WO1986001290A1 - Procede de fabrication d'une sonde de mesure destinee a la mesure de la temperature ou de la masse d'un fluide en ecoulement - Google Patents
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Definitions
- Yerfaliren for producing a measuring probe for use in measuring the temperature or mass of a flowing medium.
- the invention relates to a method for producing a measuring probe according to the preamble of the main claim.
- a measuring probe is known from DE-OS 23 02 61.
- a temperature-dependent elek ⁇ tric resistance for a measuring probe is described-, which has a preferably from Gol 'd existing coating as a temperature-dependent measuring resistor.
- the shape of the resistor is made by masking on a thin plastic film.
- the film is fastened to a support body which has a recess spanned by the film in the region of the film opposite the resistance layer.
- the method according to the invention with the characterizing feature of claim 1 and claim 2 provides the advantage that the sensitive film lies over the entire surface of the substrate during the application of the metal layer and, if appropriate, the cover film and thus against damage caused by pressure and the like ⁇ same is better protected than in the known arrangement, in which the recess in the supporting body is made before the film is attached to it. Moreover, a measuring probe manufactured according to the proposed method is mechanically very stable, so that even when used in rapidly flowing media there are no deformations of the resistance layer which could result in undesired changes in resistance.
- FIG. 1 shows a section through a probe for measuring the temperature or mass of a flowing medium
- FIG. 2 shows a plan view of the measuring probe according to FIG. 1 with the cover film omitted.
- the probe illustrated in the Figures has a Sus ⁇ sheet 1 of heat resistant polymer, beispiels ⁇ example of polyimide, .with single or dual layer of fluoro-carbons and a cover sheet 2 of the same "material.
- the measuring probe has a supporting body 3, on the surface of which the film 1 is attached by welding or gluing.
- the support body 3 is a flat plate, which consists of a metallic material, preferably a CuBe alloy.
- the thickness of the plate is of the order of about 0.3 mm.
- the plate has a recess h in the form of a window-like, rectangular opening, which will be discussed in more detail below.
- the film 1 is metallized after its attachment to the supporting body 3 with a layer system 5, 6 made of resistance materials by vacuum coating over the entire surface.
- a group of temperature-dependent resistors 7, temperature-independent resistors 8 and conductor tracks 9 is then formed from this full-surface coating, as can be seen from FIG. 2, using a mask etching process, the temperature-independent resistors 8 being based on tantalum and the temperature-dependent resistors 7 being based on nickel can.
- a resistance comparison can also be carried out by removing 7 constituents from the resistors by cutting away material, in the case of the temperature-independent layer anodic oxidation or the like.
- the cover film 2 is then placed on and tightly and firmly connected to the carrier film 1, for example by welding and / or by a chemical reaction, the contact connection points 10 and likewise the connections 11 on the conductor tracks 9 being left free.
- the recess k is then produced on the supporting body 3 by means of a mask etching process. This creates a frame-like structure in the exemplary embodiment, which carries the measuring probe and gives it mechanical .. stability.
- the recess h extends over a region of the film 1 opposite the measuring resistors 7 S 8, which has the advantage that between the resistors and the support body, as the medium flow changes, table no more heat flow takes place, whereby the probe has a high response speed when changing the mass and / or temperature of the medium flow. With the recess k, a good thermal decoupling of the measuring resistors 7 5 8 against one another and against their mechanical holder is achieved.
- the recess k is formed in the support body 3 only when the measuring probe is finished. This means that the entire, uninterrupted surface of the support body 3 is initially available as a support for the carrier film 1, on which it can be supported during the manufacture of the sensor arrangement until it is finished and when the cover film 2 is applied. This effectively prevents damage to the resistors and the foils due to mechanical influences during the manufacturing process and also simplifies the manufacturing process as such.
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Description
Yerfaliren zum Herstellen einer Meßsonde zur Ver¬ wendung bei der Messung der Temperatur oder Mas¬ se eines strömenden Mediums.
Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zum Herstellen einer Meßsonde nach der Gattung des Hauptanspruchs . Eine derartige Meßsonde ist aus der DE-OS 23 02 61 bekannt. In dieser Druckschrift ist ein temperaturabhängiger elek¬ trischer Widerstand für eine Meßsonde beschrieben-, welche eine vorzugsweise aus Gol'd bestehende Beschichtung als temperaturabhängiger Meßwiderstand besitzt. Die Form des Widerstands ist durch Maskenbedampfung auf einer dünnen Kunststoffolie hergestellt. Die Folie ist an einem Trag¬ körper befestigt, der an dem der Widerstandsschicht ge¬ gegenüberliegenden Bereich der Folie eine von dieser überspannte Ausnehmung aufweist. Damit soll erreicht wer¬ den, daß der Widerstand mechanisch verhältnismäßig robust ist, eine kleine Wärmekapazität und damit eine kurze thermische Zeitkonstante , d. h. eine hohe Ansprechge¬ schwindigkeit auf Änderung der Masse und/oder Temperatur der Mediumströmung hat. Bei der Herstellung dieser be¬ kannten Meßsonde wird so vorgegangen, daß zuerst die Aus-
nehmung im Tragkörper gebildet wird, daß dann die Folie auf dem Tragkörper befestigt wird, und daß anschließend die Widerstandsschicht auf die am Tragkorper befestigte Folie aufgedampft wird. Bei diesem Verfahren besteht die Gefahr, daß die dünne Folie beim Aufspannen auf den Trag¬ körper, während des Aufdampfprozesses der Widerstands¬ schicht oder während des Transports des mit der Folie be¬ spannten Tragkörpers zu der Bedampfungsstatio , beispiels¬ weise durch Druckeinwirkung, beschädigt wird, da ihr im Bereich der Ausnehmung die Unterstützung durch den Trag¬ körper fehlt.
Vorteile der Erfindung
Das erfindungsgemäße Verfahren mit dem kennzeichnenden Merkmal des Anspruchs 1 bzw. des Anspruchs 2 erbringt dem¬ gegenüber den Vorteil, daß die empfindliche Folie während des Aufbringens der Metallschicht und gegebenenfalls der Deckfolie ganzflächig auf dem Träger aufliegt und so¬ mit gegen Beschädigungen durch Druckeinwirkung und der¬ gleichen besser geschützt ist als bei der bekannten Anord¬ nung,, bei welcher die Ausnehmung im Tragkorper bereits vor dem Befestigen der Folie auf diesem hergestellt wird. Im übrigen ist eine nach em vorgeschlagenen Verfahren herge¬ stellte Meßsonde mechanisch sehr stabil, so daß auch bei Verwendung in schnell strömenden Medien keine Verformungen der Widerstandsschicht auftreten, die unerwünschte Wider¬ standsänderungen zur Folge haben könnten. Von Bedeutung ist ferner, daß die ursprüngliche Stabilität des Trag¬ körpers bis nach dem Aufbringen der Widerstandsschicht und gegebenenfalls der Deckfolie erhalten bleibt, so daß er Verforrαungskräften einen größeren Widerstand ent¬ gegenzusetzen vermag als ein Körper, der bereits vor Be¬ ginn des eigentlichen Fertigungsvorgangs durch eine Aus¬ nehmung geschwächt wurde.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen einer nach dem im Anspruch 1 bzw. im Anspruch 2 angegebenen Ver¬ fahren hergestellten Meßsonde sowie günstige Verfahrensweise zu ihrer Herstellung möglich.
Zeichnung
Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der Zeichnung und der nachfolgenden Beschreibung, wobei in der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ver¬ einfacht dargestellt ist. Es zeigen Figur 1 einen Schnitt durch eine Sonde zur Messung der Temperatur oder Masse eines strömenden Mediums , Figur 2 eine Draufsicht auf die Meßsonde nach Figur 1 mit weggelassener Deckfolie.
Beschreibung des Ausführungsbeispiels
Die in den Figuren dargestellte Meßsonde hat eine Träger¬ folie 1 aus temperaturbeständigem Kunststoff, beispiels¬ weise aus Polyimid , .mit ein- oder beidseitiger Deckschicht aus Fluor-Kohlenstoffen und eine Deckfolie 2 aus dem gleichen 'Material . Außerdem hat die Meßsonde einen Trag¬ körper 3, auf dessen Oberfläche die Folie 1 durch Schweißen oder Kleben befestigt ist. Als Tragkörper 3 dient im Aus- führungsbeispiel eine ebene Platte, welche aus einem metallischen Werkstoff, vorzugsweise einer CuBe-Legie- rung besteht. Die Dicke der Platte liegt in der Größen¬ ordnung von etwa 0,3 mm. Die Platte hat eine Ausnehmung h in Form einer fensterartigen, rechteckigen Durchbrechung, auf die nachstehend noch näher eingegangen wird.
