CN111967137B - 一种半导体设备建模方法及装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种半导体设备建模方法及装置，该方法包括：响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择设备模型对象中的待添加模型和设备模型树中的目标模型；利用对应于源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对待添加模型的信息和目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；显示指示待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果。本申请实施例具有更好的适用性。

Description

一种半导体设备建模方法及装置

技术领域

本申请涉及半导体领域，具体涉及一种半导体设备建模方法及装置。

背景技术

目前，在进行设备建模时，由设备建模应用的主程序在利用特定类型的控件展示设备模型对象和特定类型的控件展示设备模型树的情况下，对设备模型对象中的被选择的模型是否可以添加到设备模型树中以作为设备模型树中的被选择的模型的子节点进行校验。与校验相关的代码即对设备模型对象中的被选择的模型是否可以添加到设备模型树中以作为设备模型树中的被选择的模型的子节点进行校验的代码全部集成在主程序中。

一方面，只能由主程序在利用特定类型的控件展示设备模型对象和特定类型的控件展示设备模型树的情况下进行校验。另一方面，在进行设备建模时，若根据设备建模在展示方面的需求，展示设备模型对象的控件类型发生变化和/或展示设备模型树的控件类型发生变化，则设备建模应用的主程序中的与校验相关的代码全部需要重构，造成为适应设备建模在展示方面的需求，开销大。

发明内容

为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种半导体设备建模方法及装置。

根据本申请实施例的第一方面，提供一种半导体设备建模方法，包括：

响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择所述设备模型对象中的待添加模型和所述设备模型树中的目标模型；

利用对应于所述源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对所述待添加模型的信息和所述目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；

显示指示所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点的校验结果。

在一些实施例中，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型包括：

利用预先创建的基于泛型的函数确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，基于泛型的函数的形式参数包括：用于接收源控件的源控件对象的形式参数、用于接收目标控件的目标控件对象的形式参数，所述基于泛型的函数在被调用时用于：通过反射确定源控件对象的类型和目标控件对象的类型，以确定源控件的类型和目标控件的类型。

在一些实施例中，在确定所述待添加模型可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点时，所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果，包括：

显示所述待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

在所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，所述方法还包括：

响应于用户的添加确认操作，将所述待添加模型添加至所述设备模型树中，作为所述目标模型的子节点。

在一些实施例中，在确定所述待添加模型可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点时，所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果，包括：

显示所述待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

在所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，所述方法还包括：

响应于用户的添加放弃操作，放弃将所述待添加模型添加至所述设备模型树中。

在一些实施例中，所述添加指示操作包括：将被选择的所述待添加模型拖曳至被选择的所述目标模型的位置。

在一些实施例中，源控件的类型为以下之一：TreeView、ListView，目标控件的类型为以下之一：TreeView、ListView。

在一些实施例中，所述设备建模类型校验准则库包括：基于数据采集标准的设备建模类型校验准则。

在一些实施例中，所述数据采集标准为多个版本的数据采集标准中的当前采用的版本的数据采集标准。

根据本申请实施例的第二方面，提供一种半导体设备建模装置，包括：

确定单元，被配置为响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择设备模型对象中的待添加模型和设备模型树中的目标模型；

校验单元，被配置为利用对应于所述源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对所述待添加模型的信息和所述目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；

反馈单元，被配置为显示指示所述待添加模型是否可以所述在设备模型树中作为所述目标模型的子节点的校验结果。

在一些实施例中，反馈单元进一步被配置为在确定所述待添加模型可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点时，显示所述待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

半导体设备建模装置还包括：

添加单元，被配置为在所述反馈单元显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，响应于用户的添加确认操作，将所述待添加模型添加至所述设备模型树中，作为所述目标模型的子节点。

在一些实施例中，在确定所述待添加模型可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点时，反馈单元进一步被配置为显示所述待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

半导体设备建模装置还包括：

放弃添加单元，被配置为在所述反馈单元显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，响应于用户的添加放弃操作，放弃将所述待添加模型添加至所述设备模型树中。

