TWM580688U

TWM580688U - 顯微鏡

Info

Publication number: TWM580688U
Application number: TW108203483U
Authority: TW
Inventors: 李信宏; 李正宇
Original assignee: 邑流微測股份有限公司
Priority date: 2018-03-22
Filing date: 2019-03-22
Publication date: 2019-07-11
Also published as: US10643817B2; US20190295812A1; CN209591971U

Abstract

一種顯微鏡，適於觀測一樣品。顯微鏡包括一載台，載台包括一底座、一上蓋及一凸狀結構。上蓋配置於底座上且具有一觀測區，樣品適於在觀測區被觀測。底座與上蓋之間形成一第一流道，觀測區位於第一流道內，一第一流體適於沿第一流道流動而通過觀測區。凸狀結構連接於底座或上蓋且位於第一流道內，凸狀結構圍繞觀測區。

Description

顯微鏡

本新型創作是有關於一種觀測裝置，且特別是有關於一種顯微鏡。

一般而言，要觀察物質的奈米幾何形貌最常用的方法為使用原子力顯微鏡(atomic force microscopy，AFM)及電子顯微鏡(electron microscope)等設備。使用原子力顯微鏡量測時，需藉由探針來量測待測物的幾何形貌，此種量測方式不僅探針針尖容易損壞、量測時間長，且樣品量測範圍較小，電子顯微鏡則無上述問題。以掃描式電子顯微鏡(scanning electron microscope，SEM)而言，其可用於觀測液態樣品或浸於液體中的固態樣品。觀測液態樣品時需驅動液體流經用以承載樣品之薄膜以帶走樣品的代謝物，或以此液體為媒介添加量測所需藥劑至樣品，其中，如何避免薄膜因液體之擾動而損壞，係為能否順利觀測液態樣品之關鍵。此外，若浸於液體中的固態樣品需通電以便於觀測，則如何在用以容納樣品的流道中設置用以使樣品通電的電極，係為其設計上的重要課題。

本新型創作提供一種顯微鏡，可有效率地對樣品進行穩流，或可在用以容納樣品的流道中使樣品通電。

本新型創作的顯微鏡適於觀測一樣品。顯微鏡包括一載台，載台包括一底座、一上蓋及一凸狀結構。上蓋配置於底座上且具有一觀測區，樣品適於在觀測區被觀測。底座與上蓋之間形成一第一流道，觀測區位於第一流道內，一第一流體適於沿第一流道流動而通過觀測區。凸狀結構連接於底座或上蓋且位於第一流道內，凸狀結構圍繞觀測區。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一載台包括一緊固組件，上蓋藉由緊固組件而緊固於底座。

在本新型創作的一實施例中，上述的顯微鏡包括兩治具，其中上蓋及底座適於分別嵌合於兩治具，兩治具適於相對轉動以使上蓋藉由緊固組件而緊固於底座。

在本新型創作的一實施例中，上述的顯微鏡包括至少一治具，其中上蓋適於嵌合於至少一治具，至少一治具具有一導引貫孔，導引貫孔對位於觀測區，一針體適於插入導引貫孔並藉由導引貫孔的導引而對位於觀測區，並將樣品注入觀測區。

在本新型創作的一實施例中，上述的顯微鏡為電子顯微鏡且包括一電子源，電子源適於提供一電子束至觀測區。

在本新型創作的一實施例中，上述的凸狀結構在觀測區周圍形成一緩流路徑。

在本新型創作的一實施例中，上述的底座具有一第二流道，第二流道內具有多個導熱凸部，第一流道與第二流道彼此疊設，一第二流體適於沿第二流道流動而調整第一流體的溫度。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一載台包括至少一彈性密封件，彈性密封件配置於底座與上蓋之間且圍繞第一流道。

在本新型創作的一實施例中，上述的底座包括一座體、一可動件及至少一彈性件，彈性件連接於座體與可動件之間，觀測區對位於可動件，凸狀結構連接於上蓋，可動件適於藉由彈性件的彈性力而抵靠於凸狀結構。

