TWI724581B - 立型可填充之二氯矽烷（ＳｉＨＣｌ）容器 - Google Patents

立型可填充之二氯矽烷（ＳｉＨＣｌ）容器 Download PDF

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Abstract

一種立型可填充之二氯矽烷(SiH2Cl2)容器，其包括有：一容器本體呈圓桶狀形成有一環圈部、一圓弧底部及一圓弧頂部，該圓弧頂部於四個對角皆設有一吊耳，一座板對稱開設有二堆高機插設孔，且該座板以四支撐桿固定於該容器本體而形成有呈開放狀的一加熱空間，藉由該吊耳與該堆高機插設孔的四角對稱結構，讓該容器本體能穩定保持直立狀進行搬運，再藉由開放狀的該加熱空間，使二氯矽烷(SiH2Cl2)能透過加熱方式氣化，進而在不需要傾倒該容器本體狀態下重新裝填二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，俾以具有重覆使用與提高安全性之功效。

Description

立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器
本發明係有關於一種化學溶液儲存容器，尤指一種兼具使用安全性與重覆填裝使用的立型可填充之二氯矽烷(SiH2Cl2)容器。
按，二氯矽烷(縮寫DCS)，是一種無機化合物，化學式為H2SiCl2，二氯矽烷可以用來做微電子裡的半導體矽層的起始物料，其優點是它在較低溫度可以分解，並且有較高的矽晶體生長速率，由於二氯矽烷是一種化學性質活潑的氣體，在空氣中可以迅速水解並自燃，因此接觸空氣會有產生爆炸之風險，又該二氯矽烷的毒性也很大，利用它的任何實驗都需要有完善的保護性措施，是故在於儲存容器的使用、搬運與填裝皆需要相當注重，導致大多數用於儲存二氯矽烷的容器皆會採用少量瓶裝，藉此降低其風險與損害程度，但小型瓶裝會增加搬運、換裝的次數，導致無法有效的提高安全性，是故，本創作為克服上述缺點，進一步改良大型儲存容器，使該400公升左右的二氯矽烷容器能兼具使用安全性與方便重新填裝之功能。
有鑑於此，本發明人於多年從事相關產品之製造開發與設計經驗，針對上述之目標，詳加設計與審慎評估後，終得一確具實用性之本發明。
本發明所欲解決之技術問題在於針對現有技術存在的上述 缺失，提供一種立型可填充之二氯矽烷(SiH2Cl2)容器。
一容器本體呈圓桶狀形成有一環圈部，且該環圈部向一端延伸有一圓弧底部，而該環圈部向另一端延伸有一圓弧頂部，又該環圈部的直徑介於750mm至860mm之間，且該圓弧底部至該圓弧頂部之間的最長距離介於900mm至1000mm之間，讓該容器本體能容納360公升至440公升之間的二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，另該圓弧頂部於四個對角皆設有一吊耳，一座板對稱開設有二堆高機插設孔，且該座板呈十字相對狀的豎立有四支撐桿，又該座板以上述支撐桿連接固定於該容器本體之環圈部，讓該圓弧底部與該座板之間形成有呈開放狀的一加熱空間，一作動閥組以一圓盤固定於該圓弧頂部，且該圓盤上固定有一第一閥管、一第二閥管、一備用閥管及一氣動閥，該第一閥管相通該容器本體用於灌入二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，且該第二閥管相通該容器本體用於輸出二氯矽烷(SiH2Cl2)氣體，又該備用閥管相通該容器本體用於取代該第一閥管、該第二閥管或該氣動閥，而該氣動閥相通該容器本體用於控制二氯矽烷(SiH2Cl2)進出該容器本體之流量大小，藉由該吊耳與該堆高機插設孔的四角對稱結構，讓該容器本體能穩定保持直立狀進行搬運，再藉由開放狀的該加熱空間，使該容器本體內的二氯矽烷(SiH2Cl2)殘液能透過加熱方式完全氣化，進而在不需要傾倒該容器本體狀態下，由該第一閥管處重新裝填二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，俾以具有重覆使用與提高安全性之功效。
其中，該備用閥管組裝有一壓力錶。
其中，該座板呈正方型之四邊長度皆介於900mm至1000mm之間，且該底板於突出該容器本體部分豎立該支撐桿，透過該座板與該支 撐桿形成該容器本體之防碰撞保護。
其中，該環圈部等間距固定有四個結合片，且該結合片形成有一開口，而該開口朝向該圓弧底部方向，又該支撐桿穿入該結合片之開口，並以焊接方式連結該支撐桿與該結合片。
其中，該加熱空間處設置有一加熱器，且該加熱器貼附於該容器本體之圓弧底部。
其中，該圓盤蓋鎖有一全遮蔽式外罩，且該外罩裝設有複數個吊板與至少一握把。
其中，該容器本體於該圓弧頂部固定有一鏤空狀框架，且該框架圍設於該作動閥組。
