TWI806590B

TWI806590B - 真空泵控制方法和真空製程系統

Info

Publication number: TWI806590B
Application number: TW111117033A
Authority: TW
Inventors: 張錦發
Original assignee: 鋒魁科技股份有限公司
Priority date: 2022-05-05
Filing date: 2022-05-05
Publication date: 2023-06-21
Also published as: TW202344752A

Abstract

一種真空泵控制方法應用於一真空製程系統。真空製程系統包括一真空泵和一製程機台，製程機台進行N段製程且N為自然數。真空泵包括一處理器、一馬達和一傳輸件。真空泵訊號連接製程機台。馬達用以抽取製程機台內部空氣。真空泵控制方法包括：於製程機台之第N段製程進行時，馬達以一標準轉速轉動；於該第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，製程機台傳送一待機指令給真空泵；真空泵接收並根據待機指令，調降馬達的轉速至一待機轉速。

Description

真空泵控制方法和真空製程系統

本發明係關於一種真空泵控制方法和真空製程系統，特別是一種可提升節能效果的真空泵控制方法和真空製程系統。

在工廠中，常會裝設真空泵以進行各類工業製程。一般的真空泵是以高速旋轉的馬達抽取相連接的機台裡的空氣，以使機台內部達到真空狀態。當相連的機台所執行的製程改變或需要調整轉速時，為了避免真空泵停機而出現卡死的狀況，工作人員通常會讓真空泵的馬達持續高速運轉，以維持真空泵的功能性。然而，讓真空泵持續高速運轉相當耗能，故會進一步提高製作成本。

因此，如何避免真空泵停機而出現卡死的狀況，同時又使真空泵節省能源，遂成為一值得探討的課題。

本發明之主要目的係在提供一種可提升節能效果的真空泵控制方法。

為達成上述之目的，本發明之一種真空泵控制方法應用於一真空製程系統。真空製程系統包括一真空泵和一製程機台，製程機台進行N段製程且N為自然數。真空泵包括一處理器、一馬達和一傳輸件。真空泵訊號連接製程機台。馬達用以抽取製程機台內部空氣。真空泵控制方法包括：於製程機台之第N段製程進行時，馬達以一標準轉速轉動；於第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，製程機台傳送一待機指令給真空泵；真空泵接收並根據待機指令，調降馬達的轉速至一待機轉速。

根據本發明的一實施例，真空泵更包括一控制面板。真空泵控制方法更包括：藉由處理器，根據馬達的轉速，調整控制面板的一模式顯示畫面。

根據本發明的一實施例，其中當製程機台重新開始製程時會傳送一啟動指令給真空泵。

根據本發明的一實施例，真空泵控制方法更包括：藉由傳輸件，接收啟動指令；藉由處理器，根據啟動指令，使馬達以標準轉速轉動。

本發明之主要目的係在提供一種可提升節能效果的真空製程系統。

為達成上述之目的，本發明之一種真空製程系統包括一製程機台和一真空泵。製程機台進行N段製程且N為自然數，於第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，製程機台傳送一待機指令。真空泵包括一馬達、一傳輸件和一處理器。馬達於製程機台之第N段製程進行時馬達以一標準轉速轉動。傳輸件訊號連接製程機台，用以接收待機指令。處理器訊號連接馬達並並依據待機指令將馬達的轉速調降至一待機轉速。

根據本發明的一實施例，其中真空泵更包括一控制面板，控制面板訊號連接處理器和馬達；處理器更用以根據馬達的轉速，調整控制面板的一模式顯示畫面。

根據本發明的一實施例，其中傳輸件更用以接收啟動指令；處理器更用以根據啟動指令，使馬達以標準轉速轉動。

為能更瞭解本發明之技術內容，特舉較佳具體實施例說明如下。

以下請一併參考圖1至圖4關於本發明之第一實施例之真空泵控制方法和真空製程系統。圖1係本發明之第一實施例之真空製程系統的系統架構圖。圖2係本發明之第一實施例之真空泵控制方法的步驟流程圖。圖3係本發明之第一實施例之控制面板的示意圖。圖4係本發明之第一實施例之待機模式的控制面板的示意圖。

