TWI780005B

TWI780005B - 氣體填充座及其量測裝置

Info

Publication number: TWI780005B
Application number: TW111105885A
Authority: TW
Inventors: 吳進明; 吳進益
Original assignee: 博士門股份有限公司
Priority date: 2022-02-17
Filing date: 2022-02-17
Publication date: 2022-10-01
Also published as: TW202334573A

Abstract

本發明的氣體填充座包括有一承載座、一結合於該承載座的底面的定位器以及一量測裝置，該量測裝置包括有一本體、一檢測模組以及一連通管，其中該本體係能被該定位器所定位，該檢測模組係設於該本體內，且能從該本體內被取出，該檢測模組具備針對氣體進行檢測的能力，該連通管的一端伸入該本體內，另一端與該承載座的出氣埠相連接，使從該出氣埠排出的氣體經由該連通管進入該本體，並能被該檢測模組所檢測，因此，本發明利於替換該檢測模組，有效改進現有技術的問題，藉以提供一種方便檢修及替換該檢測模組的氣體填充座及其量測裝置。

Description

氣體填充座及其量測裝置

本發明涉及一種供一半導體元件存放裝置或一光罩存放裝置的氣體填充座，尤指一種氣體填充座及其量測裝置。

請參閱我國第I357474號發明專利 (以下稱前案) 的第2A圖及第2B圖，揭示現有氣體填充座的結構，該前案說明書第7頁第1、2段揭示：至少一氣壓偵測單元42設置於承載基板20之下表面22，其中此氣壓偵測單元42為一微壓差計，且此氣壓偵測單元42連接到出氣埠32，用於偵測出氣埠32輸出之氣體壓力。一出氣閥35設於承載基板20之下表面22之出氣埠32出口處，用以連通至少一出氣管線37，此出氣管線37連接至氣壓偵測單元42以將存放裝置中的氣體排出裝置外。

由此可知，現有氣體填充座的氣壓偵測單元42係與出氣管線37固定連接，若該氣壓偵測單元42損壞，無法簡易地與該出氣管線37相分離，則難以針對該氣壓偵測單元42進行維修，因此，現有氣體填充座具有維修不易的問題。

進一步，若使用者要對排出之氣體的其他性質，如溫度、濕度等，加以檢測，則現有氣體填充座也無法滿足使用者簡易更換該氣壓偵測單元42的需求，綜上所述，現有氣體填充座確有其需加以改進之處。

為解決現有氣體填充座的氣壓偵測單元無法簡易地拆卸與替換的問題，本發明提供一種氣體填充座及其量測裝置，透過該量測裝置可拆卸地結合於該氣體填充座的承載座，且該量測裝置具有能被取出的檢測模組，改進現有技術的缺點，進一步說明如下。

本發明提供的氣體填充座包括有：一承載座，該承載座包括有一頂面及一底面，且該承載座於該底面上設有至少一進氣埠及至少一出氣埠；一定位器，該定位器係結合於該承載座的底面；以及一量測裝置，該量測裝置包括有一本體、一檢測模組以及一連通管，其中該本體係能被該定位器所定位，且該本體內形成一容置空間，該檢測模組係設於該本體內，且能從該本體內被取出，該檢測模組具備針對氣體進行檢測的能力，該連通管的一端伸入該本體內，另一端與該承載座的至少一出氣埠相連接，使從該至少一出氣埠排出的氣體經由該連通管進入該本體的容置空間，並能被該檢測模組所檢測。

上述氣體填充座，其中該定位器包括有一結合板以及一卡扣部，該定位器係透過該結合板結合於該承載座的底面，該卡扣部係設於該結合板的一側，且該卡扣部能夾持並定位該量測裝置的本體。

進一步，上述氣體填充座，其中該卡扣部具有一C字形截面，該量測裝置的本體呈一圓管狀，且該卡扣部的內表面之弧度與該本體的外表面之弧度相匹配。

較佳的是，上述氣體填充座，其中該量測裝置包括有一端蓋以及一迫緊件，該端蓋係結合於該本體的一端，且該端蓋具有一漸縮狀的內側壁，該迫緊件伸入該本體內，且套設於該連通管上，該迫緊件具有一可變形端部，當該端蓋結合於該本體上時，該端蓋的內側壁係能與該迫緊件的可變形端部相抵靠，使該可變形端部徑向收縮，並迫緊該連通管。

本發明提供的量測裝置係包括有：一本體，該本體內形成一容置空間；一檢測模組，該檢測模組係設於該本體內，且能從該本體內被取出，該檢測模組並具備針對氣體進行檢測的能力；以及一連通管，該連通管的一端伸入該本體內，另一端伸出該本體，藉以將氣體從該量測裝置外部經由該連通管導入該本體的容置空間，並能被該檢測模組所檢測。

