TWM641871U - 具閂鎖結構之晶圓盒門體 - Google Patents

Abstract

本創作係為一種具閂鎖結構之晶圓盒門體，包含外蓋板、內蓋板及閂鎖機構。外蓋板設置有開槽。內蓋板罩合外蓋板，具有設置在內蓋板垂直的二側邊的一對穿孔。閂鎖機構設置在外蓋板及內蓋板之間，包含一對旋轉片、受對旋轉片帶動的一對閂鎖組及帶動旋轉片作轉動的旋鈕，旋鈕凸出開槽，閂鎖組對應穿孔的位置而在旋轉片組的二側呈垂直設置。據此，旋鈕受外力作用作轉動而帶動旋轉片組產生旋轉，從而使閂鎖組能夠凸伸或縮回穿孔而達到所釋的目的。

Description

具閂鎖結構之晶圓盒門體

本創作係有關於容器門蓋，尤指一種具閂鎖結構之晶圓盒門體。

在半導體製程中，經常會利用晶圓盒來對晶圓作搬運，藉以將晶圓穩定地運送到不同的製程工作站，並避免在運輸過程中對晶圓造成毀損。又，現行廣泛使用的晶圓盒是一種前開式晶圓盒(Front Opening Unified Pod,FOUP)，包含一盒體及一門體，盒體具有間隔設置的複數插槽及一開口，門體對應罩合在盒體上。使用時，晶圓從開口置入及移出盒體而置放在各插槽中，最後再以門體作罩合。

再者，前述前開式晶圓盒的門體通常設置有閂鎖機構。又，閂鎖機構包含設置在門體的旋動件及連接旋動件的一對閂鎖桿件，另於盒體的開口周緣設置至少一對插孔。據此，轉動門體上的旋動件，進而帶動閂鎖桿件滑動作伸出，並卡掣於盒體的插孔，從而達到對門體作鎖固並結合在盒體上的目的。

又，前述閂鎖機構的閂鎖桿件是以平行延伸的方式而呈上、下直線移動，因此僅能扣鎖門體的相對側。然而在門體面積較大的情況下，門體未受到閂鎖桿件卡掣的另側則恐有分離之虞。

有鑑於此，本創作人遂針對上述現有技術，特潛心研究並配合學理的運用，盡力解決上述之問題點，即成為本創作創作人改良之目標。

本創作之一目的，在於提供一種具閂鎖結構之晶圓盒門體，其旋鈕受外力作用作轉動而帶動旋轉片組產生旋轉，從而使閂鎖組能夠凸伸或縮回穿孔而達到所釋的目的。

為了達成上述之目的，本創作係為一種具閂鎖結構之晶圓盒門體，包含外蓋板、內蓋板及閂鎖機構。外蓋板設置有開槽。內蓋板罩合外蓋板，內蓋板具有一對穿孔，該對穿孔設置在內蓋板垂直的二側邊。閂鎖機構設置在外蓋板及內蓋板之間，包含一對旋轉片組、受該對旋轉片組帶動的一對閂鎖組及帶動該對旋轉片組作轉動的旋鈕，旋鈕凸出開槽，該對閂鎖組對應該對穿孔的位置而在該對旋轉片組的二側呈垂直設置；其中，旋鈕受一外力作用作轉動而帶動該對旋轉片組產生旋轉，從而使該對閂鎖組能夠凸伸或縮回該對穿孔。

於本創作的一實施例中，該對旋轉片組包含鄰靠該外蓋板的一第一旋轉片及鄰靠該內蓋板的第二旋轉片，第一旋轉片包含第一圓盤及設置在第一圓盤上的第一長弧槽，第二旋轉片包含第二圓盤及設置在第二圓盤上的第二長弧槽，第一長弧槽及第二長弧槽係呈錯位設置。

於本創作的一實施例中，內蓋板設係在該對穿孔之間設置有內定位環；第二旋轉片包含設置在第二圓盤之底面的第二凸環，第二旋轉片透過第二凸環靠抵在內定位環的外緣而定位在內蓋板上。

於本創作的一實施例中，第一旋轉片包含設置在第一圓盤之底面的第一凸環，且第一凸環設置有一對第一卡槽；第二旋轉片包含設置在第二圓盤之頂面的一對第二凸塊，該對第一卡槽中穿置有該對第二凸塊。

