TWI773924B

TWI773924B - 濾網裝置及濾網系統

Info

Publication number: TWI773924B
Application number: TW108133485A
Authority: TW
Inventors: 李玉銘; 連于德
Original assignee: 濾能股份有限公司
Priority date: 2019-09-17
Filing date: 2019-09-17
Publication date: 2022-08-11
Also published as: TW202112428A

Abstract

本發明的濾網裝置包含濾網以及磁力固定裝置。濾網包含第一側壁。磁力固定裝置包含本體、夾持部、以及磁力元件。本體包含頂部側緣及底部側緣，以及位於相反側的第一側面及第二側面。夾持部包含由頂部側緣往第一側面之面朝方向延伸第一距離而形成之頂部凸緣，以及由頂部凸緣之外緣往底部側緣延伸第二距離之夾片，第一側壁夾設於夾片及第一側面之間。磁力元件設置於第二側面。

Description

濾網裝置及濾網系統

本發明係關於一種濾網裝置及濾網系統；具體而言，本發明係關於一種架設在無塵室進氣口的濾網裝置及濾網系統。

在例如半導體製造業的工業製造領域中，為了進一步提升產品良率，無塵室被廣泛使用以在潔淨、無汙染的隔離環境中進行產品的生產製造。欲達成無塵室的環境要求，一般會在無塵室的進氣口架設風機及過濾設備，使氣流經由風機驅動通過過濾設備的濾網再進入無塵室，藉以過濾氣態懸浮汙染物。

架設在無塵室進氣口的濾網裝置，容易因風機的氣流影響而不斷振動，此時若過濾裝置的框體無法與其內設置的濾網緊密結合，就會造成應該被過濾的氣體從濾網以及框體之間的縫隙漏出，導致過濾效果不良。此外，濾網裝置常見以鋁擠方式製造，在邊緣處易產生尖角或銳邊，增加組裝時操作人員受傷的機會。

有鑑於此，本創作遂針對上述習知技術之缺失，提出一種濾網裝置及濾網系統，以有效克服上述之該等問題。

本發明的目的在於提供一種濾網裝置及濾網系統，具有較高的氣密性。

本發明的另一目的在於提供一種濾網裝置及濾網系統，可減少製程中施作人員受傷的情形。

本發明的濾網裝置係供設置於框件中，框件之一內側具有鐵磁性。濾網裝置包含濾網以及磁力固定裝置。濾網包含第一側壁。磁力固定裝置包含本體、夾持部、以及磁力元件。本體包含頂部側緣及底部側緣，以及位於相反側的第一側面及第二側面。夾持部包含由頂部側緣往第一側面之面朝方向延伸第一距離而形成之頂部凸緣，以及由頂部凸緣之外緣往底部側緣延伸第二距離之夾片，第一側壁夾設於夾片及第一側面之間。磁力元件設置於第二側面。

在本發明的實施例中，第二距離小於本體在同方向上的長度。

在本發明的實施例中，夾片是間隔地沿本體之長邊設置。

在本發明的實施例中，本體進一步包含底部凸緣，由底部側緣往第一側面之面朝方向延伸而出。濾網進一步包含卡合件，設置於第一側壁面對第一側面之一面，卡合件卡合於頂部凸緣及底部凸緣之間。

在本發明的實施例中，磁力固定裝置進一步包含凹部，設置於第二側面，磁力元件卡合於凹部中。

在本發明的實施例中，磁力固定裝置進一步包含由頂部側緣往第二側面之面朝方向延伸而形成之頂部凸條，凹部的一邊是由頂部凸條的底面來形成。

在本發明的實施例中，磁力元件設置於鄰近頂部側緣之位置。

在本發明的實施例中，磁力固定裝置進一步包含導引元件，包含由頂部側緣往第二側面之面朝方向延伸而形成之頂部凸條，以及由頂部凸條之外緣往底部側緣延伸並往第二側面內縮之導引斜面。

在本發明的實施例中，濾網包含複數個波浪結構，波浪結構之稜線平行於第一側壁之延伸方向。

在本發明的實施例中，濾網裝置進一步包含支撐件設置於磁力固定裝置相對於濾網之另一側，支撐件包含板材以及支撐部。板材包含第三側面朝向磁力固定裝置。支撐部由板材之第三側面鄰近下緣位置往濾網延伸並越過磁力固定裝置，供支撐第一側壁。

