TWI838108B - 真空泵的控制裝置以及控制方法 - Google Patents

Abstract

本發明防止運行模式誤轉變為運行限制模式。控制裝置6包括控制部62。控制部62對真空泵1中發生的多種異常各自的發生次數進行計數，當多種異常的發生次數分別超過規定閾值時，產生重大警報。

Description

真空泵的控制裝置以及控制方法

本發明是有關於一種真空泵的控制裝置以及真空泵的控制方法。

在真空泵中，有通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體的真空泵。專利文獻1所記載的真空泵中記載了：檢測轉子軸的軸位移，對檢測到的次數進行累計，在累計次數超過規定次數的情況或者累計次數在規定時間內超過規定次數的情況下發出警報。 [現有技術文獻]

[專利文獻] 專利文獻1：日本專利特開2004-150340號公報

[發明所要解決的問題] 根據專利文獻1所記載的真空泵，僅基於計測到轉子軸的軸位移的累計次數來發出警報，對於其他種類的異常未作考慮。因此，例如在檢測到轉子軸的軸位移的累計次數超過了規定次數，另一方面，其他種類的異常的發生次數少的情況下，儘管真空泵發生故障的可能性低，但仍會發出警報。即，在以往的泵中，即便在原本不需要產生警報的情況下也有可能產生警報。雖無特別限定，但例如在與警報同時使真空泵停止的結構中，儘管真空泵發生故障的可能性低，但仍會使真空泵停止，從而有可能對利用真空泵進行排氣的對象裝置的動作造成障礙。而且，在將此種真空泵適用於半導體製造裝置的情況下，真空泵的不必要停止會造成製造線停止的重大問題。

本發明是為了解決所述以往的問題而完成，其目的在於防止根據僅一種異常的發生次數而誤產生重大警報（alarm）的情況。 [解決問題的技術手段]

本發明的一形態的控制裝置是通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體的真空泵的控制裝置。控制裝置包括控制部。控制部對真空泵中發生的多種異常各自的發生次數進行計數，當多種異常的發生次數分別超過規定閾值時，產生重大警報。 [發明的效果]

所述的控制裝置中，當真空泵中發生的多種真空泵的各異常的發生次數超過規定閾值時，產生重大警報。即，是否產生重大警報，是根據多種異常各自的發生次數來決定。由此，在僅一種異常的發生次數多而其他異常的發生次數少，因而真空泵發生故障的可能性低的情況下，能夠防止誤產生重大警報。另外，所謂重大警報的產生，未必需要告知給用戶（顯示或發聲等），也可僅記憶於記憶部中。

＜真空泵的整體結構＞ 使用圖1來說明真空泵1。圖1是表示真空泵1的結構的圖。真空泵1包含殼體2、底座3、轉子4、定子5以及控制裝置6。

殼體2包含第一端部11、第二端部12以及第一內部空間SP1。在第一端部11設有進氣口13。第一端部11被安裝於排氣對象（未圖示）。第一內部空間SP1連通於進氣口13。第二端部12在轉子4的軸線A1的延長方向上位於第一端部11的相反端。第二端部12連接於底座3。底座3包含底座端部14。底座端部14連接於殼體2的第二端部12。

轉子4連接於軸21。軸21沿軸線A1的延長方向延伸。軸21可旋轉地被收納於底座3。轉子4包含多級的轉子葉片22與轉子圓筒部23。多級的轉子葉片22分別連接於軸21。多個轉子葉片22在軸線A1的延長方向上彼此隔開間隔而配置。儘管省略圖示，但多級的轉子葉片22分別以軸21為中心呈輻射狀延伸。另外，附圖中，僅對多級的轉子葉片22中的一個標註了符號，其他轉子葉片22的符號予以省略。轉子圓筒部23被配置在多級的轉子葉片22的下方。轉子圓筒部23沿軸線A1的延長方向延伸。

定子5包含多級的定子葉片31與定子圓筒部32。多級的定子葉片31連接於殼體2的內表面。多級的定子葉片31在軸線A1的延長方向上彼此隔開間隔而配置。多級的定子葉片31分別配置在多級的轉子葉片22之間。儘管省略圖示，但多級的定子葉片31分別以軸21為中心呈輻射狀延伸。另外，附圖中，僅對多級的定子葉片31中的兩個標註了符號，其他定子葉片31的符號予以省略。定子圓筒部32以熱接觸的狀態固定於底座3。定子圓筒部32是在轉子圓筒部23的徑向上，隔開微小的間隙而與轉子圓筒部23相對地配置。在定子圓筒部32的內周面，設有螺旋狀槽。