在一些实施例中，所述添加指示操作包括：将被选择的所述待添加模型拖曳至被选择的所述目标模型的位置。

在一些实施例中，源控件的类型为以下之一：TreeView、ListView，目标控件的类型为以下之一：TreeView、ListView。

在一些实施例中，所述数据采集标准为多个版本的数据采集标准中的当前采用的版本的数据采集标准。

在一些实施例中，半导体设备建模装置还包括：

修改单元，被配置为响应于所述数据采集标准的变化，对所述设备建模类型校验准则库中基于所述数据采集标准的设备建模类型校验准则进行修改。

本申请实施例提供的半导体设备建模方法、装置，一方面实现了利用独立于主程序的校验模块完成校验。针对任意一个用于展示设备模型对象的源控件的控件类型和任意一个用于展示设备模型树的目标控件的控件类型，均可以由相应的校验模块完成对设备模型对象中的被选择的待添加模型是否可以添加到设备模型树中以作为设备模型树中的被选择的目标模型的子节点的校验。可以在采用任意一个类型的控件展示设备模型对象和任意一个类型的目标控件展示设备模型树的情况下，利用相应的校验模块进行校验。

另一方面，当用于展示设备模型对象的源控件的控件类型和/或用于展示设备模型树的目标控件的控件类型发生变化时，采用相应的校验模块进行校验模块即可，主程序中不包括与校验相关的代码，不会对主程序产生任何影响，避免了为适应设备建模在展示方面的需求需要对设备建模应用的主程序中的与校验相关的代码全部进行重构的问题。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

图1示出了本申请实施例提供的设备建模方法的流程图；

图2示出了在半导体设备建模时展示设备模型对象和设备模型树的效果示意图；

图3示出了设备建模的流程示意图；

图4示出了设备建模的原理示意图；

图5示出了本申请实施例提供的设备建模装置的结构框图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

图1示出了本申请实施例提供的半导体设备建模方法的流程图，该方法包括：

步骤101，响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型。

用于展示设备模型对象的源控件可以是指当前展示设备模型对象正在使用的控件。用于展示设备模型树的目标控件可以是指当前展示设备模型树正在使用的控件。

例如，源控件的控件类型为ListView类型，目标控件的控件类型为TreeView类型。在进行设备建模时，在设备建模界面上，可以通过一个ListView控件向用户展示设备模型对象，可以通过一个TreeView控件向用户展示设备模型树。

在进行半导体设备建模时，可以由设备建模应用中的主程序调用源控件来展示设备模型对象，调用目标控件来展示设备模型树。

在本申请中，可以将在进行半导体设备建模时，由用户选择的位于设备模型对象中的模型称之为待添加模型。

可以将在进行设备建模时，由用户选择的位于设备模型树中的模型称之为目标模型。

添加指示操作用于选择设备模型对象中的待添加模型和设备模型树中的目标模型。

例如，在进行半导体设备建模时，添加指示操作可以为用户点击展示的设备模型对象中的一个模型，然后，点击展示的模型设备树中的一个模型。从而，选择设备模型对象中的一个待添加模型和模型设备树中的一个目标模型。

在进行设备建模时，可以由设备建模应用中的主程序检测添加指示操作。当检测到添加指示操作时，可以由设备建模应用中的用于确定控件类型的模块，确定用于展示设备模型对象的源控件的控件类型和用于展示设备模型树的目标控件的控件类型。

在进行设备建模时，用户每一次进行添加指示操作，均可以选择设备模型对象中的相应的待添加模型、设备模型树中的相应的目标模型。

步骤101-103示例性地描述了在一次在对被选择的待添加模型是否可以作为设备模型树中的目标模型的子节点进行校验的过程中所需要进行的操作。

在进行半导体设备建模时，用户每一次期望将设备模型对象中的一个模型添加到设备模型树作为一个目标模型的子节点，均可以执行步骤101-103。

在本申请中，可以在设备建模应用的配置文件中记录源控件的控件类型和目标控件的控件类型。

当需要确定用于展示设备模型对象的源控件的控件类型和用于展示设备模型树的目标控件的控件类型时，可以通过读取配置文件获取源控件的控件类型和目标控件的控件类型。

在本申请中，设备模型对象包括多个模型。

设备模型对象中的每一个模型可以各自关联一个与半导体生产设备的设备相关的数据结构。例如，设备为机器人，设备模型对象中的一个模型关联一个描述机器人的机械臂的数据结构。设备模型对象中的另一个模型关联一个用于存储机器人的某一个类型的参数的数据结构。