於本創作的一實施例中，第二旋轉片包含設置在第二圓盤之頂面的一對第二凸肋，第一凸環靠抵在該對第二凸肋外。

於本創作的一實施例中，閂鎖機構更包括安置在外蓋板及第一旋轉片之間鎖片，鎖片具有插孔及位於插孔相對側的一對穿槽，該對穿槽設置在鎖片面向第一旋轉片的一側面；第一旋轉片包含設置在第一圓盤之頂面的一對第一凸塊，該對第一凸塊穿置在該對穿槽中。

於本創作的一實施例中，第一旋轉片包含設置在第一圓盤之頂面的一對第一凸肋，該對第一凸肋靠抵鎖片的周緣。

於本創作的一實施例中，閂鎖組包含連接第一旋轉片的第一閂鎖組及連接第二旋轉片的第二閂鎖組；第一閂鎖組包含第一閂片、連接第一閂片的第一閂桿及結合在第一閂桿的第一閂勾，第一閂片設置有第一凸柱，第一凸柱穿設在第一長弧槽中；及第二閂鎖組包含第二閂片、連接第二閂片的第二閂桿及結合在第二閂桿的第二閂勾，第二閂片設置有第二凸柱，第二凸柱穿設在第二長弧槽中。

於本創作的一實施例中，第一閂鎖組更包含第一插銷，第一插銷穿設第一閂勾並連接第一閂桿；第二閂鎖組更包含第二插銷，第二插銷穿設第二閂勾並連接第二閂桿。

於本創作的一實施例中，閂鎖組更包含設置在該內蓋板上的第一彈片及第二彈片，第一彈片位在第一閂桿的一側並延伸至第一閂勾的底側，第二彈片位在第二閂桿的一側並延伸至第二閂勾的底側。

相較於習知，本創作之晶圓盒門體係在內蓋板具有一對穿孔，並將該對穿孔設置在內蓋板垂直的二側邊。另外，閂鎖機構包含一對旋轉片組、受旋轉片組帶動的一對閂鎖組及帶動旋轉片組作轉動的旋鈕，其中，閂鎖組對應穿孔的位置而在旋轉片組的二側呈垂直設置；據此，晶圓盒門體可分別受到閂鎖組的扣掣而對晶圓盒本體並進行閂鎖；又，閂鎖機構的數量可視實際使用狀況而調整設置，並根據閂鎖的位置作角度調整，增加使用上的便利性及實用性。

