TWM636587U - 過濾裝置 - Google Patents

Abstract

本創作揭露了一種過濾裝置，其包括一反應模組、一濾除模組、一收集模組以及一液體循環模組。反應模組接收一有害氣體，反應模組用於對有害氣體加熱，以使有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒。濾除模組用於接收有害氣體，並對有害氣體進行一水洗動作，以使多個有害微粒被黏附於一液體。收集模組用於接收黏附有有害微粒的液體。液體循環模組用於供給液體至濾除模組。藉此，本創作的可過濾裝置提升去除氣體中的有害物質的效果。

Description

過濾裝置

本創作關於一種過濾裝置，特別是關於一種能夠有效去除氣體中的有害物質的過濾裝置。

就高科技製造業的顆粒粉塵廢棄處理系統而言，許多廢氣減量過程中都需要收集微細粉塵。廢氣中的微細粉塵是極細的固體微粒，會長時間懸浮在空氣中。直徑超過10微米的粒子歸為粗微，這類微會被鼻毛或鼻咽腔內的黏膜吸附。直徑小於10微米(PM10)的微細粉塵屬於懸浮粒子，一旦吸入人體，將沿著氣管與支氣管一直深入直達肺部。

直徑小於2.5微米的微細粉塵便屬於微細懸浮微粒(PM2.5)，而小於0.1微米者則屬於超微細浮微粒。包括PM10、PM2.5，在現有的氣體洗滌器和分離器都很難處理，因此可能造成排氣道阻塞。

故，如何通過結構設計的改良，來克服上述的缺陷，已成為本領域所欲解決的重要課題之一。

本創作所要解決的技術問題在於，針對現有技術的不足提供一種過濾裝置。

為了解決上述的技術問題，本創作所採用的其中一技術方案是提供一種過濾裝置，其包括一反應模組、一濾除模組一收集模組以及一液體循環模組。反應模組接收一有害氣體，該反應模組用於對該有害氣體加熱，以使該有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒。濾除模組連接該反應模組，該濾除模組用於接收該有害氣體，並對該有害氣體進行一水洗動作，以使多個該有害微粒被黏附於一液體。收集模組連接於該濾除模組，該收集模組用於接收黏附有該有害微粒的該液體。液體循環模組連接於該反應模組以及該濾除模組，該液體循環模組用於供給該液體至該濾除模組。

較佳地，該反應模組包括一第一腔體單元、至少一加熱單元以及一輸送單元。第一腔體單元能拆卸地連接至少一外部製程設備，並接收至少一該外部製程設備所產生的該有害氣體。至少一加熱單元設置於該第一腔體單元，至少一該加熱單元用於對該第一腔體單元加熱，以使該第一腔體單元中的多個該有害物質分子化，而產生多個該有害微粒。輸送單元能拆卸地連接於該第一腔體單元、該濾除模組以及該收集模組，該輸送單元用於接收該第一腔體單元所傳輸的該有害氣體，並將該有害氣體導引到該濾除模組。

較佳地，至少一該加熱單元對該第一腔體單元加熱的溫度介於600度至900度之間。

較佳地，該反應模組還包括多個第一噴頭單元，其分別設置於該第一腔體單元內以及該輸送單元內，多個該第一噴頭單元連接於該液體循環模組，多個該第一噴頭單元用於接收該液體循環模組所提供的該液體，並朝該第一腔體單元內部以及該輸送單元內部噴灑該液體。

較佳地，該濾除模組包括一第二腔體單元以及至少一噴頭單元。第二腔體單元能拆卸地連接該輸送單元，並接收含有多個該有害微粒的該有害氣體。至少一噴頭單元設置於該第二腔體單元內且連接於該液體循環模組，至少一該噴頭單元用於接收該液體循環模組所提供的該液體，並朝該第二腔體單元的內部噴灑該液體，以使該液體接觸多個該有害微粒。

較佳地，該液體循環模組包括至少一第一輸液單元、至少一第二輸液單元以及一回收單元。至少一第一輸液單元連接於多個第一噴頭單元、多個噴頭單元以及一外部供液端，該第一輸液單元接收該外部供液端所提供的該液體，並將該液體供給到多個該第一噴頭單元以及多個該噴頭單元。至少一第二輸液單元連接於一外部收液端。回收單元連接於該收集模組以及至少一該第二輸液單元，該回收單元用於回收該收集模組所收集的該液體，並將該液體供給到至少一該第二輸液單元。其中，至少一該第二輸液單元用於將該液體導引到該外部收液端。

