TWI741880B - 處理氣體汙染物的裝置 - Google Patents

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TWI741880B
TWI741880B TW109140750A TW109140750A TWI741880B TW I741880 B TWI741880 B TW I741880B TW 109140750 A TW109140750 A TW 109140750A TW 109140750 A TW109140750 A TW 109140750A TW I741880 B TWI741880 B TW I741880B
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Abstract

一種處理氣體汙染物的裝置，包括一反應部以及一管體，該反應部包括一進氣模組、一反應模組、一燃燒模組以及一冷卻模組，該管體連接於該反應部，該管體包括一橫向段、一連接段以及一直向段，該橫向段實質上地平行於該處理氣體汙染物的裝置的一安裝平面，該直向段實質上地垂直於該安裝平面，該橫向段具有一連通至該反應部的頂部進氣口以及一側向進氣口，該連接段連接於該橫向段和該直向段之間，該頂部進氣口接收經過該反應部而往下流向的流出物，該側向進氣口接收一橫向氣流，該流出物受到該橫向氣流的帶動而形成一旋轉氣旋並經由該連接段從該直向段遠離該連接段的一出口排出。

Description

處理氣體汙染物的裝置
本發明關於一種處理氣體汙染物的裝置，且特別關於一種處理一來自半導體製程的流出物的裝置。
半導體製程中的尾氣含有多種對人體或環境有害的化學物質，常見的尾氣處理設備，包括燃燒式、等離子式、水洗式以及觸媒式等。
對於化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,CVD)製程所產生的矽烷(Silane)、砷化三氫(Arsine)、磷化氫(Phosphine)等汙染物質，則常採用燃燒式的尾氣處理設備，傳統的商用產品包括來自於DAS公司的LARCH型號機台或是來自於Edwards公司的Spectra系列機台。
本發明提供一種處理氣體汙染物的裝置，包括一反應部，包括：一進氣模組，包括一第一外壁、一第一內壁、一第一冷卻腔室、一進氣腔室以及至少一導引管路，該第一冷卻腔室設置於該第一外壁以及該第一內壁之間，該第一內壁界定出該進氣腔室，該導引管路設置於該進氣腔室的一側邊並將一來自半導體製程的流出物導引至該進氣腔室；一反應模組，耦接於該進氣模組下方，該反應模組包括一第二外壁、一第二內壁、一第二冷卻腔室以及一反應腔室，該第二冷卻腔室設置於該第二外壁以及該第二內壁之間，該第二內壁界定出該反應腔室，該反應腔室以及該進氣腔室彼此連通以接收來自於該進氣腔室的該流出物；一燃燒模組，包括至少一燃燒組件，該燃燒組件包括一預混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，該第一管路 以及該第二管路分別輸送一氧化劑以及一燃料氣體至該預混腔室，該火星塞設置於鄰近該預混腔室的一開口端，該開口端連接至該反應腔室，該火星塞產生一點燃該氧化劑以及該燃料氣體的火花並經由該開口端提供一火焰至該反應腔室以燃燒該流出物；以及一冷卻模組，包括一第一管路以及一第二管路，該第一管路連接於一冷卻液源以及該第二冷卻腔室之間，該第二管路連接於該第二冷卻腔室以及該第一冷卻腔室之間，其中，該第一冷卻腔室以及該第二冷卻腔室經由該第二管路而彼此連通；一管體，連接於該反應部，包括一橫向段、一連接段以及一直向段，該橫向段實質上地平行於該處理氣體汙染物的裝置的一安裝平面，該直向段實質上地垂直於該安裝平面，該橫向段具有一連通至該反應部的該反應腔室的頂部進氣口以及一側向進氣口，該連接段連接於該橫向段和該直向段之間；其中，該頂部進氣口接收經過該反應部而往下流向的該流出物，該側向進氣口接收一橫向氣流，該流出物受到該橫向氣流的帶動而形成一旋轉氣旋並經由該連接段從該直向段遠離該連接段的一出口排出。
