TWI820966B - 氣體檢測系統及其氣體檢測方法 - Google Patents

Abstract

一種氣體檢測系統包含一櫃體、一管路模組、一氣體分析儀、一閥件及一控制單元。管路模組具有一管線組、一注氣嘴及一排氣口，管線組位於櫃體內，分別連接注氣嘴及排氣口。注氣嘴以供自外部注入一受測氣體。排氣口以供排出受測氣體。氣體分析儀安裝於櫃體內，接通管線組，用以分析自管線組取得之受測氣體。此閥件安裝於管線組上，且介於注氣嘴與氣體分析儀之間，用以開啟或關閉注氣嘴與氣體分析儀的聯通。控制單元電連接所述閥件，用以控制閥件之開關。

Description

氣體檢測系統及其氣體檢測方法

本發明有關於一種檢測系統，尤指一種氣體檢測系統及其氣體檢測方法。

按，氣體檢測及分析用於偵測某些化學氣體之存在及濃度及判定其化學組合的重要手段。目前對於氣體檢測方式大多對待測氣瓶人工取樣之後，再以人工搬移至特定分析項目之分析設備，以進行氣體檢測及分析。

然而，在面對多種分析項目時，上述氣體檢測方式不僅需要每次重複取樣及搬移至特定分析設備，如此，需要耗費多次送測時間及分析時間，且對待測氣瓶之頻繁取樣也容易造成氣體洩漏之風險，相當耗時及不便。

由此可見，上述技術顯然仍存在不便與缺陷，而有待加以進一步改良。因此，如何能有效地解決上述不便與缺陷，實屬當前重要研發課題之一，亦成爲當前相關領域亟需改進的目標。

本發明之一目的在於提供一種氣體檢測系統及其氣體檢測方法，用以解決以上先前技術所提到的困難。

本發明之一實施例提供一種氣體檢測系統。氣體檢測系統包含一櫃體、一管路模組、至少一氣體分析儀、一閥件總成及一控制單元。管路模組具有一管線組、一第一注氣嘴及一排氣口。管線組安裝於櫃體內，分別連接第一注氣嘴及排氣口。第一注氣嘴以供自外部注入一受測氣體，排氣口以供排出受測氣體。氣體分析儀安裝於櫃體內，接通管線組，用以分析自管線組取得之受測氣體。閥件總成包含至少一第一閥件。第一閥件安裝於管線組上，且介於第一注氣嘴與氣體分析儀之間，用以可回復地切斷第一注氣嘴與氣體分析儀的聯通。控制單元電連接第一閥件，用以控制第一閥件之開關。

本發明之一實施例提供一種氣體檢測系統之氣體檢測方法。氣體檢測方法包含數個步驟如下。注入一受測氣體至氣體檢測系統之管路模組內，且管路模組包含多個分支管路，每個分支管路皆設有氣體分析儀及閥件，閥件用以可回復地隔絕受測氣體到達對應之氣體分析儀。開啟至少其中一分支管路的閥件，使得受測氣體得以沿著分支管路到達對應之氣體分析儀；透過氣體分析儀分析自分支管路取得之受測氣體，並輸出受測氣體之分析數據；以及將受測氣體排出管路模組。

如此，透過以上各實施例之所述架構，本發明能夠將一或多種分析儀進行系統整合，如此，不僅能夠節省多次送測時間及分析時間，且亦可降低待測氣瓶造成氣體洩漏之風險。

以上所述僅係用以闡述本發明所欲解決的問題、解決問題的技術手段、及其產生的功效等等，本發明之具體細節將在下文的實施方式及相關圖式中詳細介紹。

以下將以圖式揭露本發明之複數個實施例，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明各實施例中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。

第1圖為本發明之氣體檢測系統10的簡易示意圖。如第1圖所示，氣體檢測系統10包含一櫃體100、一管路模組200、一氣體分析儀600、一閥件總成700及一中控系統900。管路模組200具有一管線組210、一第一注氣嘴510及一排氣口560。第一注氣嘴510與排氣口560分別固設於櫃體100之表面，且管線組210固定於櫃體100內。管線組210之一端接通第一注氣嘴510，且另端接通排氣口560。第一注氣嘴510以供自外部注入一受測氣體，且排氣口560以供排出所述受測氣體。舉例來說，第一注氣嘴510以供接上一內含受測氣體之鋼瓶C或一外接氣管(圖中未示)，且排氣口560以供接上一抽風設備V或外接氣管(圖中未示)，本實施例中所述之受測氣體例如為氯化氫(HCl)、氯氣(Cl2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氦(He)、氬(Ar)、六氟丁二烯(C4F6)、二氟甲烷(CH2F2)、氟甲烷(CH3F)、八氟環丁烷(C4F8)、三氟甲烷(CHF3)、氫氟酸(HF)、六氟化鎢(WF6)、二氯矽烷(SiH2Cl2)、甲矽烷(SiH4)等氣體，然而，本發明不限於此。