1:晶圓盒門體

2:晶圓盒本體

3:開口

4:插孔

10:外蓋板

11:開槽

12:外定位環

20:內蓋板

21:穿孔

211:第一穿孔

212:第二穿孔

22:內定位環

30:閂鎖機構

31:旋轉片組

311:第一旋轉片

3110:第一長弧槽

3111:第一圓盤

3112:第一凸環

3113:第一卡槽

3114:第一凸塊

3115:第一凸肋

312:第二旋轉片

3120:第二長弧槽

3121:第二圓盤

3122:第二凸環

3123:第二凸塊

3124:第二凸肋

32:閂鎖組

321:第一閂鎖組

3211:第一閂片

3212:第一閂桿

3213:第一閂勾

3214:第一凸柱

3215:第一插銷

322:第二閂鎖組

3221:第二閂片

3222:第二閂桿

3223:第二閂勾

3224:第二凸柱

3225:第二插銷

33:旋鈕

34:鎖片

340:插孔

341:穿槽

35:第一彈片

36:第二彈片

圖1係本創作之晶圓盒的立體外觀示意圖。

圖2係本創作之晶圓盒本體與晶圓盒門體的立體分解圖。

圖3係本創作之晶圓盒門體的立體分解示意圖。

圖4係本創作之晶圓盒門體一側方向的部分立體分解示意圖。

圖5係本創作之晶圓盒門體另一側方向的部分立體分解示意圖。

圖6係本創作之內蓋板結合閂鎖機構的平面示意圖。

圖7係本創作之晶圓盒門體一側方向的組合剖視圖。

圖8係本創作之晶圓盒門體另一側方向的組合剖視圖。

圖9係本創作之旋轉片組在一位置處的結合剖視圖。

圖10係本創作之旋轉片組在另一位置處的結合剖視圖。

圖11本創作之閂鎖機構的動作示意圖。

有關本創作之詳細說明及技術內容，配合圖式說明如下，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

請參照圖1及圖2，係分別為本創作之晶圓盒的立體外觀示意圖及晶圓盒本體與晶圓盒門體的立體分解圖。本創作係為一種具閂鎖結構之晶圓盒門體1，用以罩合一晶圓盒本體2並進行閂鎖。該晶圓盒本體2的一側具有一開口3，並在該開口3的周緣設置有複數插孔4。該晶圓盒門體1包含一外蓋板10、一內蓋板20及至少一閂鎖機構30。該閂鎖機構30設置在該外蓋板10及該內蓋板20之間。該晶圓盒門體1透過該閂鎖機構30對該晶圓盒本體2進行閂鎖，藉以將該晶圓盒門體1鎖固在該晶圓盒本體2上。

要說明的是，該閂鎖機構30的數量設置可視實際使用狀況而調整。本實施例中，該晶圓盒門體1包含複數閂鎖機構30。該些閂鎖機構30分別設置在該外蓋板10及該內蓋板20之間的四個角端處。又，該些閂鎖機構30的結構皆相同，各閂鎖機構30之間的差異處係在於根據閂鎖的位置作角度調整。後續僅對其中一組閂鎖機構30作詳細說明。

請另參照圖3至圖5，係分別為本創作之晶圓盒門體的立體分解示意圖及二側方向的部分立體分解示意圖。如圖3所示，該外蓋板10設置有一開槽11。該內蓋板20罩合該外蓋板10。於本實施例中，該外蓋板10在面向該第一旋轉片311的一側面設置有一外定位環12。

又，該內蓋板20具有一對穿孔21，且該對穿孔21設置在該內蓋板20垂直的二側邊。本實施例中，該對穿孔21包含一第一穿孔211及一第二穿孔212。

此外，該閂鎖機構30設置在該外蓋板10及該內蓋板20之間。該閂鎖機構30包含一對旋轉片組31、受該對旋轉片組31帶動的一對閂鎖組32及帶動該對旋轉片組31作轉動的一旋鈕33。該旋鈕33凸出該開槽11(參圖2)。該對閂鎖組32對應該對穿孔21的位置而在該對旋轉片組31的二側呈垂直設置。

請參照圖4及圖5。該對旋轉片組31包含鄰靠該外蓋板10的一第一旋轉片311及鄰靠該內蓋板20的一第二旋轉片312。該第一旋轉片311包含一第一圓盤3111及設置在該第一圓盤3111上的一第一長弧槽3110。又，該第二旋轉片312包含一第二圓盤3121及設置在該第二圓盤3121上的一第二長弧槽3120。該第一長弧槽3110及該第二長弧槽3120係呈錯位設置(另參圖6)。

具體而言，該內蓋板20設係在該對穿孔21之間設置有一內定位環22。又，該第二旋轉片312包含設置在該第二圓盤3121之底面的一第二凸環3122。該第二旋轉片312透過該第二凸環3122靠抵在該內定位環22的外緣而定位在該內蓋板20上(另參圖7)。

此外，該第一旋轉片311包含設置在該第一圓盤3111之底面的一第一凸環3112，且該第一凸環3112設置有一對第一卡槽3113。另外，該第二旋轉片312包含設置在該第二圓盤3121之頂面的一對第二凸塊3123及一對第二凸肋3124。又，該對第一卡槽3113中穿置有該對第二凸塊3123(另參圖9)，且該第一凸環3112靠抵在該對第二凸肋3124外(可另參圖7)。

再者，該閂鎖機構30更包括一鎖片34。該鎖片34安置在該外蓋板10及該第一旋轉片311之間。該鎖片34具有一插孔340及位於該插孔340相對側的一對穿槽341。該對穿槽341設置在該鎖片34面向該第一旋轉片311的一側面。此外，該第一旋轉片311包含設置在該第一圓盤3111之頂面的一對第一凸塊3114。該第一旋轉片311透過該對第一凸塊3114穿置在該對穿槽341中而結合該鎖片34。(另參圖10)又，該第一旋轉片311包含設置在該第一圓盤3111之頂面的一對第一凸肋3115。該對第一凸肋3115靠抵該鎖片34的周緣面(可另參圖8)。此外，該外定位環12係靠抵在該對第一凸肋3115的外緣，藉以定位該第一旋轉片311。