在本發明的實施例中，支撐件進一步包含插槽設置於板材與第三側面相反之一面，邊框之一側面具有可對應插入插槽之插片。

本發明之濾網系統包含框件及前述濾網裝置。框件包含複數個邊框以及複數個連接件。每一邊框之兩端分別具有插入口。複數個連接件連接複數個邊框，每一連接件包含連接件本體、第一插件、以及第二插件。第一插件由連接件本體之一側向外伸出。第二插件由連接件本體之另一側向外伸出，與第一插件夾一夾角。連接件之第一插件及第二插件分別插入相鄰兩邊框之一端之插入口，以連接相鄰之兩邊框。

在本發明的實施例中，濾網系統係為可堆疊。

在本發明的實施例中，每一邊框之頂側具有凹槽，邊框的其中之一之底側可插入另一邊框的凹槽。

在本發明的實施例中，邊框為鋁擠元件。

在本發明的實施例中，連接件為高分子元件。

如圖1及圖2所示的實施例，本發明的濾網裝置800係供設置於框件900中。進一步而言，濾網裝置800及框件900組成濾網系統1000。如圖2所示的實施例，框件900包含複數個邊框910以及複數個連接件920。每一邊框910之兩端分別具有插入口912。複數個連接件920連接複數個邊框910，每一連接件920包含連接件本體929、第一插件921、以及第二插件922。第一插件921由連接件本體929之一側向外伸出。第二插件922由連接件本體929之另一側向外伸出，與第一插件921夾一夾角θ。其中，夾角θ較佳為90°。然而在不同實施例中，可基於使用、製造等的考量而有不同角度。連接件920之第一插件921及第二插件922分別插入相鄰兩邊框910之一端之插入口912，以連接相鄰之兩邊框910。

在一實施例中，邊框910為鋁擠元件，因此在邊緣處易產生尖角或銳邊，增加組裝時操作人員受傷的機會。藉由例如高分子製成的連接件920連接相鄰之兩邊框910，可減少尖角或銳邊之暴露，從而降低操作人員受傷的風險。

如圖2A所示的實施例，框件900之內側901具有鐵磁性或可為磁鐵所吸附。濾網裝置800包含濾網100以及磁力固定裝置200。濾網100包含第一側壁110。如圖2B所示的實施例，磁力固定裝置200包含本體300、夾持部400、以及磁力元件500。本體300包含頂部側緣311及底部側緣312，以及位於相反側的第一側面321及第二側面322。更具體而言，在此實施例中，本體300為長方形片狀物，上、下兩長緣分別為頂部側緣311及底部側緣312，相反兩側面分別為第一側面321及第二側面322。

如圖2B所示的實施例，夾持部400包含由頂部側緣311往第一側面321之面朝方向301延伸第一距離D1而形成之頂部凸緣410，以及由頂部凸緣410之外緣往底部側緣312延伸第二距離D2之夾片420。第二距離D2小於本體300在同方向上的長度。第一側壁110夾設於夾片420及第一側面321之間。夾片420是間隔地沿本體300之長邊設置。其中，本體300可較第一側壁110具有較大的剛性以利夾設第一側壁110，材質可例如為丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物(Acrylonitrile Butadiene Styrene，ABS)。

更具體而言，如圖3所示的實施例，濾網100包含複數個波浪結構130，波浪結構130之稜線131平行於第一側壁110之延伸方向。第一側壁110可伸入夾片420及第一側面321之間而夾持固定。以不同角度觀之，磁力固定裝置200藉由頂部凸緣410而跨在第一側壁110之頂端。其中，第一側壁110可適度折疊以增加厚度便於夾持，亦可如圖4A所示，在製造時使夾片420及第一側面321之間的距離約略等於第一側壁110之厚度以便於夾持。

在不同實施例中，濾網100還可附加元件供與磁力固定裝置200卡合。如圖4B所示之實施例，濾網100進一步包含卡合件140，設置於第一側壁110面對第一側面321之一面。本體300進一步包含底部凸緣430，由底部側緣312往第一側面321之面朝方向延伸而出。卡合件140卡合於頂部凸緣410及底部凸緣430之間。其中，卡合件140較佳為長方形片材，較第一側壁110為硬或具有鋼性，因此可以提供較穩固的卡合關係。