本發明還提供一種處理氣體汙染物的裝置，包括：一反應部，包括：一進氣模組，包括一進氣腔室以及至少一導引管路，該導引管路設置於該進氣腔室的一側邊並將一來自半導體製程的流出物導引至該進氣腔室；一反應模組，耦接於該進氣模組下方，該反應模組包括一反應腔室，該反應腔室以及該進氣腔室彼此連通以接收來自於該進氣腔室的該流出物，其中，該反應模組具有一延長該流出物在該反應腔室內的一流動時間的第一高度；一燃燒模組，包括至少一燃燒組件，該燃燒組件包括一預混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，該第一管路以及該第二管路分別輸送一氧化劑以及一燃料氣體至該預混腔室，該火星塞設置於鄰近該預混腔室的一開口端，該 開口端連接至該反應腔室，該火星塞產生一點燃該氧化劑以及該燃料氣體的火花並經由該開口端提供一火焰至該反應腔室以燃燒該流出物；以及一管體，連接於該反應部，包括一橫向段、一連接段以及一直向段，該橫向段實質上地平行於該處理氣體汙染物的裝置的一安裝平面，該直向段實質上地垂直於該安裝平面，該橫向段具有一連通至該反應部的該反應腔室的頂部進氣口以及一側向進氣口，該連接段連接於該橫向段和該直向段之間；其中，該頂部進氣口接收經過該燃燒模組而往下流向的該流出物，該側向進氣口接收一橫向氣流，該流出物受到該橫向氣流的帶動而形成一旋轉氣旋並經由該連接段從該直向段遠離該連接段的一出口排出；其中，該直向段具有一延長該流出物在該直向段內的一流動時間的第二高度，使得該流出物從該反應腔室流動至該直向段的該出口後降低至一低於200℃之溫度。
10:反應部
10a:第一反應部
10b:第二反應部
11:進氣模組
11a:第一進氣模組
11b:第二進氣模組
111:第一外壁
112:第一內壁
113:第一冷卻腔室
114:進氣腔室
115:上蓋板
116:導引管路
1161:第一段
1162:第二段
1163:彎曲段
117:底部開口
12:反應模組
12a:第一反應模組
12b:第二反應模組
121:第二外壁
122:第二內壁
123:第二冷卻腔室
124:反應腔室
125:上開口
126:下開口
13:連接模組
131:上半部
132:下半部
133:固定件
14:冷卻模組
141:第一管路
141a:第一端
141b:第二端
142:第二管路
142a:第一端
142b:第二端
143:第三管路
143a:第一端
143b:第二端
144:幫浦
15a、15b、15c、15d:燃燒組件
151a:殼體
152a:內管
1521a:頭端
1522a:尾端
1523a:第一側端
1524a:第二側端
153a:火星塞
154a:第一管路
155a:第二管路
156a、157a、158a:接頭
159a、159b、159c、159d:第三管路
20:排氣部
20a:內部通道
21:橫向段
211:頂部進氣口
212:側向進氣口
22:連接段
221:橫向開口
222:縱向開口
23:直向段
231:連接開口
232:出口
24:第一排氣段
241:側向進氣口
242:頂部進氣口
25:第二排氣段
251:側向進氣口
252:頂部進氣口
26:第三排氣段
261:出口
30:架體
40:控制部
50:流出物
51:橫向氣流
52:旋轉氣旋
60:氣體組件
H1:距離
H2:距離
H3:高度
H4:高度
H5:高度
L1:長度
L2:距離
『圖1』，為根據本發明一實施例的立體組裝示意圖。
『圖2A』，為根據本發明一實施例的立體組裝示意圖。
『圖2B』，為『圖2A』沿XZ平面的立體剖面示意圖。
『圖2C』，為『圖2B』的局部放大示意圖。
『圖3』，為根據本發明一實施例另一視角的立體組裝示意圖。
『圖4』，為根據本發明一實施例的側示示意圖。
『圖5』，為『圖4』沿A-A的剖面示意圖。
『圖6』，為根據本發明一實施例的燃燒模組的立體組裝示意圖。
『圖7』，為『圖4』沿B-B的立體剖面示意圖。
『圖8』，為『圖4』沿C-C的立體剖面示意圖。