氣體分析儀600安裝於櫃體100內，且接通至管線組210之一部份。閥件總成700包含一前閥件710與一後閥件720。前閥件710安裝於管線組210上，介於第一注氣嘴510與氣體分析儀600之間，用以切斷或恢復第一注氣嘴510與氣體分析儀600的聯通。後閥件720安裝於管線組210上，介於排氣口560與氣體分析儀600之間，用以切斷或恢復排氣口560與氣體分析儀600彼此的聯通。

中控系統900包含一控制單元910、一邏輯電路920及一操作面板930。控制單元910電連接邏輯電路920及操作面板930，且控制單元910依據邏輯電路920之程式內容自動執行特定檢測程序，並透過操作面板930回報檢測結果。更具體地，控制單元910電連接前閥件710與後閥件720，用以分別控制前閥件710與後閥件720之開關。操作面板930電連接氣體分析儀600，用以透過控制單元910指示前閥件710與後閥件720之開關，以及將氣體分析儀600所輸出之分析數據傳至操作面板930之顯示螢幕或資料庫(圖中未示)中。舉例來說，中控系統900位於櫃體100上，然而，本發明不限於此。

如此，當氣體檢測系統10欲進行氣體分析程序時，透過上述程式內容自動執行，控制單元910能夠開啟上述前閥件710與後閥件720；接著，如方向D所示，將受測氣體從第一注氣嘴510引入管線組210內，並於通過氣體分析儀600之後，由氣體分析儀600分析自管線組210所取得之受測氣體，並將分析數據傳至中控系統900。

反之，當氣體分析程序完成時，透過上述程式內容自動執行，控制單元910關閉上述前閥件710與後閥件720。故，受測氣體便被阻隔絕而無法被傳導至氣體分析儀600。然而，本發明不限於此，其他實施例中亦允許讓操作人員透過操作面板930手動指示控制單元910執行或終止上述氣體分析程序。

此外，氣體檢測系統10包含一第一氣壓傳感器810及一流量控制元件860。第一氣壓傳感器810安裝於管線組210上，介於後閥件720與流量控制元件860之間，用以感測管線組210的管內壓力。第一氣壓傳感器810更電連接操作面板930及控制單元910，並將第一氣壓傳感器810之感測結果顯示於操作面板930之顯示面板，然而，本發明不限於此。流量控制元件860安裝於管線組210上，用以因應第一氣壓傳感器810之感測結果，對應調整管線組210的管內壓力。

如此，透過流量控制元件860調整管線組210的管內壓力，氣體檢測系統10能夠讓受測氣體自動進樣至氣體分析儀600，讓氣體分析儀600維持穩定運作，從而節省多次送測時間及分析時間，且亦可降低待測氣瓶造成氣體洩漏之風險。

第2圖為本發明一實施例之氣體檢測系統11的管路架構圖。第3圖為第2圖之氣體檢測系統11的電子方塊圖。如第2圖與第3圖所示，本實施例之氣體檢測系統11與上述大致相同，其差異在於，本實施例之氣體檢測系統11能在氣體分析之前，進行自動沖吹置換、標準氣體基準點校正及檢量線校正，接著可依分析儀器需求同步或依序將同一氣體(如受測氣體)分別導入多種氣體分析儀600，以接受各自之檢測分析。藉由分析時環境氣氛控制，達到高準精確分析結果，從而降低人為操作誤差值，達到同一氣體多重分析之目的。

更具體地，在本實施例中，氣體檢測系統11之管線組210更包含一前段管路211、一後段管路212及多個(例如四個)分支管路213。前段管路211連接第一注氣嘴510。後段管路212連接排氣口560。這些分支管路213位於前段管路211與後段管路212之間，且每個分支管路213分別連通前段管路211及後段管路212。此外，氣體檢測系統11具有多個氣體分析儀600(例如四個)、多個第一前閥件731(例如四個)與多個第一後閥件732(例如四個)。每個分支管路213上皆安裝有其中一氣體分析儀600、第一前閥件731與第一後閥件732，且同一個分支管路213上之氣體分析儀600位於對應之第一前閥件731與第一後閥件732之間。