如圖1和圖3所示，在本發明的第一實施例之中，真空製程系統900可以使機台內部成為真空狀態，並且具備良好的節能效果。真空製程系統900包括一製程機台100和一真空泵1。製程機台100例如真空鍍膜機，然而其種類不以上述為限，其亦可為其他需要根據製程需求而使機台內部成為真空狀態的設備。製程機台100進行N段製程且N為自然數；於第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，製程機台100傳送一待機指令給真空泵1。真空泵1用以連通一外部的製程機台100，以抽取製程機台100內部的空氣。真空泵1包括一處理器10、一馬達20、一控制面板30、一傳輸件40和一記憶體50。

在本發明的第一實施例之中，處理器10例如為一中央處理器(Central Processing Unit，CPU)，其訊號連接馬達20、控制面板30、傳輸件40和記憶體50，並控制馬達20、控制面板30、傳輸件40和記憶體50運作，例如可控制馬達20的轉速。馬達20以一標準轉速或一待機轉速轉動，並且藉由轉動而抽取製程機台100內部的空氣；標準轉速高於待機轉速。於製程機台100之第N段製程進行時，馬達20以標準轉速轉動。

控制面板30是一觸控面板，其用以供使用者觸控以接收各種操作指令(例如待機指令)，並且可以顯示資訊給使用者觀看。控制面板30包括一待機按鈕A、一啟動按鈕B、一停止按鈕C和複數顯示畫面。當使用者按下待機按鈕A時，會使真空泵1進入待機模式。當使用者按下啟動按鈕B，會使真空泵1之馬達20以標準轉速。當使用者按下停止按鈕C，會使運轉中的真空泵1停止運轉。顯示畫面用以顯示真空泵1的資訊，例如待機時間、馬達轉速、使用模式、序號、溫度資料、運轉時間紀錄…等等；然而，真空泵1的資訊的種類不以上述為限，其可依照實際使用需求而改變。

傳輸件40例如為一網路卡，其訊號連接製程機台100，以和製程機台100互相傳輸資訊。記憶體50用以儲存執行真空泵控制方法所需的軟體和資料。

本發明的真空泵控制方法編程為軟體，並儲存在記憶體50內。如圖1至圖3所示，當使用者欲使用真空泵控制方法時，可以先使製程機台100執行第N段製程(例如真空製程)，且當製程機台100執行第N段製程時，會傳送一啟動指令給真空泵1，此時，真空製程系統900會執行真空泵控制方法的軟體，以進行步驟101：於製程機台之第N段製程進行時，馬達以一標準轉速轉動。

如圖1和圖3所示，當製程機台100執行第N段製程時，會傳送啟動指令給真空泵1。真空泵1會將啟動指令傳送給處理器10，處理器10會根據啟動指令，控制馬達20以標準轉速轉動；此時馬達20會抽取製程機台100內部的空氣，而使用者可以操作製程機台100以進行真空製程。同時，控制面板30會顯示以標準轉速轉動時的真空泵1的資料，例如當下的使用模式是正常模式，馬達轉速是2000rpm。

當製程機台100結束第N段製程，且第N+1段製程尚未開始前，製程機台100會傳送一製程結束資料之待機指令給傳輸件40；此時，真空製程系統900會執行真空泵控制方法之步驟102：於第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，製程機台傳送一待機指令給真空泵。

傳輸件40接收製程機台100傳來的製程結束資料之待機指令，並傳送給處理器10。

接著，真空製程系統900會執行真空泵控制方法之步驟103：真空泵接收並根據待機指令，調降馬達的轉速至一待機轉速。

真空泵1之處理器10收到待機指令後，會根據待機指令，調降馬達20的轉速為一待機轉速。由於標準轉速高於待機轉速，因此馬達20降低轉速成為待機轉速後，馬達20的耗能會降低；且以待機轉速轉動的馬達20仍會持續運作並抽取空氣，故不會出現停機卡死的問題。另外，使用者不需要手動操作控制面板30，就能讓真空泵1自動配合製程機台100的製程結束之資料而進入待機模式。

接著，真空製程系統900會執行真空泵控制方法之104：藉由處理器，根據馬達的轉速，調整控制面板的一模式顯示畫面。

如圖1和圖4所示，處理器10調整馬達20的轉速為待機轉速後，也會根據馬達20當下的待機轉速，調整控制面板30的模式顯示畫面，以顯示用待機轉速轉動時的真空泵1的資料；例如當下的使用模式是待機模式，馬達轉速是1000rpm。