在本新型創作的一實施例中，上述的底座包括一座體及一導熱件，座體圍繞導熱件，觀測區對位於導熱件，導熱件的導熱係數大於座體的導熱係數。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一載台包括一半導體元件，半導體元件配置於上蓋而形成觀測區。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一載台包括另一半導體元件，兩半導體元件分別配置於底座及上蓋且彼此對位。

在本新型創作的一實施例中，上述的凸狀結構形成於兩半導體元件的其中之一且在兩半導體元件之間構成一導流路徑。

在本新型創作的一實施例中，上述的上蓋包括一上蓋主體及一卡合件，卡合件卡合於上蓋主體，半導體元件被定位於卡合件與上蓋主體之間。

在本新型創作的一實施例中，上述的卡合件具有一開口，開口對位於觀測區。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一載台包括至少一第一電極，第一電極配置於底座上且接觸上蓋，凸狀結構包括至少一第二電極，第二電極配置於底座上，樣品適於接觸上蓋而透過上蓋電性連接於第一電極，且樣品適於接觸並電性連接於第二電極。

在本新型創作的一實施例中，上述的上蓋為拋棄式上蓋。

在本新型創作的一實施例中，上述的底座具有一開口，第一流體適於透過開口而離開第一流道，以在觀測區析出樣品。

在本新型創作的一實施例中，上述的底座具有一承載部，凸狀結構形成於承載部上，樣品適於被承載於承載部並被凸狀結構環繞。

在本新型創作的一實施例中，上述的顯微鏡包括一基座，其中至少一載台的數量為多個，基座適於承載這些載台。

基於上述，在本新型創作的顯微鏡中，載台增設了凸狀結構。所述凸狀結構可為緩流結構，其在樣品(例如生物細胞液態樣品等)的觀測區周圍形成緩流路徑，使進入第一流道的至少部分第一流體沿著緩流路徑流動，以避免第一流體瞬間大量地通過樣品的觀測區，從而降低第一流體流經樣品時的擾動程度，讓使用者能夠藉由顯微鏡順利地觀測樣品。此外，所述凸狀結構可為電極，此電極位於第一流道內而可接觸樣品(例如電池材料樣品等)並使樣品通電，以便於樣品之觀測。

為讓本新型創作的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1是本新型創作一實施例的顯微鏡的立體圖。圖2是圖1的顯微鏡的載台的分解圖。圖3是圖2的上蓋的下視圖。請參考圖1至圖3，本實施例的顯微鏡100包括一載台，載台包括一底座110、一上蓋120及一凸狀結構130。上蓋120配置於底座110上且具有一半導體元件122，半導體元件122形成一觀測區120a，一樣品(例如生物細胞液態樣品等)適於在觀測區120a被觀測。底座110與上蓋120之間形成一第一流道F1，觀測區120a位於第一流道F1內，一第一流體適於沿第一流道F1流動而通過觀測區120a。凸狀結構130連接於上蓋120且位於第一流道F1內，且凸狀結構130圍繞觀測區120a。

在本實施例中，顯微鏡100例如是電子顯微鏡且包括一電子源140，底座110及上蓋120例如配置於真空環境中，電子源140適於提供一電子束E至觀測區120a的樣品以進行觀測。在其他實施例中，顯微鏡100可為其他種類的顯微鏡，本新型創作不對此加以限制。本實施例的半導體元件122例如是藉由半導體製程而製作且具有基底與形成於基底上的薄膜，薄膜例如是矽氮化物層，基底例如是矽基底。電子束E可通過所述矽氮化物層而作用於待測物。在其它實施例中，半導體元件122可為其它適當材質且可藉其它適當方式製作而成，本新型創作不對此加以限制。

在本實施例中，部分凸狀結構130如圖3所示圍繞觀測區120a而在觀測區120a周圍形成緩流路徑P，使進入第一流道F1的至少部分第一流體沿著緩流路徑P流動，以避免第一流體瞬間大量地通過樣品的觀測區120a，從而降低第一流體流經樣品時的擾動程度，讓使用者能夠藉由顯微鏡100順利地觀測樣品。

