TWI760205B - 渦輪分子幫浦及其過濾裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之渦輪分子幫浦之過濾裝置包含一延伸環、一濾網及一固定環。延伸環用以放置在一渦輪分子幫浦的外殼上，其包含一支撐部、一連接部及一承載部。支撐部為扁平環狀且呈水平設置，其中支撐部用以貼放在外殼上的入口端上。連接部從支撐部的內緣向下延伸，其中連接部用以置入外殼上的入口端內。承載部為環狀且呈水平設置，其外緣連接到連接部的下緣，其中承載部用以置入外殼上的入口端內。濾網具有一外框，外框設置在承載部上。固定環具有向外擴張的彈性，固定環設置在濾網上方，且其外緣抵接在連接部的內壁上，以將濾網固定在延伸環上。

Description

渦輪分子幫浦及其過濾裝置

本發明是有關於一種真空幫浦及其過濾裝置，特別是指一種渦輪分子幫浦及其過濾裝置。

目前主要的半導體製程例如離子佈植、爐管、薄膜濺鍍、電漿蝕刻、化學機械研磨等，都需要在高真空的製程中的真空腔體內進行。因此，真空腔體的真空環境是影響製程良率的關鍵因素之一，而潔淨穩定的真空環境有助於提高製程良率。渦輪分子幫浦作為真空系統的心臟，是利用轉子相對於定子進行高速旋轉，將氣體排出製程空腔體而產生高真空環境。

現有渦輪分子幫浦與半導體設備真空腔體的連接處，為了防止真空腔體內的異物掉入渦輪分子幫浦，會在渦輪分子幫浦的外殼上入口端設置一道濾網，並利用螺栓、扣環或夾固等方式將濾網固定。

然而，在半導體製程的實際應用上，濾網上方很容易堆積製程物。由於無法單獨更換濾網，需要將整台渦輪分子幫浦卸下才得以更換。

有鑑於此，本發明提出一種渦輪分子幫浦及其過濾裝置，欲更換濾網時，不需卸下整台渦輪分子幫浦即可更換濾網。

為達上述目的，本發明之渦輪分子幫浦之過濾裝置包含一延伸環、一濾網以及一固定環。所述延伸環用以放置在一渦輪分子幫浦的外殼上，其包含一支撐部、一連接部以及一承載部。所述支撐部為扁平環狀且呈水平設置，其中所述支撐部用以貼放在所述外殼上的入口端上。所述連接部從所述支撐部的內緣向下延伸，其中所述連接部用以置入所述外殼上的所述入口端內。所述承載部為環狀且呈水平設置，其外緣連接到所述連接部的下緣，其中所述承載部用以置入所述外殼上的所述入口端內。所述濾網具有一外框，所述外框設置在所述承載部上。所述固定環具有向外擴張的彈性，所述固定環設置在所述濾網上方，且其外緣抵接在所述連接部的內壁上，以將所述濾網固定在所述延伸環上。

本發明第一實施例之渦輪分子幫浦包含前述的過濾裝置，其中所述延伸環的所述支撐部貼放在渦輪分子幫浦的外殼上的入口端，且所述支撐部係以螺栓鎖固在所述外殼上，或用以夾設在所述外殼與一半導體設備真空腔體之間。

本發明第二實施例之渦輪分子幫浦包含一外殼、一延伸環、多個固定柱、多個彈性件以及一濾網。所述外殼上方具有一入口端。所述延伸環包含一支撐部、一連接部以及一承載部。所述支撐部為扁平環狀且呈水平設置，所述支撐部貼放在所述外殼上的所述入口端。所述連接部從所述支撐部的內緣向下延伸，所述連接部置入所述外殼上的所述入口端內。所述承載部為環狀且呈水平設置，其外緣連接到所述連接部的下緣，所述承載部置入所述外殼上的所述入口端內。多個所述固定柱固定在所述承載部上。多個所述彈性件分別設置在多個所述固定柱上。所述濾網具有一外框，所述外框上形成多個固定孔，多個所述固定孔各包含一第一孔以及一第二孔。其中，多個所述第一孔能夠分別讓多個所述固定柱及其上的所述彈性件穿入，且旋轉所述濾網後能夠讓多個所述固定柱分別進入多個所述第二孔內，多個所述彈性件因此能夠抵壓在所述濾網的所述外框的上表面上。

