radiation sources 10, 11. Semiconductor lasers are particularly suitable since their output power can be easily controlled via a control circuit 17. Thermal radiators, in particular halogen lamps, can also be used as an inexpensive alternative to lasers. The desired spectral component of the broadband radiation emitted by the thermal radiators is transmitted with the aid of a first and second color transmission filter 18, 19.
Der Lichtstrahl 16 gelangt über eine strahlformende Einrichtung 20 und über einen drehbaren Umlenkspiegel 21 sowie über eine als Sam¬ mellinse 22 ausgeführte Abbildungsoptik als einfallende Strahlung 25 scharf gebündelt auf eine zu prüfende Oberfläche 23 eines Werkstücks 24. Die von der Oberfläche 23 reflektierte Strahlung 30 gelangt über eine Abbildungsoptik 31, die vorzugsweise als Sammellinse ausgebil¬ det ist, und über einen zweiten drehbaren Spiegel 32 auf eine Sen¬ soranordnung 33. Die Sensoranordnung 33 umfaßt einen ersten Strah¬ lungsdetektor 34, der ein Ausgangssignal an eine Auswerteeinrichtung 35 abgibt, das von dem Auftreffort der reflektierten Strahlung 30 auf einer aktiven Oberfläche 36 des ersten Sensors 34 abhängt. Die reflektierte Strahlung 30 wird mit einer Sammellinse 37 auf die Oberfläche 36 des ersten Sensors 34 abgebildet. Im Strahlengang zwi¬ schen dem zweiten drehbaren Spiegel 32 und der Sammellinse 37 sind zwei Strahlteiler 38, 39 angeordnet, die einen Teil der reflektier¬ ten Strahlung 30 auskoppeln. Die vom ersten Strahlteiler 38 ausge¬ koppelte Strahlung 40 gelangt über einen Umlenkspiegel 41 und über ein drittes Farbdurchlaßfilter 42 auf eine Sammellinse 43, die die ausgekoppelte Strahlung 40 auf einen zweiten Strahlungsdetektor 44 abbildet, der ein Ausgangssignal an die Auswerteeinrichtung 35 ab¬ gibt, das proportional zu seiner Bestrahlungsstärke ist. Die vom zweiten Strahlteiler 39 ausgekoppelte Strahlung 45 gelangt über ei¬ nen weiteren Umlenkspiegel 46 und über ein viertes Farbdurchlaßfil¬ ter 47 auf eine Sammellinse 48, die die ausgekoppelte Strahlung 45 auf einen dritten Strahlungssensor 49 abbildet, der ein Ausgangssi¬ gnal an die Auswerteeinrichtung 35 abgibt, das proportional zu sei¬ ner Bestrahlungsstärke ist.The light beam 16 passes through a beam-shaping device 20 and via a rotatable deflecting mirror 21 and via an imaging optics embodied as a collimating lens 22 as incident radiation 25 sharply focused onto a surface 23 of a workpiece 24 to be tested. The radiation 30 reflected by the surface 23 arrives Via an imaging optics 31, which is preferably designed as a converging lens, and via a second rotatable mirror 32 onto a sensor arrangement 33. The sensor arrangement 33 comprises a first radiation detector 34, which emits an output signal to an evaluation device 35 which is generated by the impact point of the reflected radiation 30 on an active surface 36 of the first sensor 34. The reflected radiation 30 is imaged on the surface 36 of the first sensor 34 using a converging lens 37. In the beam path between the second rotatable mirror 32 and the converging lens 37, two beam splitters 38, 39 are arranged, which couple out part of the reflected radiation 30. The radiation 40 coupled out by the first beam splitter 38 passes via a deflecting mirror 41 and a third color transmission filter 42 to a converging lens 43, which images the coupled radiation 40 onto a second radiation detector 44, which emits an output signal to the evaluation device 35, which is proportional to its irradiance. The radiation 45 coupled out by the second beam splitter 39 passes via a further deflecting mirror 46 and a fourth color transmission filter 47 to a converging lens 48 which emits the coupled out radiation 45 images onto a third radiation sensor 49, which outputs an output signal to the evaluation device 35, which is proportional to its irradiance.
