TWI682334B - Process recipe monitoring method and system thereof - Google Patents
Process recipe monitoring method and system thereof Download PDFInfo
- Publication number
- TWI682334B TWI682334B TW107104473A TW107104473A TWI682334B TW I682334 B TWI682334 B TW I682334B TW 107104473 A TW107104473 A TW 107104473A TW 107104473 A TW107104473 A TW 107104473A TW I682334 B TWI682334 B TW I682334B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- recipe
- file
- processing unit
- data processing
- item
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/10—Office automation; Time management
- G06Q10/103—Workflow collaboration or project management
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Systems or methods specially adapted for specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Business, Economics & Management (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Economics (AREA)
- Marketing (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Primary Health Care (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Data Exchanges In Wide-Area Networks (AREA)
Abstract
Description
本發明是有關於一種製程配方監控方法與製程配方監控系統,且特別是有關於一種可彈性調整配方項目之監控方法與監控系統。The present invention relates to a process recipe monitoring method and process recipe monitoring system, and in particular to a method and system for flexible adjustment of recipe items.
隨著製程技術的進步,製程產品之品質不僅取決於製程程式,機台狀況的好壞與否也是其中關鍵的一環。機台能以特定的管控條件(control rule)設定達成特定機台生產特定產品的目的,於基板處理裝置中,通常係以配方檔來設定機台之製造流程與製造條件。然而,習用PLC控制的機台(使用者設備)之配方檔係設定固定的管控條件給予單一產品生產使用,故缺乏彈性,無法針對製程產品特性加入或修改新的控制規則及參數調整。此外,機台配方的控管通常在人機介面(使用者設備)所提供的功能限制下,管制範圍並不彈性,一旦輸入錯誤的製程控制條件,並無回復機制讓機台復原到先前某一個特定版本之配方檔。再者,每個版本之配方檔內包含複數個配方項目及其相應之配方數值,於目前的機制之下,並無回復機制讓配方檔在某一個版本中,針對某一個特定配方項目及其相對應之配方數值單獨進行復原,更甚者,若於不同版本之配方檔的配方項目若有增減而有不一致的狀況,也無法較為彈性地供操作者回復所需求之配方檔。With the advancement of process technology, the quality of process products not only depends on the process program, but the quality of the machine is also a key part of it. The machine can be set with specific control rules to achieve the purpose of producing a specific product by a specific machine. In a substrate processing apparatus, a recipe file is usually used to set the manufacturing process and manufacturing conditions of the machine. However, the recipe file of the conventional PLC-controlled machine (user equipment) sets fixed control conditions for the production of a single product, so it lacks flexibility and cannot add or modify new control rules and parameter adjustments based on the characteristics of the process product. In addition, the control of the machine recipe is usually limited by the functions provided by the human-machine interface (user equipment). The control range is not flexible. Once the wrong process control conditions are entered, there is no recovery mechanism to restore the machine to a previous one. A specific version of the recipe file. In addition, each version of the recipe file contains multiple recipe items and their corresponding recipe values. Under the current mechanism, there is no reply mechanism to let the recipe file be in a certain version for a specific recipe item and its Corresponding formula values can be restored separately. Moreover, if there are inconsistencies in the formula items in the formula files of different versions, the operator cannot respond more flexibly to the required formula file.
因此,如何改良並能提供一種『製程配方監控方法及製程配方監控系統』來避免上述所遭遇到的問題,係業界所亟待解決之課題。Therefore, how to improve and provide a "process recipe monitoring method and process recipe monitoring system" to avoid the above-mentioned problems is an urgent problem to be solved in the industry.
本發明的一目的在於,可供使用者回溯至所需求之特定配方檔,提升製程配方使用上的彈性。An object of the present invention is to allow the user to go back to the specific formula file required to improve the flexibility in the use of process recipes.
本發明的一實施例提出一種製程配方能被執行監控方法,包括以下步驟:接收一使用者設備的連線請求;以及接收使用者設備之一回溯命令,包括以下步驟:判斷是否能執行一回溯模式;進入一鎖定狀態,以限制僅供使用者設備控制一資料庫與一配方描述資料庫,其中資料庫中一目前配方檔包含一主版本版次資料與複數個次配方資料,各次配方資料包含一次配方項目、一次配方版本資料與一次配方數值,配方描述資料庫包含一配方規則描述檔,依據配方規則描述檔執行目前配方檔;依據一目標主版本資料之複數個目標次配方項目與複數個目標次配方數值,復原目前配方檔中相對應之次配方項目與次配方數值;記錄經回溯後之目前配方檔中主版本版次資料與各次配方版本資料;及存取經回溯後之目前配方檔至資料庫。An embodiment of the present invention provides a method for monitoring process recipes that can be executed, including the following steps: receiving a connection request from a user device; and receiving a traceback command from a user device, including the following steps: determining whether a traceback can be performed Mode; enter a locked state to limit the control of only one database and one recipe description database for user equipment, where a current recipe file in the database contains a major version version data and a plurality of secondary recipe data, each recipe The data includes a recipe item, a recipe version data, and a recipe value. The recipe description database contains a recipe rule description file. The current recipe file is executed according to the recipe rule description file; a plurality of target secondary recipe items and a target master version data Multiple target sub-recipe values to restore the corresponding sub-recipe items and sub-recipe values in the current recipe file; record the main version version data and each sub-recipe version data in the current recipe file after backtracking; and access after backtracking The current recipe file to the database.
本發明之一實施例提出一種製程配方監控系統,製程配方監控系統包括一資料處理單元以及一配方資料單元。資料處理單元係接收一使用者設備的連線請求。配方資料單元連接於資料處理單元,配方資料單元包含一資料庫、一配方描述資料庫與一回溯模組,資料庫包含一目前配方檔,目前配方檔包含一主版本版次資料與複數個次配方資料,各次配方資料包含一次配方項目、一次配方版本資料與一次配方數值,配方描述資料庫包含一配方規則描述檔,依據配方規則描述檔執行目前配方檔。資料處理單元接收一回溯命令時,資料處理單元判斷是否能執行一回溯模式,若是,資料處理單元對配方資料單元進入一鎖定狀態,以限制使用者設備控制資料庫與配方描述資料庫。依據一目標主版本資料之複數個目標次配方項目與複數個目標次配方數值,回溯模組復原目前配方檔中相對應之次配方項目與次配方數值,且資料處理單元記錄經回溯後之目前配方檔中主版本版次資料與各次配方版本資料,並存取經回溯後之目前配方檔至資料庫。An embodiment of the present invention provides a process recipe monitoring system. The process recipe monitoring system includes a data processing unit and a recipe data unit. The data processing unit receives a connection request of a user equipment. The recipe data unit is connected to the data processing unit. The recipe data unit includes a database, a recipe description database, and a traceback module. The database includes a current recipe file, and the current recipe file includes a major version and multiple data. For recipe data, each recipe data contains one recipe item, one recipe version data and one recipe value. The recipe description database contains a recipe rule description file, and the current recipe file is executed according to the recipe rule description file. When the data processing unit receives a backtracking command, the data processing unit determines whether a backtracking mode can be executed. If so, the data processing unit enters a locked state for the recipe data unit to restrict the user equipment control database and the recipe description database. Based on the multiple target sub-recipe items and the multiple target sub-recipe values of a target major version data, the traceback module restores the corresponding sub-recipe items and sub-recipe values in the current recipe file, and the data processing unit records the current status after the traceback The main version version data and each formula version data in the recipe file, and access the current recipe file after the traceback to the database.
