TWI803901B - 半導體設備建模方法及裝置 - Google Patents

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Abstract

半導體設備建模方法：響應於添加指示操作，確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型，其中，添加指示操作用於選擇設備模型對象中的待添加模型和設備模型樹中的目標模型；利用對應於源控件的類型和該目標控件的類型的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型的信息和被選擇的目標模型的信息；基於預置的設備建模類型校驗準則庫，對待添加模型的信息和目標模型的信息進行校驗，確定該待添加模型能否在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點；顯示指示待添加模型能否在該設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果。

Description

半導體設備建模方法及裝置
本申請涉及半導體領域，具體涉及一種半導體設備建模方法及裝置。
目前，在進行設備建模時，由設備建模應用的主程序在利用特定類型的控件展示設備模型對象和特定類型的控件展示設備模型樹的情況下，對設備模型對象中的被選擇的模型是否可以添加到設備模型樹中以作為設備模型樹中的被選擇的模型的子節點進行校驗。與校驗相關的代碼即對設備模型對象中的被選擇的模型是否可以添加到設備模型樹中以作為設備模型樹中的被選擇的模型的子節點進行校驗的代碼全部集成在主程序中。
一方面，只能由主程序在利用特定類型的控件展示設備模型對象和特定類型的控件展示設備模型樹的情況下進行校驗。另一方面，在進行設備建模時，若根據設備建模在展示方面的需求，展示設備模型對象的控件類型發生變化和/或展示設備模型樹的控件類型發生變化，則設備建模應用的主程序中的與校驗相關的代碼全部需要重構，造成為適應設備建模在展示方面的需求，開銷大。
為克服相關技術中存在的問題，本申請提供一種半導體設備建模方法及裝置。
根據本申請實施例的第一方面，提供一種半導體設備建模方法，包括：響應於添加指示操作，確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型，其中，該添加指示操作用於選擇該設備模型對象中的待添加模型和該設備模型樹中的目標模型；利用對應於該源控件的類型和該目標控件的類型的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型的信息和被選擇的目標模型的信息；基於預置的設備建模類型校驗準則庫，對該待添加模型的信息和該目標模型的信息進行校驗，確定該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點；顯示指示該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點的校驗結果。
在一些實施例中，該確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型包括：利用預先創建的基於泛型的函數確定用於展示設備模型物件的源控制項的類型和用於展示設備模型樹的目標控制項的類型，其中，該基於泛型的函數的形式參數包括：用於接收該源控制項的源控制項物件的形式參數、用於接收該目標控制項的目標控制項物件的形式參數，該基於泛型的函數在被調用時用於：通過反射確定該源控制項物件的類型和該目標控制項物件的類型，以確定該源控制項的類型和該目標控制項的類型。
在一些實施例中，在確定該待添加模型可以在該設備模型 樹中作為該目標模型的子節點時，該顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果，包括：顯示該待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果；以及在該顯示指示該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點的校驗結果之後，該方法還包括：響應於用戶的添加確認操作，將該待添加模型添加至該設備模型樹中，作為該目標模型的子節點。
在一些實施例中，在確定該待添加模型可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點時，該顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果，包括：顯示該待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果；以及在該顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果之後，該方法還包括：響應於用戶的添加放棄操作，放棄將該待添加模型添加至該設備模型樹中。
在一些實施例中，該響應於添加指示操作包括：響應於使用者將展示的該設備模型物件中的一個該待添加模型拖曳至位於展示的該模型設備樹中的一個該目標模型的位置。
在一些實施例中，源控件的類型為以下之一：TreeView類型、ListView類型，目標控件的類型為以下之一：TreeView類型、ListView類型。
在一些實施例中，該設備建模類型校驗準則庫包括：基於資料獲取標準的設備建模類型校驗準則。
在一些實施例中，該資料獲取標準為多個版本的資料獲取標準中的當前採用的版本的資料獲取標準。
根據本申請實施例的第二方面，提供一種半導體設備建模裝置，包括：確定單元，被配置為響應於添加指示操作，確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型，其中，該添加指示操作用於選擇設備模型對象中的待添加模型和設備模型樹中的目標模型；校驗單元，被配置為利用對應於該源控件的類型和該目標控件的類型的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型的信息和被選擇的目標模型的信息；基於預置的設備建模類型校驗準則庫，對該待添加模型的信息和該目標模型的信息進行校驗，確定該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點；反饋單元，被配置為顯示指示該待添加模型是否可以該在設備模型樹中作為該目標模型的子節點的校驗結果。