據此，該第二旋轉片312、該第二閂鎖組322、該第一閂鎖組321、該第一旋轉片311及該鎖片34依序組設置至該內蓋板20後，再透過複數螺件(未圖示)穿設該外蓋板10並鎖固在該內蓋板20上。

該對閂鎖組32包含連接該第一旋轉片311的一第一閂鎖組321及連接該第二旋轉片312的一第二閂鎖組322。

具體而言，該第一閂鎖組321包含一第一閂片3211、連接該第一閂片3211的一第一閂桿3212及結合在該第一閂桿3212的一第一閂 勾3213。該第一閂片3211設置有一第一凸柱3214。該第一凸柱3214穿設在該第一長弧槽3110中(另參圖6)。本實施例中，該第一閂鎖組321更包含一第一插銷3215。該第一插銷3215穿設該第一閂勾3213並連接該第一閂桿3212。

同樣地，該第二閂鎖組322包含一第二閂片3221、連接該第二閂片3221的一第二閂桿3222及結合在該第二閂桿3222的一第二閂勾3223。該第二閂片3221設置有一第二凸柱3224。該第二凸柱3224穿設在該第二長弧槽3120中(另參圖6)。本實施例中，該第二閂鎖組322更包含一第二插銷3225。該第二插銷3225穿設該第二閂勾3223並連接該第二閂桿3222。

於本創作的一實施例中，該對閂鎖組32更包含設置在該內蓋板20上的一第一彈片35及一第二彈片36。該第一彈片35位在該第一閂桿3212的一側並延伸至該第一閂勾3213的底側。該第二彈片36位在該第二閂桿3222的一側並延伸至該第二閂勾3223的底側。要說明的是，該第一彈片35及該第二彈片36的設置係用以定位該第一閂勾3213及該第二閂勾3223，避免該第一閂勾3213及該第二閂勾3223在伸出該對穿孔21時移位或縮回。

請同時參照圖6至圖8，係分別為本創作之內蓋板結合閂鎖機構的平面示意圖及晶圓盒門體二側方向的組合剖視圖。如圖6所示，該晶圓盒門體1設置有四組閂鎖機構30，並分別設置在該內蓋板20的四個角端處。據此，該晶圓盒門體1的四個周緣可分別受到二組閂鎖組的扣掣。又，該第一閂鎖組321的第一凸柱3214穿設在該第一旋轉片311的第一長弧槽3110中。該第二閂鎖組322的第二凸柱3224穿設在該第二旋轉片 312的第二長弧槽3120中。值得注意的是，該第一閂鎖組321的第一閂勾3213及該第二閂鎖組322的第二閂勾3223分別伸出而處於閂鎖狀態。

據此，旋鈕33受一外力作用作轉動而帶動該對旋轉片組31產生旋轉，從而使該對閂鎖組32能夠凸伸或縮回該對穿孔21。

再者，從圖7可看出，該第二旋轉片312的第二凸環3122靠抵在該內定位環22的外緣；此外，該第一凸環3112靠抵在該對第二凸肋3124外。又，從圖8可看出，該對第一凸肋3115靠抵該鎖片34的周緣面；此外，該外定位環12係靠抵在該對第一凸肋3115的外緣。

請續參照圖9及圖10，係分別為本創作之旋轉片組在二位置處的結合剖視圖。從圖9可看出，該第一旋轉片311之第一卡槽3113中穿置有該第二旋轉片312的第二凸塊3123。藉此，該第二旋轉片312結合該第一旋轉片311，並隨著該第一旋轉片311轉動。又，從圖10可看出，該第一旋轉片311的第一凸塊3114穿置在該鎖片34的穿槽341中。藉此，該第一旋轉片311結合該鎖片34，並隨著該鎖片34轉動。因此，該第一旋轉片311及該第二旋轉片312會同時受該鎖片34的帶動而作旋轉。

請續參照圖11，係為本創作之閂鎖機構的動作示意圖。當該旋鈕33自該外蓋板10的開槽11中穿入該鎖片34的插孔340並轉動時，該鎖片34同時帶動該第一旋轉片311及該第二旋轉片312作旋轉。此時，該第一閂鎖組321的第一凸柱3214會沿著該第一長弧槽3110移動，從而帶動該第一閂勾3213作縮回而處於釋鎖狀態。