『圖9』，為根據本發明其他實施例的示意圖。
『圖10』，為根據本發明另一實施例的立體組裝示意圖。
『圖11』，為『圖10』沿XZ平面的剖面示意圖。
以下實施例應用於處理一來自半導體製程的流出物(Effluent stream)，例如尾氣(Waste gas)；以下實施例儘管在多處使用水一詞，但僅基於描述方便之目的，本發明並不限定於水，其他可替代的液體均可使用。
在本文中，對各種實施例的描述中所使用的術語只是為了描述特定示例的目的，而並非旨在進行限制。除非上下文另外明確地表明，或非刻意限定元件的數量，否則本文所用的單數形式「一」、「一個」及「該」也包含複數形式。另一方面，術語「包括」和「包含」旨在被包括在內，意指可存在除列出的元件之外的附加元件；當一個元件被表述為「連接」或「耦接」到另一元件時，該元件可以直接或通過中間元件連接或耦接至該另一元件；當描述層、區域或基板的元件被稱為在另一元件「上」時，係指可直接在該另一元件上或彼此間可存在一中間元件，相對來說，當元件被稱作「直接在另一元件上」時，彼此間不存在該中間元件；另外，各實施例的描述的順序不應被解釋為暗示操作或步驟必須依賴於字面上的順序，另選實施方案可使用與本文描述的順序不同的順序來執行步驟、操作、方法等。
本發明的一方面揭露一種燃燒式尾氣處理設備(亦可稱熱氧化式尾氣處理設備)，該尾氣處理設備為非水洗式(即乾式)，請參閱『圖1』以及『圖2A』至『圖2C』，『圖1』為根據本發明一實施例的立體組裝示意圖，而『圖2A』至『圖2C』為『圖1』省略部分元件的示意圖。本態樣中，該尾氣處理設備包括一反應部10、一排氣部20、一架體30以及一控制部40，該反應部10 包括一進氣模組11、一反應模組12、一連接模組13、一冷卻模組14以及一燃燒模組(詳述如後)。如『圖2A』及『圖2B』所示，該進氣模組11設置於該反應模組12上方，且該進氣模組11透過該連接模組13耦接至該反應模組12。
參閱『圖2C』該進氣模組11包括一第一外壁111、一第一內壁112、一第一冷卻腔室113、一進氣腔室114、一上蓋板115、至少一導引管路116以及一底部開口117，該第一冷卻腔室113設置於該第一外壁111以及該第一內壁112之間，該第一冷卻腔室113為一第一環型腔室，該第一環型腔室相隔地環繞該進氣腔室114，該第一內壁112界定出該進氣腔室114，該上蓋板115封住該進氣腔室114的一頂部，該導引管路116設置於該進氣腔室114的一側邊，並穿過該第一外壁111、該第一內壁112及該第一冷卻腔室113而連通至該進氣腔室114。該導引管路116用於將一流出物50引入該進氣腔室114，該進氣腔室114沿一垂直Z軸延伸，且該導引管路116於該進氣腔室114的一插設方向不平行於Z軸，該插設方向和Z軸相交一角度，該角度較佳地介於45°至90°之間，於本實施例中，該導引管路116包括一第一段1161、一第二段1162以及一彎曲段1163，該彎曲段1163設置於該第一段1161和該第二段1162之間，該彎曲段1163用以緩衝該流出物50從該第一段1161經由該彎曲段1163而從該第二段1162進入該進氣腔室114的速度。本發明中，Z軸係實質上正交(Orthogonal)於該尾氣處理設備的一安裝平面(即XY平面)。換言之，Z軸和該安裝平面的法向量重疊或相交一小角度。
該反應模組12包括一第二外壁121、一第二內壁122、一第二冷卻腔室123、一反應腔室124、一上開口125以及一下開口126，該第二冷卻腔室123設置於該第二外壁121以及該第二內壁122之間，該第二冷卻腔室123為一第二環型腔室，該第二環型腔室相隔地圍繞該反應腔室124，該第二內壁122 界定出該反應腔室124，該反應腔室124以及該進氣腔114室彼此連通以接收來自於該進氣腔室114的該流出物50，該上開口125以及該下開口126設置於該反應腔室124的兩端，該上開口125連通至該進氣模組11的該底部開口117。