基於上述,在本發明的製程配方監控方法與製程配方監控系統中,可將目前配方檔回溯到先前某一個特定版本之配方檔,以復原目前配方檔中特定或全部之次配方項目與相對應之次配方數值,藉此提升製程配方使用上的彈性。Based on the above, in the process recipe monitoring method and process recipe monitoring system of the present invention, the current recipe file can be traced back to a previous specific version of the recipe file to restore the specific or all of the secondary recipe items in the current recipe file and corresponding The value of the next formula, thereby improving the flexibility of the process recipe.
再者,由於可針對特定或全部之次配方項目與相對應之次配方數值進行復原,故本發明可針對主版本模式或特定次配方模式進行回溯,換言之,本發明不僅可針對先前特定某一版本之主版本版次資料進行復原以外,更可針對某一個特定次配方項目及其相對應之次次配方數值進行復原,藉此可供使用者回溯至所需求之目前配方檔。Furthermore, since it can be restored for specific or all sub-recipe items and corresponding sub-recipe values, the present invention can be traced back to the main version mode or specific sub-recipe mode. In other words, the present invention can not only target a specific In addition to the restoration of the main version and version data of the version, it can also be restored for a specific sub-recipe item and its corresponding sub-recipe value, so that the user can trace back to the current recipe file required.
另外,針對上述經回溯後或經編輯後的目標配方檔,本發明會記錄新的主版本版次資料與各次配方版本資料,而非將主版本版次資料與各次配方版本資料全數復原至先前某一個特定版本之配方檔。In addition, for the above-mentioned target recipe file after being backtracked or edited, the present invention will record the new major version version data and each recipe version data, instead of recovering all the major version version data and each recipe version data To a specific version of the previous recipe file.
為讓本發明能更明顯易懂,下文特舉實施例,並配合所附圖式作詳細說明如下。In order to make the present invention more comprehensible, the embodiments are specifically described below and described in detail in conjunction with the accompanying drawings.
以下結合附圖和實施例,對本發明的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用於更加清楚地說明本發明的技術方案,而不能以此限制本發明的保護範圍。The specific implementation of the present invention will be further described below in conjunction with the drawings and embodiments. The following embodiments are only used to more clearly illustrate the technical solutions of the present invention, but cannot limit the protection scope of the present invention.
圖1為本發明之製程配方監控系統的示意圖。圖2A為本發明之目前配方檔的示意圖。圖2B為本發明之配方規則描述檔的示意圖。圖2C為本發明之目標配方檔的示意圖。圖2D為本發明之經回溯後之目前配方檔一實施例的示意圖。請先參閱圖1。在本實施例中,製程配方監控系統10包括一資料處理單元11、一配方資料單元12以及一製程單元13。FIG. 1 is a schematic diagram of a process recipe monitoring system of the present invention. 2A is a schematic diagram of the current recipe file of the present invention. FIG. 2B is a schematic diagram of a description file of a recipe rule of the present invention. 2C is a schematic diagram of the target recipe file of the present invention. FIG. 2D is a schematic diagram of an embodiment of the current recipe file after backtracking in the present invention. Please refer to Figure 1 first. In this embodiment, the process
資料處理單元11係可透過硬體(例如積體電路)、軟體(例如處理器執行之程式指令)或其組合來實現通訊連線與邏輯判斷之功能,例如電腦或其他計算機裝置。在本實施例中,資料處理單元11係能與使用者設備30彼此傳輸一命令C,資料處理單元11係接收使用者設備30之連線請求並等待接收使用者設備30之命令C,資料處理單元11係判斷使用者設備30是否具備權限能執行命令,並傳輸命令C通知使用者設備30。為了便於說明,圖1僅繪示命令C,命令C之名稱可依據資料處理單元11與使用者設備30(或另一使用者設備40)之不同需求而定,舉例而言,使用者設備30係供使用者輸入如回溯命令C1或編輯命令C2至資料處理單元11,而資料處理單元11能依據不同情況係傳輸如拒絕命令C3、鎖定命令C41、解除鎖定命令C42、拒絕回溯命令C5、拒絕編輯命令C6、更新命令C7以及通知命令C8等命令C至使用者設備30。在另一實施例中,資料處理單元11係能同時或不同時間接收使用者設備30及另一使用者設備40之連線請求或命令C,故資料處理單元11亦係能與另一使用者設備40彼此傳輸命令C。本實施例之使用者設備30與另一使用者設備40例如為人機介面(Human Machine Interface,HMI)、製造執行系統(Manufacturing Execution System,MES)、網路圖形用戶界面(Web Graphical User Interface,Web GUI)或其他通訊界面。The
配方資料單元12連接於資料處理單元11。配方資料單元12包含一資料庫121、一配方描述資料庫123、一歷史資料庫125以及一回溯模組127,各資料庫係因應使用者需求設計,可以混合/組合或以單一資料記憶單元呈現。資料庫121存儲包含一目前配方(Recipe)檔RF(見圖2A),目前配方檔RF包含一主版本版次(Version)資料VM與複數個次配方(Sub-Recipe)資料SR,各次配方資料SR包含一次配方項目(Sub-Recipe Item)SRI、一次配方版本(Sub-Recipe Version)資料SRV與一次配方數值SRN,每個次配方項目SRI係對應有次配方版本SRV與次配方數值SRN,次配方項目SRI例如為藥液、壓力、製程溫度、製程時間、升溫時間、降溫時間或基板厚度等,可端視實際機台與製程所需來調整次配方項目,次配方數值SRN係依據前述次配方項目SRI來設定數值,而每一次修改次配方數值SRN會變動次配方版本SRV之版本資訊。The
配方描述資料庫123存儲包含一配方規則描述檔RRDF(見圖2B),配方規則描述檔RRDF係為一可擴展標記語言(Extensible markup language,XML)之設定檔,依據配方規則描述檔RRDF執行目前配方檔RF。在本實施例中,配方規則描述檔RRDF係設定目前配方檔RF中各次配方項目SRI相對應次配方數值SRN之上限值、下限值與預設值,此外,配方規則描述檔RRDF還能設定目前配方檔RF中各次配方項目SRI之編輯(Edit)權限條件、控制條件、通訊條件與複合條件,其中編輯權限條件係指使用者可否針對次配方項目SRI進行讀取(Read)、寫入(Write)、僅可讀取(Read Only)或是否可見(Visible or Invisible)之修改權限;控制條件例如係製程配方監控系統10運作時可允許編輯;通訊條件係允許特定條件而可連線;複合條件係針對多個次配方項目SRI之間的限制條件,舉例而言,某一個次配方項目SRI為製程溫度,另一個次配方項目SRI為降溫時間,所述複合條件係設定製程溫度大於120度時,同時降溫時間需設定大於30秒。The
