TWM537660U - 氣體濃度分析裝置 - Google Patents
氣體濃度分析裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TWM537660U TWM537660U TW105216771U TW105216771U TWM537660U TW M537660 U TWM537660 U TW M537660U TW 105216771 U TW105216771 U TW 105216771U TW 105216771 U TW105216771 U TW 105216771U TW M537660 U TWM537660 U TW M537660U
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- cavity
- pressure
- oxygen
- gas
- analysis device
- Prior art date
Links
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 66
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 66
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 66
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 36
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
本新型關於一種氣體濃度分析裝置。
當一般的含氧感知器用於量測真空製程腔體的氧氣濃度時，僅能獲得腔體內氧氣濃度的讀值。然而，有些真空製程的壓力變化幅度相當大，當含氧感知器所偵測到的氧氣濃度變化是在壓力持續變化情況下的讀值，因含氧感知器的讀值不是在同一個基準(例如在相同壓力區間)下獲得，因此難以準確分析出是何種原因造成氧氣濃度的變化。
「先前技術」段落只是用來幫助了解本新型內容，因此在「先前技術」段落所揭露的內容可能包含一些沒有構成所屬技術領域中具有通常知識者所知道的習知技術。在「先前技術」段落所揭露的內容，不代表該內容或者本新型一個或多個實施例所要解決的問題，在本新型申請前已被所屬技術領域中具有通常知識者所知曉或認知。
本新型提供一種於氣體濃度分析裝置。
本新型的其他目的和優點可以從本新型所揭露的技術特徵中得到進一步的了解。
為達到上述之一或部份或全部目的或是其他目的，本新型的一實施例提供一種氣體濃度分析裝置，包含一含氧感知器、一壓力偵測裝置及一控制單元。含氧感知器連接至一腔體以偵測腔體內的氧氣濃度，壓力偵測裝置連接至腔體以偵測腔體內的壓力，且控制單元接收含氧感知器取得之氧氣濃度值及壓力偵測裝置取得之壓力值並進行運算，以獲得於不同的真空壓力範圍下之氧氣濃度指標。
藉由上述實施例之設計，因控制單元可同時接收含氧感知器的氧氣濃度值及壓力偵測裝置的壓力值並進行運算，因此每個量測到的氧
氣濃度均可得知其對應的壓力值，因此可在同一個基準(例如在相同壓力區間)下比較氧氣濃度的變化，建立對應不同真空壓力範圍的不同真空製程階段的氧氣濃度指標，且便於分析於不同真空壓力階段的氧氣濃度與真空製程間的相互影響。再者，於含氧感知器與腔體之間若設有一隔離閥，可獲得例如避免某些製程氣體會造成含氧感知器損壞、或者可於特定壓力範圍下進行氧氣濃度偵測等效果。
本新型的其他目的和優點可以從本新型所揭露的技術特徵中得到進一步的了解。為讓本新型之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例並配合所附圖式，作詳細說明如下。
10、20‧‧‧氣體濃度分析裝置
11‧‧‧腔體
12‧‧‧含氧感知器
14‧‧‧壓力偵測裝置
16‧‧‧控制單元
18‧‧‧隔離閥
圖1為本新型一實施例的氣體濃度分析裝置的示意圖。
圖2為本新型另一實施例的氣體濃度分析裝置的示意圖。
有關本新型之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或後等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用來說明並非用來限制本新型。
圖1為本新型一實施例的氣體濃度分析裝置的示意圖。如圖1所示，氣體濃度分析裝置10包含一含氧感知器12、一壓力偵測裝置14、一控制單元16及一隔離閥18。含氧感知器12及壓力偵測裝置14可連接至一腔體11，該腔體11例如可為一真空製程腔體而不限定，且壓力偵測裝置14例如可為一真空計或一壓力開關而不限定。含氧感知器12可偵測腔體11內的氧氣濃度，且壓力偵測裝置14可偵測腔體11內的壓力，控制單元16可接收含氧感知器12取得之氧氣濃度值及壓力偵測裝置14取得之壓力值並進行運算，以例如獲得於不同的真空壓力範圍下的氧氣濃度指標，且不同的真空壓力範圍例如可對應不同的真空製程階段。再者，控制單元16可對不同的真空壓力範圍下的氧氣濃度指標進行分類。於本實施例中，隔離閥18可連接於含氧感知器12與腔體11之間，且隔離閥18可開閉以連通或隔離含氧感知器12與腔體11。於一實施例中，依據壓力偵測裝置14