在设备模型树中，通过树形结构可以清晰地表示设备模型树中的不同的模型之间的关联关系。由于不同的模型可以各自关联一个与半导体生产设备相关的数据结构。因此，通过设备模型树，可以清晰地表示不同的与半导体生产设备相关的数据结构之间的关联关系。最终将设备模型树提供给工厂的管理系统和数据采集应用。数据采集应用可以按照SEMI InterfaceA标准，将采集的与半导体生产设备相关的数据存储在相应的模型信息关联的数据结构中，工厂的管理系统的服务器可以按照SEMI InterfaceA标准，从相应的模型关联的数据结构中读取相应的与半导体生产设备相关的数据。

在设备模型树中，每一个模型分别作为一个节点。

对于设备模型树中每一个模型，设备模型树中的该模型具有至少一个父节点和/或至少一个子节点。

在本申请中，设备模型对象中的同一个模型可以多次被添加到设备模型树以作为相应的目标模型的子节点。

对于设备模型对象中的一个模型，每一次将该模型添加到设备模型树中，可以修改该模型在设备模型树中的名称。在设备模型树中可以包括多个位于不同的位置的，与该模型的类型相同只是名称不同的模型。

在一些实施例中，添加指示操作包括：将被选择的待添加模型拖曳至被选择的目标模型的位置。

在本申请中，利用设备建模应用中的主程序仅需检测到一个源控件展示的信息中有一个信息项被拖拽至目标控件展示的信息中的一个信息项所在的位置的事件发生，即可确定用户进行添加指示操作。设备建模应用中的主程序无需考虑源控件的控件类型、目标控件的控件类型，也无需获取被选择的相应的模型的信息。在本申请中，由相应的校验模块获取被选择的相应的模型的信息。

请参考图2，其示出了在半导体设备建模时展示设备模型对象和设备模型树的效果示意图。

在示出的设备模型对象中，叶子节点为设备模型对象中的模型，例如“Hierarchy”下的每一项、“Parameter”、“Event”、“Exceptions”下的每一项、“State Machines”下的每一项等。在设备模型树中，按照从属关系展示了设备模型树中的一部分模型。用户点击一个具有子节点的模型左侧的“+”，可以进一步展示作为该模型的子节点的每一个模型。

在一些实施例中，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型包括：利用预先创建的基于泛型的函数确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，基于泛型的函数的形式参数包括：用于接收源控件的源控件对象的形式参数、用于接收目标控件的目标控件对象的形式参数，基于泛型的函数在被调用时用于：通过反射确定源控件对象的类型和目标控件对象的类型，以确定源控件的类型和目标控件的类型。

在本申请中，可以利用C#语言开发设备建模应用。在确定用于展示设备模型对象的源控件的控件类型和用于展示设备模型树的目标控件的控件类型时，可以利用预先定义的基于泛型的函数确定源控件的控件类型和用于展示设备模型树的目标控件的控件类型。

基于泛型的函数具有两个泛型类型的形式参数，两个泛型类型的形式参数的类型可以均为C#语言中的属于泛型类型的T参数类型。

可以预先将每一个可以用于展示设备对象的控件类型和每一个可以用于展示设备模型树的控件类型，均定义为C#语言中的T参数类型的基类。从而，基于泛型的函数的两个泛型类型的形参中的一个形式参数可以作为可以接收表示源控件的控件类型的对象的泛型类型的形式参数、另一个形式参数作为可以接收表示目标控件的控件类型的对象的泛型类型的形式参数。

在需要确定用于展示设备模型对象的源控件的控件类型和用于展示设备模型树的目标控件的控件类型时，可以由主程序从源控件的代码的存储位置和目标控件的代码的存储位置，分别获取表示源控件的控件类型的对象、表示目标控件的控件类型的对象，并且调用基于泛型的函数，将表示源控件的控件类型的对象、表示目标控件的控件类型的对象作为实参传入。表示源控件的控件类型的对象可以作为实参被传递给可以接收表示目标控件的控件类型的对象的泛型类型的形式参数。

从而，基于泛型的函数在被调用时用于：基于表示源控件的控件类型的对象，通过C#语言的反射机制得到源控件的控件类型；基于表示目标控件的控件类型的对象，通过C#语言的反射机制得到目标控件的控件类型。