Die Auswerteeinrichtung liefert Ausgangsssignale an drei Stellein¬ richtungen 50, 51, 52. Die erste Stelleinrichtung 50 bewegt den er¬ sten drehbaren Spiegel 21 und die zweite Stelleinrichtung 51 bewegt den zweiten drehbaren Spiegel 32. Beide drehbaren Spiegel 21, 32 werden um eine auf der Zeichnungsebene der Figur 1 senkrecht stehen¬ de Achse in die beiden angegebenen Pfeilrichtungen 53, 54 gedreht. Die dritte Stelleinrichtung 52 bewegt das Werkstück 24 in einer zur Zeichenebene der Figur 1 parallelen Ebene. Die Richtungen sind durch die Pfeile 55 eingezeichnet.The evaluation device supplies output signals to three actuating devices 50, 51, 52. The first actuating device 50 moves the first rotatable mirror 21 and the second actuating device 51 moves the second rotatable mirror 32. Both rotatable mirrors 21, 32 are moved one by one Drawing plane of Figure 1 perpendicular axis in the two indicated arrow directions 53, 54 rotated. The third adjusting device 52 moves the workpiece 24 in a plane parallel to the drawing plane in FIG. 1. The directions are shown by arrows 55.
Weiterhin gibt die Auswerteeinrichtung 35 Signale an die Steuer¬ schaltung 17 ab, die die Strahlungsleistung der beiden Strahlungs¬ quellen 10, 11 steuert.Furthermore, the evaluation device 35 outputs signals to the control circuit 17, which controls the radiation power of the two radiation sources 10, 11.
Ferner ist die Auswerteeinrichtung 35 mit einer Aus- und Eingabeein¬ heit 56 verbunden, die einerseits für die Eingabe von Daten und Be¬ fehlen für die Auswerteinrichtung 35 und andererseits für eine Aus¬ gabe der von der Auswerteeinrichtung 35 ermittelten Meßwerte der zu prüfenden Oberfläche 23 des Werkstücks 24 vorgesehen ist.Furthermore, the evaluation device 35 is connected to an evaluation and input unit 56, which on the one hand for the input of data and commands for the evaluation device 35 and on the other hand for the output of the measured values of the surface 23 to be tested determined by the evaluation device 35 of the workpiece 24 is provided.
Figur 2 ist ein Detailbild gemäß der in Figur 1 eingezeichneten Schnittlinie II-II', das die einfallende und reflektierte Strahlung 25, 30 zwischen den beiden Sammellinsen 22, 31 im Bereich des Werk¬ stücks 24 zeigt. Die in den Figuren 1 und 2 übereinstimmenden Teile sind jeweils mit den gleichen Bezugszeichen. eingetragen. Die einfal¬ lende Strahlung 25 bildet mit der Flächennormalen 59 auf der Ober¬ fläche 23 des Werkstücks 24 einen Einfallswinkel 57. Die von der Oberfläche 23 reflektierte Strahlung 30 bildet mit der Flächennorma¬ len 59 einen Auεfallswinkel 58. Die Oberflachenprufvorrichtung arbeitet folgendermaßen:FIG. 2 is a detailed image according to the section line II-II 'shown in FIG. 1, which shows the incident and reflected radiation 25, 30 between the two converging lenses 22, 31 in the region of the workpiece 24. The parts that correspond in FIGS. 1 and 2 are each given the same reference numerals. registered. The incident radiation 25 forms an angle of incidence 57 with the surface normal 59 on the surface 23 of the workpiece 24. The radiation 30 reflected by the surface 23 forms an angle of incidence 58 with the surface normals 59. The surface inspection device works as follows:
Der Lichtstrahl 16 wird mit dem ersten drehbaren Spiegel 21 zellen¬ förmig oder mit einem beliebigen anderen Muster über die Oberfläche 23 des Werkstücks 24 geführt. Die einfallende Strahlung 25 bildet mit der Flächennormalen 59 der zu prüfenden Oberfläche 23 einen Ein¬ fallswinkel 57, der vorzugsweise kleiner oder gleich 45° ist. Die von der Oberfläche 23 reflektierte Strahlung 30 weist während des Abtastens eine Ortsänderung auf, die die Profillinie der Oberfläche 23 wiedergibt. Wird der Einfallswinkel 57 etwa 45° gewählt, so ist der Ausfallswinkel 58 ebenfalls etwa 45° und die entstehende Profil¬ kurve erscheint im Verhältnis Wurzel aus 2 zu 1 überhöht. Dieses Meßverfahren ist als Lichtschnittverfahren in der optischen Ober- flächenprüftechnik seit langer Zeit bekannt (K. Räntsch: Die Optik in der Feinmeßtechnik, München, Hanser, 1949).The light beam 16 is guided with the first rotatable mirror 21 in a cell shape or with any other pattern over the surface 23 of the workpiece 24. The incident radiation 25 forms with the surface normal 59 of the surface 23 to be tested an angle of incidence 57 which is preferably less than or equal to 45 °. The radiation 30 reflected by the surface 23 has a change in position during the scanning, which reflects the profile line of the surface 23. If the angle of incidence 57 is chosen to be approximately 45 °, then the angle of incidence 58 is likewise approximately 45 ° and the profile curve that appears appears excessive in the ratio of the root of 2 to 1. This measuring method has long been known as a light section method in optical surface inspection technology (K. Räntsch: The optics in precision measurement, Munich, Hanser, 1949).
Die reflektierte Strahlung 30 gelangt auf die aktive Fläche 36 des ersten Strahlungssensors 34. Da der Auftreffpunkt der einfallenden Strahlung 25 auf der zu prüfenden Oberfläche 23 jederzeit bekannt ist, ist auch der Auftreffpunkt der reflektierten Strahlung 30 auf dem ersten Sensor 34, unter der Voraussetzung einer störungsfreien Oberfläche 23, zu jedem Zeitpunkt durch optische Abbildungsbeziehun¬ gen gegeben. Eine Abweichung der Position wird von der Auswerteein¬ richtung 35 durch Vergleich mit einem "Gut"-Muster festgestellt und weiterverarbeitet. Es erfolgt dann beispielsweise das Aufstellen ei¬ ner Statistik und/oder eine Ausgabe über die Ein- und Ausgabeeinheit 56.The reflected radiation 30 reaches the active surface 36 of the first radiation sensor 34. Since the point of incidence of the incident radiation 25 on the surface 23 to be tested is known at all times, the point of incidence of the reflected radiation 30 on the first sensor 34 is also provided that one interference-free surface 23, given at any time by optical imaging relationships. A deviation of the position is determined by the evaluation device 35 by comparison with a "good" pattern and processed further. Statistics and / or output via input and output unit 56 then take place, for example.