本申請實施例提供的半導體設備建模方法及裝置，一方面實現了利用獨立於主程序的校驗模塊完成校驗。針對任意一個用於展示設備模型對象的源控件的類型和任意一個用於展示設備模型樹的目標控件的類型，均可以由相應的校驗模塊完成對設備模型對象中的被選擇的待添加模型是否可以添加到設備模型樹中以作為設備模型樹中的被選擇的目標模型的子節點的校驗。可以在採用任意一個類型的控件展示設備模型對象和任意一個類型的目標控件展示設備模型樹的情況下，利用相應的校驗模塊進行校驗。
另一方面，當用於展示設備模型對象的源控件的類型和/或用於展示設備模型樹的目標控件的類型發生變化時，採用相應的校驗模塊進行校驗即可，主程序中不包括與校驗相關的代碼，不會對主程序產生任何影響，避免了為適應設備建模在展示方面的需求需要對設備建模應用的主程序中的與校驗相關的代碼全部進行重構的問題。
101,102,103:步驟
501:確定單元
502:校驗單元
503:反饋單元
當結合附圖閱讀時，從以下詳細描述最佳理解本揭露之態樣。應注意，根據產業中之標準實踐，各種構件未按比例繪製。事實上，為了論述的清楚起見可任意增大或減小各種構件之尺寸。
圖1示出了本申請實施例提供的設備建模方法的流程圖；圖2示出了在半導體設備建模時展示設備模型對象和設備模型樹的效果示意圖；圖3示出了設備建模的流程示意圖；圖4示出了設備建模的原理示意圖；圖5示出了本申請實施例提供的設備建模裝置的結構框圖。
以下揭露提供用於實施本揭露之不同構件之許多不同實施例或實例。下文描述組件及配置之特定實例以簡化本揭露。當然，此等僅為實例且非意欲限制。舉例而言，在以下描述中之一第一構件形成於一第二構件上方或上可包含其中該第一構件及該第二構件經形成為直接接觸之實施例，且亦可包含其中額外構件可形成在該第一構件與該第二構件之間，使得該第一構件及該第二構件可不直接接觸之實施例。另外，本揭露可在各個實例中重複參考數字及/或字母。此重複出於簡化及清楚之目的且本身不指示所論述之各個實施例及/或組態之間的關係。
此外，為便於描述，諸如[下面]、[下方]、[下]、[上方]、[上]及類似者之空間相對術語可在本文中用於描述一個元件或構件與另一(些)元件或構件之關係，如圖中圖解說明。空間相對術語意欲涵蓋除在圖中描繪之定向以外之使用或操作中之裝置之不同定向。設備 可以其他方式定向(旋轉90度或按其他定向)且因此可同樣解釋本文中使用之空間相對描述詞。
儘管陳述本揭露之寬泛範疇之數值範圍及參數係近似值，然儘可能精確地報告特定實例中陳述之數值。然而，任何數值固有地含有必然由於見於各自測試量測中之標準偏差所致之某些
Figure 110125317-A0305-02-0008-1
差。再者，如本文中使用，術語[大約]通常意謂在一給定值或範圍之10%、5%、1%或0.5%內。替代地，術語[大約]意謂在由此項技術之一般技術者考量時處於平均值之一可接受標準
Figure 110125317-A0305-02-0008-2
差內。除在操作/工作實例中以外，或除非以其他方式明確指定，否則諸如針對本文中揭露之材料之數量、時間之持續時間、溫度、操作條件、數量之比率及其類似者之全部數值範圍、數量、值及百分比應被理解為在全部例項中由術語[大約]修飾。相應地，除非相反地指示，否則本揭露及隨附發明申請專利範圍中陳述之數值參數係可根據需要變化之近似值。至少，應至少鑑於所報告有效數位之數目且藉由應用普通捨入技術解釋各數值參數。範圍可在本文中表達為從一個端點至另一端點或在兩個端點之間。本文中揭露之全部範圍包含端點，除非另有指定。
圖1示出了本申請實施例提供的半導體設備建模方法的流程圖，該方法包括：
步驟101，響應於添加指示操作，確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型。
用於展示設備模型對象的源控件可以是指當前展示設備模型對象正在使用的控件。用於展示設備模型樹的目標控件可以是指當前展示設備模型樹正在使用的控件。
例如，源控件的類型為ListView類型，目標控件的類型為TreeView類型。在進行設備建模時，在設備建模界面上，可以通過一個ListView類型的源控件向用戶展示設備模型對象，可以通過一個TreeView類型的目標控件向用戶展示設備模型樹。
在進行半導體設備建模時，可以由設備建模應用中的主程序調用源控件來展示設備模型對象，調用目標控件來展示設備模型樹。
在本申請中，可以將在進行半導體設備建模時，由用戶選擇的位於設備模型對象中的模型稱之為待添加模型。
可以將在進行設備建模時，由用戶選擇的位於設備模型樹中的模型稱之為目標模型。
步驟101中的上述添加指示操作用於選擇設備模型對象中的待添加模型和設備模型樹中的目標模型。
例如，在進行半導體設備建模時，应于添加指示操作可以包括：響應於使用者將展示的所述設備模型物件中的一個待添加模型拖曳至位於展示的模型設備樹中的一個所述目標模型的位置。
在一些實施例中，上述添加指示操作可以先進行一次點擊動作對設備模型物件中的一個待添加模型進行選擇，再進行一次點擊動作對模型設備樹中的一個目標模型進行選擇，之後，將所選擇的待添加模型拖曳至所選擇的目標模型的位置。又或者，上述添加指示操作也可以僅點擊一次對設備模型物件中的一個待添加模型進行選擇，然後將所選擇的待添加模型拖曳至相應的目標模型的位置。
上述拖拽動作具體可以為：使用者可以將一個源控制項展 示的資訊中的一個資訊項拖拽至目標控制項展示的資訊中的一個資訊項所在的位置，在完成該拖曳動作之後，即實現將被選擇的待添加模型拖曳至被選擇的目標模型的位置。
需要說明的是，上述添加指示操作並不局限於拖拽，在實際應用中，還可以採用其他任意方式實現將展示的設備模型物件中的一個待添加模型添加至位於展示的模型設備樹中的一個目標模型的位置，例如可以先進行一次點擊動作對設備模型物件中的一個待添加模型進行選擇，然後採用任意手勢或者動作將該待添加模型添加至位於展示的模型設備樹中的一個目標模型的位置。
