TWM553227U

TWM553227U - 改良型沖水結構

Info

Publication number: TWM553227U
Application number: TW106210795U
Authority: TW
Inventors: Shao Ting Cai; Sen Tai Wang
Original assignee: Semtek Corp
Priority date: 2017-07-21
Filing date: 2017-07-21
Publication date: 2017-12-21

Description

改良型沖水結構

本新型涉及一種濕製程設備上的沖水結構，尤指一種改良型沖水結構。

在現今的半導體濕製程中，存在著許多清洗程序，通過沖水此一流程，來進行不同目標的應用，而在進行沖水的當下，難免會產生大量的水霧，對目標觀測有一定的防礙，而且對機台的使用壽命也都有一定程度的影響，所以一般還會裝置抽氣設備，以將水霧抽出，降低水霧的影響，但是效果不佳。

有鑑於此，如何提供一種能解決前述問題，又不會增加過多成本的改良型沖水結構結構，便成為本新型欲改進的課題。

本新型目的在於提供一種能避免水霧過大而影響製程的改良型沖水結構。

為解決上述問題及達到本新型的目的，本新型的技術手段是這樣實現的，為一種改良型沖水結構，能配合能配合濕製程設備(200)應用，其特徵在於：所述改良型沖水結構(100)，其包括有一與該濕製程設備(200)一側連接的懸吊桿(1)、一設於該懸吊桿(1)自由端處的沖水頭(2)、以及一設於該懸吊桿(1)固定端一側的抽氣管(3)；所述懸吊桿(1)，其具有一呈開放狀的自由端部(11)、及一呈封閉狀的固定端部(12)，且內設有一空腔部(13)；所述沖水頭(2)，其包括有一內管(21)、一外管(22)、及一沖水單元(23)，該內管(21)的一端與該自由端部(11)連接並連通，該外管(22)為套設於該內管(21)外，一端亦與該自由端部(11)連接並連通，並且內壁面與該內管(21)外壁面間，形成有一通氣間隔(10)，該沖水單元(23)為設於該內管(21)的另一端處內，並能將該內管(21)與該外管(22)的對應端固定；所述抽氣管(3)，其設於該固定端部(12)一側，與該空腔部(13)連通，能通過該空腔部(13)、該通氣間隔(10)，將該沖水單元(23)運作過程中所生成的水霧(Wm)抽出。

更優選的是，所沖水單元(23)，其還包括有一設於該內管(21)對應端處的固定座(231)；一設於該固定座(231)底端處，並對應於該內管(21)的內框體(232)；一套設於該內框體(232)外，並與該外管(22)對應連接，且還與該內框體(232)間配合、形成有與該通氣間隔(10)對應連通之連通孔部(2331)的外框體(233)；及一設於該固定座(231)頂端，還能通過至少一管路(20)穿出於該懸吊桿(1)後、與外部供水裝置連接、以供噴水用的噴頭(234)。

更優選的是，所述懸吊桿(1)，其與該沖水頭(2)的連接處間，還設有一定位環圈(4)；所述定位環圈(4)，其還環設有能供定位該外管(22)的數支垂直銷(41)、以及能供與該懸吊桿(1)對應端連接的數支鎖固件(42)。

更優選的是，所述固定座(231)，其還通過數支由外而內穿過該外框體(233)、該外管(22)、該內管(21)的第一連接件(5)，與該外框體(233)連接；所述內管(21)，其還通過數支第二連接件(6)，與該固定座(231)連接，且對應於該第一連接件(5)處，還配合凹設有內開槽(211)；所述外管(22)，其還通過數支第三連接件(7)，與該外框體(233)連接，且對應於該第一連接件(5)處，還配合凹設有外開槽(223)。

更優選的是，所述內管(21)及該外管(22)，其兩者皆為呈Γ字形設置；所述外管(22)，其還包括有一左管體(221)、及一右管體(222)，該左管體(221)位於該內管(21)左側，該右管體(222)位於該內管(21)右側，並且還能與該左管體(221)對應配合。

更優選的是，其與該抽氣管(3)連接處，還設有一開孔(14)；所述懸吊桿(1)，其一側還設有能供該管路(20)穿出的槽孔(15)；所述槽孔(15)，其開口處還設有能供定位該管路(20)的一上定位塊(16)、及一下定位塊(17)。