歷史資料庫125係供存取歷史資料,其包含變動前之目前配方檔RF以及如圖2C所示之目標配方檔TRF,其中目標配方檔TRF包含目標主版本資料TVM與複數個目標次配方資料TSR,各目標次配方資料TSR包含一目標次配方項目TSRI、一目標次配方版本資料TSRV與一目標次配方數值TSRN,目標次配方項目TSRI例如為藥液、壓力、製程溫度、製程時間、升溫時間、降溫時間或基板厚度等,可端視實際機台與製程所需來調整目標次配方項目,目標次配方數值TSRN係依據前述目標次配方項目TSRI來設定數值,而目標次配方版本SRV係為修改次配方數值SRN之變動版本資訊。回溯模組127連接資料庫121、配方描述資料庫123與歷史資料庫125,回溯模組127係依據回溯命令C1對目前配方檔RF進行回溯,於回溯之前,資料處理單元11係存取回溯前之目前配方檔RF至歷史資料庫125,接著,依據目標配方檔TRF中的複數個目標次配方項目TSRI與複數個目標次配方數值TSRV,回溯模組127復原目前配方檔RF中特定幾個或全部之次配方項目SRI與相對應之次配方數值SRN,舉例而言,圖2C中的目標次配方項目TSRI對應至圖2A中的次配方項目SRI,並將圖2A中相對應次配方項目SRI之次配方數值SRN復原至圖2C中的目標次配方數值TSRN,即圖2D圖之經回溯後之目前配方檔RFB。此外,資料處理單元11記錄經回溯後之目前配方檔RFB中主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,並存取經回溯後之目前配方檔RFB(如圖2D所示)至資料庫121。需說明的是,在此資料處理單元11處理經回溯後之目前配方檔RFB中主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,並非是將經回溯後之目前配方檔RFB中的主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB記錄為目標配方檔TRF中的目標主版本資料TVM與各目標次配方資料TSR,而是更新回溯後之目前配方檔RFB中的主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,舉例而言,圖2A所示之回溯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VM為10,次配方版本資料SRV為6,圖2D所示之回溯後之目前配方檔RFB的主版本版次資料VMB為11,次配方版本資料SRVB為7,在此紀錄版本係以遞增為例,在另一實施例中,紀錄版本係可以其他編碼方式或依據需求設定為之。The
製程單元13連接資料處理單元11,資料處理單元11接收配方資料單元12傳輸之目前配方檔RF與配方規則描述檔RRDF,且資料處理單元11傳輸目前配方檔RF與配方規則描述檔RRDF至製程單元13,製程單元13依據目前配方檔RF與配方規則描述檔RRDF對基板進行製程,而目前配方檔RF係依據配方規則描述檔RRDF之規定執行。The
圖3為本發明的製程配方監控方法的流程圖。圖4為圖3中接收使用者設備的連線請求的流程圖。圖5為圖4中啟動資料處理單元的流程圖。圖6為圖3中接收使用者設備之回溯命令的流程圖。圖7為圖6中判斷使用者設備是否能執行回溯模式的流程圖。圖8為圖7中判斷使用者設備是否具有權限的流程圖。圖9為圖8中檢視配方規則描述檔是否能被執行的流程圖。圖10為圖3中接收使用者設備之編輯命令的流程圖。圖11為圖10中判斷使用者設備是否能執行編輯模式的流程圖。圖12為圖11中檢視配方規則描述檔是否能被執行的流程圖。圖13為圖10中提供目前配方檔以供使用者設備編輯的流程圖。FIG. 3 is a flow chart of the process recipe monitoring method of the present invention. FIG. 4 is a flowchart of receiving a connection request of a user device in FIG. 3. FIG. 5 is a flowchart of starting the data processing unit in FIG. 4. FIG. 6 is a flowchart of receiving the traceback command of the user equipment in FIG. 3. FIG. 7 is a flowchart of FIG. 6 to determine whether the user equipment can execute the backtracking mode. FIG. 8 is a flowchart of determining whether the user equipment has authority in FIG. 7. FIG. 9 is a flowchart of FIG. 8 to check whether the recipe rule description file can be executed. FIG. 10 is a flowchart of receiving the edit command of the user device in FIG. 3. FIG. 11 is a flowchart of FIG. 10 to determine whether the user equipment can execute the edit mode. FIG. 12 is a flowchart of FIG. 11 to check whether the recipe rule description file can be executed. FIG. 13 is a flowchart of providing the current recipe file in FIG. 10 for editing by the user device.
請先參閱圖3,本實施例的製程配方監控方法S10係可用於如圖1所示製程配方監控系統10。製程配方監控方法S10包括以下步驟S11~S13。進行步驟S11,接收一使用者設備30的連線請求,以圖1為例,資料處理單元11係接收使用者設備30之連線請求並等待接收使用者設備30之命令C,步驟S11可包括以下步驟S112至步驟S116,請參閱圖4,進行步驟S112,啟動一資料處理單元11,使得資料處理單元11能執行通訊連線與邏輯判斷之功能。於步驟S112之後,進行步驟S114,藉由資料處理單元11以取得資料庫121中目前配方檔RF與配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF。接著,進行步驟S116,使用者設備30係連線至資料處理單元11。詳細而言,步驟S112可包括以下步驟S22至步驟S26,請參閱圖5,進行步驟S22,讀取一原始描述檔,原始描述檔係為一可擴展標記語言(Extensible markup language,XML)之設定檔。以圖1為例,資料處理單元11讀取製程單元13之原始描述檔,以解析製程單元13配方之結構。接著,進行步驟S24,依據原始描述檔,比對配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否匹配。以圖1為例,資料處理單元11係先檢視原始描述檔之描述格式與設定條件(如上限值、下限值、預設值、編輯權限條件、控制條件、通訊條件與複合條件)是否正確與是否能被執行,若否,資料處理單元11傳輸一通知命令C8至使用者設備30顯示異常;反之,若原始描述檔之描述格式與設定條件是正確與能被執行,資料處理單元11連接至配方描述資料庫123並提取配方規則描述檔RRDF,資料處理單元11係比對原始描述檔與配方規則描述檔RRDF是否可以匹配,所述判斷是否可以匹配,係依據配方規則描述檔RRDF中針對目前配方檔RF中各次配方項目SRI相對應次配方數值SRN之上限值、下限值與預設值以及各次配方項目SRI之編輯(Edit)權限條件、控制條件、通訊條件與複合條件來判斷與原始描述檔相對應之資料是否存在且一致。在一實施例中,若資料處理單元11判斷原始描述檔與配方規則描述檔RRDF可以匹配,資料處理單元11傳輸通知命令C8至使用者設備30顯示正常而可繼續執行。在另一實施例中,若資料處理單元11判斷原始描述檔與配方規則描述檔RRDF不可以匹配,進行步驟S26,若未匹配,更新配方規則描述檔RRDF至配方描述資料庫123,以圖1為例,資料處理單元11係鎖定配方描述資料庫123,以禁止另一使用者設備40(包含其他使用者設備)讀取與寫入配方描述資料庫123,接著,資料處理單元11係依據原始描述檔來更新配方規則描述檔RRDF至配方描述資料庫123,於更新後,資料處理單元11解除對配方描述資料庫123之鎖定狀態,並通知使用者設備30可繼續執行,此舉來確保原始描述檔係符合配方資料單元12中的配方規則描述檔RRDF。需說明的是,上述圖5依據原始描述檔來比對配方規則描述檔RRDF之動作,除了可啟動製程配方監控系統10以外,於使用者設備30需要編輯或回溯時,亦可依據上述圖5之流程來判斷配方規則描述檔RRDF是否匹配製程單元13的原始描述檔。Please refer to FIG. 3 first. The process recipe monitoring method S10 of this embodiment can be used in the process
請復參閱圖3,於步驟S11之後,使用者設備30連線至資料處理單元11,接著,使用者設備30依據使用者需求而傳輸命令C至資料處理單元11,所述命令C例如為一回溯命令C1或一編輯命令C2。在本實施例中,使用者設備30係傳輸回溯命令C1至資料處理單元11,資料處理單元11接收使用者設備30之回溯命令C1(步驟S12),步驟S12可包括以下步驟S121至步驟S129B,請參閱圖6,進行步驟S121,資料處理單元11判斷是否能執行一回溯模式,即資料處理單元11接收使用者設備30之回溯命令C1後,判斷使用者設備30是否能執行回溯模式,若否,進行步驟S129,拒絕使用者設備30並通知使用者設備30。詳細而言,步驟S121可包括以下步驟S32至步驟S36,請參閱圖7,進行步驟S32,資料處理單元11判斷資料庫121與配方描述資料庫123是否為鎖定狀態,亦即資料處理單元11檢查資料庫121是否被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)鎖定或指定編輯之目前配方檔RF被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)使用中,以及配方描述資料庫123是否被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)鎖定或配方規則描述檔RRDF是否正在被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)編輯,若是,則資料庫121與配方描述資料庫123被鎖定,資料處理單元11判斷使用者設備30不能執行回溯模式,故進行步驟S36,拒絕使用者設備30,並通知使用者設備30。因此,資料處理單元11傳輸一拒絕回溯命令C5至使用者設備30並通知使用者設備30拒絕執行回溯命令C1。反之,若資料處理單元11判斷資料庫121與配方描述資料庫123並未被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)控制中,進行步驟S34,判斷是否具有權限,資料處理單元11若判斷使用者設備30不具有權限進行回溯,進行步驟S36,拒絕使用者設備30,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸一拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30。