TWI712258B

TWI712258B - 微型壓電泵模組

Info

Publication number: TWI712258B
Application number: TW108129529A
Authority: TW
Inventors: 莫皓然; 陳世昌; 廖家淯; 廖峻宏; 韓永隆; 黃啟峰; 蔡長諺; 李偉銘
Original assignee: 研能科技股份有限公司
Priority date: 2019-08-19
Filing date: 2019-08-19
Publication date: 2020-12-01
Also published as: TW202110074A

Abstract

一種微型壓電泵模組，包含壓電泵、微處理器、驅動組件、電流檢測器以及回授電路；驅動組件、電流檢測器及回授電路電連接於微處理器與壓電泵之間，微處理器透過驅動組件驅使壓電泵運作，並由回授電路及電流檢測器確認壓電泵的運作情況，藉此調整壓電泵的作動頻率、工作電壓及消耗功率。

Description

微型壓電泵模組

本案係關於一種微型壓電泵模組，尤指一種能夠調整工作電壓且能夠快速確認其作動頻率之微型壓電泵模組。

隨著科技的日新月異，流體輸送裝置的應用上亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱……等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統的泵浦已漸漸有朝向裝置微小化的趨勢，但傳統的泵浦難以將尺寸縮小至公釐等級，故目前的微型流體輸送裝置僅能使用壓電泵結構來作為微型流體傳輸裝置。

而壓電泵是施加電壓至壓電件，壓電件因壓電效應產生形變，其內部壓力發生變化進帶動送流體傳輸的泵浦，因此壓電件上的工作電壓影響壓電泵的效能甚鉅，但是目前供給壓電件上的工作電壓會因損耗、熱源等影響造成工作電壓的浮動、不足，造成目前的壓電泵效能不穩、或效能降低的問題。

且，壓電泵於持續運作時，由於壓電件是以極高頻率下快速變形，產生大量熱能，將影響到壓電件的作動頻率，進而影響到壓電泵的效率，而當壓電泵的作動頻率失真時，需要重新確認壓電泵的作動頻率，十分耗時以及在確認作動頻率時壓電泵無法在較佳的作動頻率下運作，將會降低壓電泵的效率，因此，在壓電泵運作過程中，當其作動頻率失真時，如何在短時間確認其作動頻率亦為壓電泵當下必須解決的課題。

本案之主要目的在於提供一種微型壓電泵結構，透過回授電路取得壓電件的工作電壓，並將其回傳至微處理器，使得微處理器能以控制壓電件上的工作電壓。

為達上述目的，本案之較廣義實施態樣為提供一種微型壓電泵模組，包含：一壓電泵，該壓電泵具有一第一電極、一第二電極及一壓電件；一微處理器，輸出一控制訊號及一調變訊號；一驅動組件，電連接於該微處理器及該壓電泵之間，該驅動組件包含：一變壓件，接收該調變訊號以輸出一工作電壓至該壓電泵；一逆變件，接收該控制訊號，藉由該控制訊號調整該壓電泵的該第一電極與該第二電極接收該工作電壓或接地，當該第一電極接收該工作電壓時，該第二電極係接地；當該第一電極接地時，該第二電極係接收該工作電壓；透過該第一電極與該第二電極的電壓差，使該壓電泵的該壓電件因壓電效應產生形變，用以輸送流體；以及一電流檢測器，電連接於該變壓件與該逆變件之間，檢測該壓電泵作動時的電流值；以及一回授電路，電連接於該壓電泵與該微處理器之間，藉由該壓電泵該工作電壓產生一回授電壓；其中，該微處理器輸出具有一第一頻率區間的該控制訊號，該逆變件依據該控制訊號使該壓電泵於該第一頻率區間內作動，由該電流檢測器傳遞其電流值至該微處理器，該微處理器選取該壓電泵於該第一頻率區間內的最大電流值所對應的頻率作為一第一中心頻率，該微處理器以該第一中心頻率為基準，前後各取一頻率區段作為一第二頻率區間調整該控制訊號，該逆變件依據該控制訊號使該壓電泵於該第二頻率區間內作動，並由該電流檢測器傳遞其電流值至該微處理器，該微處理器選取該壓電泵於該第二頻率區間內的最大電流值所對應的頻率作為一第二中心頻率，該微處理器以該第二中心頻率為基準，前後各取一次頻率區段作為一第三頻率區間調整該控制訊號，該逆變件依據該控制訊號使該壓電泵於該第三頻率區間內作動，並由該電流檢測器傳遞其電流值至該微處理器，該微處理器選取該壓電泵於該第三頻率區間內的最大電流值所對應的頻率作為一作動頻率，該微處理器將具有該作動頻率之該控制訊號傳遞至該逆變件，該逆變件驅使該壓電泵於該作動頻率下運作，且該壓電泵作動後，每間隔一作動時間，該逆變件輸出具有該第三頻率區間的控制訊號至逆變件，驅使該壓電泵於該第三頻率區間作動，並取該第三頻率區間內的最大電流值所對應之頻率作為該作動頻率，令該壓電泵於該作動頻率下運作；此外，該微處理器可依據該回授電壓調整該變壓件輸出之該壓電泵之工作電壓，亦可調控該工作電壓來調整該壓電泵的消耗功率。

