TWI700960B - 光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品 - Google Patents

光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品。光源調控方法包括提供具有複數個光源的光源模組;提供具有複數個感測單元的感測模組,每一感測單元對應於每一光源的照明區域,以接收對應的光源所發出的光線;感測模組輸出感測訊號至控制模組,感測訊號包括每一感測單元所接收的光線的光線資訊;控制模組根據感測訊號輸出控制訊號至驅動電路,驅動電路電性連接於光源模組的每一光源,以使複數個光源中的每一個可獨立地被驅動電路驅動;以及驅動電路根據控制訊號調整光源模組中的至少一光源所接收的驅動訊號。

Description

光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品
本發明係關於一種光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品,尤其是關於一種可即時調整發光均勻度的光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品。
現有技術中的曝光機通常採用高壓汞燈作為光源。汞燈為高強度的單一光源,可滿足高強度、高均勻度的曝光需求,提高曝光成品之良率並降低曝光系統的設計難度;然而,高壓汞燈具有壽命短、不環保、效能轉換效率差以及散熱系統占空間等缺點。
此外,汞燈為單一光源,不具有調整均勻度的功能,僅能利用聚光用之燈杯、修光模組等針對出光角作調整。然而,均勻度是提升曝光良率中很重要的一環,原因在於均勻度不佳,即需提高曝光時間。壽命不長的汞燈使用超過一定期限後,由於效能下降,亦會導致低均勻度的光源,而有曝光不足的問題。
本發明之實施例所採用的技術方案是提供一種光源調控方法,包含:提供光源模組,該光源模組包括複數個光源;提供感測模組,該感測模組包括複數個感測單元,每一該感測單元對應於每一該複數個光源的照明區域,以接收對應的該光源所發出的光線;該感測模組輸出感測訊號至控制模組,該感測訊號包括每一該感測單元所接收的對應的光源所發出的光線的光線資訊;控制模組根據感測訊號輸出控制訊號至驅動電路,其中,驅動電路電性連接於光源模組的每一該複數個光源,以使複數個光源中的每一個可獨立地被驅動電路所發出的驅動訊號驅動;以及驅動電路根據控制訊號調整光源模組中的至少一該光源所接收的該驅動訊號。
本發明另一實施例提供的技術方案是提供一種適於執行上述光源調整方法的光源系統。
本發明另一實施例提供的技術方案是提供一種電腦程式產品,載有電腦可讀取之程式,經電腦讀取並執行後可完成上述之光源調整方法。
為更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容,請參閱以下有關本發明的詳細說明與圖式,然而所提供的圖式僅用於提供參考與說明,並非用來對本發明加以限制。
以下通過特定的具體實施例並配合圖1至圖11以說明本發明所公開的光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品的實施方式,本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的優點與效果。然而,以下所公開的內容並非用以限制本發明的保護範圍,在不悖離本發明構思精神的原則下,本領域技術人員可基於不同觀點與應用以其他不同實施例實現本發明。另外,需事先聲明的是,本發明的附圖僅為示意說明,並非依實際尺寸的描繪。此外,雖本文中可能使用第一、第二、第三等用語來描述各種元件,但該些元件不應受該些用語的限制。這些用語主要是用以區分元件。