詳細而言,資料處理單元11判斷是否具有權限之步驟S34可包括步驟S341至步驟S345,請參閱圖8,進行步驟S341,判斷是否能登入,以圖1為例,資料處理單元11係載入關於使用者設備30之使用者的帳號密碼,並檢查使用者的帳號密碼是否正確,接著資料處理單元11檢查是否該使用者的帳號密碼是否有重複登入,亦即同一使用者的帳號密碼由使用者設備30登入以外,檢查是否有其他使用者設備以同一使用者的帳號密碼登入。若檢查後使用者的帳號密碼不正確,或者使用者的帳號密碼有重複登入,則資料處理單元11判斷使用者設備30不能登入,進行步驟S345,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30以通知使用者設備30。若步驟S341判斷為是,使用者設備30能登入,進行步驟S342,判斷配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否被鎖定,以圖1為例,資料處理單元11判斷配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否被鎖定,所述鎖定係指配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)控制使用,若是,進行步驟S345,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30。在一實施例中,資料處理單元11進一步判斷另一使用者設備40鎖定配方規則描述檔RRDF是否逾時,若否,資料處理單元11持續供另一使用者設備40鎖定配方規則描述檔RRDF以進行編輯;反之,若另一使用者設備40鎖定配方規則描述檔RRDF已逾時而超過一特定時間,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3並通知使用者設備30與另一使用者設備40已逾時。於步驟S342中,若資料處理單元11判斷配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF並未被鎖定,接著進行步驟S343,資料處理單元11取得自配方描述資料庫123中的配方規則描述檔RRDF。接著,進行步驟S344,檢視配方規則描述檔RRDF是否能被執行,若否,進行步驟S345,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30。詳細而言,步驟S344可包括步驟S42至步驟S46,請參閱圖9,進行步驟S42,判斷使用者設備30是否有權限能編輯配方規則描述檔RRDF。以圖1為例,資料處理單元11依據編輯權限條件來判斷使用者設備30是否有權限能編輯配方規則描述檔RRDF,若判斷為否,進行步驟S46,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30不能編輯配方規則描述檔RRDF;反之,若判斷為是,使用者設備30有權限能編輯配方規則描述檔RRDF,並進行步驟S44,檢視是否能供使用者設備30編輯配方規則描述檔RRDF。以圖1為例,資料處理單元11依據控制條件與通訊條件來判斷是否能供使用者設備30編輯配方規則描述檔RRDF,若判斷為否,進行步驟S46,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30不可編輯配方規則描述檔RRDF;反之,若判斷為是,目前可供使用者設備30編輯配方規則描述檔RRDF。Please refer to FIG. 3 again. After step S11, the
請復參閱圖6,於步驟S121判斷使用者設備30能執行回溯模式之後,進行步驟S122,進入一鎖定狀態,以限制僅供使用者設備30控制一資料庫121與一配方描述資料庫123,其中資料庫121中一目前配方檔RF包含一主版本版次資料VM與複數個次配方資料SR,各次配方資料SR包含次配方項目SRI、次配方版本資料SRV與次配方數值SRN,配方描述資料庫123包含一配方規則描述檔RRDF,依據配方規則描述檔RRDF執行目前配方檔RF。以圖1為例,資料處理單元11傳輸鎖定命令C41至使用者設備30,因此,此時另一使用者設備40或其他使用者設備即便連線至資料處理單元11,由於資料庫121與配方描述資料庫123已被使用者設備30控制而進入鎖定狀態,此時資料處理單元11傳輸拒絕命令C3並通知另一使用者設備40或其他使用者設備已有使用者設備30鎖定資料庫121與配方描述資料庫123,使得另一使用者設備40仍無法控制資料庫121與配方描述資料庫123。接著,進行步驟S123,存取回溯前之目前配方檔RF至一歷史資料庫125,因此,資料處理單元11係將回溯前之目前配方檔RF存取至歷史資料庫125。接著,進行步驟S124,依據一目標主版本資料TVM之複數個目標次配方項目TSRI與複數個目標次配方數值TSRN,復原目前配方檔RF中相對應之次配方項目SRI與次配方數值SRN。舉例而言,圖2A中的次配方項目SRI對應至圖2C中的目標次配方項目TSRI,故將圖2A中相對應次配方項目SRI之次配方數值SRN復原至圖2C中的目標次配方數值TSRN,即圖2D圖之經回溯後之目前配方檔RFB。此外,由於此時目前配方檔RF需被回溯,資料處理單元11係可依據如圖5所示,判斷製程單元13中的原始描述檔與配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否匹配,判斷為匹配,接著,資料處理單元11判斷目前配方檔RF中的每一個次配方資料SR的編輯資料是否符合格式及配方規則描述檔RRDF。Please refer to FIG. 6 again, after determining in step S121 that the
進行上述步驟S124之後,接著進行步驟S125,記錄經回溯後之目前配方檔RFB中主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB。接著,而後進行步驟S126,存取經回溯後之目前配方檔RFB至資料庫121。以圖1為例,資料處理單元11係依據使用者設備30傳輸之回溯命令C1,進一步判斷回溯模式,回溯模式可為一回復主版本模式或者一回復特定次配方模式。After the above step S124 is performed, step S125 is next performed to record the major version version data VMB and each minor recipe version data SRVB in the current recipe file RFB after the traceback. Next, step S126 is performed to access the current recipe file RFB after traceback to the
在一實施例中,回溯模式為回復主版本模式,所述主版本模式係指將目前配方檔RF復原至一特定版本之配方檔,特定版本之配方檔例如為目標配方檔TRF,依據目標配方檔TRF中複數個目標次配方項目TSRI與複數個目標次配方數值TSRV,回溯模組127復原目前配方檔RF中全部之次配方項目SRI與相對應之次配方數值SRN。舉例而言,回溯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VM為10,某一次配方版本資料SRV為6,另一次配方版本資料SRV為7,欲將目前配方檔RF回復至主版本版次為8的狀況,若目標配方檔TRF之目標主版本資料TVM為8,故回溯模組127依據目標配方檔TRF中複數個目標次配方項目TSRI與複數個目標次配方數值TSRV,對應回復目前配方檔RF中全部之次配方項目SRI與相對應之次配方數值SRN,接著,資料處理單元11存取經回溯後之目前配方檔RFB至資料庫121。在一實施例中,圖2C中每一個目標次配方項目TSRI對應至圖2A中次配方項目SRI,並將圖2A中相對應次配方項目SRI之次配方數值SRN復原至圖2C中的目標次配方數值TSRN,即圖2D圖之經回溯後之目前配方檔RFB。此外,資料處理單元11記錄經回溯後之目前配方檔RFB中主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,接著,資料處理單元11存取經回溯後之目前配方檔RFB(如圖2D所示)至資料庫121。需說明的是,在此資料處理單元11處理經回溯後之目前配方檔RFB中主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,並非是將經回溯後之目前配方檔RFB中的主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB記錄為目標配方檔TRF中的目標主版本資料TVM與各目標次配方資料TSR,而是更新回溯後之目前配方檔RFB中的主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,因此,圖2A所示之回溯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VM為10,某一次配方版本資料SRV為6,另一次配方版本資料SRV為7,圖2D所示之回溯後之目前配方檔RFB的主版本版次資料VMB為11,某一次配方版本資料SRV為7,另一次配方版本資料SRV為8,在此紀錄版本係以遞增為例,在其他實施例中,紀錄版本係可以其他編碼方式或依據需求設定為之。另需說明的是,由於回溯前之目前配方檔RF中次配方版本資料SRV的數量可能會與所欲回復之目標配方檔TRF中的目標次配方項目TSRI之數量不同,故資料處理單元11依據目前配方檔RF,比對歷史資料庫125中的目標配方檔TRF是否匹配,判斷每個次配方項目SRI是否能對應到相應之目標次配方項目TSRI,若有無法匹配對應之次配方項目SRI,在回溯步驟中保留目前配方檔RF中次配方項目SRI與對應之配方數值SRN,若有能匹配對應之次配方項目SRI,在回溯步驟中將能匹配對應之次配方項目SRI對應並取代為目標次配方項目TSRI,與此同時,亦將次配方項目SRI相對應之次配方數值SRV取代復原至目標次配方數值TSRV。In one embodiment, the backtracking mode is a master version recovery mode. The master version mode refers to restoring the current recipe file RF to a specific version of the recipe file. The specific version of the recipe file is, for example, the target recipe file TRF, based on the target recipe In the file TRF, a plurality of target sub-recipe items TSRI and a plurality of target sub-recipe values TSRV, the