與現有技術相比，本新型的效果如下所示：

第一點：本新型改良型沖水結構(100)，通過內管(21)、外管(22)的應用，形成通氣間隔(10)，利用虹吸效果，在不增加過多成本的前提下，解決水霧(Wm)彌漫的問題。

第二點：本新型改良型沖水結構(100)，懸吊桿(1)、沖水頭(2)以及抽氣管(3)的配合，將沖水和抽氣的功能整合在一起，能有效配合濕製程設備(200)，整體而言非常耐用可靠。

1‧‧‧懸吊桿

11‧‧‧自由端部

12‧‧‧固定端部

13‧‧‧空腔部

14‧‧‧開孔

15‧‧‧槽孔

16‧‧‧上定位塊

17‧‧‧下定位塊

2‧‧‧沖水頭

21‧‧‧內管

211‧‧‧內開槽

22‧‧‧外管

221‧‧‧左管體

222‧‧‧右管體

223‧‧‧外開槽

23‧‧‧沖水單元

231‧‧‧固定座

232‧‧‧內框體

233‧‧‧外框體

234‧‧‧噴頭

3‧‧‧抽氣管

4‧‧‧定位環圈

41‧‧‧垂直銷

42‧‧‧鎖固件

5‧‧‧第一連接件

6‧‧‧第二連接件

7‧‧‧第三連接件

10‧‧‧通氣間隔

20‧‧‧管路

100‧‧‧改良型沖水結構

200‧‧‧濕製程設備

Wm‧‧‧水霧

第1圖：本新型的立體示意圖。

第2圖：本新型的分解示意圖。

第3圖：本新型的立體實施示意圖。

第4圖：本新型的立體剖面實施示意圖。

第5圖：本新型的剖面實施示意圖。

以下依據圖面所示的實施例詳細說明如後：如第1圖和第2圖所示，圖中揭示出，為一種改良型沖水結構，能配合能配合濕製程設備(200)應用，其特徵在於：所述改良型沖水結構(100)，其包括有一與該濕製程設備(200)一側連接的懸吊桿(1)、一設於該懸吊桿(1)自由端處的沖水頭(2)、以及一設於該懸吊桿(1)固定端一側的抽氣管(3)；所述懸吊桿(1)，其具有一呈開放狀的自由端部(11)、及一呈封閉狀的固定端部(12)，且內設有一空腔部(13)；所述沖水頭(2)，其包括有一內管(21)、一外管(22)、及一沖水單元(23)，該內管(21)的一端與該自由端部(11)連接並連通，該外管(22)為套設於該內管(21)外，一端亦與該自由端部(11)連接並連通，並且內壁面與該內管(21)外壁面間，形成有一通氣間隔(10)，該沖水單元(23)為設於該內管(21)的另一端處內，並能將該內管(21)與該外管(22)的對應端固定；所述抽氣管(3)，其設於該固定端部(12)一側，與該空腔部(13)連通，能通過該空腔部(13)、該通氣間隔(10)，將該沖水單元(23)運作過程中所生成的水霧(Wm)抽出。

其中，通過懸吊桿(1)、沖水頭(2)以及抽氣管(3)的配合，將沖水和抽氣的功能整合在一起，提供了一種本新型改良型沖水結構(100)，不但能配合濕製程設備(200)，還能將水霧(Wm)抽出，不會防礙到目標的觀測，更是避免對機台使用壽命造成影響。

其次，通過內管(21)、外管(22)配合所形成的通氣間隔(10)，應用虹吸效果，能快速且省力地將水霧(Wm)抽出，在不增加過多成本的前提下，解決水霧(Wm)彌漫的問題。

如第3圖至第5圖所示，圖中揭示出，通過通氣間隔(10)的應用，沖水頭(2)作動時，當抽氣管(3)一運作，便能通過空腔部(13)、通氣間隔(10)，將空氣及水霧(Wm)吸入，達到降低水霧(Wm)彌漫的目標，同時，通氣間隔(10)的應用，不但能有利於吸入不同大小的水霧(Wm)，還能避免過大的水霧(Wm)停留在空腔部(13)中。