步骤102，利用对应于源控件的类型和目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对待添加模型的信息和目标模型的信息进行校验，确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点。

在本申请中，在确定源控件的控件类型和目标控件的控件类型之后，可以利用对应于源控件的类型和目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息。

源控件的控件类型和目标控件的控件类型可以组成一个控件类型组合。

因此，对应于源控件的类型和目标控件的类型的校验模块可以是指对应于由源控件的控件类型和目标控件的控件类型组成的控件类型组合的校验模块。

在本申请中，可以将可以展示设备模型对象的控件的控件类型称之为设备模型对象的候选控件类型。

可以将可以展示设备模型树的控件的控件类型称之为设备模型树的候选控件类型。

通过对设备模型对象的候选控件类型、设备模型树的候选控件类型进行组合，可以得到多个控件类型组合。

在本申请中，设备建模应用包括多个独立于主程序的校验模块。

每一个校验模块可以各自对应一个控件类型组合。

相应的，对于每一个校验模块，该校验模块同时对应于该校验模块对应的控件类型组合中的一个控件类型和另一个控件类型。

例如，设备模型对象的所有候选控件类型包括：ListView类型、TreeView类型。设备模型树的所有候选控件类型包括：ListView类型、TreeView类型。

对设备模型对象的候选控件类型、设备模型树的候选控件类型进行组合，可以得到4个控件类型组合。假设第1个控件类型组合包括：TreeView类型、TreeView类型。第2个控件类型组合包括：ListView类型、TreeView类型。第3个控件类型组合包括：TreeView类型、ListView类型。第4个控件类型组合包括：ListView类型、ListView类型。

相应的，设备建模应用包括4个校验模块，每一个校验模块各自对应一个控件类型组合。

假设用于展示设备模型对象的源控件的控件类型为ListView类型，用于展示设备模型树的目标控件的控件类型为TreeView类型，则由对应于由ListView类型和TreeView类型组成的控件类型组合的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息。

对于用于展示设备模型对象的源控件，设备模型对象中的每一个模型信息各自对应源控件的一个节点。

对于用于展示设备模型树的目标控件，设备模型树中的每一个模型信息各自对应目标控件的一个节点。

在进行设备建模时，当设备模型对象中的一个待添加模型被选择时，对于用于展示设备模型对象的源控件而言，是源控件中的对应于被选择的待添加模型信息的一个节点被选择。源控件的属性信息中记录当前被选择的节点的标识。由对应于源控件的控件类型和目标控件的控件类型的校验模块，即对应于由源控件的控件类型和目标控件的控件类型组成的控件类型组合的校验模块，从源控件的属性信息的存储位置获取当前被选择的节点的标识，以确定该对应于被选择的待添加模型信息的节点被选择。该对应于被选择的待添加模型信息的节点的属性信息包括该待添加模型的信息，该待添加模型的信息可以为该待添加模型的可以用于区别于其他的模型的唯一标识。从而，可以最终获取被选择的待添加模型的信息。

在进行设备建模时，当设备模型树中的一个目标模型信息被选择时，对于用于展示设备模型树的目标控件，是目标控件中的对应于被选择的目标模型信息的一个节点被选择。

由对应于源控件的控件类型和目标控件的控件类型的校验模块，即对应于由源控件的控件类型和目标控件的控件类型组成的控件类型组合的校验模块，从目标控件的属性信息的存储位置获取当前被选择的节点的标识，以确定该对应于被选择的目标模型的节点被选择。该对应于被选择的目标模型的节点的属性信息包括该目标模型的信息，该目标模型的信息可以为该目标模型的可以区别于其他的模型的唯一标识。从而，可以最终获取被选择的目标模型的信息。

例如，用于展示设备模型对象的源控件的控件类型为ListView类型，用于展示设备模型树的目标控件的控件类型为TreeView类型，利用对应于ListView类型和TreeView类型的校验模块即由ListView类型和TreeView类型组成的控件类型组合的校验模块，获取被选择的待添加模型信息和被选择的目标模型信息。