在另一實施例中,回溯模式為回復特定次配方模式,所述特定次配方模式係指將目前配方檔RF中某一特定或某幾個次配方項目SRI復原至目標配方檔TRF中相對應之目標次配方項目TSRI。舉例而言,回溯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VM為10,某一特定次配方版本資料SRV為6,另一個次配方版本資料SRV為7,若將目前配方檔RF中某一特定之次配方項目SRI與相對應之次配方數值SRN復原至某一個次配方版本中相對應次配方項目與次配方數值,某一個次配方版本例如為目標主版本資料TVM,若目標配方檔TRF之目標主版本資料TVM為8,目標次配方版本資料TSRV為5,故回溯模組127依據目標主版本資料TVM,將目標次配方項目TSRI與目標次配方數值TSRV,對應復原目前配方檔RF中的次配方項目SRI與相對應之次配方數值SRN。此外,資料處理單元11記錄經回溯後之目前配方檔RFB中主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,接著,資料處理單元11存取經回溯後之目前配方檔RFB(如圖2D所示)至資料庫121。需說明的是,在此資料處理單元11處理經回溯後之目前配方檔RFB中主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,並非是將經回溯後之目前配方檔RFB中的主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB記錄為目標配方檔TRF中的目標主版本資料TVM與各目標次配方資料TSR,而是更新回溯後之目前配方檔RFB中的主版本版次資料VMB與各次配方版本資料SRVB,並保留未經回溯之次配方版本資料SRVB,因此,在一實施例中,圖2A所示之回溯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VM為10,某一特定次配方項目SRI對應至某一特定次配方版本資料SRV為6,另一個特定次配方項目SRI對應至另一個次配方版本資料SRV為7,進行特定次配方模式,將目前配方檔RF中某一特定次配方項目SRI復原至目標配方檔TRF中相對應之目標次配方項目TSRI,而不需回溯另一個特定次配方項目SRI,圖2D所示之回溯後之目前配方檔RFB的主版本版次資料VMB為11,回溯後之某一特定次配方項目SRI對應至某一特定次配方版本資料SRVB為7,即遞增經回溯後之各次配方版本資料,另一個特定次配方項目SRI由於未經回溯故另一個次配方版本資料SRV仍然維持為7,在此紀錄版本係以遞增為例,在其他實施例中,紀錄版本係可以其他編碼方式或依據需求設定為之。另需說明的是,由於回溯前之目前配方檔RF中次配方版本資料SRV的數量可能會與所欲回復之目標配方檔TRF中的目標次配方項目TSRI之數量不同,故資料處理單元11依據目前配方檔RF,比對歷史資料庫125中的目標配方檔TRF是否匹配,判斷每個次配方項目SRI是否能對應到相應之目標次配方項目TSRI,若有無法匹配對應之次配方項目SRI,在回溯步驟中保留目前配方檔RF中次配方項目SRI與對應之配方數值SRN,若有能匹配對應之次配方項目SRI,在回溯步驟中將能匹配對應之次配方項目SRI對應並取代為目標次配方項目TSRI,與此同時,亦將次配方項目SRI相對應之次配方數值SRV取代復原至目標次配方數值TSRV。In another embodiment, the backtracking mode is to restore a specific sub-recipe mode. The specific sub-recipe mode refers to restoring a specific or several sub-recipe items SRI in the current recipe file RF to the target recipe file TRF. The target sub-recipe project TSRI. For example, the major version version data VM in the current recipe file RF before the traceback is 10, the SRV of a specific minor recipe version data is 6, and the other minor recipe version data SRV is 7. If the current recipe file RF is A specific sub-recipe item SRI and corresponding sub-recipe value SRN are restored to a corresponding sub-recipe item and sub-recipe value in a sub-recipe version. A sub-recipe version is, for example, the target master version data TVM, if the target formula The target major version data TVM of the file TRF is 8, and the target minor recipe version data TSRV is 5. Therefore, the
請繼續參閱圖6,於步驟S126存取經回溯後之目前配方檔RFB至資料庫121之後,進行步驟S127,判斷是否有另一使用者設備40之連線請求,以圖1為例,資料處理單元11判斷是否有另一使用者設備40(或其他使用者設備)之連線請求,若否,進行步驟S129B,解除鎖定狀態,因此,資料處理單元11傳輸解除鎖定命令C42至使用者設備30,換言之,解除資料庫121與配方描述資料庫123之鎖定狀態,使得資料庫121與配方描述資料庫123可受另一使用者設備40或其他使用者設備控制;反之,若資料處理單元11判斷有另一使用者設備40(或其他使用者設備)之連線請求,進行步驟S128,通知另一使用者設備40,並更新經回溯後之目前配方檔RFB,因此,資料處理單元11傳輸一更新命令C7至另一使用者設備40,以更新經回溯後之目前配方檔RFB可供另一使用者設備40使用。Please continue to refer to FIG. 6, after accessing the backtracked current recipe file RFB to the
請復參閱圖3,於步驟S11之後,使用者設備30連線至資料處理單元11,接著,使用者設備30依據使用者需求而傳輸命令C至資料處理單元11。在本實施例中,使用者設備30係傳輸編輯命令C2至資料處理單元11,資料處理單元11接收使用者設備之編輯命令C2(步驟S13),步驟S13可包括以下步驟S131至步驟S139,請參閱圖10,進行步驟S131,判斷是否能執行一編輯模式,即資料處理單元11接收使用者設備30之編輯命令C2後,判斷使用者設備30是否能執行編輯模式,若否,進行步驟S138,拒絕使用者設備30並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30以通知使用者設備30。Please refer to FIG. 3 again. After step S11, the
詳細而言,步驟S131可包括以下步驟S51~步驟S55,請參閱圖11,進行步驟S51,判斷是否能登入。以圖1為例,資料處理單元11係載入關於使用者設備30之使用者的帳號密碼,並檢查使用者的帳號密碼是否正確,接著資料處理單元11檢查是否該使用者的帳號密碼是否有重複登入,亦即同一使用者的帳號密碼由使用者設備30登入以外,檢查是否有其他使用者設備以同一使用者的帳號密碼登入。若檢查後使用者的帳號密碼不正確,或者使用者的帳號密碼有重複登入,則資料處理單元11判斷使用者設備30不能登入,進行步驟S55,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30以通知使用者設備30。In detail, step S131 may include the following steps S51 to S55. Please refer to FIG. 11 to perform step S51 to determine whether login is possible. Taking FIG. 1 as an example, the
若步驟S51判斷為是,使用者設備30能登入,進行步驟S52,判斷配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否被鎖定。以圖1為例,資料處理單元11判斷配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否被鎖定,所述鎖定係指配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF是否被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)控制使用,若是,進行步驟S55,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30。在一實施例中,資料處理單元11進一步判斷另一使用者設備40鎖定配方規則描述檔RRDF是否逾時,若否,資料處理單元11持續供另一使用者設備40鎖定配方規則描述檔RRDF以進行編輯;反之,若另一使用者設備40鎖定配方規則描述檔RRDF已逾時而超過一特定時間,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3並通知使用者設備30與另一使用者設備40已逾時。If the determination in step S51 is yes, the
於步驟S52中,若資料處理單元11判斷配方描述資料庫123中配方規則描述檔RRDF並未被鎖定,接著進行步驟S53,資料處理單元11自配方描述資料庫123中取得配方規則描述檔RRDF。接著,進行步驟S54,檢視配方規則描述檔RRDF是否能被執行,若否,進行步驟S55,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30。In step S52, if the
