TWI792141B

TWI792141B - 基於iap的模擬方法、裝置以及晶圓清洗設備

Info

Publication number: TWI792141B
Application number: TW110100398A
Authority: TW
Inventors: 王毅恒; 郭訓容
Original assignee: 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司
Priority date: 2020-01-21
Filing date: 2021-01-06
Publication date: 2023-02-11
Also published as: TW202129526A; CN111310313A; CN111310313B

Abstract

一種基於IAP的模擬方法、裝置以及晶圓清洗設備。方法包括：通過邏輯層接收用於控制硬體機台的功能指令，並將功能指令下發至驅動層；通過驅動層判斷當前是否處於模擬模式；在當前處於模擬模式時，阻斷驅動層與硬體機台之間的通訊，並將功能指令下發至用於模擬硬體機台的模擬環境中，模擬硬體機台執行功能指令；通過驅動層、邏輯層返回功能指令的模擬結果；其中，模擬環境是預置的，模擬環境的配置文件包括硬體機台的功能指令與對應IO點位通道的綁定關係，每個IO點位通道均設置有IO初始值。

Description

基於IAP的模擬方法、裝置以及晶圓清洗設備

本發明涉及半導體設備技術領域，更具體地，涉及一種基於IAP的模擬方法、裝置以及應用該基於IAP的模擬裝置的晶圓清洗設備。

當前半導體設備依託於IAP（Industrial automation platform，工業自動化平台）機制，其軟體控制系統可分為上位機軟體與下位機軟體，其中上位機軟體主要作用是提供GUI界面，數據儲存以及控制下位機軟體，而下位機軟體主要作用是負責接收上位機軟體發送的指令，控制實際的機台硬體執行相應動作，同時反饋下位機軟體及硬體信息給上位機軟體。

下位機軟體按照層次結構劃分主要可以分為邏輯層和驅動層，其中邏輯層包含所有的基本功能、組合功能、報警以及互鎖等邏輯代碼，而驅動層是連接邏輯層與硬體設備IO點，下位機軟體通過驅動層進行硬體設備的交互。

因此，當下位機軟體沒有連接硬體設備時，就必須切換為模擬模式，否則會出現異常。當前模擬模式的測試僅僅是指令到達驅動層後直接返回，該場景僅僅能測試上下位機軟體是否通訊正常，功能代碼是否正常觸發（僅僅是測試到淺層的功能，具體涉及硬體交互的代碼塊無法正常讓其執行），但並不能還原實際的機台場景以及反饋硬體機台實際相關的IO點位變化，導致經常出現當前軟體能夠順利的通過模擬測試階段，但在硬體機台實際工作中卻頻繁報錯，並且往往出現了相當多的在模擬測試階段中並未出現的錯誤。

因此需要提出一種模擬方法，能夠在模擬測試階段還原實際機台的工作場景並在模擬模式下展示硬體機台真實的點位通道變化，以提供可靠的模擬測試結果。

本發明的目的是提出一種基於IAP的模擬方法、裝置以及晶圓清洗設備，實現在模擬測試階段還原實際硬體機台工作場景，在模擬模式下展示硬體機台實際的點位通道變化，提供可靠的模擬測試結果。

為實現上述目的，本發明提出一種基於IAP的模擬方法，包括：通過一邏輯層接收用於控制一硬體機台的一功能指令，並將該功能指令下發至一驅動層；通過該驅動層判斷當前是否處於模擬模式；在當前處於該模擬模式時，阻斷該驅動層與該硬體機台之間的通訊，並將該功能指令下發至用於模擬該硬體機台的一模擬環境中，模擬該硬體機台執行該功能指令；通過該驅動層、該邏輯層返回該功能指令的模擬結果；其中，該模擬環境是預置的，該模擬環境的一配置文件包括該硬體機台的功能指令與對應IO點位通道的綁定關係，每個該IO點位通道均設置有IO初始值。

本發明還提出一種基於IAP的模擬裝置，包括：一文件解析模塊，用於解析模擬硬體機台的一模擬環境的配置文件，並根據該配置文件綁定該硬體機台的功能指令與對應IO點位通道以及設定每個該IO點位通道的IO初始值；一模擬模塊，用於建立該模擬環境，通過一邏輯層接收用於控制該硬體機台的功能指令，並將該功能指令下發至一驅動層；通過該驅動層判斷當前是否處於模擬模式；在當前處於該模擬模式時，阻斷該驅動層與硬體機台之間的通訊，並將該功能指令下發至該模擬環境中，模擬該硬體機台執行該功能指令；通過該驅動層、該邏輯層返回該功能指令的模擬結果。