- k -
Die Folie 1 wird nach ihrer Befestigung auf dem Tragkör¬ per 3 mit einem Schichtsystem 5, 6 aus Widerstandsmaterialien durch Vakuumbeschichtung ganzflächig metallisiert. Aus dieser ganzflächigen Beschichtung wird sodann, wie aus Figur 2 ersichtlich, mittels Maskenätzprozesses eine Gruppierung von temperaturabhängigen Widerständen 7, temperaturunabhän¬ gigen Widerständen 8 und Leiterbahnen 9 gebildet , wobei die temperaturunabhängigen Widerstände 8 auf Tantalbasis und die temperaturabhängigen Widerstände 7 auf Iickel- basis aufgebaut sein können.
Sind die so im Hinblick auf den jeweiligen Anwendungsfall erforderlichen Widerstände und Leiterbahnen durch den Masken- ätzprozeß gebildet, kann noch ein Widerstandsabgleich da¬ durch erfolgen, daß man von den Widerständen 7 Bestand¬ teile durch Wegschneiden von Material, bei der tempera¬ turunabhängigen Schicht durch anodische Oxidation oder dergleichen, entfernt.
Danach wird die Deckfolie 2 aufgelegt und mit der Träger¬ folie 1 beispielsweise durch Schweißen und/oder durch eine chemische Reaktion, dicht und fest verbunden, wobei die Kontaktanschlußstellen 10 und ebenso die Anschlüsse 11 an den Leiterbahnen 9 freigelassen werden. Anschließend wird am Tragkorper 3 die Ausnehmung k mittels eines Maskenätzprozesses hergestellt. Dadurch entsteht beim Ausführungsbeispiel ein rahmenartiges Gebilde, das die Meßsonde trägt und dieser mechanische..Stabilität verleiht. Die Ausnehmung h erstreckt sich über einen den Meß- widerständen 7S 8 gegenüberliegenden Bereich der Folie 1 , was den Vorteil erbringt, daß zwischen den Widerständen und dem Tragkörper bei sich ändernder Mediumstrδmung prak-
tisch keine Wärmeströmung mehr erfolgt, wodurch die Sonde eine hohe Ansprechgeschwindigkeit bei Änderung der Masse und/oder Temperatur der Mediumströmung aufweist. Mit der Ausnehmung k wird also eine gute thermische Entkopplung der Meßwiderstände 75 8 gegeneinander und gegen ihre mecha¬ nischen Halterung erreicht.
Wesentlich ist, daß die Ausnehmung k im Tragkörper 3 erst dann gebildet wird, wenn der Meßsondenfühler fertigge¬ stellt ist. Dies bedeutet, daß für die Trägerfolie 1 zu¬ nächst die gesamte, nicht unterbrochene Oberfläche des Tragkörpers 3 als Auflage zur Verfügung steht, an der sie sich während der Herstellung der Fühleranordnung bis zu deren Fertigstellung und beim Aufbringen der Deck¬ folie 2 abstützen kann. Dadurch werden Beschädigungen der Widerstände und der Folien durch mechanische Einwir¬ kungen während des Fertigungsvorgangs wirksam verhindert und auß.erdem der Fertigungsprozeß als solcher vereinfacht.
Da die Ausdehnung eines Tragkörpers aus der angegebenen Legierung CuBe bei gleicher Temperatur größer ist als die¬ jenige einer Kunststoffolie aus Polyimid bleibt die Folie 1 auch unter wechselnden Temperaturverhältnissen stets straff gespannt, wodurch eine weitere Voraussetzung für eine Langzeitkonstanz der Widerstandswerte erfüllt ist.
Claims
1. Verfahren zum Herstellen einer Meßsonde zur Verwendung bei der Messung der Temperatur oder Masse eines strömenden Mediums, insbesondere bei der Messung der Ansaugluftmasse und/oder Kraftstoffmasse einer Brennkraftmaschine, bei welchem auf eine Trägerfolie aus einem temperaturbestän¬ digen Kunststoff mindestens ein temperaturabhängiger Wider¬ stand als Metallschicht aufgebracht wird und die Träger- folie vor der Beschichtung auf einem Tragkörper befestigt • wird, der an einem dem Meßwiderstand gegenüberliegenden Bereich der Trägerfolie mit einer von dieser überspannten Ausnehmung versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausnehmung ( ) im Tragkörper (3) nach Fertigstellung der Widerstandsschicht (7, 8) auf der Trägerfolie (1 ) herge¬ stellt wird.