回饋至控制單元16的壓力訊號，控制單元16可輸出一控制訊號至隔離閥18以控制隔離閥18的開閉，獲得例如避免某些製程氣體造成含氧感知器損壞、或者可於特定壓力範圍下進行氧氣濃度偵測等效果。於一實施例中，壓力偵測裝置14量測到腔體11內之壓力達到一設定點時，可開啟隔離閥18讓含氧感知器12與壓力偵測裝置14進行偵測動作，且讓控制單元16讀取含氧感知器12與壓力偵測裝置14之讀值。控制單元16可計算不同的真空壓力範圍下之氧氣濃度指標，並予以分類。再者，若壓力偵測裝置14量測到腔體11內之壓力達到另一設定點時，控制單元16可關閉隔離閥18且含氧感知器12停止對腔體11量測，因此藉由隔離閥18的開閉可在不同設定點間的特定壓力範圍下進行氧氣濃度偵測。
圖2為本新型另一實施例的氣體濃度分析裝置的示意圖。如圖2所示，氣體濃度分析裝置20可省略圖1之隔離閥18，含氧感知器12可直接連通腔體11以進行量測。控制單元16同樣可接收含氧感知器12的氧氣濃度值及壓力偵測裝置14的壓力值並進行運算，以分析例如於不同的真空製程階段中，對應不同壓力範圍的氧氣濃度變化。
於一實施例中，含氧感知器12的量測壓力範圍例如可為10-7-780托(torr)。
藉由上述各個實施例的設計，因控制單元可同時接收含氧感知器的氧氣濃度值及壓力偵測裝置的壓力值並進行運算，因此每個量測到的氧氣濃度均可得知其對應的壓力值，因此可在同一個基準(例如在相同壓力區間)下比較氧氣濃度的變化，建立對應不同真空壓力範圍的不同真空製程階段的氧氣濃度指標，且便於分析於不同真空壓力階段的氧氣濃度與真空製程間的相互影響。再者，於含氧感知器與腔體之間若設有一隔離閥，可獲得例如避免某些製程氣體會造成含氧感知器損壞、或者可於特定壓力範圍下進行氧氣濃度偵測等效果。
須注意上述利用含氧感知器偵測腔體內的氧氣濃度僅為例示而不限定，於其他的實施例中，亦可利用不同的氣體感知器偵測腔體內的待測氣體的濃度，例如使用氫氣感知器偵測腔體內的氫氣濃度而不限定，同樣可獲得在同一個基準(例如在相同壓力區間)下比較待測氣體的變
化，且建立對應不同真空壓力範圍的不同真空製程階段的待測氣體濃度指標的效果。
惟以上所述者，僅為本新型之較佳實施例而已，當不能以此限定本新型實施之範圍，即大凡依本新型申請專利範圍及新型說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本新型專利涵蓋之範圍內。另外本新型的任一實施例或申請專利範圍不須達成本新型所揭露之全部目的或優點或特點。此外，本說明書或申請專利範圍中提及的「第一」、「第二」等用語僅用以命名元件的名稱或區別不同實施例或範圍，而並非用來限制元件數量上的上限或下限。
10‧‧‧氣體濃度分析裝置
11‧‧‧腔體
12‧‧‧含氧感知器
14‧‧‧壓力偵測裝置
16‧‧‧控制單元
18‧‧‧隔離閥
Claims (10)
- 一種氣體濃度分析裝置，包含：一含氧感知器，連接至一腔體以偵測該腔體內的氧氣濃度；一壓力偵測裝置，連接至該腔體以偵測該腔體內的壓力；以及一控制單元，接收該含氧感知器取得之氧氣濃度值及該壓力偵測裝置取得之壓力值並進行運算，以獲得於不同的真空壓力範圍下之氧氣濃度指標。
- 如申請專利範圍第1項所述之氣體濃度分析裝置，更包含：一隔離閥，連接於該含氧感知器與該腔體之間，其中該隔離閥可開閉以連通或隔離該含氧感知器與該腔體。
- 如申請專利範圍第2項所述之氣體濃度分析裝置，其中該控制單元依據該壓力偵測裝置取得之壓力值開啟或關閉該隔離閥。
- 如申請專利範圍第1項所述之氣體濃度分析裝置，其中該壓力偵測裝置為一真空計。
- 如申請專利範圍第1項所述之氣體濃度分析裝置，其中該腔體係為一真空製程腔體，且該不同的真空壓力範圍對應不同的真空製程階段。
- 如申請專利範圍第1項所述之氣體濃度分析裝置，其中該控制單元針對不同的真空壓力範圍下的該氧氣濃度指標進行分類。
- 如申請專利範圍第1項所述之氣體濃度分析裝置，其中該含氧感知器的量測壓力範圍為10-7-780托。
- 一種氣體濃度分析裝置，包含： 一氣體感知器，連接至一腔體以偵測該腔體內的一待測氣體的濃度；一壓力偵測裝置，連接至該腔體以偵測該腔體內的壓力；以及一控制單元，接收該氣體感知器取得之該待測氣體的濃度值及該壓力偵測裝置取得之壓力值並進行運算，以獲得於不同的真空壓力範圍下之該待測氣體的濃度指標。
- 如申請專利範圍第8項所述之氣體濃度分析裝置，更包含：一隔離閥，連接於該氣體感知器與該腔體之間，其中該隔離閥可開閉以連通或隔離該氣體感知器與該腔體。
- 如申請專利範圍第8項所述之氣體濃度分析裝置，其中該腔體係為一真空製程腔體，且該不同的真空壓力範圍對應不同的真空製程階段。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW105216771U TWM537660U (zh) | 2016-11-03 | 2016-11-03 | 氣體濃度分析裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW105216771U TWM537660U (zh) | 2016-11-03 | 2016-11-03 | 氣體濃度分析裝置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWM537660U true TWM537660U (zh) | 2017-03-01 |