該連接模組13連接於該進氣模組11以及該反應模組12之間，該連接模組13包括一上半部131、一下半部132以及複數個固定件133，該上半部131連接至該進氣模組11，該下半部132連接至該反應模組12，該上半部131以及該下半部132之間以該固定件133鎖固。
參閱『圖3』至『圖5』，『圖3』為『圖2A』另一視角的立體組裝示意圖，『圖4』為根據本發明一實施例的側示示意圖，『圖5』為『圖4』沿A-A的剖面示意圖。該冷卻模組14包括一第一管路141、一第二管路142、一第三管路143以及複數個幫浦144，該第一管路141包括一第一端141a以及一第二端141b，該第一端141a連接於一冷卻液源，該第二端141b連接至該反應模組12的該第二冷卻腔室123的一側。該第二管路142包括一第一端142a以及一第二端142b，該第一端142a連接至該第二冷卻腔室123的另一側，該第二端142b連接至該進氣模組11的該第一冷卻腔室113的一側，該第三管路143包括一第一端143a以及一第二端143b，該第一端143a連接至該第一冷卻腔室113的另一側，該第二端143b連接至一冷卻液出口或一冷卻迴路。如『圖5』所示，冷卻液從該第一管路141進入該第一冷卻腔室113，經由該第二管路142進入該第二冷卻腔室123而從該第三管路143離開，本實施例中，該第一冷卻腔室113、該第二冷卻腔室123配合該第二管路142形成了包覆該進氣腔室114以及該反應腔室124的立體的環形水套(water jacket)，提供充分的冷卻效果。
該燃燒模組提供一主動式火焰(active flame)，參閱『圖2A』以及『圖3』，該燃燒模組包括了複數個燃燒組件15a、15b、15c、15d，參閱『圖7』，本實施例中，該燃燒組件15a、15b、15c、15d對稱地圍繞該反應腔室124設置。參閱『圖6』，以該燃燒組件15a舉例說明，該燃燒組件15a包括一殼體151a、一內管152a、一火星塞153a、一第一管路154a、一第二管路155a，以及複數個接頭156a、157a、158a，該內管152a放置於該殼體151a內，該內管152a包括一頭端1521a、一尾端1522a、一第一側端1523a以及一第二側端1524a，該頭端1521a經由該接頭156a連接至該反應腔室124，該尾端1522a經由該接頭158a連接至該第一管路154a，該第二側端1524a經由該接頭158a連接至該第二管路155a，該第一側端1523a連接至該火星塞153a。該第一管路154a用於輸送一氧化劑(oxidant)至該內管152a，該氧化劑可採用如氧氣、臭氧、空氣、壓縮空氣(CDA)、富氧空氣或前述的混合，該第二管路155a用於輸送一燃料氣體至該內管152a，該燃料氣體可採用如氫氣、甲烷、天然氣、丙烷、液化石油氣(LPG)或前述的混合。該內管152a可視為一預混腔室，該氧化劑以及該燃料氣體在該內管152a內混合，該火星塞153a用於提供一引導火焰至該內管152a，如此一來，將可在靠近該頭端1521a的該接頭156a附近產生一燃燒火焰。此外，如『圖3』所示，該尾氣處理設備還包括一氣體組件60，該氣體組件60控制該第一管路154a以及該第二管路155a的氣體或燃料的輸送。
參閱『圖3』，本實施例中，該接頭156a穿設於該反應模組12的該第二外壁121以及該第二內壁122，參閱『圖4』，該燃燒組件15a的該接頭156a相距該反應模組12的該上開口125一介於50mm至55mm之間的距離H1，該燃燒組件15a的該接頭156a相距該反應模組12的該下開口126一介於330mm 至350mm之間的距離H2。以上尺寸僅供參考，依據不同的應用，該些尺寸可能有不同的數值。
此外，在本實施例中，考慮到該燃燒火焰可能因該第一管路154a提供的該氧化劑不夠而造成燃燒不充分的問題，參閱『圖8』，該燃燒模組還可進一步包括至少一第三管路159a、159b、159c、159d，該第三管路159a、159b、159c、159d連通至該反應腔室124且位於該燃燒組件15a、15b、15c、15d的下方，該第三管路159a、159b、159c、159d提供更多的該氧化劑至該反應腔室124，以增加該燃燒火焰的燃燒。然而，於其他實施例中，也可能將該火星塞153a設置於該殼體151a之外，例如設置於該反應腔室124之中。