如圖2A所示的實施例，磁力元件500設置於第二側面322，對應吸附於內側901，藉此可減少濾網100與框件900間的空隙，增加氣密性。其中，磁力固定裝置200較佳包含凹部450，設置於第二側面322，磁力元件500卡合於凹部450中，便於組裝時對準及增加固著性，同時也減少磁力固定裝置200整體的厚度。在不同實施例中，磁力元件500可以為間隔設置，也可以設置一整條。磁力固定裝置200可以不設凹部450而以其他方式讓磁力元件500設置於第二側面322上。在此實施例中，磁力固定裝置200包含由頂部側緣311往第二側面322之面朝方向302延伸而形成之頂部凸條461，凹部450的一邊是由頂部凸條461的底面來形成。

磁力元件500較佳設置於鄰近頂部側緣311之位置，便於磁力固定裝置200連同濾網100向下放入框件900。其中，所述鄰近泛指例如是高於本體300一半的位置或是約1/4的位置。此外，磁力固定裝置200可進一步包含導引元件460，包含由頂部側緣311往第二側面322之面朝方向302延伸第三距離D3而形成之頂部凸條461，以及由頂部凸條461之外緣往底部側緣312延伸並往第二側面322內縮之導引斜面462。磁力固定裝置200連同濾網100可藉由導引元件460之導引斜面462的導引，較順利地向下放入框件900。

如圖2A及圖3所示的實施例，濾網裝置800進一步包含支撐件600設置於磁力固定裝置200相對於濾網100之另一側。支撐件600包含板材610以及支撐部620。板材610包含第三側面603朝向磁力固定裝置200。支撐部620由板材610之第三側面603鄰近下緣位置往濾網100延伸並越過磁力固定裝置200，供支撐第一側壁110。在一實施例中，支撐件600進一步包含插槽630設置於板材610與第三側面603相反之一面，邊框910之一側面具有可對應插入插槽630之插片903。進一步而言，框件900之邊框910藉由插片903插入插槽630而固定支撐件600，再進一步藉由支撐件600之支撐部620支撐第一側壁110，從而使濾網100由框件900支撐。

如圖5所示的實施例，濾網系統1000係為可堆疊。更具體而言，在此實施例中，每一邊框910之頂側具有凹槽913，邊框910的其中之一之底側可插入另一邊框910的凹槽913，從而使濾網系統1000可堆疊。藉此，能夠增加使用的彈性，例如將採用不同濾網的濾網系統加以堆疊以增加過濾氣態懸浮汙染物的種類，或者將採用相同濾網的濾網系統加以堆疊以增加過濾效果。

基於上述，本發明濾網裝置可藉由磁性吸附減少濾網與外框分離，增加整體氣密性。當中所使用的連接件，可減少邊框尖角或銳邊之暴露，從而降低操作人員受傷的風險。另一方面，濾網系統可堆疊，能增加使用彈性。

雖然前述的描述及圖式已揭示本發明之較佳實施例，必須瞭解到各種增添、許多修改和取代可能使用於本發明較佳實施例，而不會脫離如所附申請專利範圍所界定的本發明原理之精神及範圍。熟悉本發明所屬技術領域之一般技藝者將可體會，本發明可使用於許多形式、結構、佈置、比例、材料、元件和組件的修改。因此，本文於此所揭示的實施例應被視為用以說明本發明，而非用以限制本發明。本發明的範圍應由後附申請專利範圍所界定，並涵蓋其合法均等物，並不限於先前的描述。

100:濾網

110:第一側壁

130:波浪結構

131:稜線

140:卡合件

200:磁力固定裝置

300:本體

301:方向

311:頂部側緣

312:底部側緣

321:第一側面

322:第二側面

400:夾持部

410:頂部凸緣

420:夾片 430:底部凸緣 450:凹部 460:導引元件 461:頂部凸條 462:導引斜面 500:磁力元件 600:支撐件 603:第三側面 610:板材 620:支撐部 630:插槽 800:濾網裝置 900:框件 901:內側 903:插片 910:邊框 912:插入口 913:凹槽 920:連接件 921:第一插件 922:第二插件 929:連接件本體 D1:第一距離 D2:第二距離 D3:第三距離 θ:夾角