詳細而言,步驟S54可包括步驟S542至步驟S546,請參閱圖12,進行步驟S542,判斷使用者設備30是否有權限能編輯配方規則描述檔RRDF。以圖1為例,資料處理單元11依據編輯權限條件來判斷使用者設備30是否有權限能編輯配方規則描述檔RRDF,其中編輯權限條件係指使用者設備30可否針對次配方項目SRI進行讀取(Read)、寫入(Write)、僅可讀取(Read Only)或是否可見(Visible or Invisible)之修改權限,若判斷為否,進行步驟S546,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30不能編輯配方規則描述檔RRDF;反之,若判斷為是,使用者設備30有權限能編輯配方規則描述檔RRDF,並進行步驟S544,檢視是否能供使用者設備30編輯配方規則描述檔RRDF。以圖1為例,資料處理單元11依據控制條件與通訊條件來判斷是否能供使用者設備30編輯配方規則描述檔RRDF,其中控制條件例如係製程配方監控系統10運作時可允許編輯;通訊條件係允許特定條件而可連線,若判斷為否,進行步驟S546,拒絕使用者設備30登入,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3至使用者設備30並通知使用者設備30不可編輯配方規則描述檔RRDF;反之,若判斷為是,目前可供使用者設備30編輯配方規則描述檔RRDF。In detail, step S54 may include steps S542 to S546. Please refer to FIG. 12 to perform step S542 to determine whether the
請復參閱圖10,於步驟S131判斷使用者設備30能執行編輯模式之後,進行步驟S132,判斷是否能供使用者設備30控制資料庫121與配方描述資料庫123。以圖1為例,資料處理單元11判斷資料庫121與配方描述資料庫123是否被另一使用者設備40控制中,亦即資料處理單元11檢查資料庫121是否被鎖定或指定編輯之目前配方檔RF被使用中,或者,資料處理單元11檢查配方描述資料庫123是否被鎖定或配方規則描述檔RRDF是否正在編輯,若判斷能供使用者設備30控制資料庫121與配方描述資料庫123,資料處理單元11對配方資料單元12進入鎖定狀態,資料庫121與配方描述資料庫123被鎖定,以限制僅供使用者設備30控制資料庫121與配方描述資料庫123;反之,若資料處理單元11判斷使用者設備30不能供使用者設備30控制資料庫121與配方描述資料庫123,進行步驟S139,通知使用者設備30,以及復原編輯前之目前配方檔RF至使用者設備30。因此,資料處理單元11傳輸一拒絕編輯命令C6至使用者設備30並通知使用者設備30拒絕執行編輯命令C2,且使用者設備30若在編輯目前配方檔RF之狀況下,資料處理單元11復原編輯前之目前配方檔RF至使用者設備30。Please refer to FIG. 10 again, after determining in step S131 that the
若資料處理單元11判斷資料庫121與配方描述資料庫123並未被另一使用者設備40(包含其他使用者設備)控制中,進行步驟S133,進入鎖定狀態,以限制僅供使用者設備30控制資料庫121與配方描述資料庫123。以圖1為例,資料處理單元11傳輸鎖定命令C41至使用者設備30,因此,此時另一使用者設備40或其他使用者設備即便連線至資料處理單元11,由於資料庫121與配方描述資料庫123已被使用者設備30控制而進入鎖定狀態,此時資料處理單元11傳輸拒絕命令C3並通知另一使用者設備40或其他使用者設備已有使用者設備30鎖定資料庫121與配方描述資料庫123,使得另一使用者設備40仍無法控制資料庫121與配方描述資料庫123。接著,進行步驟S134,提供目前配方檔RF以供使用者設備30編輯,編輯目前配方檔RF後進行步驟S135,存取經編輯後之目前配方檔RF至資料庫121。If the
詳細而言,步驟S134至步驟S135之間可包括步驟S61至步驟S68,請參閱圖13,進行步驟S61,寫入一編輯資料,編輯資料係可為一可擴展標記語言(Extensible markup language,XML)之設定檔。以圖1為例,使用者設備30寫入編輯資料並傳輸至資料處理單元11,資料處理單元11讀取使用者設備30寫入之編輯資料。在一實施例中,資料處理單元11進一步判斷使用者設備30鎖定資料庫121與配方描述資料庫123是否逾時,若否,資料處理單元11持續供使用者設備30鎖定資料庫121與配方描述資料庫123以進行編輯;反之,若使用者設備30鎖定資料庫121與配方描述資料庫123已逾時而超過一特定時間,資料處理單元11傳輸拒絕命令C3並通知使用者設備30與另一使用者設備40已逾時,並且解除鎖定狀態,因此,資料處理單元11傳輸解除鎖定命令C42至使用者設備30,換言之,解除資料庫121與配方描述資料庫123之鎖定狀態,使得資料庫121與配方描述資料庫123可受另一使用者設備40或其他使用者設備控制。In detail, step S134 to step S135 may include step S61 to step S68, please refer to FIG. 13, proceed to step S61, write an edited data, the edited data may be an Extensible Markup Language (XML ) Setting file. Taking FIG. 1 as an example, the
於步驟S61寫入編輯資料之後,接著,進行步驟S62,判斷編輯資料是否符合配方規則描述檔RRDF。以圖1為例,資料處理單元11係先判斷編輯資料之描述格式與設定條件(如上限值、下限值、預設值、編輯權限條件、控制條件、通訊條件與複合條件)是否正確與是否能被執行,若否,進行步驟S67,拒絕使用者設備30,並通知使用者設備30,因此,資料處理單元11傳輸一通知命令C8至使用者設備30顯示異常;反之,若編輯資料之描述格式與設定條件是正確與能被執行,進行步驟S63,比對編輯資料與目前配方檔RF是否一致。若資料處理單元11判斷編輯資料與目前配方檔RF是一致,進行步驟S68,資料處理單元11記錄目前配方檔RF中主版本版次資料VM與各次配方版本資料SRV至資料庫121,換言之,雖然該使用者設備30的編輯資料係與目前配方檔RF一致,但經由使用者設備30編輯,資料處理單元11仍會更新編輯後之目前配方檔RF中主版本版次資料VM與各次配方版本資料SRV。舉例而言,編輯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VM為10,次配方資料SR中的次配方版本資料SRV為6,編輯後之目前配方檔RF的主版本版次資料VM為11,次配方版本資料SRVB為7,在此紀錄版本係以遞增為例,在另一實施例中,紀錄版本係可以其他編碼方式或依據需求設定為之。After writing the editing data in step S61, next, proceed to step S62 to determine whether the editing data conforms to the recipe rule description file RRDF. Taking FIG. 1 as an example, the
若步驟S63中,資料處理單元11判斷編輯資料與目前配方檔RF是不一致,進行步驟S64,存取編輯前之目前配方檔RF至歷史資料庫125。因此,若編輯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VMB為10,次配方資料SR中的次配方版本資料SRV為7,資料處理單元11係將上述編輯前之目前配方檔RF存取至配方資料單元12之歷史資料庫125。If in step S63, the
接著,進行步驟S65,更新有不一致之目前配方檔RF中各次配方項目SRI。以圖1為例,資料處理單元11係將比對後有不一致之各次配方項目SRI對應更新至資料庫121。接著,進行步驟S66,記錄經編輯後之主版本版次資料VM與各次配方項目SRI相對應之各次配方版本資料SRV,因此,資料處理單元11存取經編輯後之目前配方檔RF至資料庫121,並記錄主版本版次資料VM與各次配方項目SRI相對應之各次配方版本資料SRV。舉例而言,編輯前之目前配方檔RF中的主版本版次資料VM為10,各次配方項目SRI相對應之各次配方版本資料SRV為6,編輯後之目前配方檔RF的主版本版次資料VM為11,次配方版本資料SRVB為7,在此紀錄版本係以遞增為例,在另一實施例中,紀錄版本係可以其他編碼方式或依據需求設定為之。Next, proceed to step S65 to update each recipe item SRI in the current recipe file RF with inconsistencies. Taking FIG. 1 as an example, the
接著,請復參閱圖10,進行步驟S136,解除鎖定狀態。因此,資料處理單元11傳輸解除鎖定命令C42至使用者設備30,換言之,資料處理單元11解除對配方資料單元12之鎖定狀態,來解除限制僅供使用者設備30控制資料庫121與配方描述資料庫123,使得資料庫121與配方描述資料庫123可受另一使用者設備40或其他使用者設備控制。接著,進行步驟S137,通知並更新經編輯後之目前配方檔RF。因此,資料處理單元11傳出通知命令C8至使用者設備30與另一使用者設備40,且資料處理單元11傳輸一更新命令C7至使用者設備30與另一使用者設備40,以更新經編輯後之目前配方檔RF可供另一使用者設備40使用。Next, please refer to FIG. 10 again, and proceed to step S136 to release the locked state. Therefore, the
綜上所述,在本發明的製程配方監控方法與製程配方監控系統中,可將目前配方檔回溯到先前某一個特定版本之配方檔,以復原目前配方檔中特定或全部之次配方項目與相對應之次配方數值,藉此提升製程配方使用上的彈性。In summary, in the process recipe monitoring method and process recipe monitoring system of the present invention, the current recipe file can be traced back to a previous specific version of the recipe file to restore the specific or all sub-recipe items and Corresponding to the value of the secondary formula, thereby improving the flexibility of the process recipe.
