TWI802053B

TWI802053B - 平面光波導式粒子電漿共振感測器、其製備方法以及平面光波導式粒子電漿共振感測系統

Info

Publication number: TWI802053B
Application number: TW110139134A
Authority: TW
Inventors: 江昌嶽; 王健聰; 吳勁葦; 廖育瑲
Original assignee: 國立雲林科技大學
Priority date: 2021-10-21
Filing date: 2021-10-21
Publication date: 2023-05-11
Also published as: TW202317971A

Abstract

本發明提供一種平面光波導式粒子電漿共振感測器，其包含一平面光波導基材、複數個貴金屬奈米粒子、一氧化石墨烯結構以及複數個生物探針。貴金屬奈米粒子連接平面光波導基材之一表面，氧化石墨烯結構連接各貴金屬奈米粒子遠離平面光波導基材之一端，且生物探針連接氧化石墨烯結構遠離貴金屬奈米粒子之一側。藉此，可以藉由平面光波導式粒子電漿共振感測器的光學特性變化得知目標物濃度，進而快速且準確地得到檢測結果。

Description

平面光波導式粒子電漿共振感測器、其製備方法以及平面光波導式粒子電漿共振感測系統

本發明是有關一種粒子電漿共振感測器、其製備方法及感測系統，且特別是有關一種利用平面光波導之粒子電漿共振感測器、其製備方法及感測系統。

隨著醫學科技進步，疾病檢測的技術也正逐步發展，臨床上已出現許多檢測技術，例如質譜法（MS）、高效液相層析法（HPLC）、酶聯免疫吸附測定法（ELISA）、化學發光酶免疫測定法（CLEIA）以及螢光免疫測定法（FIA）等。然而，上述技術的檢測過程冗長耗時，通常需要透過專業人員操作或判讀才能順利獲得檢測結果，且檢測儀器龐大、價格昂貴，故一般民眾或居家照護單位難以進行相關檢測。

有鑑於此，開發易於使用且準確性高的生化檢測儀器遂成為相關業者努力之目標。

本發明的目的是提供一種平面光波導式粒子電漿共振感測器，其與目標物結合前後的光學特性有所差異，因此可以透過測量光訊號變化，方便、快速且準確地得到檢測結果。

本發明之一態樣提供一種平面光波導式粒子電漿共振感測器，其包含一平面光波導基材、複數個貴金屬奈米粒子、一氧化石墨烯結構以及複數個生物探針。貴金屬奈米粒子連接平面光波導基材之一表面，氧化石墨烯結構連接各貴金屬奈米粒子遠離平面光波導基材之一端，且生物探針連接氧化石墨烯結構遠離貴金屬奈米粒子之一側。

據此，本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測器透過在平面光波導基材上結合貴金屬奈米粒子及氧化石墨烯結構，當平面光波導式粒子電漿共振感測器的生物探針與目標物結合後，會改變貴金屬奈米粒子所產生的光學特性，因此可以藉由光學特性的變化得知目標物濃度，進而快速且準確地得到檢測結果。

依據前述之平面光波導式粒子電漿共振感測器，平面光波導基材之厚度可為0.1 mm至1.5 mm。

依據前述之平面光波導式粒子電漿共振感測器，貴金屬奈米粒子之材質可選自由金、銀、鉑、鈀、釕、銠、鋨、銥、錸與銅所組成之群組。

依據前述之平面光波導式粒子電漿共振感測器，貴金屬奈米粒子之材質可為金，且各貴金屬奈米粒子之粒徑可為8 nm至50 nm。

本發明之另一態樣提供一種如前述之平面光波導式粒子電漿共振感測器的製備方法，其包含以下步驟：提供平面光波導基材、進行一奈米粒子附著步驟、進行一修飾步驟、進行一氧化石墨烯固定步驟以及進行一生物探針附著步驟。在奈米粒子附著步驟中，係將貴金屬奈米粒子附著至平面光波導基材之表面。在修飾步驟中，係以一第一化合物對平面光波導基材上之貴金屬奈米粒子進行修飾，以於各貴金屬奈米粒子上形成一第一官能基。在氧化石墨烯固定步驟中，係使第一官能基與氧化石墨烯結構中的複數個第二官能基反應，進而使氧化石墨烯結構連接各貴金屬奈米粒子之一端。在生物探針附著步驟中，係使各生物探針之一第三官能基與平面光波導基材上之氧化石墨烯結構中的一第四官能基反應，進而使生物探針連接氧化石墨烯結構之一側。