本發明第三實施例之渦輪分子幫浦包含一外殼、一延伸環、多個固定柱、一濾網以及多個彈性件。所述外殼上方具有一入口端。所述延伸環包含一支撐部、一連接部以及一承載部。所述支撐部為扁平環狀且呈水平設置，所述支撐部貼放在所述外殼上的所述入口端。所述連接部從所述支撐部的內緣向下延伸，所述連接部置入所述外殼上的所述入口端內。所述承載部為環狀且呈水平設置，其外緣連接到所述連接部的下緣，所述承載部置入所述外殼上的所述入口端內。多個所述固定柱固定在所述承載部上。所述濾網具有一外框，所述外框上形成多個固定孔，多個所述固定孔各包含一第一孔以及一第二孔，其中多個所述第一孔能夠分別讓多個所述固定柱穿入，且旋轉所述濾網後能夠讓多個所述固定柱分別進入多個所述第二孔內。多個所述彈性件，設置在所述濾網上，其中當多個所述固定柱分別進入多個所述第二孔內時，多個所述彈性件係分別抵壓在多個所述固定柱上。

本發明的有益效果在於，若欲更換本發明提供的渦輪分子幫浦上的濾網，不需將整台渦輪分子幫浦從半導體設備真空腔體上卸下才得以更換，因此節省更換濾網的作業時間和成本。

為了讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯，下文將配合所附圖示，詳細說明如下。此外，於本發明之說明中，相同之構件係以相同之符號表示，於此先述明。

半導體設備真空腔體內的異物有可能掉入與其連接的渦輪分子幫浦內，因此本發明提供一種渦輪分子幫浦之過濾裝置，用以裝設在渦輪分子幫浦與半導體設備真空腔體的連接處，防止異物掉落而損壞渦輪分子幫浦。

以下揭示內容提供用於實施本揭露之不同特徵的許多不同實施例或實例。下文描述組件及配置之特定實例以簡化本揭露。當然，此等組件及配置僅為實例且不意欲為限制性的。舉例而言，在以下描述中，第一構件在第二構件上方或上之形成可包括第一構件與第二構件直接接觸地形成之實施例，且亦可包括額外構件可在第一構件與第二構件之間形成使得第一構件與第二構件可不直接接觸之實施例。另外，本揭露可能在各種實例中重複參考數字及/或字母。此重複係出於簡單及清晰之目的，且本身並不指示所論述之各種實施例及/或組態之間的關係。

另外，本文中為易於描述而可能使用諸如「下伏」、「下方」、「下部」、「上覆」、「上部」及其類似者等空間相對術語，以描述如諸圖中所說明的一個元件或構件與另一或多個元件或構件的關係。除諸圖中所描繪之定向以外，空間相對術語意欲涵蓋在使用或操作中之裝置的不同定向。設備可以其他方式定向(旋轉90度或位於其他定向)，且本文中所使用之空間相對描述詞同樣可相應地進行解釋。

[第一實施例]

參閱圖1所示，本發明第一實施例之過濾裝置100包含一濾網110、一固定環120及一延伸環130。本發明之過濾裝置100係用以裝設在渦輪分子幫浦的外殼上，以防止異物掉入渦輪分子幫浦內。

濾網110具有一外框112及多條網線114。外框112的形狀為環形，並由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成外框112。每一條網線114的兩端固定在外框112內緣。圖1所示的多條網線114包含多條縱向的網線及多條橫向的網線，且多條縱向的網線與多條橫向的網線彼此交錯設置而形成多個網格，但本發明並不限於此，多條網線114彼此之間可以不用相交，且相鄰的兩條網線114可以不相平行。多條網線114的排列方式並沒有特別限定，只要能阻止異物通過即可。

固定環120具有彈性，用以將濾網110固定在延伸環130上。進一步而言，固定環120具有向外擴張的彈性，其恢復彈力平行於固定環120的環面。圖1所示的固定環120為C形環，並由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成固定環120。

參閱圖2所示，延伸環130由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成延伸環130。延伸環130具有一支撐部131、一連接部132及一承載部133。支撐部131為扁平環狀且呈水平設置。連接部132形成一封閉的環形，其從支撐部131的內緣向下延伸。承載部133為扁平環狀且呈水平設置，其外緣連接到連接部132的下緣。支撐部131的外徑大於承載部133的外徑，且支撐部131的內徑大致上等於承載部133的外徑。