上述量測裝置，其中該量測裝置包括有一端蓋以及一迫緊件，該端蓋係結合於該本體的一端，且該端蓋具有一漸縮狀的內側壁，該迫緊件伸入該本體內，且套設於該連通管上，該迫緊件具有一可變形端部，當該端蓋結合於該本體上時，該端蓋的內側壁係能與該迫緊件的可變形端部相抵靠，使該可變形端部徑向收縮，並迫緊該連通管。

上述量測裝置，其中該量測裝置包括有一密封環，該密封環係設於該迫緊件的可變形端部與該連通管之間。

上述量測裝置，其中該迫緊件於該可變形端部上間隔地設有複數個剖溝，各該剖溝貫穿設於該可變形端部的一內表面及一外表面之間。

上述量測裝置，其中該檢測模組包括有一電路板，該量測裝置包括有一夾持件，該夾持件係可分離地與該本體相結合，且該夾持件用於夾持並定位該電路板。

較佳的是，上述量測裝置，其中該電路板上設有一對缺口，該夾持件包括兩個半殼體，該兩半殼體相扣合，結合為該夾持件，藉以卡掣該電路板。

藉由上述的技術特徵，本發明提供的氣體填充座的量測裝置係可拆卸地與該承載座結合，且該量測裝置的檢測模組係能被從該本體取出，利於替換該檢測模組，有效改進現有技術難以針對損壞的氣壓偵測單元進行維修或是更換檢測模組的問題，藉以提供一種方便檢修及替換該檢測模組的氣體填充座及其量測裝置。

為能詳細瞭解本發明的技術特徵及實用功效，並且能依照說明書的內容來實現，茲進一步以圖式所示的較佳實施例詳細說明如後：

請參閱如圖1及圖2所示，本發明提供一種氣體填充座，其係包括有一承載座10、一定位器20以及一量測裝置30，其中，該承載座10包括有一頂面11及一底面12，且該承載座10於該底面12上設有至少一進氣埠13及至少一出氣埠14，所述進氣埠13用於將填充氣體引入該承載座10，所述出氣埠14用於將填充氣體自該承載座10排出。

如圖1所示，在本發明的較佳實施例中，該承載座10於該頂面11設有一承載部101，該承載部101供放置一半導體元件存放裝置或一光罩存放裝置，該承載座10於該承載部101的周圍設有複數個間隔設置的導引塊102，使該半導體存放裝置或該光罩存放裝置放置時，能透過該複數個導引塊102的導引，移動至正確的位置；如圖2所示，在本發明的較佳實施例中，該承載座10設有兩所述進氣埠13、兩所述出氣埠14、一三通管15、一進氣管103以及一出氣管104，該兩進氣埠13係間隔地設於該承載座10的底面12，該三通管15透過兩管路分別與該兩進氣埠13相連接，而位於該兩進氣埠13之間，該進氣管103連接該三通管15以及一供氣源，藉以將填充氣體由該供氣源經該三通管15及該兩進氣埠13，引入該承載座10中；該兩出氣埠14間隔設置，並與該兩進氣埠13及該三通管15相間隔，該出氣管104與其中一出氣埠14相連接。

請參閱如圖2及圖3所示，該定位器20係結合於該承載座10的底面12，位於靠近另一出氣埠14的位置，如圖3所示，該定位器20包括有一結合板21以及一卡扣部22，該定位器20係透過該結合板21結合於該承載座10的底面12，具體而言，在本發明的較佳實施例中，該結合板21係可透過螺鎖的方式，以該結合板21的頂面結合於該承載座10的底面12，該卡扣部22係設於該結合板21的底面，藉以提供夾持功能。

如圖3及圖4所示，該量測裝置30包括有一本體31、一檢測模組32以及一連通管33，其中該本體31係能被該定位器20的卡扣部22所夾持及定位，且該本體31內形成一容置空間311，該檢測模組32係設於該本體31、伸入該容置空間311內，且能從該本體31內被取出，該檢測模組32具備針對氣體進行檢測的能力，該連通管33的一端伸入該本體31內，另一端伸出該本體31，藉以將氣體從該量測裝置30外部經由該連通管33導入該本體31的容置空間311，並能被該檢測模組32所檢測；具體而言，該連通管33的另一端與該承載座10靠近該定位器20的出氣埠14相連接，使從該出氣埠14排出的氣體經由該連通管33進入該本體31的容置空間311，並能被該檢測模組32所檢測，該檢測模組32可為一氣壓偵測單元、一溫度偵測單元、一濕度偵測單元或檢測氣體其他性質的電子元件。