依據前述之製備方法，平面光波導基材之厚度可為0.1 mm至1.5 mm。

依據前述之製備方法，貴金屬奈米粒子之材質可選自由金、銀、鉑、鈀、釕、銠、鋨、銥、錸與銅所組成之群組。

依據前述之製備方法，貴金屬奈米粒子之材質可為金，且各貴金屬奈米粒子之粒徑可為8 nm至50 nm。

依據前述之製備方法，第一化合物可為胱胺二鹽酸鹽，各第一官能基可為胺基且各第二官能基可為羧基。

依據前述之製備方法，各第三官能基可為胺基且各第四官能基可為羧基。

本發明之又一態樣提供一種平面光波導式粒子電漿共振感測系統，其包含一感測模組、一光源、一接收元件以及一運算模組。感測模組包含一樣品流道及如前述之平面光波導式粒子電漿共振感測器，且平面光波導式粒子電漿共振感測器位於樣品流道中。光源設於感測模組之一側，光源用以發出一光線通過平面光波導式粒子電漿共振感測器之平面光波導基材。接收元件設於感測模組之另一側，接收元件用以接收通過平面光波導基材之光線，並產生一感測訊號。運算模組耦接接收元件，運算模組用以接收感測訊號並計算出一感測值。

前述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統可更包含一光源驅動元件，光源驅動元件可耦接光源及運算模組，光源驅動元件可用以控制光源發出光線，並用以傳送一參考訊號至運算模組。

依據前述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，運算模組可透過一訊號放大元件與接收元件耦接，訊號放大元件可用以放大感測訊號及去除感測訊號中的雜訊。

依據前述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，平面光波導基材之厚度可為0.1 mm至1.5 mm。

依據前述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，貴金屬奈米粒子之材質可選自由金、銀、鉑、鈀、釕、銠、鋨、銥、錸與銅所組成之群組。

依據前述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，貴金屬奈米粒子之材質可為金，且各貴金屬奈米粒子之粒徑可為8 nm至50 nm。

下述將更詳細討論本發明各實施方式。然而，此實施方式可為各種發明概念的應用，可被具體實行在各種不同的特定範圍內。特定的實施方式是僅以說明為目的，且不受限於揭露的範圍。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示。

請參照第1圖，第1圖為本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測器100的結構示意圖。本發明之一態樣提供一種平面光波導式粒子電漿共振感測器100，其包含一平面光波導基材110、複數個貴金屬奈米粒子120、一氧化石墨烯結構130以及複數個生物探針140。貴金屬奈米粒子120連接平面光波導基材110，氧化石墨烯結構130連接貴金屬奈米粒子120，且生物探針140連接氧化石墨烯結構130。

詳言之，平面光波導基材110之材質可為二氧化矽（SiO ₂）、絕緣矽晶圓片（silicon on insulator，SOI）、磷化銦（InP）、砷化鎵（GaAs）、鈮酸鋰（LiNbO ₃）、高分子聚合物或其他可製成光波導之材質，本發明不以此為限。檢測過程中，光線會於平面光波導基材110中進行多次全反射，進而增加感測訊號的強度，有關詳細的檢測原理及流程將於後續段落中介紹，於此恕不贅述。

平面光波導基材110之厚度可為0.1 mm至1.5 mm。藉由控制平面光波導基材110的厚度，可以適當地控制光線於平面光波導基材110中的路徑，並有利於加工製造，在維持檢測靈敏度的前提下，促進平面光波導式粒子電漿共振感測器100的微型化。