參閱圖3所示，本發明第一實施例之渦輪分子幫浦100a包含過濾裝置100，其係裝設在渦輪分子幫浦100a的外殼180上入口端182。進一步而言，為了使過濾裝置100能夠裝設在渦輪分子幫浦100a的外殼180上入口端182，過濾裝置100的延伸環130的連接部132與承載部133的外徑需小於入口端182的直徑，使連接部132與承載部133能夠放置在入口端182內。延伸環130的支撐部131的外徑需大於入口端182的直徑，使支撐部131能夠貼在入口端182，讓延伸環130得到入口端182的支撐而不會掉入渦輪分子幫浦100a內。此外，濾網110的直徑需小於延伸環130的連接部132的內徑，但需大於延伸環130的承載部133的內徑，使之能夠放在承載部133的上表面而得到延伸環130支撐。另外，固定環120要能夠在壓縮狀態下放入延伸環130的連接部132所圍繞定義的空間內，並在未壓縮狀態下，其外緣能夠抵接在連接部132的內壁，以將濾網110固定在延伸環130上。

裝設過濾裝置100時，係將延伸環130放置在渦輪分子幫浦100a的外殼180上，讓支撐部131貼放在外殼180上入口端182，而連接部132與承載部133則置入入口端182內。之後，將濾網110由上而下放在延伸環130上，使外框112置於承載部133上方而得到其支撐。接著壓縮固定環120將其放在濾網110上，而後放開固定環120，其會自然彈起而抵接在連接部132的內壁上。

參閱圖4所示，本發明第一實施例之渦輪分子幫浦100a能夠裝設在半導體設備真空腔體190上，利用多個螺栓192將渦輪分子幫浦的外殼180鎖固在半導體設備真空腔體190下方，使得濾網110面對半導體設備真空腔體190下方的抽氣口，此時，延伸環130的支撐部131會夾設在渦輪分子幫浦100a的外殼180上入口端182與半導體設備真空腔體190之間。

由圖4可以看出，從半導體設備真空腔體190內掉出的異物會落在濾網110上，不會落入渦輪分子幫浦100a內造成其損壞。此外，值得注意的是，若欲更換濾網110，僅需壓縮固定環120將其從延伸環130上取下，之後即可將舊的濾網110取下更換，不需將整台渦輪分子幫浦100a從半導體設備真空腔體190上卸下才得以更換，因此節省更換濾網110的作業時間和成本。

參閱圖5，其顯示延伸環130的另一態樣。延伸環130a由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成延伸環130a。延伸環130a同樣具有一支撐部131、一連接部132及一承載部133。支撐部131為扁平環狀且呈水平設置。連接部132形成一封閉的環形，其從支撐部131的內緣向下延伸。承載部133為扁平環狀且呈水平設置，其外緣連接到連接部132的下緣。支撐部131的外徑大於承載部133的外徑，且支撐部131的內徑大致上等於承載部133的外徑。

延伸環130a上還形成有一內凸緣134，其設置在承載部133正上方。內凸緣134為扁平環狀且呈水平設置，其從連接部132向內延伸。連接部132、承載部133與內凸緣134因此界定出一環狀的凹槽，用以卡住固定環120。另外，承載部133上形成有一環狀的階段135，用以定位濾網110。

參閱圖6所示，其顯示包含濾網110、固定環120及延伸環130a的過濾裝置裝設在半導體設備真空腔體190上。延伸環130a設置在渦輪分子幫浦100a的外殼180上，其支撐部131夾設在渦輪分子幫浦100a的外殼180上入口端182與半導體設備真空腔體190之間，而連接部132、承載部133及內凸緣134係位於入口端182。濾網110的外框112置於承載部133的階段135上。固定環120設置在承載部133與內凸緣134之間的凹槽內，其下端壓在濾網100的外框112上，以將濾網110固定在延伸環130a上。

參閱圖7，其顯示延伸環130的再一態樣。延伸環130b大致上與延伸環130a相同，同樣具有一支撐部131、一連接部132、一承載部133及一內凸緣134，且承載部133上亦形成有一環狀的階段135。除此之外，支撐部131上形成有多個開孔136，用以供螺栓穿過以將延伸環130b鎖固在渦輪分子幫浦的外殼上入口端處。

參閱圖8所示，其顯示包含濾網110、固定環120及延伸環130b的過濾裝置裝設在半導體設備真空腔體190上。延伸環130b設置在渦輪分子幫浦100a的外殼180上，其支撐部131利用螺栓137鎖固在渦輪分子幫浦100a的外殼180上入口端182處，藉此將延伸環130b固定。連接部132、承載部133及內凸緣134係位於入口端182。濾網110的外框112置於承載部133的階段135上。固定環120設置在承載部133與內凸緣134之間的凹槽內，其下端壓在濾網110的外框112上，以將濾網110固定在延伸環130b上。

[第二實施例]

參閱圖9所示，本發明第二實施例之過濾裝置200包含一濾網210、一延伸環220、多個彈性件230及多個固定柱250。本發明之過濾裝置200係用以裝設在渦輪分子幫浦的外殼上，以防止異物掉入渦輪分子幫浦內。