進一步，如圖3所示，該卡扣部22具有一C字形截面，該量測裝置30的本體31呈一圓管狀，且該卡扣部22的內表面之弧度與該本體31的外表面之弧度相匹配，使該卡扣部22能夾持該本體31；較佳的是，該定位器20係一體成形製造，且該卡扣部22具有彈性，使該本體31可以將該卡扣部22之C字形開口撐開、進入該卡扣部22環繞的空間、與該卡扣部22的內表面相抵靠，此時該卡扣部22因彈性恢復力，該卡扣部的C字形開口復位，並完成夾持該本體31、防止該本體31掉出。

再進一步，該量測裝置30包括有兩端蓋34以及一迫緊件35，各該端蓋34係對應螺合於該本體31的一端。該連通管33從其中一端蓋34伸出該本體31，且該端蓋34具有一漸縮狀的內側壁；該迫緊件35係伸入該本體31內，且套設於該連通管33上，該迫緊件35具有一可變形端部351，當與該連通管33相對應的該端蓋34結合於該本體31上時，該端蓋34的漸縮狀內側壁係能與該迫緊件35的可變形端部351相抵靠，使該可變形端部351徑向收縮，並迫緊該連通管33。

具體地，如圖4及圖5所示，該迫緊件35於該可變形端部351上間隔地設有複數個剖溝352，各該剖溝352貫穿設於該可變形端部351的一內表面及一外表面之間，使該可變形端部351能徑向收縮變形；該迫緊件35的外表面上還形成一抵靠緣353，如圖5所示，該抵靠緣353抵靠於該本體31的開口，使該迫緊件35定位於該開口位置，並將其異於該可變形端部351的一端伸入該本體31的容置空間311；該量測裝置30還包括有一密封環36，該密封環36係設於該迫緊件35的可變形端部351與該連通管33之間。當對應該連通管33的端蓋34被旋緊時，由於該迫緊件35被定位，該端蓋34的內側壁會逐漸壓迫該可變形端部351，使該可變形端部351徑向收縮、迫緊該密封環36，並進一步迫緊該連通管33，使該連通管33定位，不會相對該本體31任意滑動，且該密封環36提供一氣密效果，確保該檢測模組32量測到的為該連通管33所引入的氣體。

再進一步，如圖4至圖6所示，該檢測模組32包括有一電路板321，而該檢測模組32的其他電子元件 (圖未示) 設於該電路板321上，該量測裝置30包括有一夾持件37，該夾持件37係可分離地與該本體31相結合，且該夾持件37用於夾持並定位該電路板321，在本發明的較佳實施例中，如圖4所示，該夾持件37係先定位該電路板321後，再以一端螺合於該本體31異於該連通管33及該迫緊件35所設置的一端，且另一端蓋34係螺合於該夾持件37的另一端。

請參閱如圖6所示，在本發明的較佳實施例中，該夾持件37包括兩個半殼體371，該夾持件37的螺紋係由該兩個半殼體371共同形成，各該半殼體371設有複數個卡合部372，藉以與另一半殼體371相扣合，舉例而言，圖6所示右側的半殼體371的各該卡合部372為一凸柱，圖6左側的半殼體371的各該卡合部372為一與該凸柱相匹配的凹槽，供該凸柱對應插入，藉以結合該兩半殼體371，該電路板321的中段設有一對缺口322，當該兩半殼體371相扣合時，該兩半殼體371的複數個卡合部372係對應伸入該對缺口322，使該電路板321被卡掣在該複數個卡合部372之間，被定位而不能相對該夾持件37活動，再進一步，如圖4及圖6所示，各該半殼體371伸入該本體31的一端的兩側徑向相對地設有一凹部373，當該兩半殼體371相扣合時，各該半殼體371的兩凹部373與另一半殼體371的兩凹部373共同形成兩徑向相對設置的定位槽370，使該電路板321的各缺口322的一側緣對應插入其中一定位槽370並與該夾持件37相抵靠，並能防止該電路板321相對該夾持件37偏轉。透過該複數個卡合部372及各該半殼體371的該兩凹部373的其中之一，或兩者兼具，該夾持件37的該兩半殼體371相扣合，藉以卡掣該電路板321。

在使用上，當該檢測模組32故障、損壞，或是使用者想要改變所偵測的氣體性質，例如將偵測氣壓改為偵測溫度或偵測濕度時，可以簡易地拆卸該夾持件37側的端蓋34、旋鬆該夾持件37使其與該本體31分離，接著分離該兩半殼體371，取下該電路板321，即可針對該檢測模組32檢修或替換。

藉由上述的技術特徵，本發明提供的氣體填充座的量測裝置30係可拆卸地與該承載座10結合，且該量測裝置30的檢測模組32係能被從該本體31取出，利於替換該檢測模組32，有效改進現有技術難以針對損壞的氣壓偵測單元進行維修或是更換檢測模組的問題，藉以提供一種方便檢修及替換該檢測模組32的氣體填充座及其量測裝置30。