請參考圖1及圖2，本實施例的顯微鏡100的載台包括兩緊固組件150，各緊固組件150例如是扣合件，上蓋120藉由緊固組件150的扣合而緊固於底座110。在其他實施例中，緊固組件150可為其他形式的構件，本新型創作不對此加以限制。此外，本實施例的底座110包括一第一部分112及一第二部分114，第一流道F1形成於上蓋120與第一部分112之間，第二部分114具有一第二流道F2，第一流道F1與第二流道F2彼此疊設，一第二流體適於沿第二流道F2流動而調整第一流道F1內的第一流體的溫度。

圖4是圖2的底座於另一視角的部分結構立體圖。如圖4所示，底座110的第二流道F2內具有多個導熱凸部114a，用以提升第二流體與底座110的熱交換效率。在本實施例中，這些導熱凸部114a為多個方形柱體，然其可為其他適當形狀，本新型創作不對此加以限制。此外，第一流體例如是以依序通過管線170a、入口H1、第一流道F1、出口H2及第二管線170b的方式流動。類似地，第二流體例如是以依序通過管線170c、第二流道F2及管線170d的方式流動。

請參考圖2，本實施例的顯微鏡100的載台包括一彈性密封件160，彈性密封件160例如是橡膠材質的圓形環。彈性密封件160配置於底座110與上蓋120之間且圍繞第一流道F1，以避免第一流道F1內的第一流體外洩。在其他實施例中，彈性密封件160的的數量可為多個，以達到更好的密封效果。此外，底座110的第一部分112包括一座體112a及一導熱件112b，座體112a圍繞導熱件112b，上蓋120的觀測區120a對位於導熱件112b，且導熱件112b的導熱係數大於座體112a的導熱係數。藉此，可使第一流道F1內之第一流體與第二流道F2內之第二流體的熱交換集中在導熱件112b進行，而非在底座110的整個第一部分112進行，藉以提升熱交換效率。導熱件112b的材質例是金屬且座體112a的材質例如是塑膠，然本新型創作不以此為限。

圖5是本新型創作另一實施例的顯微鏡的載台的分解圖。在圖5所示實施例中，底座210、第一部分212、第二部分214、上蓋220、觀測區220a、半導體元件222、第一流道F1’、第二流道F2’、彈性密封件260、管線270a、管線270b、管線270c、管線270d、入口H1’、出口H2’的配置與作用方式類似圖2的底座110、第一部分112、第二部分114、上蓋120、觀測區120a、半導體元件122、第一流道F1、第二流道F2、彈性密封件160、管線170a、管線170b、管線170c、管線170d、入口H1、出口H2的配置與作用方式，於此不再贅述。

圖5所示實施例與圖2所示實施例的不同處在於，圖5所示的顯微鏡的載台包括多個第一電極230a，第一電極230a配置於底座210上且接觸上蓋220，且本實施例的第一流道F1’內的凸狀結構是多個第二電極230b，第二電極230b配置於底座210上且被第一電極230a圍繞。樣品(例如電池材料樣品等)適於接觸上蓋220而透過上蓋220電性連接於第一電極230a，且樣品適於接觸並電性連接於第二電極230b，使樣品通電而產生電化學反應以便於觀測。藉由將凸狀結構(這些第二電極230b)設置為圍繞觀測區220a，可使樣品確實地接觸第二電極230b。