再者,由於可針對特定或全部之次配方項目與相對應之次配方數值進行復原,故本發明可針對主版本模式或特定次配方模式進行回溯,換言之,本發明不僅可針對先前特定某一版本之主版本版次資料進行復原以外,更可針對某一個特定次配方項目及其相對應之次次配方數值進行復原,藉此可供使用者回溯至所需求之目前配方檔。Furthermore, since it can be restored for specific or all sub-recipe items and corresponding sub-recipe values, the present invention can be traced back to the main version mode or specific sub-recipe mode. In other words, the present invention can not only target a specific In addition to the restoration of the main version and version data of the version, it can also be restored for a specific sub-recipe item and its corresponding sub-recipe value, so that the user can trace back to the current recipe file required.
另外,針對上述經回溯後或經編輯後的目標配方檔,本發明會記錄新的主版本版次資料與各次配方版本資料,而非將主版本版次資料與各次配方版本資料全數復原至先前某一個特定版本之配方檔。In addition, for the above-mentioned target recipe file after being backtracked or edited, the present invention will record the new major version version data and each recipe version data, instead of recovering all the major version version data and each recipe version data To a specific version of the previous recipe file.
雖然本發明已以實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作些許之更動與潤飾,故本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。Although the present invention has been disclosed as above by the embodiments, it is not intended to limit the present invention. Anyone who has ordinary knowledge in the technical field can make some changes and modifications without departing from the spirit and scope of the present invention. The scope of protection of the present invention shall be subject to the scope defined in the attached patent application.
10‧‧‧製程配方監控系統11‧‧‧資料處理單元12‧‧‧配方資料單元121‧‧‧資料庫123‧‧‧配方描述資料庫125‧‧‧歷史資料庫127‧‧‧回溯模組13‧‧‧製程單元30‧‧‧使用者設備40‧‧‧另一使用者設備C‧‧‧命令RF、RFB‧‧‧目前配方檔RRDF‧‧‧配方規則描述檔S10‧‧‧製程配方監控方法S11~S12‧‧‧步驟S112~S116‧‧‧步驟S121~S129B‧‧‧步驟S131~S139‧‧‧步驟S22~S26‧‧‧步驟S32~S36‧‧‧步驟S341~S345‧‧‧步驟S42~S46‧‧‧步驟S51~S55‧‧‧步驟S542~S546‧‧‧步驟S61~S68‧‧‧步驟SR‧‧‧次配方資料SRI‧‧‧次配方項目SRN‧‧‧次配方數值SRV‧‧‧次配方版本資料TRF‧‧‧目標配方檔TSR‧‧‧目標次配方資料TSRI‧‧‧目標次配方項目TSRN‧‧‧目標次配方數值TSRV‧‧‧目標次配方版本資料TVM‧‧‧目標主版本資料VM、VMB‧‧‧主版本版次資料 10‧‧‧ process recipe monitoring system 11‧‧‧ data processing unit 12‧‧‧ recipe data unit 121‧‧‧ database 123‧‧‧ recipe description database 125‧‧‧ historical database 127‧‧‧ traceback module 13‧‧‧ Process unit 30‧‧‧ User equipment 40‧‧‧ Another user equipment C‧‧‧ Command RF, RFB‧‧‧ Current recipe file RRDF‧‧‧ Recipe rule description file S10‧‧‧ Process recipe Monitoring methods S11~S12‧‧‧Step S112~S116‧‧‧Step S121~S129B‧‧‧Step S131~S139‧‧‧Step S22~S26‧‧‧Step S32~S36‧‧‧Step S341~S345‧‧‧ Step S42~S46‧‧‧Step S51~S55‧‧‧Step S542~S546‧‧‧Step S61~S68‧‧‧Step SR‧‧‧Formulation data SRI‧‧‧Formulation item SRN‧‧‧Formulation value SRV‧‧‧recipe recipe version data TRF‧‧‧target recipe file TSR‧‧‧target recipe information TSRI‧‧‧target recipe formula item TSRN‧‧‧target recipe value TSRV‧‧‧target recipe formula data TVM‧ ‧‧Target main version data VM, VMB‧‧‧ Main version version data
圖1為本發明之製程配方監控系統的示意圖。 圖2A為本發明之目前配方檔的示意圖。 圖2B為本發明之配方規則描述檔的示意圖。 圖2C為本發明之目標配方檔的示意圖。 圖2D為本發明之經回溯後之目前配方檔一實施例的示意圖。 圖3為本發明的製程配方監控方法的流程圖。 圖4為圖3中接收使用者設備的連線請求的流程圖。 圖5為圖4中啟動資料處理單元的流程圖。 圖6為圖3中接收使用者設備之回溯命令的流程圖。 圖7為圖6中判斷使用者設備是否能執行回溯模式的流程圖。 圖8為圖7中判斷使用者設備是否具有權限的流程圖。 圖9為圖8中檢視配方規則描述檔是否能被執行的流程圖。 圖10為圖3中接收使用者設備之編輯命令的流程圖。 圖11為圖10中判斷使用者設備是否能執行編輯模式的流程圖。 圖12為圖11中檢視配方規則描述檔是否能被執行的流程圖。 圖13為圖10中提供目前配方檔以供使用者設備編輯的流程圖。FIG. 1 is a schematic diagram of a process recipe monitoring system of the present invention. 2A is a schematic diagram of the current recipe file of the present invention. FIG. 2B is a schematic diagram of a description file of a recipe rule of the present invention. 2C is a schematic diagram of the target recipe file of the present invention. FIG. 2D is a schematic diagram of an embodiment of the current recipe file after backtracking in the present invention. FIG. 3 is a flow chart of the process recipe monitoring method of the present invention. FIG. 4 is a flowchart of receiving a connection request of a user device in FIG. 3. FIG. 5 is a flowchart of starting the data processing unit in FIG. 4. FIG. 6 is a flowchart of receiving the traceback command of the user equipment in FIG. 3. FIG. 7 is a flowchart of FIG. 6 to determine whether the user equipment can execute the backtracking mode. FIG. 8 is a flowchart of determining whether the user equipment has authority in FIG. 7. FIG. 9 is a flowchart of FIG. 8 to check whether the recipe rule description file can be executed. FIG. 10 is a flowchart of receiving the edit command of the user device in FIG. 3. FIG. 11 is a flowchart of FIG. 10 to determine whether the user equipment can execute the edit mode. FIG. 12 is a flowchart of FIG. 11 to check whether the recipe rule description file can be executed. FIG. 13 is a flowchart of providing the current recipe file in FIG. 10 for editing by the user device.