濾網210具有一外框212及多條網線214。外框212的形狀為環形，並由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成外框212。每一條網線214的兩端固定在外框212內緣。圖9所示的多條網線214包含多條縱向的網線及多條橫向的網線，且多條縱向的網線與多條橫向的網線彼此交錯設置而形成多個網格，但本發明並不限於此，多條網線214彼此之間可以不用相交，且相鄰的兩條網線214可以不相平行。多條網線214的排列方式並沒有特別限定，只要能阻止異物通過即可。此外，外框212表面上形成多個平均設置的固定孔240。圖9所示固定孔240的數量為四個，但其數量並沒有特別限制。

進一步而言，每一個固定孔240包含一第一孔241及一第二孔242。每一個固定孔240的第一孔241連通第二孔242，且每一個固定孔240的第一孔241在濾網210徑向上的寬度大於第二孔242在濾網210徑向上的寬度。於一實施方式中，第一孔241為圓形而第二孔242為長條形，但本發明並不限於此，其他形狀亦可。

參閱圖10所示，延伸環220由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成延伸環220。延伸環220具有一支撐部221、一連接部222及一承載部223。支撐部221為扁平環狀且呈水平設置。連接部222形成一封閉的環形，其從支撐部221的內緣向下延伸。承載部223為扁平環狀且呈水平設置，其外緣連接到連接部222的下緣。支撐部221的外徑大於承載部223的外徑，且支撐部221的內徑大致上等於承載部223的外徑。此外，承載部223上形成多個平均設置的螺栓孔226，其內壁上形成有螺紋。螺栓孔226的數量與位置優選對應到濾網210的外框212上的固定孔240的數量與位置。

再請參閱圖9，每一個固定柱250包含一頭部251及一柱身252，其中頭部251設置在柱身252的頂端上。頭部251為圓形，且其頂部各設有一驅動槽253，以讓螺絲起子能夠轉動固定柱250。柱身252為圓柱形，其下部的外表面上各形成有螺紋254，用以讓柱身252鎖入延伸環220上的螺栓孔226。每一個固定柱250的頭部251的直徑大於其柱身252的直徑。固定柱250的數量優選等於固定孔240的數量。

多個彈性件230分別設置在多個固定柱250上，其與固定柱250結合的方式可以為焊接、一體成型或組合結合，並沒有特別限定。彈性件230大致上具有V字形的剖面形狀，其一側的上端分別連接到多個固定柱250的頭部251下緣。圖9所示彈性件230僅是本發明其中一種實施方式，其形狀及與固定柱250連接的方式和位置並沒有特別限定。

依據本發明第二實施例所提供的過濾裝置200，其中多個第一孔241的大小需要能夠分別讓多個固定柱250及其上的彈性件230穿入，且在穿入後，旋轉濾網210後能夠讓多個固定柱250的柱身252分別進入多個第二孔242內。彈性件230的作用是當多個柱身252分別進入多個第二孔242內時，抵壓在濾網210的外框212的上表面上，藉此對濾網210施加向下的壓力。

參閱圖11至圖13所示，本發明第二實施例之渦輪分子幫浦200a包含過濾裝置200，其係裝設在渦輪分子幫浦200a的外殼280上入口端282。進一步而言，為了使過濾裝置200能夠裝設在渦輪分子幫浦200a的外殼280入口端282，過濾裝置200的延伸環220的連接部222與承載部223的外徑需小於入口端282的直徑，使連接部222與承載部223能夠放置在入口端282內。延伸環220的支撐部221的外徑需大於入口端282的直徑，使支撐部221能夠貼在入口端282，讓延伸環220得到入口端282的支撐而不會掉入渦輪分子幫浦200a內。此外，濾網210的直徑需小於延伸環220的連接部222的內徑，但需大於延伸環220的承載部223的內徑，使之能夠放在承載部223的上表面而得到延伸環220支撐。

之後，如圖11所示，將多個具彈性件230的固定柱250分別鎖固在延伸環220上的螺栓孔226內，將延伸環220放置在渦輪分子幫浦200a的外殼280上，讓支撐部221貼放在外殼280上入口端282，而連接部222與承載部223則置入入口端282內。而後，將濾網210放在延伸環220的承載部223上，使多個固定柱250及其上的彈性件230分別穿入多個固定孔240的第一孔241，如圖12所示。然後，旋轉濾網210，使多個固定柱250的柱身252分別進入多個第二孔242內，此時多個彈性件230會抵壓在濾網210的外框212的上表面上，以防止濾網210鬆脫，如圖13所示。須注意的是，為簡化圖式，圖11至圖13中與本發明技術無關的部份已遭到省略。