在進行設備建模時，可以由設備建模應用中的主程序檢測添加指示操作。當檢測到添加指示操作時，可以由設備建模應用中的用於確定控件類型的模塊，確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的控件類型。設備建模應用中的主程序無需考慮源控制項的類型、目標控件的類型，也無需獲取被選擇的相應的模型的資訊。在本申請中，由相應的校驗模組獲取被選擇的相應的模型的資訊。
在進行設備建模時，用戶每一次進行添加指示操作，均可以選擇設備模型對象中的相應的待添加模型、設備模型樹中的相應的目標模型。
在本申請中，可以在設備建模應用的配置文件中記錄源控件的類型和目標控件的類型。
當需要確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型時，可以通過讀取上述配置文件獲取源控件的類型和目標控件的類型。
在本申請中，設備模型對象包括多個模型。
設備模型對象中的每一個模型可以各自關聯一個與半導體設備相關的數據結構。例如，設備為機器人，設備模型對象中的一個模型關聯一個描述機器人的機械臂的數據結構。設備模型對象中的另一個模型關聯一個用於存儲機器人的某一個類型的參數的數據結構。
在設備模型樹中，通過樹形結構可以清晰地表示設備模型樹中的不同的模型之間的關聯關係。由於不同的模型可以各自關聯一個與半導體設備相關的數據結構。因此，通過設備模型樹，可以清晰地表示不同的與半導體生產設備相關的數據結構之間的關聯關係。上述設備模型樹最終可以提供給工廠的管理系統和數據採集應用。數據採集應用可以按照SEMI InterfaceA標準，將採集的與半導體設備相關的數據存儲在相應的模型關聯的數據結構中，工廠的管理系統的服務器可以按照SEMI InterfaceA標準，從相應的模型關聯的數據結構中讀取相應的與半導體設備相關的數據。
在設備模型樹中，每一個模型分別作為一個節點。
對於設備模型樹中每一個模型，均具有至少一個父節點和/或至少一個子節點。
在本申請中，設備模型對象中的同一個模型可以多次被添加到設備模型樹中，以作為相應的目標模型的子節點。
對於設備模型對象中的一個模型，每一次將該模型添加到設備模型樹中，均可以修改該模型在設備模型樹中的名稱。在設備模型樹中可以包括多個位於不同的位置的，與該模型的類型相同只是名稱不同的模型。
請參考圖2，其示出了在半導體設備建模時展示設備模型對象和設備模型樹的效果示意圖。
在示出的設備模型對象中，子節點為設備模型對象中的模型，例如“Hierarchy”下的每一項、“Parameter”、“Event”、“Exceptions”下的每一項、“State Machines”下的每一項等。在設備模型樹中，按照從屬關係展示了設備模型樹中的一部分模型。用戶點擊一個具有子節點的模型左側的“+”，可以進一步展示作為該模型的子節點的每一個模型。
在一些實施例中，確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型包括：利用預先創建的基於泛型的函數確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型，其中，基於泛型的函數的形式參數包括：用於接收源控件的源控件對象的形式參數、用於接收目標控件的目標控件對象的形式參數，基於泛型的函數在被調用時用於：通過反射確定源控件對象的類型和目標控件對象的類型，以確定源控件的類型和目標控件的類型。
在本申請中，可以利用C#語言開發設備建模應用。在確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標的控件類型時，可以利用預先定義的基於泛型的函數確定源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型。
基於泛型的函數具有兩個泛型類型的形式參數，兩個泛型類型的形式參數的類型可以均為C#語言中的屬泛型類型的T參數類型。
可以預先將每一個可以用於展示設備對象的控件的類型和每一個可以用於展示設備模型樹的控件的類型，均定義為C#語言中的T參數類型的基類。從而，基於泛型的函數的兩個泛型類型的形參中的一個形 式參數可以作為可以接收表示源控件的類型的對象的泛型類型的形式參數、另一個形式參數作為可以接收表示目標控件的類型的對象的泛型類型的形式參數。
在需要確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型時，可以由主程序從源控件的代碼的存儲位置和目標控件的代碼的存儲位置，分別獲取表示源控件的類型的對象、表示目標控件的類型的對象，並且調用基於泛型的函數，將表示源控件的類型的對象、表示目標控件的類型的對象作為實參傳入。表示源控件的類型的對象可以作為實參被傳遞給可以接收表示目標控件的類型的對象的泛型類型的形式參數。
從而，基於泛型的函數在被調用時用於：基於表示源控件的類型的對象，通過C#語言的反射機制得到源控件的類型；基於表示目標控件的類型的對象，通過C#語言的反射機制得到目標控件的類型。
步驟102，利用對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型的信息和被選擇的目標模型的信息；基於預置的設備建模類型校驗準則庫，對待添加模型的信息和目標模型的信息進行校驗，確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點。
在本申請中，在確定源控件的類型和目標控件的類型之後，可以利用對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型的信息和被選擇的目標模型的信息。
源控件的類型和目標控件的類型可以組成一個控件類型組合。
因此，對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊可以是指對應於由源控件的類型和目標控件的類型組成的控件類型組合的校驗模塊。
在本申請中，可以將可以展示設備模型對象的源控件的類型稱之為設備模型對象的候選控件類型。
可以將可以展示設備模型樹的目標控件的類型稱之為設備模型樹的候選控件類型。
通過對設備模型對象的候選控件類型、設備模型樹的候選控件類型進行組合，可以得到多個控件類型組合。
在本申請中，設備建模應用可以包括多個獨立於主程序的校驗模塊。
每一個校驗模塊可以各自對應一個控件類型組合。
相應的，對於每一個校驗模塊，同時對應於該校驗模塊對應的控件類型組合中的一個控件類型和另一個控件類型。
