TWM252012U - Radiator malfunction alarm for semiconductor equipment - Google Patents

Description

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【新型所屬之技術領域】 本創作係關於一種散熱器異常的預警器， 一種用於半導體設備之散熱器的異常預警器。' 疋關於 【先前技術】 隨著半導體製程技術的進步，製造出各 的”小型”晶片，改變了人類的生活，讓生活d 含晶片的電子產品，幫助人們處理各式的問題。处" 在半導體設備中，高溫爐管乃進行氧化、擴 氣相沈積、及熱處理等半導體製程時，所不可或缺的 設備，一般情況下，會將數個爐管裝設在一起，彤 管組，以方便使用及管理，通常是四個一組裝設^ 一:爐 爐管組還設置有控制裝置及各式氣體輸入輸出管線，爐管 為一咼溫製程的設備’在其使用期間，爐管周圍溫度亦相 當地高，為了避免爐管的高溫造成周邊裝置的損壞，係裝 設散熱器來幫助爐管組機台散熱，且爐管組機台内更裝'設 有溫度感測器，其係設定一預定溫度，當爐管組機台溫产 過高超過所設定的溫度時，即自動停止整個爐管組的運& 作’避免發生危險，而爐管組機台溫度會過高，通常係幫 助散熱的散熱器異常所造成。 除了上述爐管組機台外，許多半導體設備亦裝設有散 熱器，然，一般半導體設備之設計存在一些缺點，即，每 當半導體設備的散熱器異常而將造成溫度過高時，必須等 到溫度高於預定的警示溫度，且半導體設備已經被迫停止 運轉時，檢修人員才知道，而此時，不僅要停機檢修，正

M252012 四、創作說明（2) 進盯半導體製程的整批晶片，亦將隨之報廢，而造成巨大 的損失，故，設計一更理想的預防機制，以預防上述情況 發生此乃本創作之主要目的。 【新型内容】 本創作之主要目的係在提供一種預警器，以偵測半導 體設備散熱器的異常，並發出預警信號。 本創作之另一目的在提供一種偵測半導體設備散熱器 異常的預警器，以避免半導體設備因溫度過高而停止運 作’而造成製程中整批晶片報廢。 針對上述目的，本創作提出一種用於半導體設備上之 散熱器異常預警器，其係裝設於具有散熱器之半導體設備 上，此預警器係包括：一接觸感應裝置；一輕質薄片，其 一端係可隨著散熱氣流飄動，於散熱器正常運轉時，散熱 氣流吹動此輕質薄片，使其與接觸感應裝置接觸，而當散 熱器未正常運轉時，該輕質薄片不會與該接觸感應裝置接 觸；以及’ 一警報裝置，其係與該接觸感應裝置連接，當 該輕質薄片未與該接觸感應裝置接獨時，該警報裝置則發 出一警報信號。 、在本創作預警器之另一實施態樣中，係包括：一接觸 置；一輕質薄片，其一端係可隨著散熱氣流飄動， 二，: = 運轉時，此輕質薄片會與接觸感應裝置接 ，=政…器正常運轉時，散熱氣流吹動該輕 = 々生接觸…警報裝置，其係與接 ^ §輕質薄片與接觸感應裝置產生接觸 M252012 四、創作說明（3) 〜- 時’此警報裝置則發出一警報信號。#由本創作預 設計、，在散，器-發生異㈣，即可馬上進行檢修：避 等到溫度過高而必須停機檢修。 底下藉由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，告更 容易瞭解本創作之目的、技術内容、特點及其所達成二功 效0 【實施方式】 為了解決習知半導體設備因散熱器異常造成機台内溫 度過高’而啟動機台的保護機能，自動將機台停止運轉， 進而使得生產線上製程進行中的晶片整批報廢的缺點，本 創作提出一散熱器異常預警器，用以偵測散熱器的異常的 情況’以避免等到機台停機檢修時，才知道散熱器異常。 本創作之預警器1 0之基本架構如第一圖所示，其係由 一可隨散熱氣流飄動的輕質薄片1 2，一可偵測與輕質薄片 U接觸情況的接觸感應裝置14，及一可發出警報信號的警 報裝置1 6所構成。將此預警器1 〇裝設於半導體設備散熱器 1 8出風口附近，並使散熱氣流朝向此預警器之輕質薄片1 2 方向吹動，此輕質薄片1 2之一端係可隨著散熱氣流飄動， 而另一端則位於一固定位置，當半導體設備運轉中，散熱 器1 8正常運轉時，散熱氣流吹動此輕質薄片1 2，使其飄動 的那端可與接觸感應裝置14持續地接觸著，而當散熱器發 生異常而未轉動時，散熱氣流停止吹動時，輕質薄片1 2則 回到原位，會造成該輕質薄片1 2未與接觸感應裝置丨4接 觸’此時，接觸感應裝置1 4便觸發警報裝置1 6發出一警報