體現本案特徵與優點的實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參閱第1圖所示，微型壓電泵模組100包含：一微處理器1、一驅動組件2、一壓電泵3及一回授電路4。微處理器1輸出一控制訊號及一調變訊號至驅動組件2，驅動組件2電連接壓電泵3，並藉由控制訊號及調變訊號提供一工作電壓給壓電泵3運作，回授電路4提供壓電泵3的一作動工作電壓回授給微處理器1，微處理器1再通過控制訊號及調變訊號使驅動組件2調整壓電泵3的工作電壓，使壓電泵3的作動電壓對應調整，其中，作動電壓為壓電泵3於實際作動時的電壓。

請參閱第1圖及第2圖所示，微處理器1具有一控制單元11、一轉換單元12以及一通訊單元13。驅動組件2具有一變壓件21、一逆變件22以及一電流檢測器23。壓電泵3具有一第一電極31、一第二電極32以及一壓電件33。通訊單元13電連接至該變壓件21，以輸出調變訊號給變壓件21。變壓件21依據調變訊號將電壓調變為工作電壓，再將工作電壓傳輸給逆變件22。控制單元11電連接至逆變件22，用以透過逆變件22控制壓電泵3的第一電極31與第二電極32所接收到的是工作電壓或是接地，藉此調整壓電泵3的作動頻率。

電流檢測器23電連接於變壓件21與逆變件22之間，檢測壓電泵3於作動時的電流值給微處理器1，於本案中，電流檢測器23將會回傳壓電泵3於各頻率下作動時的電流值供微處理器1判斷。

請繼續參閱第2圖所示，回授電路4電連接於壓電泵3與微處理器1之間，回授電路4包含有一第一電阻R1、一第二電阻R2、一第三電阻R3及一電容C。第一電阻R1具有一第一接點41a及一第二接點41b。第二電阻R2具有一第三接點42a及一第四接點42b。第三電阻R3具有一第五接點43a及一第六接點43b。電容C具有一第七接點44a及一第八接點44b。其中，第一電阻R1的第一接點41a電連接壓電泵3的第一電極31，第二電阻R2的第三接點42a電連接壓電泵3的第二電極32，第三電阻R3的第六接點43b電連接電容C的第八接點44b並接地，第三電阻R3的第五接點43a電連接電容C的第七接點44a，使第三電阻R3與電容C並聯後電連接至第一電阻R1的第二接點41b、第二電阻R2的第四接點42b及微處理器1，令壓電泵3的第一電極31與第二電極32之間的工作電壓進行分壓，以產生回授電壓回授至微處理器1的轉換單元12。其中，第一電阻R1跟第二電阻R2的電阻值相同，但不以此為限。此外，電容C其功能為濾波，避免雜訊干擾回授電壓。