該燃燒模組在該反應腔室124內產生一火焰壁(wall of flame)，使該反應腔室124內的一內部溫度高於900℃，而利用該環形水套的設置。在一實施例中，當採用溫度介於16℃至20℃(例如18℃)的冷卻水，即使該內部溫度高於900℃，該反應模組12的該第二外壁121的一外部溫度可低於50℃，大幅提升操作人員以及操作環境的安全性；相較之下，沒有冷卻模組的燃燒式尾氣處理設備，當內部溫度高於900℃時，外部溫度亦處於高溫。
回到『圖2B』，該排氣部20為一管體，且呈一L狀，該排氣部20包括一橫向段21、一連接段22以及一直向段23，該橫向段21實質上地平行於該處理氣體汙染物的裝置的該安裝平面，該直向段23實質上地垂直於該安裝平面，該橫向段21具有一頂部進氣口211以及一側向進氣口212，該頂部進氣口211連接至該反應模組12的該下開口126而和該反應腔室124連通，該側向進氣口212接收一橫向氣流(例如空氣)51，該橫向段21遠離該側向進氣口212的一端連接至該連接段22，該連接段22為一彎曲管體，該連接段22具有一橫向開口221以及一縱向開口222，該橫向開口221連接至該橫向段21，該縱向開 口222朝上地連接至該直向段23，該直向段23具有一連接開口231以及一出口232，該連接開口231連接至該縱向開口222。在一實施例中，該排氣部20的該直向段23平行於該反應部10，如此使得該進氣腔室114、該反應腔室124以及該排氣部20的一內部通道20a形成一U形管路，而讓該流出物50在該尾氣處理設備內沿著該U形管路的方向行進。
參閱『圖4』，本實施例中，該橫向段21的一高度H3(即該排氣部20的外管徑)約介於215mm至230mm之間，該排氣部20具有一介於990mm至1010mm之間的長度L1，且該反應部10的中心至該排氣部20的一側端的距離L2介於690mm至710mm之間，該連接段22具有一介於380mm至400mm之間的高度H4，直向段23具有一介於790mm至810mm之間的高度H5。以上尺寸僅供參考，依據不同的應用，該些尺寸可能有不同的數值。
參閱『圖2B』，操作時，該流出物50從該導引管路116進入該進氣腔室114，並往下進入該反應模組12的該反應腔室124，該燃燒模組的該燃燒組件15a、15b、15c、15d在該反應腔室124形成該火焰壁，該流出物50經過該火焰壁的燃燒以及高溫後，將產生氧化或裂解，以降低或移除該流出物50中的有毒物質。該燃燒組件15的該內管152a的該開口端1521a和該反應模組12的該下開口126相距一延長該流出物50在該反應腔室124內的一流動時間的第一高度，在一實施例中，該第一高度介於330mm至350mm之間。
該排氣部20的該橫向段21的該頂部進氣口211接收經過該反應模組12向下流動的該流出物50，向下流動的該流出物50受到該橫向氣流51的帶動而形成一旋轉氣旋52，並經由該連接段22從該直向段23的該出口232離開，該直向段23具有一延長該流出物50在該直向段23內的一流動時間的第二高度，使得該流出物50從該反應腔室124流動至該直向段23的該出口232後降低 至一低於200℃之溫度，在一實施例中，該第二高度介於790mm至810mm之間。
藉由以上的設計，將該尾氣處理設備的元件採直立式的配置，能大幅縮減該尾氣處理設備在該安裝平面的所佔面積，且利用同步地拉長該反應模組12以及該直向段23的高度，能延長該流出物50在該反應腔室124內的該流動時間，讓該流出物50能充分地被氧化或裂解，也延長該流出物50在該直向段23內的該流動時間，讓該流出物50在離開該尾氣處理設備前能充分地降溫，以利後續的處理或排出。因此，不僅能在縮小安裝面積的基礎上，提供更佳的處理效率，還能降低該流出物50的溫度而提升安全性。
參閱『圖9』，在一實施例中，還可以在該流出物50和該橫向氣流51的交會處設置一折射器(deflector)70，以確保該流出物50能充分地和該橫向氣流51混合。