2. Verfahren zum Herstellen einer Meßsonde zur Verwendung bei der Messung der Temperatur oder Masse eines strömen¬ den Mediums, insbesondere bei der Messung der Ansaugluft¬ masse und/oder Kraftstoffmasse einer Brennkraftmaschine, bei welchem auf eine Trägerfolie aus einem temperatur¬ beständigen Kunststoff mindestens ein temperaturabhän¬ giger Widerstand als Metallschicht und eine die Metall¬ schicht schützende Deckfolie aufgebracht wird und die Trägerfolie vor der Beschichtung auf einem Tragkörper befestigt wird, der an einem dem Meßwiderstand gegen- überliegenden Bereich der Trägerfolie mit einer von dieser überspannten Ausnehmung versehen ist, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die Ausnehmung ( h ) im Tragkörper (3) nach dem Verbinden der Deckfolie (2) mit der Trägerfolie (1 ) hergestellt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß der Tragkorper (3) aus einem metallischen Werkstoff besteht und die Ausnehmung ( h ) mittels eines Maskenätzprozesses gebildet wird.
h . Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß die Trägerfolie (1 ) mit dem Tragkorper (3) verschweißt oder chemisch verbunden ist.
5. Meßsonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da¬ durch gekennzeichnet, daß der Tragkorper (3) aus einem Werkstoff .besteht , dessen Ausdehnung bei gleicher Tempera¬ tur größer ist als diejenige der Trägerfolie (1 ).
β. Meßsonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da¬ durch gekennzeichnet, daß als Tragkorper (3) eine Platte dient, in welcher als Ausnehmung eine fensterartige, vorzugsweise rechteckfδrmige Durchbrechung ausgebildet ist .
7. Meßsonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da¬ durch gekennzeichnet, daß die den Meßwiderstand (7, 8) bildende Metallschicht (5, 6) mit Anschlußkontaktstellen (10) über ebenfalls auf der Trägerfolie (1) angeordnete Leiterbahnen (9) verbunden ist, und daß die Anschlußkon¬ taktstellen auf der Trägerfolie an Stellen angeordnet sind, an denen die Folie auf dem Tragkörper (3) aufliegt.
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2640746A1 (fr) * | 1988-12-16 | 1990-06-22 | Leybold Ag | Capteur du type a plusieurs fils pour tres faibles ecoulements gazeux et application |
| DE4036109A1 (de) * | 1989-11-17 | 1991-05-29 | Murata Manufacturing Co | Widerstandstemperaturfuehler |
| FR2658915A1 (fr) * | 1990-02-27 | 1991-08-30 | Bosch Gmbh Robert | Capteur pour mesurer simultanement la composition de melanges gazeux et la vitesse de gaz. |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2179748B (en) * | 1985-08-20 | 1989-09-06 | Sharp Kk | Thermal flow sensor |
| DE3606851A1 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-10 | Vdo Schindling | Anordnung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit |
| GB9026034D0 (en) * | 1990-11-29 | 1991-01-16 | Rolls Royce Plc | A fluid temperature measuring device |
| TW375744B (en) * | 1996-12-10 | 1999-12-01 | Heraeus Electro Nite Int | Resistor having at least two coupled contact springs arranged on a ceramic base and process for the same |
| DE19904419B4 (de) * | 1998-02-08 | 2008-06-26 | Paul Rüster & Co. Inhaber Uwe Nowak GmbH | Nutenwiderstandsthermometer |
| EP0964230A3 (de) * | 1998-06-09 | 2000-01-26 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Elektrischer Widerstand mit wenigstens zwei Anschlusskontaktfeldern auf einem Keramik-Substrat sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| EP0987529A1 (de) * | 1998-09-14 | 2000-03-22 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Elektrischer Widerstand mit wenigstens zwei Anschlusskontaktfeldern auf einem Substrat mit wenigstens einer Ausnehmung sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE19934109C1 (de) * | 1999-07-21 | 2001-04-05 | Bosch Gmbh Robert | Temperaturfühler und Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE10219011B4 (de) * | 2002-04-27 | 2004-07-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Temperatursensor für eine Applikation in Trennebenen |