本發明還提出一種基於IAP的晶圓清洗設備，包括上述的基於IAP的模擬裝置。

本發明的有益效果在於：本發明基於IAP機制模擬真實硬體機台工作，通過預先將模擬環境的配置文件綁定功能命令與模擬機台的IO點位通道並設置參數值，當驅動層判斷當前處於模擬模式時，阻斷驅動層與硬體機台之間的通訊，並將功能指令下發至用於模擬硬體機台的模擬環境中，模擬硬體機台執行功能指令，實現在模擬測試階段還原實際硬體機台的工作場景，在模擬模式下展示硬體機台實際的點位通道變化，提供可靠的模擬測試結果。

本發明的裝置具有其它的特性和優點，這些特性和優點從併入本文中的附圖和隨後的具體實施方式中將是顯而易見的，或者將在併入本文中的附圖和隨後的具體實施方式中進行詳細陳述，這些附圖和具體實施方式共同用於解釋本發明的特定原理。

以下揭露提供用於實施本揭露之不同構件之許多不同實施例或實例。下文描述組件及配置之特定實例以簡化本揭露。當然，此等僅為實例且非意欲限制。舉例而言，在以下描述中之一第一構件形成於一第二構件上方或上可包含其中該第一構件及該第二構件經形成為直接接觸之實施例，且亦可包含其中額外構件可形成在該第一構件與該第二構件之間，使得該第一構件及該第二構件可不直接接觸之實施例。另外，本揭露可在各個實例中重複參考數字及/或字母。此重複出於簡化及清楚之目的且本身不指示所論述之各個實施例及/或組態之間的關係。

此外，為便於描述，諸如「下面」、「下方」、「下」、「上方」、「上」及類似者之空間相對術語可在本文中用於描述一個元件或構件與另一(些)元件或構件之關係，如圖中圖解說明。空間相對術語意欲涵蓋除在圖中描繪之定向以外之使用或操作中之裝置之不同定向。設備可以其他方式定向(旋轉90度或按其他定向)且因此可同樣解釋本文中使用之空間相對描述詞。

儘管陳述本揭露之寬泛範疇之數值範圍及參數係近似值，然儘可能精確地報告特定實例中陳述之數值。然而，任何數值固有地含有必然由於見於各自測試量測中之標準偏差所致之某些誤差。再者，如本文中使用，術語「大約」通常意謂在一給定值或範圍之10%、5%、1%或0.5%內。替代地，術語「大約」意謂在由此項技術之一般技術者考量時處於平均值之一可接受標準誤差內。除在操作/工作實例中以外，或除非以其他方式明確指定，否則諸如針對本文中揭露之材料之數量、時間之持續時間、溫度、操作條件、數量之比率及其類似者之全部數值範圍、數量、值及百分比應被理解為在全部例項中由術語「大約」修飾。相應地，除非相反地指示，否則本揭露及隨附發明申請專利範圍中陳述之數值參數係可根據需要變化之近似值。至少，應至少鑑於所報告有效數位之數目且藉由應用普通捨入技術解釋各數值參數。範圍可在本文中表達為從一個端點至另一端點或在兩個端點之間。本文中揭露之全部範圍包含端點，除非另有指定。

當前基於IAP機制的下位機軟體模擬模式的測試僅僅是指令到達驅動層後直接返回，該場景僅僅能測試上下位機軟體是否通訊正常，功能代碼是否正常觸發，並不能還原實際的機台場景以及反饋硬體機台實際相關的IO點位變化，這其中包括一些直接變化和間接變化，例如某些衝突的互斥點位（任何時刻兩個點位不可能同時觸發），當某一個基本功能（基本功能指令是直接控制具體點位的功能，相對而言的具有邏輯的控制基本功能的功能統稱為組合功能）控制其中一個點位時，按照實際情況勢必只會導致由於衝突點位處於觸發狀態，該點位無法正常觸發，同時由於衝突點位未觸發，該點位正常觸發。

因此由於現有的模擬測試僅僅是直接返回而不向硬體下發命令，導致無法測試出間接變化，也無法還原實際機台工作場景，從而導致出現違背機台實際工作情況的結果，例如兩個分別控制一對衝突點位的命令均正常下發，並且當測試內容愈加豐富時，測試結果並不可靠。