承上所述，變壓件21更包含一電壓輸出端211、一變壓回授端212及一變壓回授電路213。電壓輸出端211經電流檢測器23電連接至逆變件22。變壓回授電路213電連接微處理器1及變壓回授端212之間，其中，變壓回授電路213包含有一第四電阻R4及一第五電阻R5，第四電阻R4具有一第一端點213a及一第二端點213b，第五電阻R5具有一第三端點213c及一第四端點213d。第四電阻R4的第一端點213a電連接電壓輸出端211。第五電阻R5的第三端點213c電連接第四電阻R4的第二端點213b及變壓回授端212，而第五電阻R5的第四端點213d則接地。其中，第五電阻R5為一可變電阻，於本實施例中，第五電阻R5為一數位可變電阻，具有一通訊介面213e，通訊介面213e電連接至微處理器1的通訊單元13，讓通訊單元13得以傳輸調變訊號至數位可變電阻(第五電阻R5)來調整其電阻值。變壓件21的電壓輸出端211所輸出的工作電壓經過變壓回授電路213的第四電阻R4及第五電阻R5分壓後，將分壓後的工作電壓由變壓回授端212回傳至變壓件21，供變壓件21參考其輸出之工作電壓是否符合理想工作電壓，若其工作電壓與理想工作電壓有差異，則再次調變輸出之工作電壓使其不斷地調整以趨近理想工作電壓，最後將工作電壓調整到與理想工作電壓一致。其中，工作電壓為變壓件21由電壓輸出端211所輸出的實際電壓，理想工作電壓則是微處理器1傳遞的調變訊號。

請繼續參閱第2圖，逆變件22包含有：一緩衝閘221、一反相器222、一第一P型金氧半場效電晶體223、一第二P型金氧半場效電晶體224、一第一N型金氧半場效電晶體225及一第二N型金氧半場效電晶體226。緩衝閘221具有一緩衝輸入端221a及一緩衝輸出端221b。反相器222具有一反相輸入端222a及一反相輸出端222b。第一P型金氧半場效電晶體223、第二P型金氧半場效電晶體224、第一N型金氧半場效電晶體225及第二N型金氧半場效電晶體226皆分別具有一閘極G、一汲極D及一源極S。其中，緩衝閘221的緩衝輸入端221a及反相器222的反相輸入端222a電連接微處理器1的控制單元11，用以接收控制訊號，且該控制訊號可為但不限為一脈波寬度調變訊號(PWM)。緩衝閘221的緩衝輸出端221b電連接第一P型金氧半場效電晶體223的閘極G及第一N型金氧半場效電晶體225的閘極G。反相器222的反相輸出端222b電連接第二P型金氧半場效電晶體224的閘極G及第二N型金氧半場效電晶體226的閘極G。第一P型金氧半場效電晶體223的源極S與第二P型金氧半場效電晶體224的源極S經電流檢測器23電連接變壓件21的電壓輸出端211，來接收變壓件21輸出的工作電壓。第一P型金氧半場效電晶體223的汲極D電連接第一N型金氧半場效電晶體225的汲極D及壓電泵3的第二電極32。第二P型金氧半場效電晶體224的汲極D電連接第二N型金氧半場效電晶體226的汲極D及壓電泵3的第一電極31。第一N型金氧半場效電晶體225的源極S電連接第二N型金氧半場效電晶體226的源極S並接地。