Wenn das Werkstück 24 nicht bewegt wird, hängt die erfaßbare Ober¬ fläche 23 von den maximal möglichen Auslenkungen der beiden drehba¬ ren Spiegel 21, 32 und von der Fläche der Detektoren 34, 44, 49 ab. Eine Ortsänderung der reflektierten Strahlung auf dem ersten Sensor 34, bedingt durch die Bewegung des ersten drehbaren Spiegels 21, wird bei der Auswertung in der Auswerteeinrichtung 35 automatisch berücksichtigt. Ab einer bestimmten Stellung des ersten drehbaren Spiegels 21 trifft die reflektierte Strahlung nicht mehr auf die aktive Fläche 36 des ersten Sensors 34. Eine Meßbereichserweiterung ist dann durch den zweiten drehbaren Spiegel 32 möglich. Wenigstens bei größeren Auslenkungen durch den ersten drehbaren Spiegel 21 wird die reflektierte Strahlung 30 durch den zweiten drehbaren Spiegel 32 derart nachgeführt, daß sie stets auf die aktive Oberfläche 36 des ersten Sensors 34 fällt. Da auch der zweite drehbare Spiegel 32 über die zweite Stelleinrichtung 51 von der Auswerteeinrichtung 35 ge¬ steuert wird, ist die Stellung des zweiten drehbaren Spiegels 32 jederzeit in der Auswerteeinrich gung 35 bekannt und kann bei der Auswertung des Meßergebnisses berücksichtigt werden.If the workpiece 24 is not moved, the detectable surface 23 depends on the maximum possible deflections of the two rotatable mirrors 21, 32 and on the surface of the detectors 34, 44, 49. A change in location of the reflected radiation on the first sensor 34, caused by the movement of the first rotatable mirror 21, is automatically taken into account in the evaluation in the evaluation device 35. From a certain position of the first rotatable mirror 21, the reflected radiation no longer strikes the active surface 36 of the first sensor 34. The measurement range can then be expanded by the second rotatable mirror 32. At least with larger deflections by the first rotatable mirror 21, the reflected radiation 30 is tracked by the second rotatable mirror 32 in such a way that it always falls on the active surface 36 of the first sensor 34. Since the second rotatable mirror 32 is also controlled by the evaluation device 35 via the second actuating device 51, the position of the second rotatable mirror 32 is known at all times in the evaluation device 35 and can be taken into account when evaluating the measurement result.
Ein Teil der reflektierten Strahlung 30 wird von dem Strahlteiler 38 ausgekoppelt und auf den zweiten Strahlungssensor 44 abgebildet. Auf den zweiten Sensor 44 gelangen jedoch nur die Strahlungsanteile, die das dritte Farbdurchlaßfilter 42, das auf eine der beiden emittier¬ ten Strahlungen 12, 15 abgestimmt ist, passieren läßt. Ein Teil der reflektierten Strahlung 30 wird weiterhin mit dem Strahlteiler 39 ausgeblendet, die auf den dritten Strahlungssensor 49 abgebildet wird. Auf den dritten Sensor 49 können nur diejenigen Strahlungsan¬ teile treffen, die das vierte Farbdurchlaßfilter 47, das auf die an¬ dere der beiden emittierten Strahlungen 12, 15 abgestimmt ist, pas¬ sieren läßt. Da der zweite und dritte Sensor 44, 49 jeweils ein Ausgangssignal an die Auswerteeinrichtung 35 abgeben., das proportio¬ nal zur Bestrahlungsstärke ist, wird mit diesen beiden Sensoren 44, 49 eine Änderung der Intensität der beiden Strahlungsanteile 12, 15 in der reflektierten Strahlung 30 detektiert. Eine Ortsänderung der reflektierten Strahlung 30 auf den Oberflächen der beiden Sensoren 44 und 49 hat keine Auswirkungen auf das Meßergebnis, solange der Oberflächenbereich nicht verlassen wird, auf dem das Ausgangssignal proportional zur Bestrahlungsstärke ist. Eine Intensitätsänderung der einen oder der anderen oder beider Strahlungsanteile 12, 15 deutet auf eine frequenzabhängige Reflexion auf der zu prüfenden Oberfläche 23 hin, wenn gleichzeitig keine Positionsveränderung vom ersten Sensor 34 detektiert wird. Aus der festgestellten relativen Änderung der AusgangsSignale entweder des zweiten Sensors 44 oder des dritten Sensors 49 oder einer relativen Änderung des Verhältnis¬ ses beider Signale zueinander kann auf eine Farbänderung der zu prü¬ fenden Oberfläche 23 geschlossen werden. Durch einen Einspeiche- rungsvorgang vor Beginn der eigentlichen Messung in die Auswerteein¬ richtung 35 von bekannten Farbanderungen läßt sich eine quantitative Angabe von Farbänderungen, beispielsweise als Änderungen der Farbko¬ ordinaten im Farbendreieck, über die Ein- und Ausgabevorrichtung 56 anzeigen. Ein anderes Auswerteverfahren stellt eine Nachbarschafts¬ analyse dar, bei der die Positions- und Farbabweichung