在本申请中，当源控件的控件类型发生变化和/或目标控件的控件类型发生变化时，无需更改主程序的代码。

例如，用于展示设备模型对象的源控件的控件类型为ListView，用于展示设备模型树的目标控件的控件类型为TreeView。

在用于展示设备模型对象的源控件的控件类型由ListView变为TreeView时，用于展示设备模型树的目标控件的控件类型依然为TreeView时，可以由对应于由TreeView类型和TreeView类型组成的控件类型组成的校验模块进行校验即可，而无需更改主程序的代码。

在本申请中，在由对应于源控件的控件类型和目标控件的控件类型的校验模块获取被选择的待添加模型信息和被选择的目标模型信息之后，由对应于源控件的控件类型和目标控件的控件类型的校验模块基于基于预置的设备建模类型校验准则库，对待添加模型的信息和目标模型的信息进行校验，确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点。

设备建模类型校验准则库可以包括：设备模型对象中的每一个模型的信息、设备模型对象中的每一个模型各自对应的设备建模类型校验准则。

对于设备模型对象中的每一个模型，该模型的信息和该模型对应的设备建模类型校验准则相对应的存储在设备建模类型校验准则库中。

对于设备模型对象中的每一个模型，设备模型对象中的该模型对应的设备建模类型校验准则可以包括：设备模型树中的可以成为该模型的父节点的模型的所有类型。

在对待添加模型的信息和目标模型的信息进行校验，确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点时，可以首先根据待添加模型的信息，从设备建模类型校验准则库中查找出待添加模型对应的设备建模类型校验准则。然后，进一步从待添加模型对应的设备建模类型校验准则中获取设备模型树中的、可以成为待添加模型的父节点的模型的所有类型。最后，可以确定设备模型树中的、可以成为该待添加模型信息的父节点的模型的所有类型是否包括目标模型的信息的类型。若确定设备模型树中的、可以成为该待添加模型信息的父节点的模型的所有类型包括目标模型的信息的类型，则可以确定待添加模型信息可以被添加到设备模型树中，以作为目标模型信息的子节点。

在一些实施例中，设备建模类型校验准则库包括：基于数据采集标准的设备建模类型校验准则。

在本申请中，数据采集标准可以为SEMI InterfaceA标准。

对于设备模型对象中的每一个模型，设备模型对象中的该模型可以作为设备模型树中的哪些类型的模型的子节点可以在SEMI InterfaceA标准中进行定义。可以基于SEMIInterfaceA标准，预先建立设备模型对象中的每一个模型各自对应的基于SEMIInterfaceA标准的设备建模类型校验准则，得到设备建模类型校验准则库。

在一些实施例中，对于当前用于确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的、预置的设备建模类型校验准则库，该预置的设备建模类型校验准则库中的设备建模类型校验准则所基于的数据采集标准为多个版本的数据采集标准中的当前采用的版本的数据采集标准。

当前采用的版本的数据采集标准可以是指多个版本的SEMI InterfaceA标准中的当前使用的SEMI InterfaceA标准。

例如，预先定义1105版本的SEMI InterfaceA标准、0710版本的SEMI InterfaceA标准，当前版本为0710版本的SEMI InterfaceA标准。当前具体使用哪一个版本的SEMIInterfaceA标准具体根据数据采集应用与工厂中的半导体生产设备的数据传输需求、工厂管理系统的服务器与工厂中的半导体生产设备的数据传输需求确定。

在本申请中，可以预先对于每一个版本的SEMI InterfaceA标准，分别建立该版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库。

相应的，对于每一个版本的SEMI InterfaceA标准，该版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库中的设备建模类型校验准则是基于该版本的SEMIInterfaceA标准的设备建模类型校验准则。

当前采用哪一个SEMI InterfaceA标准，就将哪一个SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库作为当前用于确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的、预置的设备建模类型校验准则库。

步骤103，显示指示待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果。

在本申请中，在确定待添加模型信息是否可以被添加到设备模型树中以作为目标模型信息的子节点之后，可以向用户显示校验结果。

当确定待添加模型信息可以被添加到设备模型树中以作为目标模型信息的子节点，向用户显示指示待添加模型可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点的校验结果。例如，向用户显示指示待添加模型可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点的标记。

当确定待添加模型不可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点，向用户显示指示待添加模型不可以被添加到设备模型树中以作为目标模型信息的子节点的校验结果。例如，向用户显示指示待添加模型不可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点的标记。