貴金屬奈米粒子120係連接平面光波導基材110之一表面。當光線通過平面光波導基材110時會產生漸逝波（evanescentwave），貴金屬奈米粒子120吸收漸逝波後，貴金屬奈米粒子120的自由電子會產生週期性的集體式偶極振盪或多極振盪，若貴金屬奈米粒子120與不同的目標物直接或間接地結合，其對漸逝波的吸收度便會改變，因此，可以經由測定貴金屬奈米粒子120的吸收度來判斷貴金屬奈米粒子120與目標物的結合狀況。

貴金屬奈米粒子120之材質可選自由金、銀、鉑、鈀、釕、銠、鋨、銥、錸與銅所組成之群組，其中貴金屬奈米粒子120之材質較佳為金，且各貴金屬奈米粒子120之粒徑可為8 nm至50 nm。藉由選擇適當的貴金屬奈米粒子120的材質及尺寸，可以提升平面光波導式粒子電漿共振感測器100的檢測極限及靈敏度，或是調整貴金屬奈米粒子120的吸收波段，以利後續檢測應用。

氧化石墨烯結構130係連接各貴金屬奈米粒子120遠離平面光波導基材110之一端。由於氧化石墨烯結構130具有高載子遷移率（carrier mobility），可以耦合至貴金屬奈米粒子120的表面等離激元波（surface plasmon wave），以大幅增強貴金屬奈米粒子120的表面電場效應，進而提高平面光波導式粒子電漿共振感測器100的靈敏度。氧化石墨烯結構130中亦具有大量的游離氧及羧基，方便與生物探針140或其他生物檢測單元結合，有助於放大感測訊號的強度。再者，氧化石墨烯結構130可以減緩貴金屬奈米粒子120的表面氧化速率，降低因貴金屬奈米粒子120氧化而造成的檢測誤差。

生物探針140係連接氧化石墨烯結構130遠離貴金屬奈米粒子120之一側，生物探針140係用以與目標物結合，故生物探針140的種類需視目標物而定，且生物探針140與目標物可以為抗體與抗原之關係。舉例而言，欲檢測鏈親和素（streptavidin）時，可以使用生物素（biotin）做為生物探針140，惟本發明並不以此為限。

請一併參照第2圖、第3A圖及第3B圖，第2圖為本發明之製備方法200的步驟流程圖，第3A圖及第3B圖為本發明之製備方法200的一化學結構流程圖。本發明之另一態樣提供一種如前述之平面光波導式粒子電漿共振感測器100的製備方法200，其包含步驟210、步驟220、步驟230、步驟240及步驟250。

步驟210為提供平面光波導基材110，有關平面光波導基材110之細節請參照前述段落，於此不再贅述。

步驟220為進行一奈米粒子附著步驟，亦可稱為固定化步驟。在奈米粒子附著步驟中，係將貴金屬奈米粒子120附著至平面光波導基材110之表面。詳言之，可以將平面光波導基材110浸泡於3-氫硫丙基甲基二甲氧基矽烷（(3-mercaptopropyl)- methyldimethoxysilane，MPDMS）的甲苯溶液中，待MPDMS在平面光波導基材110成膜後，再將具有MPDMS膜的平面光波導基材110浸泡於貴金屬奈米粒子120溶液中，使貴金屬奈米粒子120與MPDMS的氫硫基（-SH）結合，進而使貴金屬奈米粒子120附著至平面光波導基材110之表面。