請參閱第2圖，所沖水單元(23)，其還包括有一設於該內管 (21)對應端處的固定座(231)；一設於該固定座(231)底端處，並對應於該內管(21)的內框體(232)；一套設於該內框體(232)外，並與該外管(22)對應連接，且還與該內框體(232)間配合、形成有與該通氣間隔(10)對應連通之連通孔部(2331)的外框體(233)；及一設於該固定座(231)頂端，還能通過至少一管路(20)穿出於該懸吊桿(1)後、與外部供水裝置連接、以供噴水用的噴頭(234)。

其中，通過固定座(231)的應用，有效地固定噴頭(234)；通過內框體(232)、外框體(233)的應用，有效地配合形成通氣間隔(10)的吸入口，通過噴頭(234)的應用，有效地對外噴水。

其次，內框體(232)除了能配合外框體(233)之外，還能供定位固定座(231)，讓噴頭(234)能被定位。

請參閱第2圖，所述懸吊桿(1)，其與該沖水頭(2)的連接處間，還設有一定位環圈(4)；所述定位環圈(4)，其還環設有能供定位該外管(22)的數支垂直銷(41)、以及能供與該懸吊桿(1)對應端連接的數支鎖固件(42)。

其中，通過定位環圈(4)的使用，再配合上垂直銷(41)及鎖固件(42)，將懸吊桿(1)與沖水頭(2)穩固地連接，避免內管(21)及外管(22)之間產生相對位移，在縮短組裝時間的前提下，並能在運作中，有效地維持整體的穩定性。

請參閱第2圖，所述固定座(231)，其還通過數支由外而內穿過該外框體(233)、該外管(22)、該內管(21)的第一連接件(5)，與該外框體(233)連接；所述內管(21)，其還通過數支第二連接件(6)，與該固定座(231)連接，且對應於該第一連接件(5)處，還配合凹設有內開槽(211)；所述外管(22)，其還通過數支第三連接件(7)，與該外框體(233)連接，且對應於該第一連接件(5)處，還配合凹設有外開槽(223)。

其中，利用第一連接件(5)，將外框體(233)與內管(21)、外管(22)獲得一基礎的定位，再利用第二連接件(6)，讓外框體(233)穩固地與內管(21)配合在一起，並再利用第三連接件(7)，讓外框體(233)穩固地與外管(22)配合在一起，最後再利用內開槽(211)、外開槽(223)，讓內管(21)能與第一連接件(5)配合以定位，避免在運行過程中，因震動而發生錯位，確保通氣間隔(10)的間隔不會產生變化，影響到抽氣效果。

請參閱第2圖，所述內管(21)及該外管(22)，其兩者皆為呈Γ字形設置；所述外管(22)，其還包括有一左管體(221)、及一右管體(222)，該左管體(221)位於該內管(21)左側，該右管體(222)位於該內管(21)右側，並且還能與該左管體(221)對應配合。

其中，通過此種形狀設置的內管(21)及外管(22)，能讓沖水及抽氣兩功能有效底地配合；通過左管體(221)和右管體(222)的配合設置，有效地配合內管(21)，快速地建構出通氣間隔(10)，讓抽氣功能能正常運作。

請參閱第2圖，其與該抽氣管(3)連接處，還設有一開孔(14)；所述懸吊桿(1)，其一側還設有能供該管路(20)穿出的槽孔(15)；所述槽孔(15)，其開口處還設有能供定位該管路(20)的一上定位塊(16)、及一下定位塊(17)。

其中，本新型改良型沖水結構(100)，利用開孔(14)使抽氣管(3)能便於連接；利用槽孔(15)，讓管路(20)能順利地穿出，同時便於配置整理管路(20)；利用上定位塊(16)和下定位塊(17)的設置，便於進行管路(20)的整線，並避免空氣自此處進入，影響到抽氣管(3)的運作。

以上依據圖式所示的實施例詳細說明本新型的構造、特徵及作用效果；惟以上所述僅為本新型之較佳實施例，但本新型不以圖面所示限定實施範圍，因此舉凡與本新型意旨相符的修飾性變化，只要在均等效果的範圍內都應涵屬於本新型專利範圍內。