M252012 9、創作說明（4) 信號，以通 台過熱而啟 一般半導體 知相關 動停止 設備内 風扇組其中一風扇 在本創 出風〇 置，再 果，因此， 母一風扇的 接觸感應裝 報裝置上， 裝置即可發 轉的狀態， 置可與控制 常時，預警 可掌握此一 置的警報信 光，基本上 為此警報裝 在本創作預 散熱氣流吹 熱氣流吹動 報裝置與接 產生接觸時 熱器未正常 與接觸感應 號。 當風扇 送一警 來幫助 此半導 器即可 訊息， 號亦可 ’只要 置輸出 警器之 動時， 時，可 觸感應 ，此警 運轉時 裝置產 人員來檢 運轉的保 的散熱器 故障時， 作預警器 處，皆裝 將所有的 組中有風 報信號， 半導體設 體設備的 發送一警 並做最及 為一發出 可以達到 的警報信 另一實施 可持續與 將輕質薄 裝置連接 報裝置會 ’因未產 生接觸， 修散熱 護機制 係由多 即會影 器18 ， 避免等到整個機 個的風 響散熱 之較佳實施例 設一輕質薄片 應裝置 接觸感 扇發生 以確保 備散熱 控制台 報信號 時的處 聲音的 提醒控 號。 態樣的 接觸感 片與接 ，當輕 產生一 生散熱 進而觸 異常而 每一風 。而此 連線， 至控制 理，除 警報音 制人員 扇所組成 器整體的 中，可於 及一與其 連接至同 未轉動時 扇皆保持 預警器的 當散熱器 台，讓控 此之外， 效，或是 的機制， 設計中’輕質薄 應裝置產生接觸 觸感應裝置分_ 質薄片與接觸感 警報信號，因此 氣流’而使得輕 發警報襞置發^ ，故當 散熱效 風扇組 對應之 一個警 ，警報 正常運 警報裝 發生異 制人員 警報裝 警報閃 皆可做 片未受 ’而散 ，而警 應裝置 ’當散 質薄片 警報信

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四、創作說明（5) 鉍上所$，本創作提出之散熱器異常預警器 設備散熱器發生異常時馬上偵測出來，並發出體 如醒相關人員進行檢修，避免半導體設備因散熱器故障過 久’造成溫度超過預設的安全溫度，@自動停止運轉，因 此，本$作之預警器能有效地避免半導體設備因溫度過 =自動停機，以避免造成製程進行中整批晶片報廢的巨額 損失。 惟以上所述者’僅為本創作之較佳實施例而已，並非 用來限定本創作之實施範圍。故即凡依本創作申請專利範 圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化或修 飾，均應包括於本創作之申請專利範圍内。 /

M252012 圖式簡單說明 圖式說明： 第一圖為本創作之預警器之架構示意圖。 圖號說明： 10 預警器 12 輕質薄片 14 接觸感應裝置 16 警報裝置 18 散熱器 1^11 第10頁

Claims (1)

1. M252012 五、申請專利範圍 1· 一種用於半導體設備之散熱器異常預警器，其係裝設 於具有散熱器之半導體設備上，該預警器係包括： 一接觸感應裝置； 一，質薄片，其一端係可隨著散熱氣流飄動，當該散熱器 正常運轉時，散熱氣流吹動該輕質薄片，使其與該接觸感 應裝置接觸，當該散熱器未正常運轉時，該輕質薄片不會 與該接觸感應裝置接觸；以及 一警報裝置，其係與該接觸感應裝置連接，當該輕質薄片 未與該接觸感應裝置接觸時，該警報裝置則發出一警報信 號。 其中，該警報信 其中，該警報信 其中，該警報裝 其係於該散熱器 2 ·如申請專利範圍第1項所述之預警器，其裝設於至少有 一風扇所組成之具有散熱器之半導體設備上 3 ·如申請專利範圍第1項所述之預警器 號為一音效信號。 4 ·如申請專利範圍第1項所述之預警器 说為一閃光信號。 5 ·如申請專利範圍第1項所述之預警器 置係與該半導體設備之控制台連線。 矣 v 一 —-— 之散熱器異常預警器，其係裝設 上，該預警器係包括： 6 ·如申請專利範圍第1項所述之預备器’其係於6玄散熱器 之每一出風口處裝設該輕質薄片及該接觸感應裝置，再將 所有該接觸感應裝置連接炱同一個警報裝置上 7· —種用於半導體設備 於具有散熱器之半導體設備 一接觸感應裝置；

   第11 S 其中 其中 其係於 M252012 五、申請專利範圍 一輕質薄片 JL _ 未正常運轉時、：Γ係可隨著散熱氣流飄動，當1 兮~Γ 該輕質薄片會與該接觸感應裝置名 輿#轉時，散熱氣流動該輕質薄片， 接觸感應裝置產生接觸；以及 ΐίϊ裝置’其係舆該接觸感應裝置連接，當該輕 接觸感應裝置產生接觸時，該警報裝置則發出 U號。 8·如申請專利範圍第7項所述之預警器，其裝設於 一風扇所組成之具有散熱器之爭導體設備上。 9 ·如申請專利範圍第7項所述之預警器，其中，該 號為一音效信號。 10·如申請專利範圍第7項所述之預警器 信號為一閃光信號。 11·如申請專利範圍第7項戶斤述之預警器 裝置係與該半導體設備之控制台連線。 12.如申請專利範圍第7項所述之預警器六你π 器之每一出風口處裝設該輕質薄片及諒接觸感應| 將所有該接觸感應裝置連接炙同一個警報裝置上c 貧散熱器 ^觸，當 使其不 質薄片 一警報 至少有 警報信 :警報 警報 散熱 t，再