參閱圖14所示，本發明第二實施例之渦輪分子幫浦200a能夠裝設在半導體設備真空腔體290上，利用多個螺栓292將渦輪分子幫浦的外殼280鎖固在半導體設備真空腔體290下方，使得濾網210面對半導體設備真空腔體290下方的抽氣口，此時，延伸環220的支撐部221會夾設在渦輪分子幫浦200a的外殼280上入口端282與半導體設備真空腔體290之間。

由圖14可以看出，從半導體設備真空腔體290內掉出的異物會落在濾網210上，不會落入渦輪分子幫浦200a內造成其損壞。此外，值得注意的是，若欲更換濾網210，僅需旋轉濾網210讓多個固定柱250的柱身252分別進入多個第一孔241內，再向上取出舊的濾網210，接著再以相反步驟裝上新的濾網210。

依據本發明第二實施例提供的渦輪分子幫浦200a，不需將整台渦輪分子幫浦200a從半導體設備真空腔體290上卸下才得以更換濾網210，因此節省更換濾網210的作業時間和成本。

[第三實施例]

參閱圖15所示，本發明第三實施例之過濾裝置300包含一濾網310、一延伸環220、多個彈性件330及多個固定柱350。本發明之過濾裝置300係用以裝設在渦輪分子幫浦的外殼上方，以防止異物掉入渦輪分子幫浦內。

濾網310具有一外框312及多條網線314。外框312的形狀為環形，並由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成外框312。每一條網線314的兩端固定在外框312內緣。圖15所示的多條網線314包含多條縱向的網線及多條橫向的網線，且多條縱向的網線與多條橫向的網線彼此交錯設置而形成多個網格，但本發明並不限於此，多條網線314彼此之間可以不用相交，且相鄰的兩條網線314可以不相平行。多條網線314的排列方式並沒有特別限定，只要能阻止異物通過即可。此外，外框312的表面上形成多個平均設置的固定孔340。圖15所示固定孔340的數量為四個，但其數量並沒有特別限制。

進一步而言，每一個固定孔340包含一第一孔341及一第二孔342。每一個固定孔340的第一孔341連通第二孔342，且每一個固定孔340的第一孔341在濾網310的徑向上的寬度大於第二孔342在濾網310的徑向上的寬度。於一實施方式中，第一孔341為圓形而第二孔342為長條形，但本發明並不限於此，其他形狀亦可。

本實施例之延伸環220相同於圖10所示的延伸環220，因此不再詳述其結構。

再請參閱圖15，每一個固定柱350包含一頭部351及一柱身352，其中頭部351設置在柱身352的頂端上。頭部351為圓形，且其頂部上各設有一驅動槽353，以讓螺絲起子能夠轉動固定柱350。柱身352為圓柱形，其下部的外表面上各形成有螺紋354，用以讓柱身352鎖入延伸環220上的螺栓孔226。每一個固定柱350的頭部351的直徑大於其柱身352的直徑。固定柱350的數量優選等於固定孔340的數量。

多個彈性件330設置在濾網310上，其固定方式可以是焊接或與濾網310一體成型，並沒有特別限定。多個彈性件330能夠設置在濾網310的上方或下方，並沒有特別限定。多個彈性件330分別設置在多個固定孔340附近，且每一個彈性件330上具有一彎曲部332。彈性件330的形狀並沒有特別限定，圖15所示的彈性件330僅是其中一種實施方式。

參閱圖16至圖18所示，本發明第三實施例之渦輪分子幫浦300a包含過濾裝置300，其係裝設在渦輪分子幫浦300a的外殼380上入口端382。進一步而言，為了使過濾裝置300能夠裝設在渦輪分子幫浦300a的外殼380上入口端382，過濾裝置300的延伸環220的連接部222與承載部223的外徑需小於入口端382的直徑，使連接部222與承載部223能夠放置在入口端382內。延伸環220的支撐部221的外徑需大於入口端382的直徑，使支撐部221能夠貼在入口端382，讓延伸環220得到入口端382的支撐而不會掉入渦輪分子幫浦300a內。此外，濾網310的直徑需小於延伸環220的連接部222的內徑，但需大於延伸環220的承載部223的內徑，使之能夠放在承載部223的上表面而得到延伸環220支撐。