較佳地，該過濾裝置還包括一控制模組，其連接於至少一該加熱單元、至少一該第一輸液單元以及該回收單元，該控制模組用於控制至少一該加熱單元、至少一該第一輸液單元以及該回收單元的運作。

本創作的其中一有益效果在於，本創作所提供的過濾裝置，其能通過“反應模組接收一有害氣體，該反應模組用於對該有害氣體加熱，以使該有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒；濾除模組連接該反應模組，該濾除模組用於接收該有害氣體，並對該有害氣體進行一水洗動作，以使多個該有害微粒被黏附於一液體；收集模組連接於該濾除模組，該收集模組用於接收黏附有該有害微粒的該液體。液體循環模組連接於該反應模組以及該濾除模組，該液體循環模組用於供給該液體至該濾除模組”的技術方案，以提升去除氣體中的有害物質的效果。

為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與圖式，然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明，並非用來對本創作加以限制。

以下是通過特定的具體實施例來說明本創作所公開有關“過濾裝置及其方法”的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本創作的優點與效果。本創作可通過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節也可基於不同觀點與應用，在不背離本創作的構思下進行各種修改與變更。另外，本創作的附圖僅為簡單示意說明，並非依實際尺寸的描繪，事先聲明。以下的實施方式將進一步詳細說明本創作的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本創作的保護範圍。

應當可以理解的是，雖然本文中可能會使用到“第一”、“第二”、“第三”等術語來描述各種元件，但這些元件不應受這些術語的限制。這些術語主要是用以區分一元件與另一元件。另外，本文中所使用的術語“或”，應視實際情況可能包括相關聯的列出項目中的任一個或者多個的組合。

[實施例]

請參閱圖1至圖8，分別為本創作實施例的過濾方法的流程示意圖、過濾裝置的部分立體示意圖、過濾裝置的其中一視角的結構示意圖、過濾裝置的反應模組的部份剖面示意圖、過濾裝置的另外一視角的結構示意圖與過濾裝置的濾除模組的局部剖面示意圖，以及本創作的過濾裝置與傳統除塵設備的除塵效率的比較示意圖與除塵能力的比較示意圖。如圖所示，本創作實施例提供一種過濾方法，其可應用於過濾裝置Z，過濾裝置Z可包括一反應模組1、一濾除模組2、一收集模組3以及一液體循環模組4。本創作的過濾方法的實施方式說明如後。

首先，可藉由一反應模組1接收一有害氣體，並利用反應模組1對有害氣體加熱，以使有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒（步驟S100）。

舉例來說，配合圖1至圖4所示，過濾裝置Z的反應模組1可與至少一個外部製程設備（於圖中未繪示）連接；其中，外部製程設備可為半導體製程設備或其他類型的工業製程設備，但不以此為限。反應模組1可接收外部製程設備所排出的有害氣體，並對所接收的有害氣體進行加熱，以使有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒（例如微細懸浮微粒）。進一步來說，反應模組1可包括一第一腔體單元10、至少一個加熱單元11、一輸送單元12以及多個第一噴頭單元13。第一腔體單元10的內部具有一第一阻擋壁部10a，第一阻擋壁部10a將第一腔體單元10內部區分成一裂解腔室100以及一冷卻腔室101。第一阻擋壁部10a中心可具有一第一通口10b，裂解腔室100與冷卻腔室101可藉由第一通口10b而相互連通；其中，第一阻擋壁部10a可與第一腔體單元10本體為一體化結構。第一腔體單元10對應於裂解腔室100的其中一壁面可朝第一阻擋壁部10a凸出延伸一環狀壁部10c。第一腔體單元10的其中一端（即頂部）朝外延伸形成至少一個第一輸送部102，第一輸送部102能拆卸地連接至少一個外部製程設備，並與裂解腔室100連通；其中，第一輸送部102可為管狀結構。第一輸送部102接收外部製程設備所產生的有害氣體（例如有毒及可燃性氣體），並將有害氣體導引到裂解腔室100中。至少一個加熱單元11可設置於第一腔體單元10的裂解腔室100中；其中，加熱單元11可由第一腔體單元10的頂部插入裂解腔室100中。加熱單元11用於產生熱能（例如加熱單元11可釋放600度至900度之間的熱能，較佳為800度），以對第一腔體單元10內部加熱，使得第一腔體單元10中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒。輸送單元12可連接於第一腔體單元10的另外一端，且輸送單元12內部與冷卻腔室101連通；其中，輸送單元12可為輸送管結構。多個第一噴頭單元13可分別設置於第一腔體單元10與輸送單元12且連接於液體循環模組4，多個第一噴頭單元13可接收液體循環模組4所提供的液體（例如水或特定冷卻液，但不以此為限）且分別對冷卻腔室101與輸送單元12內部提供液體。