請參閱『圖10』和『圖11』，為根據本發明另一實施例的立體組裝示意圖以及沿XZ平面的剖面示意圖，該尾氣處理設備包括一第一反應部10a、一第二反應部10b、一排氣部20、一架體30以及一控制部40。該第一反應部10a以及該第二反應部10b的元件參照上述該反應部10的描述，以下將省略部分細節。該第一反應部10a包括一第一進氣模組11a以及一第一反應模組12a，該第二反應部10b包括一第二進氣模組11b以及一第二反應模組12b。
該排氣部20為一管體，且呈一倒T狀，該排氣部20包括一第一排氣段24、一第二排氣段25以及一第三排氣段26，該第一排氣段24和該第一反應模組12a的一底部連接，該第二排氣段25和該第二反應模組12b的一底部連接，該第三排氣段26連接於該第一排氣段24和該第二排氣段25且彼此間相互連通，該第一排氣段24和該第二排氣段25沿該安裝平面上的方向延伸，該第 三排氣段26沿一實質上重疊於Z軸的方向延伸。藉由以上該排氣部20的設計，能大幅縮減該尾氣處理設備所佔的安裝面積。
該第一排氣段24包括一側向進氣口241以及一頂部進氣口242，該第二排氣段25包括一側向進氣口251以及一頂部進氣口252，該頂部進氣口242、252分別連接至該第一反應模組12a以及該第二反應模組12b，該側向進氣口241、251分別接收一橫向氣流(例如空氣)51，該第一排氣段24以及該第二排氣段25遠離該側向進氣口241、251的一端連接至該第三排氣段26，該該第三排氣段26具有一出口261。
該第一進氣模組11a以及該第二進氣模組11b分別接收一流出物50，該流出物50往下進入該第一反應模組12a以及該第二反應模組12b，經燃燒及高溫後進入該第一排氣段24以及該第二排氣段25，向下流動的該流出物50受到該橫向氣流51的帶動而形成一旋轉氣旋52，並經由該第三排氣段26的該出口261離開。
11:進氣模組
115:上蓋板
116:導引管路
12:反應模組
126:下開口
15a、15b:燃燒組件
159c:第三管路
21:橫向段
211:頂部進氣口
212:側向進氣口
22:連接段
221:橫向開口
222:縱向開口
23:直向段
231:連接開口
232:出口
50:流出物
51:橫向氣流
52:旋轉氣旋

Claims (14)

  1. 一種處理氣體汙染物的裝置，包括：一反應部，包括：一進氣模組，包括一第一外壁、一第一內壁、一第一冷卻腔室、一進氣腔室以及至少一導引管路，該第一冷卻腔室設置於該第一外壁以及該第一內壁之間，該第一內壁界定出該進氣腔室，該導引管路設置於該進氣腔室的一側邊並將一來自半導體製程的流出物導引至該進氣腔室；一反應模組，耦接於該進氣模組下方，該反應模組包括一第二外壁、一第二內壁、一第二冷卻腔室以及一反應腔室，該第二冷卻腔室設置於該第二外壁以及該第二內壁之間，該第二內壁界定出該反應腔室，該反應腔室以及該進氣腔室彼此連通以接收來自於該進氣腔室的該流出物；一燃燒模組，包括至少一燃燒組件，該燃燒組件包括一預混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，該第一管路以及該第二管路分別輸送一氧化劑以及一燃料氣體至該預混腔室，該火星塞設置於鄰近該預混腔室的一開口端，該開口端連接至該反應腔室，該火星塞產生一點燃該氧化劑以及該燃料氣體的火花並經由該開口端提供一火焰至該反應腔室以燃燒該流出物；一冷卻模組，包括一第一管路以及一第二管路，該第一管路連接於一冷卻液源以及該第二冷卻腔室之間，該第二管路連接於該第二冷卻腔室以及該第一冷卻腔室之間，其中，該第一冷卻腔室以及該第二冷卻腔室經由該第二管路而彼此連通；以及一管體，連接於該反應部，包括一橫向段、一連接段以及一直向段，該橫向段實質上地平行於該處理氣體汙染物的裝置的一安裝平面延伸，該直向段實 質上地垂直於該安裝平面，該橫向段具有一連通至該反應部的該反應腔室的頂部進氣口以及一側向進氣口，該連接段連接於該橫向段和該直向段之間；其中，該頂部進氣口接收經過該反應部而往下流向的該流出物，該側向進氣口接收一橫向氣流，該流出物受到該橫向氣流的帶動而形成一旋轉氣旋並經由該連接段從該直向段遠離該連接段的一出口排出。