之後，如圖16所示，將多個固定柱350分別鎖固在延伸環220上的螺栓孔226內，將延伸環220放置在渦輪分子幫浦300a的外殼380上，讓支撐部221貼放在外殼380上入口端382，而連接部222與承載部223則置入入口端382內。而後，將濾網310放在延伸環220的承載部223上，使多個固定柱350分別穿入多個固定孔340的第一孔341，如圖17所示。然後，旋轉濾網310，使多個固定柱350的柱身352分別進入多個第二孔342內，此時多個彈性件330的彎曲部332會分別抵壓在多個固定柱350的柱身352上，以防止濾網310鬆脫，如圖18所示。須注意的是，為簡化圖式，圖16至圖18中與本發明技術無關的部份已遭到省略。

參閱圖19所示，本發明第三實施例之渦輪分子幫浦300a能夠裝設在半導體設備真空腔體390上，利用多個螺栓392將渦輪分子幫浦的外殼380鎖固在半導體設備真空腔體390下方，使得濾網310面對半導體設備真空腔體390下方的抽氣口，此時，延伸環220的支撐部221會夾設在渦輪分子幫浦300a的外殼380上入口端382與半導體設備真空腔體390之間。

由圖19可以看出，從半導體設備真空腔體390內掉出的異物會落在濾網310上，不會落入渦輪分子幫浦300a內造成其損壞。此外，值得注意的是，若欲更換濾網310，僅需旋轉濾網310讓多個固定柱350的柱身352分別進入多個第一孔341內，再向上取出舊的濾網310，接著再以相反步驟裝上新的濾網310。

依據本發明第三實施例提供的渦輪分子幫浦300a，不需將整台渦輪分子幫浦300a從半導體設備真空腔體390上卸下才得以更換濾網310，因此節省更換濾網310的作業時間和成本。

[第四實施例]

參閱圖20所示，本發明第四實施例之過濾裝置400包含一濾網410及一延伸環430。本發明之過濾裝置400係用以裝設在渦輪分子幫浦的外殼上方，以防止異物掉入渦輪分子幫浦內。

濾網410具有一外框412及多條網線414。外框412的形狀為環形，並由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成外框412。每一條網線414的兩端固定在外框412內緣。圖20所示的多條網線414包含多條縱向的網線及多條橫向的網線，且多條縱向的網線與多條橫向的網線彼此交錯設置而形成多個網格，但本發明並不限於此，多條網線414彼此之間可以不用相交，且相鄰的兩條網線414可以不相平行。多條網線414的排列方式並沒有特別限定，只要能阻止異物通過即可。此外，外框412上形成有多個朝外水平延伸出的凸出418，其中部分的凸出418上形成有開孔416。外框412的內緣延伸出一對施力臂417，兩施力臂417設置在網線414上，並朝向彼此延伸。

延伸環430由硬質材料構成，例如由金屬構成，但本發明並不限於此，其他材料亦可用於形成延伸環430。延伸環430具有一支撐部431、一連接部432及一承載部433。支撐部431為扁平環狀且呈水平設置。連接部432形成一封閉的環形，其從支撐部431的內緣向下延伸。承載部433為扁平環狀且呈水平設置，其外緣連接到連接部432的下緣。支撐部431的外徑大於承載部433的外徑，且支撐部431的內徑大致上等於承載部433的外徑。

延伸環430上還形成有一內凸緣434，其設置在承載部433正上方。內凸緣434為扁平環狀且呈水平設置，其從連接部432向內延伸。連接部432、承載部433與內凸緣434因此界定出一環狀的凹槽。另外，內凸緣434上形成有多個缺口438，其數量與位置分別對應到濾網410上的凸出418的數量與位置，且能分別讓凸出418通過。承載部433上形成有多個止擋件435，其能夠由多個螺絲鎖在承載部433所構成。

根據本發明第四實施例之過濾裝置400，其中濾網410能夠放置在延伸環430上。濾網410的凸出418係由上而下分別通過延伸環430的內凸緣434上的缺口438，然後施力在施力臂417上以旋轉濾網410，藉此將其凸出418旋入延伸環430的連接部432、承載部433與內凸緣434之間的凹槽內。當凸出418分別碰觸到止擋件435，濾網410即無法繼續旋轉，以此確保凸出418皆分別旋入凹槽內。若欲取下濾網410，則按照相反順序執行上述步驟即可。

根據本發明第四實施例之過濾裝置400，能夠利用螺栓將延伸環430鎖固在渦輪分子幫浦上，如此從半導體設備真空腔體內掉出的異物會落在濾網410上，不會落入渦輪分子幫浦內造成其損壞。過濾裝置400裝設在渦輪分子幫浦上的方式係類似圖8之過濾裝置裝設在渦輪分子幫浦100a上的方式，於此不再贅述。同樣地，若欲更換濾網410，僅需按照前述所述方式執行即可。