例如，設備模型對象的所有候選控件類型包括：ListView類型、TreeView類型。設備模型樹的所有候選控件類型包括：ListView類型、TreeView類型。
對設備模型對象的候選控件類型、設備模型樹的候選控件類型進行組合，可以得到4個控件類型組合。假設第1個控件類型組合包括：TreeView類型、TreeView類型。第2個控件類型組合包括：ListView類型、TreeView類型。第3個控件類型組合包括：TreeView類型、ListView類型。
第4個控件類型組合包括：ListView類型、ListView類 型。
相應的，設備建模應用包括4個校驗模塊，每一個校驗模塊各自對應一個控件類型組合。
假設用於展示設備模型對象的源控件的類型為ListView類型，用於展示設備模型樹的目標控件的類型為TreeView類型，則由對應於由ListView類型和TreeView類型組成的控件類型組合的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型的信息和被選擇的目標模型的信息。
對於用於展示設備模型對象的源控件，設備模型對象中的每一個模型信息各自對應源控件的一個節點。
對於用於展示設備模型樹的目標控件，設備模型樹中的每一個模型信息各自對應目標控件的一個節點。
在進行設備建模時，當設備模型對象中的一個待添加模型被選擇時，對於用於展示設備模型對象的源控件而言，是源控件中的對應於被選擇的待添加模型信息的一個節點被選擇。源控件的屬性信息中記錄當前被選擇的節點的標識。由對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊，即對應於由源控件的類型和目標控件的類型組成的控件類型組合的校驗模塊，從源控件的屬性信息的存儲位置獲取當前被選擇的節點的標識，以確定該對應於被選擇的待添加模型信息的節點被選擇。該對應於被選擇的待添加模型信息的節點的屬性信息包括該待添加模型的信息，該待添加模型的信息可以為該待添加模型的可以用於區別於其他的模型的唯一標識。從而，可以最終獲取被選擇的待添加模型的信息。
在進行設備建模時，當設備模型樹中的一個目標模型信息被選擇時，對於用於展示設備模型樹的目標控件，是目標控件中的對應於 被選擇的目標模型信息的一個節點被選擇。
由對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊，即對應於由源控件的類型和目標控件的類型組成的控件類型組合的校驗模塊，從目標控件的屬性信息的存儲位置獲取當前被選擇的節點的標識，以確定該對應於被選擇的目標模型的節點被選擇。該對應於被選擇的目標模型的節點的屬性信息包括該目標模型的信息，該目標模型的信息可以為該目標模型的可以區別於其他的模型的唯一標識。從而，可以最終獲取被選擇的目標模型的信息。
例如，用於展示設備模型對象的源控件的類型為ListView類型，用於展示設備模型樹的目標控件的類型為TreeView類型，利用對應於ListView類型和TreeView類型的校驗模塊即由ListView類型和TreeView類型組成的控件類型組合的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型信息和被選擇的目標模型信息。
在本申請中，當源控件的類型發生變化和/或目標控件的類型發生變化時，無需更改主程序的代碼。
例如，用於展示設備模型對象的源控件的類型為ListView，用於展示設備模型樹的目標控件的類型為TreeView。
在用於展示設備模型對象的源控件的類型由ListView變為TreeView時，用於展示設備模型樹的目標控件的類型依然為TreeView時，可以由對應於由TreeView類型和TreeView類型組成的控件類型組合的校驗模塊進行校驗即可，而無需更改主程序的代碼。
在本申請中，在由對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊獲取被選擇的待添加模型信息和被選擇的目標模型信息之後， 由對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊基於基於預置的設備建模類型校驗準則庫，對待添加模型的信息和目標模型的信息進行校驗，確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點。
設備建模類型校驗準則庫可以包括：設備模型對象中的每一個模型的信息、設備模型對象中的每一個模型各自對應的設備建模類型校驗準則。
對於設備模型對象中的每一個模型，該模型的信息和該模型對應的設備建模類型校驗準則對應存儲在設備建模類型校驗準則庫中。
對於設備模型對象中的每一個模型，該模型對應的設備建模類型校驗準則可以包括：設備模型樹中的可以成為該模型的父節點的模型的所有類型。
在對待添加模型的信息和目標模型的信息進行校驗，確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點時，可以首先根據待添加模型的信息，從設備建模類型校驗準則庫中查找出待添加模型對應的設備建模類型校驗準則。然後，進一步從待添加模型對應的設備建模類型校驗準則中獲取設備模型樹中的、可以成為待添加模型的父節點的模型的所有類型。最後，可以確定設備模型樹中的、可以成為該待添加模型信息的父節點的模型的所有類型是否包括目標模型的信息的類型。若確定設備模型樹中的、可以成為該待添加模型信息的父節點的模型的所有類型包括目標模型的信息的類型，則可以確定待添加模型信息可以被添加到設備模型樹中，以作為目標模型信息的子節點。
在一些實施例中，設備建模類型校驗準則庫包括：基於資料獲取標準的設備建模類型校驗準則。
在本申請中，資料獲取標準可以為SEMI InterfaceA標準。
對於設備模型對象中的每一個模型，該模型可以作為設備模型樹中的哪些類型的模型的子節點可以在SEMI InterfaceA標準中進行定義。可以基於SEMI InterfaceA標準，預先建立設備模型對象中的每一個模型各自對應的基於SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則，得到設備建模類型校驗準則庫。
