Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Національний Університет "Львівська Політехніка"filedCriticalНаціональний Університет "Львівська Політехніка"
Priority to UAU201400034UpriorityCriticalpatent/UA91488U/ru
Publication of UA91488UpublicationCriticalpatent/UA91488U/ru
Герметичное перекрытие вакуумных объемов содержит шлюзовую камеру с боковыми отверстиями с установленными перекрывающими вакуумными затворами с вакуумными прокладками, транспортер, который установлен в шлюзовой камере, и элементы крепления образцов, которые установлены на транспортере. Дополнительно перекрытие содержит элементы крепления сменных масок, которые установлены на транспортере под элементом крепления образцов соответственно.