因此，配合圖1至圖4所示，在上述步驟S100中，可先藉由反應模組1的第一輸送部102接收外部製程設備所產生的有害氣體，並將有害氣體導引到裂解腔室100中。接著，可藉由至少一個加熱單元11對第一腔體單元10的裂解腔室100加熱，，以在裂解腔室100內對有害氣體中的多個有害物質進行熱裂解反應，將有害物質進行燃燒分解（例如SiH ₄+ 2O ₂→ SiO ₂+ 2H ₂O），使得有害氣體中的多個有害物質分子化，而形成有害微粒。接下來，帶有有害微粒的有害氣體經由第一通口10b而流動到冷卻腔室101中；此時，利用第一噴頭單元13對冷卻腔室101噴灑液體，以將有害氣體中顆粒較大的有害微粒（例如懸浮粒子）濾除，即利用液體接觸有害氣體，以使懸浮粒子附著在液體上；同時，由於有害氣體也會挾帶大量的熱能，因此，藉由第一噴頭單元13對冷卻腔室101噴灑液體，也能對冷卻腔室101中的有害氣體與冷卻腔室101進行降溫。接著，冷卻腔室101中的液體會順勢流到輸送單元12中。

接下來，可藉由濾除模組2接收有害氣體，並利用濾除模組2對有害氣體進行一水洗動作，以使多個有害微粒被黏附於一液體（步驟S102）。

舉例來說，配合圖1至圖3、圖5及圖6所示，反應模組1的底部可利用輸送單元12與濾除模組2的底部連接；其中，濾除模組2的底部也連接收集模組3。濾除模組2可接收反應模組1的輸送單元12輸送過來的有害氣體，並對有害氣體進行一水洗動作，以使多個有害微粒被黏附於一液體；其中，挾帶有害微粒的液體可流動到收集模組3中。

進一步來說，配合圖1至圖3、圖5及圖6所示，濾除模組2可包括一第二腔體單元20以及多個噴頭單元21。第二腔體單元20能拆卸地連接反應模組1的輸送單元12，並接收含有多個有害微粒的有害氣體。第二腔體單元20可為多節式管狀結構；其中一段的部分第二腔體單元20內部可具有一第二阻擋壁部200以及凸出部201，凸出部201由第二阻擋壁部200中心處向外凸出而形成；其中，阻擋壁部200可與第二腔體單元20本體為一體化結構。第二阻擋壁部200可具有貫穿本體的多個第一通孔200a，第二阻擋壁部200將第二腔體單元20內部區分成一上半部腔室202以及一下半部腔室203。凸出部201可具有貫穿本體的一第一通道201a。上半部腔室202與下半部腔室203通過多個第一通孔200a以及第一通道201a而相互連通。並且，第二腔體單元20的頂部還可具有一排出部204，排出部204與上半部腔室202相通，且排出部204可與外部排氣設備（於圖中未繪示）連接。而多個噴頭單元21設置於第二腔體單元20內且位於上半部腔室202中，其中一個噴頭單元21對應於第一通道201a，另外一個噴頭單元21對應於第二阻擋壁部200。多個噴頭單元21用於接收液體循環模組4所提供的一液體，並朝第二腔體單元20的內部噴灑液體，以使液體接觸多個有害微粒。此外，第二腔體單元20內鄰近於排出部204的位置還可設置噴頭單元21，其用於朝第二腔體單元20的內部噴灑液體，以再次過濾有害微粒。

因此，配合圖1至圖3、圖5及圖6所示，在上述步驟S102中，第二腔體單元20的底部可接收輸送單元12所傳送來的含有多個有害微粒的有害氣體。接著，帶有顆粒較小的有害微粒（例如微細懸浮微粒）的有害氣體會經由多個第一通孔200a與第一通道201a而由下半部腔室203流動到上半部腔室202；此時，可藉由其中一個噴頭單元21朝第一通道201a噴灑液體，同時，也利用另外一個噴頭單元21朝第二阻擋壁部200的上表面噴灑液體，以使液體接觸有害氣體中的多個有害微粒，而對有害氣體中的有害微粒進行濾除。接下來，挾帶顆粒較小的有害微粒的液體可順勢流動到第二腔體單元20的底部，再流動到收集模組3中，進行收集；而通過第一通孔200a與第一通道201a而進入到上半部腔室202的有害氣體經由上述的過濾過程，即可轉變為淨化氣體，並由濾除模組2頂部的排出部204輸送到外部排氣設備（於圖中未繪示）。