Family
ID=58775436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW105216771U TWM537660U (zh) | 2016-11-03 | 2016-11-03 | 氣體濃度分析裝置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWM537660U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113092679A (zh) * | 2021-04-01 | 2021-07-09 | 国网陕西省电力公司电力科学研究院 | 一种六氟化硫分解产物的分析传感器及其检测方法 |
-
2016
- 2016-11-03 TW TW105216771U patent/TWM537660U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113092679A (zh) * | 2021-04-01 | 2021-07-09 | 国网陕西省电力公司电力科学研究院 | 一种六氟化硫分解产物的分析传感器及其检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6165347A (en) | Method of identifying a gas | |
| CN103175589B (zh) | 计量表标定装置和方法 | |
| TWI445958B (zh) | 氣體檢測系統、裝置及方法 | |
| CN107850534B (zh) | 气体检测装置和方法 | |
| JP2016503487A5 (zh) | ||
| US9429493B2 (en) | Manifold assembly for a portable leak tester | |
| US20180164184A1 (en) | In-vehicle exhaust gas analysis system, inspection system for in-vehicle exhaust gas analysis system, inspection method for in-vehicle exhaust gas analysis system, and inspection program | |
| JP2005077099A (ja) | におい識別装置 | |
| CN109238686A (zh) | 安全阀检测装置及安全阀检测方法 | |
| CN102507676A (zh) | 基于多重自组织神经网络的电子鼻在线漂移补偿方法 | |
| CN208239037U (zh) | 一种阀体密封性能检测装置 | |
| JP2021107829A5 (zh) | ||
| KR20110063442A (ko) | 측정값 감지 및 측정값 표시를 위한 방법 | |
| TWM537660U (zh) | 氣體濃度分析裝置 | |
| US11927504B2 (en) | Non-destructive testing method for tightness degree of small cigarette box packaging | |
| CN103837427B (zh) | 纸张透气度检测仪压力检测装置 | |
| FR3112206B1 (fr) | Système de captation chimique à étalonnage intégré et procédé d’utilisation d’un tel système | |
| JP2019506608A5 (zh) | ||
| CN204330240U (zh) | 气密性检测装置 | |
| CN105928825B (zh) | 一种便携式介质液位密度检测仪 | |
| CN108982635A (zh) | 氧化锆氧量分析仪的校验方法及校验装置 | |
| CN206557180U (zh) | 气体浓度分析系统 | |
| KR20230163432A (ko) | 진공 붕괴 누출 검출을 위한 동적 신호 처리용 시스템 및 방법 | |
| Seifert et al. | Alcohol Control: Mobile Sensor System and Numerical Signal Analysis | |
| CN108614070A (zh) | 气体浓度分析系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4K | Annulment or lapse of a utility model due to non-payment of fees |