圖6是本新型創作另一實施例的顯微鏡的載台的立體圖。圖7是圖6的載台的分解圖。圖8是圖7的上蓋於另一視角的立體圖。在圖6至圖8所示實施例中，底座310、上蓋320、觀測區320a、半導體元件322a的配置與作用方式類似圖2的底座110、上蓋120、觀測區120a、半導體元件122a的配置與作用方式，於此不再贅述。圖6至圖8所示實施例與圖2所示實施例的不同處在於，圖6至圖8所示的顯微鏡的載台包括另一半導體元件322b，兩半導體元件322a、322b分別配置於底座310及上蓋320且彼此對位。本實施例的凸狀結構是形成於兩半導體元件322a、322b的其中之一上的凸狀微結構，且此凸狀微結構在兩半導體元件322a、322b之間構成一導流路徑且圍繞觀測區320a，用以導引流體通過觀測區320a。將凸狀結構形成於半導體元件上的好處在於，可藉由半導體製程而使凸狀結構的尺寸更為精細，以更符合設計上的需求。

圖6至圖8所示實施例與圖2所示實施例的另一不同處在於，上蓋320為拋棄式上蓋，可在進行樣品觀測之後被拋棄並更換新的上蓋320。此外，本實施例的緊固組件350包括配置於上蓋320的多個柱體352及形成於底座310的多個導槽354，各導槽354包括一導引區段354a及一釋放端354b。各柱體352可隨著上蓋320的旋轉而沿導引區段354a移動，以藉由導引區段354a的傾斜設計而驅使上蓋320向下緊固於底座310。當上蓋320反向旋轉時，各柱體352可隨著上蓋320的旋轉而移至釋放端354b，使上蓋320及柱體352能夠分離於底座310。

圖9是圖6的載台的側視圖。請參考圖7及圖9，本實施例的底座310包括一座體312a、一可動件312b及多個彈性件312c。彈性件312c連接於座體312a與可動件312b之間，上蓋320的觀測區320a對位於可動件312b，可動件312b及其上的半導體元件322b可藉由彈性件312c的彈性力而抵靠半導體元件322a上的凸狀結構，使半導體元件322a與半導體元件322b之間確實地藉由凸狀結構形成導流路徑。在其他實施例中，可於底座310內增設升降機構，用以在上蓋320與底座310相結合後再帶動半導體元件322b上升到位，以避免上蓋320與底座310結合時的作用力造成半導體元件322b磨損。

圖10是本新型創作另一實施例的顯微鏡的載台的立體圖。圖11是圖10的載台的分解圖。圖12是圖11的載台的分解圖。在圖10至圖12所示實施例中，底座410、上蓋420、觀測區420a、半導體元件422a、半導體元件422b的配置與作用方式類似圖6至圖8的底座310、上蓋320、觀測區320a、半導體元件322a、半導體元件322b的配置與作用方式，於此不再贅述。圖10至圖12所示實施例與圖6至圖8所示實施例的不同處在於，緊固組件450是藉其鎖附孔450a而鎖附於底座410，以使上蓋420被緊固組件450向下緊固於底座410。

以下以圖1至圖4所示顯微鏡100，說明本新型創作的顯微鏡的操作方法。圖13是本新型創作一實施例的顯微鏡的操作方法流程圖。請參考圖13，首先，在底座110與上蓋120之間形成第一流道F1，其中上蓋120具有觀測區120a，觀測區120a位於第一流道F1內，凸狀結構130連接於底座110或上蓋120且位於第一流道F1內(步驟S602)。驅動第一流體沿第一流道F1流動而通過觀測區120a及凸狀結構130(步驟S604)。在觀測區120a觀測樣品(步驟S606)。

在上述操作方法流程中，更可進行以下步驟。藉由上蓋120上的半導體元件122形成觀測區120a，使上蓋120藉由緊固組件150而緊固於底座110，藉由電子源140提供電子束E至觀測區120a，且使至少部分第一流體沿圖3所示的緩流路徑P流動。驅動第二流體沿第二流道F2流動而調整第一流體的溫度，其中藉由第二流道F2內的導熱凸部114a接觸第二流體，且藉由導熱件112b調整第一流體的溫度。藉由彈性密封件160在底座110與上蓋120之間進行密封，其中彈性密封件160圍繞第一流道F1。