本發明的有益效果在於，若欲更換本發明提供的渦輪分子幫浦上的濾網，不需將整台渦輪分子幫浦從半導體設備真空腔體上卸下才得以更換，因此節省更換濾網的作業時間和成本。

雖然本發明已以前述實例揭示，然其並非用以限定本發明，任何本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與修改。因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100:過濾裝置 100a:渦輪分子幫浦 110:濾網 112:外框 114:網線 120:固定環 130:延伸環 130a:延伸環 130b:延伸環 131:支撐部 132:連接部 133:承載部 134:內凸緣 135:階段 136:開孔 137:螺栓 180:外殼 182:入口端 190:半導體設備真空腔體 192:螺栓 200:過濾裝置 200a:渦輪分子幫浦 210:濾網 212:外框 214:網線 220:延伸環 221:支撐部 222:連接部 223:承載部 226:螺栓孔 230:彈性件 240:固定孔 241:第一孔 242:第二孔 250:固定柱 251:頭部 252:柱身 253:驅動槽 254:螺紋 280:外殼 282:入口端 290:半導體設備真空腔體 292:螺栓 300:過濾裝置 300a:渦輪分子幫浦 310:濾網 312:外框 314:網線 330:彈性件 332:彎曲部 340:固定孔 341:第一孔 342:第二孔 350:固定柱 351:頭部 352:柱身 353:驅動槽 354:螺紋 380:外殼 382:入口端 390:半導體設備真空腔體 392:螺栓 400:過濾裝置 410:濾網 412:外框 414:網線 416:開孔 417:施力臂 418:凸出 430:延伸環 431:支撐部 432:連接部 433:承載部 434:內凸緣 435:止擋件 438:缺口

當結合附圖閱讀時，自以下詳細描述最好地理解本揭露之態樣。應注意，根據業界中之標準實務，各種構件未按比例繪製。實際上，為論述清楚起見，可任意增大或減小各種構件之尺寸。 圖1為本發明第一實施例之過濾裝置的立體分解示意圖。 圖2為本發明第一實施例之過濾裝置的延伸環的立體示意圖。 圖3為本發明第一實施例之渦輪分子幫浦的平面示意圖。 圖4為本發明第一實施例之渦輪分子幫浦與半導體設備真空腔體組合的平面示意圖。 圖5為本發明第一實施例之過濾裝置的延伸環的另一態樣的立體示意圖。 圖6為本發明第一實施例之渦輪分子幫浦的另一態樣與半導體設備真空腔體組合的平面示意圖。 圖7為本發明第一實施例之過濾裝置的延伸環的再一態樣的立體示意圖。 圖8為本發明第一實施例之渦輪分子幫浦的再一態樣與半導體設備真空腔體組合的平面示意圖。 圖9為本發明第二實施例之過濾裝置的立體分解示意圖。 圖10為本發明第二實施例之過濾裝置的延伸環的立體示意圖。 圖11至圖13顯示將本發明第二實施例之過濾裝置裝設在一渦輪分子幫浦上以成為本發明第二實施例之渦輪分子幫浦的方法。 圖14為本發明第二實施例之渦輪分子幫浦與半導體設備真空腔體組合的平面示意圖。 圖15為本發明第三實施例之過濾裝置的立體分解示意圖。 圖16至圖18顯示將本發明第三實施例之過濾裝置裝設在一渦輪分子幫浦上以成為本發明第三實施例之渦輪分子幫浦的方法。 圖19為本發明第三實施例之渦輪分子幫浦與半導體設備真空腔體組合的平面示意圖。 圖20為本發明第四實施例之過濾裝置的立體分解示意圖。

100a:渦輪分子幫浦

110:濾網

112:外框

120:固定環

131:支撐部

132:連接部

133:承載部

180:外殼

182:入口端

190:半導體設備真空腔體

192:螺栓

Claims (10)