請參閱圖1,其顯示本發明一實施例的光源系統的功能方塊圖。如圖所示,本實施例的光源系統Z包括光源模組1、感測模組2、控制模組3以及驅動電路4。光源模組1包括複數個光源,且可例如排列為陣列。本實施例以九個光源(11、12…19)為例,然而,本發明不限於此。感測模組2包括數量與光源(11、12…19)對應的九個感測單元(21、22…29),且每一感測單元(21、22…29)分別對應每一光源(11、12…19)。實際應用中,感測單元(21、22…29)以對應每一光源(11、12…19)的照射區域的方式設置,以使每一感測單元(21、22…29)可接收每一光源(11、12…19)分別發出的光線(L1、L2…L9)。
本實施例中,光源系統Z為用於積體電路曝光之光源系統,其中光源模組1的光源(11、12…19)為發光二極體,然而,本發明不以此為限。請繼續參閱圖1,感測模組2電性連接於控制模組3。本實施例中,控制模組3可為桌上型電腦、筆記型電腦等運算裝置,然而,本發明不以此為限。控制模組3用以自該感測模組2接收感測訊號S1,並輸出控制訊號S2給驅動電路4。驅動電路4用以驅動該光源模組1,其中驅動電路4電性連接於光源模組1的每一光源(11、12…19),以使光源(11、12…19)中的每一個可獨立地被驅動電路4所發出的驅動訊號驅動。
請一併參閱圖1及圖2。圖2顯示使用圖1之光源系統Z之光源調控方法,其包括至少下列步驟。步驟S100:提供包括複數個光源(11、12…19)的光源模組1;步驟S102:提供包括複數個感測單元(21、22…29)的感測模組2,每一感測單元(21、22…29)接收對應的光源(11、12…19)所發出的光線(L1、L2…L9);步驟S104:感測模組2輸出感測訊號S1至控制模組3,感測訊號S1包括每一感測單元(21、22…29)所接收的對應的光源(11、12…19)所發出的光線(L1、L2…L9)的光線資訊;步驟S106:控制模組3根據感測訊號S1輸出控制訊號S2至驅動電路4;以及步驟S108:驅動電路4根據控制訊號S2調整光源模組1中的至少一光源所接收的驅動訊號。
請配合參閱圖2與圖3。圖3顯示本實施例的光源模組1,其光源(11、12…19)排列為一3×3的陣列,且感測訊號S1中的光線資訊可以是每一光線(L1、L2…L9)的照度資訊,然而,本發明不以此為限。在其他實施例中,光源(11、12…19)可具有不規則間距,或是非排列為矩陣但以具有規則間距的方式排列;光線資訊可例如是光源(11、12…19)的色溫。本實施例中,由於驅動電路4可獨立驅動每一光源(11、12…19),當控制模組3判斷感測訊號S1中的某一光源的照度資訊不符合預設值範圍,可藉由輸出控制訊號S2給驅動電路4,其中控制訊號S2包含照度不符預設值範圍的光源的位置以及其照度調整值,藉此使驅動電路4調整該光源,以使光源模組1的每一光源 (11、12…19)的照度在一容許範圍內。舉例而言,步驟S106中,控制模組3判斷光源11以及光源19的照度分別超出預設值4%以及2%,則可發出控制訊號S2給驅動電路4,使光源11以及光源19照度分別降低4%以及2%。在一實施例中,由於每一感測單元(21、22…29)對應每一光源(11、12…19),因此感測訊號S1中,每一光源(11、12…19)的照度資訊可例如關聯於一光源位置資訊,光源位置資訊用以標示發出照度資訊的光源。如此,可使控制模組3判斷異常的照度資訊時,同時擷取發出該異常照度資訊的光源的位置,以此傳輸調控上述具有異常照度資訊的光源的控制訊號給驅動電路4。
在一實施例中,調整光源(11、12…19)照度的方法可為調整通過欲調整光源的驅動電流,以上述例子而言,可通過降低光源11與光源19的驅動電流,以使其照度分別下降4%及2%。由於發光二極體照度與驅動電流不成線性關係,因此控制模組3可預先配置有光源模組1所使用光源(11、12…19)的電流與光度關係資料。或在另一實施例中,可通過改變光源11及光源19分別所接收的驅動訊號的占空比(duty cycle),以調整光源11及光源19的照度。