如圖1所示，在轉子圓筒部23與定子圓筒部32的排氣下游側的端部的更下游側，形成有第二內部空間SP2。從安裝對象排出的氣體被排出至第二內部空間SP2。第二內部空間SP2連通於排氣口16。排氣口16被設於底座3。在排氣口16連接有其他的真空泵（未圖示）。

控制裝置6被收納在設於底座3下部的框體33的內部，對真空泵1進行控制。而且，控制裝置6在由後述的位移感測器44A～位移感測器44C所測定的軸21的浮起位置、由電流值測定裝置所測定的供給至馬達42的電流值、由轉速感測器43所測定的轉子4的轉速不處於正常值的範圍的情況下，產生通知真空泵1中發生了異常的警報或警告。控制裝置6是包括中央處理器（Central Processing Unit，CPU）、唯讀記憶體（Read Only Memory，ROM）等記憶裝置、各種接口等的電腦系統。

在控制裝置6連接有操作裝置7。操作裝置7是用於輸入與真空泵1的控制相關的各種資訊的裝置。而且，操作裝置7也可包括用於顯示與真空泵1相關的各種資訊的顯示器。操作裝置7例如是包括輸入裝置與顯示器的操作板。輸入裝置例如是包括鍵盤、按鈕等的裝置和/或能夠通過觸控螢幕等的用戶操作來輸入各種資訊的裝置。除此以外，操作裝置7可為個人電腦、平板終端、行動終端等的終端。

真空泵1包含多個軸承41A～41E、馬達42以及轉速感測器43。多個軸承41A～41E被安裝在底座3的收納有軸21的位置。多個軸承41A～41E可旋轉地支撐轉子4。軸承41A、軸承41E例如為滾珠軸承。另一方面，其他的軸承41B～軸承41D為磁性軸承。作為磁性軸承的軸承41B～軸承41D分別包括軸承電磁鐵與位移感測器44A～位移感測器44C（圖2），通過位移感測器44A～位移感測器44C來檢測軸21的浮起位置等。

馬達42驅動轉子4旋轉。馬達42包含馬達轉子42A與馬達定子42B。馬達轉子42A被安裝於軸21。馬達定子42B被安裝於底座3。馬達定子42B是與馬達轉子42A相對地配置。在馬達42，連接有對被供給至馬達42的電流值進行測定的馬達電流測定裝置45（圖2）。轉速感測器43對軸21（即，轉子4）的轉速進行測定。

在底座3的外壁，設有用於對底座3的溫度進行控制的加熱器51以及未圖示的冷卻水配管。底座3的溫度是由溫度感測器52進行檢測。基於由溫度感測器52所檢測出的溫度，通過加熱器51對底座3的加熱與流經冷卻水配管的冷卻水帶來的冷卻的平衡，來控制底座3的溫度。而且，在加熱器51，連接有對供給至加熱器51的電流進行測定的加熱器電流測定裝置53（圖2）。

真空泵1中，多級的轉子葉片22與多級的定子葉片31構成渦輪分子泵部。而且，轉子圓筒部23與定子圓筒部32構成螺紋槽泵部。真空泵1中，轉子4通過馬達42而旋轉，由此，氣體從進氣口13流入第一內部空間SP1。第一內部空間SP1的氣體通過渦輪分子泵部與螺紋槽泵部被排出至第二內部空間SP2。第二內部空間SP2的氣體從排氣口16排出。其結果，安裝於進氣口13的安裝對象的內部成為高真空狀態。

＜控制裝置的結構＞ 使用圖2來說明控制裝置6的結構。圖2是表示控制裝置6的結構的圖。控制裝置6具有記憶部61與控制部62。記憶部61是構成控制裝置6的記憶裝置中所設的記憶區域的一部分或全部。記憶部61記憶與真空泵1相關的各種參數、用於控制真空泵1的程式等。具體而言，記憶部61記憶有異常發生條件CON、重大警報條件RCO、重大警報產生歷史AH以及解除密碼PW。異常發生條件CON規定用於決定為真空泵1發生了異常的條件。