  2. 如請求項1所述的裝置，其中該第一冷卻腔室為一第一環型腔室，且相隔地圍繞該進氣腔室。
  3. 如請求項1所述的裝置，其中該第二冷卻腔室為一第二環型腔室，且相隔地圍繞該反應腔室。
  4. 如請求項1所述的裝置，其中該燃燒組件包括對稱地圍繞該反應腔室設置的一第一燃燒組件、一第二燃燒組件、一第三燃燒組件以及一第四燃燒組件，該些燃燒組件分別提供一燃燒火焰至該反應腔室內而形成一火焰壁。
  5. 如請求項1所述的裝置，其中該進氣模組、該反應部以及該管體的該直向段沿一垂直於該安裝平面的縱向延伸設置。
  6. 如請求項1所述的裝置，其中當該火焰在該反應腔室燃燒該流出物時，該反應腔室具有一高於900℃的內部溫度，該第二外壁具有一低於50℃的外部溫度。
  7. 如請求項1所述的裝置，其中該燃燒組件的該預混腔室經由該開口端連接至該反應部，該開口端和該反應部的一下開口相距一延長該流出物在該反應腔室內的一流動時間的第一高度。
  8. 如請求項1所述的裝置，其中該直向段具有一延長該流出物在該直向段內的一流動時間的第二高度，使得該流出物從該反應腔室流動至該直向段的該出口後降低至一低於200℃之溫度。
  9. 如請求項1所述的裝置，其中該進氣腔室、該反應腔室以及該管體的一內部通道形成一U形管路。
  10. 一種處理氣體汙染物的裝置，包括：一反應部，包括：一進氣模組，包括一進氣腔室以及至少一導引管路，該導引管路設置於該進氣腔室的一側邊並將一來自半導體製程的流出物導引至該進氣腔室；一反應模組，耦接於該進氣模組下方，該反應模組包括一反應腔室，該反應腔室以及該進氣腔室彼此連通以接收來自於該進氣腔室的該流出物，其中，該反應模組具有一延長該流出物在該反應腔室內的一流動時間的第一高度；一燃燒模組，包括至少一燃燒組件，該燃燒組件包括一預混腔室、一火星塞、一第一管路以及一第二管路，該第一管路以及該第二管路分別輸送一氧化劑以及一燃料氣體至該預混腔室，該火星塞設置於鄰近該預混腔室的一開口端，該開口端連接至該反應腔室，該火星塞產生一點燃該氧化劑以及該燃料氣體的火花並經由該開口端提供一火焰至該反應腔室以燃燒該流出物；以及一管體，連接於該反應部，包括一橫向段、一連接段以及一直向段，該橫向段實質上地平行於該處理氣體汙染物的裝置的一安裝平面，該直向段實質上地垂直於該安裝平面，該橫向段具有一連通至該反應部的該反應腔室的頂部進氣口以及一側向進氣口，該連接段連接於該橫向段和該直向段之間；其中，該頂部進氣口接收經過該燃燒模組而往下流向的該流出物，該側向進氣口接收一橫向氣流，該流出物受到該橫向氣流的帶動而形成一旋轉氣旋並經由該連接段從該直向段遠離該連接段的一出口排出； 其中，該直向段具有一延長該流出物在該直向段內的一流動時間的第二高度，使得該流出物從該反應腔室流動至該直向段的該出口後降低至一低於200℃之溫度。
  11. 如請求項10所述的裝置，其中該進氣模組還包括一相隔地圍繞該進氣腔室的第一環型腔室，該反應模組還包括一相隔地圍繞該反應腔室的第二環型腔室，該第一環型腔室以及該第二環型腔室彼此連通且裝有一冷卻液，使得該火焰在該反應腔室燃燒該流出物時，該反應腔室內具有一高於900℃的內部溫度，該反應腔室外具有一低於50℃的外部溫度。
  12. 如請求項10所述的裝置，其中該燃燒組件包括對稱地圍繞該反應腔室設置的一第一燃燒組件、一第二燃燒組件、一第三燃燒組件以及一第四燃燒組件，該些燃燒組件分別提供一燃燒火焰至該反應腔室內而形成一火焰壁。
  13. 如請求項10所述的裝置，其中該進氣模組、該反應模組以及該管體的該直向段沿一垂直於該安裝平面的縱向延伸設置。
  14. 如請求項10所述的裝置，其中該進氣腔室、該反應腔室以及該管體的一內部通道形成一U形管路。
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