其中，該框架頂面蓋設有一蓋板，且該蓋板設有至少一把手。
本發明的第一主要目的在於，該底板以四角對稱的該支撐桿懸空固定該容器本體，且該容器本體於圓弧頂部處的四角落處固定有該吊耳，當該容器本體需要進行搬運時，可利用堆高機穿過該座板之堆高機插設孔，使該容器本體能平衡的被頂高搬動，藉此防止該容器本體產生傾倒之情況發生，亦可由該吊耳處直接吊高該容器本體，其吊高搬移作業可透過天車進行，綜上所述，該容器本體於搬運時能穩定的保持站立狀態，即能防止該容器本體因傾倒產生損壞與二氯矽烷(SiH2Cl2)洩漏，俾以有效提高其搬運安全性。
本發明的第二主要目的在於，該底板以四角對稱的該支撐桿懸空固定該容器本體，使該容器本體之圓弧底部與該底板之間形成有開放式的該加熱空間，又該加熱器直接置入該圓弧底部與座板之間所間隔的該 加熱空間，再透過開放式該加熱空間讓該加熱器容易放入與貼附於該圓弧底部，就能由該加熱器直接對該圓弧底部進行加熱，使位於該圓弧底部的二氯矽烷(SiH2Cl2)殘液能全部氣化，並由該第二閥體排出使用，即能在不需要傾倒該容器本體之前提下充分利用二氯矽烷(SiH2Cl2)，而清空之容器本體能再由該第一閥管處重新填充二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，藉此兼具有安全性與重覆使用之功效。
其他目的、優點和本發明的新穎特性將從以下詳細的描述與相關的附圖更加顯明。
〔本創作〕
10‧‧‧容器本體
11‧‧‧環圈部
12‧‧‧圓弧底部
13‧‧‧圓弧頂部
14‧‧‧吊耳
15‧‧‧結合片
151‧‧‧開口
16‧‧‧框架
17‧‧‧蓋板
171‧‧‧把手
20‧‧‧座板
21‧‧‧堆高機插設孔
22‧‧‧支撐桿
23‧‧‧加熱空間
24‧‧‧加熱器
30‧‧‧作動閥組
31‧‧‧圓盤
32‧‧‧第一閥管
33‧‧‧第二閥管
34‧‧‧備用閥管
341‧‧‧壓力錶
35‧‧‧氣動閥
36‧‧‧外罩
361‧‧‧吊板
362‧‧‧握把
A‧‧‧直徑
B‧‧‧距離
C‧‧‧長度
第1圖係本發明之立體圖。
第2圖係本發明之正面示圖圖。
第3圖係本發明之作動閥組局部立體圖。
第4圖係本發明底部加熱示意圖。
第5圖係本發明裝設壓力錶之示意圖。
第6圖係本發明更換容器本體之示意圖。
第7圖係本發明另一實施例之立體圖。
第8圖係本發明又一實施例之立體圖。
第9圖係本發明又一實施例裝設蓋板之立體圖。
為使 貴審查委員對本發明之目的、特徵及功效能夠有更進一步之瞭解與認識，以下茲請配合【圖式簡單說明】詳述如後：
先請由第1圖、第2圖與第3圖所示觀之，一種立型可填充之二氯矽烷(SiH2Cl2)容器，其包括有：一容器本體10、一座板20及一作動閥組30，一容器本體10呈圓桶狀形成有一環圈部11，且該環圈部11向一端延伸有一圓弧底部12，而該環圈部11向另一端延伸有一圓弧頂部13，又該環圈部11的直徑A介於750mm至860mm之間，且該圓弧底部12至該圓弧頂部13之間的最長距離B介於900mm至1000mm之間，讓該容器本體10能容納360公升至440公升之間的二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，另該圓弧頂部13於四個對角皆設有一吊耳14，一座板20對稱開設有二堆高機插設孔21，該座板20呈十字相對狀的豎立有四支撐桿22，又該座板20以上述支撐桿22連接固定於該容器本體10之環圈部11，讓該圓弧底部12與該座板20之間形成有呈開放狀的一加熱空間23，又該加熱空間23處設置有一加熱器24(如第4圖所示)，且該加熱器24貼附於該容器本體10之圓弧底部12，另該座板20呈正方型之四邊長度C皆介於900mm至1000mm之間，且該底板20於突出該容器本體10部分豎立該支撐桿22，透過該座板20與該支撐桿22形成該容器本體10之防碰撞保護，一作動閥組30以一圓盤31固定於該圓弧頂部13，該圓盤31上固定有一第一閥管32、一第二閥管33、一備用閥管34及一氣動閥35，該第一閥管32相通該容器本體10用於灌入二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，且該第二閥管33相通該容器本體10用於輸出二氯矽烷(SiH2Cl2)氣體，又該備用閥管34相通該容器本體10用於取代該第一閥管32、該第二閥管33或該氣動閥35，且該備用閥管34亦能組裝有一壓力錶341(如第5圖所示)，而該氣動閥35相通該容器本體10用於控制二氯矽烷(SiH2Cl2)進出該容器本體10之流量大小，藉由該吊耳14與該堆高機插設孔21的四 角對稱結構，讓該容器本體10能穩定保持直立狀進行搬運，再藉由開放狀的該加熱空間23，使該容器本體10內的二氯矽烷(SiH2Cl2)殘液能透過加熱方式完全氣化，進而在不需要傾倒該容器本體10狀態下，由該第一閥管32處重新裝填二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，俾以具有重覆使用與提高安全性之功效。