圖1為本發明濾網裝置的實施例示意圖。

圖2A為本發明濾網裝置的實施例分解示意圖。

圖2B為本發明中磁力固定裝置的實施例示意圖。

圖3為本發明中濾網裝置的實施例剖面示意圖。

圖4A為本發明中濾網裝置的不同實施例剖面示意圖。

圖4B為本發明中濾網裝置的不同實施例剖面示意圖。

圖5為本發明濾網系統堆疊的實施例示意圖。

（無）

100:濾網

110:第一側壁

200:磁力固定裝置

322:第二側面

450:凹部

460:導引元件

500:磁力元件

600:支撐件

630:插槽

800:濾網裝置

900:框件

901:內側

903:插片

910:邊框

912:插入口

913:凹槽

920:連接件

921:第一插件

922:第二插件

929:連接件本體

θ:夾角

Claims

一種濾網裝置，供設置於一框件中，該框件之一內側具有鐵磁性，該濾網裝置包含：一磁力固定裝置，包含：一本體，包含位於相反側的一第一側面及一第二側面，以及在該第一側面及該第二側面相對兩邊的一頂部側緣及一底部側緣；一夾持部，包含一由該頂部側緣朝該第一側面之面朝方向延伸一第一距離而形成之頂部凸緣，以及一由該頂部凸緣之外緣往該底部側緣延伸一第二距離之夾片；以及一磁力元件，設置於該第二側面，對應吸附於該框件之該內側；以及一濾網，包含一第一側壁，該第一側壁可分離地夾設於該夾片及該第一側面之間，該濾網藉由該磁力固定裝置減少與該框件間的空隙。
如請求項1所述的濾網裝置，其中該第二距離小於該本體在同方向上的長度。
如請求項1所述的濾網裝置，其中該夾片是間隔地沿該本體之長邊設置。
如請求項1所述的濾網裝置，其中：該本體進一步包含一底部凸緣，由該底部側緣往該第一側面之面朝方向延伸而出；該濾網進一步包含一卡合件，設置於該第一側壁面對該第一側面之一面，該卡合件卡合於該頂部凸緣及該底部凸緣之間。
如請求項1所述的濾網裝置，其中該第二側面進一步包含一凹部，該磁力元件卡合於該凹部中。
如請求項5所述的濾網裝置，其中該磁力固定裝置進一步包含一由該頂部側緣往該第二側面之面朝方向延伸而形成之頂部凸條，該凹部的一邊是由該頂部凸條的底面來形成。
如請求項1所述的濾網裝置，其中該磁力元件設置於鄰近該頂部側緣之位置。
如請求項1所述的濾網裝置，其中該磁力固定裝置進一步包含一導引元件，包含一由該頂部側緣往該第二側面之面朝方向延伸而形成之頂部凸條，以及一由該頂部凸條之外緣往該底部側緣延伸並往該第二側面內縮之導引斜面。
如請求項1所述的濾網裝置，其中該濾網包含複數個波浪結構，該波浪結構之稜線平行於該第一側壁之延伸方向。
如請求項1所述的濾網裝置，進一步包含一支撐件，設置於該磁力固定裝置相對於該濾網之另一側，該支撐件包含：一板材，包含一第三側面朝向該磁力固定裝置；一支撐部，由該板材之該第三側面鄰近下緣位置往該濾網延伸並越過該磁力固定裝置而支撐該第一側壁。
如請求項10所述的濾網裝置，其中：該支撐件進一步包含一插槽設置於該板材與該第三側面相反之一面；該框件之該內側具有一可對應插入該插槽之插片。
一種濾網系統，包含：一框件，包含：複數個邊框，每一邊框之兩端分別具有插入口；以及複數個連接件，連接該複數個邊框，每一連接件包含：一連接件本體；一第一插件，由該連接件本體之一側向外伸出；一第二插件，由該連接件本體之另一側向外伸出，與該第一插件夾一夾角；一連接件之該第一插件及該第二插件分別插入相鄰兩邊框之一端之該插入口，以連接該相鄰之兩邊框；以及如請求項1至11任一項所述的濾網裝置。
如請求項12所述的濾網系統，係為可堆疊。
如請求項12所述的濾網系統，其中每一邊框之頂側具有一凹槽，該些邊框的其中之一之底側可插入另一邊框的該凹槽。
如請求項12所述的濾網系統，其中該邊框為鋁擠元件。
如請求項12所述的濾網系統，其中該連接件為高分子元件。