der reflek¬ tierten Strahlung 30 von einem Abtastpunkt auf der Oberfläche 23 zum nächsten erfaßt und bewertet sowie mit gespeicherten Referenzwerten verglichen werden.Part of the reflected radiation 30 is coupled out by the beam splitter 38 and imaged on the second radiation sensor 44. However, only the radiation components which the third color transmission filter 42, which is matched to one of the two emitted radiations 12, 15, pass onto the second sensor 44. Part of the reflected radiation 30 is further masked out by the beam splitter 39, which is imaged on the third radiation sensor 49. Only those radiation components which the fourth color transmission filter 47, which is matched to the other of the two emitted radiations 12, 15, can pass onto the third sensor 49. Since the second and third sensors 44, 49 each output an output signal to the evaluation device 35 that is proportional to the irradiance, these two sensors 44, 49 change the intensity of the two radiation components 12, 15 in the reflected radiation 30 detected. A change in the location of the reflected radiation 30 on the surfaces of the two sensors 44 and 49 has no effect on the measurement result, as long as the surface area on which the output signal is not left is proportional to the irradiance. A change in the intensity of one or the other or both radiation components 12, 15 indicates a frequency-dependent reflection on the surface 23 to be tested if no change in position is detected by the first sensor 34 at the same time. From the determined relative change in the output signals of either the second sensor 44 or the third sensor 49 or a relative change in the ratio of the two signals to one another, a change in color of the surface 23 to be tested can be concluded. By storing the known measurement changes in the evaluation device 35 before the actual measurement begins, a quantitative indication of color changes, for example as changes in the color coordinates in the color triangle, can be displayed via the input and output device 56. Another evaluation method is a neighborhood analysis, in which the position and color deviation of the reflected radiation 30 from one scanning point on the surface 23 to the next is detected and evaluated and compared with stored reference values.
Eine Farbänderung entsteht insbesondere durch Fremdmaterialein¬ schlüsse in der zu prüfenden Oberfläche 23 und beispielsweise durch chemische oder thermische Beeinflussung der Oberfläche 23 des Werk¬ stücks 24. Mit den erfindungsgemäßen Oberflächenprüfgerät können derartige Fehler detektiert und angezeigt werden.A color change arises, in particular, from inclusions of foreign material in the surface 23 to be tested and, for example, from chemical or thermal influencing of the surface 23 of the workpiece 24. Such defects can be detected and displayed with the surface testing device according to the invention.
Eine vereinfachte Ausführung der erfindungsgemäßen Oberfl chenpruf¬ vorrichtung gemäß Figur 1 ist gegeben, wenn anstelle der beiden Strahlungsquellen 10, 11 lediglich eine Strahlungsquelle vorgesehen ist. Die Sensoranordnung 33 enthält den ersten Strahlungssensor 34, der die Positionsdetektierung der reflektierten Strahlung 30 vor¬ nimmt und einen weiteren Strahlungssensor, der die Bestrahlungsstär¬ ke mißt. In dieser Anordnung wird keines der Farbfilter 18, 19, 42, 47 benötigt. Eine Farbänderung der zu prüfenden Oberfläche 23 führt zu einer Änderung der Intensität der reflektierten Strahlung 30. De¬ tektiert der erste Sensor 34 keine Positionsänderung und ändert sich gleichzeitig die Intensität der reflektierten Strahlung 30, so kann wenigstens qualitativ auf eine Farbänderung in der zu prüfenden Oberfläche 23 geschlossen werden.A simplified embodiment of the surface testing device according to the invention according to FIG. 1 is given if only one radiation source is provided instead of the two radiation sources 10, 11. The sensor arrangement 33 contains the first radiation sensor 34, which detects the position of the reflected radiation 30, and a further radiation sensor, which measures the irradiance. In this arrangement, none of the color filters 18, 19, 42, 47 is required. A change in color of the surface 23 to be tested leads to a change in the intensity of the reflected radiation 30. If the first sensor 34 detects no change in position and, at the same time, the intensity of the reflected radiation 30 changes, a change in color in the surface 23 to be tested can be concluded at least qualitatively.