步驟230為進行一修飾步驟，其係以一第一化合物對平面光波導基材110上之貴金屬奈米粒子120進行修飾，以於各貴金屬奈米粒子120上形成一第一官能基。

步驟240為進行一氧化石墨烯固定步驟，係使第一官能基與氧化石墨烯結構130中的複數個第二官能基反應，進而使氧化石墨烯結構130連接各貴金屬奈米粒子120之一端。

值得注意的是，由於氧化石墨烯結構130中具有羧基，因此可將羧基作為第二官能基進行反應，而第一官能基則可選擇為易與羧基反應之胺基。詳言之，第一化合物可以為胱胺二鹽酸鹽（cystamine dihydrochloride），在步驟230中，可以先將步驟220所獲得之附有貴金屬奈米粒子120的平面光波導基材110與胱胺二鹽酸鹽溶液接觸，使各貴金屬奈米粒子120上形成胺基，接著進行步驟240，使各貴金屬奈米粒子120上的胺基與氧化石墨烯結構130中的羧基反應，以使氧化石墨烯結構130順利與各貴金屬奈米粒子120結合。必須說明的是，由於氧化石墨烯結構130中亦具有其他官能基，例如羥基、環氧基或羰基等，因此亦可將非羧基之官能基作為第二官能基，並對應改變第一官能基及第一化合物之種類，故本發明並不以前述之官能基及化合物種類為限。

步驟250為進行一生物探針附著步驟，係使各生物探針140之一第三官能基與平面光波導基材110上之氧化石墨烯結構130中的一第四官能基反應，進而使生物探針140連接氧化石墨烯結構130之一側。同樣地，第三官能基及第四官能基可分別選擇為胺基及羧基，亦可將氧化石墨烯結構130中非羧基之官能基作為第四官能基，並對應改變第三官能基之種類，本發明不以此為限。

舉例而言，若以生物素做為生物探針140時，可以先以1-乙基-3-(3-二甲基氨基丙基)碳醯二亞胺/N-羥基琥珀醯亞胺（EDC/NHS）溶液對羧基（即第四官能基）進行活化，再將帶胺基（即第三官能基）之生物素（NH ₂-biotin）溶液與氧化石墨烯結構130接觸，使胺基與羧基進行反應，最終使生物素與氧化石墨烯結構130相連接。

請參照第4圖，第4圖為本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測系統300的結構示意圖。本發明之又一態樣提供一種平面光波導式粒子電漿共振感測系統300，其包含一感測模組310、一光源320、一接收元件330以及一運算模組340。

感測模組310包含一樣品流道310a及如前述之平面光波導式粒子電漿共振感測器350，且平面光波導式粒子電漿共振感測器350位於樣品流道310a中。進行檢測時，一待測溶液可以流經樣品流道310a並接觸平面光波導式粒子電漿共振感測器350，待測溶液中若帶有目標物，則目標物會與平面光波導式粒子電漿共振感測器350上的生物探針結合，進而改變平面光波導式粒子電漿共振感測器350的光學特性。

光源320設於感測模組310之一側，光源320用以發出一光線A通過平面光波導式粒子電漿共振感測器350之平面光波導基材，而接收元件330設於感測模組310之另一側，接收元件330用以接收通過平面光波導基材之光線A，並產生一感測訊號，其中，接收元件330可為PN型光電二極體、PIN型光電二極體、發射鍵型光電二極體、雪崩型光電二極體或其他可將光線A轉換為電流或電壓訊號之元件，本發明不以此為限。

運算模組340耦接接收元件330，運算模組340用以接收感測訊號並計算出一感測值，若平面光波導式粒子電漿共振感測器350上的生物探針帶有目標物，會改變貴金屬奈米粒子對光線A的吸收度，因此藉由測量吸收度的改變，可以計算出待測溶液中是否含有目標物以及目標物的濃度高低，相關的檢測細節及檢測結果將於後續段落中說明，於此不再贅述。

平面光波導式粒子電漿共振感測系統300可更包含一光源驅動元件360，光源驅動元件360可耦接光源320及運算模組340，光源驅動元件360可用以控制光源320發出光線A，例如控制光源320所發出光線A的波長或強度等。光源驅動元件360更可用以傳送一參考訊號至運算模組340，運算模組340透過比較參考訊號及感測訊號，即可計算出平面光波導式粒子電漿共振感測器350對光線A的吸收度，再進一步計算出待測溶液中的目標物濃度。

除此之外，運算模組340可透過一訊號放大元件370與接收元件330耦接，訊號放大元件370可用以放大感測訊號及去除感測訊號中的雜訊，進而提升平面光波導式粒子電漿共振感測系統300的靈敏度及準確度。