承上所述，上述之第一P型金氧半場效電晶體223、第二P型金氧半場效電晶體224、第一N型金氧半場效電晶體225及第二N型金氧半場效電晶體226形成一H橋的架構，用以將變壓件21輸出的工作電壓(直流)轉為交流給壓電泵3，故第一P型金氧半場效電晶體223與第二P型金氧半場效電晶體224需接受相反訊號，第一N型金氧半場效電晶體225與第二N型金氧半場效電晶體226亦同，故將微處理器1所傳輸的控制訊號傳遞至第二P型金氧半場效電晶體224前先通過反相器222，使第二P型金氧半場效電晶體224的控制訊號與第一P型金氧半場效電晶體223為反相，但第一P型金氧半場效電晶體223必須要與第二P型金氧半場效電晶體224一起接到控制訊號，所以於第一P型金氧半場效電晶體223前設緩衝閘221，讓第一P型金氧半場效電晶體223與第二P型金氧半場效電晶體224能夠同步接到相反的訊號，第一N型金氧半場效電晶體225與第二N型金氧半場效電晶體226亦同；於第一控制步驟中，第一P型金氧半場效電晶體223、第二N型金氧半場效電晶體226為導通，第二P型金氧半場效電晶體224、第一N型金氧半場效電晶體225為關閉的狀態下，工作電壓將通過第一P型金氧半場效電晶體223傳遞至壓電泵3的第二電極32，壓電泵3的第一電極31因第二N型金氧半場效電晶體226導通而接地。於第二控制步驟中，第一P型金氧半場效電晶體223、第二N型金氧半場效電晶體226為關閉，第二P型金氧半場效電晶體224、第一N型金氧半場效電晶體225為導通的情況下，工作電壓將通過第二P型金氧半場效電晶體224傳遞至壓電泵3的第一電極31，壓電泵3的第二電極32因第一N型金氧半場效電晶體225導通而接地。透過重複以上的第一控制步驟與第二控制步驟，讓壓電泵3的壓電件33能夠因第一電極31與第二電極32所接受的工作電壓或接地以透過壓電效應而產生形變，帶動壓電泵3內部的腔室(未圖示)壓力產生變化，來持續的傳輸流體。

而回授電路4則是不斷地接收壓電泵3的第一電極31與第二電極32的工作電壓或接地。於上述第一控制步驟時，第二電極32為工作電壓，第一電極31為接地，此時回授電路4的等效電路如第3A圖所示，第一電阻R1將會與第三電阻R3並聯，此時的回授電壓為(R1//R3)÷[(R1//R3)+R2]×工作電壓。此外，於第二控制步驟時第一電極31為工作電壓，第二電極32為接地，此時回授電路4的等效電路如第3B圖所示，第二電阻R2將與第三電阻R3並聯，此時的回授電壓為(R2//R3)÷[(R2//R3)+R1]×工作電壓。回授電路4將回授電壓傳遞至微處理器1，微處理器1接收回授電壓來判斷當下壓電泵3的作動電壓，並與工作電壓比對，若作動電壓與工作電壓不同時，透過轉換單元12將回授電壓轉為數位訊號，來將轉為數位訊號的調變訊號由通訊單元13傳遞至通訊介面213e來調整第五電阻R5(數位可變電阻)。最後變壓件21的電壓輸出端211所輸出的工作電壓經過變壓回授電路213的第四電阻R4及第五電阻R5分壓後，將分壓後的工作電壓由變壓回授端212回傳至變壓件21，供變壓件21參考其輸出之工作電壓是否符合理想工作電壓，若其工作電壓與理想工作電壓有差異，則再次調變輸出之工作電壓使其不斷地調整以趨近理想工作電壓，最後將工作電壓調整到與理想工作電壓一致，透過以上步驟讓壓電泵3所接受的工作電壓能夠一直維持在理想工作電壓，來讓壓電泵3能夠持續地在較佳效能下運作。