接者，可藉由一收集模組3接收黏附有有害微粒的液體（步驟S104）。

舉例來說，配合圖1、圖2、圖3及圖5所示，收集模組3可與反應模組1的輸送單元12以及濾除模組2的底部連接，且收集模組3與輸送單元12內部以及下半部腔室203相通。因此，在步驟S100以及步驟S102中所產生的挾帶有害微粒的液體會匯流到收集模組3中，由收集模組3進行收集。其中，收集模組3可為收集槽結構。而操作人員也可將收集模組3所收集的廢液取出，進行後續的處理。

藉此，本創作的過濾方法可藉由上述的技術方案，利用反應模組1先對有害氣體進行熱裂解反應，以使有害氣體的有害物質被分子化，而形成多個有害微粒；接著，再利用濾除模組2將有害氣體中的有害微粒進行濾除，使得有害氣體被淨化而形成淨化氣體，進而可有效地濾除有害氣體中挾帶的有害物質，淨化有害氣體。

進一步來說，配合圖7及圖8所示的兩個比較表可知，本創作的過濾裝置Z配合上述的過濾方法，相較於傳統除塵設備，在效率以及除塵能力上都遠遠超過傳統除塵設備的能力；本創作的過濾裝置Z能有效地濾除有害氣體中的微細懸浮微粒(PM2.5)，高達90%。其中，在圖7中，線L1為本創作的過濾裝置Z有設置噴水頭的情況下，線L2為本創作的過濾裝置Z沒有設置噴水頭的情況下，線L3則為習知的過濾裝置。而在圖8中，線L4為習知的過濾裝置，線L5則為本創作的過濾裝置Z。

值得一提的是，配合圖2及圖3所示，本創作的液體循環模組4可包括至少一個第一輸液單元40、至少一個第二輸液單元41以及一回收單元42。至少一個第一輸液單元40可連接一外部供液端（於圖中未繪示，外部供液端可為製程冷卻水系統（Process Cooling Water，稱為PCW）設備，但不以此為限）、多個第一噴頭單元13以及多個噴頭單元21，第一輸液單元40可接收外部供液端所提供的液體，並將液體供給到多個第一噴頭單元13與多個噴頭單元21；其中，第一輸液單元40可為具有多個分歧管路的多接頭管結構、或者為一對一的輸送管結構，但不以此為限。至少一個第二輸液單元41連接於回收單元42與一外部收液端；其中，第二輸液單元41也可為具有多個分歧管路的多接頭管結構、或者為一對一的輸送管結構，但不以此為限。回收單元42連接於收集模組3；其中，回收單元42可為具有抽取、過濾功能的泵浦裝置，但不以此為限。因此，藉由回收單元42回收收集模組3中的液體之後，回收單元42會將液體輸送到第二輸液單元41；而第二輸液單元41可將回收的液體導引到外部收液端（於圖中未繪示，外部收液端可為廢液處理設備，但不以此為限）。

進一步地，本創作的反應模組1還可包括一水洗單元14以及一傳導單元15。舉例來說，配合圖4所示，水洗單元14可設置於冷卻腔室101，水洗單元14可為盆狀結構，水洗單元14可具有一容置空間140以及一水洗通道141。其中，第一阻擋壁部10a還可具有貫穿本體的多個第二通孔10d，容置空間140與裂解腔室100藉由多個第二通孔10d而相互連通。水洗通道141貫穿水洗單元14的部分本體且連通容置空間140與冷卻腔室101。傳導單元15穿設於第一通口10b與水洗單元14且連通裂解腔室100與冷卻腔室101。並且，反應模組1的其中一個第一噴頭單元13可穿設於第一腔體單元10與水洗單元14，用於朝容置空間140噴灑液體。因此，在裂解腔室100中進行熱裂解反應時，朝第一阻擋壁部10a掉落的有害微粒可經由第二通孔10d而掉落到容置空間140中；接著，藉由第一噴頭單元13朝容置空間140噴灑液體，以利用液體挾帶有害微粒，並將有害微粒帶至輸送單元12；最後，挾帶有害微粒的液體可流動到收集模組3進行收集。

