TWM520719U - 晶圓加熱器之結構 - Google Patents

Description

晶圓加熱器之結構

本創作係有關於一種晶圓加熱器之結構，尤指一種可提高加熱效率之晶圓加熱器結構。

按，製作晶圓之過程繁瑣且不易，大都須經過相當多道的製作程序，而在製程當中有個非常重要的加熱程序，大都是透過特殊加熱機台(或設備)來完成，如第1圖所示，為目前最常使用的加熱機台1，其主要是將晶圓2放置於加熱機台1上之加熱盤11，以透過加熱盤11所產生之熱能來對晶圓2進行加熱之動作，然，由於加熱盤11僅具有單一接觸面，僅可產生單一方向之加熱面，不僅使晶圓2無法均勻的受熱外，加熱盤11所能產生之熱能溫度亦受到限制，因此常為業界所詬病之處。

故，如何將上述缺失問題加以改進，乃為本案創作人所欲解決之技術困難點之所在。

本創作之主要目的在於：其主要由複數環體相互堆疊設置而組成，以使晶圓置於其中央處所形成之空間內，並透過環體內所設置之發熱線體對晶圓進行加熱之動作，進而提高加熱之效率。

習用部分：

1‧‧‧加熱機台

11‧‧‧加熱盤

2‧‧‧晶圓

本創作：

3‧‧‧加熱器

4‧‧‧環體

41‧‧‧發熱線體

5‧‧‧空間

6‧‧‧晶圓

第1圖係習用之立體外觀圖。

第2圖係本創作之立體外觀圖。

第3圖係本創作之立體分解圖。

第4圖係本創作之立體透視圖。

第5圖係本創作之較佳實施例圖一。

第6圖係本創作之較佳實施例圖二。

第7圖係本創作之進一步實施例圖一。

第8圖係本創作之進一步實施例圖二。

請參閱第2圖、第3圖、第4圖、第5圖、第6圖、第7圖與第8圖所示，係為本創作之立體外觀圖、立體分解圖、立體透視圖、較佳實施例圖與進一步實施例圖，由圖中可清楚看出，加熱器3主要乃包括有：複數環體4，相互堆疊設置，並於中央處形成有一空間5；複數發熱線體41，設置於各環體4內，且各發熱線體41乃相互呈電性連接之狀態；本創作之加熱器3主要結構體即是由複數環體4相互堆疊設置而成，並在堆疊設置後之中央處形成有一空間5，而各環體4則均各設置有一發熱線體41；在進行程序時，則是將欲加熱之晶圓6置於該空間5內或進行往復之活動(如第5圖與第6圖所示)，並透過每個環體4內所設置之發熱線體4 1所產生之熱能，來對晶圓6進行加熱之動作；承上述，環體4的數量、厚度以及尺寸乃可依需求而有所不同，並非本案所侷限之範圍，全憑不同尺吋之晶圓6需求而有所不同；本創作之加熱器3之所以由複數環體4相互堆疊設置而成，主要是藉由其所形成之空間5來提供多方向之加熱效果，使晶圓6能夠均勻的完全受熱；另外，發熱線體41之設置方式，除了可為上述圖中為並聯之電性連接方式外，亦可為如第7圖所示之另一種並聯之電性連接方式，或者如第8圖所示為串聯之電性連接方式，無論以何種電性方式連接，基本上每個環體4均需設置有至少一發熱線體41；綜上所述，相較於習用加熱機台(或設備)所存在之種種缺失，本創作之加熱器3乃透過複數環體4堆疊設置而成，不僅可使晶圓6能夠均勻的受熱以達到最佳之加熱效率外，透過複數環體4之堆疊設置，更可依照晶圓6之需求設置不同數量之環體4，進而達到可適配多種不同規格晶圓6之目的。

上述所列舉的實施例係用以闡明本創作之一較佳可行實施例，並非用以限定本創作之範圍，任何熟習此技藝者，在不脫離本創作之精神和範圍內，當可做些許更動與潤飾，因此本創作之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

3‧‧‧加熱器

4‧‧‧環體

5‧‧‧空間

Claims (4)

1. 一種晶圓加熱器之結構，其包括：複數環體，相互堆疊設置，並於中央處形成有一空間；複數發熱線體，設置於各環體內；其主要是將複數環體相互堆疊設置，以使晶圓可置於其中央處所形成之空間內，並透過環體內所設置之發熱線體對晶圓進行加熱之動作，進而提高加熱之效率。
2. 如請求項1所述之晶圓加熱器之結構，其中設置於各環體內之發熱線體乃相互呈電性連接之狀態。
3. 如請求項1所述之晶圓加熱器之結構，其中發熱線體間可為串聯之電性連接。
4. 如請求項1所述之晶圓加熱器之結構，其中發熱線體間可為並聯之電性連接。