Eine weitere Verfachungsmöglichkeit des Oberflächenprüfgeräts mit einer Strahlungsquelle ist gegeben durch Verwendung lediglich eines einzigen Strahlungssensors. Dieser Sensor detektiert gleichzeitig sowohl den Auftreffort der reflektierten Strahlung 30 auf dem Sensor 34 als auch die Intensität. Geeignet sind alle Arten von ein- oder zweidimensionalen Multisensoranordnungen. Vorzugsweise kommen Foto- diodenzeilen zur Anwendung.A further possibility for simplifying the surface testing device with a radiation source is given by using only a single radiation sensor. This sensor simultaneously detects both the point at which the reflected radiation 30 strikes the sensor 34 and the intensity. All types of one- or two-dimensional multi-sensor arrangements are suitable. Photo diode rows are preferably used.
In einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Oberflachen¬ pr fvorrichtung können mehr als zwei Strahlungsquellen vorgesehen sein, wobei alle Strahlungsquellen eine Strahlung im optischen Fre¬ quenzbereich mit voneinander verschiedenen Frequenzen emittieren. Die Sensoranordnung 33 enthält dann weitere Auskopplungspfade 40, 45 für die reflektierte Strahlung 30, die zu farbselektiven Strahlungs¬ sensoren 42, 44 bzw. 47, 49 führen. Mit dieser Anordnung läßt sich eine noch genauere Farbanalyse durchführen. In a further embodiment of the surface inspection device according to the invention, more than two radiation sources can be provided, all radiation sources emitting radiation in the optical frequency range with frequencies different from one another. The sensor arrangement 33 then contains further decoupling paths 40, 45 for the reflected radiation 30, which lead to color-selective radiation sensors 42, 44 and 47, 49, respectively. With this arrangement, an even more precise color analysis can be carried out.

Claims

Ansprüche Expectations
1. Vorrichtung zur Prüfung der Oberfläche eines Werkstücks, mit ei¬ ner Strahlungsquelle, deren Strahlung auf die Oberfläche des Werk¬ stücks gerichtet ist, wobei zwischen Strahlungsquelle und Werkstück Strahlformungs- und Abbildungsmittel vorgesehen sind, und mit einer Strahlungssensoranordnung, die die von der Oberfläche reflektierte Strahlung erfaßt und Signale an eine Auswerteeinrichtung abgibt, wo¬ bei zwischen Oberfläche und Sensoranordnung Abbildungsmittel vorge¬ sehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Strahlungs¬ quelle (10, 11) eine im optischen Spektralbereich liegende Strahlung (12, 15) vorgegebener Frequenz emittiert und daß die Sensoranordnung (33) wenigstens einen Strahlungssensor (34) aufweist, der ein Aus¬ gangssignal in Abhängigkeit von dem Auftreffort der einfallenden Strahlung (30) auf der Oberfläche (36) des Sensors (34) und ein Aus¬ gangssignal proportional zur Bestrahlungsstärke des Sensors (34) ab¬ gibt.1. Device for testing the surface of a workpiece, with a radiation source, the radiation of which is directed onto the surface of the workpiece, beam shaping and imaging means being provided between the radiation source and the workpiece, and with a radiation sensor arrangement which detects those from the surface reflected radiation is detected and signals are sent to an evaluation device, imaging means being provided between the surface and the sensor arrangement, characterized in that at least one radiation source (10, 11) has a radiation (12, 15) of a predetermined frequency lying in the optical spectral range emits and that the sensor arrangement (33) has at least one radiation sensor (34) which has an output signal as a function of the impact of the incident radiation (30) on the surface (36) of the sensor (34) and an output signal proportional to Irradiance of the sensor (34) gives off.