在一些實施例中，對於當前用於確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的、預置的設備建模類型校驗準則庫，該預置的設備建模類型校驗準則庫中的設備建模類型校驗準則所基於的資料獲取標準為多個版本的資料獲取標準中的當前採用的版本的資料獲取標準。
當前採用的版本的資料獲取標準可以是指多個版本的SEMI InterfaceA標準中的當前使用的SEMI InterfaceA標準。
例如，預先定義1105版本的SEMI InterfaceA標準、0710版本的SEMI InterfaceA標準，當前版本為0710版本的SEMI InterfaceA標準。當前具體使用哪一個版本的SEMI InterfaceA標準具體根據數據採集應用與工廠中的半導體生產設備的數據傳輸需求、工廠管理系統的服務器與工廠中的半導體生產設備的數據傳輸需求確定。
在本申請中，可以預先對於每一個版本的SEMI InterfaceA標準，分別建立該版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫。
相應的，對於每一個版本的SEMI InterfaceA標準，該版 本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫中的設備建模類型校驗準則是基於該版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則。
當前採用哪一個SEMI InterfaceA標準，就將哪一個SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫作為當前用於確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的、預置的設備建模類型校驗準則庫。
步驟103，顯示指示待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果。
在本申請中，在確定待添加模型信息是否可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型信息的子節點之後，可以向用戶顯示校驗結果。
當確定待添加模型信息可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型信息的子節點，向用戶顯示指示待添加模型可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點的校驗結果。例如，向用戶顯示指示待添加模型可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點的標記。
當確定待添加模型不可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點，向用戶顯示指示待添加模型不可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型信息的子節點的校驗結果。例如，向用戶顯示指示待添加模型不可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點的標記。
在一些實施例中，在確定待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點時，顯示指示待添加模型信息是否可以在設備模型樹中作為目標模型信息的子節點的校驗結果，包括：顯示待添加模型信息 可以在設備模型樹中作為目標模型信息的子節點的校驗結果；以及在顯示指示待添加模型信息是否可以在設備模型樹中作為目標模型信息的子節點的校驗結果之後，還包括：響應於用戶的添加確認操作，將待添加模型添加至設備模型樹中，作為目標模型的子節點。
在校驗結果指示待添加模型可以作為目標模型的子節點時，在向用戶顯示指示待添加模型可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點的校驗結果之後，若用戶確定將待添加模型添加到設備模型樹，則用戶可以進行添加確認操作。可以響應於用戶的添加確認操作，將待添加模型添加至設備模型樹中，作為目標模型的子節點。
在一些實施例中，在確定待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點時，顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果，包括：顯示該待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果；以及在顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果之後，還包括：響應於用戶的添加放棄操作，放棄將該待添加模型添加至該設備模型樹中。
在向用戶顯示指示待添加模型可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點的校驗結果之後，若用戶放棄將待添加模型添加到設備模型樹，則用戶可以進行添加放棄操作。可以響應於用戶的添加放棄操作，放棄將該待添加模型添加至該設備模型樹中。
在一些實施例中，響應於資料獲取標準的變化，對設備建模類型校驗準則庫中基於該資料獲取標準的設備建模類型校驗準則進行修改。
在本申請中，任意一個版本的資料獲取標準發生變化，均可以對發生變化的資料獲取標準的設備建模類型校驗準則庫中的、基於該資料獲取標準的相應的設備建模類型校驗準則進行修改，得到相應的經過更新的設備建模類型校驗準則庫。
以多個版本的SEMI InterfaceA標準中的當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準為例，對於設備建模對象中的至少一個模型，在當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準定義的、可以成為該模型的父節點的類型發生變化時，會導致當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準發生變化。