1. 一種渦輪分子幫浦之過濾裝置，包含：一延伸環，用以放置在一渦輪分子幫浦的外殼上，所述延伸環包含：一支撐部，為扁平環狀且呈水平設置，其中所述支撐部用以貼放在所述外殼上的入口端上；一連接部，從所述支撐部的內緣向下延伸，其中所述連接部用以置入所述外殼上的所述入口端內；以及一承載部，為環狀且呈水平設置，其外緣連接到所述連接部的下緣，其中所述承載部用以置入所述外殼上的所述入口端內； 一濾網，具有一外框，所述外框設置在所述承載部上；以及一固定環，具有向外擴張的彈性，所述固定環設置在所述濾網上方，且其外緣抵接在所述連接部的內壁上，以將所述濾網固定在所述延伸環上。
2. 如請求項1之渦輪分子幫浦之過濾裝置，其中，所述延伸環還包含：一內凸緣，為環狀且呈水平設置，從所述連接部延伸出，其中所述連接部、所述承載部與所述內凸緣界定出一環狀的凹槽，所述固定環設置在所述凹槽內。
3. 一種渦輪分子幫浦，包含：一外殼，其上具有一入口端；以及如請求項1至2中任一項之渦輪分子幫浦之過濾裝置，其中所述延伸環的所述支撐部貼放在所述外殼上的所述入口端，且所述支撐部用以夾設在所述外殼與一半導體設備真空腔體之間。
4. 一種渦輪分子幫浦，包含：一外殼，其上具有一入口端；以及如請求項1至2中任一項之渦輪分子幫浦之過濾裝置，其中所述延伸環的所述支撐部貼放在所述外殼上的所述入口端，且所述支撐部係以螺栓鎖固在所述外殼上。
5. 一種渦輪分子幫浦，包含：一外殼，其上具有一入口端；一延伸環，包含：一支撐部，為扁平環狀且呈水平設置，所述支撐部貼放在所述外殼上的所述入口端；一連接部，從所述支撐部的內緣向下延伸，所述連接部置入所述外殼上的所述入口端內；以及一承載部，為環狀且呈水平設置，其外緣連接到所述連接部的下緣，所述承載部置入所述外殼上的所述入口端內； 多個固定柱，固定在所述承載部上；多個彈性件，分別設置在多個所述固定柱上； 以及一濾網，具有一外框，所述外框上形成多個固定孔，多個所述固定孔各包含一第一孔以及一第二孔，其中多個所述第一孔能夠分別讓多個所述固定柱及其上的所述彈性件穿入，且旋轉所述濾網後能夠讓多個所述固定柱分別進入多個所述第二孔內，多個所述彈性件因此能夠抵壓在所述濾網的所述外框的上表面上。
6. 如請求項5之渦輪分子幫浦，其中，所述濾網為環形，每一所述固定孔的所述第一孔在所述濾網的徑向上的寬度大於所述第二孔在所述濾網的徑向上的寬度。
7. 一種渦輪分子幫浦，包含：一外殼，其上具有一入口端；一延伸環，包含：一支撐部，為扁平環狀且呈水平設置，所述支撐部貼放在所述外殼上的所述入口端；一連接部，從所述支撐部的內緣向下延伸，所述連接部置入所述外殼上的所述入口端內；以及一承載部，為環狀且呈水平設置，其外緣連接到所述連接部的下緣，所述承載部置入所述外殼上的所述入口端內； 多個固定柱，固定在所述承載部上；一濾網，具有一外框，所述外框上形成多個固定孔，多個所述固定孔各包含一第一孔以及一第二孔，其中多個所述第一孔能夠分別讓多個所述固定柱穿入，且旋轉所述濾網後能夠讓多個所述固定柱分別進入多個所述第二孔內；以及多個彈性件，設置在所述濾網上，其中當多個所述固定柱分別進入多個所述第二孔內時，多個所述彈性件係分別抵壓在多個所述固定柱上。
8. 如請求項7之渦輪分子幫浦，其中，所述濾網為環形，每一所述固定孔的所述第一孔在所述濾網的徑向上的寬度大於所述第二孔在所述濾網的徑向上的寬度。
9. 一種渦輪分子幫浦之過濾裝置，包含：一濾網，具有一外框，所述外框上形成多個朝外水平延伸出的凸出；以及一延伸環，用以放置在一渦輪分子幫浦的外殼上，所述延伸環包含：一支撐部，為扁平環狀且呈水平設置，其中所述支撐部用以固定在所述外殼上的入口端上；一連接部，從所述支撐部的內緣向下延伸，其中所述連接部用以置入所述外殼上的所述入口端內； 一承載部，為環狀且呈水平設置，其外緣連接到所述連接部的下緣，其中所述承載部用以置入所述外殼上的所述入口端內；以及一內凸緣，為環狀且呈水平設置，從所述連接部延伸出，其中所述連接部、所述承載部與所述內凸緣界定出一環狀的凹槽，所述內凸緣上形成多個缺口，其中所述延伸環上的多個所述缺口能夠分別讓所述濾網上的多個所述凸出由上而下通過，且旋轉所述濾網後能夠讓多個所述凸出進入所述凹槽內。
10. 一種渦輪分子幫浦，包含：一外殼，其上具有一入口端；以及如請求項9之渦輪分子幫浦之過濾裝置，其中所述延伸環的所述支撐部固定在所述外殼上的所述入口端。

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