具體而言，異常發生條件CON規定了：當由轉速感測器43所測定出的轉子4的轉速成為規定的轉速以下時，發生了轉子4的轉速異常。所述轉速異常是與真空泵1的負載相關的異常，表示真空泵1為過載狀態。所謂「過載狀態」，是指為了使轉子4旋轉至經決定的轉速為止所需的馬達42的扭矩比起通常為過大的狀態。真空泵1為過載狀態例如表示生成物大量堆積在真空泵1的內部的狀態。若此狀態長期持續，則有可能發生堆積的生成物與真空泵1的轉子葉片22接觸而損壞轉子葉片22的故障。

異常發生條件CON規定了：當由位移感測器44A～位移感測器44C所測定出的軸21的位置以規定的變動幅度以上發生了變動時、或者當軸21的位置從軸線A1以規定的範圍發生了偏離時，軸21（轉子4）的位置發生了異常。軸21的位置異常是與真空泵1的振動相關的異常，表示真空泵1產生了振動的狀態。當真空泵1產生了振動的情況下，例如真空泵1的轉子葉片22有可能與其他零件（例如定子葉片31）等接觸。其結果，當真空泵1產生了振動時，轉子葉片22（以及定子葉片31）有可能發生損壞。而且，真空泵1產生了振動例如有可能表示生成物大量堆積於真空泵1的轉子4的狀態。其原因在於，因生成物的堆積導致轉子4的平衡被破壞。

異常發生條件CON規定了：當由馬達電流測定裝置45所測定出的馬達42的電流值成為規定的值以上時，馬達42的電流值發生了異常。所述馬達42的電流異常表示馬達42正以產生了過大的扭矩的狀態而運行。即，馬達42的電流異常是與真空泵1的負載相關的異常，表示真空泵1為過載狀態。真空泵1為過載狀態例如表示生成物大量堆積在真空泵1的內部的狀態。

異常發生條件CON規定了：當由溫度感測器52所測定出的底座3的溫度為規定溫度以下，和/或由加熱器電流測定裝置53所測定出的加熱器51的電流值為規定的值以下時，發生了與真空泵1的溫度相關的異常。與真空泵1的溫度相關的異常表示了真空泵1的溫度調節未能適當進行的狀態。若真空泵1的溫度調節未能適當進行，則生成物會堆積在真空泵1的內部，所述生成物有可能與轉子葉片22接觸而導致轉子葉片22發生損壞。與溫度相關的異常例如多起因於加熱器51的斷線、溫度感測器52的故障等。而且，當真空泵1的溫度成為規定的值以上時，通過熱控開關（未圖示）來停止對加熱器51的電力供給。

異常發生計數器CNT是表示所述異常的發生次數的資訊。具體而言，異常發生計數器CNT表示所述多種異常（與負載相關的異常、與溫度相關的異常、與振動相關的異常）各自的發生次數。

重大警報條件RCO對產生用於使真空泵1的運行模式轉變為運行限制模式的警報（稱作重大警報）的條件進行規定。運行限制模式是指在產生了重大警報而真空泵1停止後使真空泵1重新啟動時，比通常時限制真空泵的運行的運行模式。重大警報條件RCO記憶所述多種異常各自發生了多少次時產生重大警報。具體而言，重大警報條件RCO例如規定了：當與振動相關的異常發生了第一閾值以上，且與負載相關的異常發生了第二閾值以上，且與溫度相關的異常發生了第三閾值以上時，產生重大警報。

用戶可使用操作裝置7來任意變更重大警報條件RCO中所含的所述第一閾值～第三閾值。而且，用戶可使用操作裝置7從多種（三種）異常（與負載相關的異常、與溫度相關的異常、與振動相關的異常）中任意選擇重大警報條件RCO中所含的兩種以上的異常。由此，可根據使用真空泵1的環境來將重大警報的產生條件設定為最佳。

重大警報產生歷史AH是表示是否產生了重大警報的資訊。重大警報產生歷史AH例如可設為下述標記資訊，即，在產生了重大警報的情況下為值「1」，在未產生重大警報的情況下為「0」。解除密碼PW是用於解除所產生的重大警報的密碼。

控制部62是包含構成控制裝置6的CPU與各種接口的硬體部分，執行真空泵1的控制。控制部62通過執行記憶於記憶部61中的程式來實現與真空泵1的控制相關的功能。而且，一部分功能也可通過控制部62中所含的硬體來實現。