請繼續參閱第1圖及第2圖，首先，微處理器1輸出具有一第一頻率區間(如5KHz至20KHz)的控制訊號，逆變件22使壓電泵3於第一頻率區間的各頻率下依序作動。壓電泵3於第一頻率區間內所有頻率下所作動時的電流值由電流檢測器23傳遞給微處理器1，微處理器1選取其中最大的電流值其所對應之壓電泵3的作動頻率作為一第一中心頻率(如20KHz)，再以第一中心頻率為中心基準，與其前後各取一頻率區段(如6KHz)，並將第一中心頻率前後各取一頻率區段的頻率範圍作為一第二頻率區間(如14KHz至26KHz)。微處理器1輸出具有第二頻率區間的控制訊號。逆變件22控制壓電泵3於第二頻率區間的各頻率下依序作動，再由電流檢測器23傳遞第二頻率區間內各頻率下作動之壓電泵3。壓電泵3於第二頻率區間內所有頻率下所作動時的電流值由電流檢測器23傳遞給微處理器1，微處理器1選取其中最大的電流值其所對應之壓電泵3的作動頻率作為一第二中心頻率(如24KHz)，再以第二中心頻率為中心基準，與其前後各取一次頻率區段(如4KHz)，並將第二中心頻率前後各取一次頻率區段的頻率範圍作為一第三頻率區間(如20KHz至28KHz)。微處理器1輸出具有第三頻率區間的控制訊號，逆變件22控制壓電泵3於第三頻率區間的各頻率下依序作動，壓電泵3於第三頻率區間內所有頻率下所作動時的電流值由電流檢測器23傳遞給微處理器1，微處理器1選取其中最大的電流值其所對應之壓電泵3的作動頻率作為一第三中心頻率(如27KHz)，最後以第三中心頻率作為壓電泵3的作動頻率，驅動壓電泵3作動；此外，壓電泵3於持續作動時會因壓電件33的急速形變產生熱能，導致作動頻率失真，將會造成效率較低的問題，因此，壓電泵3作動後，每間隔一作動時間，微處理器1將再以前述之第三頻率區間(20KHz至28KHz)輸出控制訊號，逆變件22控制壓電泵3於第三頻率區間的各頻率下依序作動，壓電泵3於第三頻率區間內所有頻率下所作動時的電流值由電流檢測器23傳遞給微處理器1，微處理器1選取其中最大的電流值其所對應之頻率作為壓電泵3的作動頻率；前述之頻率區間及中心頻率等數據僅為方便理解所作的舉例說明，並不以此為限。

承上所述，第一頻率區間的範圍大於第二頻率區間的範圍，第二頻率區間的範圍大於第三頻率區間的範圍。

此外，本案可經由電流檢測器23獲得壓電泵3於作動時的電流，以及由回授電路4取得壓電泵3的作動電壓，並且可由微處理器1調整壓電泵3的工作電壓，得以當壓電泵3的消耗功率過大時，透過降低工作電壓的方式來調整壓電泵3的消耗功率，亦可設置一預設功率值，當壓電泵3的消耗功率大於(或等於)預設功率值時，降低輸出至壓電泵3的工作電壓，來避免壓電泵3功率消耗的問題。

綜上所述，本案提供一種微型壓電泵模組，透過電流檢測器以及回授電路來確認壓電泵的運作情況，電流檢測器可以得知壓電泵於掃頻時，不同頻率運作時的電流值，來取得壓電泵的作動頻率，並且分別取得第一頻率區間、第二頻率區間及第三頻率區間，並於壓電泵因長時間作動而使作動頻率失真時，利用直接使用第三頻率區間來獲取最佳的作動頻率，大幅減少確認作動頻率的時間，來避免於搜尋作動頻率時，壓電泵效能降低的問題，以確保持續保持最佳的傳輸效能，而本發明能夠解決先前技術中，壓電泵的工作電壓不穩、浮動、或是不足造成效能不彰、不一致的問題，此外，在控制工作電壓時，能夠同時調整壓電泵的功率，減少功率的損耗，極具產業之利用價值，爰依法提出申請。