在一些实施例中，在确定待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点时，显示指示待添加模型信息是否可以在设备模型树中作为目标模型信息的子节点的校验结果，包括：显示待添加模型信息可以在设备模型树中作为目标模型信息的子节点的校验结果；以及在显示指示待添加模型信息是否可以在设备模型树中作为目标模型信息的子节点的校验结果之后，还包括：响应于用户的添加确认操作，将待添加模型添加至设备模型树中，作为目标模型的子节点。

在校验结果指示待添加模型可以作为目标模型的子节点时，在向用户显示指示待添加模型可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点的校验结果之后，若用户确定将待添加模型添加到设备模型树，则用户可以进行添加确认操作。可以响应于用户的添加确认操作，将待添加模型添加至设备模型树中，作为目标模型的子节点。

在一些实施例中，在确定待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点时，显示指示该待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果，包括：显示该待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及在显示指示该待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，还包括：响应于用户的添加放弃操作，放弃将该待添加模型添加至该设备模型树中。

在向用户显示指示待添加模型可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点的校验结果之后，若用户放弃将待添加模型添加到设备模型树，则用户可以进行添加放弃操作。可以响应于用户的添加放弃操作，放弃将该待添加模型添加至该设备模型树中。

在一些实施例中，响应于数据采集标准的变化，对设备建模类型校验准则库中基于该数据采集标准的设备建模类型校验准则进行修改。

在本申请中，任意一个版本的数据采集标准发生变化，均可以对发生变化的数据采集标准的设备建模类型校验准则库中的、基于该数据采集标准的相应的设备建模类型校验准则进行修改，得到相应的经过更新的设备建模类型校验准则库。

以多个版本的SEMI InterfaceA标准中的当前采用的版本的SEMI InterfaceA标准为例，对于设备建模对象中的至少一个模型，在当前采用的版本的SEMI InterfaceA标准定义的、可以成为该模型的父节点的类型发生变化时，会导致当前采用的版本的SEMIInterfaceA标准发生变化。

在当前采用的版本的SEMI InterfaceA标准发生变化时，可以对当前采用的版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库中的、基于当前采用的版本的SEMIInterfaceA标准的相应的设备建模类型校验准则，即上述父节点的类型的发生变化的每一个模型各自对应的设备建模类型校验准则进行修改，得到经过更新的、当前采用的版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库。

换言之，对于当前采用的版本的SEMI InterfaceA标准，对于设备模型对象中的、每一个可以作为其父节点的模型的类型发生变化的模型，对当前采用的版本的SEMIInterfaceA标准的设备建模类型校验准则库中的、该模型对应的设备建模类型校验准则进行修改，以得到经过更新的、当前采用的版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库。

在本申请中，任意一个版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库均独立于主程序，同时，任意一个版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库中的任意一个设备建模类型校验准则均独立于主程序。

任意一个版本的SEMI InterfaceA标准发生变化，均可以对发生变化的版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库中的、基于发生变化的版本的SEMIInterfaceA标准的相应的设备建模类型校验准则进行相应的修改。

从而，对于任意一个版本的SEMI InterfaceA标准，若该版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库作为当前用于确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的、预置的设备建模类型校验准则库，在该版本的SEMI InterfaceA标准发生变化的情况下，可以生成经过更新的、该版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库。

在该版本的SEMI InterfaceA标准发生变化之后，经过更新的、该版本的SEMIInterfaceA标准的设备建模类型校验准则库可以作为当前用于确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的、预置的设备建模类型校验准则库，以在后续的校验过程中，确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点。

对于任意一个版本的SEMI InterfaceA标准，若该版本的SEMI InterfaceA标准设备建模类型校验准则库作为当前用于确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的、预置的设备建模类型校验准则库，在该版本的SEMI InterfaceA标准发生变化的情况下，由于主程序中不包括与校验过程相关的代码，因此，无需修改主程序的代码即无需对主程序的代码进行重构，同时，也无需修改校验模块的与校验过程相关的代码。从而，使得设备建模应用容易维护，同时，提高设备建模的代码的运行效率，避免由于SEMIInterfaceA标准变化引起的大量代码重构，节约开发成本，并且减少维护成本。