為解決上述問題，本法提出了一種基於IAP的模擬方法，能夠在模擬測試階段還原實際機台的工作場景並在模擬模式下展示硬體機台真實的點位通道變化，以提供可靠的模擬測試結果。

下面將參照附圖更詳細地描述本發明。雖然附圖中顯示了本發明的優選實施例，然而應該理解，可以以各種形式實現本發明而不應被這裡闡述的實施例所限制。相反，提供這些實施例是為了使本發明更加透徹和完整，並且能夠將本發明的範圍完整地傳達給本領域的技術人員。

圖1示出了根據本發明的一種基於IAP的模擬方法的步驟圖。

如圖1所示，根據本發明的一種基於IAP的模擬方法，包括：通過邏輯層接收用於控制硬體機台的功能指令，並將功能指令下發至驅動層；通過驅動層判斷當前是否處於模擬模式；在當前處於模擬模式時，阻斷驅動層與硬體機台之間的通訊，並將功能指令下發至用於模擬硬體機台的模擬環境中，模擬硬體機台執行功能指令；通過驅動層、邏輯層返回功能指令的模擬結果；其中，模擬環境是預置的，模擬環境的配置文件包括硬體機台的功能指令與對應IO點位通道的綁定關係，每個IO點位通道均設置有IO初始值。

具體地，參考圖2，通過預先在模擬環境的配置文件中綁定功能命令與模擬機台的IO點位通道並設置參數值，當驅動層判斷當前處於模擬模式時，阻斷驅動層與硬體機台之間的通訊，並將功能指令下發至用於模擬硬體機台的模擬環境中，模擬硬體機台執行功能指令，實現在模擬測試階段還原實際硬體機台的工作場景，在模擬模式下展示硬體機台實際的點位通道變化，提供可靠的模擬測試結果。其中，IAP包括上位機軟體和下位機軟體，上位機軟體能夠通過下位機軟體向硬體機台下發控制硬體機台的功能指令，下位機軟體中具有邏輯層和驅動層

在一優選實施例中，預置模擬環境可以包括：將預先編譯的模擬動態鏈接庫文件導入IAP模擬項目中生成模擬環境，並將模擬環境的配置文件添加到IAP模擬項目的配置文件中。

具體地，IAP提供有用於外部發開的模擬標籤，本技術領域具有通常知識者可以根據本發明預先開發編譯用於實現模擬環境的模擬程序，並將模擬程序嵌套在下位機軟體中實現模擬環境的搭建。

在一個示例中，將預先編譯的模擬動態鏈接庫文件SimuEnvironment.dll導入到IAP模擬項目中生成模擬環境，並將配置文件SimuEnvironment.xml添加到IAP模擬項目文件下的config文件中，同時配置好其中的內容。

在一優選實施例中，根據控制硬體機台的功能指令，配置模擬環境的配置文件可以包括以下至少之一：將每個基本功能指令與模擬環境中對應的一個DI點位通道綁定並設定每個DI點位通道的IO初始值；將每個PMC組合功能指令與模擬環境中對應的多個DI點位通道綁定並設定每個DI點位通道的IO初始值；將每個TMC組合功能指令與模擬環境中對應的多個DI點位通道綁定並設定每個DI點位通道的IO初始值；將每個AO量功能指令與模擬環境中對應的一個AI點位通道綁定並設定每個AI點位通道的IO初始值。

具體地，在配置文件SimuEnvironment.xml中能夠通過規定格式綁定功能與IO通道，並且設置IO初始值，其中綁定內容主要包括如下：基本功能指令(DO通道數字量輸出)與對應DI（通道數字量輸入）點位通道通道號一對一綁定，例如將注水閥控制命令與注水閥DI通道綁定；PMC組合功能指令（包括多個基本功能指令）與對應DI點位通道號一對多綁定，例如Tank1注水功能與Tank1所有液位DI通道綁定，或Robot1水平移動功能與Robot1所有槽到位檢測DI點位綁定；TMC組合功能指令（如機械手跨多製程模塊移動操作的功能指令）與對應狀態DI點位通道號一對多綁定，例如Robot1水平移動功能與Robot1 X軸移位至目標位置命令與所有狀態DI通道綁定；AO（模擬量輸出量）功能指令與對應AI（模擬量輸入）通道綁定，例如加熱機台加熱溫度AO功能指令與對應AI通道的綁定。

