UA83012U - Сканирующий микроволновой микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур - Google Patents

Сканирующий микроволновой микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур

Info

Publication number
UA83012U
UA83012U UAU201301878U UAU201301878U UA83012U UA 83012 U UA83012 U UA 83012U UA U201301878 U UAU201301878 U UA U201301878U UA U201301878 U UAU201301878 U UA U201301878U UA 83012 U UA83012 U UA 83012U
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
control
semiconductor structures
electrophysical parameters
scanning microwave
microwave microscope
Prior art date
Application number
UAU201301878U
Other languages
English (en)
Ukrainian (uk)
Inventor
Сергей Юрьевич Ларкин
Евгений Иванович Новиков
Original Assignee
Публичное Акционерное Общество "Научно-Производственный Концерн "Наука"
Государственное Предприятие "Государственный Научно-Исследовательский Центр "Фонон"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Публичное Акционерное Общество "Научно-Производственный Концерн "Наука", Государственное Предприятие "Государственный Научно-Исследовательский Центр "Фонон" filed Critical Публичное Акционерное Общество "Научно-Производственный Концерн "Наука"
Priority to UAU201301878U priority Critical patent/UA83012U/ru
Publication of UA83012U publication Critical patent/UA83012U/ru

Links

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

Сканирующий микроволновый микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур содержит СВЧ генератор, коаксиальный резонатор с заостренным на конце центральным проводником, детектор, управляемый столик для полупроводниковых образцов, блок управления и обработки информативных сигналов. Центральный проводник резонатора находится внутри диэлектрического трубчатого световода, с торцом которого соединен дополнительно введенный источник излучения.
UAU201301878U 2013-02-15 2013-02-15 Сканирующий микроволновой микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур UA83012U (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAU201301878U UA83012U (ru) 2013-02-15 2013-02-15 Сканирующий микроволновой микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAU201301878U UA83012U (ru) 2013-02-15 2013-02-15 Сканирующий микроволновой микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA83012U true UA83012U (ru) 2013-08-27

Family

ID=52275260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAU201301878U UA83012U (ru) 2013-02-15 2013-02-15 Сканирующий микроволновой микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA83012U (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CY1121221T1 (el) Συσκευη και μεθοδος αφυδατωσης με χρηση ακτινοβολιας μικροκυματων
CA2905931C (en) Microwave plasma spectrometer using dielectric resonator
GB201207714D0 (en) Microwave cavity sensor
CL2012001969A1 (es) Aparato para deshidratar material organico que comprende una camara de vacio, un conjunto de dos o mas generadores de microondas, una ventana transparente a las microondas para la transmision de la radiacion, una camara de microondas; y metodo para deshidratar un material organico.
BR112018007506A2 (pt) método e aparelho para ajustar comunicações sem fio
WO2015175047A3 (en) Optically detected magnetic resonance imaging with an electromagnetic field resonator
MX2019007253A (es) Metodo y aparato de aplicacion de microondas.
WO2014052719A3 (en) Adjusting energy of a particle beam
CL2016002579A1 (es) Generación de plasma de resonador de cavidad coaxial de señal doble.
WO2018063341A8 (en) Millimeter-wave holey waveguides and multi-material waveguides
EP3522294A4 (en) DIELECTRIC WAVE GUIDE, CONNECTING STRUCTURE AND METHOD FOR PRODUCING A DIELECTRIC WAVE GUIDE
GB2538690A (en) Waveguide-based apparatus for exciting and sustaining a plasma
MY201589A (en) Device for generating plasma having a high range along an axis by electron cyclotron resonance (ecr) from a gaseous medium
SG10201907831SA (en) Electrosurgical snare
EA201890673A1 (ru) Мониторинг напряженности поля для оптимальной производительности
WO2014181239A3 (en) Longitudinal-displacement passive phase-shifter
WO2018195453A8 (en) MILLIMETRIC WAVE EXTENSIBLE NETWORKS HAVING LARGE OPENINGS MADE FROM MILLIMETER WAVE DIELECTRIC WAVEGUIDES
IN2014DE01396A (ru)
UA83012U (ru) Сканирующий микроволновой микроскоп для контроля электрофизических параметров полупроводниковых структур
MX2016003645A (es) Varita de recoleccion de muestra que comprende un calentador acoplado inductivamente.
GB2567983A (en) Microwave instrument
WO2017080775A3 (en) Quantification of inhomogeneities in objects by electromagnetic fields
WO2013106422A3 (en) Hydrocarbon resource processing device including spirally wound electrical conductors and related methods
EA201891167A1 (ru) Высокочастотная и широкополосная антенна, содержащая средства контроля соединения
WO2013030804A3 (es) Fuente compacta autoresonante de rayos x