在當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準發生變化時，可以對當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫中的、基於當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準的相應的設備建模類型校驗準則，即上述父節點的類型的發生變化的每一個模型各自對應的設備建模類型校驗準則進行修改，得到經過更新的、當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫。
換言之，對於當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準，對於設備模型對象中的、每一個可以作為其父節點的模型的類型發生變化的模型，對當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫中的、該模型對應的設備建模類型校驗準則進行修改，以得到經過更新的、當前採用的版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫。
在本申請中，任意一個版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫均獨立於主程序，同時，任意一個版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫中的任意一個設備建模類型校驗準則均獨立於主程序。
任意一個版本的SEMI InterfaceA標準發生變化，均可以對發生變化的版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫中的、基於發生變化的版本的SEMI InterfaceA標準的相應的設備建模類型校驗準則進行相應的修改。
從而，對於任意一個版本的SEMI InterfaceA標準，若該版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫作為當前用於確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的、預置的設備建模類型校驗準則庫，在該版本的SEMI InterfaceA標準發生變化的情況下，可以生成經過更新的、該版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫。
在該版本的SEMI InterfaceA標準發生變化之後，經過更新的、該版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫可以作為當前用於確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的、預置的設備建模類型校驗準則庫，以在後續的校驗過程中，確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點。
對於任意一個版本的SEMI InterfaceA標準，若該版本的SEMI InterfaceA標準設備建模類型校驗準則庫作為當前用於確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的、預置的設備建模類型校驗準則庫，在該版本的SEMI InterfaceA標準發生變化的情況下，由於主程序中不包括與校驗過程相關的代碼，因此，無需修改主程序的代碼即無需對主程序的代碼進行重構，同時，也無需修改校驗模塊的與校驗 過程相關的代碼。從而，使得設備建模應用容易維護，同時，提高設備建模的代碼的運行效率，避免由於SEMI InterfaceA標準變化引起的大量代碼重構，節約開發成本，並且減少維護成本。
請參考圖3，其示出了設備建模的流程示意圖。
啟動設備建模應用。
新建模型文件。新建的模型文件中包括設備模型對象。
從設備模型對象中選擇待添加模型信息Model Object1。
拖拽到設備模型樹中的相應節點Parent Node1即目標模型。
獲取源控件的類型和目標控件的類型。
類型校驗池集成了多個校驗模塊、多個不同的版本的SEMI InterfaceA的設備建模類型校驗準則庫。
由類型校驗池中的對應於源控件的類型和目標控件的類型校驗模塊，根據基於當前版本的SEMI InterfaceA的設備建模類型校驗準則進行校驗比對，確定被選擇的待添加模型是否可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點，得到反饋結果。
類型校驗池將反饋結果反饋給主程序。
若反饋結果為待添加模型可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點，展示指示可以添加的標記。將Model Object1添加到設備模型樹中，以作為Parent Node1的子節點。
若反饋結果為待添加模型不可以被添加到設備模型樹中以作為目標模型的子節點，展示指示不可以添加的標記。
請參考圖4，其示出了設備建模的原理示意圖。
在圖4中，示出了源控件的類型為TreeView類型並且目標控件的類型為TreeView類型、源控制項的類型為ListView類型並且目標控制件的類型為TreeView類型、源控件的類型為TreeView類型並且目標控件的類型為ListView類型三種展示情況。
無論哪一種展示情況，均採用相應的校驗模塊進行校驗即可。任意一個校驗模塊均獨立於主程序。
當用於展示設備模型對象的源控件的類型為ListView類型，用於展示設備模型樹的目標控件的類型為TreeView類型時，則利用對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊即對應於由ListView類型和TreeView類型組成的控件類型組合的校驗模塊。
同時，從一種展示情況變為另外一種展示情況時，無需對主程序的代碼進行修改。
例如，用於展示設備模型對象的源控件的類型為ListView類型，用於展示設備模型樹的目標控件的類型為TreeView類型，在用於展示設備模型對象的源控件的類型由ListView類型變為TreeView類型時，用於展示設備模型樹的目標控件的類型依然為TreeView類型時，可以由對應於由TreeView類型和TreeView類型組成的控件類型組合的校驗模塊進行校驗即可，而無需更改主程序的代碼。