進一步來說,請配合參閱圖1及圖4,圖4顯示圖1中步驟S106的一變化實施例的流程圖。詳細來說,本變化實施例中,控制模組3根據感測訊號S1輸出控制訊號S2至驅動電路4的步驟中可包括步驟S200:控制模組3根據感測訊號S1中的每一光源的照度資訊計算光源模組1的照度均勻度;步驟S202:控制模組3比較照度均勻度與預設均勻度;步驟S204:當照度均勻度高於預設均勻度,控制模組3判斷感測訊號S1中的至少一待調整的照度資訊並計算每一待調整的照度資訊的一調整值;以及步驟S206:控制模組3根據至少一待調整的照度資訊所對應的至少一光源以及每一待調整的照度資訊的調整值產生控制訊號S2。
圖4的變化實施例中,控制模組3根據照度均勻度決定欲調整照度的光源。進一步來說,在本實施例中,控制模組3計算光線(L1、L2…L9)照度均勻度的計算方式為最大照度資料與最小照度資料的差值與最大照度資料與最小照度資料之和的比值,且預設均勻度為3%。舉例而言,在步驟S204中,控制模組3判斷照度均勻度高於3%,且感測訊號S1中光源14的照度資訊異常高於其餘光源的照度資訊,則控制模組3計算光源14的調整值,該調整值可依據感測訊號S1中所有照度資訊的平均照度而定,但不以此為限 接著,步驟S206中,控制模組3將光源14的位置資訊與其調整值作為控制訊號S2而傳輸給驅動電路4。
上述僅為舉例說明,本發明不以此為限。例如,在一實施例中,步驟S204中控制模組3判斷光源14及光源15的照度資訊均為待調整的照度資訊,而分別對光源14及光源15的調整值做計算後,將光源14及光源15的位置及其調整值作為控制訊號S2傳輸給驅動電路4。此外,上述照度均勻度的計算方式以及所設定的預設均勻度僅為本發明一種實施方式,本發明不以此為限。在其他實施例中,可依照不同的計算方式判斷照度均勻度以及設定不同的照度均勻度標準。
更進一步來說,請參閱圖5,本發明提供步驟S204的一實施方式,其中步驟S204中控制模組判斷待調整照度資訊並計算每一待調整的該照度資訊的調整值的方法可包括:步驟S300:控制模組根據感測訊號中的每一照度資訊計算照度平均值;步驟S302:控制模組比較感測訊號中的每一照度資訊與照度平均值,以決定目標調整照度資訊以及對應目標調整照度資訊的目標調整光源;步驟S304:控制模組將鄰近且圍繞目標調整光源的複數個光源定義為複數個第一輔助調整光源,其中,目標調整光源與複數個第一輔助調整光源的其中之一具有提升亮度的調整值,目標調整光源與複數個第一輔助調整光源的另外之一具有降低亮度的調整值。最後,步驟S306中,控制模組根據目標調整光源、複數個第一輔助調整光源、目標調整光源的調整值以及複數個第一輔助調整光源的調整值產生控制訊號。
明確來說,步驟S300與步驟S302中,藉由比較每一光源(11、12...19)的照度資訊與照度平均值,控制模組3可判斷與照度平均值之間差值最大的照度資訊為目標調整資訊,並判斷對應所述目標調整資訊的光源為目標調整光源。換句話說,本實施例藉由調整與照度平均值差異最大的照度資訊來調整照度均勻度。
請配合參閱圖6A的實施例,步驟S302中,控制模組藉由比較每一光源(11、12...19)的照度資訊與照度平均值,判斷光源15為目標調整光源控制。接著,步驟S304中,控制模組定義鄰近且圍繞目標調整光源15的複數個光源(12、14、16、18)為複數個第一輔助調整光源。第一輔助調整光源(12、14、16、18)用以提升達到目標照度均勻度的速度。明確來說,目標調整光源與複數個第一輔助調整光源的其中之一具有提升亮度的調整值,目標調整光源與複數個第一輔助調整光源的另外之一具有降低亮度的調整值。亦即,目標調整光源與第一輔助調整光源有相反的亮度調整方向(其中一者調亮、另一者調暗),以彌補目標調整光源的亮度調整對區域均勻度的影響。舉例而言,當在步驟S302中,控制模組3比較光源15的照度資訊與照度平均值,判斷光源15應提升亮度可達到照度平均 值,則在步驟S304中將第一輔助調整光源(12、14、16、18)的調整值設定為降低亮度。如此,可提升以光源15為中心的局部照明區域的均勻度,提升光源模組1達到目標照度均勻度的速度。
