Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Національний Університет "Львівська Політехніка"filedCriticalНаціональний Університет "Львівська Політехніка"
Priority to UAU201400034UpriorityCriticalpatent/UA91488U/uk
Publication of UA91488UpublicationCriticalpatent/UA91488U/uk
Герметичне перекриття вакуумних об'ємів містить шлюзову камеру з боковими отворами з встановленими перекриваючими вакуумними затворами з вакуумними прокладками, транспортер, який встановлений в шлюзовій камері, та елементи кріплення зразків, які встановлені на транспортері. Додатково перекриття містить елементи кріплення змінних масок, які встановлені на транспортері під елементом кріплення зразків відповідно.