若對應於圖5所示實施例，則上述操作方法流程更可進行以下步驟。使第一電極230a接觸上蓋220，使樣品接觸上蓋220而透過上蓋220電性連接於第一電極230a，使樣品接觸並電性連接於第二電極230b。

若對應於圖6至圖9所示實施例，則上述操作方法流程更可進行以下步驟。藉由彈性件312c的彈性力而使可動件312b抵靠於凸狀結構，將底座310上的半導體元件322b對位於上蓋320上的半導體元件322a，藉由形成於兩半導體元件322a、322b的其中之一上的凸狀結構在兩半導體元件322a、322b之間構成導流路徑。並且，在觀測樣品之後，拋棄上蓋320。

在一些實施例中，可利用治具來進行上蓋與底座的結合，以下藉由圖式對此進行說明。圖14是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件示意圖。圖15是圖14的治具的立體圖。請參考圖14及圖15，在本實施例中，底座510、上蓋520及對應的凸狀結構的配置與作用方式相同或相似於圖6至圖9所示的底座310、上蓋320及對應的凸狀結構的配置與作用方式，於此不再贅述。圖14及圖15所示的顯微鏡更包括兩治具580a、580b，兩治具580a、580b例如分別具有對應於底座510及上蓋520外形的嵌合槽(圖15繪示出治具580a的嵌合槽580a1)，使上蓋520及底座510可分別嵌合於兩治具580a、580b，兩治具580a、580b可相對轉動而帶動上蓋520與底座510相對轉動，以使上蓋520藉由相同或相似於圖6至圖9所示的緊固組件350而緊固於底座510。由於上蓋520與底座510可被兩治具580a、580b包覆，故兩治具580a、580b亦具有收納、保護上蓋520與底座510的功能。此外，在本實施例中，治具580b可具有一導引貫孔580b1，導引貫孔580b1對位於上蓋520的觀測區，一針體適於插入導引貫孔580b1並藉由導引貫孔580b1的導引而對位於所述觀測區，並將樣品注入所述觀測區。圖14所示的導引貫孔580b1的形狀僅為示意，導引貫孔580b1可為錐形孔或非錐形孔，本新型創作不對此加以限制。

在一些實施例中，在所述凸狀結構是由電極所構成的情況下，除了可如圖5所示實施例般將第二電極230b配置為以環狀的方式排列，更可將其配置為以其他方式排列，以下藉由圖式對此加以說明。圖16是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件立體圖。圖16的底座610的配置與作用方式相同或相似於圖5的底座210的配置與作用方式，於此不再贅述。圖16所示實施例與圖5所示實施例的不同處在於，圖16的用以構成凸狀結構的電極630是以八角形的方式排列。

在一些實施例中，可藉由排出流道內的流體以析出樣品，以下藉由圖式對此加以說明。圖17是本新型創作另一實施例的顯微鏡的局部示意圖。圖17的底座710、上蓋720及第一流道F1”的配置與作用方式相同或相似於前述實施例的底座、上蓋及第一流道的配置與作用方式，於此不再贅述。在圖17的實施例中，底座710具有至少一開口710a，第一流道F1”內的第一流體適於透過開口710a而離開第一流道F1”，以在上蓋720的觀測區析出樣品S，以利觀測。可將開口710a的開啟或閉合設計為藉由適當之閥門或類似之結構來控制，本新型創作不對此加以限制。

在一些實施例中，可藉由卡合件來固定所述半導體元件，以下藉由圖式對此加以說明。圖18是本發明另一實施例的上蓋的立體圖。圖19是圖18的上蓋的分解圖。圖18及圖19的上蓋820與前述實施例的上蓋的主要差異在於，上蓋820包括一上蓋主體822及一卡合件824，卡合件824藉其卡勾824a卡合於上蓋主體822的卡合槽822a，藉以將半導體元件(如圖8所示的半導體元件322a)夾置並定位於卡合件824與上蓋主體822之間。卡合件824具有一開口824b，開口824b對位於上蓋820的觀測區，以利觀測。