任意一個版本的SEMI InterfaceA標準發生變化，均可以對發生變化的版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則庫中的、基於發生變化的版本的SEMI InterfaceA標準的設備建模類型校驗準則進行相應的修改。由於主程序中不包括校驗代碼，因此，任意一個版本的SEMI InterfaceA標準發生變化，均無需修改主程序的代碼，也無需修 改與校驗過程相關的代碼。
在圖4中，基於泛型的函數可以利用Validation(Type,Type)表示。
可以由主程序調用Validation(Type,Type)，將表示源控件的控件類型的對象、表示目標控件的類型的對象作為實參傳入。Validation(Type,Type)在被調用時用於：基於表示源控件的類型的對象，通過C#語言的反射機制得到源控件的類型；基於表示目標控件的類型的對象，通過C#語言的反射機制得到目標控件的類型。
需要說明的是，上述步驟101-103示例性地描述了一次在對被選擇的待添加模型是否可以作為設備模型樹中的目標模型的子節點進行校驗的過程中所需要進行的操作。
還需要說明的是，在進行半導體設備建模時，使用者每一次期望將設備模型物件中的一個模型添加到設備模型樹作為一個目標模型的子節點，均可以執行上述步驟101-103。
請參考圖5，其示出了本申請實施例提供的半導體設備建模裝置的結構框圖。半導體設備建模包括：確定單元501，校驗單元502，反饋單元503。
確定單元501，被配置為響應於添加指示操作，確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型，其中，添加指示操作用於選擇設備模型對象中的待添加模型和設備模型樹中的目標模型；校驗單元502，被配置為利用對應於源控件的類型和目標控件的類型的校驗模塊，獲取被選擇的待添加模型的信息和被選擇的目標 模型的信息；基於預置的設備建模類型校驗準則庫，對待添加模型的信息和目標模型的信息進行校驗，確定待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點；反饋單元503，被配置為顯示指示待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果。
在一些實施例中，確定單元501進一步配置為：利用預先創建的基於泛型的函數確定用於展示設備模型對象的源控件的類型和用於展示設備模型樹的目標控件的類型，其中，基於泛型的函數的形式參數包括：用於接收源控件的源控件對象的形式參數、用於接收目標控件的目標控件對象的形式參數，基於泛型的函數在被調用時用於：通過反射確定源控件對象的類型和目標控件對象的類型，以確定源控件的類型和目標控件的類型。
在一些實施例中，反饋單元503進一步被配置為在確定待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點時，顯示待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果；以及半導體設備建模裝置還包括：添加單元，被配置為在反饋單元503顯示指示待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果之後，響應於用戶的添加確認操作，將待添加模型添加至設備模型樹中，作為目標模型的子節點。
在一些實施例中，在確定待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點時，反饋單元503進一步被配置為顯述待添加模型可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果；以及 半導體設備建模裝置還包括：放棄添加單元，被配置為在反饋單元503顯示指示待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果之後，響應於用戶的添加放棄操作，放棄將待添加模型添加至設備模型樹中。
在一些實施例中，添加指示操作包括：將被選擇的待添加模型拖曳至被選擇述目標模型的位置。
在一些實施例中，源控件的類型為以下之一：TreeView、ListView，目標控件的類型為以下之一：TreeView、ListView。
在一些實施例中，資料獲取標準為多個版本的資料獲取標準中的當前採用的版本的資料獲取標準。
在一些實施例中，半導體設備建模裝置還包括：修改單元，被配置為響應於資料獲取標準的變化，對設備建模類型校驗準則庫中基該於資料獲取標準的設備建模類型校驗準則進行修改。
本申請還提供了一種電子設備，該電子設備可以配置有一個或多個處理器；存儲器，用於存儲一個或多個程序，一個或多個程序中可以包括用以執行上述實施例中描述的操作的指令。當一個或多個程序被一個或多個處理器執行時，使得一個或多個處理器執行上述實施例中描述的操作的指令。
本申請還提供了一種計算機可讀介質，該計算機可讀介質可以是電子設備中所包括的；也可以是單獨存在，未裝配入電子設備中。上述計算機可讀介質承載有一個或者多個程序，當一個或者多個程序被電子設備執行時，使得電子設備執行上述實施例中描述的操作。
需要說明的是，本申請所述的計算機可讀介質可以是計算機可讀信號介質或者計算機可讀存儲介質或者是上述兩者的任意組合。計算機可讀存儲介質例如可以包括但不限於電、磁、光、電磁、紅外線、或半導體的系統、裝置或器件，或者任意以上的組合。計算機可讀存儲介質的更具體的例子可以包括但不限於：具有一個或多個導線的電連接、便攜式計算機磁盤、硬盤、隨機訪問存儲器(RAM)、只讀存儲器(ROM)、可擦式可編程只讀存儲器(EPROM或閃存)、光纖、便攜式緊湊磁盤只讀存儲器(CD-ROM)、光存儲器件、磁存儲器件、或者上述的任意合適的組合。在本申請中，計算機可讀存儲介質可以是任何包括或存儲程序的有形介質，該程序可以被消息執行系統、裝置或者器件使用或者與其結合使用。而在本申請中，計算機可讀的信號介質可以包括在基帶中或者作為載波一部分傳播的數據信號，其中承載了計算機可讀的程序代碼。這種傳播的數據信號可以採用多方面形式，包括但不限於電磁信號、光信號或上述的任意合適的組合。計算機可讀的信號介質還可以是計算機可讀存儲介質以外的任何計算機可讀介質，該計算機可讀介質可以發送、傳播或者傳輸用於由消息執行系統、裝置或者器件使用或者與其結合使用的程序。計算機可讀介質上包括的程序代碼可以用任何適當的介質傳輸，包括但不限於：無線、電線、光纜、RF等等，或者上述的任意合適的組合。
