TWM496688U - 防強酸鹼之氣動泵浦 - Google Patents

Description

防強酸鹼之氣動泵浦

本創作係關於一種氣動式泵浦，特別是關於一種可整體防強酸及強鹼之流體的防強酸鹼之氣動泵浦。

泵浦是一種用以增加輸入於其中的流體之壓力，再將流體輸出的設備，泵浦則需要外力的驅動以使流入其中的流體增壓，而常見的泵浦驅動方式可以分為手動泵浦、蒸氣泵浦、電動泵浦、氣動泵浦、水輪泵浦、電磁泵浦、汽輪機泵浦及柴油機泵浦等。

其中氣動泵浦通常係使用氣體施加壓力於兩側隔膜片外並擠壓隔膜片內之流體以增加流體的壓力，又因為氣體之作動不易產生火花，故可使用在安全性要求較高的場所，隨著高科技產業如半導體產業之發展，因為在製程中所使用的化學藥劑燃點通常較低，並且在安全性方面的要求甚高，通常會選擇使用氣動泵浦以提供化學藥劑的增壓輸出，藉此提供濕蝕刻之製程機台、供酸系統或洗淨系統製程等使用。習知的氣動泵浦內部隔膜片及連接隔膜片的連動桿容易因為強酸或強鹼的流動，而造成泵浦內部的侵蝕，使用壽命有限且不易估計何時會突然發生故障，再者，氣動泵浦故需要能提供控制精確的流量及流速，此對於上述之製程極為重要，否則會影響其生產製程的生產率及產能，若內部遭受強酸或強鹼之侵 蝕，則會造成泵浦作動發生不規則的流體流量輸出。

因此，本創作在針對上述之困擾，提出一種防強酸鹼之氣動 泵浦，其係藉由鐵氟龍伸縮元件及鐵氟龍中心軸改善一般習知隔膜片及連動桿，藉此有效改善泵浦內部的防強酸鹼之功效。

本創作之主要目的係在提供一種防強酸鹼之氣動泵浦，其係 可藉由鐵氟龍製的伸縮元件及中心軸取代傳統的隔膜片及連動桿，提高氣動泵浦內的防強酸及強鹼的功效，以提升氣動泵浦的使用壽命，以及維持氣動泵浦於機台內穩定的傳輸及循環強酸或強鹼之流體，則可穩定維持生產製程的生產率及產能。

為了達到上述的目的，本創作提供一種防強酸鹼之氣動泵 浦，其係可裝設於機台內部以傳輸流體，包括一主體，其係具有一中心容置空間及兩側之第一開口端及第二開口端，並設有一進水孔洞及一出水孔洞以連通中心容置空間；一鐵氟龍中心軸穿設於兩側之第一開口端、第二開口端及中心容置空間中間；並設有第一鐵氟龍伸縮元件及第二鐵氟龍伸縮元件於兩側之第一、第二開口端並可接合鐵氟龍中心軸；第一進水止逆組件及第二進水止逆組件分別裝設於第一、第二開口端內，且可分別連通所對應之開口端與進水孔洞；第一出水止逆組件及第二出水止逆組件係分別裝設於第一、第二開口端內，且可分別連通所對應之開口端與出水孔洞；第一蓋板及第二蓋板，其係分別具有第一進氣孔及第二進氣孔，第一、第二蓋板可分別鎖固於主體兩端，且覆蓋住第一、第二開口端，並藉由第一進氣孔所輸入之氣體擠壓第一鐵氟龍伸縮元件，其係再帶動鐵氟龍中心軸 推動第二鐵氟龍伸縮元件，藉由第一進氣孔及第二進氣孔交錯輸入氣體，使第一、第二鐵氟龍伸縮元件及鐵氟龍中心軸做往復運動，再藉此往復運動使自進水孔洞流入中心容置空間之流體再經該出水孔洞流出，藉防強酸鹼之氣動泵浦的往復運動可循環帶動機台之強酸或強鹼流體循環流動。