请参考图3，其示出了设备建模的流程示意图。

启动设备建模应用。

新建模型文件。新建的模型文件中包括设备模型对象。

从设备模型对象中选择待添加模型信息Model Object1。

拖拽到设备模型树中的相应节点Parent Node1即目标模型。

获取源控件的控件类型和目标控件的控件类型。

类型校验池集成了多个校验模块、多个不同的版本的SEMI InterfaceA的设备建模类型校验准则库。

由类型校验池中的对应于源控件的控件类型和目标控件的控件类型校验模块，根据基于当前版本的SEMI InterfaceA的设备建模类型校验准则进行校验比对，确定被选择的待添加模型是否可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点，得到反馈结果。

类型校验池将反馈结果反馈给主程序。

若反馈结果为待添加模型可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点，展示指示可以添加的标记。将Model Object1添加到设备模型树中，以作为Parent Node1的子节点。

若反馈结果为待添加模型不可以被添加到设备模型树中以作为目标模型的子节点，展示指示不可以添加的标记。

请参考图4，其示出了设备建模的原理示意图。

在图4中，示出了源控件的控件类型TreeView类型并且目标控件的控件类型为TreeView类型、源控件的控件类型ListView类型并且目标控件的控件类型为TreeView类型、源控件的控件类型TreeView类型并且目标控件的控件类型为ListView类型三种情况。

无论哪一种展示情况，均采用相应的校验模块进行校验即可。任意一个校验模块均独立于主程序。

当用于展示设备模型对象的源控件的控件类型为ListView类型，用于展示设备模型树的目标控件的控件类型为TreeView类型时，则利用对应于源控件的类型和目标控件的类型的校验模块即对应于由ListView类型和TreeView类型组成的控件类型组合的校验模块。

同时，从一种展示情况变为另外一种展示情况下，无需对主程序的代码进行修改。

例如，用于展示设备模型对象的源控件的控件类型为ListView类型，用于展示设备模型树的目标控件的控件类型为TreeView类型，在用于展示设备模型对象的源控件的控件类型由ListView变为TreeView时，用于展示设备模型树的目标控件的控件类型依然为TreeView时，可以由对应于由TreeView和TreeView组成的控件类型组合的校验模块进行校验即可，而无需更改主程序的代码。

任意一个版本的SEMI InterfaceA标准发生变化，均可以对发生变化的版本的SEMI InterfaceA标准的设备建模类型校验准则库中的、基于发生变化的版本的SEMIInterfaceA标准的设备建模类型校验准则进行相应的修改。由于主程序中不包括校验代码，因此，任意一个版本的SEMI InterfaceA标准发生变化，均无需修改主程序的代码，也无需修改与校验过程相关的代码。

在图4中，基于泛型的函数可以利用Validation(Type，Type)表示。可以由主程序调用Validation(Type，Type)，将表示源控件的控件类型的对象、表示目标控件的控件类型的对象作为实参传入。Validation(Type，Type)在被调用时用于：基于表示源控件的控件类型的对象，通过C#语言的反射机制得到源控件的控件类型；基于表示目标控件的控件类型的对象，通过C#语言的反射机制得到目标控件的控件类型。

请参考图5，其示出了本申请实施例提供的半导体设备建模装置的结构框图。半导体设备建模包括：确定单元501，校验单元502，反馈单元503。

确定单元501，被配置为响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择设备模型对象中的待添加模型和设备模型树中的目标模型；

校验单元502，被配置为利用对应于源控件的类型和目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对待添加模型的信息和目标模型的信息进行校验，确定待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点；

反馈单元503，被配置为显示指示待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果。

在一些实施例中，确定单元501进一步配置为：利用预先创建的基于泛型的函数确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，基于泛型的函数的形式参数包括：用于接收源控件的源控件对象的形式参数、用于接收目标控件的目标控件对象的形式参数，基于泛型的函数在被调用时用于：通过反射确定源控件对象的类型和目标控件对象的类型，以确定源控件的类型和目标控件的类型。

在一些实施例中，反馈单元503进一步被配置为在确定待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点时，显示待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

半导体设备建模装置还包括：

添加单元，被配置为在反馈单元503显示指示待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，响应于用户的添加确认操作，将待添加模型添加至设备模型树中，作为目标模型的子节点。

在一些实施例中，在确定待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点时，反馈单元503进一步被配置为显述待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