S12‧‧‧接收使用者設備之回溯命令 S12‧‧‧ Receive backtracking command from user equipment
S121~S129B‧‧‧步驟 S121~S129B‧‧‧Step
Claims (32)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW107104473A TWI682334B (en) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | Process recipe monitoring method and system thereof |
CN201810756412.6A CN110135791A (en) | 2018-02-08 | 2018-07-11 | Process recipe monitoring method and process recipe monitoring system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW107104473A TWI682334B (en) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | Process recipe monitoring method and system thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201935337A TW201935337A (en) | 2019-09-01 |
TWI682334B true TWI682334B (en) | 2020-01-11 |
Family
ID=67568205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107104473A TWI682334B (en) | 2018-02-08 | 2018-02-08 | Process recipe monitoring method and system thereof |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110135791A (en) |
TW (1) | TWI682334B (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114068347A (en) * | 2020-08-06 | 2022-02-18 | 长鑫存储技术有限公司 | Semiconductor process detection system and semiconductor process detection method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200702963A (en) * | 2005-07-07 | 2007-01-16 | Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd | Systems and methods for monitoring processing tool |
CN104134109A (en) * | 2014-06-24 | 2014-11-05 | 青岛海信网络科技股份有限公司 | Engineering configuration method and engineering configuration system integrating version management |
US20160232344A1 (en) * | 2015-02-11 | 2016-08-11 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Method for re-adjusting application permission and user terminal for performing the same method |
TWM540315U (en) * | 2016-12-23 | 2017-04-21 | Synpower Co Ltd | Process parameter monitoring system |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI224264B (en) * | 2001-05-31 | 2004-11-21 | Systex Corp | Program version control management system and its method |
CN100593213C (en) * | 2006-06-20 | 2010-03-03 | 亮发科技股份有限公司 | Memory device with multiple partitions |
US8369975B2 (en) * | 2007-09-21 | 2013-02-05 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Online recipe synchronization in a real-time batch executive environment |
TW201207731A (en) * | 2010-08-06 | 2012-02-16 | Universal Scient Ind Shanghai | Embedded system with plural firmware and firmware updating method thereof |
CN103593730B (en) * | 2013-10-30 | 2016-08-17 | 中国运载火箭技术研究院 | A kind of design parameter management system recalled |
CN103778208A (en) * | 2014-01-15 | 2014-05-07 | 广州普邦园林股份有限公司 | Method for cooperating working directory or document access and system thereof |
CN106897348B (en) * | 2016-08-19 | 2020-10-27 | 创新先进技术有限公司 | Data storage method, data verification method, data source tracing method and equipment |
CN106843893A (en) * | 2017-02-07 | 2017-06-13 | 济南浪潮高新科技投资发展有限公司 | A kind of documentation release management system based on OpenXML standards |
CN107656734A (en) * | 2017-08-21 | 2018-02-02 | 北京北信源软件股份有限公司 | Update method, system, computer-readable recording medium and the storage control of code release information |
-
2018
- 2018-02-08 TW TW107104473A patent/TWI682334B/en active
- 2018-07-11 CN CN201810756412.6A patent/CN110135791A/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200702963A (en) * | 2005-07-07 | 2007-01-16 | Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd | Systems and methods for monitoring processing tool |
CN104134109A (en) * | 2014-06-24 | 2014-11-05 | 青岛海信网络科技股份有限公司 | Engineering configuration method and engineering configuration system integrating version management |
US20160232344A1 (en) * | 2015-02-11 | 2016-08-11 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Method for re-adjusting application permission and user terminal for performing the same method |
TWM540315U (en) * | 2016-12-23 | 2017-04-21 | Synpower Co Ltd | Process parameter monitoring system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201935337A (en) | 2019-09-01 |
CN110135791A (en) | 2019-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1621944B1 (en) | Security system and method for an industrial automation system | |
US8701182B2 (en) | Method and apparatus for process enforced configuration management | |
JP4953609B2 (en) | Scalable and flexible information security for industrial automation | |
EP1422585B1 (en) | System for auditing of accesses to an industrial control system | |
US7526794B2 (en) | Data perspectives in controller system and production management systems | |
TWI608344B (en) | Robust hardware fault management system, method and framework for enterprise devices | |
JP2006099777A (en) | Centrally managed proxy-based security for legacy automation systems | |
US11658966B2 (en) | Personnel profiles and fingerprint authentication for configuration engineering and runtime applications | |
US9355278B2 (en) | Server chassis physical security enforcement | |
US8489535B2 (en) | Library synchronization between definitions and instances | |
JP2002099512A (en) | Process control system, its security system and method, and its software system | |
US20200387821A1 (en) | Authentication based on a change in a state of a qubit | |
TWI682334B (en) | Process recipe monitoring method and system thereof | |
US11374760B2 (en) | Cyber physical key | |
CN109858223A (en) | Electromechanical equipment authorization method, control device and storage medium based on identification technology | |
TWI726512B (en) | Process recipe monitoring method and system thereof | |
DE102017118223A1 (en) | DEVICES, SYSTEMS AND METHOD FOR PROVIDING ACCESS SECURITY IN A PROCESS CONTROL SYSTEM | |
EP3312692A1 (en) | Operating device for a measuring device | |
US20030065795A1 (en) | Computer system and method for managing remote access of user resources | |
US20240086083A1 (en) | Secure one-time programming undo system | |
WO2019169103A1 (en) | Two-step hardware authentication | |
CN114116042B (en) | Command processing method and system for Linux service system | |
CN115391812A (en) | Data locking control method, electronic equipment and readable storage medium | |
JP2007310560A (en) | Information management device, information management method and information management program | |
JP3064619B2 (en) | Production management database management device |