底下藉由具體實施例配合所付的圖式詳加說明，當更容易瞭解本創作之目的、技術內容、特點及其所達成之功效。

10‧‧‧防強酸鹼之氣動泵浦

12‧‧‧主體

14‧‧‧中心容置空間

16‧‧‧第一開口端

18‧‧‧第二開口端

20‧‧‧進水孔洞

22‧‧‧出水孔洞

24‧‧‧鐵氟龍中心軸

26‧‧‧第一鐵氟龍伸縮元件

28‧‧‧第二鐵氟龍伸縮元件

30‧‧‧第一進水止逆組件

32‧‧‧第一出水止逆組件

34‧‧‧第二進水止逆組件

36‧‧‧第二出水止逆組件

37‧‧‧固定牙條

38‧‧‧第一蓋板

39‧‧‧螺帽

40‧‧‧第二蓋板

42‧‧‧第一進氣孔

44‧‧‧第二進氣孔

46‧‧‧工廠廠務端

48‧‧‧機台

50‧‧‧穩壓裝置

52‧‧‧過濾裝置

54‧‧‧化學酸/鹼液槽

第一圖為本創作的立體圖。

第二圖為本創作的立體剖面圖。

第三圖為本創作的分解示意圖。

第四圖為本創作的方塊元件示意圖。

第五圖為本創作之第一作動方式示意圖。

第六圖為本創作之第二作動方式示意圖。

於半導體製造廠、太陽能製造廠、LED製造廠或其他化工廠中，皆有機台須使用強酸或強鹼以進行產品之蝕刻或清洗等相關製程方面之應用，機台內需安裝可防強酸及強鹼之泵浦以帶動酸液或鹼液之循環流動，防強酸鹼之氣動泵浦則由裡到外提供了完全防止強酸或強鹼之鐵氟龍結構，以穩定強酸或強鹼流體之循環流動。

首先，請同時參照本創作第一圖、第二圖及第三圖所示，一種防強酸鹼之氣動泵浦10，其係包括一主體12，其內部具有一中心容置空 間14，及位於主體12兩側分別設有第一開口端16及第二開口端18，主體12上則再設有一進水孔洞20及一出水孔洞22以連通中心容置空間14，進水孔洞20及出水孔洞22可分別連接一液體管路(圖中未示)；一鐵氟龍中心軸24穿設於第一開口端16、中心容置空間14及第二開口端18，再有第一鐵氟龍伸縮元件26及第二鐵氟龍伸縮元件28分別裝設於第一開口端16及第二開口端18並可接合鐵氟龍中心軸24，於本實施例中，第一鐵氟龍伸縮元件26及第二鐵氟龍伸縮元件28係可為鐵氟龍材質之風箱；第一開口端16裝設有第一進水止逆組件30及第一出水止逆組件32，第二開口端18裝設有第二進水止逆組件34及第二出水止逆組件36，且第一進水止逆組件30及第二進水止逆組件34可分別連通第一開口端16、第二開口端18及進水孔洞20，第一出水止逆組件32及第二出水止逆組件36可分別連通第一開口端16、第二開口端18及出水孔洞22；在主體12兩側藉由四條固定牙條37將第一蓋板38與第二蓋板40分別鎖固於主體12上，詳言之，第一蓋板38係覆蓋住第一開口端16，並利用四個螺帽39將第一蓋板38鎖固於固定牙條37一端，而將第一蓋板38穩固鎖定於主體12上；同理，第二蓋板40係覆蓋住第二開口端18，並利用四個螺帽39將第二蓋板40鎖固於固定牙條37另一端，而將第二蓋板40穩固鎖定於主體12上，且第一蓋板38設有第一進氣孔42，第二蓋板40設有第二進氣孔44，第一進氣孔42與第二進氣孔44係可各自連接至一氣體管路(圖中未示)。