更進一步地，本創作的濾除模組2可包括多個過濾單元22。舉例來說，配合圖6所示，過濾單元22可為金屬或其他材質的濾材。多個過濾單元22可設置於第二阻擋壁部200上且對應多個第一通孔200a。因此，藉由設置多個過濾單元22，可提供極大的水氣接觸面積，以提升兩種介面質傳效率，而對於有害物質（例如氫氟酸、氟氣）有極佳的處理效率。

進一步地，本創作的過濾裝置Z還可包括一控制模組5，舉例來說，配合圖3所示，控制模組5可連接加熱單元11、第一輸液單元40以及回收單元42，以對加熱單元11、第一輸液單元40以及回收單元42進行控制。進一步來說，控制模組5根據操作人員的指令或預設程式，而控制加熱單元11開啟與關閉、控制第一輸液單元40傳輸液體與停止傳輸液體、以及回收單元42執行回收收集模組3中的液體與停止回收。

更進一步地，本創作的過濾裝置Z還可包括一裝置本體6，其為殼體結構。配合圖3所示，反應模組1、濾除模組2、收集模組3、液體循環模組4以及控制模組5可設置於裝置本體6內。

此外，根據上述內容，本創作再提出一種過濾裝置Z，其包括一反應模組1、一濾除模組2以及一收集模組3。反應模組1接收一有害氣體，反應模組1用於對有害氣體加熱，以使有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒。濾除模組2連接反應模組1，濾除模組2用於接收有害氣體，並對有害氣體進行一水洗動作，以使多個有害微粒被黏附於一液體。收集模組3連接於濾除模組2，收集模組3用於接收黏附有有害微粒的液體。液體循環模組4連接於反應模組1以及濾除模組2，液體循環模組4用於供給液體至濾除模組2。

然而，上述所舉的例子只是其中一個可行的實施例而並非用以限定本創作。

[實施例的有益效果]

本創作的其中一有益效果在於，本創作所提供的過濾裝置Z，其能通過“反應模組1接收一有害氣體，反應模組用於對有害氣體加熱，以使有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒；濾除模組2連接反應模組1，濾除模組2用於接收有害氣體，並對有害氣體進行一水洗動作，以使多個有害微粒被黏附於一液體；收集模組3連接於濾除模組2，收集模組3用於接收黏附有有害微粒的液體；以及液體循環模組4連接於反應模組1以及濾除模組2，液體循環模組4用於供給液體至濾除模組2”的技術方案，以提升去除氣體中的有害物質的效果。

本創作的其中一有益效果在於，本創作所提供的過濾方法，其能通過“藉由一反應模組1接收一有害氣體，並利用反應模組1對有害氣體加熱，以使有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒；藉由濾除模組2接收有害氣體，並利用濾除模組對有害氣體進行一水洗動作，以使多個有害微粒被黏附於一液體；以及藉由一收集模組3接收黏附有有害微粒的液體”的技術方案，以提升去除氣體中的有害物質的效果。

更進一步來說，本創作的過濾裝置Z及其方法可藉由上述的技術方案，利用反應模組1先對有害氣體進行熱裂解反應，以使有害氣體的有害物質被分子化，而形成多個有害微粒；接著，再利用濾除模組2將有害氣體中的有害微粒進行濾除，使得有害氣體被淨化而形成淨化氣體，進而可有效地濾除有害氣體中挾帶的有害物質，淨化有害氣體。而且，本創作的過濾裝置Z相較於傳統除塵設備，在效率以及除塵能力上都遠遠超過傳統除塵設備的能力；本創作的過濾裝置Z能有效地濾除有害氣體中的微細懸浮微粒(PM2.5)，高達90%。

以上所公開的內容僅為本創作的優選可行實施例，並非因此侷限本創作的申請專利範圍，所以凡是運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的申請專利範圍內。

Z:過濾裝置 1:反應模組 10:第一腔體單元 10a:第一阻擋壁部 10b:第一通口 10c:環狀壁部 10d:第二通孔 100:裂解腔室 101:冷卻腔室 102:第一輸送部 11:加熱單元 12:輸送單元 13:第一噴頭單元 14:水洗單元 140:容置空間 141:水洗通道 15:傳導單元 2:濾除模組 20:第二腔體單元 200:第二阻擋壁部 200a:第一通孔 201:凸出部 201a:第一通道 202:上半部腔室 203:下半部腔室 204:排出部 21:噴頭單元 22:過濾單元 3:收集模組 4:液體循環模組 40:第一輸液單元 41:第二輸液單元 42:回收單元 5:控制模組 6:裝置本體 L1~L5:線 S100~S104:步驟