氣體檢測系統11包含一分析配件440及一第七注氣嘴580。第七注氣嘴580固設於櫃體100之表面。管路模組200具有一連接分析配件440及第七注氣嘴580之第五外接管路260。第七注氣嘴580以供接上一內含受測氣體之鋼瓶C或一外接氣管(圖中未示)。第七注氣嘴580用以供自外部注入一稀釋氣體，稀釋氣體沿著第五外接管路260流至分析配件440。舉例來說，分析配件440為一種能夠接收稀釋氣體與標準氣體並混合出不同比例混合氣體之混合裝置，且本文之稀釋氣體為氮氣(N2)、氦(He)、氬(Ar)等氣體。閥件總成700包含一第五閥件763，第五閥件763安裝於第五外接管路260上，電連接控制單元910，用以切斷或恢復分析配件440與第七注氣嘴580的聯通。

更具體地，標準氣體基準點校正之執行例如先透過開啟第五分支閥件775、關閉特定之第一前閥件731，並由第六注氣嘴570注入標準氣體至特定之氣體分析儀600。檢量線校正之執行例如先開啟第四前閥件761、第四後閥件762、第五閥件763與第三分支閥件773，並由第四注氣嘴540注入一標準氣體進入分析配件440中，並由第七注氣嘴580注入不同比例的稀釋標準氣體，並導入氣體分析儀600中，進行檢量線製作。須了解到，本發明所屬領域具有通常知識者可以依據需求或限制為特定之氣體分析儀前預先安裝上述之管路架構。

故，當氣體檢測系統11欲進行多重氣體分析時，透過上述程式內容自動執行，控制單元910因應第一氣壓傳感器810所感應到的壓力值，指示流量控制元件860運轉而讓受測氣體自動從第一注氣嘴510進入前段管路211，並沿著前段管路211到達這些分支管路213。接著，控制單元910能夠選擇同步或依序開啟一個、幾個或全部分支管路213上所設置之第一前閥件731及第一後閥件732，從而讓受測氣體沿著上述一或多個分支管路213而到達對應之氣體分析儀600。然而，本發明不限於此，其他實施例中亦允許讓操作人員透過操作面板930手動指示控制單元910(第1圖)執行或終止上述氣體分析程序。

須了解到，這些氣體分析儀600不限於具有相同或不同之分析功能，舉例來說，其分析項目如下，氣體水含量、氣體純度比、氣體比重、氣相層析、氣體懸浮顆粒、微含量氣體檢測等等，然而，本發明不限於此。

更進一步地，氣體檢測系統11包含一安裝於前段管路211上之第二氣壓傳感器820。閥件總成更包含配置於前段管路211上之一第二前閥件741與一第二後閥件742。第二前閥件741介於第一注氣嘴510與第二氣壓傳感器820之間，且第二後閥件742介於第二氣壓傳感器820與第一前閥件731之間。第二氣壓傳感器820位於第二前閥件741與第二後閥件742之間，用以感測管線組210於第二前閥件741與第二後閥件742之間的管內壓力。第二前閥件741用以切斷或恢復第一注氣嘴510與第二氣壓傳感器820的聯通。第二後閥件742用以切斷或恢復第一注氣嘴510與分支管路213的聯通。

管路模組更包含一或多個(如二個)第二注氣嘴520。管線組210更包含一分流管路214及一第一外接管路220。分流管路214之二端分別連接前段管路211與後段管路212，亦即，前段管路211內之任意氣體可以不經由分支管路213而自排氣口560排出。舉例來說，第二注氣嘴520分別或共同接上一自動吹沖裝置B。

第一外接管路220之一端接通前段管路211，其另端以分歧管形式分別接通此些第二注氣嘴520。閥件總成更包含安裝於第一外接管路220上之二第三前閥件751及一第三後閥件752。第三前閥件751分別電連接控制單元910，且每個第三前閥件751用以切斷或恢復前段管路211與第二注氣嘴520的聯通。氣體檢測系統11包含一安裝於第一外接管路220上之第三氣壓傳感器830。第三氣壓傳感器830位於第三前閥件751及第三後閥件752之間，用以感測第一外接管路220於第三前閥件751及第三後閥件752之間的管內壓力。