進一步來說,在一較佳實施例中,目標調整光源的調整值與複數個第一輔助調整光源的調整值的比值等於複數個第一輔助調整光源的數量與目標調整光源的數量的比值。舉例而言,圖6A的實施例中,光源15與第一輔助調整光源(12、14、16、18)的數量比值為1/4,因此在一較佳實施例中可設定光源15提升亮度的程度為第一輔助調整光源(12、14、16、18)降低亮度的四倍。例如,光源15提升亮度4%,第一輔助調整光源(12、14、16、18)降低亮度1%。
圖6A中以目標調整光源在中央為例。在圖6B的實施例中,控制模組3在步驟S302中判斷光源14為目標調整光源,且應降低亮度。在步驟S304中,控制模組3判斷鄰近且圍繞光源14的光源(11、15、17)為第一輔助調整光源,應提高亮度。同樣地,在一較佳實施例中,由於光源14與第一輔助調整光源(11、15、17)數量比例為1/3,因此可設定光源14降低亮度3%,第一輔助調整光源(11、15、17)提升亮度1%。
更進一步來說,請參閱圖7,為了更加提升達到照度均勻度的效率,在一變化實施例中,步驟S204中控制模組判斷感測訊號中的至少一待調整的照度資訊並計算每一待調整的照度資訊的調整值中,可包括步驟S400:控制模組將鄰近且圍繞複數個第一輔助調整光源的至少一光源定義為至少一第二輔助調整光源,其中,複數個第一輔助調整光源與至少一第二輔助調整光源的其中之一具有提升亮度的調整值,複數個第一輔助調整光源與至少一第二輔助調整光源的另外之一具有降低亮度的調整值。接著,步驟S402中,控制模組根據目標調整光源、複數個第一輔助調整光源、複數個第二輔助調整光源、目標調整光源的調整值、複數個第一輔助調整光源的調整值以及複數個第二輔助調整光源的調整值產生控制訊號。
請配合參閱圖7與圖8A的實施例,步驟S400中,進一步定義了第二輔助調整光源(11、13、17、19),以彌補第一輔助調整光源(12、14、16、18)的亮度調整對局部區域均勻度的影響。同樣地,第二輔助調整光源(11、13、17、19)會與第一輔助調整光源(12、14、16、18)有相反的亮度調整方向,且在一較佳實施例中,亮度調整的比例與數量比例成反比。例如,在圖8A中光源(12、14、15、16、18)的調整值與圖6A實施例相同的情況下,則對於光源11來說,由於光源12、光源14亮度均降低1%,則可設定光源11提升亮度2%,以彌補光源12、光源14亮度均降低1%所造成的局部亮部不平均。
圖8B為圖6B實施例的變化實施例,其中以光源12及光源18作為第二輔助調整光源。就光源12而言,在一較佳實施例中,因應第一輔助調整光源11、15提升亮度1%,光源12的調整值可為降低亮度2%。
上述實施例中,以目標調整光源的上、下、左、右的光源作為第一輔助調整光源,且以左上、左下、右上、右下四個角落的光源作為第二輔助調整光源,以此類推。然而,本發明不以此為限。例如,在圖9所示的形成5×5陣列的光源模組1A中,可以鄰近且完全圍繞目標調整光源11A的光源(以斜線表示)為第一輔助調整光源12A,而鄰近且完全圍繞第一輔助調整光源12A的光源(以網點表示)為第二輔助調整光源13A。或者,在其他實施例中,光源模組1的複數個光源可不以陣列式排列,例如在圖10所示的變化實施例中,光源模組1B以同心圓排列,其中鄰近且圍繞目標調整光源11B的光源(以斜線表示)被控制模組3定義為第一輔助調整光源12B,鄰近且圍繞第一輔助調整光源12B的光源(以網點表示)被控制模組3定義為第二輔助調整光源13B。