如第6圖所示，該環圈部11等間距固定有四個結合片15，且該結合片15形成有一開口151，而該開口151朝向該圓弧底部12方向，又該支撐桿22穿入該結合片15之開口151，並以焊接方式連結該支撐桿22與該結合片15，藉此能於容器本體10必須更換時，由該結合片15與該支撐桿22的焊接處解焊，俾以重覆使用該底板20。
其實際使用之功效，再請由第1圖連續至第4圖所示觀之，該容器本體10係為大型的二氯矽烷(SiH2Cl2)填裝容器，該環圈部11的直徑A介於750mm至860mm之間，且該圓弧底部12至該圓弧頂部13之間的最長距離B介於900mm至1000mm之間，讓該容器本體10能容納360公升至440公升之間的二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，因此相對於小型容器需要更高的安全性，尤其是在進行搬運或重新填裝時，故本發明提供有能保持站立使用、搬運與填裝功能之二氯矽烷(SiH2Cl2)容器，其中，該底板20以四角對稱的該支撐桿22懸空固定該容器本體10，使該容器本體10之圓弧底部12與該底板20之間形成有開放式的該加熱空間23，而該加熱空間23的高度係介於80mm至120mm之間，藉此能輕易的放入該加熱器24，又該容器本體10於圓弧頂部13處的四角落處固定有該吊耳14，當該容器本體10需要進行搬運時，可利用堆高機穿過該座板20之堆高機插設孔21，使該容器本體10 能平衡的被頂高搬動，藉此防止該容器本體10產生傾倒之情況發生，亦可由該吊耳14處直接吊高該容器本體10，其吊高搬移作業可透過天車進行，綜上所述，該容器本體10於搬運時能穩定的保持站立狀態，即能防止該容器本體10因傾倒產生損壞與二氯矽烷(SiH2Cl2)洩漏，俾以有效提高其搬運安全性。又當該容器本體10內之二氯矽烷(SiH2Cl2)剩下殘液時，由於該容器本體10內的壓力不足，使二氯矽烷(SiH2Cl2)無法完全氣化，因此，將該加熱器24直接置入該圓弧底部12與座板20之間所間隔的該加熱空間23，再透過開放式該加熱空間23讓該加熱器24容易放入與貼附於該圓弧底部12，就能由該加熱器24直接對該圓弧底部12進行加熱，使位於該圓弧底部12的二氯矽烷(SiH2Cl2)殘液能全部氣化，並由該第二閥體33排出使用，即能在不需要傾倒該容器本體10之前提下充分利用二氯矽烷(SiH2Cl2)，而清空之容器本體10能再由該第一閥管32處重新填充二氯矽烷(SiH2Cl2)液體，藉此兼具有安全性與重覆使用之功效。
本發明另一實施例，再請由第7圖所示觀之，該圓盤31蓋鎖有一全遮蔽式外罩36，透過該外罩36遮蓋該作動閥組30，利用該外罩36保護該作動閥組30，藉此消除該作動閥組30受外力碰撞之可能性，又該外罩36裝設有複數個吊板361與至少一握把362，讓該外罩36能被吊起或拿取。本發明另一實施例，復請由第8、9圖所示觀之，該容器本體10於該圓弧頂部13固定有一鏤空狀框架16，且該框架16圍設於該作動閥組30，即能透過該框架16保護該作動閥組30，又該框架16頂面蓋設有一蓋板17，且該蓋板17設有至少一把手171，能由該把手171拿取該蓋板17，綜上所述，本發明除了利用該座板20之堆高機插設孔21與該容器本體10之吊耳 14，讓該容器本體10保持站立狀搬運，以及該加熱空間23形成站立狀加熱功能，尚能透過該外罩36或該框架16進一步保護該作動閥組30，俾以有效提高其使用安全性。
綜上所述，本發明確實已達突破性之結構設計，而具有改良之發明內容，同時又能夠達到產業上之利用性與進步性，且本發明未見於任何刊物，亦具新穎性，當符合專利法相關法條之規定，爰依法提出發明專利申請，懇請 鈞局審查委員授予合法專利權，至為感禱。
唯以上所述者，僅為本發明之一較佳實施例而已，當不能以之限定本發明實施之範圍；即大凡依本發明申請專利範圍所作之均等變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。
10‧‧‧容器本體
11‧‧‧環圈部
12‧‧‧圓弧底部
13‧‧‧圓弧頂部
14‧‧‧吊耳
16‧‧‧框架
17‧‧‧蓋板
171‧‧‧把手
20‧‧‧座板
21‧‧‧堆高機插設孔
22‧‧‧支撐桿
23‧‧‧加熱空間
30‧‧‧作動閥組
31‧‧‧圓盤
32‧‧‧第一閥管
33‧‧‧第二閥管
34‧‧‧備用閥管
341‧‧‧壓力錶
35‧‧‧氣動閥