閥件總成更包含配置於分流管路214上之第一分支閥件771及多個第二分支閥件772。第一分支閥件771電連接控制單元910，用以切斷或恢復後段管路212與前段管路211的聯通。氣體檢測系統11包含一安裝於前段管路211上之第四氣壓傳感器840。第四氣壓傳感器840位於第一分支閥件771之上游，用以感測分流管路214上的管內壓力。

再者，管路模組更包含多個第三注氣嘴530，管線組210更包含多個第二外接管路230，且閥件總成更包含多個第二分支閥件772。每個第二外接管路230連通其中一第三注氣嘴530以及其中一分支管路213，且這些第二分支閥件772分別安裝於第二外接管路230上，且電連接控制單元910，用以切斷或恢復分支管路213與第三注氣嘴530的聯通。每個第三注氣嘴530以供自外部注入一養護氣體，讓氣體分析儀600在不進行氣體分析時進行設備保養維護。養護氣體沿著對應之分支管路213而流至與其對應之氣體分析儀600。舉例來說，第三注氣嘴530以供接上一內含養護氣體之鋼瓶或一外接氣管(圖中未示)，且本文之養護氣體例如為氮氣(N2)、氦(He)、氬(Ar)等氣體，然而，本發明不限於此。

如此，當氣體檢測系統11欲進行氣體分析儀600之維護程序時，透過上述程式內容自動執行，控制單元910選擇關閉所有第一前閥件731以及開啟所有第二分支閥件772與第一後閥件732；接著，控制單元910依第一氣壓傳感器810之數值，指示流量控制元件860運轉，控制後段管路212之內壓，且開啟第二分支閥件772，指示養護氣體由第三注氣嘴530沿著這些分支管路213送至對應之氣體分析儀600，從而對此氣體分析儀600進行維護；另控制關閉第三後閥件752，由抽風設備V從排氣口560持續抽氣。然而，本發明不限於此，其他實施例中亦允許讓操作人員透過操作面板930手動指示控制單元910(第1圖)執行或終止上述分析儀之維護程序。

之後，當氣體檢測系統11欲進行管路清潔程序，透過上述程式內容自動執行，控制單元910選擇關閉所有第一前閥件731、第二後閥件742以及開啟第三前閥件751、第三後閥件752及第一分支閥件771；接著，待第四氣壓傳感器840偵測前段管路211為真空，以及指示開啟第三後閥件752並讓自動吹沖裝置B自外部注入一清潔氣體(或稱吹掃氣體)至第一外接管路220，並經由分流管路214而自排氣口560排出，以便對管線組210之前段管路211及分流管路214內部進行清潔。舉例來說，清潔氣體例如為氮氣(N2)、氦(He)、氬(Ar)等氣體，然而，本發明不限於此。

如此，由於氣體檢測系統11能夠對管路自動沖吹，從而避免管路之間的交叉污染。然而，本發明不限於此，其他實施例中亦允許讓操作人員透過操作面板930手動指示控制單元910(第1圖)執行或終止上述管路清潔程序。

管路模組更包含一或多個(如二個)第四注氣嘴540。管線組210更包含一校正管路組400，用於某個需要製作分析檢量線之特定氣體分析儀600。校正管路組400分別接通第四注氣嘴540、特定之其中一分支管路213以及後段管路212。在本實施例中，所述分支管路213介於特定之氣體分析儀600與特定之第一前閥件731之間的區段。任一第四注氣嘴540以供自外部注入一標準氣體，經主通道410至分析配件440，稀釋氣體從第七注氣嘴580通過第五閥件763至分析配件440，控制單元910指示分析配件440混合出多種特定濃度比利之稀釋標準氣體，再透過第一次通道420及分支管路213進入特定之氣體分析儀600，以便進行檢量線之建立，並且所述氣體接著自排氣口560排出。舉例來說，第四注氣嘴540以供接上一內含標準氣體之鋼瓶C或一外接氣管(圖中未示)，稀釋氣體由第五外接管路260進入分析配件440，依序混合不同濃度之稀釋標準氣體，再通入特定氣體分析儀600建立檢量線，且本實施例中所述之標準氣體例如為氯化氢(HCl)、氯氣(Cl2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氦(He)、氬(Ar)、六氟丁二烯(C4F6)、二氟甲烷(CH2F2)、氟甲烷(CH3F)、八氟環丁烷(C4F8)、三氟甲烷(CHF3)、氫氟酸(HF)、六氟化鎢(WF6)、二氯矽烷(SiH2Cl2)、甲矽烷(SiH4)等氣體；稀釋氣體例如：氦氣(He)、氮氣(N2)、氬氣(Ar)等氣體。然而，本發明不限於此。須了解到，本發明所屬領域具有通常知識者可以依據需求或限制為特定之氣體分析儀前預先安裝上述之管路架構。