在一些實施例中，所述凸狀結構可為底座上的用以防止流體外漏的結構，以下藉由圖式對此加以說明。圖20是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件立體圖。圖20的底座910的配置與作用方式相同或相似於前述實施例的底座的配置與作用方式，於此不再贅述。圖20的底座910與前述實施例之底座的差異在於，底座910具有一承載部912，凸狀結構930形成於承載部912上，樣品適於被承載於承載部912並被凸狀結構930環繞。凸狀結構930用以阻止樣品處的流體往外洩漏。

在一些實施例中，載台的數量可為多個，以下藉由圖式對此加以說明。圖21是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件示意圖。圖21的各載台C的配置與作用方式相同或相似於前述實施例的載台，於此不再贅述。圖21所示實施例的顯微鏡包括一基座B，載台C的數量為多個，且基座B適於承載這些載台C，以便於對更多數量的樣品進行觀測。

綜上所述，在本新型創作的顯微鏡中，載台增設了凸狀結構。所述凸狀結構可為緩流結構，其在樣品(例如生物細胞液態樣品等)的觀測區周圍形成緩流路徑，使進入第一流道的至少部分第一流體沿著緩流路徑流動，以避免第一流體瞬間大量地通過樣品的觀測區，從而降低第一流體流經樣品時的擾動程度，讓使用者能夠藉由顯微鏡順利地觀測樣品。此外，所述凸狀結構可為電極，此電極位於第一流道內而可接觸樣品(例如電池材料樣品等)並使樣品通電，以便於樣品之觀測。

雖然本新型創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型創作的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型創作的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧顯微鏡
110、210、310、410、510、610、710、910‧‧‧底座
112、212‧‧‧第一部分
112a、312a‧‧‧座體
112b‧‧‧導熱件
114、214‧‧‧第二部分
114a‧‧‧導熱凸部
120、220、320、420、520、720、820‧‧‧上蓋
120a、220a、320a、420a‧‧‧觀測區
122、222、322a、322b、422a、422b‧‧‧半導體元件
130、930‧‧‧凸狀結構
140‧‧‧電子源
150、350、450‧‧‧緊固組件
160、260‧‧‧彈性密封件
170a、170b、170c、170d、270a、270b、270c、270d‧‧‧管線
230a、230b、630‧‧‧電極
312b‧‧‧可動件
312c‧‧‧彈性件
352‧‧‧柱體
354‧‧‧導槽
354a‧‧‧導引區段
354b‧‧‧釋放端
450a‧‧‧鎖附孔
580a、580b‧‧‧治具
580a1‧‧‧嵌合槽
580b1‧‧‧導引貫孔
710a、824b‧‧‧開口
822‧‧‧上蓋主體
822a‧‧‧卡合槽
824‧‧‧卡合件
824a‧‧‧卡勾
912‧‧‧承載部
B‧‧‧基座
C‧‧‧載台
E‧‧‧電子束
F1、F1’、F1”‧‧‧第一流道
F2、F2’‧‧‧第二流道
H1、H1’‧‧‧入口
H2、H2’‧‧‧出口
P‧‧‧緩流路徑
S‧‧‧樣品

圖1是本新型創作一實施例的顯微鏡的立體圖。
圖2是圖1的顯微鏡的載台的分解圖。
圖3是圖2的上蓋的下視圖。
圖4是圖2的底座於另一視角的部分結構立體圖。
圖5是本新型創作另一實施例的顯微鏡的載台的分解圖。
圖6是本新型創作另一實施例的顯微鏡的載台的立體圖。
圖7是圖6的載台的分解圖。
圖8是圖7的上蓋於另一視角的立體圖。
圖9是圖6的載台的側視圖。
圖10是本新型創作另一實施例的顯微鏡的載台的立體圖。
圖11是圖10的載台的分解圖。
圖12是圖11的載台的分解圖。
圖13是本新型創作一實施例的顯微鏡的操作方法流程圖。
圖14是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件示意圖。
圖15是圖14的治具的立體圖。
圖16是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件立體圖。
圖17是本新型創作另一實施例的顯微鏡的局部示意圖。
圖18是本發明另一實施例的上蓋的立體圖。
圖19是圖18的上蓋的分解圖。
圖20是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件立體圖。
圖21是本新型創作另一實施例的顯微鏡的部分構件示意圖。