需要說明的是，下位機軟體包括PMC和TMC。其中，PMC（process module control製程模塊控制），指的是機台上固定的製程模塊，例如每個tank以及屬於它的所有部件。TMC（transfer module control傳輸模塊控制），指的是機台上可以移動的、跨多個製程模塊的，用於傳輸的硬體，例如robot（機械手）等。因此PMC組合功能綁定的是一個製程模塊內的IO，而TMC組合功能中，綁定的是傳輸的硬體運動區間內的所有IO點位(涉及多個製程模塊)。

在一優選實施例中，阻斷驅動層與硬體機台之間的通訊可以包括：在IAP下位機軟體的驅動層中聲明以模擬環境為實例，通過IAP提供的模擬方法阻斷驅動層與硬體機台的通訊。

具體地，圖3為對驅動層往PLC下發方法進行處理的示例，在下位機軟體驅動層中聲明模擬環境SimuEnvironment實例，通過IAP提供的Simulated模擬方法阻斷與硬體通訊並調用模擬環境SimuEnvironment提供的讀寫方法，即可將基本功能指令或AO功能指令下發到模擬環境中，完成模擬環境的搭建並且可以順利測試基本功能。

在一優選實施例中，將功能指令下發至用於模擬硬體機台的模擬環境中，模擬硬體機台執行功能指令可以包括：當功能指令為基本功能指令或AO量功能指令時，直接將基本功能指令或AO量功能指令下發到模擬環境，模擬環境中的模擬程序根據配置文件中相應的DI點位通道或AI點位通道的IO初始值執行基本功能指令或AO量功能指令的模擬；當功能指令為PMC組合功能指令或TMC組合功能指令時，首先調用與PMC組合功能指令或TMC組合功能指令對應的執行邏輯並將PMC組合功能指令或TMC組合功能指令以及執行邏輯下發到模擬環境，調用模擬環境提供的設置IO點位通道變化時刻的方法，根據執行邏輯按變化時刻先後順序對PMC組合功能指令或TMC組合功能指令綁定的每一個DI點位通道設置變化的時刻，同時根據配置文件中相應的每個DI點位通道的IO初始值模擬執行PMC組合功能指令或TMC組合功能指令。

具體地，基本功能指令是指針對基本的機台的硬體點位通道的開或關操作。例如，現在要直接打開機台中某個製程槽的進水閥，如圖1，當上位機軟體發送該功能指令後，邏輯層接收到該命令後便下發至驅動層，驅動層判斷此時是模擬模式便不進行硬體交互，而是進入模擬讀寫方法，直接跳到模擬程序中，模擬程序會把綁定的IO通道值置為1（即該信號觸發），同時將結果記錄在log日誌文件中；同理，當上位機軟體發送關閉製程槽的進水閥指令後，該對應的IO值會置為0，同時將結果記錄在log日誌文件中。

組合功能指令是指通過邏輯層中對應的執行邏輯來控制多個基本功能指令的功能，例如實現清製程槽注水的組合功能指令，需調用的打開注水閥與關閉注水閥兩個基本功能指令，並且包含了一定的邏輯處理，比如當液位達到預設值時關閉注水閥。在每個組合功能指令中，調用SimuEnvironment提供的設置IO變化時刻的方法setChangeTime（），按每個組合功能指令中執行多個基本功能的變化時刻先後順序對每一個綁定的DI通道設置其變化的時刻，setChangeTime（）方法的參數格式為：“通道號，參數值，時刻”，每個通道號都設置一個變化時刻，不設置則默認無變化。

圖4示出了在製程槽注水功能的組合功能指令中設置模擬DI通道變化的方法示例，從上位機軟體發送注水功能指令，程序走到下位機軟體邏輯層後，進入該功能的邏輯控制方法，判斷當前為模擬模式後，程序會先調用模擬setChangeTime（）方法（該方法實際上是在另外一個單獨線程上執行），設定好DI點位通道的變化時刻，在Tank1注水功能中設置某個液位變化：setChangeTime(72，0，0)和setChangeTime(72，1，5)，表示通道號為72的液位DI信號在第5s時處於觸發狀態，之後開始執行該注水功能指令。

當第0s時，通道號為72的DI點位（該點位為液位DI信號），處於未觸發狀態，DI點位值為0（在實際機台上表示此時槽內水位未達到）。當第5s時，模擬程序會自動觸發該DI信號，即將該點位IO通道值置為1（在實際硬體機台中表示此時槽內水位已達到）。以此能夠在測試階段動態地還原出該注水功能在實際機台運作的情況。當第5s後，組合功能邏輯判斷水位達到，便會調用關閥功能，之後正常結束該功能。