半导体设备建模装置还包括：

放弃添加单元，被配置为在反馈单元503显示指示待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，响应于用户的添加放弃操作，放弃将待添加模型添加至设备模型树中。

在一些实施例中，添加指示操作包括：将被选择的待添加模型拖曳至被选择述目标模型的位置。

在一些实施例中，源控件的类型为以下之一：TreeView、ListView，目标控件的类型为以下之一：TreeView、ListView。

在一些实施例中，数据采集标准为多个版本的数据采集标准中的当前采用的版本的数据采集标准。

在一些实施例中，半导体设备建模装置还包括：

修改单元，被配置为响应于数据采集标准的变化，对设备建模类型校验准则库中基该于数据采集标准的设备建模类型校验准则进行修改。

本申请还提供了一种电子设备，该电子设备可以配置有一个或多个处理器；存储器，用于存储一个或多个程序，一个或多个程序中可以包括用以执行上述实施例中描述的操作的指令。当一个或多个程序被一个或多个处理器执行时，使得一个或多个处理器执行上述实施例中描述的操作的指令。

本申请还提供了一种计算机可读介质，该计算机可读介质可以是电子设备中所包括的；也可以是单独存在，未装配入电子设备中。上述计算机可读介质承载有一个或者多个程序，当一个或者多个程序被电子设备执行时，使得电子设备执行上述实施例中描述的操作。

需要说明的是，本申请所述的计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质或者是上述两者的任意组合。计算机可读存储介质例如可以包括但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本申请中，计算机可读存储介质可以是任何包括或存储程序的有形介质，该程序可以被消息执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。而在本申请中，计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多方面形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由消息执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。计算机可读介质上包括的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于：无线、电线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包括一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行消息。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机消息的组合来实现。

以上描述仅为本请求的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术实施例，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术实施例。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术实施例。

Claims (10)

1.一种半导体设备建模方法，其特征在于，所述方法包括：

响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择所述设备模型对象中的待添加模型和所述设备模型树中的目标模型；

利用对应于所述源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对所述待添加模型的信息和所述目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；

显示指示所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点的校验结果；

其中，所述设备模型对象中的每一个模型各自关联一个与半导体生产设备的设备相关的数据结构。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型包括：

利用预先创建的基于泛型的函数确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，基于泛型的函数的形式参数包括：用于接收源控件的源控件对象的形式参数、用于接收目标控件的目标控件对象的形式参数，所述基于泛型的函数在被调用时用于：通过反射确定源控件对象的类型和目标控件对象的类型，以确定源控件的类型和目标控件的类型。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在确定所述待添加模型可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点时，

所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果，包括：

显示所述待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

在所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，所述方法还包括：

响应于用户的添加确认操作，将所述待添加模型添加至所述设备模型树中，作为所述目标模型的子节点。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在确定所述待添加模型可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点时，

所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果，包括：

显示所述待添加模型可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果；以及

在所述显示指示所述待添加模型是否可以在设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果之后，所述方法还包括：

响应于用户的添加放弃操作，放弃将所述待添加模型添加至所述设备模型树中。

5.根据权利要求1－4之一所述的方法，其特征在于，所述添加指示操作包括：

将被选择的所述待添加模型拖曳至被选择的所述目标模型的位置。

6.根据权利要求1－4之一所述的方法，其特征在于，源控件的类型为以下之一：TreeView、ListView，目标控件的类型为以下之一：TreeView、ListView。

7.根据权利要求1－4之一所述的方法，其特征在于，所述设备建模类型校验准则库包括：基于数据采集标准的设备建模类型校验准则。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述数据采集标准为多个版本的数据采集标准中的当前采用的版本的数据采集标准。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

响应于所述数据采集标准的变化，对所述设备建模类型校验准则库中基于所述数据采集标准的设备建模类型校验准则进行修改。

10.一种半导体设备建模装置，其特征在于，所述装置包括：

确定单元，被配置为响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择设备模型对象中的待添加模型和设备模型树中的目标模型；其中，所述设备模型对象中的每一个模型各自关联一个与半导体生产设备的设备相关的数据结构；

校验单元，被配置为利用对应于所述源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对所述待添加模型的信息和所述目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；

反馈单元，被配置为显示指示所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点的校验结果。