圖11顯示本發明一實施例的光源系統Z的實施示意圖。圖11中以圖9所示排列成5×5陣列的光源形成的光源模組1作為示例,然而本發明不以此為限。此外,由於示意角度的關係,圖中僅顯示五顆光源(11、12…15)。如圖所示,感測模組2包括與光源模組1對應且形成感測單元陣列的感測單元(21、22…25)。明確而言,本實施例中,感測單元的數量與光源的數量相同,同且樣排列為5×5的陣列,以使感測單元(21、22…25)各自對應每一光源(11、12…15)的照明區域(LA1、LA2、LA3、LA4、LA5),以接收光線(L1、L2、L3、L4、L5)。圖11中的控制模組3以筆記型電腦示例,但不以此為限,控制模組3可經由例如一通用序列匯流排(例如:USB 2.0)與驅動電路4耦接。圖11的實施例中,光源系統Z為曝光光源,其中光源(11、12…15)為紫外光發光二極體,且各光源的照明區域形成為曝光基板6上的曝光區A。曝光基板6位於感測模組2與光源模組1之間,可包括紫外線帶通濾光片,以提升感測模組2的感測效率。如圖11所示,本實施例的光源系統Z還可包括一光學模組5。光學模組5可例如包括聚焦鏡頭組與投影鏡頭組,用以調整複數個光源(11、12…15)的每一光線(L1、L2、L3、L4、L5)的投射在曝光區A的出光角以及出光方向。
通過上述技術手段,本發明實施例可以壽命較長的發光二極體取代習知使用的汞燈,解決習知以汞燈作為曝光光源所產生的壽命短、不環保、效能轉換效率差以及散熱系統占空間等問題。由於每一感應單元對應每一光源,且控制單元耦接於感應模組與驅動電路之間,驅動電路並可獨立驅動每一光源,因此在曝光程序進行的同時,本發明實施例的光源系統能夠對光源的發光均勻度進行監測與即時的調整,以提高曝光效率。舉例而言,在一實施例中,當曝光程序進行時,光源模組1中的其中之一光源13損壞,則透過對照度均勻度的計算可即時得知損換光源13的位置,並使鄰近光源13的光源(例如圖11中的光源12與光源14)提高亮度以彌補光源13損壞所造成區域照度之降低。
進一步來說,本發明實施例的光源調控方法通過對每一光源的獨立調整,可克服現有發光二極體陣列光源中,各光源的發光效率不同而導致的發光均勻度不佳的問題。此外,通過本發明的技術手段,也可以解決現有曝光機中,光學模組的製造誤差對於光源的發光均勻度造成的負面影響。
本發明另一實施例提供一種用於光源調控之電腦程式產品,載有電腦可讀取之程式,其可儲存於儲存媒介,或者透過網路平台下載。儲存媒介可以是光碟片、記憶卡等。本實施例的電腦程式產品可被如上述控制單元3的計算裝置讀取而執行,以完成上述本發明實施例之光源調控方法。
綜上所述,本發明實施例所提供的光源調控方法、光源系統以及電腦程式產品藉由「每一感測單元對應於每一光源的照明區域,以接收對應的光源所發出的光線」以及「感測模組輸出感測訊號至控制模組,感測訊號包括每一感測單元所接收的對應的光源所發出光線的光線資訊」的技術方案,使「驅動電路根據控制訊號調整光源模組中的至少一光源所接收的驅動訊號。」
上所公開的內容僅為本發明的優選可行實施例,並非因此侷限本發明的申請專利範圍,所以凡是運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化,均落入本發明的申請專利範圍內。
Z:光源系統
1、1A、1B:光源模組
11、12…19、11A、12A、13A、11B、12B、13B:光源
2:感測模組
21、22…29:感測單元
3:控制模組
4:驅動電路
L1、L2…L9:光線
LA1、LA2…LA5:照明區域
6:曝光基板
A:曝光區
S1:感測訊號
S2:控制訊號
圖1顯示本發明一實施例的光源系統的功能方塊圖。
圖2顯示本發明一實施例的光源調控方法的流程圖。
圖3顯示本發明一實施例的光源模組的示意圖。
圖4顯示圖2的步驟S106的一實施例的流程圖。
圖5顯示本發明一變化實施例的光源調控方法的流程圖。
圖6A與圖6B顯示圖5的光源調控方法的實施示意圖。
圖7顯示本發明另一變化實施例的光源調控方法的流程圖。
圖8A與圖8B顯示圖7的光源調控方法的實施示意圖。
圖9顯示本發明一變化實施例光源調控方法的實施示意圖。
圖10顯示本發明一變化實施例光源調控方法的實施示意圖。
圖11顯示本發明一實施例的光源系統的實施示意圖。