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sen- soranordung (33) wenigstens einen Strahlungssensor (34) aufweist, der ein Ausgangssignal in Abhängigkeit vom Auftreffort der einfal¬ lenden Strahlung (30) auf der Oberfläche (36) des Sensors (34) ab¬ gibt und daß wenigstens ein weiterer Strahlungssensor (44, 49) vor¬ gesehen ist, der ein Ausgangssignal abgibt, das proportional zur Be¬ strahlungsstärke des Sensors (44, 49) ist. 2. Device according to claim 1, characterized in that the sensor arrangement (33) has at least one radiation sensor (34) which has an output signal as a function of the impact of the incident radiation (30) on the surface (36) of the sensor ( 34) and that at least one further radiation sensor (44, 49) is provided, which emits an output signal which is proportional to the irradiance of the sensor (44, 49).
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei Strahlungsquellen (10, 11) vorgesehen sind, die im optischen Spektralbereich liegende Strahlungen vorgegebener unter¬ schiedlicher Frequenzen abgeben.3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that at least two radiation sources (10, 11) are provided which emit radiation in the optical spectral range of predetermined different frequencies.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sen¬ soranordnung (33) wenigstens einen Strahlungssensor (34) aufweist, der ein Signal in Abhängigkeit vom Auftreffort der reflektierten Strahlung (30) auf der Oberfläche (36) des ersten Sensors (34) ab¬ gibt und daß wenigstens zwei weitere Sensoren. (44, 49) vorgesehen sind, die ein Ausgangssignal in Abhängigkeit von der Bestrahlungs¬ stärke abgeben, wobei vor dem zweiten und dritten Sensor (44, 49) jeweils ein Farbdurchlaßfilter (42, 47) angeordnet ist, wobei der Durchlaßbereich des ersten Farbdurchlaßfilters (42) auf die von der ersten Strahlungsquelle (10) emittierten Strahlung (15) und das zwei- te Farbdurchlaßfilter (47) auf die Frequenz der von der zweiten Strahlungsquelle (11) emittierten Strahlung (12) abgestimmt ist.4. The device according to claim 3, characterized in that the sensor arrangement (33) has at least one radiation sensor (34) which has a signal as a function of the impact point of the reflected radiation (30) on the surface (36) of the first sensor (34 ) and that there are at least two other sensors. (44, 49) are provided, which emit an output signal as a function of the irradiance, a color transmission filter (42, 47) being arranged in front of the second and third sensor (44, 49), the pass band of the first color transmission filter ( 42) is matched to the radiation (15) emitted by the first radiation source (10) and the second color transmission filter (47) to the frequency of the radiation (12) emitted by the second radiation source (11).