以下將針對本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測系統的靈敏度及非特異性進行測試，並以平面光波導式粒子電漿共振感測系統進行鏈親和素檢測實驗。

＜一、平面光波導式粒子電漿共振感測系統之靈敏度測試＞

請參照第5A圖及第5B圖，第5A圖為紫外光－可見光（UV-Vis）光譜儀的靈敏度檢測結果圖，第5B圖為紫外光－可見光光譜儀於檢測波長為532 nm時吸收度與折射率的線性回歸圖。在本實驗的第一部份中，係將折射率為1.343至1.403的蔗糖水溶液或去離子水（折射率約為1.333）注入紫外光－可見光光譜儀，並利用波長495 nm至570 nm的光線進行照射，經測量蔗糖水溶液或去離子水對不同波長光線的吸收度後得到如第5A圖之靈敏度檢測結果。

由第5A圖可以看出，光線的吸收度係隨著折射率增加而上升，且吸收度在532 nm時達到高峰，因此，可以將檢測用的光線波長訂為532 nm。若將532 nm的吸收度數據與溶液折射率進行線性回歸，可以獲得如第5B圖所示之線性關係，所得斜率即為系統靈敏度（Sensitivity），本實驗之感測靈敏度約為0.126 AU/RIU。

請參照第6A圖及第6B圖，第6A圖為利用平面光波導式粒子電漿共振感測系統檢測不同折射率溶液時的即時訊號強度圖，第6B圖為平面光波導式粒子電漿共振感測系統的訊號強度變化與折射率的線性回歸圖。在本實驗的第二部分中，係將折射率為1.343至1.403的蔗糖水溶液依序注入平面光波導式粒子電漿共振感測系統的樣品流道，並以光線照射樣品流道中的平面光波導式粒子電漿共振感測器，最終獲得如第6A圖之即時訊號強度。

由第6A圖可以看出，每當注入不同折射率的蔗糖水溶液時，訊號強度會瞬間下降並隨即達到平衡，且訊號強度呈現階梯式下降。另外，若以每種折射率所測到的訊號平衡強度（I）與初始強度（I ₀）的比值與溶液折射率進行線性回歸，可以得到如第6B圖所示的線性關係，由第6B圖的斜率可以看出，平面光波導式粒子電漿共振感測系統對蔗糖水溶液的感測靈敏度約為4.892×10 ^-6AU/RIU，證明本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測系統具有極佳的感測靈敏度。

＜二、平面光波導式粒子電漿共振感測系統之非特異性測試＞

請參照第7圖，第7圖為平面光波導式粒子電漿共振感測系統的非特異性測試結果圖。為了測試平面光波導式粒子電漿共振感測器上的生物探針是否會與待測溶液中的多種物質產生非特異性結合，本實驗將以生物探針為生物素的平面光波導式粒子電漿共振感測系統，對濃度為1.0×10 ^-7g/ml及1.0×10 ^-6g/ml的牛血清白蛋白（bovine serum albumin，BSA）溶液進行檢測，檢測結果如第7圖所示。

由第7圖可以看出，當不同濃度的BSA溶液注入樣品流道後，平面光波導式粒子電漿共振感測系統所檢測到的訊號強度與背景訊號幾乎無差異，顯示本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測系統具有相當的特異性，因此可以降低檢測時出現假陽性之結果。

＜三、以平面光波導式粒子電漿共振感測系統進行鏈親和素檢測實驗＞

請一併參照第8A圖及第8B圖，第8A圖為利用平面光波導式粒子電漿共振感測系統檢測不同濃度之鏈親和素溶液時的即時訊號強度圖，第8B圖為平面光波導式粒子電漿共振感測系統的訊號強度變化與鏈親和素溶液濃度的線性回歸檢量線圖。在本實驗中，係以生物探針為生物素的平面光波導式粒子電漿共振感測系統，對濃度為1.0×10 ^-11g/ml至1.0×10 ^-6g/ml之鏈親和素溶液進行檢測，並獲得如第8A圖之即時訊號強度。