本案代表圖為流程圖,故無符號簡單說明。

Claims (13)

  1. 一種光源調控方法,包含:提供一光源模組,該光源模組包括複數個光源;提供一感測模組,該感測模組包括複數個感測單元,每一該感測單元對應於每一該複數個光源的一照明區域,以接收對應的該光源所發出的一光線;該感測模組輸出一感測訊號至一控制模組,該感測訊號包括每一該感測單元所接收的對應的該光源所發出的該光線的一光線資訊;該控制模組根據該感測訊號輸出一控制訊號至一驅動電路,其中,該驅動電路電性連接於該光源模組的每一該複數個光源,以使該複數個光源中的每一個可獨立地被該驅動電路所發出的一驅動訊號驅動;該驅動電路根據該控制訊號調整該光源模組中的至少一該光源所接收的該驅動訊號;該控制模組根據該感測訊號中的每一該光源的該照度資訊計算該光源模組的一照度均勻度;該控制模組比較該照度均勻度與一預設均勻度;當該照度均勻度高於該預設均勻度,該控制模組判斷該感測訊號中的至少一待調整的該照度資訊並計算每一待調整的該照度資訊的一調整值;以及該控制模組根據至少一待調整的該照度資訊所對應的至少一該光源以及每一待調整的該照度資訊的該調整值產生該控制訊號。
  2. 如請求項1所述的光源調控方法,其中,該驅動訊號包括一脈衝寬度調變訊號,且該驅動電路根據該控制訊號調整該光源模組中的至少一該光源所接收的該驅動訊號的步驟中,還包括: 該驅動電路根據該控制訊號調整輸出至該至少一光源的該脈衝寬度調變訊號的占空比(duty cycle)。
  3. 如請求項1所述的光源調控方法,其中,該驅動訊號包括一驅動電流,且該驅動電路根據該控制訊號調整該光源模組中的至少一該光源所接收的該驅動訊號的步驟中,還包括:該驅動電路根據該控制訊號調整輸出至該至少一光源的該驅動電流的大小。
  4. 如請求項1所述的光源調整方法,其中,該控制模組判斷該感測訊號中的至少一待調整的該照度資訊並計算每一待調整的該照度資訊的一調整值的步驟中,進一步包括:該控制模組根據該感測訊號中的每一該照度資訊計算一照度平均值;該控制模組比較該感測訊號中的每一該照度資訊與該照度平均值,以決定一目標調整照度資訊以及對應該目標調整照度資訊的一目標調整光源;以及該控制模組將鄰近且圍繞該目標調整光源的複數個該光源定義為複數個第一輔助調整光源,其中,該目標調整光源與該複數個第一輔助調整光源的其中之一具有提升亮度的該調整值,該目標調整光源與該複數個第一輔助調整光源的另外之一具有降低亮度的該調整值,且該控制模組根據至少一待調整的該照度資訊所對應的至少一該光源以及每一待調整的該照度資訊的該調整值產生該控制訊號的步驟中,進一步包括:該控制模組根據該目標調整光源、該複數個第一輔助調整光源、該目標調整光源的該調整值以及該複數個第一輔助調整光源的該調整值產生該控制訊號。
  5. 如請求項4所述的光源調整方法,其中,該控制模組判斷該感測訊號中的至少一待調整的該照度資訊並計算每一待調整的該照度資訊的一調整值的步驟中,進一步包括:該控制模組將鄰近且圍繞該複數個第一輔助調整光源的至少一該光源定義為至少一第二輔助調整光源,其中,該複數個第一輔助調整光源與該至少一第二輔助調整光源的其中之一具有提升亮度的該調整值,該複數個第一輔助調整光源與該至少一第二輔助調整光源的另外之一具有降低亮度的該調整值,且該控制模組根據至少一待調整的該照度資訊所對應的至少一該光源以及每一待調整的該照度資訊的該調整值產生該控制訊號的步驟中,進一步包括:該控制模組根據該目標調整光源、該複數個第一輔助調整光源、該複數個第二輔助調整光源、該目標調整光源的該調整值、該複數個第一輔助調整光源的該調整值以及該複數個第二輔助調整光源的該調整值產生該控制訊號。
  6. 如請求項4所述的光源調整方法,其中,該目標調整光源的該調整值與該複數個第一輔助調整光源的該調整值的比值等於該複數個第一輔助調整光源的數量與該目標調整光源的數量的比值。
  7. 一種適於執行如請求項1至6中任一項所述之光源調整方法的光源系統。