＜真空泵的運行＞ 以下，使用圖3來說明真空泵1的運行。圖3是表示真空泵1的運行的流程圖。圖3所示的真空泵1的運行是如下情況下的運行：在真空泵1的啟動前未產生重大警報，真空泵1的運行模式未變為運行限制模式。此運行是由真空泵1的控制裝置6來執行。

當真空泵1啟動而運行開始時，控制部62在真空泵1的運行過程中分別獲取由轉速感測器43所測定出的轉子4的轉速、由位移感測器44A～位移感測器44C所測定出的軸21的位置、由馬達電流測定裝置45所測定出的馬達42的電流值、由溫度感測器52所測定出的底座3的溫度、以及由加熱器電流測定裝置53所測定出的加熱器51的電流值（步驟S1）。

接下來，控制部62判斷在步驟S1中獲取的轉子4的轉速、軸21的位置、馬達42的電流值、底座3的溫度以及加熱器51的電流值是否符合異常發生條件CON所示的異常發生的條件。例如，控制部62對這些測定值與異常發生條件CON所示的各閾值進行比較（步驟S2）。

在所述比較的結果為所述任一個感測器的測定值符合異常發生條件CON所示的異常發生的條件，例如，任一個感測器的測定值超過了閾值的情況下（步驟S2中為「是」），控制部62判斷為發生了與呈現出跟異常發生條件相符的測定值的項目（轉子4的轉速、軸21的振動、馬達42的電流值、底座3的溫度、加熱器51的電流值）對應的種類的異常（與真空泵1的振動相關的異常、與轉子4的轉速相關的異常、與真空泵1的溫度相關的異常）（步驟S3）。另外，當判斷為發生了異常時，控制部62例如也可發出聲音、在操作裝置7的顯示器上進行發生了異常的意旨的顯示等，而通知異常的發生。

另一方面，在所述比較的結果為，所述任一個感測器的測定值不符合異常發生條件CON所示的異常發生的條件的情況下（步驟S2中為「否」），使真空泵1的運行返回步驟S1。即，控制部62判斷為真空泵1未發生異常，而繼續真空泵1的運行。

當在步驟S3中判斷為發生了異常的情況下，控制部62在異常發生計數器CNT中，使在步驟S3中判斷為發生的種類的異常的發生次數增加1（步驟S4）。

隨後，控制部62對異常發生計數器CNT與重大警報條件RCO進行比較，判斷異常發生計數器CNT所示的多種異常各自的發生次數是否符合重大警報條件RCO所示的重大警報的產生條件（步驟S5）。具體而言，例如在異常發生計數器CNT中，當與振動相關的異常的發生次數為第一閾值以上，且與負載相關的異常的發生次數為第二閾值以上，且與溫度相關的異常的發生次數為第三閾值以上時，控制部62判斷為多種異常各自的發生次數符合重大警報條件RCO所示的重大警報的產生條件。

在多種異常各自的發生次數符合重大警報的產生條件的情況下（步驟S5中為「是」），控制部62判斷為產生了重大警報（步驟S6）。另外，當在步驟S6中判斷為產生了重大警報時，控制部62例如也可發出聲音、在操作裝置7的顯示器上進行產生了重大警報的意旨的顯示等，而通知重大警報的產生。

當判斷為產生了重大警報時，控制部62將產生了重大警報的情況記錄至記憶部61（步驟S7）。具體而言，控制部62在記憶於記憶部61的重大警報產生歷史AH中記錄產生了重大警報的意旨。更具體而言，控制部62例如在重大警報產生歷史AH中記錄值「1」，從而記錄重大警報產生標記為「開啟（ON）」的情況。

隨後，控制部62使真空泵1停止以作為保護動作（步驟S8）。另外，即便真空泵1停止而真空泵1（控制裝置6）的電源被設為斷開，記錄在重大警報產生歷史AH中的資訊也不會被重置。即，重大警報產生歷史AH被記憶於記憶部61中的、即便控制裝置6的電力供給被中斷也能夠保持資訊的記憶區域（例如硬式磁碟機（Hard Disk Drive，HDD）、固態硬碟（Solid State Drive，SSD）、電子可抹除可程式唯讀記憶體（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory，EEPROM）等的非揮發性記憶體的記憶區域）。

通過執行所述的步驟S1～步驟S8，控制部62能夠不僅在一種異常的發生次數，而且在多種異常的發生次數各自超過規定閾值時方才判斷為產生了重大警報。其結果，例如在由於僅一種異常的發生次數少於多個其他異常的發生次數而真空泵1發生故障的可能性低的情況下，能夠防止誤產生重大警報。