承接上段，除了鐵氟龍中心軸24、第一鐵氟龍伸縮元件26 及第二鐵氟龍伸縮元件28，第一進水止逆組件30及第二進水止逆組件34與第一出水止逆組件32及第二出水止逆組件36及主體12皆係為鐵氟龍材質， 而第一蓋板38及第二蓋板40係為金屬材質之蓋板，但於其表面可鍍上一層鐵氟龍防止強酸或強鹼之侵蝕。其中，第一進水止逆組件30及第二進水止逆組件34係於一罩杯底部裝設一彈簧再向上連接一正向逆止閥，以一封蓋覆蓋於罩杯之杯口。而第一出水止逆組件32及二出水止逆組件36則係於一罩杯底部裝設一反向逆止閥再向上連接一彈簧，以一封蓋覆蓋於罩杯之杯口。藉由相反逆止閥的設計使第一進水止逆組件30及第二進水止逆組件34與第一出水止逆組件32及第二出水止逆組件36形成不同方向進出水的組件。

在說明完本裝置中之各元件後，接續說明本創作之實施方 法，請同時參照本創作之第四圖、第五圖所示。從工廠廠務端46流向機台48之流體可係為強酸或強鹼，藉由液體管路流向防強酸鹼之氣動泵浦10中的進水孔洞20，再經由第一出水止逆組件32及第二進水止逆組件34流入至第一蓋板38及第二蓋板40所覆蓋的第一開口端16及第二開口端18中。此時，藉由連接至機台端之氣體藉由氣體管路灌入第一進氣孔42，並隨即擠壓推動第一鐵氟龍伸縮元件26帶動鐵氟龍中心軸24推動第二鐵氟龍伸縮元件28，藉由第一鐵氟龍伸縮元件26擠壓將第一開口端16內之流體藉由第一出水止逆組件32流向出水孔洞22，同時，第二鐵氟龍伸縮元件28被推動後，則使流體自第二進水止逆組件34流入第二開口端18內。

接著，請同時參照本創作之第四圖、第六圖所示並同時參考 第五圖所示。藉由液體管路流向防強酸鹼之氣動泵浦10中的進水孔洞20，再經由第一進水止逆組件及第二進水止逆組件34流入至第一蓋板38及第二蓋板40所覆蓋的第一開口端16及第二開口端18中。此時，可藉由機台端所 供給之氣體，再藉由氣體管路灌入第二進氣孔44，並隨即擠壓推動第二鐵氟龍伸縮元件28帶動鐵氟龍中心軸24推動第一鐵氟龍伸縮元件26，藉由第二鐵氟龍伸縮元件28擠壓將第二開口端18內之流體藉由第二出水止逆組件36流向出水孔洞22，同時，第一鐵氟龍伸縮元件26被推動後，則使流體自第一進水止逆組件30流入第一開口端16內。本創作則藉由第一進氣孔42及第二進氣孔44分別輸入氣體，以分別壓縮第一鐵氟龍伸縮元件26、鐵氟龍中心軸24及第二鐵氟龍伸縮元件28而形成一往復運動，並藉此往復運動將工廠廠務端46所提供之強酸或強鹼，再藉由第一鐵氟龍伸縮元件26及第二鐵氟龍伸縮元件28之往復運動方式擠壓至機台48內之其他裝置，如可流向穩壓裝置50穩定防強酸鹼之氣動泵浦10所打出之流體，再流向過濾裝置52以過濾掉流體內的雜質，最後再排向化學酸/鹼液槽54之中。

故綜上所述，本創作於機台之功效如同人體內的心臟之作 用，規則將流體自工廠廠務端打入至機台內，且因使用可防強酸或強鹼之鐵氟龍材質所製成之鐵氟龍伸縮元件、鐵氟龍中心軸、主體及進、出水止逆組件而使本創作不會被強酸或強鹼所侵蝕，更能延長氣動泵浦之使用壽命，且更能穩定強酸或強鹼之流體的流動。而蓋板使用金屬材質則因避免強烈震動使得蓋板容易變形，且於表面鍍上一層鐵氟龍以避免機台內之液體管線漏損時，造成蓋板之腐蝕。

以上所述之實施例僅係為說明本創作之技術思想及特點，其 目的在使熟習此項技藝之人士能夠瞭解本創作之內容並據以實施，當不能以之限定本創作之專利範圍，即大凡依本創作所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本創作之專利範圍。