  8. 如請求項7所述的光源系統,其中,各該複數個光源為發光二極體。
  9. 如請求項7所述的光源系統,其中,該複數個光源排列為一光源陣列,且該複數個感測單元排列為與該光源陣列對應的一感測單元陣列。
  10. 如請求項7所述的光源系統,其中,各該照明區域形成為一曝光基板上的一曝光區,該曝光基板位於該感測模組與該光源模組之間。
  11. 如請求項10所述的光源系統,其中,各該複數個光源為紫外光發光二極體,且該曝光基板包括一紫外線帶通濾光片。
  12. 如請求項7所述的光源系統,還包括一光學模組,該光學模組設置於該光源模組與該感測模組之間,用以通過調整該複數個光源所發出的每一該光線之出光角以及出光方向。
  13. 一種電腦程式產品,載有電腦可讀取之一程式,經電腦讀取並執行後可完成如請求項1至6中任一項所述之光源調整方法。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7116396B2 (en) * 2002-03-22 2006-10-03 Nikon Corporation Exposure device, exposure method and device manufacturing method
TWI395073B (zh) * 2007-12-31 2013-05-01 Lg Display Co Ltd 感光膜的曝光裝置及利用曝光裝置的曝光方法
TWI403855B (zh) * 2006-02-21 2013-08-01 尼康股份有限公司 Pattern forming apparatus and pattern forming method, moving body driving system and moving body driving method, exposure apparatus and exposure method, and component manufacturing method
TWI645261B (zh) * 2016-08-30 2018-12-21 日商佳能股份有限公司 Illumination optical system, lithography apparatus, and article manufacturing method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7116396B2 (en) * 2002-03-22 2006-10-03 Nikon Corporation Exposure device, exposure method and device manufacturing method
TWI403855B (zh) * 2006-02-21 2013-08-01 尼康股份有限公司 Pattern forming apparatus and pattern forming method, moving body driving system and moving body driving method, exposure apparatus and exposure method, and component manufacturing method
TWI395073B (zh) * 2007-12-31 2013-05-01 Lg Display Co Ltd 感光膜的曝光裝置及利用曝光裝置的曝光方法
TWI645261B (zh) * 2016-08-30 2018-12-21 日商佳能股份有限公司 Illumination optical system, lithography apparatus, and article manufacturing method

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