而且，通過在多種異常的發生次數各自超過規定閾值時產生重大警報，從而能夠對用戶敦促真空泵1的修理和/或更換。例如，與真空泵1的振動相關的異常、與轉子4的轉速相關的異常、與真空泵1的溫度相關的異常分別具有與生成物的堆積的關係性，因此在產生重大警報的情況下，能夠推測為生成物的堆積過剩，敦促進行去除生成物的檢修（overhaul）。

＜真空泵的啟動動作＞ 接下來，使用圖4來說明真空泵1的啟動動作。圖4是表示真空泵1的啟動動作的流程圖。當真空泵1的電源被接通而真空泵1開始啟動時，控制部62判斷記憶於記憶部61中的重大警報產生歷史AH是否表示在此次的啟動前產生了重大警報（步驟S11）。具體而言，例如控制部62判斷重大警報產生歷史AH的值是否為「1」，重大警報產生標記是否為「開啟（ON）」。

在重大警報產生歷史AH並非表示重大警報的產生的情況下（步驟S11中為「否」），控制部62使真空泵1以通常的運行模式運行（步驟S12）。即，控制部62執行上文說明的步驟S1～步驟S8。

另一方面，在重大警報產生歷史AH表示了重大警報的產生的情況下（步驟S11中為「是」），控制部62判斷真空泵1的運行模式為運行限制模式，使真空泵1以運行限制模式運行。

具體而言，控制部62首先從啟動開始使真空泵1運行規定時間（步驟S13）。例如，在通過真空泵1來進行抽真空的排氣對象為半導體製造製程中所用的腔室的情況下，控制部62例如從啟動開始使真空泵1運行能夠執行規定次數的半導體製造製程的時間。控制部62例如從啟動開始使真空泵1運行兩小時。

在使真空泵1從啟動開始運行規定時間後，控制部62使真空泵1停止（步驟S14）。

通過如上所述那樣在真空泵1的啟動時執行所述的步驟S11～步驟S14，從而控制部62能夠在真空泵1的啟動前產生了重大警報的情況下使其轉變為限制真空泵1的運行模式的運行限制模式，防止真空泵1進行通常運行而造成故障。而且，在運行限制模式中，使真空泵1運行規定時間，由此，既能檢查真空泵1的運行狀態，又能將真空泵1使用規定時間。

＜重大警報的解除方法＞ 以下，說明在產生重大警報時進行了真空泵1的修理/更換等後解除重大警報的方法。重大警報能夠通過用戶使用操作裝置7來輸入專用的密碼而解除。

具體而言，當使用操作裝置7輸入了密碼時，控制部62對所輸入的密碼與記憶於記憶部61中的解除密碼PW進行比較。當所述比較的結果為，所輸入的密碼與解除密碼PW一致時，控制部62在重大警報產生歷史AH中記錄未產生重大警報。具體而言，例如將重大警報產生歷史AH的值由「1」變更為「0」，將重大警報產生標記設為「關閉（OFF）」。

通過如上所述那樣使用專用的密碼來許可重大警報的解除，從而能夠防止重大警報被自由解除的情況。其結果，當真空泵1發生故障的可能性高時，能夠防止真空泵1不慎運行的情況。

以上，對本發明的一實施方式進行了說明，但本發明並不限定於所述實施方式，可在不脫離發明主旨的範圍內進行各種變更。

關於在運行限制模式中如何限制真空泵1的運行，並不限於只能使真空泵1運行規定時間，可根據真空泵1的使用環境等來適當設定。

所述的實施方式的真空泵1中，渦輪分子泵部也可予以省略。即，真空泵1也可為螺紋槽泵。

本領域技術人員當理解，所述的多個例示性的實施方式為以下形態的具體例。

（第一形態）控制裝置為真空泵的控制裝置，所述真空泵通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體。控制裝置包括控制部。控制部對真空泵中發生的多種異常各自的發生次數進行計數，在多種異常的發生次數分別超過規定閾值的情況下，產生重大警報。

第一形態的控制裝置中，當真空泵中發生的多種真空泵的各異常的發生次數超過規定閾值時，產生重大警報。即，是否產生重大警報，是根據多種異常各自的發生次數來決定。由此，在僅一種異常的發生次數多而其他種類的異常的發生次數少，因而真空泵發生故障的可能性低的情況下，能夠防止誤產生重大警報。另外，所謂重大警報的產生，未必需要告知給用戶（顯示或發聲等），也可僅記憶於記憶部中。