因此上述實施例的基於IAP的模擬方法通過動態模擬DI信號的設置方法，能夠有效避免以往的模擬測試方法中注水功能一直監控不到水位信號亮起便會一直持續到功能超時而報警，並能夠準確測試出點位通道的直接變化和間接變化，還原實際硬體機台的工作場景提高模擬測試結果的準確性。

本發明的實施例還提出一種基於IAP的模擬裝置，包括：文件解析模塊，用於解析模擬硬體機台的模擬環境的配置文件，並根據配置文件綁定硬體機台的功能指令與對應IO點位通道以及設定每個IO點位通道的IO初始值；模擬模塊，用於建立模擬環境，通過邏輯層接收用於控制硬體機台的功能指令，並將功能指令下發至驅動層；通過驅動層判斷當前是否處於模擬模式；在當前處於模擬模式時，阻斷驅動層與硬體機台之間的通訊，並將功能指令下發至模擬環境中，模擬硬體機台執行功能指令；通過驅動層、邏輯層返回功能指令的模擬結果。

具體地，文件解析模塊主要作用是定義對外提供的SimuEnvironment.xml配置文件，通過規定格式綁定功能與IO點通道，並且設置IO初始值，其中綁定內容主要包括：基本功能(DO)與對應DI點位通道號一對一綁定；PMC組合功能與對應DI點位通道號一對多綁定；TMC組合功能與對應狀態（DI）點位通道號一對多綁定；AO模擬量輸出量功能與對應AI模擬量輸入通道綁定。模擬模塊主要用於模擬下發處理方法、模擬接收處理方法、模擬環境設置方法等。

在一個示例中，還可以包括：日誌模塊，用於記錄模擬模式下功能指令的收發和IO點位通道的變化。

具體地，日誌模塊主要記錄模擬模式下的功能指令收發與IO通道變化等內容。

本發明的實施例還提出一種基於IAP機制的晶圓清洗設備，包括上述的基於IAP的模擬裝置。採用上述實施例的基於IAP機制的下位機模擬系統，能夠在模擬測試階段還原實際機台場景，在模擬模式下展示實際機台的直接點位變化與間接點位變化，提供可靠的模擬測試結果。

本技術領域具有通常知識者可以通過現有IAP提供的底層庫函數以及相關的模擬標籤等工具，基於本發明的方法完成本發明的模擬環境的二次開發（模擬環境的開發過程本技術領域具有通常知識者容易實現，此處不再贅述），將開發出的模擬環境嫁接入下位機軟體程序中，基於模擬環境提供的配置文件，針對不同的機台功能進行功能指令與通道點位的綁定以及相關的IO初始值設置，實現針對不同硬體機台的模擬測試，並且發明的模擬環境可以移植到任意基於IAP開發的下位機軟體中，或者移植到其他基於上下位機軟體開發的半導體設備都能夠實現相同的技術效果。

前述內容概括數項實施例之特徵，使得熟習此項技術者可更佳地理解本揭露之態樣。熟習此項技術者應瞭解，其等可容易地使用本揭露作為用於設計或修改用於實行本文中介紹之實施例之相同目的及/或達成相同優點之其他製程及結構之一基礎。熟習此項技術者亦應瞭解，此等等效構造不背離本揭露之精神及範疇，且其等可在不背離本揭露之精神及範疇之情況下在本文中作出各種改變、置換及更改。

當結合附圖閱讀時，從以下詳細描述最佳理解本揭露之態樣。應注意，根據產業中之標準實踐，各種構件未按比例繪製。事實上，為了論述的清楚起見可任意增大或減小各種構件之尺寸。圖1示出了根據本發明的一種基於IAP的模擬方法的步驟圖。圖2示出了根據本發明的一種基於IAP的模擬方法的原理圖。圖3示出了根據本發明的一個實施例的一種基於IAP的模擬方法中驅動層向模擬環境下發功能指令方法的示意圖。圖4示出了根據本發明的一個實施例的一種基於IAP的模擬方法中組合功能模擬過程的示例圖。