當使用者操作製程機台100已啟動第N+1段製程時，製程機台100會傳送一製程啟動資料之啟動指令給傳輸件40；此時，真空製程系統900會執行真空泵控制方法之105：藉由傳輸件，接收啟動指令。

傳輸件40接收製程機台100傳來的製程啟動資料之啟動指令，並傳送給處理器10。

最後，真空製程系統900會執行真空泵控制方法之步驟106：藉由處理器，根據啟動指令，使馬達以標準轉速轉動。

處理器10收到啟動指令後，會根據啟動指令，調整馬達20的轉速為標準轉速，因此馬達20可以重新抽取製程機台100內的空氣以配合製程機台100進行第N+1段製程。

藉由本發明的真空泵控制方法和真空製程系統900的設計，可以提昇的節能效果，並且可以讓真空製程系統900進入待機模式時也維持抽取空氣的功效，故不會出現停機卡死的問題。真空泵1亦可自動配合製程機台100的製程結束時的空檔而進入待機模式。

需注意的是，上述僅為實施例，而非限制於實施例。譬如此不脫離本發明基本架構者，皆應為本專利所主張之權利範圍，而應以專利申請範圍為準。

1:真空泵

10:處理器

20:馬達

30:控制面板

40:傳輸件

50:記憶體

100:製程機台

900:真空製程系統

A:待機按鈕

B:啟動按鈕

C:停止按鈕

圖1係本發明之第一實施例之真空製程系統的系統架構圖。圖2係本發明之第一實施例之真空泵控制方法的步驟流程圖。圖3係本發明之第一實施例之正常模式的控制面板的示意圖。圖4係本發明之第一實施例之待機模式的控制面板的示意圖。

步驟101:於製程機台之第N段製程進行時，馬達以一標準轉速轉動

步驟102:於第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，製程機台傳送一待機指令給真空泵

步驟103:真空泵接收並根據待機指令，調降馬達的轉速至一待機轉速

步驟104:藉由處理器，根據馬達的轉速，調整控制面板的模式顯示畫面

步驟105:藉由傳輸件，接收啟動指令

步驟106:藉由處理器，根據啟動指令，使馬達以標準轉速轉動

Claims

一種真空泵控制方法，應用於一真空製程系統，該真空製程系統包括一真空泵和一製程機台，其中該製程機台進行N段製程且N為自然數，該真空泵包括一處理器、一馬達和一傳輸件，該真空泵訊號連接該製程機台，該馬達用以抽取該製程機台內部空氣，該真空泵控制方法包括：於該製程機台之第N段製程進行時，該馬達以一標準轉速轉動；於該第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，該製程機台傳送一待機指令給該真空泵；以及該真空泵接收並根據該待機指令，調降該馬達的轉速至一待機轉速。
如請求項1所述之真空泵控制方法，其中該真空泵更包括一控制面板，該真空泵控制方法更包括：藉由該處理器，根據該馬達的轉速，調整該控制面板的一模式顯示畫面。
如請求項2所述之真空泵控制方法，其中當該製程機台重新開始製程時會傳送一啟動指令給該真空泵。
如請求項3所述之真空泵控制方法，更包括：藉由該傳輸件，接收該啟動指令；以及藉由該處理器，根據該啟動指令，使該馬達以該標準轉速轉動。
一種真空製程系統，包括：一製程機台，該製程機台進行N段製程且N為自然數，於該第N段製程停止且第N+1段製程尚未開始前，該製程機台傳送一待機指令；以及一真空泵，包括：一馬達，於該製程機台之第N段製程進行時該馬達以一標準轉速轉動；一傳輸件，訊號連接該製程機台，用以接收該待機指令；以及一處理器，訊號連接該馬達和傳輸件並依據該待機指令將該馬達的轉速調降至一待機轉速。
如請求項5所述之真空製程系統，其中該真空泵更包括一控制面板，該控制面板訊號連接該處理器和該馬達；該處理器更用以根據該馬達的轉速，調整該控制面板的一模式顯示畫面。
如請求項6所述之真空製程系統，其中當該製程機台重新開始製程時會傳送一啟動指令給該真空泵。
如請求項7所述之真空製程系統，其中該傳輸件更用以接收該啟動指令；該處理器更用以根據該啟動指令，使該馬達以該標準轉速轉動。