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Anssprüche, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (10, 11) ein Laser ist.5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the radiation source (10, 11) is a laser.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (10, 11) ein Halbleiterlaser ist.6. Device according to one of the preceding claims, characterized ge indicates that the radiation source (10, 11) is a semiconductor laser.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die Strahlungsquelle (10, 11) ein thermischer Strahler ist und daß hinter der Strahlungsquelle (10, 11) ein Farbdurchla߬ filter (18, 19) angeordnet ist, das einen vorgegebenen Frequenzbe¬ reich der Strahlung (12, 15) passieren läßt.7. Device according to one of claims 1 to 4, characterized gekenn¬ characterized in that the radiation source (10, 11) is a thermal radiator and that behind the radiation source (10, 11) a Farbdurchla߬ filter (18, 19) is arranged, which allows a predetermined frequency range of the radiation (12, 15) to pass.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die thermische Strahlungsquelle (10, 11) eine Halogenlampe ist. 8. The device according to claim 7, characterized in that the thermal radiation source (10, 11) is a halogen lamp.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche , dadurch ge¬ kennzeichnet, daß eine Steuerschaltung (17) zur LeistungsSteuerung der von der Strahlungsquelle (10, 11) abgegebenen Strahlung (12, 15) vorgesehen ist.9. Device according to one of the preceding claims, characterized ge indicates that a control circuit (17) for power control of the radiation emitted by the radiation source (10, 11) (12, 15) is provided.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß ein erster drehbarer Spiegel (21) zwischen der Strahlungsquelle (10, 11) und der zu prüfenden Oberfläche (23) des Werkstücks (24) vorgesehen ist.10. Device according to one of the preceding claims, characterized ge indicates that a first rotatable mirror (21) between the radiation source (10, 11) and the surface to be tested (23) of the workpiece (24) is provided.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß ein zweiter drehbarer Spiegel (32) zwischen der zu prüfenden Oberfläche (23) des Werkstücks (24) und der Sensoranord¬ nung (33) vorgesehen ist.11. Device according to one of the preceding claims, characterized ge indicates that a second rotatable mirror (32) between the surface to be tested (23) of the workpiece (24) and the Sensoranord¬ arrangement (33) is provided.
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß zur Vereinigung der Strahlung (15) der ersten Strahlungsquelle (10) und der Strahlung (12) der zweiten Strahlungs¬ quelle (11) ein Strahlteiler (14) vorgesehen ist.12. Device according to one of the preceding claims, characterized ge indicates that a beam splitter (14) is provided for combining the radiation (15) of the first radiation source (10) and the radiation (12) of the second radiation source (11).
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß zwischen dem ersten drehbaren Spiegel (31) und der zu prüfenden Oberfläche (23) eine Sammellinse (22) angeordnet ist.13. Device according to one of the preceding claims, characterized ge indicates that a collecting lens (22) is arranged between the first rotatable mirror (31) and the surface to be tested (23).
14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche , dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der zu prüfenden Oberfläche (23) und dem zweiten drehbaren Spiegel (32) eine Sammellinse (31) angeordnet ist. 14. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a converging lens (31) is arranged between the surface to be tested (23) and the second rotatable mirror (32).
15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden. Ansprüche, dadurch ge¬ kennzeichnet, daß die auf die zu prüfende Oberfläche (23) einfallen¬ de Strahlung (25) mit der Flächennormalen (59) auf der zu prüfenden Oberfläche (23) einen Winkel von etwa 45° bildet.15. Device according to one of the preceding. Claims, characterized in that the radiation (25) incident on the surface (23) to be tested forms an angle of approximately 45 ° with the surface normal (59) on the surface (23) to be tested.
16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Drehung (53) des ersten Spiegels (21) eine erste Stellvorrichtung (50) und zur Drehung (54) des zweiten dreh¬ baren Spiegels (32) eine zweite Stelleinrichtung (51) vorgesehen sind die mit der Auswerteeinrichtung verbunden sind.16. Device according to one of the preceding claims, characterized in that for the rotation (53) of the first mirror (21), a first actuating device (50) and for rotation (54) of the second rotatable mirror (32), a second actuating device (51 ) are provided which are connected to the evaluation device.
17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bewegung des Werkstücks (24) in zwei Bewe¬ gungsrichtungen (55) eine dritte Stelleinrichtung (52) vorgesehen ist, die mit der Auswerteeinrichtung (35) verbunden ist. 17. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a third adjusting device (52) is provided for moving the workpiece (24) in two directions of movement (55), which is connected to the evaluation device (35).
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