Claims

一種基於IAP的模擬方法，包括：通過一邏輯層接收用於控制一硬體機台的一功能指令，並將該功能指令下發至一驅動層，其中該邏輯層包含基本功能、組合功能、報警以及互鎖，該驅動層是連接該邏輯層與硬體設備IO點；通過該驅動層判斷當前是否處於一模擬模式；在當前處於該模擬模式時，阻斷該驅動層與該硬體機台之間的通訊，並將該功能指令下發至用於模擬該硬體機台的一模擬環境中，模擬該硬體機台執行該功能指令；以及通過該驅動層、該邏輯層返回該功能指令的一模擬結果；其中，該模擬環境是預置的，該模擬環境的一配置文件包括該硬體機台的功能指令與對應一IO點位通道的綁定關係，每個該IO點位通道均設置有一IO初始值。
如請求項1所述的模擬方法，其中預置該模擬環境包括：將預先編譯的一模擬動態鏈接庫文件導入一IAP模擬項目中生成該模擬環境，並將該模擬環境的該配置文件添加到該IAP模擬項目的一配置文件中。
如請求項1所述的模擬方法，其中配置該模擬環境的該配置文件包括以下至少之一：將每個基本功能指令與該模擬環境中一個DI點位通道綁定並設定每個該DI點位通道的一IO初始值；將每個PMC組合功能指令與該模擬環境中的多個DI點位通道綁定並設定每個該DI點位通道的該IO初始值；將每個TMC組合功能指令與該模擬環境中的多個DI點位通道綁定並設定每個該DI點位通道的該IO初始值；以及將每個AO量功能指令與該模擬環境中的一個AI點位通道綁定並設定每個該AI點位通道的一IO初始值。
如請求項3所述的模擬方法，其中該將該功能指令下發至用於模擬該硬體機台的模擬環境中，模擬該硬體機台執行該功能指令包括：當該功能指令為該基本功能指令或該AO量功能指令時，直接將該基本功能指令或該AO量功能指令下發到該模擬環境，該模擬環境中的一模擬模塊根據該配置文件中相應的DI點位通道或AI點位通道的該IO初始值模擬執行該基本功能指令或該AO量功能指令。
如請求項3所述的模擬方法，其中該將該功能指令下發至用於模擬該硬體機台的該模擬環境中，模擬該硬體機台執行該功能指令包括：當該功能指令為該PMC組合功能指令或該TMC組合功能指令時，首先調用與該PMC組合功能指令或該TMC組合功能指令對應的執行邏輯，並將該PMC組合功能指令或該TMC組合功能指令以及該執行邏輯下發到該模擬環境，調用該模擬環境提供的設置IO點位通道變化時刻的一方法，根據該執行邏輯按變化時刻先後順序對該PMC組合功能指令或該TMC組合功能指令綁定的每一個DI點位通道設置變化的時刻，同時根據該配置文件中相應的每個DI點位通道的該IO初始值模擬執行該PMC組合功能指令或該TMC組合功能指令。
如請求項5所述的基於IAP的模擬方法，其中該調用該模擬環境提供的設置IO點位通道變化時刻的該方法包括：調用setChangeTime( )方法。
如請求項1所述的基於IAP的模擬方法，其中該阻斷該驅動層與硬體機台之間的通訊包括：在該驅動層中聲明以該模擬環境為實例，通過該IAP提供的模擬方法阻斷該驅動層與該硬體機台的通訊。
一種基於IAP的模擬裝置，包括：一文件解析模塊，用於解析一模擬硬體機台的一模擬環境的一配置文件，並根據該配置文件綁定該硬體機台的一功能指令與對應IO點位通道以及設定每個該IO點位通道的IO初始值；以及一模擬模塊，用於建立該模擬環境，通過一邏輯層接收用於控制該硬體機台的一功能指令，並將該功能指令下發至一驅動層；通過該驅動層判斷當前是否處於一模擬模式；在當前處於該模擬模式時，阻斷該驅動層與硬體機台之間的通訊，並將該功能指令下發至該模擬環境中，模擬該硬體機台執行該功能指令；通過該驅動層、該邏輯層返回該功能指令的一模擬結果；其中該邏輯層包含基本功能、組合功能、報警以及互鎖，該驅動層是連接該邏輯層與硬體設備IO點。
如請求項8所述的基於IAP的模擬裝置，還包括：一日誌模塊，用於記錄該模擬模式下該功能指令的收發和該IO點位通道的變化。
一種基於IAP的晶圓清洗設備，其中包括如請求項8或9所述的模擬裝置。