本案得由熟習此技術之人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

100:微型壓電泵模組 1:微處理器 11:控制單元 12:轉換單元 13:通訊單元 2:驅動組件 21:變壓件 211:電壓輸出端 212:變壓回授端 213:變壓回授電路 213a:第一端點 213b:第二端點 213c:第三端點 213d:第四端點 213e:通訊介面 22:逆變件 221:緩衝閘 221a:緩衝輸入端 221b:緩衝輸出端 222:反相器 222a:反相輸入端 222b:反相輸出端 223:第一P型金氧半場效電晶體 224:第二P型金氧半場效電晶體 225:第一N型金氧半場效電晶體 226:第二N型金氧半場效電晶體 23:電流檢測器 3:壓電泵 31:第一電極 32:第二電極 33:壓電件 4:回授電路 41a:第一接點 41b:第二接點 42a:第三接點 42b:第四接點 43a:第五接點 43b:第六接點 44a:第七接點 44b:第八接點 C:電容 D:汲極 G:閘極 R1:第一電阻 R2:第二電阻 R3:第三電阻 R4:第四電阻 R5:第五電阻 S:源極

第1圖為本案微型壓電泵模組的方塊圖。第2圖為本案微型壓電泵模組的電路示意圖。第3A圖為第一控制步驟下其回授電路的等效電路圖。第3B圖為第二控制步驟下其回授電路的等效電路圖。