圖1為本創作實施例的過濾方法的流程示意圖。

圖2為本創作實施例的過濾裝置的部分立體示意圖。

圖3為本創作實施例的過濾裝置的其中一視角的結構示意圖。

圖4為本創作實施例的過濾裝置的反應模組的部份剖面示意圖。

圖5為本創作實施例的過濾裝置的另外一視角的結構示意圖。

圖6為本創作實施例的過濾裝置的濾除模組的局部剖面示意圖。

圖7為本創作的過濾裝置與傳統除塵設備的除塵效率的比較示意圖。

圖8為本創作的過濾裝置與傳統除塵設備的除塵能力的比較示意圖。

1:反應模組

102:第一輸送部

11:加熱單元

12:輸送單元

13:第一噴頭單元

2:濾除模組

20:第二腔體單元

21:噴頭單元

3:收集模組

4:液體循環模組

40:第一輸液單元

41:第二輸液單元

42:回收單元

Claims (7)

1. 一種過濾裝置，其包括： 一反應模組，其接收一有害氣體，該反應模組用於對該有害氣體加熱，以使該有害氣體中的多個有害物質分子化，而產生多個有害微粒； 一濾除模組，其連接該反應模組，該濾除模組用於接收該有害氣體，並對該有害氣體進行一水洗動作，以使多個該有害微粒被黏附於一液體； 一收集模組，其連接於該濾除模組，該收集模組用於接收黏附有該有害微粒的該液體；以及 一液體循環模組，其連接於該反應模組以及該濾除模組，該液體循環模組用於供給該液體至該濾除模組。
2. 如請求項1所述的過濾裝置，其中，該反應模組包括： 一第一腔體單元，其能拆卸地連接至少一外部製程設備，並接收至少一該外部製程設備所產生的該有害氣體； 至少一加熱單元，其設置於該第一腔體單元內，至少一該加熱單元用於對該第一腔體單元加熱，以使該第一腔體單元中的多個該有害物質分子化，而產生多個該有害微粒；以及 一輸送單元，其能拆卸地連接於該第一腔體單元、該濾除模組以及該收集模組，該輸送單元用於接收該第一腔體單元所傳輸的該有害氣體，並將該有害氣體導引到該濾除模組。
3. 如請求項2所述的過濾裝置，其中，至少一該加熱單元對該第一腔體單元加熱的溫度介於600度至900度之間。
4. 如請求項2所述的過濾裝置，其中，該反應模組還包括多個第一噴頭單元，其分別設置於該第一腔體單元內以及該輸送單元內，多個該第一噴頭單元連接於該液體循環模組，多個該第一噴頭單元用於接收該液體循環模組所提供的該液體，並朝該第一腔體單元內部以及該輸送單元內部噴灑該液體。
5. 如請求項4所述的過濾裝置，其中，該濾除模組包括： 一第二腔體單元，其能拆卸地連接該輸送單元，並接收含有多個該有害微粒的該有害氣體；以及 至少一噴頭單元，其設置於該第二腔體單元內且連接於該液體循環模組，至少一該噴頭單元用於接收該液體循環模組所提供的該液體，並朝該第二腔體單元的內部噴灑該液體，以使該液體接觸多個該有害微粒。
6. 如請求項5所述的過濾裝置，其中，該液體循環模組包括： 至少一第一輸液單元，其連接於多個第一噴頭單元、多個噴頭單元以及一外部供液端，該第一輸液單元接收該外部供液端所提供的該液體，並將該液體供給到多個該第一噴頭單元以及多個該噴頭單元； 至少一第二輸液單元，其連接於一外部收液端；以及 一回收單元，其連接於該收集模組以及至少一該第二輸液單元，該回收單元用於回收該收集模組所收集的該液體，並將該液體供給到至少一該第二輸液單元； 其中，至少一該第二輸液單元用於將該液體導引到該外部收液端。
7. 如請求項6所述的過濾裝置，還包括一控制模組，其連接於至少一該加熱單元、至少一該第一輸液單元以及該回收單元，該控制模組用於控制至少一該加熱單元、至少一該第一輸液單元以及該回收單元的運作。

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