（第二形態）第一形態的控制裝置中，控制部在多種異常的發生次數分別超過規定閾值的情況下，使真空泵的運行模式轉變為運行限制模式，運行限制模式是在使真空泵停止後重新啟動時，比通常時限制真空泵的運行。

第二形態的控制裝置中，當真空泵中發生的多種異常各自的發生次數超過規定閾值時，真空泵的運行模式轉變為運行限制模式。即，是否轉變為運行限制模式，是根據多種異常各自的發生次數而決定。由此，在僅一種異常的發生次數多而其他異常的發生次數少，從而真空泵發生故障的可能性低的情況下，能夠防止運行模式誤轉變為運行限制模式。

（第三形態）第二形態的控制裝置中，也可為，控制部在真空泵的運行模式為運行限制模式的情況下，使真空泵從啟動開始運行了規定時間後停止。第二形態的控制裝置中，既能檢查真空泵的運行狀態，又能將真空泵使用規定時間。

（第四形態）第二形態或第三形態的控制裝置中，控制裝置也可還包括記憶部。在此情況下，也可為，控制部在產生了重大警報時，將表示產生了重大警報的重大警報產生歷史記憶至記憶部，在重新啟動真空泵時，在重大警報產生歷史表示了重大警報的產生的情況下，判斷真空泵的運行模式為運行限制模式。第四形態的控制裝置中，當產生了重大警報時，將此情況記憶至記憶部中，由此能夠掌握在真空泵的重新啟動前產生了重大警報的情況，從而能夠在重新啟動時設為運行限制模式來使真空泵運行。

（第五形態）第二形態至第四形態的任一形態的控制裝置中，也可為，控制部在輸入了專用密碼時解除運行限制模式。第五形態的控制裝置中，能夠防止重大警報被自由解除的情況，從而當真空泵發生故障的可能性高時能夠防止真空泵1不慎運行。

（第六形態）第一形態至第五形態的任一形態的控制裝置中，也可為，規定閾值能夠變更。第六形態的控制裝置中，能夠根據使用真空泵的環境來將重大警報的產生條件（向運行限制模式的轉變條件）設定為最佳。

（第七形態）第一形態至第六形態的任一形態的控制裝置中，也可為，多種異常是從與真空泵的振動相關的異常、與轉子的轉速相關的異常、與真空泵的溫度相關的異常中選擇的至少兩個異常。第七形態的控制裝置中，能夠基於會造成真空泵故障的多種異常的發生次數來適當地執行向運行限制模式的轉變（重大警報的產生）。例如，與真空泵的振動相關的異常、與轉子的轉速相關的異常、與真空泵的溫度相關的異常分別具有與生成物的堆積的關係性，因此在產生重大警報的情況下，能夠推測生成物的堆積過剩，敦促進行去除生成物的檢修。

（第八形態）第八形態的控制方法是是真空泵的控制方法，所述真空泵通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體。控制方法包括下述步驟：對真空泵中發生的多種異常各自的發生次數進行計數；以及在多種異常各自的發生次數超過規定閾值的情況下，產生重大警報。

第八形態的控制方法中，當真空泵中發生的多種真空泵的各異常的發生次數超過規定閾值時，產生重大警報。即，是否產生重大警報，是根據多種異常各自的發生次數來決定。由此，在僅一種異常的發生次數多而多個其他異常的發生次數少，因而真空泵發生故障的可能性低的情況下，能夠防止誤產生重大警報。

上文中對各種實施方式以及變形例進行了說明，但本發明並不限定於這些內容。而且，各實施方式以及變形例既可分別單獨適用，也可組合使用。在本發明的技術思想的範圍內想出的其他形態也包含在本發明的範圍內。

1:真空泵 2:殼體 3:底座 4:轉子 5:定子 6:控制裝置 7:操作裝置 11:第一端部 12:第二端部 13:進氣口 14:底座端部 16:排氣口 21:軸 22:轉子葉片 23:轉子圓筒部 31:定子葉片 32:定子圓筒部 33:框體 41A～41E:軸承 42:馬達 42A:馬達轉子 42B:馬達定子 43:轉速感測器 44A～44C:位移感測器 45:馬達電流測定裝置 51:加熱器 52:溫度感測器 53:加熱器電流測定裝置 61:記憶部 62:控制部 A1:軸線 AH:重大警報產生歷史 CNT:異常發生計數器 CON:異常發生條件 PW:解除密碼 RCO:重大警報條件 S1～S8、S11～S14:步驟 SP1:第一內部空間 SP2:第二內部空間