由第8A圖可以看出，檢測不同濃度的鏈親合素溶液時，訊號強度同樣呈現階梯式下降。接著將每種濃度所測到的訊號平衡強度（I）與初始強度（I ₀）的比值與溶液中鏈親和素濃度的對數值進行線性回歸，可以得到如第8B圖的所示的線性關係，其可做為檢測鏈親和素的檢量線。

此外，由第8B圖可以計算出，平面光波導式粒子電漿共振感測系統對鏈親和素的檢測極限（limit of detection，LOD）為5.18×10 ^-12g/ml，與傳統的鏈親合素檢測方法相比，平面光波導式粒子電漿共振感測系統的檢測效果約是傳統檢測方法的1000倍（3個數量級），證明本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測系統具有良好的檢測能力。

前述偵測極限的定義如下：在已知之可信度內，可測得的分析物最小濃度或質量值。在線性關係中，可以將三倍標準差（3σ）除以斜率（m）作為偵測極限，即Concentration _LOD= 3σ/m。在本實驗中，係將各個即時偵測圖的訊號值經數據處理所得到的線性關係，皆以三倍標準差除以斜率的方式計算出偵測極限，而標準差係為空白溶液（I ₀）下600秒的訊號值數據。

＜四、平面光波導式粒子電漿共振感測系統的檢測再現性分析＞

為了評估平面光波導式粒子電漿共振感測系統是否具有良好的檢測穩定性，本實驗將以生物探針為生物素的平面光波導式粒子電漿共振感測系統，對濃度為1.0×10 ^-10g/ml、1.0×10 ^-9g/ml、1.0×10 ^-8g/ml及1.0×10 ^-7g/ml之鏈親和素溶液進行檢測，每個濃度則分別檢測三次，檢測結果如下表一所示：

表一
濃度（g/ml）	1.0×10 ^-10	1.0×10 ^-9	1.0×10 ^-8	1.0×10 ^-7
訊號響應之 CV值（%）	0.8	2.18	5.47	7.31

由上表一的結果可以得知，在濃度為1.0×10 ^-10g/ml至1.0×10 ^-7g/ml的範圍內，檢測訊號響應的變異係數值（CV值）小於8%，證明本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測系統具有良好的檢測穩定性，且檢測結果可以維持高度再現性。

綜上所述，本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測器透過在平面光波導基材上結合貴金屬奈米粒子及氧化石墨烯結構，當平面光波導式粒子電漿共振感測器的生物探針與目標物結合後，會改變貴金屬奈米粒子所產生的光學特性，因此可以藉由光學特性的變化得知目標物濃度，進而快速且準確地得到檢測結果。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100,350:平面光波導式粒子電漿共振感測器 110:平面光波導基材 120:貴金屬奈米粒子 130:氧化石墨烯結構 140:生物探針 200:製備方法 210,220,230,240,250:步驟 300:平面光波導式粒子電漿共振感測系統 310:感測模組 310a:樣品流道 320:光源 330:接收元件 340:運算模組 360:光源驅動元件 370:訊號放大元件 A:光線

為讓本發明之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖為本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測器的結構示意圖；第2圖為本發明之製備方法的步驟流程圖；第3A圖及第3B圖為本發明之製備方法的一化學結構流程圖；第4圖為本發明之平面光波導式粒子電漿共振感測系統的結構示意圖；第5A圖為紫外光－可見光光譜儀的靈敏度檢測結果圖；第5B圖為紫外光－可見光光譜儀於檢測波長為532 nm時吸收度與折射率的線性回歸圖；第6A圖為利用平面光波導式粒子電漿共振感測系統檢測不同折射率溶液時的即時訊號強度圖；第6B圖為平面光波導式粒子電漿共振感測系統的訊號強度變化與折射率的線性回歸圖；第7圖為平面光波導式粒子電漿共振感測系統的非特異性測試結果圖；第8A圖為利用平面光波導式粒子電漿共振感測系統檢測不同濃度之鏈親和素溶液時的即時訊號強度圖；以及第8B圖為平面光波導式粒子電漿共振感測系統的訊號強度變化與鏈親和素溶液濃度的線性回歸檢量線圖。