| GB0313703D0 (en) * | 2003-06-13 | 2003-07-16 | Ceramaspeed Ltd | Temperature sensor assembly for an electrical heating arrangement |
| ATE367573T1 (de) † | 2004-02-24 | 2007-08-15 | Electrovac | Temperaturmessfühler |
| DE102004034185B3 (de) * | 2004-07-15 | 2006-01-05 | Zitzmann, Heinrich, Dr. | Temperaturfühler und Verfahren zu dessen Herstellung |
| TWI370708B (en) * | 2006-10-20 | 2012-08-11 | Ind Tech Res Inst | Architecture of complement of a mirrored design of a embedded planar resistor |
| DE102012204817B4 (de) * | 2012-03-12 | 2020-09-10 | PGT Thermprozesstechnik GmbH | Temperatursensor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4129848A (en) * | 1975-09-03 | 1978-12-12 | Raytheon Company | Platinum film resistor device |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3115423A (en) * | 1955-06-13 | 1963-12-24 | Ass Elect Ind Manchester Ltd | Manufacture of printed electrical circuits |
| DE2352073A1 (de) * | 1973-10-17 | 1975-04-30 | Vdo Schindling | Temperaturmess- oder -schalteinrichtung |
| DE2507731C3 (de) * | 1975-02-22 | 1978-09-07 | Deutsche Gold- Und Silber-Scheideanstalt Vormals Roessler, 6000 Frankfurt | Meßwiderstand für Widerstandsthermometer und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US4134095A (en) * | 1977-12-05 | 1979-01-09 | The Bendix Corporation | Fast response temperature sensor |
| JPS58204176A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-28 | Kangiyou Denki Kiki Kk | 化学的蝕刻方法 |
| DE3327389A1 (de) * | 1983-07-29 | 1985-02-07 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Temperaturmesssonde |
| US4481049A (en) * | 1984-03-02 | 1984-11-06 | At&T Bell Laboratories | Bilevel resist |
| US4543153A (en) * | 1984-05-17 | 1985-09-24 | Psi Star | Process and apparatus for etching copper masked by a nickel-gold mask |
| US4599136A (en) * | 1984-10-03 | 1986-07-08 | International Business Machines Corporation | Method for preparation of semiconductor structures and devices which utilize polymeric dielectric materials |
| US4581099A (en) * | 1985-01-30 | 1986-04-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for preparation of a photosensor |
| US4595298A (en) * | 1985-05-01 | 1986-06-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Temperature detection system for use on film cooled turbine airfoils |
-
1984
- 1984-08-16 DE DE19843430075 patent/DE3430075A1/de active Granted
-
1985
- 1985-07-19 WO PCT/DE1985/000247 patent/WO1986001290A1/de not_active Application Discontinuation
- 1985-07-19 US US06/852,808 patent/US4708769A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-07-19 JP JP60503284A patent/JPS61503049A/ja active Pending
- 1985-07-19 EP EP85903654A patent/EP0191785A1/de not_active Ceased
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4129848A (en) * | 1975-09-03 | 1978-12-12 | Raytheon Company | Platinum film resistor device |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Messen und Prufen, No. 3, March 1982, Bad Worlshofen (DE) Technology: "Dunne Schichten fur Messgrossenwandler", pages 164-167, see page 165, paragraph 1; page 166, paragraph 3 * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2640746A1 (fr) * | 1988-12-16 | 1990-06-22 | Leybold Ag | Capteur du type a plusieurs fils pour tres faibles ecoulements gazeux et application |
| DE4036109A1 (de) * | 1989-11-17 | 1991-05-29 | Murata Manufacturing Co | Widerstandstemperaturfuehler |
| US5197804A (en) * | 1989-11-17 | 1993-03-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resistance temperature sensor |
| FR2658915A1 (fr) * | 1990-02-27 | 1991-08-30 | Bosch Gmbh Robert | Capteur pour mesurer simultanement la composition de melanges gazeux et la vitesse de gaz. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3430075C2 (de) | 1992-01-02 |
| JPS61503049A (ja) | 1986-12-25 |
| DE3430075A1 (de) | 1986-02-27 |
| EP0191785A1 (de) | 1986-08-27 |
| US4708769A (en) | 1987-11-24 |
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