10‧‧‧防強酸鹼之氣動泵浦

12‧‧‧主體

16‧‧‧第一開口端

18‧‧‧第二開口端

20‧‧‧進水孔洞

22‧‧‧出水孔洞

24‧‧‧鐵氟龍中心軸

26‧‧‧第一鐵氟龍伸縮元件

28‧‧‧第二鐵氟龍伸縮元件

30‧‧‧第一進水止逆組件

32‧‧‧第一出水止逆組件

34‧‧‧第二進水止逆組件

36‧‧‧第二出水止逆組件

37‧‧‧固定牙條

38‧‧‧第一蓋板

39‧‧‧螺帽

40‧‧‧第二蓋板

44‧‧‧第二進氣孔

Claims (10)

1. 一種防強酸鹼之氣動泵浦，其係可裝設於機台內以傳輸流體，該氣動泵浦包含：一主體，其係具有一中心容置空間及其二側分別設有第一開口端及第二開口端，該主體上設有一進水孔洞及一出水孔洞以連通該中心容置空間；一鐵氟龍中心軸，其係穿設於該第一開口端、該中心容置空間中間及該第二開口端；一第一鐵氟龍伸縮元件及一第二鐵氟龍伸縮元件，其係分別裝設於該第一開口端及該第二開口端並可接合該鐵氟龍中心軸；一第一進水止逆組件及一第二進水止逆組件，其係分別裝設於該第一開口端及該第二開口端，且該第一進水止逆組件及該第二進水止逆組件可分別連通該第一開口端、該第二開口端及該進水孔洞；一第一出水止逆組件及一第二出水止逆組件，其係分別裝設於該第一開口端及該第二開口端，且該第一出水止逆組件及該第二出水止逆組件可分別連通該第一開口端、該第二開口端及該出水孔洞；及一第一蓋板及一第二蓋板，該第一蓋板係設有一第一進氣孔，該第二蓋板係設有一第二進氣孔，該第一蓋板及該第二蓋板係可分別鎖固於該主體兩端，且該第一蓋板係覆蓋住該第一開口端及該第二蓋板係覆蓋住該第二開口端，並藉由該第一進氣孔輸入氣體擠壓該第一鐵氟龍伸縮元件，被擠壓之該第一鐵氟龍伸縮元件則一併可帶動該鐵氟龍中心軸推動該第二鐵氟龍伸縮元件，藉此作動方式以讓該第一進氣孔及該 第二進氣孔交錯輸入該氣體至該第一蓋板及該第二蓋板內，使該第一鐵氟龍伸縮元件、該第二鐵氟龍伸縮元件及該鐵氟龍中心軸做往復運動，藉該往復運動使自該進水孔洞流入該中心容置空間之該流體，分別經由該第一進水止逆組件及該第二進水止逆組件流向該第一開口端及該第二開口端，該流體自該第一開口端及該第二開口端流向該第一出水止逆組件及該第二出水止逆組件再經該出水孔洞流出。
2. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該第一、該第二出水止逆組件分別包含：一罩杯；一彈簧，其係裝設於該罩杯底部；一正向逆止閥；其係可連接該彈簧及裝設於該罩杯內；及一封蓋，其係覆蓋於該罩杯之杯口。
3. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該第一、該第二進水止逆組件分別包含：一罩杯；一反向逆止閥，其係裝設於該罩杯底部；一彈簧，其係位於該罩杯內並連接該反向逆止閥；及一封蓋，其係覆蓋於該罩杯之杯口。
4. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該第一、該第二進水止逆組件、該第一、該第二出水止逆組件及該主體係為鐵氟龍材質。
5. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該第一、該第二蓋板係為金屬材質。
6. 如請求項5所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該第一、該第二蓋板之表面係可鍍上一層鐵氟龍。
7. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，更包含四固定牙條及八螺帽，以鎖固該第一、該第二蓋板於該主體兩端。
8. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該第一、該第二鐵氟龍伸縮元件係可為鐵氟龍材質之風箱。
9. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該進水孔洞及該出水孔洞係可分別連接一液體管路。
10. 如請求項1所述之防強酸鹼之氣動泵浦，其中該第一、該第二進氣孔係可各自連接一氣體管路。