100:平面光波導式粒子電漿共振感測器 110:平面光波導基材 120:貴金屬奈米粒子 130:氧化石墨烯結構 140:生物探針

Claims

一種平面光波導式粒子電漿共振感測器，包含：一平面光波導基材；複數個貴金屬奈米粒子，連接該平面光波導基材之一表面；一氧化石墨烯結構，連接各該貴金屬奈米粒子遠離該平面光波導基材之一端；以及複數個生物探針，連接該氧化石墨烯結構遠離該些貴金屬奈米粒子之一側；其中，該平面光波導基材之厚度為0.1mm至1.5mm。
如請求項1所述之平面光波導式粒子電漿共振感測器，其中該些貴金屬奈米粒子之材質係選自由金、銀、鉑、鈀、釕、銠、鋨、銥、錸與銅所組成之群組。
如請求項2所述之平面光波導式粒子電漿共振感測器，其中該些貴金屬奈米粒子之材質為金，且各該貴金屬奈米粒子之粒徑為8nm至50nm。
一種如請求項1所述之平面光波導式粒子電漿共振感測器的製備方法，包含：提供該平面光波導基材；進行一奈米粒子附著步驟，係將該些貴金屬奈米粒子附著至該平面光波導基材之該表面；進行一修飾步驟，係以一第一化合物對該平面光波導基材上之該些貴金屬奈米粒子進行修飾，以於各該貴金屬奈米粒子上形成一第一官能基；進行一氧化石墨烯固定步驟，係使該些第一官能基與該氧化石墨烯結構中的複數個第二官能基反應，進而使該氧化石墨烯結構連接各該貴金屬奈米粒子之該端；以及進行一生物探針附著步驟，係使各該生物探針之一第三官能基與該平面光波導基材上之該氧化石墨烯結構中的一第四官能基反應，進而使該些生物探針連接該氧化石墨烯結構之該側。
如請求項4所述之製備方法，其中該些貴金屬奈米粒子之材質係選自由金、銀、鉑、鈀、釕、銠、鋨、銥、錸與銅所組成之群組。
如請求項5所述之製備方法，其中該些貴金屬奈米粒子之材質為金，且各該貴金屬奈米粒子之粒徑為8nm至50nm。
如請求項4所述之製備方法，其中該第一化合物為胱胺二鹽酸鹽，各該第一官能基為胺基且各該第二官能基為羧基。
如請求項4所述之製備方法，其中各該第三官能基為胺基且各該第四官能基為羧基。
一種平面光波導式粒子電漿共振感測系統，包含：一感測模組，其包含一樣品流道及如請求項1所述之平面光波導式粒子電漿共振感測器，且該平面光波導式粒子電漿共振感測器位於該樣品流道中；一光源，設於該感測模組之一側，該光源用以發出一光線通過該平面光波導式粒子電漿共振感測器之該平面光波導基材；一接收元件，設於該感測模組之另一側，該接收元件用以接收通過該平面光波導基材之該光線，並產生一感測訊號；以及一運算模組，耦接該接收元件，該運算模組用以接收該感測訊號並計算出一感測值。
如請求項9所述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，更包含一光源驅動元件，其耦接該光源及該運算模組，該光源驅動元件用以控制該光源發出該光線，並用以傳送一參考訊號至該運算模組。
如請求項9所述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，其中該運算模組係透過一訊號放大元件與該接收元件耦接，該訊號放大元件用以放大該感測訊號及去除該感測訊號中的雜訊。
如請求項9所述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，其中該些貴金屬奈米粒子之材質係選自由金、銀、鉑、鈀、釕、銠、鋨、銥、錸與銅所組成之群組。
如請求項12所述之平面光波導式粒子電漿共振感測系統，其中該些貴金屬奈米粒子之材質為金，且各該貴金屬奈米粒子之粒徑為8nm至50nm。