如此，當氣體檢測系統11欲進行氣體分析儀600之檢量線校正程序時，透過上述程式內容自動執行，控制單元910選擇關閉對應之第一前閥件731及第二後閥件742並開啟第四前閥件761、第四後閥件762及第三分支閥件773；接著，控制單元910指示流量控制元件860運轉而自第四注氣嘴540引入標準氣體至對應之主通道410進入分析配件440，並開啟第五閥件763讓稀釋氣體通過第五外接管路260進入分析配件440，控制單元910依檢量線需求指示分析配件440調配出多種不同混合比例稀釋之標準氣體，經第一次通道420、分支管路213進入氣體分析儀600以執行檢量線之建立，之後，分析後之所述氣體經由後段管路212而自排氣口560排出，以供對應之氣體分析儀600進行檢量線校正。然而，本發明不限於此，其他實施例中亦允許讓操作人員透過操作面板930手動指示控制單元910(第1圖)執行或終止上述校正程序。

更具體地，校正管路組400包含一主通道410、一第一次通道420與一第二次通道430。主通道410之一端以分歧管形式接通此些第四注氣嘴540，另端接通分析配件440。第一次通道420分別連接分析配件440以及上述之分支管路213，且第二次通道430分別連接主通道 410以及後段管路212。閥件總成更包含二第四前閥件761、一第四後閥件762、一第三分支閥件773與一第四分支閥件774。第三分支閥件773安裝於第一次通道420上，且電連接控制單元910，用以切斷或恢復校正管路組400與上述之分支管路213的聯通。第四分支閥件774安裝於第二次通道430上，且電連接控制單元910，用以切斷或恢復校正管路組400與後段管路212的聯通。第四前閥件761及第四後閥件762安裝於校正管路組400上。第四前閥件761分別電連接控制單元910，且每個第四前閥件761用以切斷或恢復校正管路組400與第四注氣嘴540的聯通。氣體檢測系統11包含一第五氣壓傳感器850。第五氣壓傳感器850位於第四前閥件761及第四後閥件762之間，用以感測校正管路組400於第四前閥件761及第四後閥件762之間的管內壓力。如此，氣體檢測系統11能夠自動控制導入空白樣品氣體(如標準氣體)，以自動取樣空白樣品氣體，以避免分析誤差值並針對廢氣回灌部份建置管線系統(如盤面系統)，避免分析後廢氣回灌至氣體分析儀600。

此外，管路模組更包含一第五注氣嘴550，且管線組210更包含一第三外接管路240。第三外接管路240連通主通道410以及第五注氣嘴550，且第五注氣嘴550以供自外部注入一清潔氣體(或稱吹掃氣體)，清潔氣體沿著第三外接管路240及第二次通道430而流至排氣口560用以對校正管路進行清潔吹掃。舉例來說，第五注氣嘴550也可能接上上述之自動吹沖裝置B或類似裝置，以供輸出清潔氣體至第三外接管路240、主通道410及第二次通道430，並從排氣口560排出，且清潔氣體例如為 氮氣(N2)、氦(He)、氬(Ar)等氣體，然而，本發明不限於此。閥件總成更包含一第六分支閥件776，第六分支閥件776安裝於第三外接管路240上，且電連接控制單元910，用以切斷或恢復主通道410與第五注氣嘴550的聯通。須了解到，透過第五注氣嘴550及第三外接管路240進行管路清潔之程序，與透過第二注氣嘴520及前段管路211進行管路清潔之程序大致相似，故，再此不再加以贅述。