同樣地，該第二閂鎖組322的第二凸柱3224會沿著該第二長弧槽3120移動，從而帶動該第二閂勾3223作縮回而處於釋鎖狀態。

以上所述僅為本創作之較佳實施例，非用以定本創作之專利範圍，其他運用本創作之專利精神之等效變化，均應俱屬本創作之專利範圍。

20:內蓋板

30:閂鎖機構

3110:第一長弧槽

3120:第二長弧槽

321:第一閂鎖組

3123:第二凸塊

3214:第一凸柱

322:第二閂鎖組

3223:第二閂勾

3224:第二凸柱

33:旋鈕

34:鎖片

35:第一彈片

36:第二彈片

Claims (10)

1. 一種具閂鎖結構之晶圓盒門體，包括：一外蓋板，設置有一開槽；一內蓋板，罩合該外蓋板，該內蓋板具有一對穿孔，該對穿孔設置在該內蓋板垂直的二側邊；以及一閂鎖機構，設置在該外蓋板及該內蓋板之間，包含一對旋轉片組、受該對旋轉片組帶動的一對閂鎖組及帶動該對旋轉片組作轉動的一旋鈕，該旋鈕凸出該開槽，該對閂鎖組對應該對穿孔的位置而在該對旋轉片組的二側呈垂直設置；其中，該旋鈕受一外力作用作轉動而帶動該對旋轉片組產生旋轉，從而使該對閂鎖組能夠凸伸或縮回該對穿孔。
2. 如請求項1所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該對旋轉片組包含鄰靠該外蓋板的一第一旋轉片及鄰靠該內蓋板的一第二旋轉片，該第一旋轉片包含一第一圓盤及設置在該第一圓盤上的一第一長弧槽，該第二旋轉片包含一第二圓盤及設置在該第二圓盤上的一第二長弧槽，該第一長弧槽及該第二長弧槽係呈錯位設置。
3. 如請求項2所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該內蓋板設係在該對穿孔之間設置有一內定位環；該第二旋轉片包含設置在該第二圓盤之底面的一第二凸環，該第二旋轉片透過該第二凸環靠抵在該內定位環的外緣而定位在該內蓋板上。
4. 如請求項3所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該第一旋轉片包含設置在該第一圓盤之底面的一第一凸環，且該第一凸環設置有 一對第一卡槽；該第二旋轉片包含設置在該第二圓盤之頂面的一對第二凸塊，該對第一卡槽中穿置有該對第二凸塊。
5. 如請求項4所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該第二旋轉片包含設置在該第二圓盤之頂面的一對第二凸肋，該第一凸環靠抵在該對第二凸肋外。
6. 如請求項4所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該閂鎖機構更包括安置在該外蓋板及該第一旋轉片之間一鎖片，該鎖片具有一插孔及位於該插孔相對側的一對穿槽，該對穿槽設置在該鎖片面向該第一旋轉片的一側面；該第一旋轉片包含設置在該第一圓盤之頂面的一對第一凸塊，該對第一凸塊穿置在該對穿槽中。
7. 如請求項6所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該第一旋轉片包含設置在該第一圓盤之頂面的一對第一凸肋，該對第一凸肋靠抵該鎖片的周緣。
8. 如請求項2所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該對閂鎖組包含連接該第一旋轉片的一第一閂鎖組及連接該第二旋轉片的一第二閂鎖組；該第一閂鎖組包含一第一閂片、連接該第一閂片的一第一閂桿及結合在該第一閂桿的一第一閂勾，該第一閂片設置有一第一凸柱，該第一凸柱穿設在該第一長弧槽中；及該第二閂鎖組包含一第二閂片、連接該第二閂片的一第二閂桿及結合在該第二閂桿的一第二閂勾，該第二閂片設置有一第二凸柱，該第二凸柱穿設在該第二長弧槽中。
9. 如請求項8所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該第一閂鎖組更包含一第一插銷，該第一插銷穿設該第一閂勾並連接該第一閂桿； 該第二閂鎖組更包含一第二插銷，該第二插銷穿設該第二閂勾並連接該第二閂桿。
10. 如請求項8所述之具閂鎖結構之晶圓盒門體，其中該對閂鎖組更包含設置在該內蓋板上的一第一彈片及一第二彈片，該第一彈片位在該第一閂桿的一側並延伸至該第一閂勾的底側，該第二彈片位在該第二閂桿的一側並延伸至該第二閂勾的底側。

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