Claims (8)

  1. 一種立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其包括有：
    一容器本體，該容器本體呈圓桶狀形成有一環圈部，且該環圈部向一端延伸有一圓弧底部，而該環圈部向另一端延伸有一圓弧頂部，又該環圈部的直徑介於750mm至860mm之間，且該圓弧底部至該圓弧頂部之間的最長距離介於900mm至1000mm之間，讓該容器本體能容納360公升至440公升之間的二氯矽烷(SiH 2Cl 2)液體，另該圓弧頂部於四個對角皆設有一吊耳；
    一座板，該座板對稱開設有二堆高機插設孔，且該座板呈十字相對狀的豎立有四支撐桿，又該座板以上述支撐桿連接固定於該容器本體之環圈部，讓該圓弧底部與該座板之間形成有呈開放狀的一加熱空間；以及一作動閥組，該作動閥組以一圓盤固定於該圓弧頂部，且該圓盤上固定有一第一閥管、一第二閥管、一備用閥管及一氣動閥，該第一閥管相通該容器本體用於灌入二氯矽烷(SiH 2Cl 2)液體，且該第二閥管相通該容器本體用於輸出二氯矽烷(SiH 2Cl 2)氣體，又該備用閥管相通該容器本體用於取代該第一閥管、該第二閥管或該氣動閥，而該氣動閥相通該容器本體用於控制二氯矽烷(SiH 2Cl 2)進出該容器本體之流量大小，藉由該吊耳與該堆高機插設孔的四角對稱結構，讓該容器本體能穩定保持直立狀進行搬運，再藉由開放狀的該加熱空間，使該容器本體內的二氯矽烷(SiH 2Cl 2)殘液能透過加熱方式完全氣化，進而在不需要傾倒該容器本體狀態下，由該第一閥管處重新裝填二氯矽烷(SiH 2Cl 2)液體，俾以具有重覆使用與提高安全性之功效。
  2. 根據申請專利範圍第1項所述之立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其中，該備用閥管組裝有一壓力錶。
  3. 根據申請專利範圍第1項所述之立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其中，該座板呈正方型之四邊長度皆介於900mm至1000mm之間，且該底板於突出該容器本體部分豎立該支撐桿，透過該座板與該支撐桿形成該容器本體之防碰撞保護。
  4. 根據申請專利範圍第1項所述之立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其中，該環圈部等間距固定有四個結合片，且該結合片形成有一開口，而該開口朝向該圓弧底部方向，又該支撐桿穿入該結合片之開口，並以焊接方式連結該支撐桿與該結合片。
  5. 根據申請專利範圍第1項所述之立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其中，該加熱空間處設置有一加熱器，且該加熱器貼附於該容器本體之圓弧底部。
  6. 根據申請專利範圍第1項所述之立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其中，該圓盤蓋鎖有一全遮蔽式外罩，且該外罩裝設有複數個吊板與至少一握把。
  7. 根據申請專利範圍第1項所述之立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其中，該容器本體於該圓弧頂部固定有一鏤空狀框架，且該框架圍設於該作動閥組。
  8. 根據申請專利範圍第7項所述之立型可填充之二氯矽烷(SiH 2Cl 2)容器，其中，該框架頂面蓋設有一蓋板，且該蓋板設有至少一把手。
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