此外，在本實施例中，上述注氣嘴510、520、530、540、550、570、580及排氣口560分別固設於櫃體100之表面，然而，本發明不限於此。

須了解到，管線組210於圖中之表現形式僅為示意，並不侷限於其所表現之外型。此外，在上述各實施例中，管線組210例如為硬管或軟管之表現，然而，本發明不限於此。又，在上述各實施例中，流量控制元件860為質量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)或質量流量計(Mass Flow Meter，MFM)，為一種精確測量氣體流量的儀表，其不但具有測量流量的功能，還能進行氣體流量之控制。

如第3圖所示，氣體檢測系統更包含一加熱模組870。加熱模組870用以在氣體分析之前，加熱管線組210，以消除管路內水分，提高氣體分析精準度，從而讓整體流程更順暢。然而，本發明不限於此，其他實施例中亦可能容許全程或其餘時程對管線組210進行加熱。

在上述實施例中，氣體檢測系統之操作方法大致為對管路內部體吹沖置換，管路內部體吹沖置換後，則自動通入標準氣體進行檢測儀器校正，分析儀器校正完成後，開始依序通入待測氣體，進行氣體特性檢測分析，同時在分析廢氣部分，利用壓力傳感元件與流量控制元件控制廢氣端氣體環境，避免廢氣回灌分析儀器導致分析失真。分析完成後將分析數據回傳至中控系統或其他電腦系統。

第4圖為本發明一實施例之氣體檢測系統的氣體檢測方法的流程圖。如第4圖所示，氣體檢測方法包含步驟501~步驟507如下。在步驟501中，清潔管路模組並維護氣體分析儀。在步驟502中，使管內產生負壓，並將管內氣體排除。在步驟503中，通入標準氣體進行氣體分析儀校正。在步驟504中，清潔管路模組並維護氣體分析儀。在步驟505中，使管內產生負壓，並將管內氣體排除。在步驟506中，注入待測氣體依序或同步至各氣體分析儀。在步驟507中，氣體分析儀分析待測氣體，並輸出氣體分析儀之分析數據。

在步驟501與504中，更具體地，注入一清潔氣體(或稱吹掃氣體)至管路模組內以清潔管路模組之一部分，以及從這些分支管路分別注入一養護氣體至對應之氣體分析儀，以維護對應之氣體分析儀。在步驟502與505中，更具體地，將管路模組內之管內壓力降為負壓，以將清潔氣體及養護氣體排出管路模組之外。更進一步地，在步驟502與505中，感測管路模組內的管內壓力，接著，因應所感測的管內壓力，對應調整管路模組的管內壓力。在步驟503中，更具體地，注入一標準氣體至其中一氣體分析儀，以供此氣體分析儀進行校正；接著，注入一清潔氣體(或稱吹掃氣體)至管路模組內以清潔管路模組之一部分；接著，從這些分支管路分別注入一養護氣體至對應之氣體分析儀，以維護對應之氣體分析儀。在步驟506至507中，更具體地，注入一受測氣體至氣體檢測系統之管路模組內，選擇同步或依序開啟一個、幾個或全部分支管路上所設置之閥件，從而讓受測氣體沿著上述一或多個分支管路而到達對應之氣體分析儀；接著，透過氣體分析儀分析自分支管路取得之受測氣體，並輸出受測氣體之分析數據；以及將受測氣體排出管路模組。

在本實施例中，在步驟506之前，本方法更包含加熱氣體檢測系統之管路模組。更具體地，加熱氣體檢測系統之管路模組之步驟更包含數個步驟如下。透過一高頻加熱線圈加熱氣體檢測系統之管路模組。透過一熱風裝置朝管路模組之內管與外管之間所間隔出的管內氣隙內送入熱風。

如此，透過以上各實施例之所述架構，本發明能夠將一或多種分析儀進行系統整合，如此，不僅能夠節省多次送測時間及分析時間，且亦可降低待測氣瓶造成氣體洩漏之風險。

最後，上述所揭露之各實施例中，並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，皆可被保護於本發明中。因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10、11:氣體檢測系統