100:微型壓電泵模組

1:微處理器

2:驅動組件

21:變壓件

22:逆變件

23:電流檢測器

3:壓電泵

4:回授電路

Claims

一種微型壓電泵模組，包含：一壓電泵，該壓電泵具有一第一電極、一第二電極及一壓電件；一微處理器，輸出一控制訊號及一調變訊號；一驅動組件，電連接於該微處理器及該壓電泵之間，該驅動組件包含：一變壓件，接收該調變訊號以輸出一工作電壓至該壓電泵；以及一逆變件，接收該控制訊號，藉由該控制訊號調整該壓電泵的該第一電極與該第二電極接收該工作電壓或接地，當該第一電極接收該工作電壓時，該第二電極係接地；當該第一電極接地時，該第二電極係接收該工作電壓；透過該第一電極與該第二電極的電壓差，使該壓電泵的該壓電件因壓電效應產生形變，用以輸送流體；以及一電流檢測器，電連接於該變壓件與該逆變件之間，檢測該壓電泵作動時的電流值；以及一回授電路，電連接於該壓電泵與該微處理器之間，藉由該壓電泵該工作電壓產生一回授電壓；其中，該微處理器輸出具有一第一頻率區間的該控制訊號，該逆變件依據該控制訊號使該壓電泵於該第一頻率區間內作動，由該電流檢測器傳遞其電流值至該微處理器，該微處理器選取該壓電泵於該第一頻率區間內的最大電流值所對應的頻率作為一第一中心頻率，該微處理器以該第一中心頻率為基準，前後各取一頻率區段作為一第二頻率區間調整該控制訊號，該逆變件依據該控制訊號使該壓電泵於該第二頻率區間內作動，並由該電流檢測器傳遞其電流值至該微處理器，該微處理器選取該壓電泵於該第二頻率區間內的最大電流值所對應的頻率作為一第二中心頻率，該微處理器以該第二中心頻率為基準，前後各取一次頻率區段作為一第三頻率區間調整該控制訊號，該逆變件依據該控制訊號使該壓電泵於該第三頻率區間內作動，並由該電流檢測器傳遞其電流值至該微處理器，該微處理器選取該壓電泵於該第三頻率區間內的最大電流值所對應的頻率作為一作動頻率，該微處理器將具有該作動頻率之該控制訊號傳遞至該逆變件，該逆變件驅使該壓電泵於該作動頻率下運作，且該壓電泵作動後，每間隔一作動時間，該逆變件輸出具有該第三頻率區間的該控制訊號至該逆變件，驅使該壓電泵於該第三頻率區間作動，並取該第三頻率區間內的最大電流值所對應之頻率作為該作動頻率，令該壓電泵於該作動頻率下運作；此外，該微處理器可依據該回授電壓調整該變壓件輸出之該壓電泵之該工作電壓，亦可調控該工作電壓來改善該壓電泵的消耗功率。
如申請專利範圍第1項所述之微型壓電泵模組，其中該第一頻率區間大於該第二頻率區間，該第二頻率區間大於該第三頻率區間。
如申請專利範圍第1項所述之微型壓電泵模組，其中該回授電路包含一第一電阻、一第二電阻、一第三電阻及一電容，該第一電阻具有一第一接點及一第二接點，該第二電阻具有一第三接點及一第四接點，該第三電阻具有一第五接點及一第六接點，該電容具有一第七接點及一第八接點，該第一電阻的該第一接點電連接該壓電泵的該第一電極，該第二電阻的該第三接點電連接該壓電泵的該第二電極，該第三電阻的該第六接點電連接該電容的該第八接點並接地，該第三電阻的該第五接點電連接該電容的該第七接點，使該第三電阻與該電容並聯後，電連接至該第一電阻的該第二接點、該第二電阻的該第四接點及該微處理器，令該壓電泵的該第一電極與該第二電極之間的該工作電壓分壓後產生該回授電壓回授至該微處理器。
如申請專利範圍第3項所述之微型壓電泵模組，其中該第一電阻與該第二電阻之電阻值相同。
如申請專利範圍第4項所述之微型壓電泵模組，其中該變壓件更包含一電壓輸出端、一變壓回授端及一變壓回授電路，該電壓輸出端經電流檢測器電連接至該逆變件，該變壓回授電路電連接該微處理器及該變壓回授端之間。
如申請專利範圍第5項所述之微型壓電泵模組，其中該變壓回授電路包含有一第四電阻及一第五電阻，該第四電阻具有一第一端點及一第二端點，該第五電阻具有一第三端點及一第四端點，該第四電阻的該第一端點電連接該電壓輸出端，該第五電阻的該第三端點電連接該第四電阻的該第二端點及該變壓回授端，該第四端點接地。
如申請專利範圍第6項所述之微型壓電泵模組，其中該第五電阻係一可變電阻。
如申請專利範圍第7項所述之微型壓電泵模組，其中該第五電阻係一數位可變電阻。
如申請專利範圍第8項所述之微型壓電泵模組，其中該微處理器更包含一轉換單元及一通訊單元，該通訊單元連接該數位可變電阻，該轉換單元接收該回授電壓，並將該回授電壓轉換為數位訊號的該調變訊號，再通過該通訊單元傳輸至該數位可變電阻，藉由改變該數位可變電阻來調變該變壓件輸出之該工作電壓，使該工作電壓趨近一理想工作電壓。
如申請專利範圍第9項所述之微型壓電泵模組，其中該逆變件包含有：一緩衝閘，具有一緩衝輸入端及一緩衝輸出端；一反相器，具有一反相輸入端及一反相輸出端；一第一P型金氧半場效電晶體、一第二P型金氧半場效電晶體、一第一N型金氧半場效電晶體及一第二N型金氧半場效電晶體，該第一P型金氧半場效電晶體、該第二P型金氧半場效電晶體、該第一N型金氧半場效電晶體及該第二N型金氧半場效電晶體皆分別具有一閘極、一汲極及一源極；其中，該緩衝閘的該緩衝輸入端及該反相器的該反相輸入端電連接該微處理器，用以接收該控制訊號，該緩衝閘的該緩衝輸出端電連接該第一P型金氧半場效電晶體的閘極及該第一N型金氧半場效電晶體的閘極，該反相器的該反相輸出端電連接該第二P型金氧半場效電晶體的閘極及該第二N型金氧半場效電晶體的閘極，該第一P型金氧半場效電晶體的源極與該第二P型金氧半場效電晶體的源極經電流檢測器電連接該變壓件的電壓輸出端，來接收該工作電壓，該第一P型金氧半場效電晶體的汲極電連接該第一N型金氧半場效電晶體的汲極及該壓電泵的該第二電極，該第二P型金氧半場效電晶體的汲極電連接該第二N型金氧半場效電晶體的汲極及該壓電泵的該第一電極，該第一N型金氧半場效電晶體的源極電連接該第二N型金氧半場效電晶體的源極並接地。
如申請專利範圍第10項所述之微型壓電泵模組，其中該控制訊號為一脈波寬度調變訊號。