Claims

一種顯微鏡，適於觀測一樣品，該顯微鏡包括至少一載台，該至少一載台包括：
一底座；
一上蓋，配置於該底座上且具有一觀測區，其中該樣品適於在該觀測區被觀測，該底座與該上蓋之間形成一第一流道，該觀測區位於該第一流道內，一第一流體適於沿該第一流道流動而通過該觀測區；以及
一凸狀結構，連接於該底座或該上蓋且位於該第一流道內，其中該凸狀結構圍繞該觀測區。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該至少一載台包括一緊固組件，該上蓋藉由該緊固組件而緊固於該底座。
如申請專利範圍第2項所述的顯微鏡，包括兩治具，其中該上蓋及該底座適於分別嵌合於該兩治具，該兩治具適於相對轉動以使該上蓋藉由該緊固組件而緊固於該底座。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，包括至少一治具，其中該上蓋適於嵌合於該至少一治具，該至少一治具具有一導引貫孔，該導引貫孔對位於該觀測區，一針體適於插入該導引貫孔並藉由該導引貫孔的導引而對位於該觀測區，並將該樣品注入該觀測區。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該顯微鏡為電子顯微鏡且包括一電子源，該電子源適於提供一電子束至該觀測區。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該凸狀結構在該觀測區周圍形成一緩流路徑。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該底座具有一第二流道，該第二流道內具有多個導熱凸部，該第一流道與該第二流道彼此疊設，一第二流體適於沿該第二流道流動而調整該第一流體的溫度。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該至少一載台包括至少一彈性密封件，該彈性密封件配置於該底座與該上蓋之間且圍繞該第一流道。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該底座包括一座體、一可動件及至少一彈性件，該彈性件連接於該座體與該可動件之間，該觀測區對位於該可動件，該凸狀結構連接於該上蓋，該可動件適於藉由該彈性件的彈性力而抵靠於該凸狀結構。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該底座包括一座體及一導熱件，該座體圍繞該導熱件，該觀測區對位於該導熱件，該導熱件的導熱係數大於該座體的導熱係數。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該至少一載台包括一半導體元件，該半導體元件配置於該上蓋而形成該觀測區。
如申請專利範圍第11項所述的顯微鏡，其中該至少一載台包括另一半導體元件，該兩半導體元件分別配置於該底座及該上蓋且彼此對位。
如申請專利範圍第12項所述的顯微鏡，其中該凸狀結構形成於該兩半導體元件的其中之一且在該兩半導體元件之間構成一導流路徑。
如申請專利範圍第11項所述的顯微鏡，其中該上蓋包括一上蓋主體及一卡合件，該卡合件卡合於該上蓋主體，該半導體元件被定位於該卡合件與該上蓋主體之間。
如申請專利範圍第14項所述的顯微鏡，其中該卡合件具有一開口，該開口對位於該觀測區。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該至少一載台包括至少一第一電極，該第一電極配置於該底座上且接觸該上蓋，該凸狀結構包括至少一第二電極，該第二電極配置於該底座上，該樣品適於接觸該上蓋而透過該上蓋電性連接於該第一電極，且該樣品適於接觸並電性連接於該第二電極。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該上蓋為拋棄式上蓋。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該底座具有一開口，該第一流體適於透過該開口而離開該第一流道，以在該觀測區析出該樣品。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，其中該底座具有一承載部，該凸狀結構形成於該承載部上，該樣品適於被承載於該承載部並被該凸狀結構環繞。
如申請專利範圍第1項所述的顯微鏡，包括一基座，其中該至少一載台的數量為多個，該基座適於承載該些載台。