以上所述，僅是本發明的較佳實施例，並非對本發明任何形式上的限制，任何所屬技術領域中具有通常知識者，若在不脫離本發明所提技術方案的範圍內，利用本發明所揭示技術內容所作出局部更動或修飾的等效實施例，並且未脫離本發明的技術方案內容，均仍屬本發明的技術方案的範圍內。

10:承載座 101:承載部 102:導引塊 103:進氣管 104:出氣管 11:頂面 12:底面 13:進氣埠 14:出氣埠 15:三通管 20:定位器 21:結合板 22:卡扣部 30:量測裝置 31:本體 311:容置空間 32:檢測模組 33:連通管 34:端蓋 35:迫緊件 351:可變形端部 352:剖溝 353:抵靠緣 36:密封環 37:夾持件 370:定位槽 371:半殼體 372:卡合部 373:凹部

圖1係本發明較佳實施例的氣體填充座的俯視立體外觀圖。圖2係本發明較佳實施例的氣體填充座的仰視立體外觀圖。圖3係本發明較佳實施例的氣體填充座局部放大的立體分解圖。圖4係本發明較佳實施例的量測裝置的立體分解圖。圖5係本發明較佳實施例的量測裝置的側視剖面圖。圖6係本發明較佳實施例的量測裝置的夾持件及電路板的立體分解圖。

10:承載座

103:進氣管

104:出氣管

12:底面

13:進氣埠

14:出氣埠

15:三通管

20:定位器

30:量測裝置

Claims

一種氣體填充座，其係包括有：一承載座，該承載座包括有一頂面及一底面，且該承載座於該底面上設有至少一進氣埠及至少一出氣埠；一定位器，該定位器係結合於該承載座的底面；以及一量測裝置，該量測裝置包括有一本體、一檢測模組以及一連通管，其中該本體係能被該定位器所定位，且該本體內形成一容置空間，該檢測模組係設於該本體內，且能從該本體內被取出，該檢測模組具備針對氣體進行檢測的能力，該連通管的一端伸入該本體內，另一端與該承載座的至少一出氣埠相連接，使從該至少一出氣埠排出的氣體經由該連通管進入該本體的容置空間，並能被該檢測模組所檢測。
如請求項1所述之氣體填充座，其中該定位器包括有一結合板以及一卡扣部，該定位器係透過該結合板結合於該承載座的底面，該卡扣部係設於該結合板的一側，且該卡扣部能夾持並定位該量測裝置的本體。
如請求項2所述之氣體填充座，其中該卡扣部具有一C字形截面，該量測裝置的本體呈一圓管狀，且該卡扣部的內表面之弧度與該本體的外表面之弧度相匹配。
如請求項1至3中任一項所述之氣體填充座，其中該量測裝置包括有一端蓋以及一迫緊件，該端蓋係結合於該本體的一端，且該端蓋具有一漸縮狀的內側壁，該迫緊件伸入該本體內，且套設於該連通管上，該迫緊件具有一可變形端部，當該端蓋結合於該本體上時，該端蓋的內側壁係能與該迫緊件的可變形端部相抵靠，使該可變形端部徑向收縮，並迫緊該連通管。
一種量測裝置，其係包括有：一本體，該本體內形成一容置空間；一檢測模組，該檢測模組係設於該本體內，且能從該本體內被取出，該檢測模組並具備針對氣體進行檢測的能力；以及一連通管，該連通管的一端伸入該本體內，另一端伸出該本體，藉以將氣體從該量測裝置外部經由該連通管導入該本體的容置空間，並能被該檢測模組所檢測。
如請求項5所述之量測裝置，其中該量測裝置包括有一端蓋以及一迫緊件，該端蓋係結合於該本體的一端，且該端蓋具有一漸縮狀的內側壁，該迫緊件伸入該本體內，且套設於該連通管上，該迫緊件具有一可變形端部，當該端蓋結合於該本體上時，該端蓋的內側壁係能與該迫緊件的可變形端部相抵靠，使該可變形端部徑向收縮，並迫緊該連通管。
如請求項6所述之量測裝置，其中該量測裝置包括有一密封環，該密封環係設於該迫緊件的可變形端部與該連通管之間。
如請求項6所述之量測裝置，其中該迫緊件於該可變形端部上間隔地設有複數個剖溝，各該剖溝貫穿設於該可變形端部的一內表面及一外表面之間。
如請求項5至8中任一項所述之量測裝置，其中該檢測模組包括有一電路板，該量測裝置包括有一夾持件，該夾持件係可分離地與該本體相結合，且該夾持件用於夾持並定位該電路板。
如請求項9所述之量測裝置，其中該電路板上設有一對缺口，該夾持件包括兩個半殼體，該兩半殼體相扣合，結合為該夾持件，藉以卡掣該電路板。