附圖中的流程圖和框圖，圖示了按照本申請各種實施例的系統、方法和計算機程序產品的可能實現的體系架構、功能和操作。在這點上，流程圖或框圖中的每個方框可以代表一個模塊、程序段、或代碼的一部分，該模塊、程序段、或代碼的一部分包括一個或多個用於實現規定 的邏輯功能的可執行消息。也應當注意，在有些作為替換的實現中，方框中所標注的功能也可以以不同於附圖中所標注的順序發生。例如，兩個接連地表示的方框實際上可以基本並行地執行，它們有時也可以按相反的順序執行，這依所涉及的功能而定。也要注意的是，框圖和/或流程圖中的每個方框、以及框圖和/或流程圖中的方框的組合，可以用執行規定的功能或操作的專用的基於硬件的系統來實現，或者可以用專用硬件與計算機消息的組合來實現。
前述內容概括數項實施例之特徵，使得熟習此項技術者可更佳地理解本揭露之態樣。熟習此項技術者應瞭解，其等可容易地使用本揭露作為用於設計或修改用於實行本文中介紹之實施例之相同目的及/或達成相同優點之其他製程及結構之一基礎。熟習此項技術者亦應瞭解，此等等效構造不背離本揭露之精神及範疇，且其等可在不背離本揭露之精神及範疇之情況下在本文中作出各種改變、置換及更改。
101,102,103:步驟

Claims (10)

  1. 一種半導體設備建模方法，其中該方法包括：回應於添加指示操作，確定用於展示設備模型物件的一源控制項的類型和用於展示設備模型樹的一目標控制項的類型，其中，該添加指示操作用於選擇該設備模型物件中的一待添加模型和該設備模型樹中的一目標模型；利用對應於該源控制項的類型和該目標控制項的類型的一校驗模組，獲取被選擇的一待添加模型的資訊和被選擇的一目標模型的資訊；基於預置的一設備建模類型校驗準則庫，對該待添加模型的資訊和該目標模型的資訊進行校驗，確定該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點；顯示指示該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點的校驗結果。
  2. 如請求項1所述的方法，其中該確定用於展示設備模型物件的源控制項的類型和用於展示設備模型樹的目標控制項的類型包括：利用預先創建的基於泛型的函數確定用於展示設備模型物件的源控制項的類型和用於展示設備模型樹的目標控制項的類型，其中，該基於泛型的函數的形式參數包括：用於接收該源控制項的源控制項物件的形式參數、用於接收該目標控制項的目標控制項物件的形式參數，該基於泛型的函數在被調用時用於：通過反射確定該源控制項物件的類型和該目標控制項物件的類型，以確定該源控制項的 類型和該目標控制項的類型。
  3. 如請求項1所述的方法，其中在確定該待添加模型可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點時，該顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果，包括：顯示該待添加模型可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點的校驗結果；以及在該顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果之後，該方法還包括：回應於用戶的添加確認操作，將該待添加模型添加至該設備模型樹中，作為該目標模型的子節點。
  4. 如請求項1所述的方法，其中在確定該待添加模型可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點時，該顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果，包括：顯示該待添加模型可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點的校驗結果；以及在該顯示指示該待添加模型是否可以在設備模型樹中作為目標模型的子節點的校驗結果之後，該方法還包括：回應於用戶的添加放棄操作，放棄將該待添加模型添加至該設備模型樹中。
  5. 如請求項1至4任意一項所述的方法，其中該回應於添加指示操作包括：響應於使用者將展示的該設備模型物件中的一個該待添加模型拖曳至位於展示的該模型設備樹中的一個該目標模型的位置。
  6. 如請求項1至4任意一項所述的方法，其中該源控制項的類型為以下之一：TreeView類型、ListView類型，該目標控制項的類型為以下之一：TreeView類型、ListView類型。
  7. 如請求項1至4任意一項所述的方法，其中該設備建模類型校驗準則庫包括：基於資料獲取標準的設備建模類型校驗準則。
  8. 如請求項7所述的方法，其中該資料獲取標準為多個版本的資料獲取標準中的當前採用的版本的資料獲取標準。
  9. 如請求項8所述的方法，其中該方法還包括：回應於該資料獲取標準的變化，對該設備建模類型校驗準則庫中基於該資料獲取標準的設備建模類型校驗準則進行修改。
  10. 一種半導體設備建模裝置，其中該裝置包括：一確定單元，被配置為回應於一添加指示操作，確定用於展示設備模型物件的一源控制項的類型和用於展示設備模型樹的一目標控 制項的類型，其中，該添加指示操作用於選擇設備模型物件中的待添加模型和設備模型樹中的目標模型；一校驗單元，被配置為利用對應於該源控制項的類型和該目標控制項的類型的一校驗模組，獲取被選擇的一待添加模型的資訊和被選擇的一目標模型的資訊；基於預置的設備建模類型校驗準則庫，對該待添加模型的資訊和該目標模型的資訊進行校驗，確定該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點；一回饋單元，被配置為顯示指示該待添加模型是否可以在該設備模型樹中作為該目標模型的子節點的校驗結果。
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