100:櫃體

200:管路模組

210:管線組

211:前段管路

212:後段管路

213:分支管路

214:分流管路

220:第一外接管路

230:第二外接管路

240:第三外接管路

260:第五外接管路

400:校正管路組

410:主通道

420:第一次通道

430:第二次通道

440:分析配件

501~507:步驟

510:第一注氣嘴

520:第二注氣嘴

530:第三注氣嘴

540:第四注氣嘴

550:第五注氣嘴

560:排氣口

570:第六注氣嘴

580:第七注氣嘴

600:氣體分析儀

700:閥件總成

710:前閥件

720:後閥件

731:第一前閥件

732:第一後閥件

741:第二前閥件

742:第二後閥件

751:第三前閥件

752:第三後閥件

761:第四前閥件

762:第四後閥件

763:第五閥件

771:第一分支閥件

772:第二分支閥件

773:第三分支閥件

774:第四分支閥件

775:第五分支閥件

776:第六分支閥件

810:第一氣壓傳感器

820:第二氣壓傳感器

830:第三氣壓傳感器

840:第四氣壓傳感器

850:第五氣壓傳感器

860:流量控制元件

870:加熱模組

900:中控系統

910:控制單元

920:邏輯電路

930:操作面板

B:自動吹沖裝置

C:鋼瓶

D:方向

V:抽風設備

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下： 第1圖為本發明之氣體檢測系統的簡易示意圖； 第2圖為本發明一實施例之氣體檢測系統的管路架構圖； 第3圖為第2圖之氣體檢測系統的電子方塊圖；以及 第4圖為本發明一實施例之氣體檢測系統的氣體檢測方法的流程圖。

國內寄存資訊(請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無 國外寄存資訊(請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

10:氣體檢測系統

100:櫃體

200:管路模組

210:管線組

510:第一注氣嘴

560:排氣口

600:氣體分析儀

700:閥件總成

710:前閥件

720:後閥件

810:第一氣壓傳感器

860:流量控制元件

900:中控系統

910:控制單元

920:邏輯電路

930:操作面板

C:鋼瓶

D:方向

V:抽風設備

Claims (16)