圖1是表示真空泵的結構的圖。 圖2是表示控制裝置的結構的圖。 圖3是表示真空泵的運行的流程圖。 圖4是表示真空泵1的啟動動作的流程圖。

S1~S8:步驟

Claims (11)

1. 一種控制裝置，為真空泵的控制裝置，所述真空泵通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體，所述控制裝置包括：控制部；第一感測器，用於判斷所述真空泵中是否發生第一異常；以及第二感測器，用於判斷所述真空泵中是否發生第二異常，所述控制部對所述第一感測器的值滿足指示所述第一異常發生的條件的次數以及所述第二感測器的值滿足指示所述第二異常發生的條件的次數進行計數，在所述第一感測器的值滿足指示所述第一異常發生的條件的次數超過第一規定閾值的情況下，且在所述第二感測器的值滿足指示所述第二異常發生的條件的次數超過第二規定閾值的情況下，產生重大警報。
2. 如請求項1所述的控制裝置，其中所述第一規定閾值或所述第二規定閾值能夠變更。
3. 如請求項1所述的控制裝置，其中所述第一異常與所述第二異常分別是從與真空泵的振動相關的異常、與所述轉子的轉速相關的異常、與真空泵的溫度相關的異常中選擇的其中一種異常。
4. 一種控制裝置，為真空泵的控制裝置，所述真空泵通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體，所述控制裝置包括控制部， 所述控制部對所述真空泵中發生的多種異常各自的發生次數進行計數，在多種異常的發生次數分別超過規定閾值的情況下，產生重大警報，所述控制部在多種異常的發生次數分別超過規定閾值的情況下，使所述真空泵的運行模式轉變為運行限制模式，所述運行限制模式是在使所述真空泵停止後重新啟動時，比通常時限制所述真空泵的運行。
5. 如請求項4所述的控制裝置，其中所述控制部在所述真空泵的運行模式為所述運行限制模式的情況下，使所述真空泵從啟動開始運行了規定時間後停止。
6. 如請求項4所述的控制裝置，還包括記憶部，所述控制部在產生了所述重大警報時，將表示產生了所述重大警報的重大警報產生歷史記憶至所述記憶部，在重新啟動所述真空泵時，在所述重大警報產生歷史表示所述重大警報的產生的情況下，判斷所述真空泵的運行模式為所述運行限制模式。
7. 如請求項4所述的控制裝置，其中所述控制部在輸入了專用密碼時解除所述運行限制模式。
8. 如請求項4至請求項7中任一項所述的控制裝置，其中所述規定閾值能夠變更。
9. 如請求項4至請求項7中任一項所述的控制裝置，其中 所述多種異常是從與真空泵的振動相關的異常、與所述轉子的轉速相關的異常、與真空泵的溫度相關的異常中選擇的至少兩個異常。
10. 一種控制方法，是真空泵的控制方法，所述真空泵通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體，所述控制方法包括下述步驟：對所述真空泵中發生的多種異常各自的發生次數進行計數；在多種異常的發生次數分別超過規定閾值的情況下，產生重大警報；以及在多種異常的發生次數分別超過規定閾值的情況下，使所述真空泵的運行模式轉變為運行限制模式，所述運行限制模式是在使所述真空泵停止後重新啟動時，比通常時限制所述真空泵的運行。
11. 一種控制方法，為真空泵的控制方法，所述真空泵通過馬達來驅動轉子旋轉以排出氣體，所述真空泵包括用於判斷所述真空泵中是否發生第一異常的第一感測器以及用於判斷所述真空泵中是否發生第二異常的第二感測器，所述控制方法包括：對所述第一感測器的值滿足指示所述第一異常發生的條件的次數進行計數；對所述第二感測器的值滿足指示所述第二異常發生的條件的次數進行計數；以及在所述第一感測器的值滿足指示所述第一異常發生的條件的 次數超過第一規定閾值的情況下，且在所述第二感測器的值滿足指示所述第二異常發生的條件的次數超過第二規定閾值的情況下，產生重大警報。