1. 一種氣體檢測系統，包含：一櫃體；一管路模組，具有一管線組、一第一注氣嘴及一排氣口，該管線組安裝於該櫃體內，分別連接該第一注氣嘴及該排氣口，該管線組包含一前段管路、一後段管路及複數個分支管路，該前段管路連接該第一注氣嘴，該後段管路連接該排氣口，該些分支管路位於該前段管路與該後段管路之間，該些分支管路中之每一者分別連通該前段管路及該後段管路，該第一注氣嘴以供自外部注入一受測氣體，該排氣口以供排出該受測氣體；複數個氣體分析儀，安裝於該櫃體內，接通該管線組，用以分析自該管線組取得之該受測氣體；一閥件總成，包含複數個第一閥件，該些第一閥件安裝於該管線組上，且介於該第一注氣嘴與該些氣體分析儀之間，用以可回復地切斷該前段管路與對應之該氣體分析儀的聯通，其中該些氣體分析儀中之每一者與該些第一閥件其中之一共同安裝於該些分支管路其中之一；以及一控制單元，電連接該第一閥件，用以控制該些第一閥件之開關，其中當該受測氣體沿著該前段管路進入該些分支管路時，該控制單元能夠開啟該些第一閥件至少其中之一，從而讓該受測氣體沿著相應該至少其中一第一閥件之該分支管路到達與其對應之該氣體分析儀。
2. 如請求項1所述之氣體檢測系統，其中該管路模組更包含至少一第二注氣嘴，該管線組更包含一分流管路及一第一外接管路，該分流管路分別連接該前段管路與該後段管路，該第一外接管路分別接通該前段管路及該第二注氣嘴；以及該閥件總成更包含一第二閥件，該第二閥件安裝於該第一外接管路上，且電連接該控制單元，用以可回復地切斷該前段管路與該第二注氣嘴的聯通。
3. 如請求項2所述之氣體檢測系統，更包含：一自動吹沖裝置，連接該第二注氣嘴，以供自外部注入一清潔氣體，其中當該控制單元關閉該些第一閥件以及開啟該第二閥件時，該自動吹沖裝置自該第二注氣嘴注入該清潔氣體至該第一外接管路，並經由該分流管路而自該排氣口排出。
4. 如請求項1所述之氣體檢測系統，更包含：一氣壓傳感器，安裝於該後段管路上，用以感測該後段管路的管內壓力；以及一流量控制元件，安裝於該後段管路上，用以因應該氣壓傳感器之感測結果，對應調整該後段管路的管內壓力。
5. 如請求項1所述之氣體檢測系統，其中該管 路模組更包含複數個第三注氣嘴，該管線組更包含複數個第二外接管路，該些第二外接管路中之每一者分別連通該些第三注氣嘴其中之一以及該些分支管路其中之一，該些第三注氣嘴中之每一者以供自外部注入一養護氣體至與其對應之該氣體分析儀，並且自該排氣口排出；以及該閥件總成更包含複數個第三閥件，該些第三閥件分別安裝於該些第二外接管路上，且電連接該控制單元，用以可回復地切斷該分支管路與該第三注氣嘴的聯通，其中當該控制單元開啟該些第三閥件以及關閉該些第一閥件時，該養護氣體被共同送至該些氣體分析儀並自該排氣口排出。
6. 如請求項1所述之氣體檢測系統，其中該管路模組更包含一第四注氣嘴，該管線組更包含一校正管路組，該校正管路組之一端連接該第四注氣嘴，另端連接至該管線組介於該些氣體分析儀其中之一與該些第一閥件之間的區段，該第四注氣嘴以供自外部注入一標準氣體，經該校正管路組至該其中一氣體分析儀，並且自該排氣口排出；以及該閥件總成更包含一第四閥件，該第四閥件安裝於該校正管路組上，且電連接該控制單元，用以可回復地切斷該第四注氣嘴與該其中一氣體分析儀的聯通，其中當該控制單元開啟該第四閥件以及關閉該些第一閥件時，該標準氣體能夠被送至該其中一氣體分析儀以供校 正該其中一氣體分析儀。
7. 如請求項1所述之氣體檢測系統，更包含：一加熱模組，用以加熱該管路模組。
8. 如請求項1所述之氣體檢測系統，更包含：一操作面板，位於該櫃體上，電連接該控制單元及該些氣體分析儀，用以透過該控制單元指示該閥件總成作動，以及顯示該些氣體分析儀所輸出之分析數據。
9. 一種氣體檢測系統之氣體檢測方法，包含：注入一受測氣體至一氣體檢測系統之一管路模組內，其中該管路模組包含複數個分支管路，該些分支管路中之每一者皆設有一氣體分析儀及一閥件，該閥件用以可回復地隔絕該受測氣體到達該氣體分析儀；開啟該些分支管路至少其中之一的該閥件，使得該受測氣體得以沿著該至少其中一分支管路到達對應之該氣體分析儀；透過該氣體分析儀分析自該至少其中一分支管路取得之該受測氣體，並輸出該受測氣體之分析數據；以及將該受測氣體排出該管路模組。
10. 如請求項9所述之氣體檢測方法，更包含：在將該受測氣體注入該管路模組之步驟之前，注入一清 潔氣體至該管路模組內以清潔該管路模組之一部分；以及從該些分支管路分別注入一養護氣體至對應之該氣體分析儀，以維護對應之該氣體分析儀。
11. 如請求項10所述之氣體檢測方法，更包含：在清潔該管路模組之步驟之後，將該管路模組內之管內壓力降為負壓，以將該清潔氣體及該養護氣體排出該管路模組之外。
12. 如請求項11所述之氣體檢測方法，更包含：在將該清潔氣體排出該管路模組之步驟以及將該受測氣體注入該管路模組之步驟之間，注入一標準氣體至該至少其中一分支管路所對應之該氣體分析儀，以供該氣體分析儀進行校正；在讓該氣體分析儀進行校正之步驟之後，注入一清潔氣體至該管路模組內以清潔該管路模組之該部分；以及從該些分支管路分別注入一養護氣體至對應之該氣體分析儀，以維護對應之該氣體分析儀。
13. 如請求項12所述之氣體檢測方法，更包含：在清潔該管路模組之步驟之後，將該管路模組內之該管內壓力降為負壓，以將該清潔氣體及該養護氣體排出該管路模組之外。
14. 如請求項11或13所述之氣體檢測方法，其中將該管路模組內之管內壓力降為負壓之步驟，更包含：感測該管路模組內的該管內壓力；以及因應所感測的該管內壓力，對應調整該管路模組的該管內壓力。
15. 如請求項9所述之氣體檢測方法，更包含：在將該受測氣體注入該管路模組之步驟之前，加熱該氣體檢測系統之該管路模組。
16. 如請求項9所述之氣體檢測方法，其中開啟該至少其中一分支管路的該閥件之步驟中，更包含：同步或依序開啟該些分支管路之至少二個上所設置之該些閥件，使得該受測氣體得以分別沿著該至少二個分支管路而到達對應之該些氣體分析儀。

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